DE102019205233A1 - Bearbeitungsvorrichtung - Google Patents

Bearbeitungsvorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE102019205233A1
DE102019205233A1 DE102019205233.9A DE102019205233A DE102019205233A1 DE 102019205233 A1 DE102019205233 A1 DE 102019205233A1 DE 102019205233 A DE102019205233 A DE 102019205233A DE 102019205233 A1 DE102019205233 A1 DE 102019205233A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
last
groove
unit
machining
processed groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102019205233.9A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiji Kashiwagi
Satoshi Miyata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Corp filed Critical Disco Corp
Publication of DE102019205233A1 publication Critical patent/DE102019205233A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/402—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/20—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring workpiece characteristics, e.g. contour, dimension, hardness
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/2428—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring existing positions of tools or workpieces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/22—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0064—Devices for the automatic drive or the program control of the machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
    • B28D7/005—Devices for the automatic drive or the program control of the machines
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/682—Mask-wafer alignment
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/36—Nc in input of data, input key till input tape
    • G05B2219/36185—Application, for cylindrical groove shape
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/50—Machine tool, machine tool null till machine tool work handling
    • G05B2219/50122—Workpiece holder, chuck jaws, fixture setup

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Dicing (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • User Interface Of Digital Computer (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

Eine Schneidvorrichtung beinhaltet einen Einspanntisch, der ein Werkstück hält, eine Bearbeitungseinheit, die eine bearbeitete Nut am Werkstück ausbildet, eine Abbildungseinheit, die das Werkstück abbildet, eine Anzeigeeinheit, die eine aufgenommenes Abbildung einer von der Abbildungseinheit abgebildeten bearbeiteten Nut anzeigt, und eine Steuerungseinheit, welche eine Anzeigensteuerung eines Bildschirms der Anzeigeeinheit ausführt. Die Steuerungseinheit bewirkt, dass eine Markierung, welche die zuletzt bearbeitete Nut basierend auf der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut anzeigt, auf der Anzeigeeinheit angezeigt wird, während sie einer aufgenommenen Abbildung überlagert wird.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbeitungsvorrichtung, die ein Werkstück bearbeitet.
  • Beschreibung der verwandten Technik
  • Eine Bearbeitungsvorrichtung ist mit einer Abbildungseinheit zur Ausrichtung ausgestattet. Durch ein Positionieren einer Bezugslinie eines Mikroskops der Abbildungseinheit auf einer geplanten Bearbeitungslinie, die als Straße auf einem Werkstück bezeichnet wird, wird das Werkstück entlang der Straße bearbeitet. In diesem Fall werden im Steuerungsmittel der Bearbeitungsvorrichtung ein Zielmuster auf dem Werkstück, der Abstand vom Zielmuster zur Mitte der Straße, der Abstand zwischen den Straßen (Indexwert) und so weiter im Voraus erfasst. Dann wird die Bezugslinie des Mikroskops auf der Mitte der Straße positioniert, indem das Zielmuster auf dem Werkstück mit dem Mikroskop ermittelt wird.
  • Darüber hinaus wird bei einer Bearbeitung eine Arbeit des Einstellens der Bezugslinie des Mikroskops der Abbildungseinheit auf die Mittenlinie des Bearbeitungsmittels, eine sogenannte Haarlinieneinstellung, durchgeführt (siehe z.B. japanische Offenlegungsschrift Nr. 2012-146831 ). Bei der Haarlinieneinstellung wird eine bearbeitete Nut auf einer Oberfläche des Werkstücks ausgebildet und abgebildet und die Abweichung der Bezugslinie des Mikroskops von der mittleren Position der bearbeiteten Nut wird berechnet. Da die Abweichung zwischen der mittleren Position der bearbeiteten Nut und der Bezugslinie des Mikroskops als die Abweichung zwischen dem Bearbeitungsmittel und dem Mikroskop erscheint, wird die Position, an der die mittlere Position der bearbeiteten Nut so gewählt wird, dass sie mit der Bezugslinie des Mikroskops übereinstimmt, in dem Steuerungsmittel unter Verwendung dieser Abweichung als Korrekturbetrag als die Position des Ursprungs gespeichert.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Indessen beginnt, wenn das Bearbeiten des Werkstücks fortgesetzt wird, eine Abweichung der Positionsbeziehung zwischen der mittleren Position des Bearbeitungsmittels und der Bezugslinie des Mikroskops aufzutreten. Deswegen wird die Bearbeitung vorübergehend ausgesetzt und in einigen Fällen wird eine Haarlinieneinstellung durchgeführt. Im Fall des manuellen Ausführens der Haarlinieneinstellung muss die Position der Bezugslinie des Mikroskops zum Zeitpunkt des Aussetzens der Bearbeitung auf die mittlere Position der zuletzt bearbeiteten Nut eingestellt werden. Wenn eine Qualitätskontrolle oder dergleichen von mehreren bearbeiteten Nuten ausgeführt wird und die Sicht auf die zuletzt bearbeitete Nut vor der Ausführung der Haarlinieneinstellung verloren geht, wird möglicherweise die Haarlinieneinstellung und so weiter versehentlich mit einer anderen bearbeiteten Nut durchgeführt.
  • Somit ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, mit der immer die zuletzt bearbeitete Nut erkannt werden kann, ohne den Blick auf die zuletzt bearbeitete Nut zu verlieren.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, die aufweist: einen Einspanntisch, der ein Werkstück hält; eine Bearbeitungseinheit, die eine bearbeitete Nut in dem vom Einspanntisch gehaltenen Werkstück ausbildet; einen Bearbeitungszufuhrmechanismus, der den Einspanntisch und die Bearbeitungseinheit relativ in einer Bearbeitungszufuhrrichtung bewegt, die eine X-Achsenrichtung ist; einen Indexzufuhrmechanismus, der den Einspanntisch und die Bearbeitungseinheit relativ in einer Indexzufuhrrichtung bewegt, die eine zur Bearbeitungszufuhrrichtung senkrechte Y-Achsenrichtung ist; eine Abbildungseinheit, die das vom Einspanntisch gehaltene Werkstück abbildet; eine Anzeigeeinheit, die eine aufgenommenes Abbildung einer bearbeiteten Nut anzeigt, die durch ein Abbilden der durch die Bearbeitung des Werkstücks durch die Bearbeitungseinheit ausgebildeten bearbeiteten Nut durch die Abbildungseinheit erhalten wird; und eine Steuerungseinheit. Die Steuerungseinheit beinhaltet einen Speicherteil für eine Y-Koordinate einer zuletzt bearbeiteten Nut, der eine Y-Koordinate einer zuletzt bearbeiteten Nut speichert, und einen Anzeigensteuerungsteil, der bewirkt, dass eine Markierung, welche die zuletzt bearbeitete Nut basierend auf der Y-Koordinate anzeigt, der auf der Anzeigeeinheit angezeigten aufgenommenen Abbildung auf eine überlagerte Weise angezeigt wird.
