DE102015217908A1 - Lidarsensor - Google Patents
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Abstract
Lidarsensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge, mit einer Lichtquelle (12), einem beweglichen Ablenkspiegel (18) zum Erzeugen eines einen Überwachungsraum (36) überstreichenden Taststrahls (32) durch Ablenken eines von der Lichtquelle (12) emittierten Lichtstrahls (14), und mit einem optischen Empfänger (42) zum Detektieren von Licht, das an einem von dem Taststrahl (32) getroffenen Objekt (38) im Überwachungsraum (36) reflektiert wurde, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (12) und der Ablenkspiegel (18) dazu eingerichtet sind, mit dem abgelenkten Lichtstrahl (26) ein Feld (20) mikro-optischer Elemente (22) abzutasten, deren jedes, wenn es von dem Lichtstrahl getroffen wird, diesen Lichtstrahl zu einem divergenten Strahl (28) aufweitet, und dass in Abstand zu dem Feld (20) mikro-optischer Elemente ein Licht bündelndes Element (30) angeordnet ist, das den divergenten Strahl (28) in einen den Taststrahl (32) bildenden Strahl umformt, dessen Strahldurchmesser größer ist als der des abgelenkten Strahls (26).
Description
- Die Erfindung betrifft einen Lidarsensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge, mit einer Lichtquelle, einem beweglichen Ablenkspiegel zum Erzeugen eines einen Überwachungsraum überstreichenden Taststrahls durch Ablenken eines von der Lichtquelle emittierten Lichtstrahls, und mit einem optischen Empfänger zum detektieren von Licht, das an einem von dem Taststrahl getroffenen Objekt im Überwachungsraum reflektiert wurde.
- Stand der Technik
- Lidarsensoren werden unter anderem in Fahrerassistenzsystemen für Kraftfahrzeuge zur Erfassung des Verkehrsumfelds eingesetzt, beispielsweise zur Ortung von vorausfahrenden Fahrzeugen oder anderen Hindernissen.
- Bei herkömmlichen Lidarsensoren der oben genannten Art wird der von der Lichtquelle, beispielsweise einem Halbleiterlaser, erzeugte Lichtstrahl durch eine Optik geringfügig aufgeweitet, so dass er einen Strahldurchmesser von beispielsweise 1–2 mm hat. Dieser Strahl wird dann am Ablenkspiegel abgelegt und bildet unmittelbar den Taststrahl zur Ortung von Objekten. Der Ablenkspiegel wird oszillierend in einer Dimension oder in zwei Dimensionen bewegt, so dass der Taststrahl einen bestimmten Winkelbereich oder – im Fall einer zweidimensionalen Bewegung des Ablenkspiegels – einen bestimmten Raumwinkelbereich überstreicht, der den Überwachungsraum bildet.
- Aufgrund des kleinen Strahldurchmessers kann ein kleinbauender Ablenkspiegel verwendet werden, der ein entsprechend kleines Trägheitsmoment hat, so dass die Mechanik des Spiegels auch bei hohen Oszillationsfrequenzen nicht überbeansprucht wird und somit eine Abtastung des Überwachungsraumes mit hoher Framerate möglich ist.
- Nachteilig ist jedoch, dass bei Staub, Regen oder Schnee verhältnismäßig hohe Absorptions- und Streuverluste auftreten, weil der Strahldurchmesser im Verhältnis zu den streuenden Partikeln (z. B. Schneeflocken) relativ klein ist. Unter ungünstigen Bedingungen wird dadurch die Reichweite und Empfindlichkeit des Lidarsensors begrenzt. Durch das Erfordernis der Augensicherheit wird außerdem die maximal zulässige Intensität des Laserstrahls begrenzt. Auch daraus ergeben sich Beschränkungen hinsichtlich Reichweite und Empfindlichkeit.
