DE102011050963A1 - Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben - Google Patents

Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben Download PDF

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Abstract

Ein Verfahren zur Herstellung einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung (10), und die daraus hergestellte Röntgengittervorrichtung (10), enthält: Bereitstellen eines Substrats (14), das aus einem für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierenden Material (16) hergestellt ist, das Kanäle (18) darin enthält; Aufbringen (32) einer Schicht, ebenfalls aus einem für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierenden Material (34), auf eine Seitenwand (Seitenwände) (20) der Kanäle (18), wobei die Schicht ein zweites Material (34) aufweist; und anschließendes Einbringen (44) eines Materials (42), das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen absorbierend ist, in einen Abschnitt der Kanäle (18), um so mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente (12) zu definieren. Die vorliegende Erfindung ist anhand einer speziellen Ausführungsform (spezieller Ausführungsformen) beschrieben worden, und es wird erkannt, dass neben den ausdrücklich angegebene äquivalente, alternative und modifizierte Formen möglich sind und in dem Umfang der beigefügten Ansprüche liegen.

Description

  • HINTERGRUND ZU DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein das Gebiet der diagnostischen Radiografie und insbesondere eine Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung derselben.
  • Anti-Streu-Gitter sind in der Röntgenbildgebung zur Verbesserung der Bildqualität weit verbreitet. Von einer Punktquelle emittierte Röntgenstrahlen durchdringen einen Patienten oder ein Objekt und werden anschließend in einem geeigneten Röntgendetektor detektiert. Röntgenbildgebung funktioniert durch Detektion der Intensität von Röntgenstrahlen als Funktion der Position auf dem Röntgendetektor. Dunklere Bereiche mit geringerer Intensität entsprechend Bereichen mit höherer Dichte oder Dicke in dem Objekt, während hellere Bereiche mit größerer Intensität Bereichen mit geringerer Dichte oder Dicke in dem Objekt entsprechen. Dieses Verfahren beruht darauf, dass Röntgenstrahlen entweder unmittelbar durch das Objekt hindurchtreten oder vollständig absorbiert werden. Jedoch können Röntgenstrahlen auch Streuprozessen, hauptsächlich der Compton-Streuung, in dem Patienten oder Objekt unterliegen. Derartige Röntgenstrahlen erzeugen Bildrauschen und reduzieren auf diese Weise die Qualität des Bildes. Um die Auswirkung derartiger gestreuter Röntgenstrahlen zu verringern, wird ein streuungsverhinderndes Gitter (Anti-Streu-Gitter) eingesetzt. Das Gitter lässt bevorzugt primäre Gitter) eingesetzt. Das Gitter lässt bevorzugt primäre Röntgenstrahlen (diejenigen, die nicht streuen) durch und unterdrückt Röntgenstreustrahlen. Dies geschieht durch Überlappung von Materialien mit geringerer Röntgenabsorption, wie beispielsweise Grafit oder Aluminium, mit Schichten mit höherer Röntgenabsorption, wie beispielsweise aus Blei oder Wolfram. Gestreute Röntgenstrahlen werden dann bevorzugt gestoppt, bevor sie in den Röntgendetektor eintreten. Jedoch wird auch ein Anteil der primären Röntgenstrahlen in dem Gitter absorbiert.
  • Einer der primären Metriken für die Leistung eines Anti-Streu-Gitters ist der Quantenverbesserungsfaktor (QIF, Quantum Improvement Factor), wobei QIF = Tp 2/Tt. Tp ist die primäre Röntgentransmission durch das Gitter und Tt ist die gesamte Transmission. Diese Gleichung zeigt die Wichtigkeit der Erzielung einer hohen primären Transmission. Wenn primäre Röntgenstrahlen verloren gehen, geht auch Bildgebungsinformation verloren, und folglich muss entweder die Röntgendosis erhöht oder eine Verschlechterung der Bildqualität akzeptiert werden. Ein QIF von 1 oder größer zeigt eine Verbesserung der Bildqualität an, während ein QIF von < 1 anzeigt, dass das Gitter tatsächlich der Qualität des Bildes schadet.