  • Gemäß dieser Ausgestaltung wird die Markierung, welche die zuletzt bearbeitete Nut anzeigt, von der Anzeigeeinheit auf eine überlagerte Weise auf der aufgenommenen Abbildung angezeigt. Da die zuletzt bearbeitete Nut durch die Markierung auf der aufgenommenen Abbildung angezeigt wird, ist es möglich, den Bediener zu veranlassen, stets die Position der zuletzt bearbeiteten Nut zu erkennen. Darüber hinaus geht die Sicht auf die zuletzt bearbeitete Nut nicht verloren, selbst wenn die Abbildungseinheit bewegt wird und eine andere Stelle als die zuletzt bearbeitete Nut überprüft wird.
  • In dem Aspekt der vorliegenden Erfindung kann der Anzeigesteuerteil eine durch die Markierung angezeigte Richtung gemäß einer aktuellen Abbildungsposition der Abbildungseinheit und der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut umschalten.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung kann der Bediener durch ein Anzeigen der Markierung, welche die zuletzt bearbeitete Nut auf der aufgenommenen Abbildung auf eine überlagerte Weise anzeigt, veranlasst werden, stets die Position der zuletzt bearbeiteten Nut zu erkennen, ohne den Blick auf die zuletzt bearbeitete Nut zu verlieren.
    Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, verstanden.
  • KURZE FIGURENBESCHREIBUNG
    • 1 ist eine Perspektivansicht der Gestalt einer Schneidvorrichtung der vorliegenden Ausführungsform;
    • 2 ist eine Perspektivansicht des Inneren der Schneidvorrichtung der vorliegenden Ausführungsform;
    • 3A und 3B sind Diagramme, die ein Beispiel für einen Stoppbildschirm eines Vergleichsbeispiels darstellen;
    • 4 ist ein Blockdiagramm, das eine Anzeigensteuerung einer Anzeigeeinheit in der vorliegenden Ausführungsform darstellt;
    • 5A, 5B und 5C sind Diagramme, die ein Beispiel für einen Stoppbildschirm in der vorliegenden Ausführungsform darstellen;
    • 6A, 6B, 6C und 6D sind Diagramme, die ein Beispiel der Anzeigensteuerung in der vorliegenden Ausführungsform darstellen.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Eine Schneidvorrichtung der vorliegenden Ausführungsform wird unten unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben. 1 ist eine Perspektivansicht der Gestalt der Schneidvorrichtung der vorliegenden Ausführungsform. 2 ist eine Perspektivansicht des Inneren der Schneidvorrichtung der vorliegenden Ausführungsform. 3A und 3B sind Diagramme, die ein Beispiel für einen Stoppbildschirm eines Vergleichsbeispiels darstellen. Obwohl die Beschreibung in der vorliegenden Ausführungsform durch Veranschaulichung der Schneidvorrichtung als Bearbeitungsvorrichtung erfolgt, ist die Bearbeitungsvorrichtung nicht besonders beschränkt, solange sie eine bearbeitete Nut ausbildet.
  • Wie in 1 dargestellt, ist eine Schneidvorrichtung 1 mit einer Anzeigeeinheit (Anzeigemittel) 75 ausgestattet, die eine Bedienung von einem Bediener annimmt, und verschiedene Bearbeitungsbedingungen werden in der Schneidvorrichtung 1 durch die Anzeigeeinheit 75 eingestellt. Die Schneidvorrichtung 1 ist so eingerichtet, dass sie Schneidklingen 71 (siehe 2) und ein von einem Einspanntisch 14 gehaltenes Werkstück W relativ bewegt und das Werkstück W basierend auf den durch die Anzeigeeinheit 75 eingestellten Einstellbedingungen auf dem Einspanntisch 14 entlang von Straßen bearbeitet. Eine Oberfläche des Werkstücks W ist durch die Straßen gitterartig in mehrere Bereiche geteilt und in jedem der durch die Teilung erhaltenen Bereiche sind verschiedene Bauelemente ausgebildet.
  • Ein Teilungsband T wird an das Werkstück W gehaftet und ein Ringrahmen F wird an den Umfang des Teilungsbandes T gehaftet. Das Werkstück W wird in dem Zustand, in dem es mittels des Teilungsbands T durch den Ringrahmen F getragen wird, in die Schneidvorrichtung 1 gebracht. Es genügt, wenn das Werkstück W etwas ist, das zu einem Bearbeitungsziel wird. Beispielsweise kann das Werkstück W ein Halbleiterwafer oder ein Optikbauelementwafer sein, an dem Bauelemente ausgebildet sind. Darüber hinaus kann das Teilungsband T neben einem normalen Haftband, das durch Aufbringen einer Haftschicht auf eine Bandbasis erhalten wird, ein Die-Attachment-Film(DAF)-Band sein, das erhalten wird, indem ein DAF auf eine Bandbasis gehaftet wird.
  • Die Schneidvorrichtung 1 weist ein Gehäuse 10, das den Bearbeitungsraum des Schneidbearbeitens abdeckt und eine rechteckige Parallelepipedform aufweist, und eine Tragbasis 13 auf, die neben dem Gehäuse 10 liegt und einen Wartebereich und einen Reinigungsbereich ausbildet. Die Mitte der oberen Oberfläche der Tragbasis 13 ist offen, sodass sie sich in Richtung der Innenseite des Gehäuses 10 erstreckt, und diese Öffnung wird durch eine sich bewegende Platte 15, die sich zusammen mit dem Einspanntisch 14 bewegen kann, und eine wasserdichte Abdeckung 16, die eine Akkordeonform aufweist, abgedeckt. Unter der wasserdichten Abdeckung 16 ist ein Bearbeitungszufuhrmechanismus (Bearbeitungszufuhreinheit) 50 (siehe 2) angeordnet, der den Einspanntisch 14 in einer Bearbeitungszufuhrrichtung, die eine X-Achsenrichtung ist, bewegt. In 1 ist der Zustand dargestellt, in dem der Einspanntisch 14 zur Außenseite des Gehäuses 10 verschoben worden ist und dazu gebracht wurde, über der Tragbasis 13 zu warten.
  • Im Einspanntisch 14 ist durch ein poröses keramisches Material eine Haltefläche 17 ausgebildet und das Werkstück W wird angesaugt und durch einen durch diese Haltefläche 17 erzeugten Unterdruck gehalten. Um den Einspanntisch 14 sind vier luftbetriebene Klemmen 18 angeordnet und der Ringrahmen F um das Werkstück W wird von vier Seiten durch die jeweiligen Spannzangen 18 gespannt und fixiert. Ein Paar Zentrierführungen 21, die sich entlang einer Y-Achsenrichtung erstrecken, sind über dem Einspanntisch 14 angeordnet. Durch eine Trennung und eine Annäherung des Paares Zentrierführungen 21 in der X-Achsenrichtung wird das Werkstück W in der X-Achsenrichtung relativ zum Einspanntisch 14 positioniert.
  • Auf der Tragbasis 13 ist eine Hubeinheit 22, auf der eine Kassette platziert ist, neben dem Einspanntisch 14 angeordnet. In der Hubeinheit 22 wird eine Bühne 23, auf der eine Kassette platziert ist, angehoben und abgesenkt und die Lade-/Entladeposition des Werkstücks W in der Kassette wird in der Höhenrichtung eingestellt. Eine Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 ist mit einem Druck-Zug-Arm 24 ausgestattet, der das Werkstück W in eine und aus einer Kassette lädt und entlädt, während bewirkt wird, dass das Paar Zentrierführungen 21 den Ringrahmen F führt. Darüber hinaus ist die Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 mit einem Einbringarm 31 und einem Ausbringarm 41 ausgestattet, die das Werkstück W zwischen dem Paar Zentrierführungen 21 und dem Einspanntisch 14 transportieren.
