KR101855305B1 - 버퍼 챔버 및 이를 구비하는 인라인 챔버 시스템 - Google Patents

버퍼 챔버 및 이를 구비하는 인라인 챔버 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 제조공정 효율이 극대화되고 제조비용을 절감할 수 있는 버퍼 챔버 및 이를 구비하는 인라인 챔버 시스템을 위하여, 일측에 입구가 형성되고 타측에 출구가 형성된 챔버바디와, 상기 입구를 통해 투입된 이송체를 상기 출구 방향으로 이송할 수 있는 제1이송부와, 상기 제1이송부와 상기 출구 사이에 배치되며 상기 이송체가 지나가도록 할 수 있는 아이들이송부와, 상기 이송체의 거리센서가 검출하여 상기 이송체의 정보송신부가 송신한 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리정보를 수신하는 정보수신부와, 상기 정보수신부가 수신한 거리정보에 따라 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정하는 이송속도결정부를 구비하는, 버퍼 챔버 및 인라인 챔버 시스템을 제공한다.

Description

버퍼 챔버 및 이를 구비하는 인라인 챔버 시스템{Buffer chamber and in-line chamber system comprising the same}
본 발명은 버퍼 챔버 및 이를 구비하는 인라인 챔버 시스템에 관한 것으로서, 더 상세하게는 제조공정 효율이 극대화되고 제조비용을 절감할 수 있는 버퍼 챔버 및 이를 구비하는 인라인 챔버 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 챔버 시스템은 다양한 제품의 제조에 사용된다. 예컨대 박막구조를 포함하는 제품 제조 시 챔버 시스템을 이용할 수 있다. 구체적으로, 유기박막이나 무기박막을 갖는 제품 제조 시, 챔버 시스템에서 유기물이나 무기물 등을 대상물 상에 증착하여 대상물 상에 박막을 형성할 수 있다.
그러나 이러한 종래의 챔버 시스템에는 증착물의 소모량이 높고 제품 제조에 많은 시간이 소요되는 등 효율이 낮고, 이에 따라 제품 제조비용이 높다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 제조공정 효율이 극대화되고 제조비용을 절감할 수 있는 버퍼 챔버 및 이를 구비하는 인라인 챔버 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따르면, 일측에 입구가 형성되고 타측에 출구가 형성된 챔버바디와, 상기 입구를 통해 투입된 이송체를 상기 출구 방향으로 이송할 수 있는 제1이송부와, 상기 제1이송부와 상기 출구 사이에 배치되며 상기 이송체가 지나가도록 할 수 있는 아이들이송부와, 상기 이송체의 거리센서가 검출하여 상기 이송체의 정보송신부가 송신한 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리정보를 수신하는 정보수신부와, 상기 정보수신부가 수신한 거리정보에 따라 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정하는 이송속도결정부를 구비하는, 버퍼 챔버가 제공된다.
상기 정보수신부가 수신한 거리정보에 따른 상기 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리가 사전설정된 거리보다 멀 경우, 상기 이송속도결정부는 상기 선행이송체의 이송속도보다 빠른 이송속도로 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정할 수 있다. 이때, 상기 정보수신부가 수신한 거리정보에 따른 상기 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리가 상기 사전설정된 거리가 되면, 상기 이송속도결정부는 상기 선행이송체의 이송속도와 동일한 이송속도로 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정할 수 있다.
본 발명의 다른 일 관점에 따르면, 일측에 입구가 형성되고 타측에 출구가 형성된 챔버바디와, 상기 입구를 통해 투입된 이송체를 상기 출구 방향으로 이송할 수 있는 제1이송부와, 상기 제1이송부와 상기 출구 사이에 배치되며 상기 이송체가 지나가도록 할 수 있는 아이들이송부와, 상기 제1이송부 및 상기 아이들이송부를 따라 상기 입구에서 상기 출구 방향으로 배치되어 상기 이송체를 감지할 수 있는 복수개의 센서들과, 상기 복수개의 센서들의 감지정보에 따라 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정하는 이송속도결정부를 구비하는, 버퍼 챔버가 제공된다.
상기 복수개의 센서들의 감지정보를 통해 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리가 사전설정된 거리보다 먼 것으로 판단할 경우, 상기 이송속도결정부는 상기 선행이송체의 이송속도보다 빠른 이송속도로 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정할 수 있다. 아울러 상기 복수개의 센서들의 감지정보를 통해 상기 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리가 상기 사전설정된 거리가 된 것으로 판단할 경우, 상기 이송속도결정부는 상기 선행이송체의 이송속도와 동일한 이송속도로 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정할 수 있다.
한편, 상기 아이들이송부와 상기 출구 사이에 배치되며, 상기 이송체를 상기 출구 방향으로 이송할 수 있는 제2이송부를 더 구비할 수 있다.
상기 입구는 마스크와 기판을 얼라인하는 얼라인 챔버에 연결될 수 있고, 상기 출구는 프로세스 챔버의 입구에 연결될 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 관점에 따르면, 상술한 바와 같은 버퍼 챔버들 중 적어도 어느 하나와, 상기 버퍼 챔버의 상기 입구에 연결되는 마스크와 기판을 얼라인하는 얼라인 챔버와, 상기 버퍼 챔버의 상기 출구에 연결되는 프로세스 챔버를 구비하는, 인라인 챔버 시스템이 제공된다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제조공정 효율이 극대화되고 제조비용을 절감할 수 있는 버퍼 챔버 및 이를 구비하는 인라인 챔버 시스템을 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 챔버를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 인라인 챔버 시스템을 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 3은 비교예에 따른 인라인 챔버 시스템을 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 4는 다른 비교예에 따른 인라인 챔버 시스템을 개략적으로 도시하는 개념도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 버퍼 챔버를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 6과 도 7은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 버퍼 챔버를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 버퍼 챔버를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있는 것으로, 이하의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 챔버를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)는, 챔버바디(10)와, 제1이송부(C1)와, 아이들이송부(IC)와, 정보수신부(IR)와, 이송속도결정부(VD)를 구비한다. 여기서 버퍼 챔버(100)는 통상적인 의미의 챔버만을 의미하는 것이 아니라, 통상적인 의미의 챔버 외의 추가적인 구성요소까지 포함하는 개념이다. 버퍼 챔버(100)의 일 구성요소인 챔버바디(10)는 통상적인 의미의 챔버를 의미하는 것으로 이해될 수 있다.
