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Die Erfindung betrifft einen Reinraum-Transportbehälter gemäß dem Anspruch 1.
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Unter Reinraumbedingungen zu behandelnde flächige Substrate weisen zunehmend größere Flächenmaße auf. Entsprechend der Anzahl der für eine solche Behandlung zu durchlaufenden Stationen sind dadurch - falls die Substrate während des ganzen Behandlungsdurchlaufs im Reinraum verbleiben sollen - sehr groß dimensionierte, in sich geschlossene Reinräume erforderlich, die technisch nur noch schwer zu realisieren und wirtschaftlich kaum noch zu vertreten sind. Alternativ hierzu werden deshalb die in einem Behandlungszyklus zu durchlaufenden Stationen für solch großflächige Substrate auf mehrere, jeweils unter Reinraumbedingungen zu betreibende Baueinheiten aufgeteilt. Dies mit der Folge, dass die jeweils zu behandelnden Substrate zwischen den Behandlungseinheiten umgesetzt werden müssen und dadurch mit verunreinigten Atmosphären in Berührung kommen oder durch mechanische Gegebenheiten bei der Umsetzung verunreinigt werden können.
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Um dies zu vermeiden werden die Substrate zwischen unterschiedlichen Behandlungseinheiten in atmosphärisch geschlossenen Transportbehältern, häufig sogenannten SMIF- oder FOUP-Boxen umgesetzt, was bei großflächigen Substraten zu entsprechend voluminösen und schweren Transportbehältern führt. Dies bedingt mechanische Umsetzhilfen, da ein händisches Umsetzen zwischen den jeweiligen Behandlungseinheiten kaum noch machbar ist. Mechanische Umsetzeinrichtungen, wie beispielsweise Hängeförderer und automatisiert geführte Flurförderwagen, sind letztlich aber nur bei auf große Kapazitäten ausgelegten Anlagen wirtschaftlich vertretbar und kommen somit für auf kleinere Kapazitäten ausgelegte Anlagen kaum in Frage.
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Dementsprechend ist es insbesondere für Anlagen kleinerer Kapazität und für die Behandlung von vor allem flächenmäßig meist kleineren Substraten zum Beispiel aus der
DE 101 44 955 B4 bereits bekannt, für die die Substrate aufnehmenden Reinraum-Transportbehälter bei vor allem händischer Umsetzung zwischen Behandlungseinheiten - zur Erleichterung dieser Umsetzung mit der erforderlichen Präzision - der jeweiligen Behandlungseinheit eine Übergabevorrichtung zuzuordnen, die ein Bauteil dieser Prozessstation bildet und die eine dem jeweiligen Beschicker geneigt zugewandte Tragabstützung für einen jeweiligen, an die Prozessstation anzudockenden Reinraum- Transportbehälter aufweist. Zum Andocken des Reinraum-Transportbehälters an die jeweilige Ladeöffnung der Prozessstation wird der Reinraum-Transportbehälter durch Verschwenken der Tragabstützung in seine Andocklage gebracht, in der er mit seiner deckelseitigen Stirnfläche randseitig die Ladeöffnung dichtend umschließt, so dass nach Entfernen des Deckels ein Zugriff auf die im Reinraum-Transportbehälter mit Abstand geschichteten Substrate durch die Ladeöffnung möglich ist. Bis zum dichtenden Ansetzen des Reinraum-Transportbehälters ist die Ladeöffnung durch eine diese überdeckende, hubverschiebliche Torplatte geschlossen, die durch Verlagerung gegen den Deckel des Reinraum-Transportbehälters mit diesem verbunden wird, so dass durch die Hubverstellung der Torplatte diese und der Deckel in eine die Übergabeöffnung freigebende Öffnungsstellung versetzt werden. Schon die für großflächige Substrate, wie etwa 450 mm Wafer, erforderlichen Dimensionen für Transportboxen wie auch das Gewicht solcher, mit Wafern gefüllter Transportboxen machen deutlich, dass trotz solcher Hilfen händisch deren Handhabung schwer möglich ist.
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Weiter ist es auch durch die
DE 199 16 932 C1 bekannt, eine Übergabevorrichtung für plattenförmige Substrate als verfahrbare Montageeinheit auszubilden, die zur jeweiligen Behandlungseinheit oder einer jeweiligen Prozessstation lagefest stationär verbunden wird, derart, dass sie mit ihrer Beschicköffnung in Überdeckung zu einer entsprechenden Ladeöffnung in der Behandlungseinheit oder einer Prozessstation liegt. Zu diesen Öffnungen ist seitens der Übergabevorrichtung ein hubverstellbares Schleusentor vorgesehen.