  • Der Druck-Zug-Arm 24 wird durch einen horizontalen Bewegungsmechanismus 25 angetrieben, der an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 angeordnet ist. Der horizontale Bewegungsmechanismus 25 weist ein Paar Führungsschienen 26, die auf der Seitenfläche 11 des Gehäuses 10 angeordnet und parallel zur Y-Achsenrichtung sind, und einen Schieber 27 auf, der auf dem Paar Führungsschienen 26 verschiebbar platziert und mit einem Motor angetrieben ist. Auf der hinteren Oberflächenseite des Schiebers 27 ist ein Mutterteil (nicht dargestellt) ausgebildet und mit diesem Mutterteil ist eine Kugelgewindespindel 28 verschraubt. Ein mit einem Teil an einem Ende der Kugelgewindespindel 28 verbundener Antriebsmotor 29 wird drehbar angetrieben und dadurch führt der Druck-Zug-Arm 24 eine Druck-Zug-Bewegung in der Y-Achsenrichtung entlang des Paares Führungsschienen 26 aus.
  • Der Einbringarm 31 und der Ausbringarm 41 werden durch horizontale Bewegungsmechanismen 32 und 42 angetrieben, die an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 angeordnet sind. Die horizontalen Bewegungsmechanismen 32 und 42 weisen Paare von Führungsschienen 33 und 43 auf, die an der Seitenoberfläche 11 des Gehäuses 10 angeordnet sind und parallel zur Y-Achsenrichtung sind, sowie Gleiter 34 und 44, die verschiebbar auf den Paaren von Führungsschienen 33 und 43 angeordnet sind und die motorisch angetrieben sind. An der hinteren Oberflächenseite der Schieber 34 und 44 sind Mutterteile (nicht dargestellt) ausgebildet und in diese Mutterteile sind Kugelgewindespindeln 35 und 45 geschraubt. Antriebsmotoren 36 und 46, die mit Teilen an einem Ende der Kugelgewindespindeln 36 und 46 verbunden sind, werden drehbar angetrieben und dadurch werden der Einbringarm 31 und der Ausbringarm 41 transportiert und in der Y-Achsenrichtung entlang der Paare Führungsschienen 33 und 43 bewegt.
  • Wie in 2 dargestellt, ist der Bearbeitungszufuhrmechanismus 50, der den Einspanntisch 14 in der Bearbeitungszufuhrrichtung, welche die X-Achsenrichtung ist, bewegt, an einer Basis 19 im Gehäuse 10 und der Stützbasis 13 angeordnet (siehe 1). Der Bearbeitungszufuhrmechanismus 50 weist ein Paar Führungsschienen 51, die auf der Basis 19 angeordnet sind und parallel zur X-Achsenrichtung sind, und einen X-Achsentisch 52 auf, der auf dem Paar Führungsschienen 51 verschiebbar angeordnet ist und motorisch angetrieben ist. An der Rückseite des X-Achsentisches 52 ist ein Mutterteil (nicht dargestellt) ausgebildet und in dieses Mutterteil ist eine Kugelgewindespindel 53 geschraubt. Ein mit einem Teil an einem Ende der Kugelgewindespindel 53 verbundener Antriebsmotor 54 wird rotatorisch angetrieben und dadurch wird der Einspanntisch 14 in der Bearbeitungszufuhrrichtung entlang des Paares Führungsschienen 51 bewegt.
  • Ein torförmiger, aufrechter Wandteil 20, der aufrecht stehend auf eine solche Weise angeordnet ist, dass er den Bewegungspfad des Einspanntischs 14 überspannt, ist an der Basis 19 angeordnet. Der aufrechte Wandteil 20 ist mit einem Indexzufuhrmechanismus (Indexzufuhreinheit) 60 ausgestattet, der Bearbeitungseinheiten (Bearbeitungsmittel) 70 in einer Indexzufuhrrichtung, welche die Y-Achsenrichtung senkrecht zur Bearbeitungszufuhrrichtung ist, und Einschneidezufuhrmechanismen (Einschneidezufuhreinheiten) 65, welche die Bearbeitungseinheiten 70 in einer Einschneidezufuhrrichtung, die eine Z-Achsenrichtung ist, bewegen. Der Indexzufuhrmechanismus 60 weist ein Paar Führungsschienen 61, die an der vorderen Oberflächenseite des aufrechten Wandteils 20 angeordnet sind und parallel zur Y-Achsenrichtung sind, und Y-Achsentische 62 auf, die verschiebbar auf dem Paar Führungsschienen 61 angeordnet sind. Die Einschneidezufuhrmechanismen 65 weisen jeweils ein Paar Führungsschienen 66 auf, die am dem Y-Achsentisch 62 angeordnet sind und parallel zur Z-Achsenrichtung verlaufen, und ein Z-Achsentisch 67 ist auf dem Paar Führungsschienen 66 verschiebbar angeordnet.
  • Die Bearbeitungseinheiten 70, die das Werkstück W schneiden, sind unter den jeweiligen Z-Achsentischen 67 angeordnet. An der hinteren Oberflächenseite jedes der Y-Achsentische 62 ist jeweils ein Mutterteil ausgebildet und die Z-Achsentische 67 und Kugelgewindespindeln 63 und 68 sind in diese Mutterteile geschraubt. Antriebsmotoren 64 und 69 sind mit einem Teil an einem Ende der Kugelgewindespindeln 63 für die Y-Achsentische 62 beziehungsweise der Kugelgewindespindeln 68 für die Z-Achsentische 67 verbunden. Die jeweiligen Kugelgewindespindeln 63 und 68 werden von den Antriebsmotoren 64 und 69 rotatorisch angetrieben. Dadurch wird jedes Stück der Bearbeitungseinheiten 70 entlang der Führungsschienen in der Indexzufuhrrichtung 61 bewegt und jedes Stück der Bearbeitungseinheiten 70 wird entlang der Führungsschienen in der Einschneidezufuhrrichtung 66 bewegt.
  • Die Schneidklinge 71, das das vom Einspanntisch 14 gehaltene Werkstück W bearbeitet, ist drehbar auf einer Spindel jedes Stückes der Bearbeitungseinheiten 70 angebracht. Jede Schneidklinge 71 ist in einer kreisförmigen Scheibenform geformt, indem beispielsweise Diamantschleifkörner mit einem Bindemittel gebunden werden. Eine Abbildungseinheit (Abbildungsmittel) 73, die das vom Einspanntisch 14 gehaltene Werkstück W abbildet, ist an einem Spindelgehäuse der Bearbeitungseinheiten 70 angeordnet. Das von der Abbildungseinheit 73 abgebildete Werkstück W wird auf der Anzeigeeinheit 75 angezeigt (siehe 1) und verschiedene Arbeitsvorgänge wie ein Lernen zum Zeitpunkt der Ausrichtung und Haarlinieneinstellung werden auf dem Bildschirm ausgeführt. Darüber hinaus ist die Schneidvorrichtung 1 mit einer Steuerungseinheit (Steuermittel) 80 (siehe 4) ausgestattet, welche die Gesamtsteuerung der jeweiligen Teile der Vorrichtung durchführt.
