DE102019208961A1 - Projektionsoptik und Projektionsbelichtungsanlage mit einer solchen Projektionsoptik - Google Patents

Abstract

Eine abbildende Optik (7) für die Projektionslithographie hat eine Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M10) zur Führung von Abbildungslicht von einem Objektfeld (4) in einer Objektebene (5) in ein Bildfeld (8) in einer Bildebene (9) längs eines Abbildungslicht-Strahlengangs. Die abbildende Optik hat eine Kombination aus den Optikparametern bildseitige numerische Apertur, anamorphotische Abbildung, Hauptstrahlwinkel am Objektfeld ausgelegt für Reflexionsmaske, Obskuration, optimierter Bauraumquader und Objekt-Bild-Versatz, der zu einer optimierten Kombination aus guten Abbildungseigenschaften und praktischer Nutzbarkeit innerhalb einer Projektionsbelichtungsanlage führt.

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft eine Projektionsoptik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld. Bevorzugt wird eine solche Projektionsoptik in einem optischen System einer Projektionsbelichtungsanlage eingesetzt, weshalb die Erfindung auch das optische System sowie die Projektionsbelichtungsanlage betrifft.
• Projektionsoptiken dieser Art sind bekannt aus der DE und auch der DE.
• Bevorzugt werden diese Projektionsbelichtungsanlagen in der Mikrolithographie zur Herstellung von mikro- bzw. nanostrukturierten Bauteilen eingesetzt, weshalb diese Erfindung ebenfalls ein Verfahren sowie ein mit einem derartigen Verfahren hergestelltes Bauteil umfasst.
• Die Erfindung wird bevorzugt im EUV-Wellenlängenbereich von 5 nm bis 120 nm eingesetzt. Aber auch für andere Wellenlängen, etwa im DUV-Bereich, ist die Erfindung geeignet.
• Projektionsoptiken der genannten Art sind bekannt aus der DE 102015 221 983 A1 , der WO 2010 006678 A1 , der WO 2012 034995 A2 sowie der WO 2015 014753 A1 .
• Aufgabe der Erfindung
• Es ist eine Aufgabe der Erfindung, die eingangs genannten Projektionsoptiken zu verbessern und weiterzuentwickeln.
• Beschreibung der Erfindung
• Einige der relevanten Parameter sind Transmission, numerische Apertur, mittlerer Wellenfront-RMS,
  Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass eine NA > 0,7 nicht zwingend zu Systemen führen muss, die zu groß sind.
• Figurenliste
• 1: Schematische Darstellung einer Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Lithographie;
• 2a: Ausführung einer abbildenden Optik, die als Projektionsobjektiv in der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 einsetzbar ist;
• 3a: Weitere Ausführung einer abbildenden Optik, die als Projektionsobjektiv in der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 einsetzbar ist;
• 4a: Weitere Ausführung einer abbildenden Optik, die als Projektionsobjektiv in der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 einsetzbar ist;
• Beschreibung der Zeichnungen
• In 1 ist eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Lithographie schematisch dargestellt.
• Solch eine Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie hat eine Lichtquelle 2 für Beleuchtungslicht 3. Bei der Lichtquelle 2 handelt es sich um eine EUV-Lichtquelle, die Licht in einem Wellenlängenbereich zwischen 5 und 120 nm erzeugt. Bei der Lichtquelle 2 kann es sich insbesondere um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 13,5 nm oder um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 6,9 nm handeln. Andere Wellenlängenbereiche außerhalb des EUV-Bereiches, beispielsweise im DUV oder im sichtbaren Bereich sind ebenfalls möglich.
• Mittels einer Beleuchtungsoptik 4 wird das Beleuchtungslicht 3 zu einem Objektfeld 5 in einer Objektebene 6 geführt.
• Die Projektionsoptik 7, 11, 12 dient dann der Abbildung des am Objektfeld 5 reflektierten Beleuchtungslichts 3, welches nun als Abbildungslicht 8 bezeichnet wird, in ein Bildfeld 9 in einer Bildebene 10. Diese Abbildung erfolgt typischerweise mit einem verkleinernden Abbildungsmaßstab. Speziell kann der Abbildungsmaßstab der Projektionsoptik 7, 11, 12 auch in unterschiedlichen Richtungen unterschiedlich groß sein. Dann handelt es sich um eine anamorphotische Projektionsoptik 7, 11, 12. Die erfindungsgemäßen Projektionsoptiken 7, 11, 12 sind alle von diesem Typ.
• In der Objektebene 6 ist ein Retikel 13 auf einem Retikelhalter 14 angebracht. In der Bildebene 10 ist ein Substrat 15 mit einem Substrathalter 16 angebracht. Sowohl Retikel 13 mit Retikelhalter 14 als auch Substrat 15 mit Substrathalter 16 können mithilfe einer nicht gezeigten Vorrichtung relativ zur Lichtquelle, Beleuchtungsoptik und Projektionsoptik bewegt werden.
• Zur räumlichen Orientierung und zur Beschreibung der Elemente der Projektionsoptik ist in 1 ein kartesisches Koordinatensystem angegeben. In 1 verläuft die z-Richtung nach unten, die y-Richtung nach rechts und die x-Richtung senkrecht in die Bildebene hinein.
• Die Projektionsbelichtungsanlage 1 ist vom Scannertyp. Sowohl das Retikel 13 mit dem Retikelhalter 14 als auch das Substrat 15 mit dem Subtrathalter 16 werden beim Betrieb der Projektionsbelichtungsanlage 1 in der y-Richtung gescannt. Das Retikel 13 samt Retikelhalter 14 bewegt sich dabei relativ zum Objektfeld 5 und das Substrat 15 samt Substrathalter 16 bewegt sich dabei relativ zum Bildfeld 9. Je nach Verkleinerungsfaktor erfolgt diese Scanbewegung mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten. Je nach Projektionsoptik kann sie auch gegenläufig (dann ebenfalls mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten) erfolgen. Die Scanbewegung erfolgt in y-Richtung. Eine Bewegung entlang der x-Richtung ist ebenfalls möglich.
• In den 2a, 3a und 4a sind exemplarische Ausführungsformen der Projektionsoptik 7, 11, 12 gezeigt.
• Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 9 können bei der Projektionsoptik 7, 11, 12 jeweils gebogen und insbesondere teilringförmig oder rechteckig ausgeführt sein. Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 9 haben ein xy-Aspektverhältnis größer als 1. Das Objektfeld 4 hat also eine längere Objektfelddimension in der x-Richtung und eine kürzere Objektfelddimension in der y-Richtung. Gleiches gilt für das Bildfeld 9.
• Die Bildebene 10 ist bei allen gezeigten Ausführungsformen der Projektionsoptik 7, 11, 12 parallel zur Objektebene 5 angeordnet.
• Die Projektionsoptiken 7, 11, 12 sind so ausgeführt, dass sie bildseitig telezentrisch sind. Auch objektseitig sind die Projektionsoptiken näherungsweise telezentrisch ausgeführt. Dies ist hilfreich, um unerwünschte Retikel-3D-Effekte zu verringern.
• Alle gezeigten Ausführungsformen der Projektionsoptik 7, 11, 12 weisen sowohl Spiegel für den normalen Einfall („normal incidence“) als auch Spiegel für den streifenden Einfall („grazing incidence“) auf. Unter streifendem Einfall wird hier ein Einfall des Abbildungslichtes auf den Spiegel unter einem Winkel zur Normalen auf der Spiegeloberfläche der größer ist als 45° verstanden. Unter normalen Einfall wird entsprechend ein Einfall des Abbildungslichtes auf den Spiegel unter einem Winkel zur Normalen auf der Spiegeloberfläche der kleiner oder gleich 45° ist verstanden Die Anzahl der Spiegel mit streifendem Einfall ist bei allen gezeigten Projektionsoptiken 7, 11, 12 größer als 2, bevorzugt größer als 3 oder 4, sie kann auch 5, 6, 7, 8, 9 oder gar 10 betragen.
• Alle gezeigten Projektionsoptiken sind obskuriert. Sie besitzen eine zentrale Pupillenobskuration. Der letzte Spiegel entlang des Strahlengangs des Abbildungslichtes besitzt einen Durchbruch, um den herum das Abbildungslicht jedoch reflektiert wird. Durch diesen Durchbruch gelangt das Abbildungslicht vom vorvorletzten Spiegel zum vorletzten Spiegel (wieder entlang des Strahlengangs des Abbildungslichtes gesehen).
• Die Spiegel der Projektionsoptiken 7, 11, 12 sind als Freiformflächen ausgeführt.
• Eine Freiformfläche kann durch folgende Freiformflächengleichung (Gleichung 1) beschrieben werden: $$\begin{array}{l}Z=\frac{c_x{x}^2+c_y{y}^2}{1+\sqrt{1-\left(1+k_x\right){\left(c_{x}x\right)}^2-\left(1+k_y\right){\left(c_{y}y\right)}^2}}\hfill \\ +C_{1}x+C_{2}y\hfill \\ +{\text{C}}_3{\text{x}}^2+{\text{C}}_4\text{xy}+{\text{C}}_5{\text{y}}^2\hfill \\ +{\text{C}}_6{\text{x}}^3+\dots +{\text{C}}_9{\text{y}}^3\hfill \\ +{\text{C}}_{10}{\text{x}}^4+\dots +{\text{C}}_{12}{\text{x}}^2{\text{y}}^2+\dots {\text{C}}_{14}{\text{y}}^4\hfill \\ +{\text{C}}_{15}{\text{x}}^5+\dots +{\text{C}}_{20}{\text{y}}^5\hfill \\ +{\text{C}}_{21}{\text{x}}^6+\dots +{\text{C}}_{24}{\text{x}}^3{\text{y}}^3+\dots {\text{C}}_{27}{\text{y}}^6\hfill \\ +\dots \hfill \end{array}$$

  
• Für die Parameter dieser Gleichung (1) gilt:
• z ist die Pfeilhöhe der Freiformfläche am Punkt x, y, wobei x² + y² = r². r ist hierbei der Abstand zur Referenzachse der Freiformflächengleichung (x = 0; y = 0).
• In der Freiformflächengleichung (1) bezeichnen C1, C2, C3... die Koeffizienten der Freiformflächen-Reihenentwicklung in den Potenzen von x und y.
• Im Falle einer konischen Grundfläche ist cx, cy eine Konstante, die der Scheitelpunktkrümmung einer entsprechenden Asphäre entspricht. Es gilt also cx = 1/Rx und cy = 1/Ry. kx und ky entsprechen jeweils einer konischen Konstanten einer entsprechenden Asphäre. Die Gleichung (1) beschreibt also eine bikonische Freiformfläche.
• Alle gezeigten Projektionsoptiken sind für eine Wellenlänge λ des Beleuchtungs- und Abbildungslichtes von 13,5 nm ausgelegt.
• Die optischen Designdaten der Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M11 (M8, M9) der Projektionsoptik 7 (11, 12) können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden.
• In der ersten Tabelle stehen einige grundlegende Daten zur jeweiligen Projektionsoptik.
• Die zweite dieser Tabellen gibt zu den optischen Oberflächen der optischen Komponenten Scheitelpunktsradien (Radius_x= Rx, Radius_y = Ry) und Brechkraftwerte (Power_x, Power_y) an. Negative Radienwerte bedeuten zum einfallenden Abbildungslicht 8 hin konkave Kurven im Schnitt der jeweiligen Oberfläche mit der betrachteten Ebene (xz, yz), die von einer Flächennormalen im Scheitelpunkt mit der jeweiligen Krümmungsrichtung (x, y) aufgespannt wird. Die beiden Radien Radius_x, Radiux_y können explizit verschiedene Vorzeichen haben.
• Die Scheitelpunkte an jeder optischen Fläche sind definiert als Auftreffpunkte eines Führungsstrahls, der von einer Objektfeldmitte entlang einer Symmetrieebene x=0, also der Zeichenebene der 2a (bzw. 31, 4a) (Meridionalebene) hin zum Bildfeld 9 geht.
• Die Brechkräfte Power_x (Px), Power_y (Py) an den Scheitelpunkten sind definiert als: $$\text{Px}=-\frac{2\text{cos}AOI}{R_x}$$

  

  $$\text{Py}=-\frac{2}{R_y\text{cos}AOI}$$

  
• AOI bezeichnet hierbei einen Einfallswinkel des Führungsstrahls zur Oberflächennormalen.
• Die dritte Tabelle gibt die Dezentrierung (Ort und Winkel) der jeweiligen Spiegelfläche sowie des Objektfeldes, der Blende und des Bildfeldes bezogen auf eine Normale auf dem Objektfeld 5 in der Objektebene 6 an. Diese Normale befindet sich in der Mitte des Objektfeldes 5. Die Koordinaten entsprechen dem eingezeichneten Koordinatensystem in der jeweiligen Figur.
• In der vierten Tabelle sind die Freiformkoeffizienten Cn der jeweiligen Spiegelflächen aufgeführt. Koeffizienten Cn, die nicht tabel-liert sind, haben jeweils den Wert 0.
• In der fünften Tabelle sind die Koordinaten des Blendenrandes aufgeführt. Bezugspunkt ist hier wieder der Mittelpunkt des Objektfeldes.
• Bei 2a handelt es sich um eine Projektionsoptik 7 mit insgesamt 11 Spiegeln, von denen drei als normal-incidence Spiegel und acht als grazing incidence Spiegel ausgeführt sind.
• Die optischen Daten sind folgende: Tabelle 1 zur Projektionsoptik 7 aus Fig. 2a:

  Numerische Apertur	0,75
  Verkleinerungsfaktor in x-Richtung	-0,233
  Verkleinerungsfaktor in y-Richtung	-0,127
  Hauptstrahlwinkel	5,50°
  Mittlerer Wellenfront-RMS	8,57 mλ
  Transmission	6,48 %
  Object-Image-Shift	3255,90 mm
  Abstand Wafer-vorletzter Spiegel	73 mm
  Obskuration	14,8 %
  Bounding Box	1204 mm × 3874 mm × 1831 mm

  Tabelle 2 zur Projektionsoptik 7 aus Fig. 2a:

  Radien der Flächen
  	Radiusx [mm]	Powerx [1/mn	n]Radiusy [mm]	Powery [1/mm]
  M01	-5865.81523622	0.00032883	-2067.88312069	0.00093278
  M02	-63374.79828420	0.00000395	21837.47821316	-0.00001146
  M03	-8366.11833895	0.00004865	4289.09824586	-0.00009489
  M04	-5869.08993915	0.00004517	-12503.51063260	0.00002120
  M05	-1600.48535592	0.00029099	-3932.63888021	0.00011843
  M06	-975.96408516	0.00047086	-1810.95688936	0.00025376
  M07	-1283.34039039	0.00021340	7378.23227667	-0.00003712
  M08	-5673.23901632	0.00009446	-3258.25153471	0.00016447
  M09	-4558.08819792	0.00014250	2055.71799723	-0.00031595
  M10	-12523.98260704	0.00013011	345.59408179	-0.00471510
  M11	-966.31588781	0.00205638	-770.02679127	0.00258057

  Tabelle 3 zur Projektionsoptik 7 aus Fig. 2a:

  Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen
  	Dx [mm]	Dy [mm]	Dz [mm]
  Retike	0.000000000	0.000000000	0.000000000
  M01	0.000000000	206.342031983	2142.943936469
  M02	0.000000000	751.141443466	968.297457580
  M03	0.000000000	1108.062138516	663.676987878
  M04	0.000000000	1635.726818408	442.413885804
  M05	0.000000000	2111.326138465	406.569727272
  M06	0.000000000	2679.156490918	589.348742919
  M07	0.000000000	2934.877558834	814.689341392
  M08	0.000000000	3039.101069571	1089.907055701
  M09	0.000000000	3022.041362790	1355.258392494
  M10	0.000000000	3428.901782539	2177.702268715
  Blende	0.000000000	3402.152487320	2082.218345511
  M11	-0.000000000	3255.897127319	1560.147186330
  Wafer	0.000000000	3255.896114501	2296.253294176

  	αx [°]	αy [°]	αz [°]
  Retike	0.000000000	0.000000000	0 0.000000000
  M01	9.690902525	0.000000000	0 0.000000000
  M02	-52.798949070	0 180.0000000	000 0.000000000
  M03	148.385382126	26 0.000000000	0 0.000000000
  M04	-13.529777533	3 180.0000000	000 0.000000000
  M05	186.766417434	34 0.000000000	0 0.000000000
  M06	29.614629045	180.0000000	000 0.000000000
  M07	235.322492812	12 0.000000000	0 0.000000000
  M08	81.468563046	180.0000000	000 0.000000000
  M09	78.678541182	2 0.000000000	0 0.000000000
  M10	-20.985690966	6 0.000000000	0 180.000000000
  Blende	164.350076886	-0.000000000	-0.000000000
  M11	172.175077860	-0.000000000	0.000000000
  Wafer	0.000078834	0.000000000	180.000000000

  Tabelle 4 zur Projektionsoptik 7 aus Fig. 2a:

