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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumdurchführung für wenigstens ein durch eine in einer Kammerwand vorgesehene Durchgangsöffnung in eine Vakuumkammer führendes Bauteil, wobei die Vakuumdurchführung eine manschettenartig um eine Außenkontur des Bauteils vorgesehene Vakuumdichtung aufweist.
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Im Stand der Technik sind verschiedenste Varianten von Vakuumdurchführungen mit besonderen konstruktiven Schwerpunkten bekannt. Allerdings besitzen viele der derzeitigen Lösungen einen für das Hochvakuum nicht geeigneten Ansatz.
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So ist in der Druckschrift
DE 1 766 805 U eine Vakuumdurchführung beschrieben, die auch zur Aufnahme von mechanischen Kräften geeignet ist. Hierfür weist die beschriebene Vakuumdurchführung ein Dichtungselement auf, das aus zwei Stützringen besteht, zwischen welchen ein elastischer Dichtungsring vorgesehen ist. Das Dichtungselement befindet sich zwischen der eigentlichen Durchführung für ein Bauteil und einer das Dichtungselement ummantelnden Durchführungsbuchse. Die ganze Dichtung wird von zwei eingeschraubten Muffen gehalten. Diese einfache Dichtung weist nicht die Dichtheitskriterien auf, wie sie im Hochvakuum benötigt werden.
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Eine weitere Ausgestaltungsmöglichkeit einer Vakuumdurchführung ist in der Druckschrift
DE 10 2009 022 752 B4 beschrieben. Diese Vakuumdurchführung weist einen mit einer Vakuumkammerwand verbindbaren Flansch und einen mit dem Flansch durch eine Schraubverbindung verbundenen Deckel auf. Innerhalb des Flansches ist ein topfförmiger Hohlraum vorgesehen, in welchem ein Dichtungsträger mit beidseitig daran vorgesehenen, ringförmigen Dichtungen vorgesehen ist. Die Dichtungen sind so ausgebildet, dass sie ein durch die Dichtungen und den Dichtungsträger hindurchführendes Bauteil dicht umschließen. Diese Dichtungen werden beim Verschrauben des Deckels mit dem Flansch zusammengepresst, wodurch die Dichtwirkung erreicht wird. Zudem sind in dem Dichtungsträger Aussparungen vorgesehen, durch welche Luft aus der Dichtung abgesaugt werden kann.
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Neben den direkt um das Bauteil vorgesehenen Dichtungen sind bei der in der Druckschrift
DE 10 2009 022 752 B4 vorgestellten Lösung weitere, einfache Dichtungen zwischen dem Flansch und der Vakuumkammerwand sowie zwischen dem Deckel und dem Flansch vorgesehen. Dabei bildet insbesondere die Einfachdichtung zwischen Flansch und Vakuumkammerwand eine potenzielle Leckstelle aus. Auch ist bei der beschriebenen Lösung der an den Dichtungsträger angekoppelte Differenzdruckanschluss selbst als potenzielle Leckstelle anzusehen, welche sich bedingt durch die in der Industrie gebräuchlichen Abmessungen einer Vakuumanlage schnell vervielfachen können. Derartige Anschlüsse jeweils separat zu einer für solche Anwendungen vorgesehenen Pumpe zu führen, erfordert zudem einen nicht zu unterschätzenden Platzbedarf und stellt weiterhin einen großen Installations- und Wartungsaufwand dar.
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Nachteilig an den derzeit im Stand der Technik üblichen Dichtkonzepten für Bauteile mit komplexen und/oder asymmetrischen Außenkonturen ist zudem, dass keine absolute Trennung der einzelnen Dichtaufgaben erfolgt. Dies betrifft zum einen die Dichtwirkung in radialer Richtung, also am Umfang des zu dichtenden Bauteils, und zum anderen in axialer Richtung, das heißt in Richtung der Durchgangsöffnung in die Vakuumkammer.
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Wie es beispielsweise in der Druckschrift
DE 10 2009 022 752 B4 beschrieben ist, wird hierbei die Dichtfunktion, respektive die für den Materialfluss notwendige Kraft zur Verformung der Dichtung, letztendlich erst durch das Montieren des Deckels für beide Funktionen gleichzeitig erreicht. Diese Trennung ist aber gerade bei Doppeldichtungen sinnvoll, da bei der Montage kleinste Ungenauigkeiten, auch unter Betrachtung der Fertigungstoleranzen, Leckagen zur Folge haben können. Um dieses Risiko und damit verbundene Stillstandzeiten der Anlage zu verringern, benötigt es einer neuen Herangehensweise.