  • Wie im Vergleichsbeispiel von 3A dargestellt, erfolgt die manuelle Haarlinieneinstellung indessen durch ein Einstellen einer Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 (siehe 2) auf die mittlere Position einer bearbeiteten Nut 92 in der Breitenrichtung auf einem Stoppbildschirm 90. Die Positionsbeziehung zwischen der Mittellinie der Schneidklinge 71 (siehe 2) und der Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 wird durch die Haarlinieneinstellung korrigiert. Die Haarlinieneinstellung wird jedes Mal durchgeführt, wenn die Schneidklinge 71 ausgetauscht wird. Außerdem wird die Haarlinieneinstellung durchgeführt, nachdem die Bearbeitung unterbrochen wird, um eine bei der Bearbeitung verursachte Abweichung bezüglich der Positionsbeziehung zwischen der Schneidklinge 71 und der Abbildungseinheit 73 zu korrigieren. Um die bei der Bearbeitung verursachte Abweichung zu korrigieren, muss die Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 zum Zeitpunkt der Unterbrechung der Bearbeitung auf die mittlere Position der zuletzt bearbeiteten Nut 92 eingestellt werden.
  • Wie jedoch im Vergleichsbeispiel von 3B dargestellt, verlässt, wenn die Abbildungseinheit 73 bewegt wird, um die Bearbeitungsqualität einer anderen bearbeiteten Nut 92 zum Zeitpunkt der Unterbrechung der Bearbeitung zu überprüfen, die zuletzt bearbeitete Nut 92 den Stoppbildschirm 90 und die Sicht auf diese bearbeitete Nut 92 geht in einigen Fällen verloren. Selbst wenn versucht wird, den Stoppbildschirm 90 in die ursprüngliche Position zurückzubringen, ist es schwierig, ihn durch eine manuelle Bedienung in die genaue Position zurückzubringen, und es ist schwierig, festzustellen, ob die bearbeitete Nut 92 im Stoppbildschirm 90 die zuletzt bearbeitete Nut 92 ist oder nicht. Darüber hinaus werden in der Schneidvorrichtung 1 der vorliegenden Ausführungsform die bearbeiteten Nuten 92 gleichzeitig durch die Schneidklingen 71 an der ersten Spindelseite und der zweiten Spindelseite ausgebildet. Selbst wenn die zuletzt bearbeitete Nut 92 auf dem Stoppbildschirm 90 angezeigt wird, ist es deswegen unmöglich, sofort zu bestimmen, welche der Schneidklingen 71 auf der ersten Spindelseite und auf der zweiten Spindelseite diese bearbeitete Nut 92 bearbeitet hat.
  • Somit wird in der vorliegenden Ausführungsform eine Markierung 85a oder 85b (siehe 4), welche die zuletzt bearbeitete Nut 92 anzeigt, in einer aufgenommenen , die durch ein Abbilden von der Abbildungseinheit 73 erhalten wurde, in einer überlagerten Weise angezeigt, und es wird bewirkt, dass der Bediener, die Position der zuletzt bearbeiteten Nut 92 erkennt. Darüber hinaus werden die Markierungen 85a und 85b mit Kennzeichnungen versehen, welche die zuletzt bearbeiteten Nuten 92 darstellen, die von den Schneidklingen 71 auf der ersten Spindelseite bzw. der zweiten Spindelseite bearbeitet werden, und es wird bewirkt, dass der Bediener erkennt, welche Schneidklinge 71 die zuletzt bearbeitete Nut 92 bearbeitet hat. Dies kann bewirken, dass die Bezugslinie der Abbildungseinheit 73 mit der mittleren Position der zuletzt bearbeiteten Nut 92 übereinstimmt und einen Bedienungsfehler verhindern, wie beispielsweise die Ausführung der Haarlinieneinstellung an einer anderen bearbeiteten Nut als der zuletzt bearbeiteten Nut 92.
  • Die Anzeigesteuerung des Anzeigebildschirms wird im Folgenden unter Bezugnahme auf 4 beschrieben. 4 ist ein Blockdiagramm, das die Anzeigensteuerung der Anzeigeeinheit in der vorliegenden Ausführungsform darstellt.
  • Wie in 4 dargestellt, ist die Anzeigeeinheit 75 beispielsweise ein Touchpanel mit kapazitiver Ausführung, und der Stoppbildschirm 90 wird darauf zum Zeitpunkt der Unterbrechung der Bearbeitung angezeigt. Auf dem Stoppbildschirm 90 wird die aufgenommene der durch ein Bearbeiten des Werkstücks W durch die Bearbeitungseinheiten 70 ausgebildeten bearbeiteten Nut 92, die durch ein Abbilden durch die Abbildungseinheit 73 erhalten wurde, angezeigt. Die Steuerungseinheit 80, welche die Anzeigensteuerung des Anzeigebildschirms ausführt, ist mit der Anzeigeeinheit 75 und der Abbildungseinheit 73 verbunden. Die Steuerungseinheit 80 ist ausgestattet mit einem Speicherteil 81 für eine Y-Koordinate einer zuletzt bearbeiteten Nut, der die Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 speichert, einem Markierungs-Speicherteil 82, der die Markierungen 85a und 85b speichert, welche die zuletzt bearbeitete Nut 92 anzeigen, und einem Anzeigesteuerteil 83, der die Markierung 85a oder 85b auf der aufgenommenen basierend auf der Y-Koordinate in einer überlagerten Weise anzeigt.
  • Im Speicherteil 81 für die Y-Koordinate einer zuletzt bearbeiteten Nut wird die Y-Koordinate gespeichert, welche die mittlere Position der zuletzt bearbeiteten Nut 92 ist, die durch den unmittelbar vorangehenden Bearbeitungsvorgang ausgebildet wurde. In diesem Fall wird die Indexzufuhr der Schneidklinge 71 (siehe 6A) in der Y-Achsenrichtung ausgeführt und ihre Position wird an eine Straße des Werkstücks W angepasst. Dann wird das Werkstück W durch die Schneidklinge 71 entlang der Straße bearbeitet. Wenn das Bearbeiten durch die Schneidklinge 71 unterbrochen ist, wird die Y-Koordinate der Mitte in einer Breitenrichtung der Schneidklinge 71 zum Zeitpunkt der Unterbrechung der Bearbeitung im Speicherteil 81 für die Y-Koordinate einer zuletzt bearbeiteten Nut als Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 speichert. Im Speicherteil 81 für die Y-Koordinate einer zuletzt bearbeiteten Nut wird die Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 jedes Mal aktualisiert, wenn das Bearbeiten des Werkstücks W unterbrochen wird.
  • Im Markierungsspeicherteil 82 werden die mit Pfeilbildern ausgebildeten Markierungen 85a und 85b gespeichert. Die Markierung 85a wird mit einer Kennzeichnung Z1 versehen, das die zuletzt bearbeitete Nut 92 darstellt, die von der Schneidklinge 71 auf der ersten Spindelseite bearbeitet wurde, und die Markierung 85b wird mit einer Kennzeichnung Z2 versehen, das die zuletzt bearbeitete Nut 92 darstellt, die von der Schneidklinge 71 auf der zweiten Spindelseite bearbeitet wurde. Aufgrund der Kennzeichnungen Z1 und Z2, mit denen die Markierungen 85a und 85b versehen wurden, ist es möglich, sofort optisch zu unterscheiden, welches der Schneidklingen 71 auf der ersten Spindelseite und der Schneidklinge 71 auf der zweiten Spindelseite die zuletzt bearbeitete Nut 92 in der aufgenommenen bearbeitet hat.