  • Die Hauptentwurfsmetriken für ein Anti-Streu-Gitter sind die Linienzahl bzw. -frequenz, die Liniendicke und die Gitterhöhe, die häufig als Verhältnis ausgedrückt werden. Die Linienzahl (Linienfrequenz), die gewöhnlich in Einheiten von Linien/cm ausgedrückt werden, gibt die Anzahl der absorbierenden Materialstreifen in einem gegebenen Abstand an. Die Liniendicke ist gerade die Dicke der absorbierenden Linien, die häufig in Mikrometereinheiten ausgedrückt wird. Das Gitterverhältnis ist das Verhältnis der Gitterhöhe zu dem Zwischenraumabstand (der Menge des gering absorbierenden Materials zwischen einem Paar Gitterlinien. Die Gitterleistung ist ferner durch das Material, das bei der Herstellung des Gitters verwendet wird, und die Art und Dicke der Gitterabdeckungen beeinflusst, die inaktive Platten sind, die das Gitter umgeben, um mechanischen Halt zu bieten.
  • Beim Entwurf eines Anti-Streu-Gitters muss der Grad der Streuungsunterdrückung mit der primären Transmission abgewogen werden, um den Quantenverbesserungsfaktor zu maximieren. Jedoch ist dies aufgrund der Herstellungsbeschränkungen nicht immer möglich. Z. B. sind in einer Niederenergieprozedur, wie beispielsweise Mammografie, die Gitterlinien aufgrund von Beschränkungen bei der Herstellung von Gittern mit sehr dünnen Linien häufig dicker als erforderlich. Außerdem kann in derartigen Niederenergieprozeduren das Zwischenraummaterial ein signifikantes Absorptionsmittel für die primären Röntgenstrahlen sein.
  • Herkömmliche Verfahren zur Gitterherstellung umfassen ein Laminieren von Bleifolien auf das Zwischenraummaterial oder das Verwenden einer feinen Säge, um Rillen in einem Grafitsubstrat einzuschneiden, und Füllen der Rillen mit Blei. Es ist auch Gießen als ein Verfahren zur Gitterherstellung vorgeschlagen worden, wie es z. B. in der veröffentlichten US-Patentanmeldung Nr. US20090272874 offenbart ist.
  • Demgemäß besteht ein andauernder Bedarf an einer Verbesserung existierender Röntgengitterkonstruktions- und -herstellungstechniken.
  • KURZBESCHREIBUNG
  • Die vorliegende Erfindung überwindet wenigstens einige der vorerwähnten Nachteile durch Bereitstellung einer (streuungsverhindernden) Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung und eines Verfahrens zur Herstellung einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung, die schließlich eine verbesserte Gitterleistung ergibt. Insbesondere ist die vorliegende Erfindung auf eine Gitterherstellungsmethode gerichtet, die Gitter mit äußerst dünnen Gitterlinien und hochtransparentem Zwischenraummaterial ergibt, die schnell, kostengünstig und in hohem Grade wiederholbar ist.
  • Demzufolge weist gemäß einem Aspekt der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung auf: Bereitstellen eines Substrats, das ein erstes Material aufweist, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierend ist, wobei das Substrat mehrere Kanäle in ihm aufweist; Aufbringen einer Schicht auf eine Seitenwand der mehreren Kanäle, wobei die Schicht ein zweites Material aufweist, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierend ist; und Einbringen eines dritten Materials, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen absorbierend ist, in einen Abschnitt der mehreren Kanäle, wodurch mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente gebildet werden.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist eine Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung auf: ein Substrat, das ein für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierendes erstes Material aufweist, wobei das Substrat mehrere Kanäle in ihm aufweist; ein für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierendes zweites Material, das Seitenwände der mehreren Kanäle verkleidet; und ein für Röntgenstrahlen im Wesentlichen absorbierendes drittes Material, das sich wenigstens teilweise in den mehreren Kanälen befindet, wodurch mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente gebildet sind.