  Freiformkoeffizienten der Flächen
  Koeffizient	Formel	M01	M02	M03
  C7	x2 y	-1.2467075401e-08	-1.3348773466e-08	7.2872626293e-08
  C9	y3	-2.6953264654e-08	5.4522752705e-08	2.6169253486e-08
  C10	x4	-2.8831646046e-12	1.1120232774e-10	8.3530873147e-11
  C12	x2y2	8.7150874395e-11	-4.0947377819e-11	-6.8360178422e-11
  C14	y4	-1.0666167107e-13	1.4339596189e-10	-3.6577598249e-10
  C16	x4 y	-2.7441641255e-14	-5.3346116597e-14	-3.0710710509e-13
  C18	x2y3	-1.2726847989e-13	-7.9668038501e-14	-3.3418102422e-13
  C20	y5	3.4096328456e-14	3.7541752225e-13	3.4404548810e-13
  C21	x6	2.5253493969e-18	7.0684786785e-17	-8.4079475057e-17
  C23	x 4y2	-4.9978048857e-18	-1.4520801323e-16	-1.3998707586e-16
  C25	x2y4	2.1956981883e-17	-8.4757253555e-18	9.1295648997e-16
  C27	y6	6.1687302543e-16	1.0524429937e-15	-1.8570296448e-16
  C29	x6 y	1.8197881520e-20	-2.4040215447e-19	-2.1766284207e-20
  C31	x4 y3	2.1373260866e-19	-5.2926133326e-19	2.2749446644e-18
  C33	x2y5	-6.9752427252e-19	6.3832431855e-20	-1. 2828010170e-18
  C35	y7	3.8267458162e-20	2.9024294606e-18	1.0653505056e-18
  C36	x8	-1.4480426797e-23	-2.7727925287e-22	-2.0063721628e-22
  C38	x 6y2	-1.4406031959e-22	-2.3939935190e-22	1. 1337619611e-21
  C40	x4 y4	4.7370199633e-22	-3.7474615537e-22	-1.6921160199e-21
  C42	x2y6	1. 7248831546e-22	2.9766960337e-22	1.0472902500e-20
  C44	y8	-4.0532377358e-20	4.5184111748e-21	2.1987645795e-20
  C46	x8 y	1.8455150442e-25	5.1241278232e-24	2.7550084650e-25
  C48	x6 y3	1.1327621011e-24	1.4806901695e-23	-1.7730948982e-23
  C50	x4 y5	-3.3882508058e-26	1.6805001248e-23	-4.9544283590e-23
  C52	x2y7	-1.4219723243e-23	-3.4237769863e-24	2.9346082042e-23
  C54	y9	1.4149924319e-23	-8.4824871060e-24	1.3561832619e-22
  C55	x10	4.9751179229e-28	6.3407118335e-27	2.8338518017e-27
  C57	x8 y2	4.7112576339e-27	-6.9025162063e-27	-1.2277211414e-27
  C59	x6 y4	-4.5961567305e-27	2.7190597791e-26	-5.2905365082e-26
  C61	x4 y6	-5.5773662955e-26	5.2462314959e-26	-2.5445274816e-25
  C63	x2y8	2.0082504680e-25	-6.1081784301e-26	-5.9730875595e-25
  C65	y10	2.2199203861e-24	-4.8557028558e-26	-2.3348782296e-24
  C67	X10 y	-3.7476656440e-30	-7.6485672979e-29	1.4947673172e-29
  C69	x8 y3	-2.3612566194e-29	-2.4774184419e-28	2.2980316977e-28
  C71	x6 y5	2.2187607217e-29	-3.8120053547e-28	1.3217596278e-27
  C73	x4 y7	5.6100070166e-28	-2.4974317927e-28	2.3177009413e-27
  C75	x2y9	2.0618081612e-27	-2.6148149268e-28	-5.5909056888e-27
  C77	y11	-2.7963329316e-27	2.0179748939e-29	-8.7279402890e-27
  C78	x12	-7.4572827042e-33	-4.4335237142e-32	-1.9168206138e-33
  C80	x10 y2	-8.5474716742e-32	1.4379898868e-31	-4.2609800121e-32
  C82	x8 y4	-9.7649702863e-32	-2.1619359366e-31	7.2298850863e-31
  C84	x6 y6	1.0909533068e-30	-1.4261848410e-30	5.5278484571e-30
  C86	x4 y8	4.3562596563e-31	-1.1108019099e-30	1.3375757200e-29
  C88	x2 y10	-1.8513248324e-29	-2.6661306772e-32	2.8874205794e-29
  C90	y12	-7.9907007621e-29	6.5273825658e-31	9.7434965821e-29
  C92	x12y	4.6491819082e-35	6.2946912638e-34	-1.8258273973e-34
  C94	x10 y3	3.2696788977e-34	2.3921661224e-33	-1.9530306250e-33
  C96	x8 y5	3.2943984047e-35	4.8919543389e-33	-1.6350292078e-32
  C98	x6 y7	-8.5405894077e-33	3.6166305683e-33	-5.6396440055e-32
  C100	x4y9	-4. 0709966516e- 32	2.1558509865e-33	-4.6125475690e-32
  C102	x2y11	-1.0107878822e-31	2.5105814333e-33	3.2773437248e-31
  C104	y13	1. 2064533186e- 31	2.2238147891e-33	3.2764546096e-31
  C105	x14	6.3869752879e-38	1.9267680796e-37	-6.1173550883e-38
  C107	X12y2	9.1504573841e-37	-1.4859024048e-36	2.7620723221e-37
  C109	x10y4	3.3617202635e-36	3.1707721165e-37	-5.6617008379e-36
  C111	x8y6	-6. 1736717784e-36	1.7203953853e-35	-6.3584720655e-35
  C113	x6 y8	-3.0501766360e-35	2.6161789349e-35	-2.4679393483e-34
  C115	x4y10	1.3612671094e-34	1.5370839273e-35	-3.6650099068e-34
  C117	x2y12	8.7866861356e-34	3.6940452189e-36	-8.3324769412e-34
  C119	y14	1.9021319268e-33	4.1320176184e-36	-2.2908549281e-33
  C121	x14y	-3.1724176080e-40	-3.0807880840e-39	9.2385422123e-40
  C123	x12y3	-2.3810083642e-39	-1.2424284034e-38	9.3884607054e-39
  C125	x10y5	-2.2954013538e-39	-2.9276025660e-38	1.0258041544e-37
  C127	x8y7	6.8833317428e-38	-1.3241913303e-38	5.0251757855e-37
  C129	x6y9	4.8297911637e-37	1.3699222053e-38	1.3274285064e-36
  C131	x4y11	1.4452002485e-36	1.1315058418e-38	-4.9607731988e-37
  C133	x2y13	2.7654094061e-36	-1.8600600480e-38	-9.5896503707e-36
  C135	y15	- 2. 6915220538e-36	4.8587893131e-39	-7.7241296372e-36
  C136	x16	-3.2793717012e-43	-6.3852937662e-43	3.2595223358e-43
  C138	x14y2	-5.5830068597e-42	8.3494970336e-42	-6.5706319173e-43
  C140	x12y4	-3.4791199924e-41	1.0109081574e-41	2.6770336445e-41
  C142	x10y6	-4.3291872187e-41	-8.5936562967e-41	3.9604946354e-40
  C144	x8y8	1.6767359119e-40	-1.9152785634e-40	2.1226841939e-39
  C146	x6y10	-5.6292179529e-40	-1.4700794960e-40	5.4757816113e-39
  C148	x4y12	-7.1918752381e-39	-3.3947448651e-41	4.8572679588e-39
  C150	x2y14	-2.3139623471e-38	-8.2864415218e-41	9.1762922206e-39
  C152	y16	-2.8589050266e-38	2.8656510927e-42	2.7944022154e-38
  C154	x16y	1.1477662036e-45	7.9930480890e-45	-2.2605783918e-45
  C156	x14y3	9.2616541272e-45	3.4010054371e-44	-2.3674050015e-44
  C158	x12 y5	1.2851129925e-44	8.3336097293e-44	-3.2024594546e-43
  C160	x10 y7	-2.7867510516e-43	-4.8400370596e-44	-1.9990836609e-42
  C162	X8 y9	-2.6947148783e-42	-2.8140377193e-43	-7.9826907998e-42
  C164	x6y11	-1.0858659838e-41	-2.0682298229e-43	-1.4165695961e-41
  C166	x4 y13	-2.4853387780e-41	2.9582280271e-44	3.1801923441e-41
  C168	x2y15	-3.9711405260e-41	-1.4308615014e-43	1.4697289355e-40
  C170	y17	3.2641760546e-41	-2.4317654285e-45	1.0630088012e-40
  C171	x18	9.3807609535e-49	1.6378787333e-48	-6.4808506262e-49
  C173	x16 y2	1.8283088759e-47	-2.4206936389e-47	-1.1563651995e-49
  C175	x14 y4	1.5953422359e-46	-6.2271486286e-47	-7.1113764658e-47
  C177	x12 y6	5.6583172524e-46	1.3937263454e-46	-1.2634373210e-45
  C179	x10 y8	7.6229354122e-46	4.5318249979e-46	-8.5225093411e-45
  C181	x8y10	3.1739238245e-45	4.8998793816e-46	-3.3084943577e-44
  C183	x6 y12	3.4177288975e-44	4.0161527675e-46	-5.7411650994e-44
  C185	x4 y14	1.4252492265e-43	3.3762735692e-46	5.6542785431e-45
  C187	x2 y16	3.1868584702e-43	-1.2274024014e-46	5.0891077426e-44
  C189	y18	2.3977551585e-43	-7.8790612609e-48	-1.2166288242e-43
  C191	x18 y	-1.7128948485e-51	-8.3805817185e-51	2.2125779066e-51
  C193	x16 y3	-1.4883568540e-50	-3.7077347056e-50	2.4521093939e-50
  C195	x14y5	-2.3912620643e-50	-7.5292211098e-50	3.9284796942e-49
  C197	x12 y7	4.8593150694e-49	3.5431064161e-49	2.9667556677e-48
  C199	x10y9	5.6888315159e-48	1.3222909580e-48	1.5482033905e-47
  C201	x8y11	3.02062664 72e-47	1.6349217442e-48	4.9386213025e-47
  C203	x6y13	8.7406145932e-47	1.0908913057e-48	3.9694377865e-47
  C205	x4 y15	1. 7340860718e-46	5.1552747781e-49	-3.4005094327e-46
  C207	x2y17	2.3521148980e-46	-4.6486529691e-50	-9.4109560003e-46
  C209	y19	-1.6709407871e-46	-7.6701722815e-51	-6.3098039019e-46
  C210	x20	-1.1468848753e-54	-1. 7457410846e-54	4.3570623621e-55
  C212	x18y2	-2.5001515592e-53	2.8668298254e-53	1.7728301296e-54
  C214	x16y4	-2.7651704796e-52	1.1765705998e-52	8.2674940144e-53
  C216	x14y6	-1.5117327693e-51	1.3842730364e-52	1.5956297553e-51
  C218	x12y8	-5.1705595202e-51	4.4 714 717095e-52	1.3173465132e-50
  C220	x10y10	-1.6792580509e-50	1.0920179092e-51	6.6249699918e-50
  C222	x8y12	-8.3711007658e-50	1.1685063976e-51	1.9755952480e-49
  C224	x6y14	-3.6866845106e-49	6.7111631193e-52	1.7123109378e-49
  C226	x4y16	-1.0443243640e-48	2.5054124967e-52	-5.8864825581e-49
  C228	x2y18	-1.8004435241e-48	-3.5724159060e-54	-1.3320070960e-48
  C230	y20	-8.3786576508e-49	-2.7757694088e-54	-3.4128789070e-49
  1

  Koeffizient nt Formel		M04	M05	M06
  C7	x2y	- 3.6 700133384e-08	1.7042974089e-07	-2.0480366437e-07
  C9	y3	-5.7287310877e-08	1.8329534520e-07	-1.3351148892e-07
  C10	x4	-1.3078966541e-11	-7.3246062700e-11	-3.6848147529e-11
  C12	x2y2	-1.4203917227e-10	-2.7831729760e-10	1.9290327097e-10
  C14	y4	7.5743698221e-12	3.0191416398e-10	-4.4112925525e-10
  C16	x4y	-5.1658206112e-14	2.0676363930e-13	-4.0530454997e-14
  C18	x2y3	7.0418551844e-14	-7.8216923265e-13	3.9854901706e-13
  C20	y5	-3.5747190902e-13	4.1867438787e-13	-1.1829911786e-12
  C21	x6	-1.0754632158e-16	-7.36560427 42e-17	3.5200753218e-17
  C23	x4y2	1.1215826578e-16	6.9545794086e-16	1.5296672235e-16
  C25	x2y4	-1.1651146483e-15	-1.4026048310e-15	2.4919127685e-15
  C27	y6	2.3649213987e-16	1.1661669079e-15	-2.7411025624e-15
  C29	x6y	-4.9440628101e-20	-1.9250085058e-19	-2.8747932278e-19
  C31	x4y3	-1.4468724292e-18	1.5135432501e-18	1.0503981929e-18
  C33	x2y5	7.0824206121e-19	-3.1788955639e-18	1.0399666150e-17
  C35	y7	-2.6840255909e-18	5.7604630484e-18	-1.1014997984e-17
  C36	x8	2.6294592498e-22	-1.9373546658e-22	7.6838924127e-23
  C38	x6 y2	-1.0350678913e-21	-2.4460077129e-22	-2.7847668393e-22
  C40	x4y4	5.0543353236e-22	1.6196049150e-21	3.8995189582e-21
  C42	x2 y6	-1.1205770492e-20	-2.4062532838e-20	4.1506251632e-20
  C44	y8	2.1694724585e-21	2.9586095393e-20	-1.1491259381e-19
  C46	x8y	8.4213689375e-27	-8.9827517875e-25	2.0909924066e-24
  C48	x6 y3	-1.7367668878e-24	4.1150494318e-24	-7.8425379783e-24
  C50	x4 y5	-2.3985047039e-23	3.2236798153e-23	8.5843437502e-26
  C52	x2y7	1.7287082428e-24	-1.3290724685e-22	4.4033566923e-22
  C54	y9	-1.2823183278e-23	1.6040369832e-22	1.9095650545e-22
  C55	x10	2.4238747769e-28	5.9096193178e-28	-8.1084224761e-28
  C57	x8 y2	-1.4982322594e-27	-6.5645236630e-27	-1.6423935345e-27
  C59	x6 y4	-2.1390901048e-26	-5.5045862363e-27	-1.0430999339e-25
  C61	x4 y6	1.6681724215e-26	2.9227815738e-25	-1.8895699255e-25
  C63	x2y8	-7.0237136767e-26	-6.7722687188e-25	4.0505828100e-24
  C65	y10	2.4333214003e-26	-2.3808964965e-25	2.3560154932e-23
  C67	x10 y	-1.69180594116-30	5.8570977465e-30	-6.2239027538e-30
  C69	x8 y3	1.8829768076e-29	-3.2613936578e-29	2.8552709311e-29
  C71	x6 y5	1.4690425614e-28	-3.3152880116e-28	-2.4400121243e-29
  C73	x4 y7	-8.0097778566e-30	1.5104915598e-27	-4.2676022696e-27
  C75	x2y9	2.7148958160e-29	-2.1539397256e-28	-1.8896091404e-26
  C77	y11	-6.5704559491e-28	-1.6565619517e-27	8.1614231345e-26
  C78	x12	-1.0712008455e-32	2.4153132799e-33	1.4680669517e-32
  C80	x10 y2	1.6238209942e-32	2.1031045010e-32	5.8354605559e-32
  C82	x8 y4	1.5166353717e-31	2.0972339221e-31	1.3915893190e-30
  C84	x6 y6	-8.6754341381e-32	-2.4841441959e-30	6.8829183770e-30
  C86	x4 y8	-1.1110462694e-30	4.7852615681e-31	-5.4514331977e-29
  C88	x2 y10	-1.8159396617e-30	8.5175413179e-30	-6.6867616452e-28
  C90	y12	-1.2304810888e-30	1.6215783997e-29	-1.7864360072e-27
  C92	x12y	6.3527779161e-36	-1.6974774937e-35	2.2745618876e-35
  C94	x10y3	-2.3849048526e-34	5.3268848016e-36	3.1502174681e-34
  C96	x8y5	-2.2036381819e-33	2.6749960357e-33	2.8708428491e-33
  C98	x6y7	-6.5336046556e-33	-1.6419378208e-33	1.1017588724e-32
  C100	x4y9	-6.3070218917e-33	-1.1596757316e-32	8.5522668869e-32
  C102	x2y11	-1.4693343154e-34	-7.2636980661e-32	-1.7366438020e-30
  C104	y13	1.4976526361e-32	-2.7264782440e-32	-1.0089269760e-29
  C105	x14	5.6308419542e-38	-3.2252557680e-38	-1.1454353459e-37
  C107	X12y2	-1.4108599096e-37	1.0729332416e-37	-4.9647410419e-37
  C109	x10y4	-2.5872606079e-36	-2.4047735053e-36	-9.7328562946e-36
  C111	x8y6	-1.1883017107e-35	6.0191831848e-36	-1.0369036968e-34
  C113	x6 y8	-1.0443291919e-35	3.4710799755e-35	-1.2483255673e-34
  C115	x4y10	2.7590767087e-35	9.4769583335e-35	6.7445152276e-33
  C117	x2y12	1.7266433307e-35	1.8927177921e-34	4.0443316595e-32
  C119	y14	6.7915420727e-35	-6.9613090075e-35	6.5018048380e-32
  C121	x14y	-5.0649726310e-41	2.3769845183e-41	-2.9051580950e-40
  C123	x12y3	5.5259332201e-40	9.5354582017e-40	-4.8209218514e-39
  C125	x10y5	6.3817821378e-39	-7.6767231566e-39	-5.7637625524e-38
  C127	x8y7	3.9909861483e-38	-5.4329932699e-38	-3.0504362990e-37
  C129	x6y9	1.0102156483e-37	-1.7671082312e-37	-1.8703499935e-37
  C131	x4y11	4.2886788351e-38	-1.5958102538e-37	2.6393608717e-35
  C133	x2y13	4.9881331722e-38	1.1218556828e-37	2.1984786100e-34
  C135	y15	-3.1960378941e-37	-9.3528611633e-39	4.8507459279e-34
  C136	x16	-1.4358934165e-43	1.4701033587e-43	4.3882643258e-43
  C138	x14y2	3.9748427477e-43	-1.2195424014e-42	1.4153467198e-42
  C140	x12 y4	1.3749398106e-41	9.6469333394e-42	2.7823982873e-41
  C142	x10 y6	1.0297847080e-40	3.6010638137e-41	5.0247433350e-40
  C144	x8 y8	2.9601396795e-40	1.1763473394e-40	3.6995636298e-39
  C146	x 6 y10	-1.2777609073e-41	4.5950186874e-40	-1.2980567669e-38
  C148	x 4y 12	-5.1048564764e-40	-7.7445091316e-40	-2.8355333367e-37
  C150	x 2y 14	-5.0782162527e-40	-1.3193572817e-39	-9.4257509537e-37
  C152	y16	-1.4579060460e-39	2.0799704512e-39	-1.5038541695e-36
  C154	x16 y	2.0154821528e-46	2.6647580751e-47	1.7361446270e-45
  C156	x14 y3	6.8874602347e-46	-3.4954067719e-45	2.3477810371e-44
  C158	x12 y5	1.9559473702e-44	-1. 9389410142e-44	3.4450346821e-43
  C160	x10 y7	7.1985425649e-44	2.3035504536e-44	3.4866968576e-42
  C162	x8 y9	-2.8996546511e-43	3.7446334389e-43	1.6108654591e-41
  C164	x6 y11	-1.4013647138e-42	5.3208318576e-43	-1.1037996511e-40
  C166	x4 γ13	-1.8193256206e-42	6.1157061180e-43	-2.0351301098e-39
  C168	x 2y15	-1.7091682461e-42	4.7103532526e-42	-8.2550488067e-39
  C170	y17	2.5916836012e-42	-6.1904614785e-42	-1.5401598688e-38
  C171	x18	2.0012595755e-49	-3.5645323616e-49	-6.9586090867e-49
  C173	x16 y2	-2.6735963566e-49	4.0070798473e-48	1.8520254700e-48
  C175	x14 y4	-3.1437136099e-47	-6.4044322083e-48	4.4793398010e-48
  C177	x12 y6	-2.9944153145e-46	-3.0655564683e-47	-3.7032556350e-46
  C179	x10 y8	-1.6660483412e-45	7.3432840763e-47	-7.0773712917e-45
  C181	x 8 y10	-3.2149495209e-45	-1.0382631617e-46	-2.6131092666e-44
  C183	x6 y12	-2.0639664214e-45	-1.3652668732e-46	3.1412245022e-43
  C185	x4y14	1.2286527783e-45	-1.5605497514e-45	1.7551025373e-42
  C187	x2y16	-5.1188906429e-46	2.1531613890e-45	5.7465284774e-43
  C189	y18	1.5227006124e-44	-1.3796309583e-44	8.7976462638e-42
  C191	x18 y	-3.2820014708e-52	-1.8126270057e-52	-2.9917983911e-51
  C193	x16 γ3	-6.6284086455e-51	-1.4583083501e-51	-3.9062227880e-50
  C195	x14 y5	-1.6282458495e-49	2.9648369767e-50	-6.7483675395e-49
  C197	x12 y7	-1.3780473324e-48	2.0776249555e-50	-1.0037974646e-47
  C199	x10y9	-4.5911698188e-48	-8.8282447911e-50	-7.9990423389e-47
  C201	x8y11	-5.4845962701e-48	-6.9971795329e-49	-2.1593654423e-46
  C203	x6y13	7.0379329679e-48	3.0513498842e-48	5.3872983443e-45
  C205	x4y15	1.1819083873e-48	-5.1618223070e-48	3.9160602719e-44
  C207	x2y17	1.8192701726e-47	-1.7356530650e-47	1.1308312031e-43
  C209	y19	-1.2454738189e-47	7.3456802311e-47	2.7995760313e-43
  C210	x20	-1.3790480398e-55	3.6328442047e-55	2.6839428824e-55
  C212	x18y2	-1.2386681712e-54	-3.1444934676e-54	-9.7338901310e-54
  C214	x16y4	-8.8626427437e-54	1.3804123481e-53	-1.1555404922e-52
  C216	x14y6	-2.9238385754e-52	-7.2456197426e-53	-1.9677199453e-51
  C218	x12y8	-1.3197597774e-51	6.7553728490e-53	-2.0738568955e-50
  C220	x10y10	-4.5486200869e-51	7.4420983603e-52	-1.4263767011e-49
  C222	x8y12	1. 9351560669e-51	-2.6267265497e-51	-2.0530374273e-49
  C224	x6y14	2.0461363631e-53	5.0128044498e-51	1.3472678906e-47
  C226	x4y16	1.8658293344e-50	-4.6692918177e-51	7.2276371737e-47
  C228	x2y18	-3.7612810227e-53	2.7593126858e-50	2.3234380683e-46
  C230	y20	-4.7360117086e-50	-8.3509865344e-50	5.6080959191e-46
  3