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Zur Erleichterung des Ansetzens eines Reinraum-Transportbehälters an einer solchen Übergabevorrichtung weist diese zwei in Hochrichtung teleskopisch gegeneinander verstellbare Kammerteile auf, zu deren oberem das Schleusentor in Hochrichtung überstehend lagefest angeordnet ist, derart, dass Beschick- und Ladeöffnung in der in den unteren Kammerteil eingefahrenen Lage des oberen Kammerteils über das Schleusentor verschlossen sind. In dieser eingefahrenen Lage des oberen Kammerteils bildet dessen Oberseite eine in Zugriffshöhe liegende Tragabstützung, auf die ein jeweiliger Reinraum-Transportbehälter aufzusetzen ist. Durch Ausfahren des oberen Kammerteils aus dem unteren Kammerteil unter Verbleib des Gehäuses des Reinraum-Transportbehälters auf der die Oberseite des oberen Kammerteils als Tragabstützung bei Verriegelung des oberen Kammerteils in seiner ausgefahrenen Lage werden die im Reinraum-Transportbehälter gestapelten Substrate in den oberen Kammerteil überführt und so in eine Anschlusslage zu Beschick- und Ladeöffnung gebracht.
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Weiter ist es aus der
US 5 364 219 A bekannt, gegebenenfalls automatisch geführte Flurförderwagen zur Beschickung von Behandlungseinheiten oder Prozessstationen zu verwenden, wobei seitens der Behandlungseinheit oder Prozessstation und des Flurförderwagens Übergabeöffnungen vorgesehen sind, die durch Andocken des Flurförderwagens dichtend umschlossen sind. Der Ladeöffnung der Behandlungseinheit oder Prozessstation ist ein über einen Hubantrieb verstellbares Schleusentor zugeordnet, das in der Andockstellung des Flurförderwagens zum dessen Beschicköffnung zugeordneten Deckel festgelegt und zusammen mit diesem in Hubrichtung verstellbar ist. Die seitens des Flurförderwagens vorgesehene Beschicköffnung ist einer Reinraumkammer zugeordnet, in der ein Handhabungsgerät vorgesehen ist, über das Zugriff auf die Behandlungseinheit sowie auf einen mit der Reinraumkammer gegenüberliegend in Verbindung stehenden, ebenfalls dem Flurförderwagen zugeordneten Ablageraum für Substrate genommen werden kann, so dass im Flurförderwagen verschiedenste Funktionen zusammengefasst sind, die eine recht spezielle Ausgestaltung bedingen.
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Auch aus der
US 5 609 459 A ist ein System zum Be- und Entladen von Reinraumanlagen mit Substraten bekannt, die in einem geschlossenen Reinraum-Transportbehälter mit stirnseitiger Beschicköffnung aufgenommen sind, wobei der Transportbehälter, in einer Andocklage zu einer Station der Anlage positioniert, auf einer Tragabstützung der Station abgesetzt ist und die Beschicköffnung eine Anschlusslage zu einer Ladeöffnung dieser Station einnimmt.
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Bei einer weiteren, aus der
US 6 364 331 B1 bekannten, im Oberbegriff des Anspruches 1 berücksichtigten Transportvorrichtung für Reinraum-Transportbehälter wird ein atmosphärengeschlossener Reinraum-Transportbehälter über ein berädertes Fahrwerk als Arbeitseinheit gegen eine Andockebene einer Arbeitsstation verfahren und in einer Ausgangslage für den Andockvorgang zu dieser Arbeitsstation über eine Kupplungsanordnung erfasst, die mit aufrechter Schwenkachse zwischen Fahrgestell und Arbeitsstation eine wechselseitige Ausrichtung ermöglicht. Der Reinraum-Transportbehälter ist zum Fahrwerk über einen Schwenkrahmen abgestützt, der fahrwerksseitig um eine zur Fahrebene parallele Achse verschwenkbar ist, und zwar zwischen einer zur Andockebene geneigt stehenden Fahrlage und einer nach Heranfahren des Fahrwerks an die Andockebene erreichten, über eine Kupplungsanordnung erfassten und in die Andockebene eingeschwenkten Andocklage. Mit Erreichen der Andocklage werden am Schwenkrahmen gegen die Andockebene ausragende Kragarme auf einer Abstellfläche für den Transportbehälter gedämpft aufgesetzt und nach Übergabe des Reinraum-Transportbehälters wird das Fahrwerk mit dem Schwenkrahmen wieder von der Andockebene entfernt.