- Als Alternative sind sogenannte Makroscanner bekannt, bei denen der Laserstrahl durch die Optik wesentlich stärker aufgeweitet wird. Aufgrund der Erhaltung des Strahlparameterprodukts kann dann im Fernfeld ein sehr kleiner Öffnungswinkel des Taststrahls erreicht werden. Zum Ablenken des Strahls würde allerdings ein sehr groß dimensionierter Ablenkspiegel benötigt. Aus diesem Grund wird zumeist der Lidarsensor als Ganzes im Azimut verschwenkt. Aufgrund der Abmessungen und Massenträgheit des Sensors sind dann jedoch nur relativ kleine Öffnungswinkel des Überwachungsraumes und/oder kleine Abtastfrequenzen und damit niedrige Frameraten möglich. Wenn eine Winkelauflösung auch in Elevation erforderlich ist, wird zumeist mit Mehrstrahlsystemen gearbeitet, bei denen mehrere Taststrahlen unter unterschiedlichen Elevationswinkeln abgestrahlt werden.
- Offenbarung der Erfindung
- Aufgabe der Erfindung ist es, einen Lidarsensor zu schaffen, der bei der gebotenen Augensicherheit und geringer Empfindlichkeit gegenüber Streupartikeln eine hohe Abtastfrequenz und/oder große Öffnungswinkel des Überwachungsraumes ermöglicht.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Lichtquelle und der Ablenkspiegel dazu eingerichtet sind, mit dem abgelenkten Lichtstrahl ein Feld mikro-optischer Elemente abzutasten, deren jedes, wenn es von dem Lichtstrahl getroffen wird, diesen Lichtstrahl zu einem divergenten Strahl aufweitet, und dass in Abstand zu dem Feld mikro-optischer Elemente ein Licht bündelndes Element angeordnet ist, das den divergenten Strahl in einen den Taststrahl bildenden Strahl umformt, dessen Strahldurchmesser größer ist als der des abgelenkten Strahls.
- Die mikro-optischen Elemente und das Licht bündelnde Element bewirken zusammen eine Strahlaufweitung ähnlich wie bei einem Makroscanner, so dass die Augensicherheit auch bei erhöhter Gesamtleistung des Laserstrahls gewährleistet werden kann, da der Strahldurchmesser größer ist als der Pupillendurchmesser des menschlichen Auges. Auch die Empfindlichkeit gegenüber Streupartikeln ist ähnlich gering wie bei Makroscannern. Da jedoch der auf den Ablenkspiegel auftreffende Strahl einen wesentlich kleineren Durchmesser hat, kann ein kleinbauender Ablenkspiegel verwendet werden, mit dem entsprechend hohe Abtastfrequenzen möglich sind. Der am Ablenkspiegel abgelenkte Strahl tastet nicht unmittelbar den Überwachungsraum ab, sondern nur das Feld mikro-optischer Elemente. Die Richtung, in die dann der Taststrahl abgestrahlt wird, ist von der Lage des jeweils getroffenen mikro-optischen Elements relativ zur optischen Achse des Licht bündelnden Elements abhängig. Der Öffnungswinkel des Überwachungsraumes kann deshalb deutlich größer sein als der Winkel, um den der Lichtstrahl am Ablenkspiegel maximal abgelenkt wird. Auf diese Weise wird eine Abtastung eines Überwachungsraumes mit weitem Öffnungswinkel mit hoher Framerate ermöglicht.
- Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
- Die mikro-optischen Elemente können wahlweise Licht brechende Elemente (z. B. Zerstreuungslinsen) oder reflektierende Elemente (z. B. Wölbspiegel oder Hohlspiegel) sein. Auch beugende Elemente (z.B. DOEs, Diffractive Optische Elemente) können verwendet werden.
- Das Licht bündelnde Element kann eine optische Linse sein, in deren Fokalebene das Feld mikro-optischer Elemente liegt, so dass die divergenten Strahlen durch die Linse in nahezu parallele Strahlen umgeformt werden. Alternativ wäre anstelle einer Linse auch ein Hohlspiegel denkbar.
- Das Licht bündelnde Element kann zugleich das Objektiv des optischen Empfängers bilden, so dass der eintreffende, am Objekt reflektierte Strahl mit dem emittierten Strahl koaxial ist und somit bei der Auswertung des detektierten Signals keine Parallaxenfehler berücksichtigt zu werden brauchen. Beispielsweise kann im Strahlengang zwischen der Lichtquelle und dem Licht bündelnden Element, also zwischen der Lichtquelle und dem Ablenkspiegel, zwischen dem Ablenkspiegel und dem Feld mikro-optischer Elemente oder zwischen dem Feld mikro-optischer Elemente und dem Licht bündelnden Element, ein Strahlteiler vorgesehen sein, der das empfangene Licht auf ein Detektorfeld umlenkt. In einer Ausführungsform kann auch das Feld mikro-optischer Elemente zugleich die Funktion eines Strahlteilers haben.