  Koeffizient Formel effizient Formel		Formel M07	M08	M09
  C7	x2y	2.8532185189e-07	2.4061929143e-07	-4.0775365688e-08
  C9	y3	-4.5488655424e-07	2.2560132539e-07	-2.7379463806e-07
  C10	x4	1.3083632819e-11	5.9615095385e-11	-1.6038386672e-10
  C12	x2y2	-1.0484017643e-09	1.8554389819e-10	-1.0961343130e-09
  C14	y4	1.8996982820e-09	-3.5056498342e-10	3.3765922105e-11
  C16	x4y	-4.6317598744e-13	4.4552157676e-13	-7.9855804676e-13
  C18	x2 y3	3.2314583170e-12	2.8042795574e-12	-7.0220759554e-12
  C20	y5	-4.5588666977e-11	1.8028731397e-12	-1.7398088518e-12
  C21	x6	-1.9124329121e-16	-7.5794191403e-16	2.1893082964e-15
  C23	x 4y2	-3.5839736697e-15	-1.3549434157e-15	-6.5079186813e-15
  C25	x 2y4	-1.7483598425e-13	-1.4728274545e-15	-7.4386360584e-15
  C27	y6	2.3135062742e-14	-4.2680681592e-15	3.6373247624e-15
  C29	x6 y	-6.8891899026e-18	-3.9058789300e-18	3.3130026057e-17
  C31	x 4y3	-2.3313296927e-16	1.1961183241e-17	1.6410032269e-17
  C33	x 2y5	4.7971439136e-16	3.4678894092e-17	-3.6833219506e-17
  C35	y7	-5.6401667395e-16	2.7103550207e-17	-7.9177802849e-17
  C36	x8	-2.4317709323e-21	-5.0437952188e-21	9.2271219909e-20
  C38	x 6y2	-1.0919948308e-19	-3.2698263728e-20	5.8623247451e-19
  C40	x4 y4	1.6814114466e-18	-4.3596330218e-20	4.2800966543e-19
  C42	x2y6	-1.5491795995e-18	-1.1015132994e-19	-3.6707024772e-20
  C44	y8	-1.3330810569e-18	-1.3386882215e-19	1.5567218575e-18
  C46	x8 y	-4.2719693341e-24	-7.7580502574e-23	4.1643168273e-22
  C48	x 6 y3	2.6085179331e-21	-1.7375813191e-22	-1.4473125427e-21
  C50	x4y5	3.0702865156e-22	-3.1489144950e-23	4.5772089645e-22
  C52	x2y7	1.5560608864e-20	-1.7261355830e-22	1.3431030284e-20
  C54	y9	2.0392183142e-19	-9.6136536487e-22	3.8123400770e-21
  C55	x10	2.3667396340e-26	8.1464025681e-26	-1.1266508645e-23
  C57	x 8y2	1.6441834920e-24	-3.5202628796e-25	-7.5082287435e-23
  C59	x 6 y4	2.1973208099e-24	-1.3153022433e-24	-1.1736229718e-22
  C61	x 4y6	7.9295222982e-23	3.2895106760e-25	-5.3608955541e-23
  C63	x 2 y8	1.7951290560e-21	7.7371753570e-24	-4.7093624693e-23
  C65	y10	4.9842221371e-21	1.0332735138e-23	-3.2149245834e-22
  C67	x10 y	3.5006540973e-28	3.5065031645e-27	-2.6452023300e-25
  C69	x8 y3	-7.7978908619e-27	1.0076622074e-26	8.7993705331e-26
  C71	x 6y5	-6.4046109658e-26	2.5775458725e-26	-5.3733599844e-26
  C73	x4 y7	5.1079962282e-24	7.2191087015e-26	-1.6730534114e-24
  C75	x2y9	2.6170987443e-23	1.2558423366e-25	-3.3782577747e-24
  C77	y11	2.9102580743e-23	1.7571604472e-25	-7.7107111005e-25
  C78	x12	-6.1560955854e-31	1.0219202551e-30	5.0482378307e-28
  C80	x10 y2	-1.1960387607e-30	3.0561316671e-29	5.6666965393e-27
  C82	x8 y4	-5.1048098909e-28	5.4323088747e-29	2.0082529763e-26
  C84	x6 y6	5.5428647630e-27	-1.5498400907e-29	2.7970284660e-26
  C86	x4 y8	3.4314118094e-26	-6.6503542465e-28	-3.6124989963e-28
  C88	x2 y10	4.7589780997e-26	-1.6260553985e-27	1.7756985794e-26
  C90	y12	1.0458848866e-25	-1.3207895158e-27	5.8458031137e-26
  C92	x12y	4.0587948695e-33	-5.1246858224e-32	2.4689568452e-29
  C94	x10 y3	-5.5847808284e-31	-2.5653473589e-31	1.4705738347e-29
  C96	x8 y5	5.7044473156e-30	-1.0423853264e-30	5.3209699385e-29
  C98	x6 y7	-9.6738416644e-30	-3.0598206424e-30	2.9827578891e-28
  C100	x4y9	-3.4735527805e-28	-7.4491713306e-30	4.2190642278e-28
  C102	x2y11	-2.8747681291e-28	-1.0436545170e-29	4.9576477196e-28
  C104	y13	2.0091784512e-27	-1.3818919767e-29	4.5090759219e-29
  C105	x14	1.1781180905e-35	-3.9083713694e-35	-4.9461851945e-33
  C107	X12 y2	-5.4539038778e-34	-7.8711283224e-34	-2.1857713698e-31
  C109	x10 y4	1.1388844809e-32	-2.0622400755e-33	-1.7953425704e-30
  C111	x8y6	-1.3059832507e-32	-3.1378843592e-33	-3.5775579951e-30
  C113	x6 y8	-6.6933508266e-31	1.5092584011e-32	-2.0273059312e-30
  C115	x4y10	-3.2309336140e-30	8.7592354477e-32	1.3201409551e-30
  C117	x2 y12	3.0524852836e-30	1.3962418388e-31	-3.1603639681e-30
  C119	y14	3.7956761183e-29	8.8008755619e-32	-6.3449275640e-30
  C121	x14 y	-2.5977239860e-37	2.3806627730e-37	-1.0591625188e-33
  C123	x12 y3	1.0575267671e-35	3.9257057969e-36	-2.5474094459e-33
  C125	x10 y5	2.6567643627e-35	2.8125507809e-35	-9.6488582526e-33
  C127	x8y7	6.0875840438e-35	8.7459906478e-35	-3.7681886641e-32
  C129	x6 y9	-5.9273079296e-34	2.5391347274e-34	-5.3184636610e-32
  C131	x4y11	-1.3672746912e-32	5.1310138045e-34	-4.4608103749e-32
  C133	x2 y13	1.0849430909e-31	5.8686515017e-34	-4.2025206053e-32
  C135	y15	2.9764915885e-31	6.9302136524e-34	-1.8025567635e-33
  C136	x16	-1.4868324706e-40	3.7653743747e-40	-3.1560464586e-37
  C138	x14y2	8.7834773803e-39	8.9644061404e-39	3.2418813074e-36
  C140	x12y4	-1.8186666449e-38	4.0023951750e-38	8.1661025301e-35
  C142	x10 y6	6.3756492177e-37	1.1755288684e-37	1.9899121823e-34
  C144	x8 y8	6.8459558752e-36	-1.1034126525e-37	1.3600982857e-34
  C146	x6y10	3.2110883708e-36	-2.0244401837e-36	-5.2165695173e-35
  C148	x4y12	1.1247220878e-34	-6.1794907074e-36	-1.6512990821e-34
  C150	x2y14	3.5237290155e-34	-7.1439508929e-36	2.9259050293e-34
  C152	y16	2.0412100159e-33	-3.6663623348e-36	4.2570229073e-34
  C154	x16y	3.5226442484e-42	5.5497836943e-43	2.2839312371e-38
  C156	x14y3	-1.5026852629e-41	-3.8158536472e-41	1.5413958473e-37
  C158	x12 y5	3.3477319470e-40	-3.9887675994e-40	7.9539790581e-37
  C160	x10 y7	2.7650671839e-39	-1.3140828354e-39	2.3334766479e-36
  C162	x8 y9	4.4084486895e-38	-3.8485353678e-39	3.9767574485e-36
  C164	x6 y11	9.3779255481e-38	-1.0581937932e-38	3.5652043957e-36
  C166	x4 y13	6.7005164439e-37	-1.7459343209e-38	2.1998520562e-36
  C168	x2 y15	-1.9481519834e-36	-1.7080305021e-38	1.9576582125e-36
  C170	y17	1.5067103633e-35	-1.8882186006e-38	1.7003791706e-38
  C171	x18	1.1221979539e-45	-1.4085648329e-45	1.0372315894e-41
  C173	x16 y2	-2.4987344579e-44	-5.1149337979e-44	5.3677442869e-41
  C175	x14 y4	5.0718481838e-43	-4.5755063411e-43	-1.1527327624e-39
  C177	x12 y6	-3.2815562301e-42	-2.0591370434e-42	-3.1214916410e-39
  C179	x10 y8	-5.1509407425e-42	-1.7230238588e-42	8.1784464444e-40
  C181	x8 y10	3.5116164120e-40	1.9339682054e-41	8.7974704909e-39
  C183	x6 y12	-5.5675766764e-40	9.7907779091e-41	1.2044497627e-38
  C185	x4y14	1.0653260878e-39	2.1108425306e-40	8.1520586649e-39
  C187	x2y16	-1.0983298570e-38	1.9129164959e-40	-1.4028989945e-38
  C189	y18	6.8785966369e-38	8.4563786361e-41	-1.5728602578e-38
  C191	x18 y	-1.1518624015e-47	-4.4828523414e-48	-2.1740971925e-43
  C193	x16 y3	2.0315394054e-46	1.9599228957e-46	-3.3879454955e-42
  C195	x14y5	-6.4205012230e-48	2.3601065742e-45	-2.3066151220e-41
  C197	x12 y7	-3.3816251739e-44	8.6407775058e-45	-6.2922876931e-41
  C199	x10y9	1.3864400870e-43	2.5461795097e-44	-1.0138255795e-40
  C201	x8y11	5.6556487854e-43	8.0865671348e-44	-1.3280183787e-40
  C203	x6 y13	-4.5430668886e-42	1.9148720891e-43	-8.2004783079e-41
  C205	x4y15	4.3211565576e-42	2.6176212924e-43	-4.1371365916e-41
  C207	x2y17	-1.1709452832e-41	2.2262683550e-43	-3.8476398207e-41
  C209	y19	1.4466068136e-40	2.2196599756e-43	-2.2271882894e-43
  C210	x20	-3.3705777825e-51	1.4386485215e-51	-9.8620496373e-47
  C212	x18 y2	4.1063237890e-50	1.4487598721e-49	-2.3864620918e-45
  C214	x16y4	2.0602283424e-49	2.3959764053e-48	-1.6887149782e-44
  C216	x14 y6	-7.6952707431e-48	1.3405885692e-47	-8.3003479966e-44
  C218	x12 y8	6.7434148709e-48	2.1445643794e-47	-2.1132149507e-43
  C220	x10 y10	-4.3109857131e-47	-7.1774905594e-47	-4.1911829806e-43
  C222	x8 y12	1.9038239784e-45	-5.7148856507e-46	-5.7823356428e-43
  C224	x6 y14	-1.7827656291e-44	-1.7808554360e-45	-3.6057237255e-43
  C226	x4y16	4.9013971612e-44	-2.9648434303e-45	-1.3969826714e-43
  C228	x2 y18	-6.2817784985e-44	-2.1971707475e-45	2.7717101754e-43
  C230	y20	1.5418141526e-43	-8.6665502153e-46	2.5029080864e-43
  5