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Grundsätzlich bieten die bekannten Lösungen zwar Möglichkeiten zur Erleichterung des Andockens von geschlossenen Transportbehältern an jeweilige Bearbeitungseinheiten oder Prozessstationen und zur Reduzierung oder Vermeidung von Verunreinigungen von jeweils vom Transportbehälter auf die jeweilige Anlage oder Station zu übergebenden Substraten. Diese Möglichkeiten beinhalten auch Lösungen, insbesondere in Verbindung mit Hubverstellung von Schleusentoren und/oder Deckeln, reibungsbedingt auftretende Verunreinigungen der jeweiligen Atmosphäre dadurch zu vermeiden, dass Schleusentore und/oder Deckel für die Hubverstellung durch Querverlagerung aus ihrer Anlage zur jeweiligen Dichtfläche abgehoben werden. Diese Lösungen sind aber recht aufwändig und für große und schwere, eigenständige Transportbehälter kaum geeignet.
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Die Erfindung zielt darauf ab, eine einfache und billige Lösung zum Umsetzen großer und schwerer, großflächige Substrate aufnehmender Transportbehälter zur Verfügung zu stellen, wobei eine solche Lösung technisch und wirtschaftlich insbesondere in Verbindung mit Anlagen kleinerer Kapazität von Vorteil sein soll und außerdem keinen Eingriff in den Aufbau einer solchen Anlage bedingen soll, der ein späteres Aufrüsten oder Umrüsten einer solchen Anlage auf größere Kapazitäten behindern würde.
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Erfindungsgemäß wird hierzu eine Anordnung, bestehend aus einem Reinraum-Transportbehälter und Fahrwerk und einer Kupplungsanordnung gemäß dem Anspruch 1 vorgesehen. Mit den Unteransprüchen werden zweckmäßige Ausgestaltungen angesprochen, die ebenso wie die Lösung gemäß dem Anspruch 1 nachstehend insbesondere orientiert auch an den Zeichnungen und ergänzt durch diese erläutert werden.
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Gemäß dem Anspruch 1 bilden ein jeweiliger Reinraum-Transportbehälter für großflächige Substrate, somit ein großer und schwerer Transportbehälter, und ein Fahrwerk als Bau- und Funktionseinheit, eine Arbeitseinheit, bei der ein jeweiliger Transportbehälter jeweils über ein Fahrwerk verfügt und getragen über dieses Fahrwerk längs einer Fahrebene insbesondere händisch, also vor allem über eine Bedienperson zu verfahren ist. Hierbei ist die Arbeitseinheit ungeachtet der
jeweiligen Verfahrgeschwindigkeit und der gegebenenfalls auch großen Massen feinfühlig zu bewegen, um Erschütterungen und Bewegungsabläufe zu vermeiden, die zu atmosphärischen Verunreinigungen durch entsprechende Partikelbildung führen können.
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Da insoweit insbesondere die Verhältnisse beim Andocken des Transportbehälters an die jeweilige Arbeitsstation kritisch sind, erfolgt dieses Andocken gesteuert und gedämpft mithilfe einer Einrichtung, die als Kupplungsanordnung eine erste und eine zweite Kupplungseinheit umfasst. Der ersten Kupplungseinheit kommt dabei die Aufgabe zu, beim Ansetzen der Arbeitseinheit von Reinraum-Transportbehälter und Fahrwerk Letzteres bevorzugt etwa in Höhe der Fahrebene benachbart zur Andockebene abzufangen und abzustützen, um so eine gute Ausgangsposition für das Andocken des Reinraum-Transportbehälters gegen die Arbeitsstation zu schaffen.