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Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vakuumdurchführung für Bauteile beliebiger Außenkontur zur Verfügung zu stellen, welche sämtlichen Anforderungen einer für das Hochvakuum geeigneten Durchführung hinsichtlich Dichtheit und Zuverlässigkeit gerecht wird. Zusätzlich sollte die Anzahl der für die Vakuumdurchführung benötigten Teile sowie der Installations- und Wartungsaufwand möglichst gering gehalten werden.
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Diese Aufgaben werden durch eine Vakuumdurchführung der oben genannten Gattung gelöst, bei welcher die Vakuumdichtung wenigstens eine Dichtungsscheibe mit wenigstens einer Durchgangsöffnung für das Bauteil vorgesehen ist, jeweils an Stirnseiten der wenigstens einen Dichtungsscheibe vorgesehene, Randbereiche der Stirnseiten nicht abdeckende Druckplatten und wenigstens zwei durch Durchgangsöffnungen in den Druckplatten und der wenigstens einen Dichtungsscheibe hindurch verlaufende Passschrauben mit daran vorgesehenen Muttern aufweist.
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Erfindungsgemäß wird damit eine besonders einfach aufgebaute und trotzdem hochgradig dichtende Vakuumdurchführung zur Verfügung gestellt. Dies wird dadurch erzielt, dass die Passschrauben durch die Druckscheiben der wenigstens einen Dichtungsscheibe hindurchgehen, dabei die Druckscheiben derart gegen die Stirnflächen der wenigstens einen Dichtungsscheibe pressen, dass die von den Druckplatten nicht abgedeckten Bereiche der Dichtungsscheibe gegen die Außenkontur des Bauteils gepresst werden und dieses damit in seiner eingebauten Position abdichten. Der erfindungsgemäße Einsatz von Passschrauben als Spannelemente ermöglicht nicht nur ein sehr einfachen sondern auch einen sehr kompakten Aufbau der erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung.
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Die erfindungsgemäße Vakuumdurchführung besitzt somit wenigstens eine Durchgangsöffnung für das Bauteil und wenigstens zwei weitere Durchgangsöffnungen für die Schraubendurchführungen. Grundsätzlich ist es jedoch auch möglich, dass mehr als zwei Bauteile durch die erfindungsgemäße Vakuumdurchführung hindurchgeführt werden. Dann sind eine entsprechende Anzahl von Bauteildurchführungen in der Vakuumdurchführung vorzusehen. Ebenso ist es möglich, dass mehr als zwei Passschrauben durch die Druckschreiben und die wenigstens eine Dichtungsscheibe hindurchgeführt werden. Auch hier ist die Anzahl der entsprechenden Durchgangsöffnungen für die Passschrauben entsprechend anzupassen.
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Die Druckplatten sind an den Stirnseiten der wenigstens einen Dichtungsscheibe vorzugsweise derart vorgesehen, dass sie die größtmögliche Oberfläche der Stirnseiten abdecken und den Rand zur Dichtung freilassen. Damit ist durch die Passschrauben eine hohe Kraft über die Druckscheiben auf die Dichtungsscheibe übertragbar, sodass diese besonders gut zusammenpressbar ist, um seitlich eine geeignete Dichtwirkung gegen das Bauteil auszuüben. Da insbesondere die Randbereiche der Stirnseiten der wenigstens einen Dichtungsscheibe nicht durch die Druckplatten abgedeckt sind, ist letzteres ohne weiteres möglich.
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Die erfindungsgemäß zum Spannen verwendeten Passschrauben sind je nach zu dichtendem Bauteil an einer geeigneten Stelle der Vakuumdurchführung vorsehbar. Beispielsweise können sie einander gegenüber vorgesehen sein. Die erfindungsgemäß verwendeten Passschrauben besitzen den Vorteil, dass sie im Bereich der Dichtungsscheibe durch ihre glatte Oberfläche eine besonders geeignete Dichtfläche aufweisen. Leckagen können somit auch in diesem Bereich vermieden werden.
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In einer vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung ist die wenigstens eine Dichtungsscheibe in einem Tragring aufgenommen. Ein solcher Tragring eignet sich besonders gut, um die Dichtung leicht ein- oder ausbauen zu können.
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Gemäß einer bevorzugten Variante der Erfindung sind um die Außenkontur des Bauteils zwei Dichtungsscheiben vorgesehen, die mit den Passschrauben und den zugehörigen Muttern gespannt sind. Obwohl, wie oben ausgeführt, erfindungsgemäß grundsätzlich auch eine Dichtungsscheibe ausreichend ist, auf deren beiden Seiten Druckscheiben vorgesehen sind, kann mittels einer Doppeldichtung eine besonders niedrige Leckrate erzielt werden. Werden derartige Doppeldichtungen in dem oben bereits erwähnten Tragring bzw. einem entsprechenden Kragen vorgesehen, ist ein besonders einfacher Austausch der Doppeldichtung möglich.
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Es hat sich als besonders geeignet erwiesen, wenn der Tragring eine Innenkontur mit Positionshilfen für eine beidseitige Anordnung der Dichtungsscheiben in dem Tragring aufweist. Somit wird die Ausbildung des Dichtungszwischenraums zwischen den Dichtscheiben in jeden Fall gewährleistet, sodass die Dichtung innerhalb des als Hohlraum vorgesehenen Dichtungszwischenraumes geeignet abgesaugt werden kann.
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Wird bei der erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung um die wenigstens eine Dichtungsscheibe ein Tragring eingesetzt, ist es von Vorteil, wenn der Tragring radiale, durch das Material des Tragringes hindurch verlaufende Entlüftungsöffnungen aufweist. Über diese Entlüftungsöffnungen kann der gesamte Bereich innerhalb des Tragringes gut evakuiert werden.
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Wenn in dem Tragring zwei Dichtungsscheiben eingesetzt sind, ist es besonders günstig, wenn zwischen den Dichtungsscheiben ein Dichtungszwischenraum vorgesehen ist, der mittels der oben erwähnten Entlüftungsöffnungen in dem Tragring evakuierbar ist.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung ist die Vakuumdichtung in eine Senkung eines mit der Kammerwand des verbindbaren Dichtblockes eingesetzt. Dabei ist im Bereich der Senkung eine Durchgangsöffnung durch den Dichtblock zum Hindurchführen des Bauteiles vorgesehen und der Dichtblock derart mit der Kammerwand verbindbar, dass die Senkung an einen in der Kammerwand vorgesehenen Absaugkanal anschließt. Auf diese Weise ist eine besonders vorteilhafte Dichtungsabsaugung realisierbar. Dabei kann die Vakuumdichtung geeignet vormontiert werden und daraufhin auf einfache Weise in die Senkung des Dichtblockes eingesetzt werden. Danach kann der Dichtblock mit der Kammerwand verbunden werden. Im Anschluss daran kann die Vakuumdichtung auf einfache Weise über den in der Kammerwand vorgesehenen Absaugkanal abgesaugt werden. Bei der Absaugung sind somit keine weiteren Anschlüsse erforderlich, wodurch eine sehr platzsparende Anordnung für die erfindungsgemäße Vakuumdurchführung zur Verfügung gestellt werden kann.
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Wenn die erfindungsgemäße Vakuumdurchführung als Doppeldichtung ausgeführt ist, wobei zwischen den Dichtungsscheiben ein Dichtungszwischenraum und in dem Tragring Entlüftungsbohrungen vorgesehen sind, kann ein Entlüftungskanal von dem Dichtungszwischenraum, über die Entlüftungsbohrungen in dem Tragring bis in die Senkung des Dichtblockes ausgebildet werden, wodurch eine besonders geeignete Entlüftung möglich ist. Bedingt durch die ausgebildete Doppeldichtung und die damit verbundene Dichtungsabsaugung wird bei dieser Ausführungsform bei hochvakuumtauglicher Vakuumdurchführung zur Verfügung gestellt, die sowohl eine hohe Dichtheit als auch eine hochgradige Zuverlässigkeit besitzt.
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In einem günstigen Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung weist der Tragring beidseitig einen Bund auf, wobei ein erster Bund des Tragringes an einen in der Senkung vorgesehenen Anschlag grenzt und ein zweiter Bund des Tragringes nach einer Montage des Dichtblockes an der Kammerwand an einen an der Durchgangsöffnung in der Kammerwand vorgesehenen Anschlag grenzt. Hierdurch wird ermöglicht, dass die beispielsweise bereits vormontierte Dichtungsaufnahme auf einfache Weise, aber mit hoher Exaktheit in den Dichtblock eingebracht werden kann, um hierdurch eine hochqualitative Vakuumdichtung ausbilden zu können.
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Eine vorteilhafte Entlüftung der erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung kann auch dadurch erreicht werden, dass in wenigstens einer der Druckplatten wenigstens eine Entlüftungsbohrung vorgesehen ist. Grundsätzlich kann auch eine Entlüftung in den Passschrauben selbst vorgesehen sein, sodass insbesondere der Raum zwischen den Druckplatten und den Passschrauben entlüftet werden kann.
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Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, deren Aufbau, Funktion und Vorteile werden im Folgenden anhand von Figuren näher erläutert, wobei
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1a schematisch eine geschnittene Seitenansicht der einfachen Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung zeigt;
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1b schematisch eine Draufsicht auf die Ausführungsform von 1a zeigt;
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2 schematisch in einer perspektivischen Ansicht eine in der Ausführungsform von 1a und 1b verwendbare Dichtungsscheibe zeigt;
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3 schematisch in einer geschnittenen Seitenansicht eine Ausführungsform einer an eine Kammerwand einer Vakuumkammer angebrachten erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung in Form einer Doppeldichtung zeigt;
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4 schematisch in einer perspektivischen Ansicht eine an einem zu dichtenden Bauteil vorgesehene, vormontierte Dichtungsaufnahme für einen Einbau in eine erfindungsgemäße Vakuumdurchführung zeigt; und
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5 schematisch die Dichtungsaufnahme aus 4 in einer teilweise geschnittenen perspektivischen Ansicht zeigt.
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1a zeigt schematisch eine geschnittene Seitenansicht einer einfachen Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung 1. Die Vakuumdurchführung 1 in der Darstellung von 1a ist in eine Durchgangsöffnung 20 einer Kammerwand 2 eingesetzt.
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Die Vakuumdurchführung 1 weist eine Dichtungsscheibe 51 auf, welche wenigstens eine Durchgangsöffnung 53 für die Durchführung eines in 1a nicht gezeigten Bauteils aufweist. Die Durchgangsöffnung 53 ist dabei an die Außenkontur des Bauteils angepasst. Die Dichtungsscheibe 51 besteht aus einem typischen Dichtungsmaterial, wie beispielsweise einem Elastomer. Damit kann die Dichtungsscheibe 51 geeignet zusammengedrückt werden, um dichtend an der Außenkontur des durch die Dichtungsscheibe 51 hindurchzuführenden Bauteils anliegen zu können.
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Wie ferner aus 1a ersichtlich ist, befinden sich an den Stirnseiten der Dichtungsscheibe 51 jeweils Druckplatten 61, 62. Dabei weist in dem dargestellten Ausführungsbeispiel die Druckplatte 61 eine Entlüftungsbohrung 63 auf.
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Sowohl die Dichtungsscheibe 51 als auch die Druckplatten 61, 62 weisen Durchgangsöffnungen für Passschrauben 71 auf, an welche Muttern 72 geschraubt sind. Die Passschrauben 71 weisen zumindest in dem Bereich, in welchem sie durch die Dichtungsscheibe 51 hindurchgehen, kein Gewinde auf. Damit ist eine hochdichtende Anlage des Materials der Dichtungsscheibe 51 an der glatten Außenkontur der Passschrauben 71 möglich.
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Durch Festziehen der Passschrauben 71 mittels der Muttern 72 werden die Druckplatten 61, 62 gegen die Stirnseiten der Dichtungsscheibe 51 gepresst. Die Druckplatten 61, 62 sind dabei so groß gestaltet, dass sie auf einen Großteil der Oberflächen der Stirnseiten der Dichtungsscheibe 51 einwirken und damit eine hohe Kraft auf die Dichtungsscheibe 51 ausüben können. Die Randbereiche der Stirnseiten der Dichtungsscheibe 51 sind jedoch nicht durch die Druckplatten 61, 62 abgedeckt. So kann in diesen Randbereichen das Material der Dichtungsscheibe 51 seitlich zwischen den Druckplatten 61, 62 herausgedrückt werden, um einerseits dichtend gegenüber dem durch die Vakuumdurchführung hindurchgeführten Bauteil als auch dichtend gegenüber der Kammerwand 2 zu wirken.
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1b zeigt die Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung 1 aus 1a in einer Draufsicht. Das in den 1a und 1b dargestellte Ausführungsbeispiel einer Vakuumdurchführung 1 dient der Durchführung und Dichtung einer in einer Vakuumkammer einzubringenden Heizlampe. Die Heizlampe hat, wie es aus 1b ersichtlich ist, eine etwa 8-förmige Außenkontur. Entsprechend ist die hierfür vorgesehene Durchgangsöffnung 53 in der Dichtungsscheibe 51 und den Druckplatten 61, 62 ebenfalls 8-förmig ausgebildet. Die Passschrauben 71 sind vorteilhafterweise an den Längsseitenbereichen der 8-Form angeordnet, an welchen genügend Platz zum Durchführen der Passschrauben 71 durch die Druckplatten 61, 62 und die Dichtungsscheibe 51 zur Verfügung steht.
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In anderen, nicht gezeigten Ausführungsformen der Erfindung können auch mehr als zwei Passschrauben in der erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung verwendet werden.
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2 zeigt schematisch in einer perspektivischen Ansicht eine Draufsicht auf eine in der Ausführungsform der 1a und 1b verwendbaren Dichtungsscheibe 51. Man sieht hier deutlich die 8-förmige Durchgangsöffnung 53, durch welche das zu dichtende Bauteil hindurchzuführen ist. Ferner sieht man beidseitig der Durchgangsöffnung 53 zwei weitere Durchgangsöffnungen für die hindurchzuführenden Passschrauben 71.
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3 zeigt schematisch in einer geschnittenen Seitenansicht eine weitere mögliche Ausbildung einer an einer Kammerwand 2 einer hier nicht dargestellten Vakuumkammer angebrachten erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung 1‘ in Form einer Doppeldichtung.
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Die Vakuumdurchführung 1‘ weist einen Dichtblock 8 auf, der in dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel mit der Kammerwand 2 verbunden ist. Dabei sind zwischen dem Dichtblock 8 und der Kammerwand 2 Dichtungen 85 vorgesehen.
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Der Dichtblock 8 weist eine Durchgangsöffnung 81 zum Durchführen eines zu dichtenden Bauteils 3 auf. Ferner besitzt der Dichtblock 8 auf der der Kammerwand 2 gegenüber liegenden Seite eine in Verbindung mit der Durchgangsöffnung 81 stehende Senkung 80.
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In dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Dichtblock 8 mit der Kammerwand 2 mittels Schrauben 83 verbunden. Dabei ist unter dem Schraubenkopf der Schraube 83 eine Scheibe 84 vorgesehen.
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In die Senkung 80 des Dichtblockes 8 ist eine Dichtungsaufnahme 10 eingesetzt. Die Dichtungsaufnahme 10 weist einen Tragring 4 auf. In dem Tragring 4 sind beidseitig des Tragringes 4 ringförmige Dichtungsscheiben 51, 52 eingesetzt. Die Dichtungsscheiben 51, 52 sind derart in dem Tragring 4 vorgesehen, dass zwischen den Dichtungsscheiben 51, 52 ein hohler Dichtungszwischenraum 50 ausgebildet ist.
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Die Dichtungsscheiben 51, 52 besitzen eine innen ausgeschnittene Kontur, welche an die Außenkontur des zu dichtenden Bauteils 3 angepasst ist.
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Desweiteren sind in dem Tragring 4 radial eingebrachte Bohrungen, die in 3 nicht zu sehen sind, zur Absaugung des Dichtungszwischenraumes 50 vorgesehen.
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Der Tragring 4 weist an seinem Umfang beidseitig einen Bund 41, 42 auf. Dabei grenzt ein erster dieser Bünde 41 in der in 3 dargestellten zusammengebauten Anordnung an einen an einer Durchgangsöffnung 20 in der Kammerwand 2 vorgesehenen Anschlag 22 an, während der zweite dieser Bünde 42 in der zusammengebauten Anordnung von 3 an einen in der Senkung 80 vorgesehenen Anschlag 82 angrenzt. Damit dienen die Bünde 41, 42 zum Einen dem exakten Einbau der Dichtungsaufnahme 10 in dem Dichtblock 8 und andererseits der Lenkung des Materialflusses der Dichtungsscheiben 51, 52 bei deren Zusammenpressen.