- Zum Ausgleich von Abbildungsfehlern kann es vorteilhaft sein, wenn das Feld mikro-optischer Elemente oder ein Spiegel, der das Licht auf dieses Feld umlenkt, gewölbt ausgebildet ist.
- Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert.
- Es zeigen:
-
1 eine Skizze eines erfindungsgemäßen Lidarsensors; -
2 eine Illustration eines Anwendungsbeispiels, bei dem der Lidarsensor zur Objektortung in einem Kraftfahrzeug eingesetzt wird; und -
3 bis8 eine Skizzen von Lidarsensoren gemäß weiteren Ausführungsformen der Erfindung. - Der in
1 gezeigte Lidarsensor10 weist als Lichtquelle12 einen Halbleiterlaser auf, der einen Lichtstrahl14 im sichtbaren Bereich des Spektrums oder wahlweise auch im Infrarotbereich emittiert. Eine Abbildungslinse16 fokussiert das Licht über einen Ablenkspiegel18 auf ein Feld20 mikro-optischer Elemente22 . Im gezeigten Beispiel ist das Feld20 eine transparente Platte, beispielsweise eine Glasplatte, die ein feines Raster von Zerstreuungslinsen als mikrooptische Elemente22 aufweist. - Der Ablenkspiegel
18 ist um eine senkrecht zur Zeichenebene in1 verlaufende Achse24 schwenkbar und wird oszillierend bewegt, wie in1 durch einen Doppelpfeil angedeutet wird. Der Lichtstrahl14 wird am Ablenkspiegel18 so abgelenkt, das er einen abgelenkten Strahl26 bildet, der das Feld20 abtastet. Diejenige der Zerstreuungslinsen, die von dem abgelenkten Strahl26 getroffen wird, erzeugt einen divergenten Strahl28 , der auf ein Licht bündelndes Element in Form einer Linse30 trifft. - Der Abstand zwischen dem Feld
20 und der Linse30 entspricht etwa der Brennweite der Linse30 , so dass der divergente Strahl28 durch die Linse in ein annähernd paralleles Strahlenbündel umgeformt wird, das als Taststrahl32 vom Lidarsensor10 ausgestrahlt wird. Die Abstrahlrichtung des Taststrahls32 ist dabei von dem Ort des mikro-optischen Elements22 abhängig, das gerade von dem abgelenkten Strahl26 getroffen wird. Auf diese Weise bewirkt der Ablenkspiegel18 mittelbar auch eine Ablenkung des Taststrahls32 . -
2 zeigt ein Kraftfahrzeug34 , bei dem der Lidarsensor10 in der Frontpartie eingebaut und in Fahrtrichtung nach vorn gerichtet ist. Der Taststrahl32 wird mit Hilfe des Ablenkspiegels oszillierend abgelenkt und überstreicht einen Winkelbereich ±α, der im gezeigten Beispiel ±12° beträgt und einen von dem Lidarsensor10 abgetasteten Überwachungsraum36 definiert. Im gezeigten Beispiel befindet sich im Überwachungsraum36 ein Objekt38 , nämlich ein vorausfahrendes Fahrzeug, das von dem Taststrahl32 getroffen wird und einen Teil der Strahlung reflektiert, so dass ein reflektierter Strahl40 zum Lidarsensor10 zurückläuft und dort empfangen wird. - In dem in
1 gezeigten Beispiel wird ein Empfänger42 des Lidarsensors durch eine Linse44 und einen opto-elektronischen Bildsensor46 gebildet. Der reflektierte Strahl40 wird durch die Linse44 , die neben der Linse30 angeordnet ist, auf den Bildsensor46 fokussiert. Der Bildsensor wird beispielsweise durch eine Zeile oder ein Feld von CCD-Elementen gebildet. - Bei der in