  Koeffizient Formel		M10	M11
  C7	x2 y	-7.2276737044e-07	-2.4248080633e-09
  C7	x2 y	-7.2276737044e-07	-2.4248080633e-09
  C9	y3	1.9638509950e-06	-1.4305723378e-08
  C10	x4	5.0808365188e-10	-3.4891057205e-11
  C12	x2y2	-1.7891952861e-09	-4.1226513952e-11
  C14	y4	4.8797105713e-09	-9.3842893895e-12
  C16	x4 y	6.3443179564e-13	2.4639110383e-15
  C18	x2y3	-6.7510879913e-12	-2.7467789312e-14
  C20	y5	1.6934828510e-11	-1.5841059563e-14
  C21	x6	6.0031216870e-16	-4.1195863300e-17
  C23	x4y2	7.8746683626e-15	-1.2654186546e-16
  C25	x2y4	-1.8385869467e-15	-1.0456897452e-16
  C27	y6	-1.8162554696e-14	-2.0913982009e-17
  C29	x6 y	-2.5732812724e-18	2.2085057294e-20
  C31	x4y3	-5.7262753994e-18	-1.8340026815e-20
  C33	x2y5	2.5523191940e-16	-5.6120704673e-20
  C35	y7	-1.9776822082e-16	-2.4068607957e-20
  C36	x8	2.1656616935e-21	-5.3982002538e-23
  C38	x6y2	1.2120348738e-20	-2.4513523640e-22
  C40	x4y4	-4.0136050357e-19	-3.8244309182e-22
  C42	x2y6	1.8604813320e-18	-2.1623999236e-22
  C44	y8	2.7525380464e-18	-2.4940745372e-23
  C46	x8 y	-3.9215936758e-23	-1.3699844890e-26
  C48	x6 y3	-8.0907144792e-23	-2.6534478957e-26
  C50	x4y5	-5.2010074072e-21	-1.2536237464e-25
  C52	x2y7	-9.8472719893e-21	-7.6433497369e-26
  C54	y9	4.3222807965e-20	-1.9624141924e-26
  C55	x10	-2.7063992998e-26	-1.7061257537e-28
  C57	x8y2	-5.2088640305e-26	-1.6898653635e-28
  C59	x6 y4	4.5584719607e-24	-2.5546907646e-28
  C61	x4 y6	9.7234119869e-24	-1.5222655233e-28
  C63	x2y8	-2.5517771215e-22	-4.7277118356e-29
  C65	y10	1.9120767833e-22	-1.2966557212e-28
  C67	x10 y	1.0748577806e-27	-1.1629516838e-31
  C69	x8 y3	1.2112738929e-26	5.7921120419e-31
  C71	x6 y5	8.3396543785e-26	5.1751297365e-31
  C73	x4 y7	6.9099031223e-25	-2.5052559500e-31
  C75	x2y9	-1.5269027299e-24	-6.6525823213e-31
  C77	y11	9.5275101506e-25	-1.3845191117e-31
  C78	x12	5.1324714334e-31	1.6217846426e-34
  C80	x10 y2	-4.1863924845e-30	-2.8531164120e-33
  C82	x8 y4	-5.9117693811e-29	-8.4313905777e-33
  C84	x6 y6	-7.2176695692e-28	-1.3408705049e-32
  C86	x4 y8	3.4633870187e-27	-1.0947672929e-32
  C88	x2y10	-1.7777593668e-27	-4.2396896726e-33
  C90	y12	9.6429480815e-27	-2.8461887992e-35
  C92	x12y	-1.7419522218e-32	1.3211537763e-36
  C94	x10 y3	-2.9799864782e-31	-3.7321108569e-36
  C96	x8 y5	-1.8080862900e-30	-6.2596404479e-36
  C98	x6 y7	-1.3241203559e-29	-3.1613991441e-36
  C100	x4 y9	-1.1295117391e-29	3.0361530620e-36
  C102	x2y11	3.3947340077e-29	4.0363212334e-36
  C104	y13	2.8666964681e-29	4.7449512649e-37
  C105	x14	-4.1912696608e-36	2.5463300051e-40
  C107	x12 y2	1.2914077639e-34	1.2470487570e-38
  C109	x10 y4	1.3778416995e-33	4.2293719038e-38
  C111	x8y6	1.2866380630e-32	8.8592526989e-38
  C113	x6 y8	1.7929207751e-32	1.0403567494e-37
  C115	x4y10	-6.9295317615e-32	6.6253480276e-38
  C117	x2y12	3.3870166074e-31	2.1244018299e-38
  C119	y14	-1.2188516752e-31	1.0931298861e-39
  C121	x14 y	1.6199803773e-37	-3.5768466511e-42
  C123	x12 y3	3.5738089682e-36	1.5757224374e-41
  C125	x10 y5	2.7881061370e-35	3.0834397969e-41
  C127	x8y7	1.6208683570e-34	2.6203475383e-41
  C129	x6 y9	6.1821159066e-34	-1.1373659475e-41
  C131	x4y11	-4,3142066811e-35	-3.7747472707e-41
  C133	x2 y13	3.5353866934e-34	-2.4666182874e-41
  C135	y15	-6.1412086537e-34	-2.9874286186e-42
  C136	x16	1.7789636824e-41	-3.5633844409e-45
  C138	X14y2	-1.6155206861e-39	-4.5190113713e-44
  C140	x12y4	-2.1787447722e-38	-1.8099911204e-43
  C142	x10 y6	-1.6106847823e-37	-4.5331724107e-43
  C144	x8 y8	-7.6059659185e-37	-6.7659997014e-43
  C146	x6y10	-3.1549731203e-37	-6.1159560424e-43
  C148	x4y12	-4.2255473754e-36	-3.1933036470e-43
  C150	x2y14	-1.6786920618e-35	-8.9575491912e-44
  C152	y16	-4.4462414083e-36	-7.9962525726e-45
  C154	x16y	-8.1056676173e-43	4.4438171432e-48
  C156	x14y3	-2.1815592502e-41	-3.1151609316e-47
  C158	x12 y5	-2.1707761152e-40	-7.6121134541e-47
  C160	x10 y7	-1.2509965264e-39	-9.6884401166e-47
  C162	x8 y9	-6.4571773694e-39	-1.5141299973e-47
  C164	x6 y11	-1.1973201547e-38	1.0970530041e-46
  C166	x4 y13	-1.6202865522e-38	1.3634023968e-46
  C168	x2 y15	-7.5298545113e-38	6.5246445126e-47
  C170	y17	-3.7613593583e-38	7.6119197318e-48
  C171	x18	-2.3565753881e-47	7.0626229884e-51
  C173	x16 y2	9.7297211471e-45	7.8301002345e-50
  C175	x14 y4	1.6578794527e-43	3.6575530185e-49
  C177	x12 y6	1.2962653200e-42	1.0713115655e-48
  C179	x10 y8	7.3590298746e-42	1.9455618251e-48
  C181	x8y10	1.7175825509e-41	2.2708022765e-48
  C183	x6 y12	2.6569320431e-41	1.6773586147e-48
  C185	x4 y14	1.4226823554e-40	7.4753331851e-49
  C187	x2 y16	3.1791841821e-40	1.8778515863e-49
  C189	y18	6.5811411857e-43	1.8691141350e-50
  C191	x18 y	1.6749669005e-48	-1.9020917199e-54
  C193	x16y3	5.3819887429e-47	2.6820434340e-53
  C195	x14y5	6.5154622602e-46	7.8952011078e-53
  C197	x12 y7	4.2644921531e-45	1.3405840259e-52
  C199	x10 y9	2.4097270566e-44	5.3791720190e-53
  C201	x8y11	7.8996070218e-44	-1.4529698574e-52
  C203	x6 y13	1.6412324123e-43	-2.8034797399e-52
  C205	x4y15	8.5286782455e-43	-2.2168110670e-52
  C207	x2y17	2.8108673555e-42	-8.3707388950e-53
  C209	y19	8.0790804290e-43	-9.8854298058e-54
  C210	x20	-3.3629356813e-53	-5.9249813053e-57
  C212	x18 y2	-2.2797468564e-50	-6.8774697517e-56
  C214	x16 y4	-4.7952282029e-49	-3.6673570884e-55
  C216	x14y6	-4.4134777356e-48	-1.2085621357e-54
  C218	x12 y8	-2.7082181692e-47	-2.5573208652e-54
  C220	x10 y10	-9.7650194659e-47	-3.6529054057e-54
  C222	x8 y12	-1.9029804017e-46	-3.4990964992e-54
  C224	x6 y14	-1.6322286974e-46	-2.2054155436e-54
  C226	x4 γ16	1.1092548814e-45	-8.7188486858e-55
  C228	x2y18	5.1507216625e-45	-2.0064846492e-55
  C230	y20	1.8460550265e-45	-2.0161870178e-56

  Tabelle 5 zur Projektionsoptik 7 aus Fig. 2a:

  Koordinaten des Blendenrandes
  xi [mm]	yi [mm]	xi+N/2 [mm]	yi+N/2 [mm]
  -301.691108	145.979568	220.840885	-251.284488
  -312.171692	139.990663	248.290035	-233.816847
  -329.140258	128.511928	266.755827	-219.842735
  -345.609747	114.537815	279.731788	-209.362150
  -353.095879	106.552608	289.713297	-200.378792
  -359.084784	99.565552	305.184636	-184.907453
  -366.071841	90.083118	317.162447	-171.931492
  -373.058897	78.105308	327.643031	-158.955530
  -379.546878	64.131195	335.628238	-148.474946
  -384.038557	50.656158	349.602351	-127.513777
  -387.532085	35.683894	356.589407	-115.535966
  -389.528387	20.212556	366.071841	-97.070175
  -390.027462	13.724575	375.554274	-74.112704
  -390.027462	-4.242141	380.045953	-60.637667
  -389.528387	-12.726424	385.535783	-39.676498
  -387.033009	-31.192215	387.532085	-28.696838
  -383.539481	-48.160781	389.528387	-13.225499
  -380.045953	-60.637667	390.027462	-3.243990
  -374.556123	-76.608081	390.027462	14.223650
  -369.565369	-89.084967	389.528387	20.711631
  -363.576463	-102.060929	387.532085	35.683894
  -357.088483	-114.537815	385.535783	45.166328
  -351.099577	-125.018400	382.541330	55.646912
  -339.121766	-143.484191	379.047802	65.129346
  -324.648579	-162.948134	375.055199	74.112704
  -312.171692	-177.421322	367.569067	87.587741
  -289.713297	-200.378792	359.084784	99.565552
  -279.731788	-209.362150	346.108823	114.038740
  -263.761374	-222.338112	336.626389	122.523022
  -250.286337	-232.319621	320.655975	134.500833
  -224.833489	-248.789111	301.691108	145.979568
  -215.351056	-254.278940	290.711448	151.469398
  -197.384339	-263.761374	274.241958	158.955530
  -173.428718	-274.741034	254.278940	166.441662
  -156.959228	-281.229015	238.807602	171.432416
  -132.005456	-289.713297	213.354754	178.419472
  -114.038740	-294.704052	178.419472	185.905604
  -93.077571	-299.694806	151.469398	190.397283
  -77.107157	-302.689259	106.053533	195.887113
  -57.144139	-305.683712	66.127497	198.881566
  -31.192215	-308.179089	28.696838	200.378792
  -7.236594	-309.177240	-28.197763	200.378792
  7.236594	-309.177240	-46.164479	199.879717
  31.192215	-308.179089	-82.097911	197.883415
  64.131195	-304.685561	-120.526721	194.389887
  82.596987	-301.691108	-157.957379	189.399132
  98.068325	-298.696655	-186.404680	184.408378
  118.031343	-293.705901	-217.347357	177.421322
  138.493437	-287.716995	-246.792809	168.937039
  160.951832	-279.731788	-265.258600	162.449058
  175.924095	-273.742883	-275.240109	158.456455
  191.395434	-266.755827	-287.716995	152.966625

• Bei 3a handelt es sich um eine Projektionsoptik 11 mit insgesamt acht Spiegeln, von denen vier als normal-incidence Spiegel und vier als grazing incidence Spiegel ausgeführt sind. Tabelle 1 zur Projektionsoptik 11 aus Fig. 3a:

  Numerische Apertur	0,75
  Verkleinerungsfaktor in x-Richtung	0,250
  Verkleinerungsfaktor in y-Richtung	-0,114
  Hauptstrahlwinkel	5,50°
  Mittlerer Wellenfront-RMS	6,87 mλ
  Transmission	7,70 %
  Object-Image-Shift	1981,74 mm
  Abstand Wafer-vorletzter Spiegel	70 mm
  Obskuration	22,4 %
  Bounding Box	1300 mm x 3088 mm x 2263 mm

  Tabelle 2 zur Projektionsoptik 11 aus Fig. 3a:

  Radien der Flächen
  	Radiusx [mm]	Powerx [1/mm]	Radiusy [mm]	Powery [1/mm]
  M01	-3689.86177464	0.00052901	-1889.42699031	0.00103311
  M02	2262.82803946	-0.00011284	18970.07022923	-0.00001346
  M03	9289.99315567	-0.00007790	-4145.35851898	0.00017459
  M04	-2781.52934966	0.00071116	-1634.09969128	0.00121052
  M05	-66228.84296239	0.00000890	57980.90482880	-0.00001016
  M06	20296.78796403	-0.00001267	-10074.33166421	0.00002552
  M07	4607.97616416	-0.00038954	434.68724528	-0.00412939
  M08	-984.23726449	0.00201689	-851.26294444	0.00233194

  Tabelle 3 zur Projektionsoptik 11 aus Fig. 3a:

  Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen
  	Dx [mm]	Dy [mm]	Dz [mm]
  Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
  M01	0.000000000	-215.495043511	2238.001595668
  M02	0.000000000	-570.064547548	1090.549078471
  M03	0.000000000	-1180.350914725	570.109066363
  M04	0.000000000	-3044.361576313	258.680581926
  M05	0.000000000	-2368.480962084	687.516145920
  M06	0.000000000	-2030.4655354 71	1113.526237736
  M07	-0.000000000	-1775.493177437	2381.352572167
  Blende	-0.000000000	-1799.080518072	2304.006588682
  M08	0.000000000	-1981.747071377	1705.019003181
  Wafer	-0.000000000	-1981.750996952	2497.592638799

  	αx [°]	αy[°]	αz [0]
  Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
  M01	-5.835726662	0.000000000	0.000000000
  M02	56.642714131	180.000000000	0.000000000
  M03	204.970966472	0.000000000	0.000000000
  M04	-69.060233763	180.000000000	0.000000000
  M05	221.982213560	0.000000000	0.000000000
  M06	65.099441448	180.000000000	0.000000000
  M07	-14.165305433	-0.000000000	-0.000000000
  Blende	3.082253291	180.000000000	-0.000000000
  M08	-8.479631987	180.000000000	-0.000000000
  Wafer	0.000283783	-0.000000000	0.000000000

  Tabelle 4 zur Projektionsoptik 11 aus Fig. 3a:

  Freiformkoeffizienten der Flächen
  Koeffizient	Formel	M01	M02	M03
  C7	x2 y	3.9664864304e-08	6.2055423613e-09	-1.1664650656e-07
  C9	y3	1.1045629451e-09	-1.3685039357e-07	5.0942985965e-08
  C10	x4	1.7726692614e-11	-4.2291488739e-11	-7.7971336916e-11
  C12	x2y2	2.4620783833e-11	-1.5070109961e-10	5.4145270950e-11
  C14	y4	-1.7868222013e-11	2.2949722748e-10	-1.3548376981e-12
  C16	x4y	1.7074574712e-14	1.3694280350e-13	5.7964800377e-14
  C18	x2y3	1.3630323002e-14	1.5247912631e-13	2.8014537833e-14
  C20	y5	-6.2700372245e-14	-1.2085266994e-12	-5.1630442224e-14
  C21	x6	1.4962804236e-17	-1.2611303104e-16	-9.8706120538e-17
  C23	x4y2	2.4197049221e-17	-2.8587966469e-16	1.4190136454e-17
  C25	x2y4	7.4055298794e-17	-1.5927431834e-17	-1.7204279550e-16
  C27	y6	-9.0556677762e-17	5.2186461472e-15	1.3043537193e-16
  C29	x6 y	-8.6149869147e-21	1.0703352441e-19	1.8461596673e-19
  C31	x4 y3	-1.6385881134e-20	5.1382075616e-19	-1.9974994625e-19
  C33	x2y5	5.7357245908e-20	-3.5720112725e-18	3.8590192262e-19
  C35	y7	-1.9219901140e-19	-1.4876540285e-17	4.0737832415e-19
  C36	x8	-2.5350813751e-24	-6.4073682498e-22	-2.6237229725e-23
  C38	x6y2	-3.3572632366e-23	2.2261437236e-22	-3.0312148285e-22
  C40	x4 y4	-3.7915462826e-22	-1.1097556559e-21	3.2794041434e-22
  C42	x2y6	9.3749923165e-22	2.4164873484e-20	1.4613379930e-21
  C44	y8	1.9166580897e-21	1.5681796957e-20	5.8145282726e-22
  C46	x8 y	3.9258913875e-26	1.6677324438e-24	2.6768156456e-26
  C48	x6 y3	-1.2266158092e-25	-4.3011792692e-24	1.3309136322e-25
  C50	x4y5	-3.0713642221e-25	-1.9012113015e-23	8.3934582291e-25
  C52	x2y7	9.3299290004e-24	-8.5481625873e-23	-4.0235974399e-24
  C54	y9	6.2497173471e-24	-1.0076883167e-22	-7.4365199849e-25
  C55	x10	3.3021902780e-29	7.8705825888e-27	4.8384775287e-28
  C57	x8y2	9.3919897258e-28	4.6884464602e-27	4.9905868933e-29
  C59	x6 y4	9.5452863382e-27	5.8964599175e-26	3.0740068878e-27
  C61	x4 y6	2.9385272024e-26	1.1944333777e-25	2.9322819934e-27
  C63	x2 y8	-2.7963147244e-26	-2.0527567448e-25	5.4272894367e-26
  C65	y10	-1.0971768970e-25	1.8370235595e-24	2.7581455650e-26
  C67	x10 y	-1.9317514726e-31	-1.6338495986e-29	-1.4952974970e-30
  C69	x8 y3	2.4550580645e-31	6.4001166686e-29	4.5356690234e-30
  C71	x6 y5	1.6667635239e-29	1.8024186267e-28	4.3069853822e-29
  C73	x4 y7	-5.6933443116e-29	6.2804071719e-28	2.7265072802e-28
  C75	x2y9	-8.0026705242e-28	1.6248367164e-27	4.5837023777e-28
  C77	y11	-7.9389382555e-28	-1.0768757560e-26	5.7193284117e-29
  C78	x12	-2.9852448203e-34	-2.7674830986e-32	-2.2105103719e-33
  C80	x10 y2	-8.8613571441e-33	-6.5502438464e-32	-2.0543789034e-33
  C82	x8 y4	-1.2071464115e-31	-9.1918193521e-31	1.4116944767e-32
  C84	x6 y6	-6.4446367789e-31	-2.9712495921e-30	3.6677856214e-31
  C86	x4 y8	-1.2231375293e-30	-2.0296693129e-30	-2.6824236079e-31
  C88	x2y10	1.0644328418e-30	2.2040482092e-29	-3.5978371022e-30
  C90	y12	3.2700914419e-30	2.9427716513e-29	-3.4391806760e-30
  C92	x12y	1.6876732821e-36	1.8985325314e-35	1.2087177200e-35
  C94	x10 y3	3.6637199170e-36	-6.1638833092e-34	-1.0880682011e-35
  C96	x8 y5	-9.4278695533e-35	-3.3181807092e-33	-1.3540012059e-34
  C98	x6 y7	-5.1385809247e-34	-1.0570183788e-32	-2.4927237785e-33
  C100	x4 y9	4.5008639763e-33	-4.4485963436e-32	-1.5806617912e-32
  C102	x2y11	3.0176109024e-32	-2.1094761773e-31	-3.4942943877e-32
  C104	y13	2.7360883594e-32	-1.9921035218e-32	-1.5088204103e-32
  C105	x14	1.3881896314e-39	3.5685987973e-38	7.3296297351e-39
  C107	x12 y2	4.6848990951e-38	5.8271069137e-37	2.5128752682e-38
  C109	x10y4	7.5193796292e-37	8.6831667968e-36	-1.3179184807e-38
  C111	x8 y6	6.1180573141e-36	4.4709083266e-35	-4.1962512541e-36
  C113	x6 y8	2.1191002541e-35	9.1281763302e-35	-2.2067328831e-35
  C115	x4y10	3.3200878604e-35	1.8296825291e-34	-1.3867933484e-35
  C117	x2y12	-9.9290243986e-36	3.6272836091e-34	5.2399072970e-35
  C119	y14	-4.1883091920e-35	-3.5117585872e-34	8.2299026873e-35
  C121	x14 y	-6.9307066555e-42	2.4855488479e-40	-4.6411241968e-41
  C123	x12 y3	-2.6494616783e-41	3.1956997008e-39	1.2068609299e-40
  C125	x10 y5	7.5957361796e-41	1.9868423491e-38	-4.3804039799e-40
  C127	x8y7	2.8461488989e-39	9.3511865077e-38	-1.2305966184e-38
  C129	x6 y9	1.0245097841e-39	2.0540743098e-37	3.1127239566e-38
  C131	x4y11	-1.1284015896e-37	5.3584395940e-37	4.0473661977e-37
  C133	x2 y13	-5.6961243590e-37	2.5225734553e-36	1.0170314653e-36
  C135	y15	-4.3547148498e-37	2.6412018607e-36	5.0457678658e-37
  C136	x16	-3.6439774609e-45	-1.5984693428e-43	-1.3028864809e-44
  C138	X14y2	-1.3161405399e-43	-2.6404000112e-42	-5.1771423606e-44
  C140	x12y4	-2.4059399466e-42	-3.8883173012e-41	-1.9513683039e-43
  C142	x10 y6	-2.5072152548e-41	-2.8276083994e-40	5.3122445462e-42
  C144	x8 y8	-1.3395462785e-40	-8.7831340365e-40	9.2566044483e-41
  C146	x6y10	-3.5147113550e-40	-1.1559106071e-39	3.7733428276e-40
  C148	x4y12	-5.1065276334e-40	-4.2540756895e-39	8.5249561669e-40
  C150	x2y14	-3.2629694036e-40	-1.3919168206e-38	7.6999450965e-40
  C152	y16	-5.3937006908e-42	-8.9784947111e-39	-2.7456337260e-40
  C154	x16 y	9.0556099491e-48	-5.1042612211e-46	6.2908267208e-47
  C156	x14y3	5.5899410166e-47	-6.5745362795e-45	-5.3691243814e-46
  C158	x12 y5	2.2711276662e-46	-4.9753431263e-44	-1.7371104867e-45
  C160	x10 y7	-2.1342930323e-45	-3.2190115168e-43	7.1916152687e-44
  C162	x8 y9	-2.0535904468e-44	-1.3335193119e-42	3.9603994342e-43
  C164	x6y11	7.9646881418e-44	-2.3332197593e-42	1.0355687111e-43
  C166	x4 y13	9.7005315946e-43	8.0391837581e-42	-4.3319926708e-42
  C168	x2 y15	4.3198666300e-42	2.6816703361e-41	-1.0665168742e-41
  C170	y17	2.2454045636e-42	1.4889097355e-41	-5.3297460523e-42
  C171	x18	4.1872349782e-51	5.4820086405e-49	1.0589952876e-50
  C173	x16y2	1.5039378574e-49	5.4752404715e-48	-2.5213744367e-50
  C175	x14y4	3.0846997272e-48	7.1812639805e-47	-1.5476848231e-48
  C177	x12y6	3.8747955413e-47	6.7163150949e-46	4.9641949310e-48
  C179	x10 y8	2.6861711567e-46	3.2071454862e-45	1.4187222151e-46
  C181	x8 y10	1.0794113751e-45	7.6631344165e-45	2.5896772316e-46
  C183	x6y12	2.3600289824e-45	8.5992025295e-45	-1.3984080841e-45
  C185	x4 y14	3.3824867926e-45	-4.6051479192e-45	-1.3159179846e-44
  C187	x2y16	5.9366602831e-45	-1.8967619610e-44	-2.0871517822e-44
  C189	y18	1.3124851518e-45	-9.7358055589e-45	-8.0348459291e-45
  7