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Obwohl es in 3 nicht dargestellt ist, ist es von Vorteil, wenn die Innenkontur des Tragringes 4 Positionierhilfen aufweist, durch welche die Dichtungsscheiben 51, 52 geeignet beidseitig in den Tragring 4 unter Ausbildung eines Dichtungszwischenraumes 50 zwischen den Dichtungsscheiben 51, 52 eingebracht werden können.
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Jeweils an den Stirnseiten der in Tragring 4 eingesetzten Dichtungsscheiben 51, 52 sind Druckplatten 61, 62 vorgesehen. Die Druckplatten 61, 62 besitzen in der gezeigten Ausführungsform ebenfalls eine Scheibenform mit einer entsprechend des durchzuführenden Bauteils 3 innen ausgeschnittenen Kontur. Zudem sind in den Druckplatten 61, 62 in radialer Richtung Entlüftungsbohrungen 63 für eine Evakuierung eingebracht.
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Ferner sind in dem in 3 gezeigten Ausführungsbeispiel zum Anziehen und Festhalten der Dichtungsscheiben 51, 52 Passschrauben 71 durch die Druckplatten 61, 62, die Dichtungsscheiben 51, 52 und den Dichtungszwischenraum 50 hindurch geführt. An die Passschrauben 71 sind jeweils Muttern 72 geschraubt. Die Passschrauben 71 und Muttern 72 sind in dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel zu beiden Seiten des zu dichtenden Bauteils 3 vorgesehen.
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In dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Bauteil 3 eine Heizlampe, welche, wie es noch deutlicher aus den 2 und 3 hervorgeht, einen unsymmetrischen Querschnitt aufweist. Das heißt, die Ausdehnung des Bauteils 3 von 3 ist in dem dargestellten Querschnitt geringer als in der in die Blattoberfläche hinein bzw. in der aus der Blattoberfläche heraus ragenden Dimension. Damit können bei diesem Ausführungsbeispiel die Schrauben 71 und Muttern 72 besonders geeignet beidseitig des Bauteils 3 platziert werden.
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Vorzugsweise ist zwischen den Muttern 72 und den Druckplatten 61, 62 jeweils noch eine Scheibe 73 vorgesehen.
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In der in 3 dargestellten zusammengebauten Anordnung der erfindungsgemäßen Vakuumdurchführung 1, die mit der Anlagenwand 2 verbunden ist, ist ein Entlüftungskanal ausgebildet, der sich von dem Dichtungszwischenraum 50, über die Entlüftungsöffnungen in dem Tragring 4, in die Senkung 80 des Dichtblockes 8 erstreckt. Ist die Dichtung zusammengepresst, ergibt sich auch ein Entlüftungsweg zwischen den Entlüftungsbohrungen 63 in den Druckplatten 61, 62, den Entlüftungsöffnungen in dem Tragring 4 und der Senkung 80 des Dichtblockes 8. Da zudem die Senkung 80 direkt mit einem in der Kammerwand 2 vorgesehenen Absaugkanal 21 verbunden ist, ermöglicht dieser Absaugkanal 21 die Zusammenführung der für die Vakuumdurchführung 1 notwendigen Differenzdruckabsaugungen für mindestens eine komplette Seite der Vakuumkammer.
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Damit ist eine Einsparung von Anschlüssen und eine damit verbundene Platzersparnis gegeben.
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4 zeigt schematisch in einer perspektivischen Ansicht eine zusammengebaute Dichtungsaufnahme 10, durch die das zu dichtende Bauteil 3 hindurch geführt ist. 3 zeigt die Dichtungsaufnahme aus 4 in einer teilweise geschnittenen perspektivischen Ansicht. Wie bereits oben erwähnt, kann die Dichtungsaufnahme 10 geeignet vormontiert werden, um sie nachfolgend in den Dichtblock 8 von 3 einzusetzen. Für die Vormontage der Dichtungsaufnahme 10 ist es sinnvoll, eine spezielle Vorrichtung einzusetzen, um den Abstand des in die Vakuumkammer einzuführenden Bauteils 3 exakt einzurichten und die vormontierte Vakuumdichtung auf Dichtheit zu prüfen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 1766805 U [0003]
- DE 102009022752 B4 [0004, 0005, 0007]