1 gezeigten Anordnung bestimmt der Abstand zwischen dem Ablenkspiegel18 und dem Feld20 den Winkel, um den der Ablenkspiegel gedreht werden muss, um das Feld20 vollständig abzutasten. Je größer dieser Abstand ist, desto kleiner ist der Winkelbereich, in dem der Ablenkspiegel18 verschwenkt werden muss. Der Winkelbereich, der von dem Abtaststrahl32 überstrichen wird und somit den Überwachungsraum36 definiert, ist dagegen von der Brennweite der Linse30 und damit vom Abstand zwischen dem Feld20 und der Linse30 abhängig und kann deshalb deutlich mehr als das Zweifache des Winkelbereichs betragen, in dem der Ablenkspiegel18 verschwenkt wird. - Im Fall eines eindimensionalen Lidarsensors wird der Taststrahl
32 nur in einer Dimension verschwenkt, beispielsweise im Azimut, wie in2 . In dem Fall besteht das Feld20 nur einer einzigen Zeile von dicht nebeneinander angeordneten mikro-optischen Elementen22 . - Im Fall eines zweidimensionalen Lidarsensors, bei dem der Taststrahl
32 auch in Elevation verschwenkt wird, ist das Feld20 hingegen ein zweidimensionales Feld, das auch in der Richtung senkrecht zur Zeichenebene in1 ausgedehnt ist, und der Ablenkspiegel18 ist nicht nur um die Achse24 schwenkbar, sondern auch um eine Achse, die rechtwinklig zur Achse24 in Längsrichtung des Spiegels verläuft. - In einem praktischen Beispiel hat der von der Lichtquelle
12 erzeugte Lichtstrahl14 eine Beugungsmesszahl M2 von etwa 3,3, einen Öffnungswinkel von etwa 1,7° und an der dünnsten Stelle einen Durchmesser von etwa 0,14 mm. Die Abbildungslinse16 hat einen Durchmesser von 3 mm und eine Brennweite von 29 mm, der Abstand zur Lichtquelle beträgt 76 mm. Der Ablenkspiegel18 ist etwa 11 mm von der Abbildungslinse16 und etwa 40 mm vom Feld20 der mikro-optischen Elemente entfernt. Das Feld20 hat in der Hauptabtastrichtung (vertikal in1 ) eine Länge von 22 mm und bildet zehn Mikrolinsen pro Millimeter. Die Linse30 hat einen Durchmesser von 50 mm und eine Brennweite von 50 mm. Der Taststrahl32 kann dann in dem genannten Winkelbereich von +/–12° verschwenkt werden und hat einen Durchmesser, der am Ort der Linse etwa 19 mm beträgt und über eine Entfernung von 180 m auf etwa 57 cm zunimmt. Der Durchmesser des Taststrahls32 ist somit selbst unmittelbar am Lidarsensor mehr als doppelt so groß wie die Eintrittspupille eines menschlichen Auges (ca. 7 mm), so dass die nötige Augensicherheit auch bei hoher Gesamtleistung der Laserstrahlung und entsprechend großer Reichweite und Empfindlichkeit des Lidarsensors gewahrt werden kann. Außerdem ist der Strahldurchmesser größer als der typische Durchmesser von Streupartikeln wie Schneeflocken48 , Regentropfen, Staubkörnchen und dergleichen, so dass nur entsprechend geringe Streu- und Absorptionsverluste auftreten. -
3 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel einen Lidarsensor10a , mit einem Feld20a mikro-optischer Elemente22a , das durch eine reflektierende Platte gebildet wird. Die einzelnen mikro-optischen Elemente22a werden in diesem Fall durch kleine Wölbspiegel (oder wahlweise auch Hohlspiegel mit sehr kurzer Brennweite) gebildet. - Die Linse
30 bildet in diesem Ausführungsbeispiel zugleich das Objektiv eines Empfängers42a , der außerdem einen Strahlteiler50 aufweist, beispielsweise einen halbdurchlässigen Spiegel, der den divergenten Strahl von den mikrooptischen Elementen22a zur Linse30 durchlässt, jedoch einen Teil des empfangenen Lichts auf einen Bildsensor46a ablenkt. Diese Ausbildung des Empfängers42a ist selbstverständlich auch bei Ausführungsformen mit Licht brechenden Elementen als mikro-optischen Elementen möglich, wie umgekehrt auch in Kombination mit den reflektierenden mikro-optischen Elementen22a ein separat von der Linse30 angeordneter Empfänger möglich ist. -