  • Verschiedene weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung und den Zeichnungen offensichtlich.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Zeichnungen veranschaulichen eine Ausführungsform, die derzeit zur Ausführung der Erfindung vorgesehen ist.
  • 1 zeigt eine Schnittansicht eines radiografischen Bildgebungssystems, das Aspekte der vorliegenden Erfindung enthält.
  • 2 zeigt eine Schnittansicht eines Teils einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung, wie er hergestellt wird, gemäß Aspekten der vorliegenden Erfindung.
  • 3 zeigt eine Schnittansicht des Teils einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung aus 2, wie er weiter hergestellt wird, gemäß Aspekten der vorliegenden Erfindung.
  • 4 zeigt eine Schnittansicht des Teils einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung aus 3, wie er weiter hergestellt wird, gemäß Aspekten der vorliegenden Erfindung.
  • 5 zeigt eine Schnittansicht eines fertiggestellten Teils einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung gemäß Aspekten der vorliegenden Erfindung.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
  • Aspekte der vorliegenden Erfindung haben gezeigt, dass sie gegenüber früheren Methodiken zur Herstellung von Anti-Streu-Röntgengittervorrichtungen Vorteile bieten. Aspekte der vorliegenden Erfindung ergeben eine Herstellungsmethode, die dünnere Gitterlinien und für Röntgenstrahlen hochtransparentes Zwischenraummaterial in einem kostengünstigen und gut kontrollierten Prozess ermöglichen. Unter anderen Vorteilen sorgt der Einsatz von Gittervorrichtungen 10, die die vorliegende Erfindung verwenden, für bessere Bildgebungsergebnisse für Mammografiesysteme und sonstige Niederenergie-Röntgensysteme (von z. B. etwa 26–33 kVp).
  • 1 zeigt eine im Schnitt dargestellte Seitenansicht einer herkömmlichen radiografischen Bildgebungsanordnung, die eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet. Eine Röhre 50 erzeugt und sendet Röntgenstrahlung 52 aus, die sich zu einem Körper 90 hin ausbreitet. Ein Teil der Röntgenstrahlung 54 wird durch den Körper 90 absorbiert, während ein Teil der Strahlung hindurchtritt und sich entlang von Pfaden 56 und 58 als primäre Strahlung ausbreitet, und weitere Strahlung wird abgelenkt und breitet sich entlang eines Pfads 60 als Streustrahlung aus.
  • Die Strahlung von den Pfaden 56, 58 und 60 breitet sich zu einem Bildempfänger, beispielsweise einem photoempfindlichen Film 62, aus, wo sie durch Verstärkungsschirme 64 absorbiert wird, die mit einem photoempfindlichen Material beschichtet sind, das bei einer Wellenlänge des sichtbaren Lichts fluoresziert und auf diese Weise den photoempfindlichen Film 62 (das Radiogramm) mit dem latenten Bild belichtet.
  • Wenn ein Anti-Streu-Gitter 10 zwischen dem Körper 90 und dem photoempfindlichen Film 62 eingefügt ist, verlaufen die Strahlungspfade 56, 58 und 60 vor dem Film 62 zu dem Anti-Streu-Gitter 10. Der Strahlungspfad 58 verläuft durch das durchsichtige Material 14 des Gitters 10, während die beiden Strahlungspfade 56 und 60 auf das absorbierende Material 12 auftreffen und absorbiert werden. Die Absorption der Strahlung in dem Pfad 60 stellt die Beseitigung eines Teils der primären Strahlung dar. Die Strahlung im Pfad 58, der Rest der primären Strahlung, breitet sich zu dem photoempfindlichen Film 62 aus und wird durch die verstärkenden photoempfindlichen Schirme 64 absorbiert, die den photoempfindlichen Film 62 mit dem latenten Bild belichten.
