DE102015114405A1 - Halbleitervorrichtung mit sich durch eine zwischenschicht erstreckenden kontaktstrukturen und herstellungsverfahren - Google Patents
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Abstract
Ein Schichtstapel (600) wird auf einer Hauptoberfläche (101a) einer Halbleiterschicht (100a) gebildet, wobei der Schichtstapel (600) eine dielektrische Deckschicht (210a) und eine Metallschicht (310a) zwischen der Deckschicht (210a) und der Halbleiterschicht (100a) umfasst. Zweite Teile (620) des Schichtstapels (600) werden entfernt, um Spalte (611) zwischen zurückbleibenden ersten Teilen (610) zu bilden. Justierstrukturen (220) eines zweiten dielektrischen Materials werden in den Spalten (611) gebildet. Eine Zwischenschicht (230) des ersten oder eines dritten dielektrischen Materials wird gebildet und bedeckt die Justierstrukturen (220) und die ersten Teile (610). Kontakttrenches (301) werden gebildet, die sich durch die Zwischenschicht (230) und die Deckschicht (210a) zu Metallstrukturen (311, 321) erstrecken, die von verbleibenden Teilen der Metallschicht (310a) in den ersten Teilen (610) gebildet sind, wobei die Deckschicht (210a) selektiv gegenüber den Hilfsstrukturen (220) geätzt wird.
Description
- HINTERGRUND
- Die Anmeldung bezieht sich auf Halbleitervorrichtungen, wie Leistungshalbleitervorrichtungen, sowie auf Verfahren zum Herstellen von Halbleitervorrichtungen.
- In IGFETs (Feldeffekttransistoren mit isoliertem Gate) steuert ein an einer Gateelektrode liegendes Gatepotential die Minoritätsladungsträgerverteilung in angrenzenden Kanalteilen, wobei in einem Einschaltzustand des IGFET eine Inversionsschicht von Minoritätsladungsträgern einen leitenden Kanal bildet, durch den ein Laststrom zwischen einem Sourcebereich und einem Drainbereich fließt. Ein Verteilen der Transistorfunktionalität über eine Vielzahl von parallel angeordneten Transistorzellen steigert die Gesamtkanalbreite. Beispielsweise erlaubt ein Lithografieprozess bei einer Belichtungswellenlänge von 193 nm einen Mitte-zu-Mitte-Abstand von 100 nm und weniger zwischen benachbarten streifenförmigen Transistorzellen. Für Transistorzellen mit Source- und Drainbereichen, die von der gleichen Seite kontaktiert sind, schließt ein Vergrößern der Populationsdichte von Transistorzellen ein Schrumpfen von lateralen Abständen zwischen Drainbereichen und Kontakten zu Sourcebereichen sowie zwischen Sourcebereichen und Kontakten zu Drainbereichen ein.
- Es besteht ein Bedarf, einen Ausgleich zwischen Ausbeute und Zuverlässigkeit für die Herstellung von Halbleitervorrichtungen zu verbessern.
- ZUSAMMENFASSUNG
- Die Aufgabe wird durch die Halbleitervorrichtung und das Verfahren zum Herstellen von Halbleitervorrichtungen nach den unabhängigen Patentansprüchen gelöst. Die abhängigen Patentansprüche definieren weitere Ausführungsbeispiele.
- Gemäß einem Ausführungsbeispiel umfasst ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung ein Bilden eines Schichtstapels auf einer Hauptoberfläche einer Halbleiterschicht. Der Schichtstapel umfasst eine dielektrische Deckschicht und eine Metallschicht zwischen der Deckschicht und der Halbleiterschicht. Zweite Teile des Schichtstapels werden entfernt, um Spalte zwischen verbleibenden ersten Teilen des Schichtstapels zu bilden. Justier- bzw. Einstellungsstrukturen eines zweiten dielektrischen Materials werden in den Spalten gebildet. Eine Zwischenschicht des ersten oder eines dritten dielektrischen Materials wird gebildet, die die Justierstrukturen und die ersten Teile des Schichtstapels bedeckt. Kontakttrenches bzw. -gräben werden gebildet, die sich durch die Zwischenschicht und die Deckschicht zu Metallstrukturen erstrecken, die von zurückbleibenden Teilen der Metallschicht in den ersten Teilen des Schichtstapels gebildet sind, wobei die Deckschicht selektiv gegenüber den Hilfsstrukturen geätzt wird.
- Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel umfasst eine Halbleitervorrichtung getrennte geschichtete Stapel auf einer ersten Oberfläche eines Halbleiterteiles. Jeder geschichtete Stapel umfasst eine Haube bzw. Kappe eines ersten dielektrischen Materials und eine Metallstruktur zwischen der Haube und dem Halbleiterteil. Hilfsstrukturen eines zweiten dielektrischen Materials sind zwischen benachbarten geschichteten Stapeln. Eine Zwischenschicht des ersten oder eines dritten dielektrischen Materials bedeckt die geschichteten Stapel und die Hilfsstrukturen. Kontaktstrukturen erstrecken sich durch die Zwischenschicht und die Hauben zu den Metallstrukturen in den geschichteten Stapeln, wobei zwischen benachbarten Hilfsstrukturen die Kontaktstrukturen erste Teile aufweisen, die sich durch die Hauben erstrecken.
- Der Fachmann wird zusätzliche Merkmale und Vorteile nach Lesen der folgenden Detailbeschreibung und Betrachten der begleitenden Zeichnungen erkennen.
- KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
- Die begleitenden Zeichnungen sind beigeschlossen, um ein weiteres Verständnis von Ausführungsbeispielen der Erfindung zu liefern, und sie sind in die Offenbarung der Erfindung einbezogen und bilden einen Teil von dieser. Die Zeichnungen veranschaulichen die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung und dienen zusammen mit der Beschreibung zum Erläutern von Prinzipien der Erfindung. Andere Ausführungsbeispiele der Erfindung und beabsichtigte Vorteile werden sofort gewürdigt, da sie unter Hinweis auf die folgende Detailbeschreibung besser verstanden werden.
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1A ist eine vertikale Schnittdarstellung durch einen Teil eines Halbleitersubstrates zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel mittels Hilfsstrukturen, die in Spalten in einem Schichtstapel gebildet sind, nach Bilden einer ersten Maske. -
1B ist eine schematische vertikale Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von1A nach Bilden von Spalten in dem Schichtstapel. -
1C ist eine schematische vertikale Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von1B nach Bilden von Hilfsstrukturen in den Spalten. -
1D ist eine schematische vertikale Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von1C nach Bilden einer zweiten Maske auf einer Zwischenschicht, die die Hilfsstrukturen und die ersten Teile des Schichtstapels bedeckt. -
1E ist eine schematische vertikale Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von1D nach Bilden von Kontakttrenches, die sich durch die Zwischenschicht zu Metallstrukturen in den ersten Teilen des Schichtstapels erstrecken. -
1F ist eine schematische vertikale Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von1E nach Bilden von Kontaktstrukturen in den Kontakttrenches. -
1G ist eine schematische Draufsicht des Halbleitersubstratteiles von1F gemäß einem Ausführungsbeispiel. -
2 ist eine schematische vertikale Schnittdarstellung eines Teiles einer Halbleitervorrichtung gemäß einem Referenz- bzw. Bezugsbeispiel ohne Hilfsstrukturen und Deckschicht zum Erläutern eines für das Verständnis der Ausführungsbeispiele nützlichen Hintergrundes. -
3A ist eine schematische Schnittdarstellung eines Teiles eines Halbleitersubstrates zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung mit Hilfsstrukturen und einer Schicht mit niedriger Dielektrizitätskonstanten, nach Bilden von Spalten zwischen ersten Teilen eines Schichtstapels. -
3B ist eine schematische horizontale Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von3A nach Bilden der Schicht mit niedriger Dielektrizitätskonstante. -
3C ist eine schematische horizontale Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von3B nach Bilden der Hilfsstrukturen und einer Zwischenschicht. -
3D ist eine schematische horizontale Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von3C nach Bilden von Kontakttrenches, die sich durch die Zwischenschicht zu Metallstrukturen in den ersten Teilen des Schichtstapels erstrecken. -
4A ist eine schematische Schnittdarstellung eines Teiles eines Halbleitersubstrates zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung mit einer Hilfsstruktur aufgrund einer konformen Hilfsschicht, nach Bilden von Spalten zwischen ersten Teilen eines Schichtstapels. -
4B ist eine schematische Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von4A nach Bilden der Hilfsschicht. -
4C ist eine schematische Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von4B nach Bilden einer Hilfsschicht, die Leeräume füllt, die in den Spalten nach Ablagerung der Hilfsschicht belassen sind. -
4D ist eine schematische Schnittdarstellung des Halbleitersubstratteiles von4C nach Bilden von Kontakttrenches, die sich durch die Zwischenschicht zu Metallstrukturen in den ersten Teilen des Schichtstapels erstrecken. -
5 ist eine schematische Schnittdarstellung eines Teiles einer Halbleitervorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel, das Transistorzellen mit Source- und Drainzonen, die Seite an Seite angeordnet sind, sowie getrennte Hilfsstrukturen umfasst. -
6 ist eine schematische Schnittdarstellung eines Teiles einer Halbleitervorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel, das Transistorzellen mit den Source- und Drainzellen, die Seite an Seite angeordnet sind, sowie eine Schicht mit niedriger Dielektrizitätskonstanten zwischen Hilfsstrukturen und geschichteten Stapeln einschließlich Metallstrukturen umfasst. -
7 ist eine schematische Schnittdarstellung eines Teiles einer Halbleitervorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel, das Transistorzellen mit den Source- und Drainzonen, die Seite an Seite angeordnet sind, sowie Hilfsstrukturen beruhend auf einer konformen Hilfsschicht umfasst. - DETAILBESCHREIBUNG
- In der folgenden Detailbeschreibung wird Bezug genommen auf die begleitenden Zeichnungen, die einen Teil der Offenbarung bilden und in denen für Veranschaulichungszwecke spezifische Ausführungsbeispiele gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgebildet werden kann. Es ist zu verstehen, dass andere Ausführungsbeispiele verwendet und strukturelle oder logische Änderungen gemacht werden können, ohne von dem Bereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Beispielsweise können Merkmale, die für ein Ausführungsbeispiel veranschaulicht oder beschrieben sind, bei oder im Zusammenhang mit anderen Ausführungsbeispielen verwendet werden, um zu noch einem weiteren Ausführungsbeispiel zu gelangen. Es ist beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung derartige Modifikationen und Veränderungen umfasst. Die Beispiele sind mittels einer spezifischen Sprache beschrieben, die nicht als den Bereich der beigefügten Patentansprüche begrenzend aufgefasst werden sollte. Die Zeichnungen sind nicht maßstabsgetreu und dienen lediglich für Veranschaulichungszwecke. Zur Klarheit sind die gleichen Elemente durch entsprechende Bezugszeichen in den verschiedenen Zeichnungen angegeben, falls nicht etwas anderes festgestellt wird.
- Die Begriffe ”haben”, ”enthalten”, ”umfassen”, ”aufweisen” und ähnliche Begriffe sind offene Begriffe, und diese Begriffe das Vorhandensein der festgestellten Strukturen, Elemente oder Merkmale an, schließen jedoch zusätzliche Elemente oder Merkmale nicht aus. Die unbestimmten Artikel und die bestimmten Artikel sollen sowohl den Plural als auch den Singular umfassen, falls sich aus dem Zusammenhang nicht klar etwas anderes ergibt.
- Der Begriff ”elektrisch verbunden” beschreibt eine permanente niederohmige Verbindung zwischen elektrisch verbundenen Elementen, beispielsweise einen direkten Kontakt zwischen den betreffenden Elementen oder eine niederohmige Verbindung über ein Metall und/oder einen hochdotierten Halbleiter. Der Begriff ”elektrisch gekoppelt” umfasst, dass ein oder mehrere dazwischenliegende Elemente, die für eine Signalübertragung geeignet sind, zwischen den elektrisch gekoppelten Elementen vorgesehen sein können, beispielsweise Elemente, die steuerbar sind, um zeitweise eine niederohmige Verbindung in einem ersten Zustand und eine hochohmige elektrische Entkopplung in einem zweiten Zustand vorzusehen.
- Die Figuren veranschaulichen relative Dotierungskonzentrationen durch Angabe von ”–” oder ”+” nächst zu dem Dotierungstyp ”n” oder ”p”. Beispielsweise bedeutet ”n–” eine Dotierungskonzentration, die niedriger als die Dotierungskonzentration eines ”n”-Dotierungsbereiches ist, während ein ”n+”-Dotierungsbereich eine höhere Dotierungskonzentration hat als ein ”n”-Dotierungsbereich. Dotierungsbereiche der gleichen relativen Dotierungskonzentration haben nicht notwendigerweise die gleiche absolute Dotierungskonzentration. Beispielsweise können zwei verschiedene ”n”-Dotierungsbereiche die gleichen oder verschiedene absolute Dotierungskonzentrationen haben.
- Die
1A bis1G beziehen sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung, wobei Hilfsstrukturen zwischen Metallstrukturen lateral Kontakttrenches begrenzen, die die Metallstrukturen freilegen. -
1A zeigt ein Halbleitersubstrat500a , das eine Halbleiterschicht100a aus einem Halbleitermaterial aufweist. Das Halbleitersubstrat500a kann ein Halbleiterwafer sein, aus welchem eine Vielzahl von identischen Halbleiterdies bzw. -chips erhalten wird. Das Halbleitermaterial kann kristallines Silizium (Si), Siliziumcarbid (SiC), Germanium (Ge), ein Silizium-Germanium-Kristall (SiGe), Galliumnitrid (GaN), Galliumarsenid (GaAs) oder irgendein anderer AIIIBV-Halbleiter als Beispiel sein. - Eine Senkrechte zu einer planaren Hauptoberfläche
101a der Halbleiterschicht100a definiert eine vertikale Richtung. Richtungen orthogonal zu der vertikalen Richtung sind horizontale Richtungen. - In der Halbleiterschicht
100a sind erste und zweite leitende Strukturen110 ,120 gebildet, die stark dotierte einkristalline oder polykristalline halbleitende Teile der Strukturen einschließlich Metallen oder leitenden Metallverbindungen sein oder solche umfassen können. - Eine Metallschicht
310a wird über der Hauptoberfläche101a aufgetragen bzw. abgeschieden, und eine dielektrische Deckschicht210a wird über der Metallschicht310a gebildet. - Eine erste Maskenschicht kann auf einem Schichtstapel
600 aufgetragen werden, der wenigstens die Metallschicht310a und die Deckschicht210a umfasst. Die erste Maskenschicht wird durch Fotolithografie strukturiert, um eine erste Maske410 zu bilden. -
1A zeigt die erste Maske410 , die auf den Schichtstapel600 gebildet ist, der die Hauptoberfläche101a der Halbleiterschicht100a bedeckt, die die ersten und zweiten leitenden Strukturen110 ,120 sowie Isolatorstrukturen190 umfasst, die benachbarte erste und zweite leitende Strukturen110 ,120 voneinander trennen und isolieren. - Die ersten und zweiten leitenden Strukturen
110 ,120 können elektrisch mit verschiedenen Elektroden von elektronischen Elementen verbunden sein, die in der Halbleiterschicht100a gebildet sind. Beispielsweise können die ersten leitenden Strukturen110 Sourcezonen oder Sourcestöpsel, die mit Sourcezonen eines IGFET verbunden sind, sein, und die zweiten leitenden Strukturen120 können Drainzonen oder Drainstöpsel sein, die mit den Drainzonen des IGFET verbunden sind. Gemäß anderen Ausführungsbeispielen können die ersten leitenden Strukturen110 Emitterzonen oder Emitterstöpsel sein, die mit Emitterzonen eines BJT (bipolarter Junctiontransistor bzw. Übergangstransistor) verbunden sind, und die zweiten leitenden Strukturen120 können Kollektorzonen oder Kollektorstöpsel sein, die mit den Kollektorzonen des BJT verbunden sind. Gemäß weiteren Ausführungsbeispielen können die ersten leitenden Strukturen110 Anodenzonen oder Anodenelektroden sein, und die zweiten leitenden Strukturen120 können Kathodenzonen oder Kathodenelektroden einer Halbleiterdiode oder eines Kondensators, wenigstens teilweise in der Halbleiterschicht100a gebildet, sein. Wenigstens einige der ersten und zweiten leitenden Strukturen110 ,120 können sich längs wenigstens einer lateralen Richtung oder längs zwei lateralen Richtungen abwechseln. - Die Isolatorstrukturen
190 trennen und isolieren benachbarte erste und zweite leitende Strukturen110 ,120 voneinander. Die Isolatorstrukturen190 können vollständig aus einem oder mehreren dielektrischen Materialien gebildet sein oder können dielektrische, halbleitende und/oder leitende Strukturen zusätzlich zu dielektrischen Strukturen umfassen. Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind die Isolatorstrukturen190 homogene Strukturen eines einzigen dielektrischen Materials, beispielsweise eines Halbleiteroxids, wie Siliziumoxid, eine Halbleiteroxinitrids, wie Siliziumoxinitrid, eines Halbleiternitrids, wie Siliziumnitrid, eines undotierten oder dotierten Silikatglases, wie BSG (Borsilikatglas, PSG (Phosphorsilikatglas), BPSG (Borphosphorsilikatglas) oder FSG (Fluorsilikatglas). Gemäß anderen Ausführungsbeispielen umfassen die Isolatorstrukturen zwei oder mehr Schichten von verschiedenen Materialien, wobei wenigstens eines der Materialien ein dielektrisches Material ist. Beispielsweise können die Isolatorstrukturen190 Trenchelektrodenstrukturen sein, die eine leitende Elektrode umfassen, die von dem Halbleitermaterial der Halbleiterschicht100a isoliert ist. - Der Schichtstapel
600 umfasst wenigstens die dielektrische Deckschicht210a und die Metallschicht310a , die zwischen der Deckschicht210a und der Halbleiterschicht100a gebildet ist. Gemäß dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Metallschicht310a sandwichartig zwischen der Deckschicht210a und der Halbleiterschicht100a und grenzt direkt an die Deckschicht210a und die Halbleiterschicht100a , also beide Schichten, an. Gemäß anderen Ausführungsbeispielen kann der Schichtstapel600 eine oder mehrere weitere Schichten zwischen der Deckschicht210a und der Metallschicht310a und/oder zwischen der Metallschicht310a und der Halbleiterschicht100a aufweisen. - Wenigstens ein Hauptteil der Deckschicht
210a oder die gesamte Deckschicht210a ist aus einem ersten dielektrischen Material gebildet, das eine niedrige Dielektrizitätskonstante er von weniger als 4,5 oder 4,0 haben kann, und dessen Ätzeigenschaften nahe bei aufgetragenem Siliziumoxid sind. Beispielsweise kann die Deckschicht210a eine einzelne Schicht oder eine Kombination von wenigstens zwei Schichten sein, deren jede aus aufgetragenem bzw. niedergeschlagenem Siliziumoxid, beispielsweise TEOS-Siliziumoxid, beruhend auf TEOS (Tetraethylorthosilikat) als Percursor- bzw. Vorläufermaterial, Siliziumoxinitrid, BSG, PSG, BPSG oder FSG gewählt ist. - Die Metallschicht
310a kann eine Schicht aus stark dotiertem polykristallinem Silizium sein und/oder kann eine oder mehrere Metall enthaltende Schichten aus einem oder mehreren Metallen, wie Aluminium (Al), Kupfer (Cu), Titan (Ti), Wolfram (W), Tantal (Ta), Gold (Au) oder Silber (Ag) umfassen. - Die erste Maske
410 kann auf einem Maskenschichtstapel beruhen, der eine Fotolack- bzw. Fotoresistschicht414 aus einem lichtempfindlichen Material und einer Hilfsmaskenschicht412 aus einem Material, gegenüber dem das Material der Deckschicht mit hoher Selektivität geätzt werden kann, umfasst. Beispielsweise ist die Deckschicht210a eine Siliziumoxidschicht, und die Hilfsmaskenschicht412 ist eine Schicht aus Siliziumnitrid, polykristallinem Silizium, amorphem Silizium oder Kohlenstoff oder umfasst diese Materialien. Erste Maskenöffnungen411 in der ersten Maske410 sind in der vertikalen Projektion der Isolatorstrukturen190 gebildet. - Mittels der ersten Maske
410 als eine Ätzmaske werden zweite Teile620 des Schichtstapels600 in der vertikalen Projektion der ersten Maskenöffnungen411 und der ersten Maske410 entfernt, wobei die Deckschicht210a als eine Hartmaske zum Strukturieren der Metallschicht310a verwendet werden kann, so dass die Deckschicht210 teilweise verbraucht werden kann und eine vertikale Ausdehnung der Deckschicht210a nach einem Strukturieren des Schichtstapels600 kleiner sein kann als diejenige der Deckschicht vor Ätzen des Schichtstapels600 . -
1B zeigt zurückbleibende erste Teile des Schichtstapels600 von1A , die isolierte geschichtete Stapel610 bilden. Spalte bzw. Lücken611 in dem Schichtstapel600 sind in der vertikalen Projektion der Isolatorstrukturen190 gebildet. Die geschichteten Stapel610 sind in der vertikalen Projektion der ersten und zweiten leitenden Strukturen110 ,120 . Die geschichteten Stapel610 können mit den Isolatorstrukturen190 auf wenigstens einer Seite überlappen und/oder die Spalte611 können mit den ersten und zweiten leitenden Strukturen110 ,120 auf wenigstens einer Seite jeweils bis zu einem gewissen Grad überlappen. - In den geschichteten Stapeln
610 bilden Reste der Deckschicht210a dielektrische Hauben bzw. Kappen210 auf Resten der Metallschicht310a , die erste Metallstrukturen311 , die mit den ersten leitenden Strukturen110 elektrisch verbunden sind oder direkt an diese angrenzen, sowie zweite Metallstrukturen321 bilden, welche elektrisch mit den zweiten leitenden Strukturen120 verbunden sind oder direkt an diese angrenzen, bilden. Die geschichteten Stapel610 können parallele Streifen sein. - Hilfsstrukturen
220 sind in den Spalten611 des Schichtstapels600 zwischen den geschichteten Stapeln610 gebildet. Ein Bilden der Hilfsstrukturen220 kann ein Auftragen bzw. Ablagern eines dielektrischen Materials umfassen, dessen Ätzwiderstandsfähigkeit signifikant von derjenigen des ersten dielektrischen Materials der Hauben210 abweicht. Ein Bilden der Hilfsstruktur220 kann ein Auftragen bzw. Abscheiden einer konformen Schicht des zweiten dielektrischen Materials oder einen Spaltfüllprozess umfassen. -
1C zeigt die Hilfsstrukturen220 zwischen den geschichteten Stapeln610 . Die Hilfsstruktur220 kann vollständig den Raum zwischen benachbarten geschichteten Stapeln610 füllen oder kann wenigstens teilweise den Raum zwischen den geschichteten Stapeln610 füllen, wobei in der vertikalen Richtung die Hilfsstruktur220 sich wenigstens zwischen einer Zwischenfläche zwischen der Haube210 und den Metallstrukturen311 ,321 und einer Oberfläche der Hauben210 entgegengesetzt zu den Metallstrukturen311 ,321 erstreckt. Die Hilfsstruktur220 kann exklusiv zwischen den geschichteten Stapeln610 gebildet sein. Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel sind die Hilfsstrukturen220 Teile einer kammähnlichen Struktur, die aus einem Auftragungs- bzw. Ablagerungsprozess resultiert und beide Füllteile zwischen den geschichteten Stapeln610 und einen Schichtteil über den geschichteten Stapeln610 umfasst. - Eine Zwischenschicht
230 ist über den Hilfsstrukturen220 und den geschichteten Stapeln610 aufgetragen. Eine zweite Maskenschicht kann auf einer freiliegenden Oberfläche der Zwischenschicht230 aufgetragen und durch Fotolithografie strukturiert werden, um eine zweite Maske420 zu bilden. -
1D zeigt die zweite Maske420 mit zweiten Maskenöffnungen421 in der vertikalen Projektion der geschichteten Stapel610 , wobei eine horizontale Ausdehnung der zweiten Maskenöffnungen421 gleich wie oder größer als eine entsprechende horizontale Ausdehnung der geschichteten Stapel610 sein kann. Die zweite Maske420 ist bei einer geringen Fehlausrichtung bzw. Fehljustierung dy zwischen zentralen Achsen der zweiten Maskenöffnungen421 und zentralen Achsen der geschichteten Stapel610 gezeigt bzw. dargestellt. - Die Zwischenschicht
230 kann eine vertikale Ausdehnung in einer Spanne von 100 nm bis 5 μm haben und kann von dem ersten dielektrischen Material210 oder einem anderen, dritten dielektrischen Material sein, das eine hohe Ätzselektivität gegenüber dem zweiten dielektrischen Material hat, das die Ätzeigenschaften der Hilfsstrukturen220 festlegt bzw. definiert. - Mittels der zweiten Maske
420 als eine Ätzmaske werden Kontakttrenches bzw. -gräben301 durch die Zwischenschicht230 und die Hauben210 herab zu wenigstens einer Oberfläche der ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 geätzt. Das Ätzen ist hochselektiv gegenüber dem zweiten dielektrischen Material, so dass die Hilfsstrukturen220 lateral Bodenabschnitte der Kontakttrenches301 zwischen benachbarten Hilfsstrukturen220 begrenzen und direkt an die ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 angrenzen. -
1E zeigt die Kontakttrenches301 bei der Fehlausrichtung dy zwischen den zweiten Maskenöffnungen421 und den geschichteten Stapeln610 , wie in1D veranschaulicht ist. Die Hilfsstrukturen220 gewährleisten, dass ein lateraler Abstand zwischen ersten Metallstrukturen311 und Kontakttrenches301 zu zweiten Metallstrukturen321 sowie zwischen zweiten Metallstrukturen321 und Kontakttrenches301 zu ersten Metallstrukturen311 nicht unter einen Mindestabstand fällt, der durch die laterale Abmessung der Hilfsstrukturen220 gegeben ist. - Die zweite Maske
420 kann entfernt werden, und getrennte erste und zweite Metallstrukturen310 ,320 werden auf der Zwischenschicht230 gebildet. -
1F zeigt die erste Metallstruktur310 , die auf der Zwischenschicht230 eine erste Metallverdrahtung318 umfasst, die erste Kontaktstrukturen315 verbindet, die Kontakttrenches301 füllen, die erste Metallstrukturen311 freilegen, sowie die zweiten Metallstrukturen320 , die auf der Zwischenschicht230 eine zweite Metallverdrahtung328 umfassen, die zweite Kontaktstrukturen325 verbindet, welche Kontakttrenches301 füllen, die zweite Metallstrukturen321 freilegen. -
1G ist eine Draufsicht, die die erste Metallverdrahtung, welche elektrisch die ersten Metallstrukturen311 durch die ersten Kontaktstrukturen315 verbindet, und die zweite Metallverdrahtung328 , die elektrisch die zweiten Metallstrukturen321 durch die zweiten Kontaktstrukturen325 verbindet, veranschaulicht. - Aufgrund einer vertikalen Ausdehnung, die wenigstens 20 oder 50 beispielsweise wenigstens 100 größer als eine vertikale Ausdehnung der ersten und zweiten Metallstrukturen
311 ,321 ist, sind die Hilfsstrukturen220 als eine Schablone wirksam, die das Ätzen der Kontakttrenches301 in einem bestimmten Grad leitet, die weiterhin einen Mindestabstand zwischen den ersten Kontaktstrukturen315 und den zweiten Metallstrukturen321 sowie zwischen den zweiten Kontaktstrukturen325 und den ersten Metallstrukturen311 gewährleistet und die einen unteren Grenzwert einer dielektrischen Stärke einer Isolation zwischen den ersten Metallstrukturen311 und den zweiten Kontaktstrukturen325 sowie zwischen den zweiten Metallstrukturen321 und den ersten Kontaktstrukturen315 sicherstellt. Alternativ oder zusätzlich erlauben die Hilfsstrukturen220 eine dickere Zwischenschicht230 und/oder eine größere zulässige Fehlausrichtung bzw. Fehljustierung zwischen den zweiten Maskenöffnungen421 von1D und den ersten Maskenöffnungen411 von1A . -
2 zeigt ein Vergleichsbeispiel ohne Hilfsstruktur220 . Die gleiche Fehlausrichtung dy der zweiten Maske bezüglich der ersten Maske oder die gleiche Fehlausrichtung der ersten und zweiten Kontaktstrukturen315 ,325 von deren Zielpositionen resultiert in einer entsprechenden Fehlausrichtung der ersten und zweiten Kontaktstrukturen315 ,325 bezüglich der ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 . Die Fehlausrichtung dy reduziert direkt einen Mindestabstand dx zwischen den ersten Metallstrukturen311 und den zweiten Kontaktstrukturen325 . Der Mindestabstand nimmt mit zunehmender Fehlausrichtung ab. - Dagegen gewährleisten, wie in
1F gezeigt, die Hilfsstrukturen220 , dass sich ein Mindestabstand zwischen den ersten Metallstrukturen311 und den zweiten Kontaktstrukturen325 nicht ändert, solange die Fehlausrichtung dy nicht mehr als eine Hälfte des Abstandes zwischen benachbarten ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 überschreitet. Der Effekt kann verwendet werden, um weiter den Abstand zwischen den ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 und zwischen benachbarten Transistorzellen zu schrumpfen und/oder die Spannungsdifferenz zu steigern, die zwischen den ersten und zweiten leitenden Strukturen110 ,120 anlegbar ist. - Die Hilfsstrukturen
220 können die Spalte611 zwischen benachbarten geschichteten Stapeln610 vollständig füllen. In den folgenden Ausführungsbeispielen werden die Hilfsstrukturen220 gebildet, um lediglich Teile der Spalten611 zwischen benachbarten geschichteten Stapeln610 zu füllen. - Gemäß
3A werden geschichtete Stapel610 von ersten Teilen eines Schichtstapels600 gebildet, wie dies anhand von1A und1B beschrieben ist. - Die Hauben bzw. Kappen
210 über den ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 können mit zunehmendem Abstand zu den Metallstrukturen311 ,321 spitz bzw. kegelförmig zulaufen. Der spitze Winkel bzw. Konuswinkel kann eingestellt werden durch Vergrößern einer isotropen Komponente des Ätzprozesses, der zum Ätzen der dielektrischen Deckschicht210a von1A einwirkt. - Eine Schicht
221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten kann aufgetragen werden, die teilweise die Spalte611 zwischen den geschichteten Stapeln610 füllt. Die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten ist aus einem dielektrischen Material mit einer niedrigen Dielektrizitätskonstanten εr von höchstens 4,5. Das Material der Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten kann beispielsweise das gleiche Material wie dasjenige der Hauben bzw. Kappen210 sein. - In
3B ist die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten eine konforme Schicht eines dielektrischen Materials, wie Siliziumoxid, beispielsweise TEOS-Siliziumoxid. Eine Schichtdicke der Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten kann höchstens ein Drittel der horizontalen Breite der Spalte611 sein. - Eine zweites dielektrisches Material mit hoher Ätzselektivität gegenüber dem ersten dielektrischen Material wird aufgetragen bzw. abgelagert bzw. abgeschieden. Das zweite dielektrische Material kann die verbleibenden Räume zwischen benachbarten geschichteten Stapeln
610 vollständig füllen. Gemäß einem Ausführungsbeispiel trägt ein Auftragungsprozess Siliziumnitrid auf, das die verbleibenden Räume zwischen den geschichteten Stapeln610 füllt und das auch die geschichteten Stapel610 bedecken kann, die durch die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten bedeckt sind. - Eine Zwischenschicht
230 des ersten dielektrischen Materials oder eines dritten dielektrischen Materials wird auf eine planare Oberfläche des aufgetragenen zweiten dielektrischen Materials aufgetragen. -
3C zeigt die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten, die die geschichteten Stapel610 bedeckt und die Spalte611 zwischen benachbarten geschichteten Stapeln610 auskleidet. Erste Teile des zweiten dielektrischen Material zwischen dem geschichteten Stapel610 bilden die Hilfsstrukturen220 . Zweite Teile des zweiten dielektrischen Materials über den geschichteten Stapeln610 bilden eine diskontinuierliche Ätzstoppschicht222 . Die Zwischenschicht230 ist auf einer planaren Oberfläche der Ätzstoppschicht222 gebildet. - Kontakttrenches bzw. -gräben
301 , die die Metallstrukturen311 ,321 freilegen, werden gebildet, beispielsweise durch einen vorherrschend anisotropen Ätzprozess. Mit dem Ätzen der Zwischenschicht230 , das an der Ätzstoppschicht222 endet, ist der Ätzprozess für die Zwischenschicht230 unabhängig von einer Topografie der Zwischenschicht230 und von verschiedenen vertikalen Ausdehnungen der Zwischenschicht230 . Aufgrund der hohen Ätzselektivität zwischen der Zwischenschicht230 und der Ätzstoppschicht222 kann ein langes Überätzen der Zwischenschicht230 verschiedene vertikale Ausdehnungen der Zwischenschicht in verschiedenen Bereichen des Halbleitersubstrates500a kompensieren. Ein Ätzen der Ätzstoppschicht222 kann zeitgesteuert sein oder kann ein Stoppsignal verwenden, das durch Freilegen der Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten erzeugt ist. Die Dicke der Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten kann vergleichsweise gleichmäßig sein, so dass in einem Fall, in welchem die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten und die Hauben210 von verschiedenen Materialien, beispielsweise verschiedenen Siliziumoxiden, sind, die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten in einem zeitgesteuerten Ätzprozess durchgeätzt werden kann und nach Öffnen der Hauben210 der Ätzprozess zu einem Ätzen wechseln kann, das selektiv zu dem Material der Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten ist. Da die Ätzstoppschicht222 , die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten und die Hauben210 lediglich geringe Dickenveränderungen zeigen, können die betreffenden Ätzprozesse lediglich durch die Ätzzeit ausreichend definiert werden. Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel zeigen die Hauben210 und die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten lediglich eine geringe Ätzselektivität und sind ohne Änderung der Ätzchemie durchgeätzt. -
3D zeigt die Kontakttrenches301 , die sich durch die Zwischenschicht230 , die Ätzstoppschicht222 , die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten und die Hauben210 erstrecken. Eine Fehlausrichtung bzw. Fehljustierung der Kontakttrenches301 von einer Zielposition, die in einer Fehlausrichtung der Bodenabschnitte der Kontakttrenches301 bezüglich der Metallstrukturen311 ,321 resultiert, überschreitet nicht die Dicke der Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten. Andererseits gewährleistet die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten, dass eine kapazitive Kopplung zwischen benachbarten ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 niedriger ist als in Ausführungsbeispielen mit den Hilfsstrukturen220 , die vollständig die Spalte611 füllen. - Das Ausführungsbeispiel von
4A bis4D verändert die Sequenz der Auftragung des Materials mit niedriger Dielektrizitätskonstanten und des zweiten dielektrischen Materials, das die Hilfsstrukturen220 bildet. -
4A zeigt isolierte geschichtete Stapel610 in der vertikalen Projektion der ersten und zweiten leitenden Strukturen110 ,120 in dem Halbleitersubstrat500a . - Eine Hilfsschicht
225 des zweiten dielektrischen Materials ist aufgetragen, das die geschichteten Stapel610 bedeckt und die Spalte611 zwischen benachbarten geschichteten Stapeln610 auskleidet. -
4B zeigt die Hilfsschicht225 , die eine konforme Schicht mit einer Dicke kleiner als eine Hälfte, beispielsweise höchstens ein Drittel des Abstandes zwischen benachbarten geschichteten Stapeln610 sein kann. - Erste Teile der Hilfsschicht
225 zwischen den geschichteten Stapeln610 bilden eine Hilfsstruktur220 , und zweite Teile der Hilfsschicht225 auf einer Oberseite der Hauben210 bilden eine diskontinuierliche Ätzstoppschicht222 . Ein weiteres dielektrisches Material wird aufgetragen, das das erste dielektrisches Material der Hauben210 oder ein drittes dielektrisches Material sein kann, das mit hoher Selektivität gegenüber dem zweiten dielektrischen Material der Hilfsschicht225 geätzt werden kann. - Wie in
4C gezeigt ist, füllen erste Teile231 des weiteren dielektrischen Materials verbleibende Räume zwischen benachbarten geschichteten Stapeln610 , und ein zweiter Teil des weiteren dielektrischen Materials bildet die Zwischenschicht230 . - Kontakttrenches
301 werden gebildet mittels einer zweiten Maske auf der Zwischenschicht230 , wie anhand von1D bis1E beschrieben ist. Ein Bilden der Kontakttrenches301 umfasst ein Ätzen der Zwischenschicht230 herab zu der diskontinuierlichen Ätzstoppschicht222 . Nach einem ausreichenden Überätzen kann die Ätzchemie zu einer Zusammensetzung schalten, die das zweite dielektrische Material der Hilfsschicht225 ätzt. Nach einer gewissen Ätzzeit, die durch die Dicke der Hilfsschicht225 gegeben ist, ändert sich die Ätzchemie wieder, um das erste dielektrische Material der Hauben210 mit hoher Selektivität gegenüber dem zweiten dielektrischen Material der Hilfsschicht225 zu ätzen. Wieder leitet die Hilfsstruktur220 das Ätzen der Hauben210 solange eine Fehlausrichtung nicht die Dicke der Hilfsschicht225 , reduziert durch einen aus dem spitz zulaufenden Winkel resultierenden Betrag, überschreitet. Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel laufen die Hauben210 nicht spitz zu, und die Ätzstoppschicht222 bedeckt vertikale Seitenwände. - Während in
3D das Material mit niedriger Dielektrizitätskonstanten Seitenwände der Metallstrukturen311 ,321 bedeckt und das Ätzen der Hauben210 Taschen in dem Material mit niedriger Dielektrizitätskonstanten längs der Seitenwände der Metallstrukturen311 ,321 bilden kann, gewährleistet das zweite dielektrische Material, das nicht rückgebildet wird, wenn die Hauben210 durchgeätzt werden, dass das Ätzen zuverlässig auf der Oberfläche der ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 stoppt und nicht Teile der vertikalen Seitenwände der ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 freilegt, wie es der Fall in3D sein kann, wo die Schicht221 mit niedriger Dielektrizitätskonstanten von dem gleichen Material wie die Haube210 sein kann. Als ein Ergebnis können Kontaktstrukturen315 ,325 , die durch Füllen der Kontakttrenches301 mit leitendem Material gebildet sind, zuverlässiger gebildet werden. -
5 zeigt eine Halbleitervorrichtung500 , die eine Vielzahl von Transistorzellen TC umfasst, die in einem Halbleiterteil100 gebildet sind und die sich längs einer horizontalen Richtung senkrecht zu der Querschnittsebene erstrecken können. Paare von Transistorzellen TC können spiegelinvertiert derart angeordnet sein, dass zwei benachbarte Transistorzellen TC jeweils eine gemeinsame Sourcekonstruktion110 oder eine gemeinsame Drainkonstruktion120 teilen können. Die Source- und Drainkonstruktionen110 ,120 der Transistorzellen TC sind Seite an Seite zueinander längs einer zweiten horizontalen Richtung in der Querschnittsebene auf entgegengesetzten Seiten der Trenchelektrodenstrukturen190 gebildet, sich von einer ersten Oberfläche101 in einen Halbleiterteil100 erstrecken. - Die Drainkonstruktion
120 kann eine stark dotierte Drainzone128 mit einer ausreichend hohen Dotierstoffkonzentration, um einen ohmschen Kontakt mit zweiten Metallstrukturen312 , die auf der ersten Oberfläche101 gebildet sind, zu gewährleisten, umfassen. Die Drainkonstruktion120 kann weiterhin eine schwach dotierte Driftzone121 umfassen, die einen unipolaren Homoübergang mit der stark dotierten Drainzone128 und einen ersten j1-Übergang mit einem Kanal/Bodybereich150 bildet. Der Kanal/Bodybereich150 kann den gleichen Leitfähigkeitstyp wie die Drift- und die Drainzonen121 ,128 haben oder kann den entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp aufweisen. - Die Sourcekonstruktion
110 kann eine stark dotiert Sourcezone112 umfassen, die einen zweiten Übergang j2 bildet, der ein unipolarer Homoübergang oder ein pn-Übergang mit der Kanal/Bodyzone150 sein kann. Eine Kontaktschicht114 kann direkt an die Sourcezone112 angrenzen. Die Kontaktschicht114 kann eine Metall-Halbleiter-Verbindung, beispielsweise ein Metallsilizid, z. B. eine Titansilizid-TiSi-Schicht mit einer Dicke von wenigstens 1 nm, beispielsweise wenigstens 10 nm, und höchstens 100 nm enthalten oder aus einer solchen bestehen. Die Sourcekonstruktion110 kann weiterhin eine hochkonforme Wolframschicht116 umfassen, die sich längs der Trenchelektrodenstruktur1990 und der Kontaktschicht114 erstreckt. Ein anderes leitendes Material, beispielsweise grobkörniges Wolfram, kann einen Füllteil118 der Sourcekonstruktion110 bilden. - Die Trenchelektrodenstrukturen
190 können eine leitende Gateelektrode195 und ein Gatedielektrikum191 umfassen, das dielektrisch die Gateelektrode195 zu angrenzenden bzw. benachbarten Teilen der Kanal/Bodybereiche150 koppelt. Die Trenchelektrodenstrukturen190 können weiterhin einen dielektrischen Füllteil198 umfassen, der sich zwischen einer durch die erste Oberfläche101 aufgespannten Ebene und den Homoübergängen zu dem Kanal/Bodybereich150 erstreckt. Der Halbleiterteil100 kann weiterhin einen stark dotierten Substratteil140 längs der zweiten Oberfläche102 entgegengesetzt zu der ersten Oberfläche101 umfassen. - Hilfsstrukturen
220 sind in der vertikalen Projektion der Trenchelektrodenstrukturen190 gebildet, wobei die Breite der Hilfsstrukturen220 kleiner als oder größer als die entsprechende Breite der Trenchelektrodenstrukturen190 sein kann, so dass die Hilfsstrukturen220 auf einer Seite oder auf beiden Seiten mit den Source- oder Drainkonstruktionen110 ,120 überlappen können. Die Hilfsstrukturen220 können aus einem Hauptteil aus Silizumnitrid bestehen oder einen solchen umfassen, wobei sich der Hauptteil wenigstens von der Zwischenfläche zwischen Hauben210 und den Metallstrukturen311 ,312 zu dem oberen Rand der Hauben210 erstreckt. - Der geschichtete Stapel
610 ist in der vertikalen Projektion der Source- und Drainstrukturen110 ,120 gebildet, wobei eine horizontale Breite der geschichteten Stapel610 kleiner oder größer als eine entsprechende horizontale Breite der Source- und Drainkonstruktionen110 ,120 sein kann, so dass die geschichteten Stapel610 wenigstens an einer Seite mit den Trenchelektrodenstrukturen190 überlappen können. - Die geschichteten Stapel
610 umfassen weiterhin Hauben bzw. Kappen210 eines ersten dielektrischen Materials, erste Metallstrukturen311 , die direkt an die Sourcekonstruktionen110 angrenzen, und zweite Metallstrukturen321 , die direkt an die Drainkonstruktionen120 angrenzen. Das Material der Hauben210 kann eine oder mehrere aufgetragene Schichten von Siliziumoxid, PSG, BSG, PBSG, FSG oder Polyimid enthalten. - Eine Zwischenschicht
230 bedeckt die Hilfsstrukturen220 und die geschichteten Stapel610 . Zweite Kontaktstrukturen325 erstrecken sich von einer Oberfläche der Zwischenschicht230 durch die Zwischenschicht230 und die Hauben210 zu den zweiten Metallstrukturen321 , und eine zweite Metallverdrahtung328 auf der Zwischenschicht230 kann die zweiten Kontaktstrukturen325 verbinden. In einer anderen Querschnittsebene parallel zu der dargestellten Querschnittsebene können sich erste Kontaktstrukturen315 von der Oberfläche der Zwischenschicht230 durch die Zwischenschicht230 und die Hauben210 zu den ersten Metallstrukturen311 erstrecken, und eine erste Metallverdrahtung318 auf der Zwischenschicht230 kann die ersten Kontaktstrukturen315 verbinden. - Die Hilfsstrukturen
220 definieren einen Mindestabstand zwischen den ersten Kontaktstrukturen315 und den zweiten Metallstrukturen321 sowie zwischen den zweiten leitenden Strukturen325 und den ersten Metallstrukturen311 . - In
6 trennt eine Schicht221 mit geringer Dielektrizitätskonstante die Hilfsstrukturen von den geschichteten Stapeln610 und vermindert eine kapazitive Kopplung zwischen den ersten und zweiten Metallstrukturen311 ,321 . - Die Halbleitervorrichtung von
7 zeigt eine konforme Hilfsschicht mit ersten Teilen zwischen den die Hilfsstrukturen220 bildenden geschichteten Stapeln610 und einem zweiten Teil auf den eine diskontinuierliche Ätzstoppschicht222 bildenden geschichteten Stapeln610 . - Obwohl spezifische Ausführungsbeispiele hier veranschaulicht und beschrieben sind, ist es für den Fachmann selbstverständlich, dass eine Vielzahl von alternativen und/oder äquivalenten Ausgestaltungen für die gezeigten und beschriebenen spezifischen Ausführungsbeispiele herangezogen werden kann, ohne von dem Bereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Diese Anmeldung soll jegliche Anpassungen oder Veränderungen der hier diskutierten spezifischen Ausführungsbeispiele abdecken. Daher ist beabsichtigt, dass diese Erfindung lediglich durch die Patentansprüche und deren Äquivalente begrenzt ist.
Claims (20)
- Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung, wobei das Verfahren umfasst: Bilden eines Schichtstapels (
600 ) auf einer Hauptoberfläche (101a ) einer Halbleiterschicht (100a ), wobei der Schichtstapel (600 ) eine dielektrische Deckschicht (210a ) und eine Metallschicht (310a ) zwischen der Deckschicht (210a ) und der Halbleiterschicht (100a ) aufweist, Entfernen zweiter Teile (620 ) des Schichtstapels (600 ), um Spalte (611 ) zwischen zurückbleibenden ersten Teilen (610 ) des Schichtstapels (600 ) zu bilden, Bilden von Justierstrukturen (220 ) eines zweiten dielektrischen Materials in den Spalten (611 ), Bilden einer Zwischenschicht (230 ) des ersten oder eines dritten dielektrischen Materials, wobei die Zwischenschicht (230 ) die Justierstrukturen (220 ) und die ersten Teile (610 ) bedeckt, und Bilden von Kontakttrenches (301 ), die sich durch die Zwischenschicht (230 ) und die Deckschicht (210a ) zu Metallstrukturen (311 ,321 ) erstrecken, die von zurückbleibenden Teilen der Metallschicht (310a ) in den ersten Teilen (610 ) des Schichtstapels (600 ) gebildet sind, wobei die Deckschicht (210a ) selektiv gegenüber den Hilfsstrukturen (220 ) geätzt wird. - Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Zwischenschicht (
230 ) selektiv gegenüber den Hilfsstrukturen (220 ) geätzt wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 2, weiterhin umfassend: Auftragen einer Schicht (
221 ) mit niedriger Dielektrizitätskonstante eines Materials mit niedrigerer Dielektrizitätskonstanten als das zweite dielektrische Material vor Bilden der Hilfsstrukturen (220 ), wobei eine Dicke der Schicht (221 ) mit niedriger Dielektrizitätskonstante geringer ist als eine Hälfte einer Breite der Spalte (611 ) in dem Schichtstapel (600 ). - Verfahren nach Anspruch 3, bei dem ein Bilden der Hilfsstrukturen (
220 ) ein Auftragen des zweiten dielektrischen Materials direkt auf der Schicht (221 ) mit niedriger Dielektrizitätskonstanten umfasst, wobei erste Teile des aufgetragenen zweiten dielektrischen Materials die Hilfsstrukturen (220 ) bilden und zweite Teile des aufgetragenen zweiten dielektrischen Materials eine diskontinuierliche Ätzstoppschicht (222 ) über den ersten Teilen (610 ) des Schichtstapels (600 ) und den Hilfsstrukturen (220 ) bilden. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 2, bei dem das aufgetragene zweite dielektrische Material direkt auf den ersten Teilen (
610 ) des Schichtstapels (600 ) aufgetragen wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 2, bei dem das zweite dielektrische Material als eine konforme Hilfsschicht (
225 ) aufgetragen wird, wobei eine Dicke der konformen Schicht geringer ist als eine Hälfte einer Breite der Spalte (611 ) in dem Schichtstapel (600 ) und Teile der Hilfsschicht (225 ) in den Spalten (611 ) die Hilfsstrukturen (220 ) bilden. - Verfahren nach Anspruch 6 bei dem die Zwischenschicht (
230 ) verbleibende Hohlräume in den Spalten (611 ), ausgekleidet durch die konforme Schicht (225 ), füllt. - Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem Hauben (
210 ), die von der Deckschicht (210a ) in den zurückbleibenden ersten Teilen (610 ) gebildet sind, mit zunehmendem Abstand zu den Metallstrukturen (311 ,321 ) spitz zulaufen. - Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem die Metallstrukturen (
311 ,321 ) parallele Streifen bilden. - Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, weiterhin umfassend: Bilden von Transistorzellen (TC) in dem Halbleiterteil (
100 ) vor Bilden des Schichtstapels (600 ). - Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 9, weiterhin umfassend: Bilden von Transistorzellen (TC) in dem Halbleiterteil (
100 ) vor Bilden des Schichtstapels (600 ), wobei die ersten Metallstrukturen (311 ) direkt angrenzend an Sourcekonstruktionen (110 ) der Transistorzellen (TC) gebildet werden und die zweiten Metallstrukturen (321 ) direkt angrenzend an Drainkonstruktionen (120 ) der Transistorzellen (TC) gebildet werden. - Halbleitervorrichtung, umfassend: getrennte geschichtete Stapel (
610 ) auf einer ersten Oberfläche (101 ) eines Halbleiterteiles (100 ), wobei jeder geschichtete Stapel (610 ) eine Haube (210 ) eines ersten dielektrischen Materials und eine Metallstruktur (311 ,321 ) zwischen der Haube (210 ) und dem Halbleiterteil (100 ) aufweist, Hilfsstrukturen (220 ) eines zweiten, verschiedenen dielektrischen Materials zwischen benachbarten geschichteten Stapeln (610 ), eine Zwischenschicht (230 ) des ersten oder eines dritten, verschiedenen dielektrischen Materials, bedeckend die geschichteten Stapel (610 ) und die Hilfsstrukturen (220 ), und Kontaktstrukturen (315 ,325 ), die sich durch die Zwischenschicht (230 ) und die Hauben (210 ) zu den Metallstrukturen (311 ,321 ) in den geschichteten Stapeln (610 ) erstrecken, wobei die Kontaktstrukturen (315 ,325 ) zwischen benachbarten Hilfsstrukturen (220 ) Bodenabschnitte aufweisen, die sich jeweils durch die Hauben (210 ) erstrecken. - Halbleitervorrichtung nach Anspruch 12, bei der wenigstens einige der Kontaktstrukturen (
315 ,325 ) direkt an eine der benachbarten Hilfsstrukturen (220 ) angrenzen. - Halbleitervorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, bei der die Zwischensschicht (
230 ) eine planare Oberfläche hat. - Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, weiterhin umfassend: eine Schicht (
221 ) mit niedriger Dielektrizitätskonstante zwischen den geschichteten Stapeln (610 ) und den Hilfsstrukturen (220 ), wobei eine Dielektrizitätskonstante der Schicht (221 ) mit niedriger Dielektrizitätskonstante geringer ist als eine Dielektrizitätskonstante des zweiten dielektrischen Materials. - Halbleitervorrichtung nach Anspruch 15, bei der eine Dicke der Schicht (
221 ) mit niedriger Dielektrizitätskonstante kleiner ist als eine Hälfte einer Breite der Spalte (611 ) zwischen den geschichteten Stapeln (610 ). - Halbleitervorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 16, bei der erste Teile einer konformen Hilfsschicht (
225 ) die Hilfsstrukturen (220 ) bilden. - Halbleitervorrichtung nach Anspruch 17, bei der eine Dicke der konformen Hilfsschicht (
225 ) geringer ist als ein Drittel einer Breite der Spalte (611 ). - Halbleitervorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, bei der das erste oder dritte dielektrische Material der Zwischenschicht (
230 ) einen verbleibenden Spalt zwischen benachbarten geschichteten Stapeln (610 ) füllt, die durch die konforme Hilfsschicht (225 ) bedeckt sind. - Halbleitervorrichtung nach den Ansprüchen 12 bis 19, bei der das zweite dielektrische Material Siliziumnitrid ist.
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