챔버바디(10)는 버퍼 챔버(100)의 전체적인 외형을 이룰 수 있는 것으로, 일측에 입구(IT)가 형성되고 타측에 출구(OT)가 형성될 수 있다. 입구(IT)를 통해서는 출구(OT)로 이송될 이송체(MSA)가 투입될 수 있다. 챔버바디(10)의 입구(IT)에는 필요에 따라 게이트 밸브(미도시)가 구비되어, 챔버바디(10) 내부와 외부를 소통시키거나 단절시킬 수 있다. 챔버바디(10)의 출구(OT)에도 마찬가지로 필요에 따라 게이트 밸브(미도시)가 구비될 수 있음은 물론이다.
챔버바디(10)의 입구(IT)는 마스크와 기판을 얼라인하는 얼라인 챔버에 연결될 수 있다. 이 경우 챔버바디(10)의 입구(IT)를 통해 투입되는 이송체(MSA)는, 마스크와 기판이 얼라인되어 결합된, 마스크-기판 어셈블리일 수 있다. 여기서 기판이라 함은 플라스틱재 기판이나 글라스재 기판일 수도 있고, 그러한 플라스틱재 기판이나 글라스재 기판 상에 박막 트랜지스터를 포함한 층이 형성된 것일 수도 있다. 물론 이송체(MSA)는 마스크와 기판을 밀접하게 접합하기 위한 접합수단(미도시)을 포함할 수 있다. 접합수단은 예컨대 마그넷 플레이트일 수 있다.
챔버바디(10)의 출구(OT)는 프로세스 챔버에 연결될 수 있는데, 구체적으로 챔버바디(10)의 출구(OT)는 프로세스 챔버의 입구에 연결될 수 있다. 여기서 프로세스 챔버는 유기물이나 무기물 등의 증착이 이루어지는 증착 챔버일 수 있다.
제1이송부(C1)는 입구(IT)를 통해 투입된 이송체(MSA)를 출구(OT) 방향으로 이송할 수 있다. 도면에서는 제1이송부(C1)가 복수개의 롤러들(R1 내지 R8)을 구비하는 것으로 도시하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 제1이송부(C1)는 양단에 하나씩 총 두 개의 롤러들과, 그 두 개의 롤러들을 연결하는 컨베이어 벨트를 갖는, 무한궤도 형태의 구성을 취할 수도 있다.
제1이송부(C1)의 복수개의 롤러들(R1 내지 R8) 각각은 동일한 각속도로 회전할 수 있다. 이를 위해 제1이송부(C1)의 복수개의 롤러들(R1 내지 R8)을 컨베이어 벨트(미도시)로 연결할 수도 있다. 이와 달리, 제1이송부(C1)의 복수개의 롤러들(R1 내지 R8)의 배열방향으로 연장된 회전축, 즉 입구(IT)에서 출구(OT) 방향으로 연장된 회전축(미도시)과, 해당 회전축과 제1이송부(C1)의 복수개의 롤러들(R1 내지 R8) 각각을 기계적으로 연결하는 베벨기어(미도시)를 구비함으로써, 해당 회전축의 회전속도에 따라 제1이송부(C1)의 복수개의 롤러들(R1 내지 R8)의 각속도가 동일하도록 할 수 있다.
제1이송부(C1)는 제1구동부(미도시)에 의해 구동될 수 있다. 즉, 제1구동부는 제1이송부(C1)의 이송체 운반속도를 제어할 수 있다. 제1이송부(C1)에 의한 이송체의 이송 중, 필요에 따라 제1구동부는 제1이송부(C1)의 이송속도를 가변할 수 있다.
아이들이송부(IC)는 제1이송부(C1)와 출구(OT) 사이에 배치되며, 이송체가 지나가도록 할 수 있다. 이 아이들이송부(IC)는 구동부에 의해 구동되지 않고, 자유회전을 할 수 있다. 도면에서는 아이들이송부(IC)가 복수개의 롤러들(R9 내지 R12)을 구비하는 것으로 도시하고 있다. 아이들이송부(IC)의 역할에 대해서는 후술한다.
이송체(MSA)는 거리센서(DS)와 정보송신부(IS)를 갖는다. 이송체(MSA)의 구성요소들인 마스크, 기판 및 접합수단 중 반복하여 사용이 가능한 것은 마스크 또는 접합수단인바, 거리센서(DS)와 정보송신부(IS)는 마스크와 접합수단 중 적어도 어느 하나 장착될 수 있다. 증착 등의 과정에서 증착물이 묻을 수 있는 마스크보다는 마그넷 플레이트와 같은 접합수단에 거리센서(DS)와 정보송신부(IS)가 배치되도록 하는 것이 내구성 등을 고려할 시 바람직하다.
거리센서(DS)는 선행이송체와 이송체(MSA) 사이의 거리를 감지하여 거리정보를 정보송신부(IS)로 전달한다. 여기서 거리정보라 함은 선행이송체와 이송체(MSA) 사이의 거리 자체에 대한 것일 수도 있고, 그 거리 계산에 필요한 데이터에 대한 것일 수도 있다. 이러한 거리센서(DS)는 초음파, 적외선, 자외선, 레이저 또는 밀리파 레이더 등을 이용하는 것일 수 있다. 예컨대 거리센서(DS)는 소스부와 감지부를 가져, 소스부에서 방출한 초음파 등이 선행이송체에서 반사되는 것을 감지부가 감지함으로써, 선행이송체와 이송체(MSA) 사이의 거리를 감지하는 것일 수 있다.
정보송신부(IS)는 거리센서(DS)로부터의 거리정보를 정보수신부(IR)로 송신한다. 정보송신부(IS)와 정보수신부(IR) 사이의 거리정보 송수신은 다양한 유무선 통신기술로 수행될 수 있는데, 예컨대 근거리 무선통신(NFC), 블루투스, 지그비, RFID 등으로 구현될 수 있다.