  • Während die in 1 veranschaulichte Konfiguration ein filmbasiertes Detektionssystem vorsieht, können andere Bildempfänger verwendet werden, ohne dass von der vorliegenden Erfindung abgewichen wird. Z. B. kann der Bildempfangsteil des Systems stattdessen ein digitales System aufweisen, das entweder direkte oder indirekte Umsetzungsverfahren verwendet. In dem indirekten Verfahren würden die Röntgenstrahlen in einer Szintillatorschicht absorbiert werden, die sichtbares Licht emittiert, das nachfolgend in einem Photodiodenarray detektiert wird. In dem direkten Verfahren würden die Röntgenstrahlen in einem geeigneten Direktumsetzungsmaterial, beispielsweise amorphem Selen, unmittelbar in ein elektrisches Signal umgesetzt werden.
  • Bezugnehmend auf 2 ist eine Schnittansicht eines Teils 16 einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung veranschaulicht. Eine Ausführungsform eines Verfahrens zur Herstellung eines Gitters kann mit dem Bereitstellen dieses Teils 16 beginnen. Der Teil 16 weist ein Substrat 14 mit mehreren darin vorgesehenen Kanälen 18 auf. Das Substrat 14 kann aus einem festen Material hergestellt sein, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierend ist. Wie veranschaulicht, können die mehrere Kanäle 18 Seitenwände 20 und einen Kanalboden oder ein Kanalende enthalten.
  • Die mehreren Kanäle 18 können durch vielfältige Methoden hergestellt sein. Z. B. können die mehreren Kanäle 18 in dem Substrat 14 durch wenigstens eines aus Spritzguss, Lasern, mechanische Bearbeitung, Plasmaätzen und dergleichen hergestellt sein. Das Substrat 14 kann aus einem beliebigen geeigneten Material hergestellt sein, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierend ist, wie beispielsweise einem Thermoplasten, PEEK, Grafit, Aluminium und Kombinationen von diesen.
  • Wie z. B. in den 1 und 2 veranschaulicht, kann die axiale Ausrichtung der mehreren Kanäle 18 nicht parallel sein, so dass der Röntgenstrahlkonus, der aus der Quelle 50 (1) emittiert wird, mit den Achsen der mehreren Kanäle 18 ungefähr ausgerichtet ist.
  • Während 2 einen Teil eines Substrats 14 gemäß einer Ausführungsform eines Anti-Streu-Gitters zeigt, sind natürlich andere Ausführungsformen verfügbar, ohne dass sie von den Aspekten der Erfindung abweichen. Während z. B. nur fünf Kanäle 18 veranschaulicht sind, kann die Gesamtmenge der Kanäle 18 praktisch jede beliebige geeignete Anzahl sein. Ähnlich können die Querschnittsgestalt, Abmessungen und Konfiguration von den veranschaulichten abweichen.
  • Bezugnehmend auf 3 ist eine Schnittansicht des Teils 16 einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung veranschaulicht, wie er einem zweiten Schritt in einem Verfahren zur Herstellung der Gittervorrichtung unterzogen wird. Wie veranschaulicht, wird ein zweites Material 34, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierend ist, in die mehreren Kanäle 18 eingebracht. Das zweite Material 34 kann mittels eines Reservoirs oder einer Quelle 30 bereitgestellt werden, so dass das zweite Material 34 als eine Schicht auf die Seitenwände 20 der mehreren Kanäle 18 aufgebracht werden kann, 32. Z. B. kann das zweite Material 34 eine beliebige geeignete konforme Beschichtung sein, die über vielfältige geeignete Verfahren aufgebracht werden kann, zu denen wenigstens eines aus Vakuumabscheidung, Aufdampfung, chemische Dampfphasenabscheidung, Sputtern und dergleichen gehören. Ähnlich weist die konforme Beschichtung ein Oxid, Nitrid, Polymer, Acryl, Epoxid, Urethan, Silikon und Kombinationen von diesen auf. In einer Ausführungsform kann die konforme Beschichtung Parylen aufweisen. Parylen ist ein Handelsname für vielfältige chemisch aus der Dampfphase abgeschiedene Poly(p-xylylen)-Polymere. Wie veranschaulicht, kann jedes beliebige geeignete Material als das zweite Material 34 verwendet werden, das sowohl die Weite der mehreren Kanäle 18 verkleinert als auch die Weite der mehreren Kanäle 18 nicht vollständig füllt. Auf diese Weise stellt die Aufbringung des zweiten Materials 34 einen verbleibenden Kanal 36 sicher.