  • Im Anzeigesteuerteil 83 wird die Markierung 85a oder die Markierung 85b auf eine überlagerte Weise auf der von der Anzeigeeinheit 75 angezeigten aufgenommenen dargestellt. In diesem Fall wird die aktuelle Abbildungsposition von der Abbildungseinheit 73 erhalten und die Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 wird vom Speicherteil 81 für die Y-Koordinate einer zuletzt bearbeiteten Nut erfasst. Darüber hinaus wird die Markierung 85a oder die Markierung 85b wahlweise aus dem Markierungsspeicherteil 82 erfasst, je nachdem, ob die Abbildungseinheit 73 auf der ersten Spindelseite oder auf der zweiten Spindelseite vorhanden ist. Dann wird die Markierung 85a oder die Markierung 85b basierend auf der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 auf der aufgenommenen Abbildung angeordnet und die durch die Markierung 85a oder die Markierung 85b angegebene Richtung gemäß der aktuellen Abbildungsposition der Abbildungseinheit 73 und der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 gewechselt.
  • Wenn beispielsweise die aktuelle Abbildungsposition der Abbildungseinheit 73 in einem vorgegebenen Bereich liegt, der auf die Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 zentriert ist, wird die Markierung 85a oder 85b in der horizontalen Richtung auf der aufgenommenen angezeigt und die zuletzt bearbeitete Nut 92 wird durch die Markierung 85a oder 85b aus der X-Achsenrichtung angezeigt (siehe 6B). Ferner wird, wenn die aktuelle Abbildungsposition der Abbildungseinheit 73 außerhalb des vorgegebenen Bereichs liegt, der auf die zuletzt bearbeitete Nut 92 zentriert ist, die Markierung 85a oder 85b in der vertikalen Richtung auf der aufgenommenen angezeigt und die zuletzt bearbeitete Nut 92 wird aus der Y-Achsenrichtung durch die Markierung 85a oder 85b angezeigt (siehe 5B). Durch die Markierung 85a oder 85b wird die Position der zuletzt bearbeiteten Nut 92 auf der Grundlage der aktuellen Abbildungsposition identifiziert.
  • Auf diese Weise wird die Markierung 85a oder die Markierung 85b auf der aufgenommenen Abbildung so dargestellt, dass sie die zuletzt bearbeitete Nut 92 auf der Anzeigeeinheit 75 anzeigt. Die jeweiligen Teile der Steuerungseinheit 80 sind aus einem Prozessor, einem Speicher und so weiter ausgebildet, die verschiedene Verarbeitungsarten ausführen. Der Speicher ist aus einem oder mehreren Speichermedien wie einem Read Only Memory (ROM) und einem Random Access Memory (RAM) je nach Verwendungszweck ausgebildet. Im Speicher werden beispielsweise ein Programm zur Antriebssteuerung der jeweiligen Teile der Vorrichtung und ein Programm zur Anzeigensteuerung gespeichert. Darüber hinaus kann es sein, dass die Steuerungseinheit 80 ausschließlich für die Anzeigeeinheit 75 getrennt von der Steuerung der gesamten Schneidvorrichtung 1 angeordnet ist.
  • Unter Bezugnahme auf 5A, 5B und 5C wird ein Beispiel für den Stoppbildschirm beschrieben, der die zuletzt bearbeitete Nut anzeigt. 5A, 5B und 5C sind Diagramme, die das eine Beispiel des Stoppbildschirms in der vorliegenden Ausführungsform darstellen. In 5A, 5B und 5C erfolgt die Beschreibung, wo geeignet, unter Verwendung von Ziffern in 4. Obwohl ein Beispiel für den Stoppbildschirm der ersten Spindelseite mit 5A, 5B und 5C beschrieben wird, wird derselbe Stoppbildschirm auch für die zweite Spindelseite verwendet.
  • Wie in 5A dargestellt, wird die aufgenommene auf dem Stoppbildschirm 90 der Schneidvorrichtung 1 angezeigt (siehe 1). Auf dieser aufgenommenen wird die Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 angezeigt und die Markierung 85a, welche die zuletzt bearbeitete Nut 92 anzeigt, wird angezeigt. Wenn die Y-Koordinate der Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 mit der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 übereinstimmt, wird die Markierung 85a der zuletzt bearbeiteten Nut 92 in dem Zustand, in dem sie in der X-Achsenrichtung ausgerichtet ist, überlagert. Durch ein visuelles Erkennen der Markierung 85a kann der Bediener erkennen, dass die in der aufgenommenen angezeigte bearbeitete Nut 92 die letzte ist. Obwohl die Y-Koordinaten der bearbeiteten Nut 92 und der Bezugslinie 93 hier übereinstimmen, wird die Haarlinieneinstellung durchgeführt, wenn zwischen diesen Y-Koordinaten eine Abweichung existiert.
  • Die Markierung 85a ist aus einer Pfeilabbildung ausgebildet und das Pfeilbild wird mit dem Label Z1, das die erste Spindelseite darstellt, versehen. Dies kann bewirken, dass der Bediener erkennt, dass die zuletzt bearbeitete Nut 92, die durch die Markierung 85a angezeigt wird, die zuletzt bearbeitete Nut 92 ist, die von der Schneidklinge 71 auf der ersten Spindelseite bearbeitet ist. Nicht nur die Markierung 85a der bearbeiteten Nut 92, die von der Schneidklinge 71 auf der ersten Spindelseite bearbeitet ist, sondern auch die Markierung 85b (siehe 4) der bearbeiteten Nut 92, die von der Schneidklinge 71 auf der zweiten Spindelseite bearbeitet ist, kann in der aufgenommenen angezeigt werden. Dies kann bewirken, dass der Bediener gleichzeitig die zuletzt bearbeitete Nut 92 der ersten Spindelseite und die zuletzt bearbeitete Nut 92 der zweiten Spindelseite in einem Stoppbildschirm 90 erkennt.
  • Darüber hinaus werden in der aufgenommenen neben der Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 und der Markierung 85a verschiedene Bedientasten angezeigt. So werden beispielsweise Bewegungstasten 94 zum Bewegen der Abbildungseinheit 73 (Bezugslinie 93) in der Y-Achsenrichtung durch eine manuelle Bedienung entlang der rechten Seite der aufgenommenen und Bewegungstasten 95 zum Bewegen der Abbildungseinheit 73 (Bezugslinie 93) in der X-Achsenrichtung durch eine manuelle Bedienung entlang der unteren Seite der aufgenommenen angezeigt. Darüber hinaus werden entlang der linken Seite der aufgenommenen von oben eine Umschalttaste 96 für die Makroanzeige, eine Umschalttaste 97 für die Mikroanzeige und eine Positionseinstellungstaste 98 angezeigt, um automatisch zu bewirken, dass die Y-Koordinate der Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 mit der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 übereinstimmt.