정보수신부(IR)는, 이송체(MSA)의 거리센서(DS)가 검출하여 이송체(MSA)의 정보송신부(IS)가 송신한, 선행이송체와 이송체(MSA) 사이의 거리정보를 수신한다. 그리고 이송속도결정부(VD)는 정보수신부(IR)가 수신한 거리정보에 따라 제1이송부(C1)의 이송체(MSA) 이송속도를 결정한다. 이송속도결정부(VD)가 제1이송부(C1)의 이송체(MSA) 이송속도를 결정함에 있어서, 선행이송체의 이송속도까지 고려하여 제1이송부(C1)의 이송체(MSA) 이송속도를 결정할 수도 있다. 선행이송체의 이송속도는, 선행이송체가 제1이송부(C1)를 통과한 경우에는 제1이송부(C1)를 통과할 시의 제1이송부(C1)의 이송속도가 될 수 있고, 선행이송체가 버퍼 챔버(100)의 출구(OT)를 통해 프로세스 챔버 등의 이송부에 걸쳐진 경우에는 프로세스 챔버 등의 이송부의 이송속도가 될 수 있다.
구동부(DR)는 이송속도결정부(VD)가 결정한 이송속도로 제1이송부(C1)가 이송체(MSA)를 이송할 수 있도록, 제1이송부(C1)를 구동한다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 인라인 챔버 시스템을 개략적으로 도시하는 개념도이다. 본 실시예에 따른 인라인 챔버 시스템은, 도 1을 참조하여 전술한 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)와, 얼라인 챔버(200)와, 프로세스 챔버(300)를 구비한다.
얼라인 챔버(200)는 버퍼 챔버(100)의 입구(IT)에 연결되는 것으로, 마스크와 기판을 얼라인할 수 있다. 즉, 버퍼 챔버(100)에는 얼라인 챔버(200)에서 마스크와 기판이 사전설정된 상대적 위치에 대응하도록 얼라인되어 결합된 마스크-기판 어셈블리(MSA)가 투입된다.
프로세스 챔버(300)는 버퍼 챔버(100)의 출구(OT)에 연결되어, 이송체, 즉 마스크-기판 어셈블리(MSA)를 프로세싱한다. 여기서 프로세스 챔버는 유기물이나 무기물 등의 증착이 이루어지는 증착 챔버일 수 있으며, 이 경우 기판의 마스크에 의해 가려지지 않은 부분에는 유기물이나 무기물 등으로 층이 형성될 수 있다.
프로세스 챔버(300)에서 증착이 이루어진다면, 롤러 하방에 유기물 등의 소스가 존재하게 되며 그 소스로부터 증발, 기화 또는 승화된 유기물이 상방에서 이동하는 마스크-기판 어셈블리(MSA)의 소스 방향의 면에 묻게 되어, 결과적으로 기판의 마스크에 의해 가려지지 않은 부분에 층이 형성된다.
이러한 경우, 롤러는 마스크-기판 어셈블리(MSA)의 가장자리만을 지지하도록 배열될 수 있다. 즉, 롤러는 프로세스 챔버(300) 내 입구(즉 버퍼 챔버(100)의 출구)에서 프로세스 챔버(300) 내 출구 방향으로 양측에 평행하게 배열될 수 있다. 예컨대, 롤러들은 회전축이 평행하도록 그 회전축 방향으로 상호 이격되어, 프로세스 챔버(300) 내 입구에서 프로세스 챔버(300) 내 출구 방향을 따라 평행하게 배치될 수 있다. 물론 버퍼 챔버(100) 내의 제1이송부(C1) 등도 이와 동일하거나 유사한 구성을 가질 수 있다.
이와 같은 본 실시예에 따른 인라인 챔버 시스템의 경우, 전술한 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)를 얼라인 챔버(200)와 프로세스 챔버(300) 사이에 구비함으로써, 프로세스 챔버(300)에서의 물질 소모량을 획기적으로 줄이고 그에 따라 제조비용을 절감하면서도, 제품 제조에 소요되는 시간을 줄이는 등 효율을 극대화할 수 있다. 이에 대하여 도 2와 도 3을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
일반적으로 증착이 이루어지는 프로세스 챔버(300)에서, 이송체의 이동속도, 즉 마스크-기판 어셈블리(MSA)의 이동속도는 대략 20mm/s 정도로 느리다. 이는 하방에 배치된 소스에서 물질이 증발, 기화 또는 승화되어 마스크-기판 어셈블리(MSA)의 소스 방향의 면에 충분히 묻어 사전설정된 두께의 층이 형성되도록 하기 위해서이다.
하지만 얼라인 챔버(200)에서 마스크와 기판의 상대적인 위치를 정렬하고 결합하여 마스크-기판 어셈블리(MSA)를 만드는데 소요되는 시간 역시 1분 내지 2분이라는 상당히 긴 시간이 소요된다. 마스크와 기판이 사전설정된 위치에서 정확하게 얼라인되지 않으면 기판의 사전설정된 영역을 벗어난 부분에서 증착이 이루어지게 되고, 이는 제품의 불량을 야기하게 된다. 따라서 마스크와 기판을 정확하게 얼라인할 필요가 있기에, 마스크-기판 어셈블리(MSA)를 만드는 데는 상당한 시간이 소요될 수밖에 없다.
따라서 비교예에 따른 인라인 챔버 시스템을 개략적으로 도시하는 개념도인 도 3에 도시된 것과 같이, 버퍼 챔버(100)가 얼라인 챔버(200)와 프로세스 챔버(300) 사이에 개재되지 않고 얼라인 챔버(200)와 프로세스 챔버(300)가 직접 연결된다면, 얼라인 챔버(200)에서 새로이 정렬된 마스크-기판 어셈블리(MSA)가 프로세스 챔버(300)로 투입될 시, 그 이전에 투입된 마스크-기판 어셈블리(MSA)는 프로세스 챔버(300) 내에서 대략 1.2m(= 20mm/s X 60s) 이상 이동한 상태가 된다. 그 결과 프로세스 챔버(300) 내에서의 이송체인 마스크-기판 어셈블리(MSA) 사이의 간격(d1)이 매우 커질 수밖에 없다.