  • Während 3 den Teil des Substrats 14 gemäß einer Ausführungsform eines Anti-Streu-Gitters zeigt, der einer Aufbringung des zweiten Materials 34 unterworfen wird, sind natürlich andere Ausführungsformen verfügbar, ohne dass sie von Aspekten der Erfindung abweichen. Z. B. kann das zweite Material 34 als eine Schicht auf lediglich einer/einem der beiden Seitenwände 20 und Enden oder Böden der mehreren Kanäle 18 aufgebracht werden. Es können geeignete Mengen des zweiten Materials 34 in den mehreren Kanälen 18 derart aufgebracht werden, dass eine Weite der verbleibenden Kanäle 36 kleiner ist als etwa 20 μm. In anderen Ausführungsformen kann die Weite der verbleibenden Kanäle 36 in einem Bereich von etwa 5 μm bis etwa 10 μm liegen.
  • Bezugnehmend auf 4 ist eine Schnittansicht des Teils 16 einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung veranschaulicht, wie er einem dritten Schritt in einem Verfahren zur Herstellung der Gittervorrichtung 10 unterzogen wird. Wie veranschaulicht, wird ein drittes Material 42, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen absorbierend ist, in einen Abschnitt der verbleibenden Kanäle 36 eingebracht, wodurch eine Gittervorrichtung 10 gebildet wird. Das dritte Material 42 kann durch ein Reservoir oder eine Quelle 40 bereitgestellt werden, so dass das dritte Material 42 in einen Abschnitt der verbleibenden Kanäle 36 appliziert werden kann, 44, wodurch mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente 12 gebildet werden. Das dritte Material 42 kann jedes beliebige geeignete Material sein, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen absorbierend ist, beispielsweise ein Material, das Blei, Wolfram, Uran, Gold und/oder ein Polymer (z. B. Epoxid etc.) beinhaltet, das Blei, Wolfram und/oder Gold enthält. Wie veranschaulicht, kann das dritte Material 42 in den verbleibenden Kanal 36 derart eingebracht werden, dass das dritte Material 42 die mehreren Kanäle 18 im Wesentlichen füllt. Auf diese Weise definiert die Aufbringung des dritten Materials 42 schließlich mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente 12, die eine Winkelorientierung aufweisen können (vgl. z. B. 1 und 5). In einer Ausführungsform kann eine obere Fläche 49 der Gittervorrichtung 10 durch irgendein geeignetes Mittel, einschließlich z. B. mechanisches Schleifen und dergleichen, planarisiert werden.