  • Wie in 5B dargestellt, wird, wenn die Abbildungseinheit 73 unter Benutzung der Bewegungstaste 94 bewegt wird, die Ausrichtung der Markierung 85a entsprechend dem Abstand zwischen der Y-Koordinate der Bezugslinie 93 und der Y-Koordinate der bearbeiteten Nut 92 umgeschaltet. Wenn beispielsweise die Abbildungseinheit 73 in der Y-Achsenrichtung bewegt wird und die Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 auf der Basis der bearbeiteten Nut 92 aus dem vorgegebenen Bereich austritt, wird die Ausrichtung der Markierung 85a von der X-Achsenrichtung auf die Y-Achsenrichtung umgeschaltet und die zuletzt bearbeitete Nut 92 wird durch die Markierung 85a aus der Y-Achsenrichtung angezeigt. Aufgrund dessen ist es auch dann möglich, wenn die Abbildungseinheit 73 von der zuletzt bearbeiteten Nut 92 bewegt wird und eine Qualitätskontrolle oder dergleichen einer anderen bearbeiteten Nut 92 durchgeführt wird, zu bewirken, dass der Bediener, die Position der zuletzt bearbeiteten Nut 92 zu erkennt.
  • Wie in 5C dargestellt, kann der Abstand von der Y-Koordinate der Bezugslinie 93 (aktuelle Abbildungsposition) zur Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 in der aufgenommenen angezeigt werden. Dies kann bewirken, dass der Bediener zusätzlich zur Position der zuletzt bearbeiteten Nut 92 den Versatzbetrag zwischen der zuletzt bearbeiteten Nut 92 und der Bezugslinie 93 erkennt. Darüber hinaus kann der Abstand von der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 zur Y-Koordinate der Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 als Anzahl an Linien der bearbeiteten Nuten angezeigt werden. Obwohl die Ausgestaltung, in der die Markierung 85a in der aufgenommenen in einer Mikroanzeige angezeigt wird, in 5A, 5B und 5C eingesetzt wird, wird die Markierung 85a ähnlich in der aufgenommenen auch in einer Makroanzeige angezeigt.
  • Unter Bezugnahme auf 6A, 6B, 6C und 6D wird ein Beispiel für die Displaysteuerung durch den Displaysteuerteil beschrieben. 6A, 6B, 6C und 6D sind Diagramme, die das eine Beispiel der Anzeigensteuerung in der vorliegenden Ausführungsform darstellen. In 6A, 6B, 6C und 6D erfolgt die Beschreibung, wo geeignet, unter Verwendung von Ziffern in 4. Obwohl die Anzeigensteuerung der bearbeiteten Nut der ersten Spindelseite mit 6A, 6B, 6C und 6D beschrieben wird, wird die Anzeigensteuerung auch für die zweite Spindelseite nach dem gleichen Verfahren ausgeführt.
  • Wie in 6A dargestellt, wird beim Bearbeiten durch die Schneidvorrichtung 1 (siehe 1) die Abbildungseinheit 73 auf die zuletzt bearbeitete Nut 92 positioniert, basierend auf einem vorgegebenen Abstand L von der Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 zur Mitte in Breitenrichtung der Schneidklinge 71 und der Schneidposition (Y-Koordinate) der Schneidklinge 71. Darüber hinaus wird durch das Anzeigesteuerungsteil 83 die Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 aus dem Speicherteil 81 für die Y-Koordinatenposition der zuletzt bearbeiteten Nut erfasst und die Markierung 85a wird aus dem Markierungsspeicherteil 82 erfasst. Dann wird die aufgenommene einschließlich der zuletzt bearbeiteten Nut 92 von der Abbildungseinheit 73 aufgenommen und die Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 wird in der aufgenommenen angezeigt. Zusätzlich wird die Markierung 85a angezeigt, welche die zuletzt bearbeitete Nut 92 anzeigt (siehe 6B und 6C).
  • Wie in 6B dargestellt, wird, wenn die Y-Koordinate der Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 in einen vorbestimmten Bereich R fällt, der auf die Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 zentriert ist, die Markierung 85a im horizontal ausgerichteten Zustand, basierend auf der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92, auf der zuletzt bearbeiteten Nut 92 auf eine überlagerte Weise dargestellt. Beispielsweise ist die Richtung der Markierung 85a in der der X-Achsenrichtung in dem Zustand ausgerichtet, in dem die Spitze des Pfeils der Markierung 85a auf die Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 positioniert ist. Aus diesem Grund wird vom Bediener erkannt, dass die bearbeitete Nut 92, die durch die Spitze des Pfeils der Markierung 85a angezeigt wird, die letzte ist. Darüber hinaus wird aufgrund der Kennzeichnung Z1 der Markierung 85a vom Bediener erkannt, dass diese bearbeitete Nut 92 die zuletzt bearbeitete Nut 92 ist, die von der Schneidklinge 71 auf der ersten Spindelseite bearbeitet wird.
  • Wie in 6C dargestellt, wird, wenn die Abbildungseinheit 73 bewegt wird und die Y-Koordinate der Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 aus dem vorgegebenen Bereich R austritt, der an Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 zentriert ist, die Ausrichtung der Markierung 85a von der horizontalen Richtung in die vertikale Richtung umgeschaltet. Beispielsweise ist die Richtung der Markierung 85a in dem Zustand, in dem die Spitze des Pfeils der Markierung 85a an der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 positioniert ist, in der Y-Achsenrichtung ausgerichtet. Wie oben wird die durch die Markierung 85a angezeigte Richtung vom Anzeigesteuerungsteil 83 gemäß dem Abstand von der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 zur die Y-Koordinate der Bezugslinie 93 (aktuelle Abbildungsposition) umgeschaltet. Der vorgegebene Bereich R ist ein vom Bediener im Vorhinein für die Schneidvorrichtung 1 festgelegter Bereich.
  • Obwohl die Spitze des Pfeils der Markierung 85a in 6B und 6C an der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 positioniert ist, ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausgestaltung beschränkt. Die Spitze des Pfeils der Markierung 85a kann von der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 abweichen, und es genügt, wenn die Markierung 85a auf der aufgenommenen zumindest so in einer solchen überlagerten Weise angeordnet ist, dass sie die zuletzt bearbeitete Nut 92 anzeigt. Wenn beispielsweise, wie in 6D dargestellt, die zuletzt bearbeitete Nut 92 nicht in der aufgenommenen enthalten ist, ist die Spitze des Pfeils der Markierung 85a nicht an der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut 92 positioniert und die Markierung 85a zeigt nur die Richtung an, in der die zuletzt bearbeitete Nut 92 in Bezug auf Bezugslinie 93 der Abbildungseinheit 73 vorliegt.
  • Wie oben beschrieben, wird gemäß der Schneidvorrichtung 1 der vorliegenden Ausführungsform die Markierung 85a oder 85b, welche die zuletzt bearbeitete Nut 92 anzeigt, von der Anzeigeeinheit 75 auf eine überlagerte Weise auf der aufgenommenen angezeigt. Da die zuletzt bearbeitete Nut 92 auf der aufgenommenen durch die Markierung 85a oder 85b gekennzeichnet ist, ist es möglich, zu bewirken, dass der Bediener stets die Position der zuletzt bearbeiteten Nut 92 erkennt. Darüber hinaus geht die Sicht auf die zuletzt bearbeitete Nut 92 auch dann nicht verloren, wenn die Abbildungseinheit 73 bewegt wird und eine andere Stelle als die zuletzt bearbeitete Nut 92 überprüft wird.