  Koeffizient Formel		M04	M05	M06
  C7	x2 y	-1.1889462116e-08	1.0803014811e-07	-1.5574183556e-08
  C9	y3	-1.5175697959e-07	4.3360348778e-09	5.3980081958e-08
  C10	x4	-9.7892441339e-13	2.7740619699e-11	8.2621358927e-11
  C12	x2y2	7.4870553983e-12	-1.4171540184e-10	-4.9728632987e-11
  C14	y4	-6.4586744649e-10	5.7196640861e-11	-1.0886295127e-10
  C16	x4 y	-4.2366437961e-15	-8.1278683426e-14	2.1492040193e-13
  C18	x2y3	-7.2734591451e-14	2.1057968845e-13	2.3034720713e-13
  C20	y5	-2.6020653763e-12	-1.2521389455e-13	2.4782937547e-14
  C21	x6	8.5999864319e-19	-3.1563552296e-17	-1.0941821814e-16
  C23	x4y2	-1.4881512436e-18	1.4616074314e-16	-7.7105511856e-17
  C25	x2y4	-2.1194936878e-16	-4.3449855554e-16	8.2094305722e-16
  C27	y6	-9.8302217171e-15	3.6207067553e-16	6.3094888352e-16
  C29	x6 y	-2.6433521307e-22	5.9772657790e-20	-3.3092440447e-19
  C31	x4y3	-5.5564149907e-20	-2.1731266213e-19	-4.4090423322e-18
  C33	x2y5	-9.9017470705e-19	9.4786522341e-19	-4.7426364304e-18
  C35	y7	-2.3777070226e-17	-5.1535348926e-19	6.9723762339e-18
  C36	x8	6.6813877252e-25	-5.2215224448e-23	-3.4739652762e-21
  C38	x6 y2	8.6440640368e-25	3.3675018090e-23	4.8123988276e-21
  C40	x4 y4	-1.2673964184e-22	4.9033896043e-22	4.6492412183e-21
  C42	x2 y6	-6.8134578758e-21	-2.7551997096e-21	-7.0688634875e-20
  C44	y8	1.2854629917e-19	7.0686436876e-22	-8.9714560391e-20
  C46	x8y	1.6763878105e-27	-1.2254482577e-26	1.1603989325e-22
  C48	x6 y3	-2.7075044736e-26	-3.5558404940e-25	2.1320450004e-22
  C50	x4 y5	-3.5075243593e-24	9.3166539883e-26	4.2001644961e-22
  C52	x2y7	-1.1830246799e-22	1.2188584117e-23	5.6186066009e-22
  C54	y9	-2.6980748707e-22	-2.3829220559e-23	-1.2883611668e-23
  C55	x10	-1.1582252478e-30	8.4610577686e-28	2.4644341252e-25
  C57	x8 y2	-8.2897175732e-30	-1.1581364502e-27	5.5456411541e-25
  C59	x6 y4	-1.4407421655e-27	2.8315688802e-27	4.6686712286e-25
  C61	x4 y6	-4.6157453258e-26	-3.7557856277e-27	-8.2889130963e-25
  C63	x2y8	-4.6106556973e-25	-5.0016852954e-26	2.9905817085e-24
  C65	y10	-5.5399535762e-24	3.2078052289e-26	4.7069245023e-24
  C67	x10 y	-9.6284071855e-33	3.2051161267e-31	-1.1854523257e-26
  C69	x8 y3	-3.2356105780e-32	-1.1437837778e-30	-3.1055605090e-26
  C71	x6 y5	4.4119639162e-30	-1.5412277126e-29	-9.7498319337e-27
  C73	x4 y7	3.9091741188e-28	-8.4281499833e-29	-2.8016099673e-26
  C75	x2y9	6.9479390089e-27	1.5778014480e-28	-3.9176969581e-26
  C77	y11	6.0198776726e-26	1.2414625561e-27	-1.8566866418e-26
  C78	x12	3.6349419194e-36	-6.6921373350e-33	-2.4421538154e-29
  C80	x10 y2	4.1729286790e-35	2.2546804714e-32	-5.5220516976e-29
  C82	x8 y4	5.7724338021e-33	-1.5770461456e-32	-1.9207176835e-28
  C84	x6 y6	3.2018718641e-31	4.0411357406e-32	-2.6781274778e-30
  C86	x4 y8	6.1575436610e-30	1.0254323778e-30	1.0521727248e-28
  C88	x2y10	-5.5814158629e-30	5.9913658247e-31	-7.5255205721e-30
  C90	y12	-4.2953518841e-28	-4.5568375622e-30	-9.3353989747e-29
  C92	x12y	1.4006338500e-38	5.1222870885e-36	5.2407289746e-31
  C94	x10 y3	-1.0440574764e-37	1.9320249815e-35	2.6685224840e-30
  C96	x8 y5	-6.6131517009e-36	2.4565309591e-34	1.2741390086e-30
  C98	x6 y7	-1.1419505524e-33	2.5004499588e-34	8.1396825647e-33
  C100	x4 y9	-5.7680409840e-32	-3.2102003843e-33	1.0137747949e-30
  C102	x2y11	-9.1987881432e-31	-9.6518164408e-33	1.3359390234e-30
  C104	y13	-6.2198470157e-30	-2.7944107970e-32	8.7749131060e-31
  C105	x14	-5.9120494565e-42	3.8300053718e-38	1.1728499580e-33
  C107	x12 y2	-2.4093007298e-40	-3.1199325629e-37	2.9405516875e-33
  C109	x10 y4	-1.6284601898e-38	-5.2657846642e-37	1.4813918263e-32
  C111	x8y6	-1.0410299806e-36	-3.1296272281e-37	1.1209030741e-32
  C113	x6 y8	-4.2233158742e-35	-5.2350385460e-36	-6.2500433413e-34
  C115	x4y10	-6.1447694539e-34	-1.5849663524e-35	-5.9130605065e-33
  C117	x2 y12	-8.2369651293e-34	3.0993794759e-35	-4.0625084492e-33
  C119	y14	2.9199912939e-32	1.8492992593e-34	-1.1391763535e-33
  C121	x14y	-2.7071762133e-44	-3.7321581238e-41	-1.4173430277e-35
  C123	x12 y3	3.6256378412e-44	1.1064940629e-39	-1.1250757036e-34
  C125	x10 y5	1.4600372340e-42	-6.9750245073e-40	-1.0425115590e-34
  C127	x8 y7	9.0782831568e-40	4.5229033687e-39	5.2578461470e-36
  C129	x6 y9	1.0003019700e-37	6.8798542950e-39	1.0533190311e-35
  C131	x4 y11	3.7988957797e-36	2.4731227245e-37	-8.6703778059e-36
  C133	x2 y13	5.4947553803e-35	-4.2224002766e-38	-1.2987048831e-35
  C135	y15	1.1253528568e-34	1.4804530732e-37	-1.1082931599e-35
  C136	x16	3.8678720059e-48	-1.1066670268e-43	-2.8587141582e-38
  C138	x14 y2	7.0383260333e-46	1.1902940737e-42	-1.3539989281e-37
  C140	x12 y4	2.6890733666e-44	1.6670323365e-42	-6.5422751577e-37
  C142	x10 y6	1.6949956574e-42	4.8333599106e-42	-6.4919823692e-37
  C144	x8y8	8.6606310347e-41	-3.9949984749e-41	-3.1738838058e-37
  C146	x6 y10	2.6604897748e-39	1.5072458274e-40	1.0403073986e-39
  C148	x4 y12	3.2831967592e-38	-1.4250525172e-39	1.2195426274e-37
  C150	x2 y14	1.5039394485e-37	4.7788437190e-40	1.0255180160e-37
  C152	y16	9.6283082192e-37	-3.8433868056e-39	5.5383752125e-38
  C154	x16 y	2.8828707289e-50	-2.4136997923e-47	1.6634061863e-40
  C156	x14 y3	3.8846436889e-49	-6.7483325986e-45	1.7338050560e-39
  C158	x12 y5	1.9371977941e-48	-7.4424023720e-45	2.3172617240e-39
  C160	x10 y7	8.6604124188e-47	5.3436583245e-45	2.5345306257e-40
  C162	x8y9	5.6778591913e-44	1.0505376916e-43	-3.4292687512e-40
  C164	x6 y11	3.3978522403e-42	-7.0101093965e-43	-3.5483627028e-40
  C166	x4 y13	9.7554605682e-41	4.0255034003e-42	-2.7773437364e-40
  C168	x2 y15	1.3327520563e-39	-2.6303587217e-42	-2.2741514003e-40
  C170	y17	3.1013408614e-39	1.1593642183e-41	-1.0382269805e-40
  C171	x18	6.0549491816e-55	1.2769287730e-49	2.8050935096e-43
  C173	x16 y2	6.4388733863e-52	2.6348258796e-50	2.3670096589e-42
  C175	x14 y4	2.2559491999e-50	1.2478527944e-47	1.1808940965e-41
  C177	x12 y6	1.0586155072e-48	-1.0684278379e-47	1.1559775439e-41
  C179	x10 y8	6.6358098091e-47	1.4015976604e-47	8.5438875348e-42
  C181	x8 y10	2.6873632528e-45	-1.5206483006e-46	4.2300134143e-42
  C183	x6 y 12	6.4520861904e-44	1.0064641931e-45	9.6529658727e-43
  C185	x4 y14	7.4232686951e-43	-4.5512086095e-45	1.7865928108e-43
  C187	x2 y16	5.6717504267e-42	4.0984120054e-45	1.7941238276e-43
  C189	y18	2.8018721209e-41	-1.1626854779e-44	7.3214094903e-44