프로세스 챔버(300) 내에서 증착이 이루어지는 동안, 롤러 하방에 위치한 소스에서는 계속해서 유기물 등이 증발, 기화 또는 승화된다. 따라서 이송체인 마스크-기판 어셈블리(MSA) 사이의 간격(d1)이 커질수록, 마스크-기판 어셈블리(MSA) 상에 증착되지 않고 불필요하게 소비되는 물질의 양이 많아지게 된다. 그와 같이 불필요하게 소비되는 물질은 결국 프로세스 챔버(300) 내측에 쌓이게 되어, 프로세스 챔버(300)의 유지보수에 많은 비용이 들게 된다. 아울러 마스크-기판 어셈블리(MSA) 사이의 간격(d1)이 커짐에 따라 단위시간당 마스크-기판 어셈블리(MSA)의 처리 개수가 줄어들어, 제품 생산 효율이 저하될 수밖에 없다.
하지만 도 1을 참조하여 전술한 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)를 구비한, 도 2에 도시된 것과 같은 인라인 챔버 시스템의 경우, 버퍼 챔버(100)에서 이송체인 마스크-기판 어셈블리(MSA)의 이동속도를 조절함으로써, 프로세스 챔버(300) 내에서 마스크-기판 어셈블리(MSA) 사이의 간격(d2)을 획기적으로 좁힐 수 있다.
즉, 얼라인 챔버(200) 내에서의 얼라인 소요시간 때문에, 얼라인 챔버(200)에서 새로이 정렬된 마스크-기판 어셈블리(MSA)가 버퍼 챔버(100)로 투입될 시, 그 이전에 버퍼 챔버(100)로 투입된 마스크-기판 어셈블리와의 간격(d1)이 클 수밖에 없다. 이때 버퍼 챔버(100) 내로 새로이 투입된 마스크-기판 어셈블리(MSA)의 버퍼 챔버(100) 내에서의 이송속도를 높임으로써, 프로세스 챔버(300) 내에서는 마스크-기판 어셈블리 사이의 간격(d2)이 최초 간격(d1)보다 획기적으로 줄어들도록 할 수 있다.
구체적으로, 정보수신부(IR)가 수신한 거리정보에 따른 선행이송체와 이송체 사이의 거리가 사전설정된 거리(d2)보다 멀 경우, 이송속도결정부(VD)는 선행이송체의 이송속도보다 빠른 이송속도로 제1이송부(C1)의 이송체 이송속도를 결정한다. 물론 정보수신부(IR)가 수신한 거리정보에 따른 선행이송체와 이송체 사이의 거리가 사전설정된 거리(d2)가 되면, 이송속도결정부(VD)는 선행이송체의 이송속도와 동일한 이송속도로 제1이송부(C1)의 이송체 이송속도를 결정하여, 사전설정된 거리(d2)가 유지될 수 있도록 할 수 있다.
이와 같은 구성을 통해 마스크-기판 어셈블리(MSA) 상에 증착되지 않고 불필요하게 소비되는 물질의 양을 획기적으로 줄여 제조비용을 절감할 수 있고, 프로세스 챔버(300) 내측에 쌓이는 물질의 양 역시 획기적으로 줄여 프로세스 챔버(300)의 유지보수비용을 절감할 수 있으며, 아울러 프로세스 챔버(300) 내에서 마스크-기판 어셈블리(MSA) 사이의 간격(d2)이 줄어듦에 따라 단위시간당 마스크-기판 어셈블리(MSA)의 처리 개수가 늘어나, 제품 생산 효율을 높일 수 있다.
한편, 얼라인 챔버(200, 도 2 참조)에서는 마스크와 기판을 얼라인하여 이송체인 마스크-기판 어셈블리를 형성하는바, 경우에 따라 마스크와 기판의 1차 얼라인에 실패하여 2차 얼라인을 시도하게 될 수도 있다. 1차 얼라인에 실패하여 2차 얼라인을 시도하게 될 경우, 이송체와 다음 이송체 사이의 거리는 1차 얼라인에 성공하였을 시의 이송체와 다음 이송체 사이의 거리와 상이하게 된다.
본 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)의 경우, 이송체(MSA)가 구비하는 거리센서(DS)에서 감지한 거리정보를 토대로 이송속도결정부(VD)가 제1이송부(C1)의 이송속도를 상황에 따라 능동적으로 결정하므로, 얼라인 챔버(200)에서 1차 얼라인 실패가 발생하는 등에 의해 이송체와 다음 이송체 사이의 거리가 일정하지 않게 되더라도, 결과적으로 프로세스 챔버(300) 내에서 이송체들 사이의 거리가 사전설정된 거리로 일정하게 되도록 할 수 있다.
한편, 다른 비교예에 따른 인라인 챔버 시스템을 개략적으로 도시하는 개념도인 도 4에 도시된 것과 같이, 버퍼 챔버(100`) 내에 제1이송부만 존재하도록 하고 아이들이송부가 존재하지 않도록 하는 것을 고려할 수도 있다.
하지만 이송체인 마스크-기판 어셈블리(MSA)가 버퍼 챔버(100`)에서 프로세스 챔버(300) 쪽으로 이송되다가 버퍼 챔버(100`)와 프로세스 챔버(300) 사이에 걸쳐지게 되면, 버퍼 챔버(100`)의 제1이송부의 이송속도와 프로세스 챔버(300) 내 이송부의 이송속도가 동일해야만 마스크-기판 어셈블리(MSA)가 손상되는 것을 방지할 수 있다. 마스크-기판 어셈블리(MSA)가 버퍼 챔버(100`)와 프로세스 챔버(300) 사이에 걸쳐진 상황에서 버퍼 챔버(100`)의 제1이송부의 이송속도와 프로세스 챔버(300) 내 이송부의 이송속도가 상이하면 그 차이로 인해 마스크-기판 어셈블리(MSA)에 진동이 인가되어 얼라인이 틀어질 수도 있고 나아가 물리적으로 손상될 수도 있기 때문이다.
따라서 아이들이송부가 없는 경우에는 버퍼 챔버(100`)의 제1이송부의 이송체 이송속도를 빠르게 했다가도, 마스크-기판 어셈블리(MSA)가 버퍼 챔버(100`)와 프로세스 챔버(300) 사이에 걸쳐지는 순간부터 마스크-기판 어셈블리(MSA)가 버퍼 챔버(100`)를 빠져나갈 때까지는, 버퍼 챔버(100`)의 제1이송부의 이송속도가 프로세스 챔버(300)의 이송부의 느린 이송속도와 동일하게 되도록 정밀하게 제어해야만 한다.