  • In der vorliegenden Ausführungsform wird ein Touchpanel, in das die Anzeigefunktion und die Bedienfunktion integriert sind, beispielhaft als die Anzeigeeinheit dargestellt. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Ausgestaltung beschränkt. Die Anzeigeeinheit kann aus einer Anzeige ausgebildet sein, die ausschließlich zur Anzeige dient, wobei die Bedienfunktion einer anderen Eingabevorrichtung übertragen wird.
  • Darüber hinaus wird in der vorliegenden Ausführungsform die Ausgestaltung, die den Einspanntisch in der Bearbeitungszufuhrrichtung relativ zu den Bearbeitungseinheiten bewegt, als der Bearbeitungszufuhrmechanismus verwendet. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Ausgestaltung beschränkt. Es genügt, wenn der Bearbeitungszufuhrmechanismus eine Ausgestaltung ist, die den Einspanntisch und die Bearbeitungseinheiten relativ in der Bearbeitungszufuhrrichtung bewegt, und es kann eine Ausgestaltung eingesetzt werden, welche die Bearbeitungseinheiten in der Bearbeitungszufuhrrichtung relativ zum Einspanntisch bewegt.
  • Darüber hinaus wird in der vorliegenden Ausführungsform die Ausgestaltung, welche die Bearbeitungseinheiten in der Indexzufuhrrichtung relativ zum Einspanntisch bewegt, als der Indexzufuhrmechanismus verwendet. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Ausgestaltung beschränkt. Es genügt, wenn der Indexzufuhrmechanismus eine Ausgestaltung ist, die den Einspanntisch und die Bearbeitungseinheiten relativ in der Indexzufuhrrichtung bewegt, und es kann eine Ausgestaltung verwendet werden, die den Einspanntisch in der Indexzufuhrrichtung relativ zu den Bearbeitungseinheiten bewegt.
  • Obwohl die Markierung in der vorliegenden Ausführungsform aus der Pfeilabbildung ausgebildet ist, ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausgestaltung beschränkt. Es genügt, dass die Markierung eine Form aufweist, welche die zuletzt bearbeitete Nut anzeigt, und die Markierung kann beispielsweise aus einer Fingermarkierung ausgebildet sein.
  • Darüber hinaus wird in der vorliegenden Ausführungsform die Ausgestaltung verwendet, bei der die Ausrichtung der Markierung zwischen der Y-Achsenrichtung und der X-Achsenrichtung gewechselt wird. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Ausgestaltung beschränkt. Es genügt, wenn die Ausrichtung der Markierung eine Ausrichtung ist, welche die zuletzt bearbeitete Nut anzeigt, und die Markierung kann beispielsweise in einer schrägen Richtung ausgerichtet sein.
  • Auch wenn die Ausgestaltung, in der die Markierung mit der Kennzeichnung versehen wird, in der vorliegenden Ausführungsform eingesetzt wird, ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausgestaltung beschränkt. Wenn es nicht notwendig ist, die erste Spindelseite und die zweite Spindelseite wie in einer Bearbeitungsvorrichtung mit einer Spindel zu unterscheiden, muss die Markierung nicht mit der Kennzeichnung versehen werden.
  • Obwohl die Beschreibung in der vorliegenden Ausführungsform durch eine beispielhafte Veranschaulichung einer Schneidvorrichtung mit zwei Spindeln als eine Bearbeitungsvorrichtung erfolgt, ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausgestaltung beschränkt. Die vorliegende Erfindung kann auf andere Bearbeitungsvorrichtungen angewandt werden, die bearbeitete Nuten an einem Werkstück ausbilden. So können beispielsweise andere Bearbeitungsvorrichtungen wie eine Schneidvorrichtung mit einer Spindel, eine Laserbearbeitungsvorrichtung und eine durch ein Kombinieren erhaltene Clustervorrichtung verwendet werden.
  • Darüber hinaus können verschiedene Erzeugnisse wie ein Halbleitersubstrat, ein Substrat aus einem anorganischen Material und ein Packungssubstrat als das Werkstück verwendet werden. Als das Halbleitersubstrat können verschiedene Substrate aus Silizium, Galliumarsenid, Galliumnitrid, Siliziumkarbid und so weiter verwendet werden. Als Substrat aus einem anorganischen Material können verschiedene Substrate aus Saphir, Keramik, Glas und so weiter verwendet werden. Vorrichtungen können auf dem Halbleitersubstrat ausgebildet sein und das Substrat aus dem anorganischen Material oder die Vorrichtungen müssen nicht darauf ausgebildet sein. Als Packungsplatte können verschiedene Platten für ein Chip Size Package (CSP), ein Wafer Level Chip Size Package (WLCSP), ein System in Package (SIP) und ein Fan Out Wafer Level Package (FOWLP) verwendet werden. Auf der Packungsplatte kann eine Abschirmung als Gegenmaßnahme gegen elektromagnetische Interferenz (EMI) ausgebildet sein. Darüber hinaus können als Erzeugnis Lithium-Tantalat, Lithiumniobat, Rohkeramik und piezoelektrisches Material nach einem Ausbilden von Bauelementen oder vor einem Ausbilden von Bauelementen verwendet werden.
  • Obwohl die vorliegenden Ausführungsbeispiele und Modifikationsbeispiele beschrieben werden, kann darüber hinaus das, was durch ein Kombinieren der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele und Modifikationsbeispiele ganz oder teilweise erhalten wird, als andere Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung verwendet werden.
  • Darüber hinaus sind Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung und Modifikationsbeispiele nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform beschränkt und können vielfältig in einem solchen Ausmaß geändert, ersetzt und modifiziert werden, dass sie nicht vom Hauptinhalt der technischen Ideen der vorliegenden Erfindung abweichen. Wenn eine technische Idee der vorliegenden Erfindung aufgrund eines Fortschritts in der Technik oder einer anderen Technik, die abgeleitet ist, auf andere Weise umgesetzt werden kann, kann die technische Idee unter Anwendung der Methode umgesetzt werden. Deswegen umfasst der Umfang der Ansprüche alle Ausführungsformen, die in den Bereich der technischen Ideen der vorliegenden Erfindung aufgenommen werden können.
  • Wie oben beschrieben, hat die vorliegende Erfindung den Effekt, dass stets die zuletzt bearbeitete Nut erkannt werden kann, ohne den Blick auf die zuletzt bearbeitete Nut zu verlieren, und ist besonders effektiv für eine Bearbeitungsvorrichtung, die ein Werkstück mit einer Schneidklinge bearbeitet.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Ergänzungen, die unter die Äquivalenz des Umfangs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2012146831 [0003]

Claims (2)

  1. Bearbeitungsvorrichtung, umfassend: einen Einspanntisch, der ein Werkstück hält; eine Bearbeitungseinheit, die eine bearbeitete Nut an dem vom Einspanntisch gehaltenen Werkstück ausbildet; einen Bearbeitungszufuhrmechanismus, der den Einspanntisch und die Bearbeitungseinheit relativ in einer Bearbeitungszufuhrrichtung, die eine X-Achsenrichtung ist, bewegt; einen Indexzufuhrmechanismus, der den Einspanntisch und die Bearbeitungseinheit in einer Indexzufuhrrichtung relativ bewegt, die eine zur Bearbeitungszufuhrrichtung senkrechte Y-Achsenrichtung ist; eine Abbildungseinheit, die das vom Einspanntisch gehaltene Werkstück abbildet; eine Anzeigeeinheit, die eine aufgenommene Abbildung einer bearbeiteten Nut anzeigt, die durch ein Abbilden der durch die Bearbeitung des Werkstücks durch die Bearbeitungseinheit aus gebildeten bearbeiteten Nut durch die Abbildungseinheit erhalten wurde; und eine Steuereinheit, wobei die Steuerungseinheit einen Speicherteil für eine Y-Koordinate einer zuletzt bearbeiteten Nut, der eine Y-Koordinate einer zuletzt bearbeiteten Nut speichert, und einen Anzeigesteuerteil beinhaltet, der bewirkt, dass eine Markierung, welche die zuletzt bearbeitete Nut basierend auf der anzuzeigenden Y-Koordinate angibt, der auf der Anzeigeeinheit angezeigten aufgenommenen Abbildung auf überlagerte Weise angezeigt wird.