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Über die zweite Kupplungseinheit wird die Arbeitseinheit bevorzugt schon bei ihrer Annäherung an die Ausgangsposition erfasst, insbesondere auch dämpfend abgefangen und über die Ausgangsposition hinaus gegen die Andockebene verlagert, insbesondere um die über die erste Kupplungseinheit geschaffene Abstützung als Drehachse verschwenkt und in der dadurch geschaffenen Andocklage auch fixiert. Die zweite Kupplungseinheit kann hierzu in einfacher Weise im Wesentlichen durch einen Stellzylinder gebildet sein, der seitens der Arbeitsstation abgestützt ist und der bevorzugt sensorisch gesteuert mit einem seiner Stellstange zugeordneten Greifer auf ein entsprechendes, seitens des Fahrwerks vorgesehenes Gegenglied zugreift.
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Diese Funktionen lassen sich, wie erkennbar, mit einfachen Mitteln erfüllen und bedingen insbesondere auch keine aufwändige Ausbildung des mit dem Reinraum-Transportbehälter zu einer Arbeitseinheit zusammengefassten Fahrwerks.
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Die geschilderten Einrichtungen zum gedämpften Andocken des mit dem Fahrwerk zu einer Arbeitseinheit verbundenen Reinraum-Transportbehälters an eine jeweilige Arbeitsstation kommen insbesondere dann mit Vorteil zum Tragen, wenn Reinraum-Transportbehälter und Fahrwerk als Arbeitseinheit in ihrer Andocklage zu einer Arbeitsstation und in ihrer Fahrlage zur Fahrebene unterschiedlich geneigt sind, derart, dass die Arbeitseinheit eine zur Andocklage winklig gegen die Fahrebene abgesetzte Fahrlage aufweist, wie sie für den möglichst schonenden und auch innerhalb des Reinraum-Transportbehälters bewegungsarmen Transport der Substrate zweckmäßig ist, ebenso wie für die Handhabung der Arbeitseinheit durch eine jeweilige Bedienperson.
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Ausgehend von einer Ausgangsposition zum Andocken, wie sie sich beim Verfahren der Arbeitseinheit in einer zur Andocklage winklig abgesetzten Fahrlage ergibt, ist über die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Einrichtung zum gedämpften Andocken der Arbeitsstation der jeweilige Arbeitsablauf gut zu beherrschen.
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Ein solches Verschwenken der Arbeitseinheit von der Ausgangsposition in die angedockte Lage mit lagefester Abstützung der Arbeitseinheit über die erste Kupplungseinheit im zur Fahrebene benachbarten Bereich führt dazu, dass die Arbeitseinheit aus ihrer zur Fahrebene über die gefederten Laufräder abgestützten Lage ausgehoben wird, somit allein über die Kupplungsanordnung in der Andocklage fixiert ist und aufgrund der Zwangsführung auch schon während des Andockens anderweitige Beeinflussungen der Arbeitseinheit, sei es über die Bedienperson oder bedingt durch Fahrbahngegebenheiten ausgeschlossen sind, die die erforderliche exakte und erschütte-rungsfreie Umsetzung der Arbeitseinheit beeinträchtigen können.
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Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen erläutert, die in den 1 bis 6 einen Reinraum-Transportbehälter mit Fahrwerk in Verbindung mit einem Ausschnitt einer Reinraumanlage zeigen, hier symbolisiert durch eine Arbeitsstation einer solchen Reinraumanlage, an die der Reinraum-Transportbehälter mit seinem Fahrwerk anzudocken ist, wobei die 1 bis 6 den Ablauf eines diesbezüglichen Andockvorgangs veranschaulichen. In 7, die eine schematisierte Ansicht des Fahrwerks entsprechend einer Schnittführung VII-VII in 6 zeigt, ist das Fahrwerk mit allen Elementen, da insoweit nur auf deren Positionierung abgehoben wird, als sichtbaren Elementen dargestellt, ungeachtet der teilweise überdeckten Lage.
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Der Reinraum-Transportbehälter 1 ist als atmosphärisch geschlossener Transportbehälter mit in seinem Gehäuse 2 vorgesehener frontseitiger Beschicköffnung - als sogenannte FOUP - ausgebildet, in dem mit Abstand gestapelt übereinanderliegend Substrate 4 aufgenommen werden. Die Substrate 4 sind als großflächige Substrate beispielsweise durch Wafer mit einem Durchmesser von 450 mm gebildet. Dementsprechend ergibt sich aufgrund der Aufnahme eines Stapels von Substraten 4, also beispielsweise Wafern in dem Reinraum- Transportbehälter 1 für diesen ein großes Volumen mit einem entsprechenden Gewicht, das über eine Bedienperson 5, in 1 angedeutet, auch bei günstigen Arbeitsgegebenheiten, kaum noch zu beherrschen ist.
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Im Hinblick darauf ist dem Reinraum-Transportbehälter 1 das Fahrwerk 6 zugeordnet und es bilden das Fahrwerk 6 und der Reinraum- Transportbehälter 1 als Funktions- und Baueinheit, innerhalb einer jeweiligen Reinraumanlage eine Arbeitseinheit 7 zur Umsetzung von Substraten 4 zwischen den Arbeitsstationen 8 der Reinraumanlage. Insbesondere im Hinblick auf einen möglichen Einsatz einer solchen Arbeitseinheit 7 kann das Fahrwerk 6 mit dem Transportbehälter 1 auch lösbar verbunden sein, so dass durch Bestückung mit unterschiedlichen Reinraum-Transportbehältern 1 auch eine Anpassung an variable Betriebsgegebenheiten in einer Anlage möglich ist.
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Eine jeweilige Arbeitseinheit 7 steht für die Übergabe von Substraten 4 zwischen Reinraum-Transportbehälter 1 und einer jeweiligen Arbeitsstation 8 bereit, wenn die Arbeitseinheit 7 in ihrer Andocklage zur Arbeitsstation 8 fixiert ist, wie in den 4 bis 6 gezeigt, und wenn der Reinraum-Transportbehälter 1 über seine Beschicköffnung 3, gegen die Umgebungsatmosphäre dichtend abgegrenzt, in offener Verbindung zur Be- und Entladeöffnung 10 der Prozesskammern 9 der Arbeitsstation 8 steht, wie in 6 gezeigt.
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Auf die jeweilige Andocklage zu einer Arbeitsstation 8 ist die Arbeitseinheit 7 zunächst längs einer Fahrebene 11, im Regelfall über eine Bedienperson 5, auf eine Annäherungslage zu der Arbeitsstation 8 verfahrbar, an der die Arbeitseinheit 7 angedockt werden soll. Die Annäherungslage der Arbeitseinheit 7 wird bevorzugt sensorisch erfasst, was hier nicht gezeigt ist, und ist in 2 veranschaulicht. In dieser Annäherungslage liegt die Arbeitseinheit 7 im Zugriffsbereich der Kupplungsanordnung 12, die Kupplungseinheiten 24 und 28 mit der Arbeitsstation 8 und der Arbeitseinheit 7 zugehörigen Kupplungsteilen aufweist.
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In ihrer Verfahrlage zur Fahrebene 11 nimmt die Arbeitseinheit 7 eine insgesamt zur Andockebene 13 zwischen Arbeitseinheit 7 und Arbeitsstation 8 entgegengesetzt zur Anfahrrichtung gegen die Andockebene 1 geneigte Lage gegenüber der Fahrebene 11 ein, wie in den 1 und 2 veranschaulicht. Dies bei auf der Fahrebene 11 aufsitzenden Laufrädern 14 des Fahrwerkes 6, das einen über die Laufräder 14 getragenen Aufbau 15 aufweist, der sich bevorzugt als einfacher gerüstartiger Aufbau entsprechend der in der Verfahrlage des Fahrwerks geneigten Lage zur Fahrebene 11 geneigt erstreckt.
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In seiner, wie aus den 1 bis 7 ersichtlich, einfachen Gestaltung weist der Aufbau 15 in der Seitenansicht gemäß 1 bis 6 eine U-förmige, entgegen der Andockrichtung, und damit zur Rückseite 16 offene Grundform mit einer die Laufräder 14 abstützenden Tragplatte als unterem Schenkel 17 und einer Tragauflage als oberem Schenkel 18 auf. Die tragende Abstützung zwischen unterem Schenkel 17 und oberem Schenkel 18 wird durch seitliche Wangen 19 gebildet, die eine Frontseite 20 aufweisen. Die Frontseite 20 erstreckt sich, entsprechend der geneigten Lage des Fahrwerks 6 zur Fahrebene 11, in der Fahrlage geneigt zur Fahrebene 11 und liegt bezogen auf den Reinraum-Transportbehälter 1 der Arbeitseinheit 7 im Wesentlichen in einer Ebene mit dessen Frontseite.
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Im Übergang zwischen dem oberen Schenkel 18 des Aufbaus 15 und dem aufsitzenden Reinraum-Transportbehälter 1 ist, bevorzugt als separates Bauteil mit dem Aufbau 15 auswechselbar verbunden, als Tragauflage 21 für den Reinraum-Transportbehälter 1 ein Funktionselement vorgesehen, über das der Reinraum-Transportbehälter 1 relativ zum Aufbau 15 des Fahrwerkes 6 entsprechend dem Pfeil 22 in oder entgegengesetzt zur Fahrrichtung der Arbeitseinheit 7 verstellbar ist. Zweckmäßigerweise ist im Bereich oder an der Tragauflage 21 auch eine Handhabe 23 für die Arbeitseinheit 7 vorgesehen.
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Die sich entsprechend vorstehender Erläuterungen ergebene Neigung der Arbeitseinheit 7 gegenüber der Fahrebene 11 entgegengesetzt zur Andockrichtung hat in vorteilhafter Weise zur Folge, dass die im Reinraum-Transportbehälter 1 aufgenommenen Substrate 4 in der Fahrstellung der Arbeitseinheit 7 entgegen der Fahrtrichtung schräg nach hinten geneigt sind, somit für die Substrate 4 eine schwerkraftabgesicherte rückwärtige Lage gegeben ist, die einem erschütterungsbedingten Verrutschen der Substrate 4, unter anderem aufgrund von im Fahrbetrieb trotz aller Dämpfung sich ergebender Erschütterungen, entgegenwirkt. Die in der Fahrlage gegen die Fahrebene 11 abgeknickte Ausbildung des Aufbaus 15 des Fahrwerks 6 hat weiter zur Folge, dass der Reinraum- Transportbehälter 1 mit dem oberen Teil des Aufbaus 15 gegenüber der durch die Laufräder 14 gegebenen Abstützfläche zur Fahrebene 11 nach hinten auskragt, was günstige Arbeitspositionen für die jeweilige Bedienperson 5 sowohl beim Verfahren der Arbeitseinheit 7 mit sich bringt wie auch ein etwa notwendiges Aufsetzen eines gefüllten Reinraum-Transportbehälters auf das Fahrwerk 6 erleichtert.
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Bedingt durch die entgegen der Verfahrrichtung auf die Andocklage geneigte, zur Fahrebene 11 abknickende Ausbildung der Arbeitseinheit 7 ergibt sich ausgehend von der Annäherungslage ein Verschwenken der Arbeitseinheit 7 durch die Abstützung und das Zugreifen der Kupplungsanordnung 12 mit seiner ersten Kupplungseinheit 24, die im eingekuppelten Zustand eine nahe der Fahrebene 11 liegende Drehabstützung für die angekoppelte Arbeitseinheit 7 bildet. Die erste Kupplungseinheit 24 ist, wie insbesondere aus 7 ersichtlich, über frontseitig nahe den Wangen 19 des Aufbaus 15 liegende Drehabstützungen 25 gebildet, die eine zur Andockebene 13 parallele Drehachse festlegen und jeweils eine zur Arbeitsstation 8 lagefeste Stützkugel 26 und zu den Stützkugeln 26 bevorzugt verrastende, am Aufbau 15 vorgesehene Stützarme 27 aufweisen.
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Eine zweite Kupplungseinheit 28 ist in Hochrichtung beabstandet zur ersten Kupplungseinheit 24 etwa mittig zu deren Drehabstützungen 25 liegend angeordnet und durch eine Stelleinrichtung 29 gebildet, die einen seitens der Arbeitsstation 8 abgestützten Stellzylinder 30 und einen seitens des Aufbaus 15 angeordneten Stützkörper 31, insbesondere in Form einer Stützkugel, aufweist, auf den der Stellzylinder 30 mit einer an seiner Kolbenstange endseitig vorgesehenen, bevorzugt gesteuert zwischen ihrer Fang- und ihrer Offenlage umstellbaren Fangklaue 32 zugreift.
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Dieser Zugriff erfolgt, wie insbesondere aus 2 ersichtlich, bevorzugt sensorgesteuert - der Sensor ist nicht dargestellt - auf den Stützkörper 31 in der Andocklage, so dass, wie in 3 gezeigt, bei über die Kupplungseinheiten 24 und 28 erfasster Arbeitseinheit 7 diese gegen die Andockebene 13 abgestützt über die Drehabstützung 25 bei entsprechender Beaufschlagung des Stellzylinders 30 eingeschwenkt wird. In der so erreichten Andocklage des über die Kupplungseinheiten 24, 28 verschwenkten und den Reinraum-Transportbehälter 1 tragenden Fahrwerks 6 kann der Reinraum-Transportbehälter 1 lagepositioniert zur Tragauflage 21 über eine der Tragauflage 21 zugeordnete Stelleinrichtung - entsprechend dem Pfeil 22 - justierend verstellt werden, so dass in Verbindung mit dem Verschwenken der Arbeitseinheit 7 aus der Aufsetzlage der Räder 14 zur Fahrbahnebene 11 und dem Einschwenken gegen die Andockebene 13 zur Andockebene 13 gegebene Positionierungsungenauigkeiten des Reinraum-Transportbehälters 1 durch Verlagerung des Reinraum-Transportbehälters 1 gegenüber seinem die Andocklage bestimmenden Fahrwerk 6 reibungsfrei ausgeglichen werden können.
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Dem Reinraum-Transportbehälter 1 zur Beschicköffnung 3 und der Arbeitsstation 8 zur Be- und Entladeöffnung 10 ihrer Prozesskammer 9 sind Deckel 33, 34 zugeordnet, die in der Andocklage der Arbeitseinheit 7 zur Arbeitsstation 8 in Überdeckung zueinander liegen und die in dieser Andocklage, gegen die Umgebungsatmosphäre abgeschirmt, miteinander verbunden und gemeinsam über einen Hubantrieb 35 in eine die Öffnungen 3 und 10 freigebende Seitenkammer 36 verlagerbar sind. Zur Verbindung der Deckel 33 und 34 im Hinblick auf deren Verstellung in ihre Öffnungsstellung wird der Deckel 34 gegen den Deckel 33 angelegt und verriegelt, wobei diese Querverstellung durch eine entsprechende Querverlagerung der Hubstange 37 des Hubantriebes 35 erfolgt. Hierzu ist die Hubstange 37 mit dem Joch 38 eines Lenkerparallelogramms 39 verbunden, das über einen Stellzylinder 40 mit gegeneinander aus ihrer Mittellage als Ruhelager verstellbaren Kolben verschwenkbar ist.
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Die erfindungsgemäße Lösung ermöglicht für großvolumige und schwere Reinraum-Transportbehälter 1 in Reinraumanlagen deren Verlagerung zwischen Andocklagen zu verschiedenen Arbeitsstationen 8 durch die Zusammenfassung eines jeweiligen Reinraum-Transportbehälters 1 mit einem jeweiligen Fahrwerk 6 zu einer Arbeitseinheit 7, die zwischen ihren jeweiligen Andocklagen zu den Arbeitsstationen 8 verfahrbar ist und bei der der Transportbehälter 1 in der jeweiligen Andocklage durch sein zur Arbeitsstation 8 angedocktes Fahrwerk 6 getragen ist.
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Nicht dargestellt ist in den Zeichnungen, dass die Arbeitseinheit 7 mit einem Anschluss an eine Energieversorgung versehen ist, bevorzugt durch einen im Bereich einer der Kupplungsanordnungen 24 oder 28 vorgesehenen Kupplungsanschluss.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Transportbehälter
- 2
- Gehäuse
- 3
- Beschicköffnung
- 4
- Substrate
- 5
- Bedienperson
- 6
- Fahrwerk
- 7
- Arbeitseinheit
- 8
- Arbeitsstation
- 9
- Prozesskammer
- 10
- Be- und Entladeöffnung
- 11
- Fahrebene
- 12
- Kupplungsanordnung
- 13
- Andockebene
- 14
- Laufräder
- 15
- Aufbau
- 16
- Rückseite
- 17
- unterer Schenkel
- 18
- oberer Schenkel
- 19
- seitliche Wange
- 20
- Frontseite
- 21
- Tragauflage
- 22
- Pfeil
- 23
- Handhabe
- 24
- erste Kupplungseinheit
- 25
- Drehabstützung
- 26
- Stützkugel
- 27
- Stützarme
- 28
- zweite Kupplungseinheit
- 29
- Stelleinrichtung
- 30
- Stellzylinder
- 31
- Stützkörper
- 32
- Fangklaue
- 33
- Deckel
- 34
- Deckel
- 35
- Hubantrieb
- 36
- Seitenkammer
- 37
- Hubstange
- 38
- Joch
- 39
- Lenkerparallelogramm
- 40
- Stellzylinder