4 zeigt einen Lidarsensor10b , der sich von dem Lidarsensor10a dadurch unterscheidet, dass ein anders aufgebauter Empfänger42b vorgesehen ist. Dieser Empfänger weist einen Strahlteiler50b in der Form eines halbdurchlässigen Spiegels auf, der zwischen der Lichtquelle12 und der Abbildungslinse16 angeordnet ist und das empfangene Licht auf einen Bildsensor46b umlenkt, der durch ein einzelnes lichtempfindliches Element gebildet wird. Bei dieser Ausführungsform wird somit das empfangene Licht von der Linse30 auf das Feld20a fokussiert, dort auf den Ablenkspiegel18 reflektiert und schließlich durch die Abbildungslinse16 und über den Strahlteiler50b auf den Bildsensor46b fokussiert. Die Richtung, aus der das empfangene Licht eintrifft, ergibt sich in diesem Fall aus der zu jedem Zeitpunkt bekannten Winkelstellung des Ablenkspiegels18 , wobei angenommen wird, dass die Signallaufzeit des Lichts so kurz ist, dass der Drehwinkel, um den der Ablenkspiegel18 innerhalb dieser Zeit verdreht wird, vernachlässigbar klein ist. -
5 zeigt einen Lidarsensor10c , der sich von dem Lidarsensor nach4 dadurch unterscheidet, dass als Feld mikro-optischer Elemente ein gewölbtes Feld20c vorgesehen ist. Die Wölbung dieses Feldes erlaubt es, Abbildungsfehler zu minimieren. Als mikro-optische Elemente sind in diesem Beispiel Licht beugende Elemente22c vorgesehen. Wahlweise könnten jedoch auch Licht brechende oder reflektierende Elemente vorgesehen sein. - Zwischen dem Ablenkspiegel
18 und dem Feld20c ist in diesem Beispiel ein weiterer Spiegel52 vorgesehen, der das Licht so umlenkt, dass es längs der optischen Achse der Linse30 auf das Feld20c fällt. -
6 zeigt als modifiziertes Ausführungsbeispiel einen Lidarsensor10d , der den gleichen grundsätzlichen Aufbau wie der Lidarsensor10c in5 aufweist, mit dem Unterschied, dass das gewölbte Feld20c gemäß5 durch das nicht gewölbte Feld20 mikro-optischer Elemente gemäß1 ersetzt ist. Dafür ist hier zum Ausgleich von Abbildungsfehlern anstelle des ebenen Spiegels52 ein gewölbter Spiegel52d vorgesehen. -
7 zeigt einen Lidarsensor10e , bei dem die Lichtquelle12 einen scharf gebündelten parallelen Laserstrahl erzeugt, der über den Ablenkspiegel18 und einen halbdurchlässigen Spiegel eines Strahlteilers50e auf das Feld20 mikrooptischer Elemente gelenkt wird. Das empfangene und von der Linse30 gebündelte Licht (hier durch gestrichelte Linien dargestellt) fällt durch das (lichtdurchlässige) Feld20 hindurch auf den Strahlteiler50e und wird durch diesen auf einen Empfänger42e ausgekoppelt, der durch einen flächigen (oder zeilenförmigen) Bildsensor46e und eine Abbildungslinse16e gebildet wird. Die zusätzliche Abbildungslinse16e ermöglicht die Verwendung eines sehr kleinen Bildsensors46e . Außerdem kann bei dieser Anordnung die Empfangsapertur besser ausgenutzt werden. Der Bildsensor46 empfängt das gesamte Licht eines Strahlenbündels, das an der Linse30 den vollen Querschnitt dieser Linse ausfüllt. Auf diese Weise wird eine höhere Signalstärke im Empfangspfad erreicht. -
8 zeigt schließlich einen Lidarsensor10f , der sich von dem Lidarsensor10e dadurch unterscheidet, dass ein Feld20f reflektierender mikro-optischer Elemente vorgesehen ist, das jedoch halbdurchlässig ist und somit zugleich als Strahlteiler fungiert.