  2. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Anzeigesteuerteil eine durch die Markierung angegebene Richtung entsprechend einer aktuellen Abbildungsposition der Abbildungseinheit und der Y-Koordinate der zuletzt bearbeiteten Nut wechselt.
DE102019205233.9A 2018-04-13 2019-04-11 Bearbeitungsvorrichtung Pending DE102019205233A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018-077357 2018-04-13
JP2018077357A JP7126849B2 (ja) 2018-04-13 2018-04-13 加工装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102019205233A1 true DE102019205233A1 (de) 2019-10-17

Family

ID=68053024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102019205233.9A Pending DE102019205233A1 (de) 2018-04-13 2019-04-11 Bearbeitungsvorrichtung

Country Status (8)

Country Link
US (1) US10935957B2 (de)
JP (1) JP7126849B2 (de)
KR (1) KR20190120071A (de)
CN (1) CN110370471B (de)
DE (1) DE102019205233A1 (de)
MY (1) MY194677A (de)
SG (1) SG10201902777SA (de)
TW (1) TWI797310B (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7382833B2 (ja) 2020-01-06 2023-11-17 株式会社ディスコ 加工装置
JP7370265B2 (ja) * 2020-01-30 2023-10-27 株式会社ディスコ 加工方法及び加工装置
JP7430449B2 (ja) * 2020-02-04 2024-02-13 株式会社ディスコ 加工装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012146831A (ja) 2011-01-13 2012-08-02 Disco Abrasive Syst Ltd 加工位置調製方法及び加工装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10197221A (ja) * 1997-01-13 1998-07-31 Topcon Corp 測定顕微鏡
JP4462717B2 (ja) * 2000-05-22 2010-05-12 株式会社ディスコ 回転ブレードの位置検出装置
JP5134216B2 (ja) * 2006-06-23 2013-01-30 株式会社ディスコ ウエーハの加工結果管理方法
JP2008004885A (ja) * 2006-06-26 2008-01-10 Disco Abrasive Syst Ltd 加工装置
JP4972447B2 (ja) * 2007-04-06 2012-07-11 オークマ株式会社 数値制御装置
JP2009083016A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Disco Abrasive Syst Ltd 切削装置
JP5539023B2 (ja) * 2010-05-25 2014-07-02 株式会社ディスコ ウェーハの加工方法
IT1401373B1 (it) * 2010-08-06 2013-07-18 Fidia Spa Sistema predittivo di controllo e visualizzazione virtuale per una macchina utensile a controllo numerico
BR112013011303A2 (pt) * 2010-11-10 2020-07-07 Interactive Machine Systems Pty Limited sistema de assistência para o comando de uma máquina-ferramenta, método para o comando de uma máquina-ferramenta, máquina-ferramenta e programa informático
JP5844059B2 (ja) * 2011-03-10 2016-01-13 東芝機械株式会社 ワーク切削ラインの表示方法
JP5908351B2 (ja) * 2012-06-26 2016-04-26 セイコープレシジョン株式会社 穴開け位置決定装置、穴開け位置決定方法、及び、プログラム
JP6282194B2 (ja) * 2014-07-30 2018-02-21 株式会社ディスコ ウェーハの加工方法
JP6695102B2 (ja) * 2015-05-26 2020-05-20 株式会社ディスコ 加工システム
JP6746198B2 (ja) * 2016-04-01 2020-08-26 株式会社ディスコ 切削装置
JP6707396B2 (ja) * 2016-05-11 2020-06-10 株式会社ディスコ 切削装置
US10654185B2 (en) * 2016-07-29 2020-05-19 John Bean Technologies Corporation Cutting/portioning using combined X-ray and optical scanning

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012146831A (ja) 2011-01-13 2012-08-02 Disco Abrasive Syst Ltd 加工位置調製方法及び加工装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN110370471B (zh) 2022-08-02
JP7126849B2 (ja) 2022-08-29
US20190317471A1 (en) 2019-10-17
KR20190120071A (ko) 2019-10-23
CN110370471A (zh) 2019-10-25
US10935957B2 (en) 2021-03-02
SG10201902777SA (en) 2019-11-28
TWI797310B (zh) 2023-04-01
TW201944030A (zh) 2019-11-16
MY194677A (en) 2022-12-13
JP2019186447A (ja) 2019-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102019205233A1 (de) Bearbeitungsvorrichtung
DE102018212588A1 (de) Waferbearbeitungsverfahren
DE102012220161B4 (de) Bearbeitungsverfahren für einen Wafer mit einem abgeschrägten Abschnitt entlang des äusseren Umfangs davon
DE102016107709A1 (de) Laserbearbeitungsvorrichtung
DE102019202712A1 (de) Steuerungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtung
DE112006002502T5 (de) Laserdicingvorrichtung und Laserdicingverfahren
DE102019207552A1 (de) Transferschablone und ein Schneidklingenwechselverfahren
DE102017210694A1 (de) Detektionsverfahren für einen inneren Riss und Detektionsvorrichtung für einen inneren Riss
DE102020204746A1 (de) Überprüfvorrichtung und bearbeitungsvorrichtung mit derselben
DE102019219221A1 (de) Schneidvorrichtung und Waferbearbeitungsverfahren, das eine Schneidvorrichtung benutzt
DE102020216417A1 (de) Bearbeitungsvorrichtung
DE102020200257A1 (de) Werkstückschneidverfahren
DE102018205118A1 (de) Bearbeitungsvorrichtung
DE102021200934A1 (de) Bearbeitungsvorrichtung
DE102018217297A1 (de) Vorrichtung zum Teilen eines Werkstücks
DE102014209555A1 (de) Laserbearbeitungsvorrichtung
DE102019219223A1 (de) Schneidvorrichtung
DE10101090B4 (de) Verfahren des Schneidens von CSP-Substraten
DE102019203699A1 (de) Schneidvorrichtung
DE102019208340A1 (de) Behandlungsvorrichtung zum behandeln eines werkstücks
DE102021200658A1 (de) Schneidvorrichtung und schneidverfahren
DE102020207132A1 (de) Bearbeitungsvorrichtung
DE102020211449B4 (de) Bearbeitungsvorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks
DE102022202638A1 (de) Bearbeitungsvorrichtung
DE102020215282A1 (de) Bearbeitungsvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication