DE102014222382B4 - Verfahren und Vorrichtung zur Zugbildung von Gegenständen in Transportanlagen - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Zugbildung in Transportanlagen, um den Abstand zwischen zwei hintereinander befindlichen Gegenständen (30; S1, S2, S3, S4) einzustellen, wobei sich der vordere Gegenstand mit einer Prozessgeschwindigkeit vp in der Transportanlage bewegt und sich der hintere Gegenstand in einem Undefinierten Abstand zum vorderen Gegenstand befindet, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst:
(a) Beschleunigen des hinteren Gegenstands auf eine Anfangsgeschwindigkeit vx> vp;
(b) Detektieren eines Antriebsmomentanstiegs beim Auffahren des hinteren auf den vorderen Gegenstand;
(c) Verzögerung des hinteren Gegenstands um einen vorgegebenen Wert, um einen vorgegebenen Abstand ap zum vorderen Gegenstand herzustellen; und
(d) Anpassen der Geschwindigkeit des hinteren Gegenstandes auf die Prozessgeschwindigkeit vp.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf das Gebiet der Transportanlagen, insbesondere von Beschichtungsanlagen, bei denen eine Zugbildung von Gegenständen, insbesondere Substraten, wie Halbleiterwafer, Solarzellen usw., bzw. Substratträger erreicht werden soll.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Bei der Beschichtung von flächigen Gegenständen, wie z.B. Substraten, besteht die Notwendigkeit, dass die Gegenstände zum einen statisch für eine gewisse Zeit in einer gewissen Position in einer Beschichtungsanlage verweilen, um diese zum Beispiel aufzuheizen. Zum anderen besteht eine Notwendigkeit, dass die Gegenstände mit einer konstanten Geschwindigkeit an der Beschichtungsquelle vorbei bewegt werden. Bei der Bewegung an der Beschichtungsquelle vorbei ist es erstrebenswert, dass die Gegenstände möglichst lückenlos die Beschichtungsquelle passieren, um möglichst wenig von dem aufzubringenden Material am Gegenstand vorbei in die Beschichtungskammer zu bringen. Die DE 10 2010 031 245 A1 beschreibt eine Substratbehandlungsanlage mit einer Substratbehandlungseinrichtung und einer Transporteinrichtung. Aus der DE 10 2009 050 328 A1 ist ein Förderer und eine Fördersteuerung bekannt.
  • Häufig wird die Zugbildung der Gegenstände, d.h. das Aufreihen der Gegenstände hintereinander, durch Sensoren gesteuert, welche an entsprechenden Positionen angebracht sind und zur Erkennung eines sich nähernden Gegenstandes dienen soll. Hierbei werden zusätzlich noch die ungefähre Geschwindigkeit und die ungefähre Zeit benötigt, um den Abstand zwischen dem vorausfahrendem Gegenstand und dem nachfolgendem Gegenstand zu bestimmen, bzw. zu beeinflussen. Um das Aufeinanderprallen zu verhindern, muss hierbei ein gewisser Sicherheitsabstand eingehalten werden. Insbesondere in Beschichtungsanlagen gilt es aber, wie oben erwähnt, diesen Abstand möglichst gering zu halten.
  • Bei der Verwendung von Trägern für die Gegenstände kann man den Abstand z.B. durch eine Verbindung (Nut und Feder an den Trägern) zwischen den hintereinander fahrenden Trägern zuverlässig einstellen. Allerdings funktioniert dieses Prinzip nur bei der Verwendung spezieller Träger. Auf Gegenstände, die sich ohne Träger durch eine solche Anlage bewegen kann dieses Prinzip also nicht angewendet werden.
  • Die bisherigen Lösungen sind unzuverlässig und erlauben nur relativ große Abstände zwischen den Gegenständen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die der vorliegenden Erfindung zu Grunde liegende Aufgabe besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung bereitzustellen, um einen zuverlässig definierten und möglichst geringen Abstand zwischen Gegenständen in einer Transportanlage, insbesondere einer Beschichtungsanlage, herzustellen. Ferner ist es eine Aufgabe der Erfindung eine Schädigung der Gegenstände zu vermeiden. Somit soll eine minimale unerwünschte Beschichtung der Innenwände der Beschichtungskammer und eine maximale Materialausbeute sichergestellt werden.
  • Diese Aufgabe wir mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Die abhängigen Patentansprüche beziehen sich auf weitere Aspekte der Erfindung.
  • Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Zugbildung in Transportanlagen, vorzugsweise in Beschichtungsanlagen bereit, um den Abstand zwischen zwei hintereinander befindlichen Gegenständen, vorzugsweise Substrate oder Substrathalter, einzustellen, wobei sich der vordere Gegenstand mit einer Prozessgeschwindigkeit vp in der Transportanlage bewegt und sich der hintere Gegenstand in einem undefinierten Abstand zum vorderen Gegenstand befindet, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Beschleunigen des hinteren Gegenstands auf eine Anfangsgeschwindigkeit vx > vp; Detektieren eines Antriebsmomentanstiegs, beim Auffahren des hinteren auf den vorderen Gegenstand; Verzögerung des hinteren Gegenstands um einen vorgegebenen Wert, um einen vorgegebenen Abstand ap zum vorderen Gegenstand herzustellen; und Anpassen der Geschwindigkeit des hinteren Gegenstands auf die Prozessgeschwindigkeit vp.
  • In einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst das Verfahren ferner nach dem Schritt zur Beschleunigung auf eine Anfangsgeschwindigkeit vx und vor dem Schritt zur Detektierung eines Antriebsmomentanstiegs zusätzliche folgende Schritte: Detektieren eines ersten Abstandes a1 zwischen dem vorderen und dem hinteren Gegenstand; und Drosseln der Anfangsgeschwindigkeit vx des hinteren Gegenstands auf eine zweite Geschwindigkeit vx-m, wobei vx > vx-m > vp ist.
  • In einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung können die Geschwindigkeiten der Gegenstände über mindestens zwei hintereinander angeordnete Antriebseinheiten, vorzugsweise bestehend aus einem Motor, einem Antriebsverstärker und einem Encoder, unabhängig voneinander eingestellt werden, die jeweils mehrere Antriebselemente, vorzugsweise Rollen, antreiben.
  • Die vordere Antriebseinheit kann dabei die Geschwindigkeit des vorderen Gegenstandes einstellen und die hintere Antriebeinheit kann die Geschwindigkeit des hinteren Gegenstandes einstellen.
  • Das Detektieren des ersten Abstandes ai kann z.B. mit Hilfe von Positionssensoren erfolgen.
  • In einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung kann der Antriebsmomentanstieg beim Auffahren des hinteren auf den vorderen Gegenstand mit Hilfe eines Motors mit einem Antriebsverstärker und einem Encoder bestimmt werden.
  • Der Abstand ap sollte dabei kleiner als der Abstand a1 sein.
  • In einem weiteren Aspekt stellt die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zur Zugbildung in Transportanlagen, vorzugsweise in Beschichtungsanlagen, um den Abstand zwischen zwei hintereinander befindlichen Gegenständen, vorzugsweise Substrate oder Substrathalter, einzustellen, bereit, wobei die Vorrichtung geeignet ist, das oben beschriebene Verfahren auszuführen.
  • Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird der vordere Gegenstand mit einer Prozessgeschwindigkeit vp in der Transportanlage bewegt und während sich der hintere Gegenstand in einem undefinierten Abstand zum vorderen Gegenstand befindet; diese Vorrichtung weist mindestens zwei hintereinander angeordnete Antriebseinheiten auf, welche vorzugsweise aus einem Motor, einem Antriebsverstärker und einem Encoder bestehen, die jeweils mehrere Antriebselemente, vorzugsweise Rollen, antreiben. Die vordere Antriebseinheit ist konfiguriert, die Prozessgeschwindigkeit vp für den vorderen Gegenstand einzustellen, und die hintere Antriebeinheit ist konfiguriert, eine Anfangsgeschwindigkeit vx > vp für den hinteren Gegenstand einzustellen und durch einen Antriebsmomentanstieg das Auffahren des hinteren Gegenstandes auf den vorderen Gegenstand zu detektieren.
  • Die Vorrichtung kann ferner mehrere Positionssensoren aufweisen, die geeignet sind, einen ersten Abstand a1 zu detektieren, und die hintere Antriebseinheit ferner konfiguriert ist, nach dem Detektieren des Abstandes al eine zweite Geschwindigkeit vx-m einzustellen, wobei vx > vx-m > vp.
  • Die hintere Antriebseinheit kann konfiguriert sein, nach dem Detektieren des Antriebsmomentanstiegs die Geschwindigkeit um einen vorgegebenen Wert für eine vorgegebene Zeit zu reduzieren, um einen vorgegebenen Abstand ap zum vorderen Gegenstand herzustellen.
  • Ferner kann die hintere Antriebseinheit konfiguriert sein, nach Herstellung des Abstands ap die Prozessgeschwindigkeit vp für den hinteren Gegenstand einzustellen.
  • Somit stellt die vorliegende Erfindung ein Verfahren bereit mit dem man z.B. statische Substrate so in Bewegung versetzen kann, dass diese in einem minimalen, definierten, kleinen Abstand zu den sich bereits in Bewegung befindlichen Substraten vor einer möglichen Beschichtungsquelle aufschließen, so dass diese in einem Verbund die Beschichtungsquelle passieren können.
  • Die vorliegende Erfindung geht von dem Grundgedanken aus, die Antriebseinheiten so auszulegen, dass das Gewicht des Gegenstandes in Verbindung mit der Reibung auf den Rollen und dem dazugehörigen Übersetzungsverhältnis es ermöglichen, einen kleinen Drehmomentanstieg während eines sanften Auffahrens im Servoverstärker zu detektieren; mit dem Drehmomentanstieg wird der Formschluß zwischen zwei Gegenständen positionsgenau erkannt. Dadurch wird es ermöglicht, einen sehr kleinen konstanten Spalt für die Weiterfahrt einzustellen.
  • Mit der vorliegenden Erfindung kann somit verhindert werden, dass ein undefinierter oder zu großer Abstand bei dem Vorbeifahren an einer Beschichtungsquelle entsteht. Weiter kann verhindert werden, dass Gegenstände, bzw. Substrate, mit einer zu hohen Geschwindigkeit auffahren und so Beschädigungen an den Substraten entstehen können.
  • Figurenliste
    • 1 zeigt schematisch den prinzipiellen Grundaufbau der erfindungsgemäßen Lösung;
    • 2 (a) - (d) zeigen einen Ablaufplan einer beispielhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lösung;
    • 3 zeigt Messkurven der Geschwindigkeiten und der Momente von M2 und M3 aus 2.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung
  • Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen und der Figuren näher erläutert.
  • Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist schematisch in 1 dargestellt. In 1 sind insgesamt vier Kammern 60, 70, 80, 90, ein Gegenstand 30, Positionssensoren 10 (z. B. Endschalter), eine Antriebseinheit 40 und Antriebselemente 50 dargestellt.
  • Die Kammern 60, 70, 80, 90 stehen miteinander in direktem Kontakt, können allerdings auch durch Schleusen (z.B. in einer Vakuumanlage durch Vakuumschleusen) voneinander getrennt sein. In 1 sind beispielhaft vier Kammern gezeigt. Es ist aber klar, dass die Anzahl der Kammern sowohl mehr als auch weniger als vier betragen kann.
  • In dieser bevorzugten Ausführungsform ist jede der Kammern 60, 70, 80, 90 mit einer Antriebseinheit 40 ausgestattet. Jede der Antriebseinheiten besteht vorzugsweise aus einem Motor 41 mit Encoder und Verstärker 42. Die Antriebseinheit 40 wird zum Antrieb der Antriebselemente 50 benutzt, um die Geschwindigkeit in den verschiedenen Kammern 60, 70, 80, 90 individuell einstellen zu können. Vorzugsweise wird die Synchronisation der verschiedenen Antriebselemente 50 mit Hilfe eines Motion-Controller-Systems (Bewegungssteuersystem) durchgeführt. Wie bei den Kammern 60, 70, 80, 90 können auch die Antriebseinheiten 40 in einer beliebigen Anzahl vorhanden sein, allerdings müssen es mindestens zwei Antriebseinheiten 40 sein, damit mindestens zwei voneinander abweichende Geschwindigkeiten eingestellt werden können. Die Anzahl der Kammern 60, 70, 80, 90 kann dabei durchaus auch verschieden von der Anzahl an Antriebseinheiten 40 sein.
  • Der in 1 schematisch dargestellte Gegenstand 30 wird durch die Antriebselemente 50 in Durchlaufrichtung durch die verschiedenen Kammern 60, 70, 80, 90 angetrieben. Bei einer Transportanlage, bzw. Beschichtungsanlage, befinden sich üblicherweise mehrerer Gegenstände hintereinander in den verschiedenen Kammern 60, 70, 80, 90, wie weiter unten beschrieben.
  • Ferner ist in 1 eine exemplarische Antriebseinheit bestehend aus einem Motor 41 mit Encoder und Verstärker 42 dargestellt, wobei der Verstärker dazu geeignet ist, einen Antriebsmomentanstieg zu messen und als Messsignal auszugeben. Ein Anstieg des Antriebmomentes wird erfindungsgemäß durch Auffahren eines hinteren Gegenstandes auf einen vorderen Gegenstand hervorgerufen.
  • Die angedeuteten Positionssensoren 10 in 1, sind dafür ausgelegt, die Position des Gegenstandes zu bestimmen. Diese Positionsbestimmung ist allerdings nur geeignet, eine relativ grobe Position des Gegenstandes in der Transportanlage zu bestimmen. Die Genauigkeit hängt im Wesentlichen von dem Abstand der verschiedenen Positionssensoren 10 ab.
  • Der Gegenstand 30 kann dabei verschiedene Formen und Abmessungen haben. Einige Beispiele für Gegenstände können ein Glas mit/ohne Träger (Carrier), ein Substrat aus einem beliebigen Material mit/ohne Träger, ein Glas in einem Träger eingelegt, ein Substrat aus einem beliebigen Material in einem Träger eingelegt, ein Glas in einem Substratrahmen, ein Substrat aus einem beliebigen Material in einem Substratrahmen, eine geschlossene Box, ein Glas in einer geschlossenen Box, ein Substrat aus einem beliebigen Material in einer geschlossenen Box, usw.
  • In 2 (a)-(d) wird schematisch ein Ablaufplan der bevorzugten Ausführungsform gemäß der aktuellen Erfindung zur Einstellung eines möglichst geringen Abstandes in einer Transportanlage dargestellt. In der dargestellten Ausführungsform sind jeweils vier Momente M1 - M4 dargestellt, welche die Momente der Antriebselemente bezeichnen. M1 bis M4 sind vorzugsweise Servoantriebe, die jeweils die n Rollen antreiben. Die Gegenstände, bzw. Substrate (hier beispielhaft 5 Substrate), sind jeweils mit S1 - S5 bezeichnet und bewegen sich hintereinander entlang einer Vorwärtsrichtung in der Transportanlage.
  • In 2 (a) bewegen sich die Substrate S3 - S1 mit einem Abstand ap und einer Prozessgeschwindigkeit vp durch die Transportanlage. Ein neues zu prozessierendes Substrat S4 befindet sich in einem Ausgangszustand am Ort der Antriebseinheit mit dem Moment M1 mit einer Geschwindigkeit v = 0 m/s und einem unbestimmten Abstand a0, wobei ao > ap.
  • Gemäß 2 (b) wird das Substrat S4 auf eine Anfangsgeschwindigkeit vx beschleunigt, d.h. es wird ein definiertes Anfahrmoment vorgegeben. Wobei die Geschwindigkeit vx größer ist als die Prozessgeschwindigkeit vp, so dass das Substrat S4 zum Substrat S3 aufschließen kann. Durch Positionssensoren 10 (1) kann ein erster grober Abstand al zwischen dem Substrat S4 und S3 festgestellt werden. Der Abstand ai wird vorzugsweise mit Hilfe der Positionssensoren 10 und einer Bewegungssteuerung (Motion Controller) rechnerisch ermittelt.
  • Daraufhin wird die Geschwindigkeit des Substrats S4 auf vx-m gedrosselt, um ein zu hartes Auffahren von Substrat S4 auf Substrat S3 zu vermeiden. Um dem Substrat trotzdem die Möglichkeit zu geben, zu dem Substrat S3 weiter aufzuschließen, muss gelten: vp < vx-m < vx. Somit wird ein sanftes Auffahren des Substrats S4 auf das Substrat S3 erreicht (2 (c)). Besonders bei sehr empfindlichen Substraten kann ein zu schnelles (hartes) Auffahren die Substrate beschädigen, und somit ist ein sanftes Anfahren zu bevorzugen. Allerdings kann dieser Schritt, sowie die Detektion des ersten Abstandes a1 durch die Positionssensoren, entfallen, sollte die Anfangsgeschwindigkeit vx ausreichend langsam sein, um ein zu hartes Auffahren zu vermeiden, oder es sich um unempfindliche Substrate handeln. Die Geschwindigkeiten vx und/oder vx-m hängen somit von der speziellen Anwendung ab und sind individuell einstellbar ohne vom Grundgedanken der Erfindung abzuweichen.
  • Durch das sanfte Auffahren des Substrats S4 auf das Substrat S3 wird ein kleiner Antriebsmomentanstieg erreicht, welches vom Verstärker 42 gemessen werden kann. Nachdem der Verstärker einen Anstieg des Antriebsmomentes feststellt, wird die Geschwindigkeit des Substrates S4 angepasst (verzögert), so dass es um einen vorbestimmten Abstand ap gegenüber dem Substrat S3 abfällt. Die Verzögerung des Substrates S4 wird erreicht, indem die Geschwindigkeit für einen bestimmten kurzen Zeitraum auf eine geringere Geschwindigkeit als vp reduziert wird. Nachdem der Abstand ap zwischen dem Substrat S3 und S4 hergestellt ist, wird die Geschwindigkeit für Substrat S4 auf vp erhöht. Somit laufen die Substrate S3 und S4 synchron mit einem minimalen Abstand ap weiter durch die Transportanlage (2 (d)) und das Verfahren kann für das folgende Substrat S5 wiederholt werden.
  • In 3 sind mehrere zeitabhängige Messkurven gezeigt. Die oberen zwei Messkurven beschreiben jeweils die eingestellten Geschwindigkeiten für die Antriebseinheiten M2 (obere Messkurve) und M3 (untere Messkurve). Wobei die untere der zwei Messkurven (Geschwindigkeit M3) der konstanten Prozessgeschwindigkeit vp entspricht. Die obere Messkurve (Geschwindigkeit M2) beginnt bei v = 0 m/s und wird ab einem ersten Zeitpunkt t1 auf eine erste Geschwindigkeit vx > 0 m/s erhöht. Die Geschwindigkeit M2 wird zum Zeitpunkt t2 auf eine zweite Geschwindigkeit vx-m erniedrigt. Der Zeitpunkt t2 ist der Zeitpunkt, an dem die Positionssensoren den oben beschriebenen ersten Abstand al feststellen. Ferner wird zum Zeitpunkt t3 die Geschwindigkeit M2 soweit kurzzeitig verzögert, so dass die Geschwindigkeit für eine kurze Zeit unter die Prozessgeschwindigkeit vp fällt. Dies wird in 3 aufgrund der gewählten Skala nicht aufgelöst. Im weiteren Verlauf wird die Geschwindigkeit M2 an die Prozessgeschwindigkeit vp angepasst.
  • Die unteren zwei Messkurven beschreiben den gemessenen zeitlichen Verlauf des Momentes an M2 und M3. Zum Zeitpunkt T1 wird ein Anstieg des Momentes an M2 gemessen. Somit korreliert dieser Anstieg des Momentes M2 mit der Erhöhung der Geschwindigkeit von M2. Dementsprechend wird eine Momentabnahme in M2 zum Zeitpunkt T2 detektiert, d.h. zum Zeitpunkt der Geschwindigkeitsreduzierung von M2. Zum Zeitpunkt T3 wird schließlich ein Momentanstieg in M2 bzw. eine Momentabnahme in M3 detektiert, womit das Auffahren des hinteren Substrates auf das vordere Substrat festgestellt werden und daraufhin die Geschwindigkeit wie oben beschrieben angepasst werden kann, um den gewünschten Abstand zwischen den beiden Substraten herzustellen.
  • Auch wenn in der oben ausgeführten bevorzugten Ausführungsform der Momentanstieg in M2 zur Bestimmung des Auffahrens des hinteren Substrates auf das vordere Substrat beschrieben wurde, ist aus 3 zu entnehmen, dass auch der Momentabfall in M3 zur Bestimmung des Auffahrens benutzt werden kann.
  • Die Vorrichtung und das Verfahren der vorliegenden Erfindung können dabei für verschiedene Prozesse in verschiedenen Transportanlagen angewandt werden. Dabei wird das Verfahren den verschiedenen Bedingungen der verschiedenen Prozesse in den Transportanlagen angepasst, ohne von der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Zum Beispiel ist die Vorrichtung bei Anwendung des Verfahrens der vorliegenden Erfindung in einem Temperier-Prozess besonderen thermischen Belastungen ausgesetzt. Bei einer Sputter- oder Verdampferbeschichtungsanlage sind es Verschmutzungen durch die Beschichtungsmaterialien. Hinzu kommt, dass einige Prozesse im Vakuum oder sogar in gashaltiger Umgebung stattfinden. Um die Zugbildung auch bei extremen Bedingungen zu gewährleisten, müssen die Komponenten der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung dementsprechend angepasst werden. In der oben beschrieben beispielhaften Ausführungsform könnten z.B. die Positionssensoren auf diese Umgebungsbedingungen abgestimmt werden, und/oder die Motoreneinheit mit Servoverstärker und Encoder könnten an einer von diesen widrigen Umgebungsbedingungen abgekapselten Stelle angeordnet werden. Die Rollenantriebe sollten erfindungsgemäß so ausgelegt sein, dass diese beweglich bleiben.

Claims (11)

  1. Verfahren zur Zugbildung in Transportanlagen, um den Abstand zwischen zwei hintereinander befindlichen Gegenständen (30; S1, S2, S3, S4) einzustellen, wobei sich der vordere Gegenstand mit einer Prozessgeschwindigkeit vp in der Transportanlage bewegt und sich der hintere Gegenstand in einem Undefinierten Abstand zum vorderen Gegenstand befindet, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: (a) Beschleunigen des hinteren Gegenstands auf eine Anfangsgeschwindigkeit vx> vp; (b) Detektieren eines Antriebsmomentanstiegs beim Auffahren des hinteren auf den vorderen Gegenstand; (c) Verzögerung des hinteren Gegenstands um einen vorgegebenen Wert, um einen vorgegebenen Abstand ap zum vorderen Gegenstand herzustellen; und (d) Anpassen der Geschwindigkeit des hinteren Gegenstandes auf die Prozessgeschwindigkeit vp.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei nach dem Schritt (a) zur Beschleunigung auf eine Anfangsgeschwindigkeit vx und vor dem Schritt (b) zur Detektierung eines Antriebsmomentanstiegs zusätzlich folgende Schritte ausgeführt werden: (a1)Detektieren eines ersten Abstandes a1 zwischen dem vorderen und dem hinteren Gegenstand; und (a2) Drosseln der Anfangsgeschwindigkeit vx des hinteren Gegenstands auf eine zweite Geschwindigkeit vx-m, wobei vx > vx-111 > vp ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Geschwindigkeiten der Gegenstände über mindestens zwei hintereinander angeordnete Antriebseinheiten (40; M1, M2, M3, M4), vorzugsweise bestehend aus einem Motor, einem Antriebsverstärker und einem Encoder, unabhängig voneinander eingestellt werden, die jeweils mehrere Antriebselemente, vorzugsweise Rollen, antreiben.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die vordere Antriebseinheit die Geschwindigkeit des vorderen Gegenstandes einstellt und die hintere Antriebeinheit die Geschwindigkeit des hinteren Gegenstandes einstellt.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei das Detektieren des ersten Abstandes al mit Hilfe von Positionssensoren (10) erfolgt.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der Antriebsmomentanstieg beim Auffahren des hinteren auf den vorderen Gegenstand mit Hilfe eines Motors mit einem Antriebsverstärker und einem Encoder bestimmt wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, wobei der Abstand ap kleiner als der Abstand al ist.
  8. Vorrichtung zur Zugbildung in Transportanlagen, um den Abstand zwischen zwei hintereinander befindlichen Gegenständen (30; S1, S2, S3, S4) einzustellen, wobei sich der vordere Gegenstand mit einer Prozessgeschwindigkeit vp in der Transportanlage bewegt und sich der hintere Gegenstand in einem Undefinierten Abstand zum vorderen Gegenstand befindet, wobei die Vorrichtung aufweist: mindestens zwei hintereinander angeordnete Antriebseinheiten (40; M1, M2, M3, M4), die jeweils mehrere Antriebselemente (50) antreiben, wobei die vordere Antriebseinheit konfiguriert ist, die Prozessgeschwindigkeit vp für den vorderen Gegenstand einzustellen, und die hintere Antriebeinheit konfiguriert ist, eine Anfangsgeschwindigkeit vx > vp für den hinteren Gegenstand einzustellen und durch einen Antriebsmomentanstieg das Auffahren des hinteren Gegenstandes auf den vorderen Gegenstand zu detektieren.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Vorrichtung ferner mehrere Positionssensoren (10) aufweist, die geeignet sind, einen ersten Abstand al zu detektieren, und die hintere Antriebseinheit ferner konfiguriert ist, nach dem Detektieren des Abstandes al eine zweite Geschwindigkeit vx-m, einzustellen, wobei vx > vx-m > vp.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, wobei die hintere Antriebseinheit ferner konfiguriert ist, nach dem Detektieren des Antriebsmomentanstiegs die Geschwindigkeit um einen vorgegebenen Wert für eine vorgegebene Zeit zu reduzieren, um einen vorgegebenen Abstand ap zum vorderen Gegenstand herzustellen.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei die hintere Antriebseinheit ferner konfiguriert ist, nach Herstellung des Abstands ap die Prozessgeschwindigkeit vp, für den hinteren Gegenstand einzustellen.
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