하지만 도 1을 참조하여 전술한 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)의 경우 제1이송부(C1)의 그러한 정밀한 속도 제어가 불필요하다는 장점을 갖는다. 전술한 바와 같이 버퍼 챔버(100)는 제1이송부(C1) 외에 제1이송부(C1)와 출구(OT) 사이에 아이들이송부(IC)를 구비하며, 이 아이들이송부(IC)는 구동부에 의해 구동되지 않고 자유회전이 가능한 롤러 등을 포함한다. 따라서 제1이송부(C1)의 이송속도가 프로세스 챔버(300)의 이송부의 느린 이송속도와 동일하게 되도록 정밀하게 제어하지 않아도, 이송체가 제1이송부(C1)를 지나 아이들이송부(IC) 상에 위치하게 된 후 아이들이송부(IC)와 프로세스 챔버(300)의 이송부에 걸쳐지게 되면, 자연스럽게 프로세스 챔버(300)의 이송부의 이송속도에 맞춰지도록 할 수 있다.
이 경우, 버퍼 챔버(100)의 입구(IT)에서 출구(OT) 방향으로의 아이들이송부(IC)의 길이는, 버퍼 챔버(100)의 입구(IT)에서 출구(OT) 방향으로의 이송체(MSA)의 길이와 적어도 같거나 크도록 할 수 있다. 이를 통해 이송체(MSA)가 아이들이송부(IC) 양측에서 제1이송부(C1)와 프로세스 챔버(300)의 이송부에 동시에 걸쳐지지 않도록 할 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 비교예에 따른 인라인 챔버 시스템의 경우, 제1이송부의 속도를 정밀하게 제어하여 이송체가 버퍼 챔버(100`)와 프로세스 챔버(300) 사이에 걸치더라도 이송체에 손상이 가지 않게 할 수 있다 하더라도, 해당 이송체가 버퍼 챔버(100`)를 완전히 통과하여 프로세스 챔버(300)로 진입하기 전까지는, 해당 이송체와 다음 이송체 사이의 거리를 좁힐 수 없다. 즉, 해당 이송체가 버퍼 챔버(100`)를 통과한 다음에야 다음 이송체를 고속으로 이송하여 해당 이송체와 다음 이송체 사이의 거리를 좁힐 수 있을 뿐이다.
하지만 도 1을 참조하여 전술한 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)의 경우, 해당 이송체가 아이들이송부(IC)와 프로세스 챔버(300) 내 이송부 사이에 걸쳐 있는 동안이라면 해당 이송체가 버퍼 챔버(100)를 완전히 통과하기 전에라도, 제1이송부가 다음 이송체를 고속으로 이송하여 해당 이송체와 다음 이송체 사이의 거리를 획기적으로 좁힐 수 있다. 이는 아이들이송부(IC)의 롤러들(R9 내지 R12) 각각이 상이한 속도로 회전하는 것이 가능하기 때문이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 버퍼 챔버를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시예에 따른 버퍼 챔버가 도 1을 참조하여 전술한 버퍼 챔버와 상이한 점은, 아이들이송부(IC)와 출구(OT) 사이에 배치되며, 이송체를 출구(OT) 방향으로 이송할 수 있는 제2이송부(C2)를 더 구비한다는 것이다.
이 경우, 제1이송부(C1)는 구동부(DR)에 의해 구동되고 제2이송부(C2)는 다른 구동부(미도시)에 의해 구동되도록 할 수 있다. 구동부(DR)와 다른 구동부(미도시)는 제1이송부(C1)와 제2이송부(C2)의 이송속도를 상이하게 할 수 있다. 구체적으로, 이송체의 이송 중, 구동부(DR)에 의한 제1이송부(C1)의 이송속도가 다른 구동부(미도시)에 의한 제2이송부(C2)의 이송속도보다 빠르도록 할 수 있다.
이러한 본 실시예에 따른 버퍼 챔버(100) 역시 도 2에 도시된 것과 같이 얼라인 챔버(200)와 프로세스 챔버(300) 사이에 개재되어 인라인 챔버 시스템을 구성할 수 있다. 본 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)는 인라인 챔버 시스템에 있어서 이송체 사이 간격을 정밀하게 최소화하는 것이 가능하도록 한다.
전술한 바와 같이 버퍼 챔버(100)의 제1이송부(C1)에서 이송체인 마스크-기판 어셈블리(MSA)를 빠른 속도로 이송하고, 이송체가 아이들이송부(IC)를 통과하도록 함으로써, 제1이송부(C1)와 제2이송부(C2) 사이의 이송속도 차이에도 불구하고 마스크-기판 어셈블리(MSA)에 진동 등의 충격이 인가되는 것을 효과적으로 방지하면서 이송체들 사이의 간격을 좁힐 수 있다.
본 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)는 여기에서 더 나아가, 제2이송부(C2)의 이송체 이송속도를 조절함으로써, 제2이송부(C2)와 프로세스 챔버(300) 내 이송부 사이의 이송속도 차이를 이용해 프로세스 챔버(300) 내에서의 이송체 사이의 간격을 보다 정밀하게 제어하고 나아가 그 간격을 더욱 좁힐 수 있다.
즉, 제1이송부(C1)는 이송체 사이의 간격을 획기적으로 좁히기 위해 빠른 속도로 이송체를 이송하는 역할을 한다. 제2이송부(C2)는 이송체 사이의 간격을 정밀하게 제어하기 위해, 프로세스 챔버 내 이송부의 이송속도와 동일하기도 하고 더 빠르기도 한 이송속도를 갖되, 더 빠르더라도 제1이송부(C1)만큼 빠르지는 않도록 한다. 즉, 제2이송부(C2)는 이송속도가 제1이송부(C1)만큼 빠르지는 않기에, 이송속도 가변 폭이 좁아져 그 이송속도 제어를 제1이송부(C1)보다 상대적으로 정밀하게 할 수 있다.
이와 같은 제1이송부(C1), 아이들이송부(IC) 및 제2이송부(C2)를 통해, 결과적으로 프로세스 챔버(300) 내에서의 이송체 사이 간격의 정밀한 제어가 가능하도록 할 수 있다.
한편, 이송속도결정부(VD)가 제1이송부(C1)의 이송체(MSA) 이송속도를 결정함에 있어서, 선행이송체의 이송속도까지 고려하여 제1이송부(C1)의 이송체(MSA) 이송속도를 결정할 수도 있다. 선행이송체의 이송속도는, 선행이송체가 제1이송부(C1)를 통과한 경우에는 제1이송부(C1)를 통과할 시의 제1이송부(C1)의 이송속도가 될 수 있고, 선행이송체가 제2이송부(C2)에 걸쳐진 경우에는 제2이송부(C2)의 이송속도가 될 수 있다. 후자의 경우, 선행이송체의 이송속도는 제2이송부(C2)의 이송속도이므로, 이송속도결정부(VD)가 제1이송부(C1)의 이송체(MSA) 이송속도를 결정함에 있어서 선행이송체의 이송속도를 정확하게 파악한 상태에서 결정할 수 있다. 이에 따라 이송체(MSA)와 선행이송체 사이의 간격을 정확하게 제어할 수 있게 된다.
도면에서는 제2이송부(C2)가 복수개의 롤러들(R13, R14)을 구비하는 것으로 도시하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 제2이송부(C2)는 예컨대 롤러와 컨베이어벨트가 연결된 구조일 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다.
도 6과 도 7은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 버퍼 챔버를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)는 챔버바디(10)와, 제1이송부(C1)와, 아이들이송부(IC)와, 복수개의 센서들(S1 내지 S12)과, 이송속도결정부(VD)를 구비한다. 챔버바디(10), 제1이송부(C1) 및 아이들이송부(IC)에 대해서는 전술한 바와 같거나 유사하므로 이에 대한 설명은 생략한다.
복수개의 센서들(S1 내지 S12)은 제1이송부(C1) 및 아이들이송부(IC)를 따라 입구(IT)에서 출구 방향(OT)으로 배치되어 이송체(MSA1, MSA2)를 감지할 수 있다. 복수개의 센서들(S1 내지 S12)은 예컨대 균일한 간격으로 배열될 수 있다.
복수개의 센서들(S1 내지 S12) 각각은 예컨대 능동센서일 수 있다. 즉 복수개의 센서들(S1 내지 S12) 각각은 전자기파를 방출하는 소스부와, 그 소스부에 대향하도록 배치되어 전자기파를 수신하는 수신부를 가질 수 있다.
이에 따라 수신부가 전자기파를 수신하면 이송체(MSA1, MSA2)가 해당센서의 위치에 도달하지 않은 것으로 인식하고, 이송체(MSA)가 이동하여 소스부가 방출하는 전자기파를 차단함에 따라 수신부가 전자기파를 수신하지 못하기 시작하는 순간 이송체(MSA1, MSA2)가 해당센서의 위치에 도달한 것으로 인식하며, 이후 이송체(MSA1, MSA2)가 더 이동하여 소스부가 방출하는 전자기파를 차단하지 못하게 되어 수신부가 전자기파를 다시 수신하기 시작하는 순간 이송체(MSA1, MSA2)가 해당센서의 위치를 통과한 것으로 인식할 수 있다.
물론 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 복수개의 센서들(S1 내지 S12) 각각은 다른 구성을 가질 수도 있다. 예컨대 복수개의 센서들(S1 내지 S12) 각각은 전자기파를 방출하는 소스부와 전자기파를 수신하는 수신부를 갖되, 소스부와 수신부가 상호 대향하도록 배치되는 것이 아니라 동일한 일측에 배치되는 구성을 가질 수 있다.
이 경우 소스부에서 방출된 전자기파를 수신부가 수신하지 못하면 이송체(MSA1, MSA2)가 해당센서의 위치에 도달하지 않은 것으로 인식하고, 이송체(MSA1, MSA2)가 이동하여 소스부가 방출하는 전자기파를 반사함에 따라 수신부가 전자기파를 수신하기 시작하는 순간 이송체(MSA1, MSA2)가 해당센서(S2)의 위치에 도달한 것으로 인식하며, 이후 이송체(MSA1, MSA2)가 더 이동하여 소스부가 방출하는 전자기파를 반사하지 못하게 되어 수신부가 전자기파를 수신하지 못하게 되는 순간 이송체(MSA1, MSA2)가 해당센서의 위치를 통과한 것으로 인식할 수 있다.
이송속도결정부(VD)는 복수개의 센서들(S1 내지 S12)의 감지정보에 따라 제1이송부(C1)의 이송체 이송속도를 결정한다. 구체적으로, 복수개의 센서들(S1 내지 S12)의 감지정보를 통해 선행이송체(MSA1)와 이송체(MSA2) 사이의 거리가 사전설정된 거리보다 먼 것으로 판단할 경우, 이송속도결정부(VD)는 선행이송체(MSA1)의 이송속도보다 빠른 이송속도로 제1이송부(C1)의 이송체(MSA2) 이송속도를 결정한다.
도 6에 도시된 것과 같은 상황에서, 센서(S9)는 선행이송체(MSA1)가 센서(S9)의 위치를 통과한 것으로 인식하기 시작할 것이고, 센서(S5)는 이송체(MSA2)가 센서(S5)의 위치에 진입하는 것으로 인식하기 시작할 것이다. 따라서 이송속도결정부(VD)는 선행이송체(MSA1)와 이송체(MSA2) 사이의 거리가 센서(S9)와 센서(S5) 사이의 거리에 대응하는 것으로 판단하여, (선행이송체(MSA1)의 이송속도보다 빠른 이송속도로) 이송체(MSA2)의 이송속도를 결정할 수 있다. 구동부는 그와 같이 결정된 이송속도로 이송체(MSA2)를 이송할 수 있도록, 제1이송부(C1)를 구동한다.
예컨대, 선행이송체(MSA1)가 센서(S9)의 위치를 통과한 것으로 인식하고 이송체(MSA2)가 센서(S5)의 위치에 진입하는 것으로 인식할 시, 선행이송체(MSA1)와 이송체(MSA2) 사이의 거리를 d1, 사전설정된 거리를 d2, 센서(S9)와 센서(S12) 사이의 거리를 L, 선행이송체(MSA1)가 센서(S9)를 통과한 후의 이송속도를 v2라 하면, 제1이송부(C1)의 이송체(MSA2) 이송속도 v1은 v2(d1-d2+L)/L 가 되도록 할 수 있다. 여기서 제1이송부(C1)의 이송체(MSA2) 이송속도 v1은 평균 이송속도로 이해할 수 있다.
이 경우, 선행이송체(MSA1)가 도 5에 도시된 것과 같이 센서(S9)를 통과하는 순간부터 도 6에 도시된 것과 같이 센서(S12)를 통과하는 순간까지 소요되는 시간 T는 L/v2라 할 수 있으며, 그러한 시간 T 동안 이송체(MSA2)의 이동거리는 v2 X T, 즉 d1-d2+L이 된다. 따라서 이송체(MSA2)가 도 5에 도시된 것과 같은 위치에서 d1-d2+L의 거리를 이동하게 되면, 선행이송체(MSA1)는 L의 거리를 이동하게 되며, 이송체(MSA2)와 선행이송체(MSA1) 사이의 최초 거리는 d1이었기에, 선행이송체(MSA1)가 도 6에 도시된 것과 같이 센서(S12)를 통과하는 순간, 이송체(MSA2)와 선행이송체(MSA1) 사이의 거리는 사전설정된 거리인 d2가 되도록 할 수 있다.
위와 같은 v2 결정방식은 이송속도결정부(VD)의 이송속도결정방식의 일 예로, 그 외의 다양한 방식으로 이송속도를 결정할 수 있음은 물론이다.
일단 이송체(MSA2)와 선행이송체(MSA1) 사이의 거리가 사전설정된 거리인 d2가 대략 되면, 해당 거리가 일정하게 유지되도록 할 필요가 있다. 따라서 복수개의 센서들(S1 내지 S12)의 감지정보를 통해 선행이송체(MSA1)와 이송체(MSA2) 사이의 거리가 사전설정된 거리(d2)가 된 것으로 판단할 경우, 이송속도결정부(VD)는 선행이송체(MSA1)의 이송속도와 동일한 이송속도로 제1이송부(C1)의 이송체(MSA2) 이송속도를 결정한다.
도 8은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 버퍼 챔버를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시예에 따른 버퍼 챔버가 도 6이나 도 7을 참조하여 전술한 버퍼 챔버와 상이한 점은, 아이들이송부(IC)와 출구(OT) 사이에 배치되며, 이송체를 출구(OT) 방향으로 이송할 수 있는 제2이송부(C2)를 더 구비한다는 것이다.
이 경우, 제1이송부(C1)는 구동부(DR)에 의해 구동되고 제2이송부(C2)는 다른 구동부(미도시)에 의해 구동되도록 할 수 있다. 구동부(DR)와 다른 구동부(미도시)는 제1이송부(C1)와 제2이송부(C2)의 이송속도를 상이하게 할 수 있다. 구체적으로, 이송체의 이송 중, 구동부(DR)에 의한 제1이송부(C1)의 이송속도가 다른 구동부(미도시)에 의한 제2이송부(C2)의 이송속도보다 빠르도록 할 수 있다.
이러한 본 실시예에 따른 버퍼 챔버(100) 역시 도 2에 도시된 것과 같이 얼라인 챔버(200)와 프로세스 챔버(300) 사이에 개재되어 인라인 챔버 시스템을 구성할 수 있다. 본 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)는 인라인 챔버 시스템에 있어서 이송체 사이 간격을 정밀하게 최소화하는 것이 가능하도록 한다.
전술한 바와 같이 버퍼 챔버(100)의 제1이송부(C1)에서 이송체인 마스크-기판 어셈블리(MSA1, MSA2)를 빠른 속도로 이송하고, 이송체가 아이들이송부(IC)를 통과하도록 함으로써, 제1이송부(C1)와 제2이송부(C2) 사이의 이송속도 차이에도 불구하고 마스크-기판 어셈블리(MSA)에 진동 등의 충격이 인가되는 것을 효과적으로 방지하면서 이송체들 사이의 간격을 좁힐 수 있다.
본 실시예에 따른 버퍼 챔버(100)는 여기에서 더 나아가, 제2이송부(C2)의 이송체 이송속도를 조절함으로써, 제2이송부(C2)와 프로세스 챔버(300) 내 이송부 사이의 이송속도 차이를 이용해 프로세스 챔버(300) 내에서의 이송체 사이의 간격을 보다 정밀하게 제어하고 나아가 그 간격을 더욱 좁힐 수 있다.
즉, 제1이송부(C1)는 이송체 사이의 간격을 획기적으로 좁히기 위해 빠른 속도로 이송체를 이송하는 역할을 한다. 제2이송부(C2)는 이송체 사이의 간격을 정밀하게 제어하기 위해, 프로세스 챔버 내 이송부의 이송속도와 동일하기도 하고 더 빠르기도 한 이송속도를 갖되, 더 빠르더라도 제1이송부(C1)만큼 빠르지는 않도록 한다. 즉, 제2이송부(C2)는 이송속도가 제1이송부(C1)만큼 빠르지는 않기에, 이송속도 가변 폭이 좁아져 그 이송속도 제어를 제1이송부(C1)보다 상대적으로 정밀하게 할 수 있다.
이와 같은 제1이송부(C1), 아이들이송부(IC) 및 제2이송부(C2)를 통해, 결과적으로 프로세스 챔버(300) 내에서의 이송체 사이 간격의 정밀한 제어가 가능하도록 할 수 있다.
도면에서는 제2이송부(C2)가 복수개의 롤러들(R13, R14)을 구비하는 것으로 도시하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 제2이송부(C2)는 예컨대 롤러와 컨베이어벨트가 연결된 구조일 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다.
한편, 도 1 및 도 5 내지 도 8에서는 버퍼 챔버(100)의 챔버바디(10)에 있어서 입구(IT)와 출구(OT)가 동일한 높이에 위치하는 것으로 도시하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
전술한 바와 같이 버퍼 챔버(100)는 얼라인 챔버(200)와 프로세스 챔버(300) 사이에 개재될 수 있는바, 얼라인 챔버(200)의 버퍼 챔버(100) 방향의 출구와 프로세스 챔버(300)의 버퍼 챔버(100) 방향의 입구의 높이가 상이할 수 있다. 이 경우 버퍼 챔버(100)의 챔버바디(10)에 있어서 입구(IT)와 출구(OT)가 상이한 높이에 위치할 수도 있다. 이때, 버퍼 챔버(100)의 제1이송부(C1)나 아이들이송부(IC), 또는 그러한 각 구성요소의 적어도 일부가 상하로 움직일 수 있는 구조를 가질 수 있다.
예컨대 챔버바디(10)의 입구(IT)가 출구(OT)보다 높은 곳에 위치할 경우, 제1이송부(C1) 전체 또는 적어도 일부가 상하로 움직일 수 있는 구조를 가질 수 있다. 즉, 제1이송부(C1) 전체 또는 적어도 일부가 챔버바디(10)의 입구(IT) 위치에 대응하도록 위치한 상태에서 이송체(MSA)가 제1이송부(C1) 전체 또는 적어도 일부 상에 위치하고, 그 후 제1이송부(C1) 전체 또는 적어도 일부가 챔버바디(10)의 출구(OT) 위치에 대응하도록 하강한 후, 제1이송부(C1)가 이송체(MSA)를 출구(OT) 방향으로 이송할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 챔버바디 100: 버퍼 챔버
200: 얼라인 챔버 300: 프로세스 챔버
C1: 제1이송부 C2: 제2이송부
DR: 구동부 IC: 아이들이송부
IR: 정보수신부 IT: 입구
MSA: 마스크-기판 어셈블리 OT: 출구
VD: 이송속도결정부

Claims (10)

  1. 일측에 입구가 형성되고 타측에 출구가 형성된 챔버바디;
    구동부에 의해 구동되어, 상기 입구를 통해 투입된 이송체를 상기 출구 방향으로 이송할 수 있는, 제1이송부;
    상기 제1이송부와 상기 출구 사이에 배치되며, 상기 이송체가 지나가도록 할 수 있는, 아이들이송부;
    상기 이송체의 거리센서가 검출하여 상기 이송체의 정보송신부가 송신한, 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리정보를 수신하는, 정보수신부;
    상기 정보수신부가 수신한 거리정보에 따라 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정하는 이송속도결정부; 및
    상기 아이들이송부와 상기 출구 사이에 배치되고, 상기 제1이송부의 상기 구동부와 다른 구동부에 의해 구동되어, 상기 제1이송부의 이송속도와 상이한 이송속도로 상기 이송체를 상기 출구 방향으로 이송할 수 있는 제2이송부;를 구비하고,
    상기 아이들이송부는 복수의 롤러들을 포함하고,
    상기 아이들이송부의 상기 복수의 롤러들은 상기 제1이송부와 상기 제2이송부의 이송속도 차이에 의해서 상기 이송체에 충격이 인가되는 것을 방지할 수 있도록, 상기 제1이송부와 상기 제2이송부 사이에서 자유 회전되는, 버퍼 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정보수신부가 수신한 거리정보에 따른 상기 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리가 사전설정된 거리보다 멀 경우, 상기 이송속도결정부는 상기 선행이송체의 이송속도보다 빠른 이송속도로 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정하는, 버퍼 챔버.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 정보수신부가 수신한 거리정보에 따른 상기 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리가 상기 사전설정된 거리가 되면, 상기 이송속도결정부는 상기 선행이송체의 이송속도와 동일한 이송속도로 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정하는, 버퍼 챔버.
  4. 일측에 입구가 형성되고 타측에 출구가 형성된 챔버바디;
    구동부에 의해 구동되어, 상기 입구를 통해 투입된 이송체를 상기 출구 방향으로 이송할 수 있는, 제1이송부;
    상기 제1이송부와 상기 출구 사이에 배치되며, 상기 이송체가 지나가도록 할 수 있는, 아이들이송부;
    상기 제1이송부 및 상기 아이들이송부를 따라 상기 입구에서 상기 출구 방향으로 배치되어 상기 이송체를 감지할 수 있는 복수개의 센서들;
    상기 복수개의 센서들의 감지정보에 따라 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정하는 이송속도결정부; 및
    상기 아이들이송부와 상기 출구 사이에 배치되고, 상기 제1이송부의 상기 구동부와 다른 구동부에 의해 구동되어, 상기 제1이송부의 이송속도와 상이한 이송속도로 상기 이송체를 상기 출구 방향으로 이송할 수 있는 제2이송부;를 구비하고,
    상기 아이들이송부는 복수의 롤러들을 포함하고,
    상기 아이들이송부의 상기 복수의 롤러들은 상기 제1이송부와 상기 제2이송부의 이송속도 차이에 의해서 상기 이송체에 충격이 인가되는 것을 방지할 수 있도록, 상기 제1이송부와 상기 제2이송부 사이에서 자유 회전되는, 버퍼 챔버.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수개의 센서들의 감지정보를 통해 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리가 사전설정된 거리보다 먼 것으로 판단할 경우, 상기 이송속도결정부는 상기 선행이송체의 이송속도보다 빠른 이송속도로 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정하는, 버퍼 챔버.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수개의 센서들의 감지정보를 통해 상기 선행이송체와 상기 이송체 사이의 거리가 상기 사전설정된 거리가 된 것으로 판단할 경우, 상기 이송속도결정부는 상기 선행이송체의 이송속도와 동일한 이송속도로 상기 제1이송부의 상기 이송체 이송속도를 결정하는, 버퍼 챔버.
  7. 삭제
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입구는 마스크와 기판을 얼라인하는 얼라인 챔버에 연결될 수 있는, 버퍼 챔버.
  9. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 출구는 프로세스 챔버의 입구에 연결될 수 있는, 버퍼 챔버.
  10. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 버퍼 챔버;
    상기 버퍼 챔버의 상기 입구에 연결되는, 마스크와 기판을 얼라인하는 얼라인 챔버; 및
    상기 버퍼 챔버의 상기 출구에 연결되는, 프로세스 챔버;
    를 구비하는, 인라인 챔버 시스템.
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