  Koeffizient Formel		M07	M08
  C7	x2 y	5.8591450504e-07	6.2879666942e-09
  C9	y3	4.5919571917e-08	6.4928885423e-09
  C10	x4	3.0278887945e-10	-2.8734281770e-12
  C12	x2y2	2.0192601662e-09	-4.31105688376-11
  C14	y4	4.2968825080e-09	-1.61068182006-11
  C16	x4 y	1.0166565410e-12	-5.3467978515e-15
  C18	x2 y3	6.6903130116e-12	4.4723393341e-15
  C20	y5	-5.7693430208e-12	7.4075084342e-15
  C21	x6	1. 1549252169e-16	-3.4436357830e-18
  C23	x4 y2	7.4131307107e-15	-7.5631170879e-17
  C25	x2 y4	1.9117910572e-14	-9.2557541833e-17
  C27	y6	5.4648984188e-14	-2.5313062887e-17
  C29	x6 y	3.9397452144e-18	-1.1592200297e-20
  C31	x4 y3	2.6328937160e-17	-4.5478542013e-21
  C33	x2 y5	5.1636896863e-17	1.5123239423e-20
  C35	y7	-2.0310963665e-16	9.5012100765e-21
  C36	x8	1.8030046938e-21	-3.9699292308e-24
  C38	x6 y2	2.5061459131e-20	-1.0402613623e-22
  C40	x4 y4	1.9000433399e-19	-2.1349820462e-22
  C42	x2 y6	1. 794 7789498e-19	-1.5351425534e-22
  C44	y8	1. 2389426842e-18	-3.5266942201e-23
  C46	x8 y	-2.3071811289e-25	-2.2416267429e-26
  C48	x6 y3	1.9548830734e-22	-2.6571944691e-26
  C50	x4 y5	2.8100207761e-22	-2.1107662863e-27
  C52	x2 y7	1.5069274432e-21	1.5767740531e-26
  C54	y9	1.0958365245e-20	-8.0678812181e-28
  C55	x10	-9.8175603540e-27	-4.5973070743e-29
  C57	x8y2	-6.6086006917e-26	-1.8092104893e-28
  C59	x6y4	-2.2348322146e-24	-5.4700475971e-28
  C61	x4y6	-1.4759069386e-23	-6.6438338438e-28
  C63	x2y8	-2.6540756738e-24	-3.5713190043e-28
  C65	y10	-6.5278658257e-24	-6.3593818199e-29
  C67	x10y	8.4168331196e-29	3.2941515726e-32
  C69	x8y3	-1.7286122351e-27	7.9387144461e-33
  C71	x6y5	-1.4552605266e-26	1.9531209160e-31
  C73	x4y7	8.5340131769e-26	2.1706816849e-31
  C75	x2y9	-6.8117633536e-26	1.3994351444e-31
  C77	y11	-3.2507739915e-24	1.2078665261e-31
  C78	x12	2.1293167785e-31	7.5260308471e-35
  C80	x10y2	4.6368980127e-30	2.8192976246e-34
  C82	x8y4	7.6024915925e-29	1.1330392042e-33
  C84	x6y6	8.8457127676e-28	2.0989464381e-33
  C86	x4y8	4.1247639513e-27	1.8562198360e-33
  C88	x2y10	2.3757563727e-27	5.9691356170e-34
  C90	y12	1.1089271540e-26	4.5744656230e-35
  C92	x12y	-1.2604194133e-33	3.1684120565e-39
  C94	x10y3	5.1355957130e-32	-2.9159696579e-37
  C96	x8y5	8.2393492464e-31	-1.5508371008e-36
  C98	x6 y7	1.3982933836e-30	-1.9605953330e-36
  C100	x4y9	-1.6219115973e-29	-1.0416816736e-36
  C102	x2y11	3.9337972715e-29	-3.7313911597e-37
  C104	y13	3.8969203040e-28	-5.0880055559e-37
  C105	x14	-3.0923202678e-36	-3.6069628073e-40
  C107	x12y2	-7.0307384216e-35	-3.3045202834e-39
  C109	x10y4	-1.0921920569e-33	-1.3712397510e-38
  C111	x8y6	-1.6322206821e-32	-3.1311521401e-38
  C113	x6y8	-1.5355218039e-31	-4.0343661112e-38
  C115	x4y10	-5.5099552525e-31	-2.7046699845e-38
  C117	x2 y12	-3.9201412334e-31	-7.7727790672e-39
  C119	y14	-1.6186247279e-30	-7.5873752781e-40
  C121	x14y	2.3592624001e-38	-2.5976423847e-43
  C123	x12y3	-5.9757351513e-37	6.3110496223e-43
  C125	x10y5	-1.5793966354e-35	6.5950868037e-42
  C127	x8y7	-8.1031033444e-35	1.1943555705e-41
  C129	x6y9	1.5242878696e-34	9.8383872705e-42
  C131	x4 y11	1.4504685420e-33	4.0945090538e-42
  C133	x2y13	-6.9250390502e-33	1.0912763666e-42
  C135	y15	-3.0767389213e-32	1.5502629017e-42
  C136	x16	3.2009425124e-41	1.0799106135e-45
  C138	x14y2	7.7609203072e-40	1.1587702096e-44
  C140	x12y4	1.0547926042e-38	5.4288895239e-44
  C142	x10y6	1. 7117284509e-37	1.4944350369e-43
  C144	x8y8	2.3247824741e-36	2.5051834895e-43
  C146	x6y10	1.6583891722e-35	2.4631259253e-43
  C148	x4y12	4.5579699659e-35	1.3235487993e-43
  C150	x2y14	4.0309377092e-35	3.1286597406e-44
  C152	y16	1.4017713731e-34	2.6154787466e-45
  C154	x16y	-2.1322017114e-43	4.4423168097e-49
  C156	x14y3	4.3802377386e-42	-1.1675627061e-48
  C158	x12y5	1.7963885593e-40	-1.7823882665e-47
  C160	x10y7	1.4604963485e-39	-4.3728662892e-47
  C162	x8y9	1.4855904233e-39	-4.3650115366e-47
  C164	x6y11	-2.5669508766e-38	-2.0560188697e-47
  C166	x4y13	-5.3146362249e-38	-1.9519133867e-48
  C168	x2y15	5.5888272702e-37	1.7460467076e-48
  C170	y17	1.4308525784e-36	-2.1142995515e-48
  C171	x18	-2.0895154564e-46	-2.3186639035e-51
  C173	x16y2	-5.4698631430e-45	-2.8149892927e-50
  C175	x14y4	-5.4986476975e-44	-1.5117151055e-49
  C177	x12y6	-8.0198336512e-43	-4.7856613581e-49
  C179	x10y8	-1.7307390353e-41	-9.6982155825e-49
  C181	x8y10	-1.9805613309e-40	-1.2438181640e-48
  C183	x6y12	-1.0524507553e-39	-9.8032783691e-49
  C185	x4y14	-2.2943340563e-39	-4.4276608240e-49
  C187	x2y16	-2.5970624312e-39	-9.2847726577e-50
  C189	y18	-6.9069422647e-39	-7.2445661309e-51
  C191	x18y	1.0394509825e-48	-5.0430730055e-55
  C193	x16y3	-1.5409800965e-47	5.6286971050e-55
  C195	x14y5	-1.0494220255e-45	2.4848826121e-53
  C197	x12y7	-1.2490997499e-44	8.1634388312e-53
  C199	x10y9	-3.7707200126e-44	1.1147560465e-52
  C201	x8 y11	1.6598876440e-43	6.6618136336e-53
  C203	x6y13	1.2757418511e-42	6.7694998903e-54
  C205	x4y15	2.0573595298e-43	-1.7599605070e-53
  C207	x2y17	-2.1853498739e-41	-1.0941714729e-53
  C209	y19	-3.5169008901e-41	5.6179001778e-55
  C210	x20	7.8471602375e-52	2.6936340216e-57
  C212	x18y2	2.3362586035e-50	3.7085309618e-56
  C214	x16y4	1.4776050341e-49	2.2376576894e-55
  C216	x14y6	5.9602463710e-50	7.9831432866e-55
  C218	x12y8	4.7355798579e-47	1.8795286333e-54
  C220	x10y10	1.0639407840e-45	2.9528626694e-54
  C222	x8y12	9.0867560848e-45	3.0494331341e-54
  C224	x6y14	3.6195308132e-44	2.0078799656e-54
  C226	x4y16	6.7188688213e-44	7.8434370610e-55
  C228	x2y18	9.6719304247e-44	1.4756858954e-55
  C230	y20	1. 7971593619e-43	1.0388955136e-56
  C232	x20y	-2.0590142635e-54	2.1222781504e-61
  C234	x18y3	2.2772383448e-53	-7.3512550517e-61
  C236	x16y5	2.5547168047e-51	-1. 7905602422e-59
  C238	x14y7	4.1784264203e-50	-6.7940598131e-59
  C240	x12y9	2.2651281241e-49	-11438670506e-58
  C242	x10y11	-1.7281537318e-49	-9. 1321121036e-59
  C244	x8y13	-6.1917057952e-48	-1.1798516165e-59
  C246	x6y15	-2.1096821938e-47	3.9720900576e-59
  C248	x4y17	2.0766851928e-47	3.8838255906e-59
  C250	x2y19	3.3743329001e-46	1.6267270291e-59
  C252	y21	3.2201734386e-46	1.5043212354e-60
  C253	x22	-1.2848945662e-57	-1.5048535995e-63
  C255	x20y2	-4.3804338774e-56	-2.3438373946e-62
  C257	x18y4	-1.0956227257e-55	-1. 5738453319e-61
  C259	x16y6	9.1567525089e-54	-6.2705704939e-61
  C261	x14y8	4.6866683148e-53	-1.6688456532e-60
  C263	x12y10	-1.7190809823e-51	-3.0649519500e-60
  C265	x10y12	-2.6806942562e-50	-3.8818410032e-60
  C267	x8y14	-1.6741473721e-49	-3.3483242387e-60
  C269	x6y16	-5.2364624394e-49	-1.9026855291e-60
  C271	x4y18	-9.0258252309e-49	-6.6441940854e-61
  C273	x2 y20	-1.5656504955e-48	-1.1764046265e-61
  C275	y22	-1.7575245240e-48	-8.0461244359e-63

  Tabelle 5 zur Projektionsoptik 11 aus Fig. 3a:

  Koordinaten des Blendenrandes
  xi [mm]	yi [mm]	xi+N/2 [mm]	yi+N/2 [mm]
  -375.785573	-120.600951	348.818901	71.162052
  -371.790511	-127.592311	338.331862	82.647857
  -363.800386	-140.076881	326.846057	93.634279
  -349.817667	-158.554046	311.864572	106.618232
  -335.335565	-174.534296	304.373830	112.610826
  -327.844822	-182.025038	287.394814	125.095397
  -314.361486	-194.509609	274.410860	133.584905
  -302.376298	-204.497265	259.928759	142.573796
  -286.396048	-216.482453	237.456532	155.058366
  -271.414564	-226.969492	227.468875	160.052194
  -251.938633	-238.954680	203.498500	171.038616
  -227.468875	-252.438016	179.528124	180.526890
  -212.986773	-259.429376	165.545405	185.520718
  -194.010226	-267.918884	151.562686	190.015164
  -160.551577	-280.403454	134.084288	195.008992
  -130.588608	-289.392345	116.605889	199.503437
  -98.628107	-296.883087	95.631810	203.997883
  -68.665138	-301.876916	71.661435	207.992945
  -46.692294	-304.373830	50.687356	210.489859
  -17.728090	-306.371361	25.218832	212.487391
  17.228707	-306.371361	8.739199	212.986773
  34.707106	-305.372595	-10.736731	212.986773
  57.678716	-303.375064	-24.220067	212.487391
  79.152177	-300.378767	-45.693528	210.989242
  96.131193	-297.382470	-68.165755	208.492328
  112.610826	-293.886790	-98.128724	203.498500
  132.586139	-288.892962	-120.600951	198.504672
  163.547874	-279.404689	-143.073178	192.512078
  187.518250	-270.415798	-154.558983	189.016398
  206.494797	-262.425673	-183.523187	179.028742
  236.957149	-247.444188	-211.488625	167.542937
  259.429376	-234.460235	-225.471344	161.050960
  277.407157	-222.974430	-243.948508	151.562686
  287.894197	-215.483688	-259.928759	142.573796
  297.382470	-208.492328	-276.907775	132.086756
  311.365189	-197.006523	-290.890494	122.598483
  318.356549	-191.013929	-304.373830	112.610826
  336.334330	-173.535530	-314.361486	104.620701
  345.822604	-163.048491	-327.345440	93.134896
  355.810260	-151.063304	-345.323221	75.157115
  362.801620	-141.575030	-356.809026	61.673778
  371.291128	-128.591077	-363.800386	52.185505
  382.776933	-106.618232	-369.293597	44.195380
  387.770761	-93.634279	-376.284956	32.709575
  390.767058	-84.645388	-382.776933	19.725621
  394.762120	-67.666372	-388.769527	4.744137
  396.260269	-55.681185	-392.265206	-7.241051
  396.759652	-48.190442	-394.762120	-18.726856
  396.759652	-37.703403	-396.260269	-30.212661
  395.760886	-24.719450	-396.759652	-37.204020
  393.763355	-13.233645	-396.759652	-48.190442
  390.767058	-1.747840	-396.260269	-56.180567
  388.270144	6.242285	-394.262738	-69.663904
  383.276316	18.726856	-391. 765824	-81.149709
  376.784339	31.710809	-386.771995	-96.630576
  370.292362	42.697231	-383.775698	104.121318
  358.307174	59.676247

• Bei 4a handelt es sich um eine Projektionsoptik 12 mit insgesamt neun Spiegeln, von denen drei als normal-incidence Spiegel und sechs als grazing incidence Spiegel ausgeführt sind. Tabelle 1 zur Projektionsoptik 12 aus Fig. 4a:

  Numerische Apertur	0,75
  Verkleinerungsfaktor in x-Richtung	-0,250
  Verkleinerungsfaktor in y-Richtung	-0,125
  Hauptstrahlwinkel	5,50°

  Tabelle 2 zur Projektionsoptik 12 aus Fig. 4a:

  Radien der Flächen
  	Radiusx [mm]	Powerx [1/mm]	Radiusy [mm]	Powery [1/mm]
  M01	-3486.28243986	0.00056059	-1766.40692175	0.00110642
  M02	2369.93311258	-0.00007260	4906.80225378	-0.00003507
  M03	4389.12570925	-0.00013087	-3614.17172875	0.00015893
  M04	-16782.42570130	0.00002821	-6988.74667041	0.00006774
  M05	-1952.45480809	0.00016281	53943.63267445	-0.00000589
  M06	-1254.94617921	0.00046323	12859.59130175	-0.00004521
  M07	-3857.10189695	0.00009200	-12121.45037338	0.00002927
  M08	3011.82967387	-0.00059603	419.64055323	-0.00427778
  M09	-959.84488570	0.00206727	-859.26405830	0.00230925

  Tabelle 3 zur Projektionsoptik 12 aus Fig. 4a:

  Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen
  	Dx [mm]	Dx [mm]	Dz [mm]
  Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
  M01	0.000000000	-345.24556211	3 1913.482180940
  M02	0.000000000	-548.90139617	2 760.290710030
  M03	-0.000000000	-899.095821501	6 350.889638881
  M04	0.000000000	-2237.44938771	64 -329.143585485
  M05	0.000000000	-3622.2461653	13 -373.468283476
  M06	0.000000000	-4132.2319797	80 -64.977368863
  M07	0.000000000	-4660.2397142	59 632.885856819
  M08	0.000000000	-5011.7642123	28 2410.053273405
  Blende	0.000000000	-4991.4224686	85 2307.213544746
  M09	0.000000000	-4874.0603620	72 1713.877623750
  Wafer	0.000000000	-4814.0354254	35 2507.483578368

  	αx [°]	αy [°]	αz [°]
  Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
  M01	0.106220844	0.000000000	0.000000000
  M02	244.72081441	62 0.000000000	-0.000000000
  M03	218.1962834	14 -0.000000000	-0.000000000
  M04	194.3844814	74 -0.000000000	-0.000000000
  M05	165.3317590	27 -0.000000000	-0.000000000
  M06	137.9707977	77 -0.000000000	-0.000000000
  M07	114.1500415	08 -0.000000000	-0.000000000
  M08	11.18870304	0 0.000000000	-0.000000000
  Blende	172.1090205	91 -0.000000000	-0.000000000
  M09	183.4316663	09 -0.000000000	-0.000000000
  Wafer	-4.325370423	3 0.000000000	180.000000000

  Tabelle 4 zur Projektionsoptik 12 aus Fig. 4a:

  Freiformkoeffizienten der Flächen
  Koeffizient Formel M01			M02	M03
  C2	y	2.4183195098e-03	-2.6134959608e-02	6.4323763267e-03
  C7	x2y	2.5309837790e-08	-2.8600701612e-08	-2.1182530091e-07
  C9	y3	-8.6682753157e-08	-1.8180749743e-09	1.3136293930e-08
  C10	x4	4.6764314472e-12	7.7762519316e-11	5.1264392056e-12
  C12	x2y2	1.3674742125e-10	-2.1050960978e-11	1.2130069053e-10
  C14	y4	2.5547947289e-10	-9.7787642390e-10	1.1501852017e-11
  C16	x4y	-1.8821786926e-14	2.2203349884e-13	5.8403900821e-14
  C18	x2y3	-2.8937633590e-13	5.0097482198e-13	-3.0081746329e-15
  C20	y5	-1.6337256541e-12	-4.5222731772e-12	2.2913769739e-14
  C21	x6	4.6006625315e-18	-4.2390177775e-17	-2.0175026598e-16
  C23	x4y2	5.0400651154e-17	1.1768414977e-15	-1.8818786273e-17
  C25	x2y4	1.8068377419e-16	-2.3312386073e-15	1.1006226432e-16
  C27	y6	9.1925099653e-15	-8.8441729582e-15	-4.0373510404e-16
  C29	x6y	-9.9691078937e-21	5.0379612318e-19	3.2924840953e-19
  C31	x4y3	4.5325211023e-19	1.3111819581e-17	5.0392582534e-20
  C33	x2y5	8.0166138803e-19	-8.2289294180e-17	-3.1056995445e-18
  C35	y7	-3.7452262094e-17	1.1646244229e-17	-7.2863516967e-19
  C36	x8	-6.1545363263e-24	7.2026470105e-22	1.6171281423e-21
  C38	x6y2	3.3002430812e-22	5.7140558572e-21	1.8788996873e-22
  C40	x4x4	4.1222433024e-21	1.9259194213e-19	-3.0274484120e-21
  C42	x2y6	1.2156298564e-20	-7.6134979435e-19	3.1291091908e-20
  C44	y8	9.0374219894e-20	1.0536976895e-19	9.4000357214e-20
  C46	x8y	-2.7773625350e-26	-9.3954405466e-25	-2.0192667103e-24
  C48	x6y3	-1.1146607416e-23	-3.7028485380e-24	-3.0459881911e-24
  C50	x4y5	-9.6596403438e-23	1.9788449526e-21	8.2320296311e-23
  C52	x2y7	-1.6511725874e-22	-3.7136084466e-21	-1.1670374595e-22
  C54	y9	3.7733566425e-23	1.7181200123e-22	-1.4279933000e-21
  C55	x10	2.0219211610e-28	5.7410791808e-28	-1.6175476519e-26
  C57	x8 y2	-2.9118226489e-27	-5.0115519425e-26	-8.7409540432e-27
  C59	x6y4	7.6618358586e-26	-7.4621080786e-25	-1.1261623515e-26
  C61	x4y6	5.9734337633e-25	1.2771559399e-23	-1.3869559945e-24
  C63	x2y8	1.4666169111e-25	-9.4966020317e-24	-1.6510318783e-24
  C65	y10	-9.5184017793e-25	-1.5151055209e-25	1.1233098883e-23
  C67	x10 y	-1.5565945765e-30	2.6228618507e-29	2.9421127201e-29
  C69	x8y3	2.4607272284e-28	5.7761504003e-28	8.1576558681e-29
  C71	x6y5	5.1220193744e-28	-7.8258857987e-27	-4.0079674532e-28
  C73	x4y7	-3.9907667505e-28	4.7881440639e-26	1.1123285985e-26
  C75	x2y9	6.0418820574e-27	-7.0832530992e-27	2.6419453610e-26
  C77	y11	5.3435940014e-28	-3.4276423005e-28	-4.8713357492e-26
  C78	x12	-4.1731325239e-33	-7.8578016911e-32	1.0192813630e-31
  C80	x10yz	-1.1968533115e-31	1.4739797894e-30	1.0615054211e-31
  C82	x8y4	-3.8375741786e-30	1.2218849731e-29	4.3572394230e-31
  C84	x6 y6	-8.7956399131e-30	-4.1996775292e-29	1.8599128026e-29
  C86	x4y8	-1.2566190787e-29	7.8082054550e-29	-2.2702095755e-29
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  C328	x22 y3	3.1391229369e-67	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C330	x20 y5	9 .4860306238e-66	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C332	x18 y7	-4.7032196678e-65	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C334	x16 y9	-5.7513547056e-65	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C336	x14 y11	4.8850116112e-64	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C338	x12 y13	-3.4519833198e-64	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C340	x10 y15	1.3807902353e-64	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C342	x8 y17	5.3804763444e-64	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C344	x6 y19	1.6380192153e-63	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C346	x4 y21	1.1600173834e-63	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C348	x2 y23	2.7320915331e-65	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  C350	y25	3.1018259247e-66	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
  Koeffizient Formel M04			M05	M06
  C2	y	-1.2528805854e-02	7.7445895160e-03	3.4729233624e-02
  C7	x2y	-3.8710302301e-08	5.8453671340e-08	-1.3279259410e-07
  C9	y3	3.8640894048e-09	2.2995071308e-08	1.1113054625e-07
  C10	x4	-7.5248068213e-12	4.8977868890e-12	3.0116759195e-11
  C12	x2y2	3.6168632644e-11	4.0999880081e-11	-2.4848162064e-10
  C14	y4	-4.8240621889e-12	1.9105987874e-11	1.5835369415e-10
  C16	x4 y	-2.3612132340e-14	4.0910255015e-14	9.6493538820e-14
  C18	x2y3	-1.5363533663e-14	-4.9290366110e-14	-4.9842630111e-13
  C20	y5	7.1041126340e-14	-1.5094513465e-13	2.4736593103e-13
  C21	x6	5.3974790713e-18	9.4842666280e-18	-1.7445683173e-17
  C23	x4y2	2.6242213584e-17	-1.4587170146e-16	4.5233682714e-16
  C25	x2y4	-5.2392932071e-17	-6.3211052716e-16	-9.1668442880e-16
  C27	y6	-4.1388707403e-16	-9.5757734804e-16	4.3959415056e-16
  C29	x6 y	4.1844481041e-21	-1.0565584212e-19	-1.9370695589e-19
  C31	x4 y3	-3.1168691743e-19	-3.9122639081e-19	1.1487011424e-18
  C33	x2y5	-4.7759950205e-20	-3.4569441825e-18	-5.3410136961e-19
  C35	y7	1.4693441731e-18	-2.4131732891e-18	1.5134397345e-17
  C36	x8	1.5940296677e-23	-4.4144663685e-23	3.7625717858e-23
  C38	x6y2	1.5021629042e-22	1.9459630704e-22	-8.1948863572e-22
  C40	x4y4	2.2658649887e-21	-3.2701759697e-22	2.2014036116e-21
  C42	x2y6	1.7991761138e-21	-9.9075440178e-21	9.6926674690e-21
  C44	y8	-3.1831667011e-21	-9.5284970514e-22	1.7086342961e-19
  C46	x8 y	8.5284021485e-26	1.1003178182e-25	3.2552735575e-25
  C48	x6 y3	4.2808551563e-25	3.6427924595e-24	-2.3414773385e-25
  C50	x4y5	-7.6446693269e-24	9.2827895279e-24	1.2044352823e-23
  C52	x2y7	-7.8633817403e-24	-1.9949817954e-23	-4.5967078855e-22
  C54	y9	3.4418417603e-24	1.1097155362e-23	-1.0006987363e-21
  C55	x10	-1.0018031835e-28	1.4802872872e-28	-1.1614652231e-28
  C57	x8y2	-2.5047395581e-27	1.4656996250e-27	2.3837464742e-27
  C59	x6y4	-1.1193056343e-26	2.7932694307e-26	3.0292053672e-26
  C61	x4y6	8.9597191930e-27	3.9197891202e-26	4.2843704197e-26
  C63	x2y8	1.4790370956e-26	-4.0428341149e-26	-1.0800142908e-23
  C65	y10	5.2887989870e-28	2.8921805588e-26	-3.5665679096e-23
  C67	x10y	5.4452694818e-31	8.7723986678e-31	-1.1367893511e-30
  C69	x8y3	1.4240099980e-29	1.2418385144e-29	-1.2866838701e-29
  C71	x6y5	5.3636163445e-29	1.0934334379e-28	-2.7608858518e-28
  C73	x4y7	1.3167682960e-29	1.5904621632e-29	2.4047739667e-27
  C75	x2y9	-6.8881405078e-30	-6.8290738175e-29	-5.1686724983e-26
  C77	y11	-5.3757178536e-30	1.2802765679e-29	-2.4572460633e-25
  C78	x12	1.5245676814e-34	-6.4470179536e-34	3.0827461579e-34
  C80	x10yz	4.3271631174e-33	3.7587917898e-33	-1.3599270431e-32
  C82	x8y4	-2.8421699518e-32	9.2838387476e-32	-5.7129619089e-31
  C84	x6y6	-1.0723045370e-31	1.1084522619e-31	-7.6164643714e-30
  C86	x4y8	-4.0378683059e-32	-1.3289686704e-31	8.4294969397e-29
  C88	x2y10	-1.7792228258e-32	-6.2366427757e-32	7.0494740538e-28
  C90	y12	2.4033260709e-33	-3.4750922280e-32	2.9574973515e-28
  C92	x12y	-3.3942967123e-36	-6.4380319922e-36	3.0501320549e-36
  C94	x10y3	-4.5805771593e-35	7.0056258345e-35	-1.8219279755e-35
  C96	x8y5	-5.0861895909e-36	1.9232873663e-34	-2.1030813256e-33
  C98	x6y7	5.3205805679e-35	-3.4936020630e-34	-1.9202299246e-32
  C100	x4y9	-2.9580590111e-36	1.3456044662e-34	7.2823186868e-31
  C102	x2y11	1.8244521951e-35	-2.1760741047e-34	1.0151570056e-29
  C104	y13	5.5682427876e-36	1.4376194950e-34	1.1777796929e-29
  C105	x14	3.7202547978e-40	1.7278940326e-39	-4.1948637734e-40
  C107	x12y2	8.6781993443e-39	2.4113667319e-38	4.9468596835e-38
  C109	x10y4	1.41307524108e-37	1.9247595109e-37	2.5467223029e-36
  C111	x8y6	5.3331222183e-38	-1.0826021807e-37	6.4076370316e-35
  C113	x6y8	1.1869182603e-37	-5.1070978063e-37	4.0998936662e-34
  C115	x4y10	6.3575719079e-38	7.2748689168e-37	-2.4152907806e-33
  C117	x2y12	2.2149702702e-38	-4.0575196794e-37	4.3562926605e-32
  C119	y14	-4.8250203679e-39	5.8561565876e-37	4.4492522061e-32
  C121	x14y	5.41955158641e-42	4.6809480011e-41	-3.5547147595e-42
  C123	X12y3	3.8217079356e-41	1.2994723633e-40	4.1949563767e-40
  C125	x10y5	-1.6478042347e-40	-1.6568205122e-40	3.3594896446e-38
  C127	x8y7	1.3496102786e-40	9.8220984007e-41	7.5853668320e-37
  C129	x6y9	-1.0040570650e-40	1.3641569041e-40	2.5938834508e-36
  C131	x4y11	-2.8.0929150523e-41	-1.5167673564e-40	-7.3720892548e-35
  C133	x2y13	6261428943e-41	5.6173653685e-40	-1.9807277392e-36
  C135	y15	6.0058163235e-43	6.6097837174e-41	-9.4117064114e-35
  C136	x16	-1.4803962505e-45	2.7839437457e-45	9.2007896243e-47
  C138	x14y2	-3.3903749104e-44	1.9828359083e-43	-7.7895424168e-44
  C140	x12y4	-2.2270143563e-43	-8.6706718825e-45	2.4277105751e-43
  C142	x10y6	2.3060040368e-44	-5.2695874855e-43	1.2722886543e-40
  C144	x8y8	-5.1396516137e-43	1.5749348760e-42	2.1489586032e-39
  C146	x6y10	-1.7307363243e-43	-5.7412323117e-43	-3.7396684056e-39
  C148	4y12	-2.9885213403e-43	-1.8847821755e-42	-4.2355185167e-37
  C150	x2y14	-3.8378722757e-44	1.4519580080e-42	-3.9631025300e-37
  C152	y16	-8.5789649226e-45	-2.0582245579e-42	-9.0857276151e-37
  C154	x16y	6.5466740425e-49	-3.1167106271e-47	-1.0389065179e-48
  C156	x14y3	6.1521636917e-47	3.5808071608e-46	-5.7823230179e-46
  C158	x12y5	3.6925038157e-46	-1.2243453250e-46	-2.6596475647e-44
  C160	x10y7	-8.0078075897e-47	4.4287259272e-46	-5.2093733757e-43
  C162	x8y9	3.7871211893e-46	-1.7358191461e-46	-1.2263353541e-41
  C164	x6y11	1.2280486889e-46	8.2699410068e-46	-7.2302459519e-41
  C166	x4y13	8.6342881328e-47	-4.3290229607e-45	-5.4561681698e-40
  C168	x2y15	6.0487139404e-47	-3.2839737034e-46	1.1217563478e-39
  C170	y17	1.5353591587e-47	-3.5678574152e-45	-2.1971923973e-41
  C171	x18	7.5367290347e-52	-6.7363050576e-51	3.6657203991e-52
  C173	x16y2	1.2564480150e-50	-2.2761263083e-49	7.1665726422e-50
  C175	x14y4	2.6854178846e-50	6.6855036909e-49	-3.2113755579e-48
  C177	x12y6	-1.8597380191e-49	1.2805202298e-48	-2.2442446141e-46
  C179	x10y8	5.0837853259e-49	-2.6726047791e-48	-5.6979374942e-45
  C181	x8y10	3.7845410826e-49	1.0905216635e-48	-1.0753880426e-43
  C183	x6y12	3.6104270144e-49	1.8174988739e-48	-2.0292161304e-43
  C185	x4y14	4.0590031648e-49	-5.9403377803e-48	3.7515319658e-42
  C187	x2y16	5.5720614802e-52	-2.4451814824e-48	1.4719944394e-41
  C189	y18	-5.1937662997e-51	-3.1971760197e-48	1.3872656651e-41
  C191	x18y	-1.9052782918e-54	-1.9859976443e-53	6.6525898815e-54
  C193	x16y3	-5.0902055749e-53	-5.9911037387e-52	9.4026672252e-53
  C195	x14y5	-1.5778159825e-52	2.4188991852e-51	-2.0750143141e-50
  C197	x12y7	-1.0646684439e-52	-1.5145088076e-51	-7.0050331906e-49
  C199	x10y9	-6.8102906593e-52	-1.9545864229e-51	-1.4639623314e-47
  C201	x8y11	-7.4018607700e-52	3.4143195617e-51	-3.1351701247e-46
  C203	x6y13	-5.2323340614e-52	-1.2959945990e-51	-2.0131233573e-46
  C205	x4y15	-4.7694500668e-52	-2.9668807249e-51	1.6489536373e-44
  C207	x2y17	-3.6483400867e-53	-1.8356363838e-51	4.1897863826e-44
  C209	y19	-4.3693122376e-54	-2.6190158701e-51	4.3547985764e-44
  C210	x20	8.4688927194e-58	3.1472133606e-57	-2.4406794986e-58
  C212	x18y2	1.1229204192e-56	-5.4447936407e-56	-5.7013165880e-56
  C214	x16 y4	3.9834761631e-56	-3.2103913380e-55	-2.5146342715e-54
  C216	x14y6	1.4505598199e-55	2.1854819023e-54	-7.9178374996e-53
  C218	x12y8	1.4619341693e-55	-4.3698429354e-54	-5.0073981039e-52
  C220	x10 y10	3.5096598826e-55	5.6566436065e-54	-3.1102758902e-51
  C222	x8y12	3.9331076268e-55	-5.5225078774e-54	-4.0591416986e-49
  C224	x6 y14	2.2235259236e-55	4.5836120790e-54	-4.5747696329e-49
  C226	x4y16	1.7363139842e-55	-3.7337510238e-54	2.2604161853e-47
  C228	x2y18	1.6195978603e-56	1.2175777066e-54	4.1049092591e-47
  C230	y20	2.2693722141e-57	-2.1878233249e-54	4.7782409568e-47
  C232	x20y	-3.6586085665e-60	2.6981603257e-60	-5.3286365016e-60
  C234	x18y3	- 2.9091073540e-60	-1.5497609068e-59	-2.7311451599e-58
  C236	x16 y5	-5.2039371922e-60	6.9392627326e-60	-7.5326227793e-57
  C238	x14y7	-5.2380168952e-59	1.7004344120e-60	-1.1056316754e-55
  C240	x12y9	-4.5802846444e-59	1.2198019026e-58	7.8396719535e-55
  C242	x10y11	-5.9937283023e-59	5.1768164805e-59	2.3332062689e-53
  C244	x8y13	-6.3024359579e-59	-2.9958733896e-58	-2.0013710262e-52
  C246	x6 y15	-1.6693775559e-59	1.9713055874e-58	-1.1693109321e-51
  C248	x4y17	-7.3784558652e-60	9.4308983763e-59	6.9016548972e-51
  C250	x2y19	-4.5093457762e-61	1.1442132021e-58	1.3694710886e-51
  C252	y21	2.5181784325e-61	-6.1621979903e-58	1.0176518371e-50
  Koeffizient Formel M07			M08	M09
  C2	y	-7.8446494187e-03	-4.4306971181e-03	1.6594953981e-03
  C7	x2y	-6.9416100795e-09	-2.7624484613e-07	2.5401450650e-08
  C9	y3	3.8449931211e-08	1.2636412860e-06	1.9839003582e-08
  C10	x4	-3.7076334723e-12	4.0658163182e-10	-8.9053426021e-12
  C12	x2y2	-1.1218808555e-10	1.8333942565e-09	-4.0866741995e-11
  C14	y4	-2.4806937215e-11	7.3000159311e-09	-1.7884091212e-11
  C16	x4 y	8.8752130285e-14	-3.6590941781e-13	1.9789360796e-14
  C18	x2y3	2.8955328576e-14	-2.8805310103e-12	3.5175493413e-14
  C20	y5	2.3848612627e-14	2.6683775501e-11	1.6499230515e-14
  C21	x6	-1.4781134690e-17	7.2045616203e-16	-1.3298670517e-17
  C23	x4y2	-2.5567301877e-17	6.1329295531e-15	-7.9420381455e-17
  C25	x2y4	-9.7816747866e-17	1.8964387033e-14	-9.2963520665e-17
  C27	y6	-3.5880399094e-17	1.7145749650e-13	-2.9648289124e-17
  C29	x6 y	1.2285489035e-19	-2.1624921334e-18	1.5564316251e-20
  C31	x4 y3	1.9662748570e-19	-2.6540687917e-18	5.7645892729e-20
  C33	x2y5	2.0647197293e-19	-3.2240458918e-17	5.5830283305e-20
  C35	y7	5.4410786947e-20	9.4583301204e-16	2.0111995195e-20
  C36	x8	2.1000486268e-22	-3.8982750815e-22	-3.4418978824e-23
  C38	x6y2	2.5961955370e-22	2.1487695909e-20	-1.2010718681e-22
  C40	x4y4	-4.2662898224e-22	2.0809077804e-19	-2.2377830865e-22
  C42	x2y6	-2.3674796296e-22	5.4557566367e-20	-1.5900839678e-22
  C44	y8	-2.5787854832e-23	5.4626707702e-18	-3.6076329303e-23
  C46	x8 y	-1.0292234488e-24	3.3793864832e-23	2.8016847145e-26
  C48	x6 y3	1.0266038308e-24	3.1973087756e-24	8.0197094525e-26
  C50	x4y5	-1.8138047788e-24	1.5121992937e-22	1.2670255151e-25
  C52	x2y7	-1.4636711983e-24	-1.9688336057e-21	9.7239352746e-26
  C54	y9	-2.2796345069e-26	2.2799533627e-20	2.1022720095e-26
  C55	x10	-1.2746450052e-26	2.8452928004e-26	1.7708597689e-29
  C57	x8y2	-2.5980699176e-26	4.0523621739e-25	-1.7156700283e-28
  C59	x6y4	-1.4246024797e-26	4.2171005734e-24	-4.5386706623e-28
  C61	x4y6	9.8011272654e-27	1.8339321263e-23	-5.5851133029e-28
  C63	x2y8	1.4495704133e-27	4.8982106887e-23	-3.4397115809e-28
  C65	y10	-5.1387942263e-28	9.3069900562e-23	-6.5671203149e-29
  C67	x10y	3.9954182561e-29	-1.9245505582e-27	-2.1374440788e-32
  C69	x8y3	-2.6089734203e-29	-7.6786794692e-27	7.1275425778e-32
  C71	x6y5	7.5466035966e-29	1.1773714267e-26	1.9847604531e-31
  C73	x4y7	5.9706264569e-29	2.4914393678e-25	2.7402812945e-31
  C75	x2y9	3.1426219168e-29	9.8818058751e-25	1.1049650951e-31
  C77	y11	1.8930526971e-30	8.3142895730e-25	1.3068049247e-33
  C78	x12	3.7272265501e-31	-1.7679679996e-31	-9.6745012321e-35
  C80	x10y2	1.0983593746e-30	-1.5460387732e-29	-3.7039254458e-34
  C82	x8y4	1.4121639658e-30	-2.3269099716e-28	-8.1788621789e-34
  C84	x6y6	-1.0671709849e-31	-1.3210353662e-27	-6.7912287575e-34
  C86	x4y8	-4.3909577302e-31	-3.2102441511e-27	8.4150919567e-35
  C88	x2y10	-1.0219718974e-31	-1.4949145134e-27	4.6332954145e-34
  C90	y12	-3.5000170566e-34	1.3328196048e-26	-2.7299767543e-35
  C92	x12y	-1.2831614709e-33	5.4184112005e-32	5.9967471226e-39
  C94	x10y3	1.7902011570e-34	3.1362647697e-31	3.3624295873e-37
  C96	x8y5	-5.9356899836e-33	3.3094379296e-31	9.8615307417e-37
  C98	x6y7	-7.3394937906e-34	-9.6149068350e-30	1.4182363500e-36
  C100	x4y9	3.1435731593e-34	-6.5841283108e-29	9.3608237873e-37
  C102	x2y11	-6.8176725240e-35	-1.4705311077e-28	5.6014926952e-37
  C104	y13	-7.8372722547e-36	1.0224458070e-28	2.4109157822e-37
  C105	x14	-6.4451808624e-36	5.3015268417e-36	-1.9045851153e-40
  C107	x12y2	-2.7073918336e-35	4.9403482504e-34	9.8003568975e-40
  C109	x10y4	-4.3962506544e-35	8.3526787984e-33	1.8671986245e-39
  C111	x8y6	-6.6738227472e-36	6.5147537153e-32	-3.3551385444e-40
  C113	x6y8	6.3423892423e-36	2.5223541021e-31	-7.6276006815e-39
  C115	x4y10	4.2776380374e-36	3.7344998796e-31	-1.1876834618e-38
  C117	x2y12	9.6249541599e-37	-3.1083370755e-31	-7.3902434979e-39
  C119	y14	1.1526703761e-38	6.8347387188e-32	-4.8292195629e-40
  C121	x14y	2.8850027766e-38	-9.1385233177e-37	7.7229132671e-43
  C123	x12y3	9.1980956079e-39	-7.0766166809e-36	1.3050816292e-43
  C125	x10y5	2.3628257108e-37	-2.0367952351e-35	-1.5045499933e-43
  C127	x8y7	1.0587996691e-37	1.7005323921e-34	-4.3103104380e-42
  C129	x6y9	-2.3630605789e-38	2.6433184032e-33	-4.7912971749e-42
  C131	x4y11	-1.4372454114e-38	1.0168494781e-32	-3.8497404734e-42
  C133	x2y13	-2.1048681492e-39	1.2026609653e-32	-2.8269844063e-42
  C135	y15	1.6768521447e-42	-3.0199280978e-33	-6.2655361176e-43
  C136	x16	6.6091003089e-41	-1.6109628446e-40	8.1686265555e-46
  C138	x14y2	4.0790071654e-40	-9.7504630322e-39	-7.5372887164e-45
  C140	x12y4	5.9570101663e-40	-1.8410966520e-37	-2.8189908274e-44
  C142	x10y6	-3.1188206894e-40	-1.7518152935e-36	-5.3983503054e-44
  C144	x8y8	-2.2352234614e-40	-9.3053686793e-36	-4.3087059802e-44
  C146	x6y10	4.0234731825e-41	-1.9350125365e-35	1.5571628159e-44
  C148	x4y12	1.4044945686e-41	4.6069166794e-36	4.7443001615e-44
  C150	x2y14	1.7128455220e-42	6.3991275876e-35	3.0065957765e-44
  C152	y16	-6.2097347227e-45	-1.1194071146e-35	2.3114326920e-45
  C154	x16y	-3.9685526952e-43	9.0875190448e-42	-3.2128584439e-48
  C156	x14y3	-2.4712737266e-43	9.0445484913e-41	-2.2890343044e-48
  C158	x12y5	-3.1717312478e-42	3.2675196917e-40	-1.0672808770e-47
  C160	x10y7	-1.8546588262e-42	-1.6573972181e-39	2.3064022617e-48
  C162	x8y9	-1.1518603141e-43	-5.3906709125e-38	3.6060579361e-47
  C164	x6y11	1.0734033449e-45	-3.3272218337e-37	1.8918522203e-47
  C166	x4y13	1.4134429511e-44	-6.8691715217e-37	2.7790000280e-47
  C168	x2y15	5.2982029110e-46	-2.9003149149e-37	1.8861055752e-47
  C170	y17	-2.6991028425e-47	6.8457981546e-38	1.7131386581e-48
  C171	x18	-3.9598139016e-46	2.4662158874e-45	-1.4660146756e-51
  C173	x16y2	-3.7889252038e-45	1.2422726562e-43	2.4640681752e-50
  C175	x14y4	-4.3384393094e-45	2.6538850877e-42	1.1757510607e-49
  C177	x12y6	9.6310045477e-45	2.9301412025e-41	3.0828363803e-49
  C179	x10y8	8.4023782167e-45	1.8930990406e-40	4.6105340841e-49
  C181	x y10	1.0648908068e-45	5.8915504677e-40	3.0197306177e-49
  C183	x6y12	-1.1633275349e-46	-1.2680802403e-40	-1.5133752164e-50
  C185	x4y14	-4.6615914875e-47	-2.6235738509e-39	-1.3841551604e-49
  C187	x2y16	-2.0580762623e-48	-2.6622891776e-39	-8.6358815298e-50
  C189	y18	5.9680526939e-50	1.0953493348e-39	-8.5870015675e-51
  C191	x18y	3.3111703464e-48	-4.8508082496e-47	7.1547575718e-54
  C193	x16y3	4.4222616369e-48	-6.0387844731e-46	9.6694477137e-54
  C195	x14y5	1.1263819852e-47	-5.3740727315e-46	7.2806159787e-53
  C197	x12y7	-1.2813941130e-47	2.2517525644e-44	1.2884717730e-52
  C199	x10y9	-1.3943815583e-47	6.3109491274e-43	1.8742041395e-53
  C201	x8y11	-1.6254211152e-48	5.9751915941e-42	-2.8815090946e-53
  C203	x6y13	1.7978486772e-49	1.7063034631e-41	9.4848275535e-53
  C205	x4 y15	4.3242721924e-50	1.7489012564e-41	-6.2410424998e-53
  C207	x2y17	1.4025281182e-51	-4.7463753603e-42	-5.8398960429e-53
  C209	y19	-4.5522013446e-53	7.0434957037e-42	-3.4852377666e-54
  C210	x20	1.2154144648e-51	-2.0925794170e-50	5.2901440705e-58
  C212	x18 y2	1.7462143018e-50	-1.0037005879e-48	-5.8345959184e-56
  C214	x16 y4	2.0007099760e-50	-2.4182521080e-47	-3.2571601050e-55
  C216	x14 y6	-2.3572927431e-50	-3.0411734912e-46	-1.0387538571e-54
  C218	x12 y8	1.8959703584e-51	-2.2185482170e-45	-2.1041978607e-54
  C220	x10 y10	1.0887800919e-50	-9.0989011804e-45	-2.4936132130e-54
  C222	x8y12	1.0924697389e-51	-1.7857181133e-45	-1.5522176366e-54
  C224	x6 y14	-1.0986624031e-52	7.9317569772e-44	-3.9513470302e-55
  C226	x4y16	-1.6078854442e-53	1.3369087621e-43	8.8693900322e-56
  C228	x2y18	-2.6709201454e-55	-5.3315496993e-46	1.1562077258e-55
  C230	y20	1.2906925072e-56	3.3595318871e-44	1.4158778489e-56
  C232	x20 y	-1.4846876466e-53	5.5911266902e-53	-8.6653763952e-60
  C234	x18 y3	-3.8356013646e-53	9.1229421497e-52	-1.0380700392e-59
  C236	x16 y5	-2.1578410415e-53	-4.3794742202e-50	-1.6680890898e-58
  C238	x14 y7	2.6513538765e-53	-4.5279347849e-49	-4.4797168084e-58
  C240	x12 y9	4.6137220941e-54	-4.9263245864e-48	-4.3370487059e-58
  C242	x10 y11	-3.5044328796e-54	-5.4747302988e-47	-3.3156538985e-59
  C244	x8 y13	-2.8980202026e-55	-2.2196004244e-46	-3.6241948840e-58
  C246	x6 y15	2.2784551004e-56	-1.7056688554e-46	-6.1696715195e-58
  C248	x4y17	1.3999459535e-57	8.6047085047e-47	7.1783500369e-59
  C250	x2 y19	-3.8768203818e-59	3.0334979480e-46	1.1050929383e-58
  C252	y21	-2.3313576403e-61	2.4432981442e-46	7.1461620855e-60
  C253	x22	0.0000000000e+00	9.7107414669e-56	1.3295570245e-63
  C255	x20 y2	0.0000000000e+00	4.7033813282e-54	7.7604218211e-62
  C257	x18y4	0.0000000000e+00	1.2621314089e-52	4.7950728798e-61
  C259	x16y6	0.0000000000e+00	1.8029163801e-51	1.7500558900e-60
  C261	x14y8	0.0000000000e+00	1.4529141589e-50	4.2726658046e-60
  C263	x12y10	0.0000000000e+00	6.9130535398e-50	6.7223428855e-60
  C265	x10y12	0.0000000000e+00	5.0614578818e-50	6.5670479413e-60
  C267	x8y14	0.0000000000e+00	-9.6771765209e-49	3.8441799586e-60
  C269	x6y16	0.0000000000e+00	-2.3713014937e-48	1.3917412910e-60
  C271	x4y18	0.0000000000e+00	-1.6989810528e-48	2.6384369367e-61
  C273	x2y20	0.0000000000e+00	4.0548139497e-48	-4.3467540264e-62
  C275	y22	0.0000000000e+00	1.5912954335e-48	-9.7418847348e-63
  C277	x22y	0.0000000000e+00	7.4877001489e-58	4.6002776029e-66
  C279	x20y3	0.0000000000e+00	1.1999688137e-56	-3.8198953402e-66
  C281	x18y5	0.0000000000e+00	5.0182721510e-55	1.8117565541e-64
  C283	x16y7	0.0000000000e+00	4.9097448319e-54	6.2855567560e-64
  C285	x14y9	0.0000000000e+00	3.1068858665e-53	9.5693585223e-64
  C287	x12y11	0.0000000000e+00	2.3776364827e-52	4.4482359087e-64
  C289	x10y13	0.0000000000e+00	1.1695708107e-51	1.7787605224e-64
  C291	x8y15	0.0000000000e+00	1.8120222996e-52	1.4351836294e-63
  C293	x6y17	0.0000000000e+00	-5.3230871251e-51	1.3487790395e-63
  C295	x4y19	0.0000000000e+00	-5.3973526820e-51	-5.1971477262e-66
  C297	x2y21	0.0000000000e+00	1.9851768372e-50	-1.1040256143e-64
  C299	y23	0.0000000000e+00	5.3023983038e-51	-9.2205479288e-66
  C300	x24	0.0000000000e+00	-1.9248172283e-61	-1.8230221324e-69
  C302	x22y2	0.0000000000e+00	-9.6245620741e-60	-5.0278786404e-68
  C304	x20y4	0.0000000000e+00	-2.8553081252e-58	-3.3669501960e-67
  C306	x18y6	0.0000000000e+00	-4.6444449037e-57	-1.3687314298e-66
  C308	x16y8	0.0000000000e+00	-4.1801314112e-56	-3.8279693501e-66
  C310	x14yl0	0.0000000000e+00	-2.1786206045e-55	-7.2847252127e-66
  C312	x12y12	0.0000000000e+00	-2.0283813767e-55	-9.3905393351e-66
  C314	x10y14	0.0000000000e+00	4.6565342126e-54	-8.0887082053e-66
  C316	x8y16	0.0000000000e+00	1.3778334586e-53	-4.6924880637e-66
  C318	x6y18	0.0000000000e+00	1.0029120625e-53	-1.9717266649e-66
  C320	x4y20	0.0000000000e+00	2.5018917738e-54	-5.6384627421e-67
  C322	x2y22	0.0000000000e+00	4.3737519489e-53	-6.6189078716e-68
  C324	y24	0.0000000000e+00	7.3315917218e-54	-2.4063002101e-69
  C326	x24y	0.0000000000e+00	-2.8949671977e-63	3.9640201909e-73
  C328	x22y3	0.0000000000e+00	-5.2973511098e-62	1.5372186556e-71
  C330	x20y5	0.0000000000e+00	-1.7594090377e-60	-4.1478029555e-71
  C332	x18y7	0.0000000000e+00	-1.9690596269e-59	-1.8721035685e-70
  C334	x16y9	0.0000000000e+00	-1.1828775353e-58	-2.4320580918e-70
  C336	x14y11	0.0000000000e+00	-4.6128327550e-58	2.0820748566e-70
  C338	x12y13	0.0000000000e+00	-4.7519515302e-58	9.8238365291e-70
  C340	x10y15	0,0000000000e+00	9.1752543077e-57	5.0516893860e-70
  C342	x8y17	0.0000000000e+00	3.3805756544e-56	-9.1913208178e-70
  C344	x6y19	0.0000000000e+00	4.4746971686e-56	-7.1782627028e-70
  C346	x4y21	0.0000000000e+00	2.8369229439e-56	6.9720198410e-71
  C348	x2y23	0.0000000000e+00	3.9263413003e-56	6.6166049715e-71
  C350	y25	0.0000000000e+00	2.4856909779e-57	6.9953209582e-72