  • Wie 5 zeigt, kann ein Teil der Gittervorrichtung 10 unter Verwendung von Aspekten der hierin beschriebenen Verfahren gebildet werden. Die Gittervorrichtung 10 enthält mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente 12 mit einer Weite w und einer Höhe h1, die in einem Abstand d zueinander beabstandet verteilt sind. Die Höhe der Gittervorrichtung 10, die als h bezeichnet ist, ist allgemein größer als h1 und kann in etwa 1 mm betragen oder irgendeine sonstige geeignete Höhe sein. In ähnlicher Weise kann h1 teilweise durch die Höhenerstreckung der Gittervorrichtung führen und z. B. 0,5 mm betragen. Die Weite w der mehreren röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente 12 kann in einem Bereich von etwa 20 μm bis etwa 30 μm liegen. In anderen Ausführungsformen kann die Weite w der mehreren röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente 12 in einem Bereich von etwa 5 μm bis etwa 10 μm liegen. Ähnlich kann der Abstand d zwischen benachbarten röntgenstrahlenabsorbierenden Elementen 12 in einem Bereich von etwa 100 μm bis etwa 300 μm liegen. Die röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente 12 sind in Röntgenstrahlen nicht absorbierenden Materialien angeordnet, die das Substrat 14 und das zweite Material 34 aufweisen. Die Grundfläche der fertiggestellten Gittervorrichtung 10 kann praktisch jede beliebige geeignete Größe aufweisen. Z. B. kann die Gittervorrichtung 10 ein Rechteck mit Abmessungen (d. h. Länge und/oder Weite) sein, die in einem Bereich von etwa 12 cm bis wenigstens etwa 40 cm liegen. Ähnlich kann die Verteilung der mehrere Kanäle 18 und damit einhergehend der mehreren Elemente 12 in einem Bereich von etwa 30 Elemente/cm bis etwa 100 Elemente/cm liegen.
  • Wie z. B. in 5 und 1 veranschaulicht, können die mehreren röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente 12 eine Winkelorientierung aufweisen. D. h., eine Längsachse jedes der mehreren röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente 12 kann um einen Versatzwinkel θ gegenüber der Normalen zu der Röntgenquelle 50 (1) abweichen. Wie in 1 veranschaulicht, kann der Versatzwinkel θ variieren und in den verschiedenen mehreren röntgenstrahlenabsorbierenden Elementen 12 von 0 Grad bis zu einem beliebigen geeigneten Winkel (z. B. 15 Grad etc.) variieren. Die Stellen innerhalb der Gittervorrichtung 10 der röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente 12, die verschiedene Versatzwinkel aufweisen, können in Abhängigkeit von der Geometrie des Röntgensystems variieren. Z. B. kann in einer Ausführungsform die Mitte der Gittervorrichtung 10 röntgenstrahlabsorbierende Elemente 12 enthalten, die in etwa 0 Grad aufweisen. In einer anderen Ausführungsform (z. B. Mammografiesystemen) kann wenigstens einer der Randbereiche der Gittervorrichtung 10 röntgenstrahlenabsorbierende Elemente 12 enthalten, die in etwa 0 Grad aufweisen. Die genaue Winkelorientierung der verschiedenen röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente 12 kann von der Lage und dem Abstand zu der Röntgenquelle (den Röntgenquellen) abhängig sein. Auf diese Weise bildet die Gittervorrichtung 10 ein fokussiertes Gitter.
  • Folglich weist gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung auf: Bereitstellen eines Substrats, das ein für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierendes erstes Material aufweist, wobei das Substrat mehrere Kanäle darin aufweist; Aufbringen einer Schicht auf eine Seitenwand der mehreren Kanäle, wobei die Schicht ein für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierendes zweites Material aufweist; und Einbringen eines dritten Materials, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen absorbierend ist, in einen Abschnitt der mehreren Kanäle, wodurch mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente gebildet werden.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist eine Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung auf: ein Substrat, das ein für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierendes erstes Material aufweist, wobei das Substrat mehrere Kanäle darin aufweist; ein für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierendes zweites Material, das Seitenwände der mehreren Kanäle verkleidet; und ein für Röntgenstrahlen im Wesentlichen absorbierendes drittes Material, das wenigstens teilweise in den mehreren Kanälen befindlich ist, wodurch mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente gebildet sind.