Claims (17)
- Lidarsensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge, mit einer Lichtquelle (
12 ), einem beweglichen Ablenkspiegel (18 ) zum Erzeugen eines einen Überwachungsraum (36 ) überstreichenden Taststrahls (32 ) durch Ablenken eines von der Lichtquelle (12 ) emittierten Lichtstrahls (14 ), und mit einem optischen Empfänger (42 ;42a ;42b ;42e ) zum Detektieren von Licht, das an einem von dem Taststrahl (32 ) getroffenen Objekt (38 ) im Überwachungsraum (36 ) reflektiert wurde, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (12 ) und der Ablenkspiegel (18 ) dazu eingerichtet sind, mit dem abgelenkten Lichtstrahl (26 ) ein Feld (20 ;20a ,20c ;20f ) mikro-optischer Elemente (22 ;22a ;22c ) abzutasten, deren jedes, wenn es von dem Lichtstrahl getroffen wird, diesen Lichtstrahl zu einem divergenten Strahl (28 ) aufweitet, und dass in Abstand zu dem Feld (20 ;20a ,20c ;20f ) mikro-optischer Elemente ein Licht bündelndes Element (30 ) angeordnet ist, das den divergenten Strahl (28 ) in einen den Taststrahl (32 ) bildenden Strahl umformt, dessen Strahldurchmesser größer ist als der des abgelenkten Strahls (26 ). - Lidarsensor nach Anspruch 1, bei dem mikro-optischen Elemente (
22 ) Mikrolinsen sind. - Lidarsensor nach Anspruch 1, bei dem die mikro-optischen Elemente (
22a ) reflektierende Elemente sind. - Lidarsensor nach Anspruch 1, bei dem die mikro-optischen Elemente (
22c ) Licht beugende Elemente sind. - Lidarsensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, mit einer Abbildungslinse (
16 ), die den von der Lichtquelle (12 ) emittierten Lichtstrahl (14 ) über den Ablenkspiegel (18 ) auf das Feld (20 ;20a ) der mikro-optischen Elemente fokussiert. - Lidarsensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem der emittierte Lichtstrahl (
14 ) und der abgelenkte Lichtstrahl (26 ) einen Durchmesser von maximal 5 mm haben und das Licht bündelnde Element (30 ) einen Durchmesser von mindestens 15 mm hat. - Lidarsensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das Licht bündelnde Element (
30 ) zugleich ein Objektiv des Empfängers (42a ;42b ;42e ) bildet. - Lidarsensor nach Anspruch 7, mit einem Strahlteiler (
50 ;50b ;50e ) im Strahlengang zwischen der Lichtquelle (12 ) und dem Licht bündelnden Element (30 ), zum Ablenken des empfangenen Lichts auf einen Bildsensor (46a ;46b ;46e ) des Empfängers. - Lidarsensor nach Anspruch 8, bei dem der Strahlteiler (
50 ) zwischen dem Feld (20a ) mikro-optischer Elemente und dem Licht bündelnden Element (30 ) angeordnet ist. - Lidarsensor nach Anspruch 8, bei dem der Strahlteiler (
50b ) zwischen der Lichtquelle (12 ) und dem Ablenkspiegel (18 ) angeordnet ist. - Lidarsensor nach Anspruch 8, bei dem der Strahlteiler (
50e ) zwischen dem Ablenkspiegel (18 ) und dem Feld (20 ) mikro-optischer Elemente angeordnet ist. - Lidarsensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem der Empfänger (
42b ;42e ) eine Linse (16 ;16e ) zum Fokussieren des empfangenen, von dem Licht bündelnden Element (30 ) vorfokussierten Lichts auf einen Bildsensor (46b ;46e ) aufweist. - Lidarsensor nach Anspruch 12, bei dem die Linse (
16e ) des Empfängers (46e ) und das Licht bündelnde Element (30 ) eine gemeinsame optische Achse haben und ein Strahlteiler (50e ) so auf der gemeinsamen optischen Achse angeordnet ist, dass er das vom Ablenkspiegel (18 ) kommende Licht zu dem Licht bündelnden Element (30 ) umlenkt und das empfangene Licht in den Empfänger (42 ) auskoppelt. - Lidarsensor nach Anspruch 13, bei dem der Strahlteiler durch das Feld (
20f ) mikro-optischer Elemente gebildet wird. - Lidarsensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das Feld (
20c ) mikro-optischer Elemente gewölbt ist. - Lidarsensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem auf der optischen Achse des Licht bündelnden Elements (
30 ) ein Spiegel (52 ;52d ) angeordnet ist, der den vom Ablenkspiegel (18 ) abgelenkten Strahl auf das Feld (20 ;20c ) mikro-optischer Elemente umlenkt. - Lidarsensor nach Anspruch 16, bei dem der Spiegel (
52d ) gewölbt ist.
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