  Tabelle 5 zur Projektionsoptik 12 aus Fig. 4a:

  Koordinaten des Blendenrandes
  xi [mm]	yi [mm]	Xi+N/2 [mm]	Yi+N/2 [mm]
  211.428792	202.442444	-266.345361	-226.406038
  192.457613	210.929550	-245.377217	-242.381767
  169.492503	219.915898	-230.899212	-252.366598
  153.017532	225.407555	-206.935618	-266.844603
  132.548629	231.398454	-194.953821	-273.334743
  103.592619	238.387835	-181.973541	-279.824883
  81.625992	242.381767	-160.506155	-289.310472
  71.141919	243.879492	-143.531943	-295.800612
  60.158605	245.377217	-119.568349	-303.788477
  39.190461	247.374183	-97.102479	-309.779375
  22.715490	248.372666	-88.116132	-311.776341
  13.229901	248.372666	-73.138886	-314.771791
  4.243553	248.871907	-44.682118	-318.765723
  -21.217765	248.372666	-27.707905	-320.263448
  -45.181359	246.874941	-17.223833	-320.762689
  -64.152538	244.877975	18.222316	-320.762689
  -78.131301	242.881009	44.182876	-318.765723
  -101.096412	238.887077	66.648746	-315.770274
  -112.578967	236.390869	90.612339	-311.277100
  -140.037252	229.401487	116.073658	-304.786960
  -150.022083	226.406038	133.547112	-299.295303
  -173.486435	218.418173	150.521324	-293.304404
  -195.952304	209.431826	165.498570	-287.313506
  -211.428792	202.442444	190.959889	-275.331709
  -225.407555	195.453063	210.430309	-264.847637
  -243.380250	185.468232	221.413623	-258.357497
  -252.366598	179.976575	240.384801	-245.876458
  -265.846120	170.990227	252.865840	-236.890110
  -276.829434	163.002363	275.830951	-218.418173
  -294.302887	149.023600	290.308955	-204.938652
  -306.284684	138.040286	305.785443	-188.962923
  -315.271032	129.053938	317.767240	-174.984160
  -330.248278	112.079726	325.755104	-164.999329
  -338.735384	100.597170	337.237660	-148.524358
  -346.224008	89.613856	346.723249	-133.047870
  -357.207321	70.143436	352.714148	-122.064556
  -362.698978	58.161639	361.201254	-103.592619
  -366.193669	49.175292	364.695945	-94.606272
  -369.688360	39.190461	368.689877	-82.624475
  -371.685326	32.201079	373.183051	-66.648746
  -375.180017	17.223833	376.178500	-50.673016
  -376.677741	8.237485	377.676225	-39.689702
  -377.676225	0.249621	378.674708	-19.720041
  -378.674708	-16.724592	378.175466	-7.239002
  -377.676225	-38.691219	376.178500	11.232935
  -377.176983	-44.182876	372.683809	28.207147
  -375.180017	-56.663915	367.192152	46.679084
  -373.183051	-66.149504	361.201254	61.656330
  -368.689877	-83.123716	355.210355	74.137369
  -363.198220	-98.600204	346.723249	88.615373
  -354.711114	-118.070624	336.738418	103.592619
  -348.720215	-129.553179	327.252829	115.574416
  -342.230075	-140.536493	315.271032	129.053938
  -331.746003	-156.512223	298.296820	145.528909
  -321.761172	-169.991744	282.820332	158.509189
  -310.278617	-183.970507	265.346878	171.489469
  -298.796061	-196.451546	247.374183	182.972024
  -289.809714	-205.437893	227.404521	194.454580
  -276.829434	-217.419690

• ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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• Zitierte Patentliteratur
• DE 102015221983 A1 [0005]
• WO 2010006678 A1 [0005]
• WO 2012034995 A2 [0005]
• WO 2015014753 A1 [0005]

Claims (6)

1. Eine Projektionsoptik (7; 11; 12) für die Projektionslithographie - mit einer Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M11; M1 bis M8; M1 bis M10) zur Führung von Abbildungslicht (8) von einem Objektfeld (5) in einer Objektebene (6) in ein Bildfeld (9) in einer Bildebene (10) längs eines Abbildungslicht-Strahlengangs, - mit einer bildseitigen numerischen Apertur, die größer ist als 0,7, - wobei das Objektfeld (5) aufgespannt ist von -- einer ersten kartesischen Objektfeldkoordinate (x) längs einer ersten, größeren Objektfelddimension und -- einer zweiten kartesischen Objektfeldkoordinate (y) längs einer zweiten, kleineren Objektfelddimension, -- wobei eine erste Abbildungslichtebene (xz) aufgespannt wird von der ersten kartesischen Objektfeldkoordinate (x) und einer Bildfeld-Normalen (z) auf das Bildfeld (8), -- wobei eine zweite Abbildungslichtebene (yz) aufgespannt wird von der zweiten kartesischen Objektfeldkoordinate (y) und der Bildfeld-Normalen (z), - wobei sich ein erster absoluter Abbildungsmaßstab (βx) der abbildenden Optik (7; 11; 12) in der ersten Abbildungslichtebene (xz) von einem zweiten absoluten Abbildungsmaßstab (βx) der abbildenden Optik in der zweiten Abbildungslichtebene (yz) unterscheidet, - wobei ein letzter Spiegel (M11; M8; M10) im Abbildungslicht-Strahlengang eine Durchtrittsöffnung zum Durchtritt des Abbildungslichts (8) aufweist, - wobei eine Reflexionsfläche des letzten Spiegels (M11; M8; M10) um die Durchtrittsöffnung herum voll umfänglich zur Reflexion des Abbildungslichts (8) genutzt wird, - wobei die Projektionsoptik (7; 11; 12) mindestens 3 Spiegel (M2 bis M9; M2, M3, M5, M6; M2 bis M7) mit streifendem Einfall aufweist.
2. Abbildende Optik nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Ausführung derart, dass eine Eintrittspupille im Abbildungs-Strahlengang vor dem Objektfeld (5) liegt.
3. Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 2, gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von NI-Spiegeln (M1, M10, M11;; M1, M4, M7, M8; M1, M9, M10).
4. Optisches System - mit einer abbildenden Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 3, - mit einer Beleuchtungsoptik (3) zur Beleuchtung des Objektfeldes (5) mit Beleuchtungslicht (3) einer Lichtquelle (2).
5. Projektionsbelichtungsanlage mit einem optischen System nach Anspruch 4 und mit einer Lichtquelle (2) zur Erzeugung des Beleuchtungslichts (3).
6. Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Bauteils mit folgenden Verfahrensschritten: - Bereitstellen eines Retikels (13) und eines Wafers (15), - Projizieren einer Struktur auf dem Retikel (13) auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers (15) mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 5, - Erzeugen einer Mikro- beziehungsweise Nanostruktur auf dem Wafer (15).

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