  • Die vorliegende Erfindung ist anhand der bevorzugten Ausführungsformen beschrieben worden, und es ist zu erkennen, dass neben den ausdrücklich angegebenen äquivalente, alternative und modifizierte Formen möglich sind und in dem Umfang der beigefügten Ansprüche liegen.
  • Ein Verfahren zur Herstellung einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung 10, und die daraus hergestellte Röntgengittervorrichtung 10, enthält: Bereitstellen eines Substrats 14, das aus einem für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierenden Material 16 hergestellt ist, das Kanäle 18 darin enthält; Aufbringen 32 einer Schicht, ebenfalls aus einem für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierenden Material 34, auf eine Seitenwand (Seitenwände) 20 der Kanäle 18, wobei die Schicht ein zweites Material 34 aufweist; und anschließendes Einbringen 44 eines Materials 42, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen absorbierend ist, in einen Abschnitt der Kanäle 18, um so mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente 12 zu definieren. Die vorliegende Erfindung ist anhand einer speziellen Ausführungsform (spezieller Ausführungsformen) beschrieben worden, und es wird erkannt, dass neben den ausdrücklich angegebene äquivalente, alternative und modifizierte Formen möglich sind und in dem Umfang der beigefügten Ansprüche liegen.
  • Bezugszeichenliste
    • 10
    Anti-Streu-Gitter
    12
    absorbierendes Material/absorbierende Elemente
    14
    Substrat/durchsichtiges Material
    16
    Teil
    18
    Kanäle
    20
    Seitenwände
    30
    Quelle
    32
    aufgebracht
    34
    zweites Material
    36
    verbleibender Kanal
    40
    Quelle
    42
    drittes Material
    44
    aufgebracht
    49
    obere Fläche
    50
    Röhre
    52
    Röntgenstrahlung
    90
    Körper
    54
    absorbierte Röntgenstrahlung
    56, 58, 60
    Pfade
    62
    photoempfindlicher Film
    64
    Verstärkungsschirme

Claims (10)

  1. Verfahren zur Herstellung einer Anti-Streu-Röntgengittervorrichtung (10), das aufweist: Bereitstellen eines Substrats (14), das ein erstes Material (16) aufweist, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierend ist, wobei das Substrat (14) mehrere Kanäle (18) darin aufweist; Aufbringen (32) einer Schicht auf eine Seitenwand (20) der mehreren Kanäle (18), wobei die Schicht ein zweites Material (34) aufweist, das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen nicht absorbierend ist; und Einbringen (44) eines dritten Materials (42), das für Röntgenstrahlen im Wesentlichen absorbierend ist, in einen Abschnitt der mehreren Kanäle (18), wodurch mehrere röntgenstrahlenabsorbierende Elemente (12) gebildet werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das zweite Material (34) eine konforme Beschichtung ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das dritte Material (42) wenigstens eines aus Blei, Wolfram, Uran, Gold, einem bleihaltigen Polymer, einem wolframhaltigen Polymer und einem Gold enthaltenden Polymer aufweist.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei eine Weite der mehreren röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente (12) weniger als etwa 20 μm beträgt.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, wobei eine Weite der mehreren röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente (12) in einem Bereich von etwa 5 μm bis etwa 10 μm liegt.
  6. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die konforme Beschichtung (34) ein Oxid, ein Nitrid, einen Kunststoff, ein Polymer, ein Acryl, ein Epoxid, ein Urethan, Silikon und Kombinationen von diesen aufweist.
  7. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die konforme Beschichtung (34) Parylen aufweist.
  8. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die mehreren röntgenstrahlenabsorbierenden Elemente (12) in einer Winkelorientierung eingerichtet sind.
  9. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Aufbringen (32) ein Aufbringen einer Schicht auf beide Seitenwände (20) der mehreren Kanäle (18) aufweist.
  10. Verfahren nach Anspruch 1, das ferner ein Planarisieren einer oberen Fläche (49) der Gittervorrichtung (10) aufweist.
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