DE102010003413B4

DE102010003413B4 - Verfahren zur Reinigung eines optischen Positionsmesssystems, optisches Positionsmesssystem und Beschichtungsanlage

Info

Publication number: DE102010003413B4
Application number: DE102010003413.4A
Authority: DE
Inventors: Damir MUCHAMEDJAROW; von der Waydbrink Hubertus; Michael Hentschel; Marco Kenne; Reinhardt BAUER; Steffen Lessmann; Thomas Bock; Reinhard Jaeger
Original assignee: Von Ardenne GmbH
Current assignee: Von Ardenne GmbH
Priority date: 2010-03-29
Filing date: 2010-03-29
Publication date: 2016-12-22
Anticipated expiration: 2030-03-30
Also published as: DE102010003413A1; US20110290181A1; US8605292B2

Abstract

Verfahren zur Reinigung eines in einer Beschichtungsanlage angeordneten optischen Positionsmesssystems (1) mit einem Ausleger (11) und an dessen Ende einem Strahlungsein- und/oder -ausgang (3) in einem Sensorkopf (2) zur Aufnahme und/oder Aussendung eines optischen Signals, dadurch gekennzeichnet, dass eine lokale Wärmeregulierung zur Temperierung des Sensorkopfs (2) auf eine Temperatur zumindest oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit des Materials zumindest des Sensorkopfs (2) und in Abhängigkeit von der Sekundärwärme in der Beschichtungsanlage durch Heizung mittels eines Heizelements (5) und durch Kühlung erfolgt, und dass die Regulierung der Heizleistung des Heizelements (5) über einen Temperatursensor (4) erfolgt, wobei der Temperatursensor (4) über einen Regelkreis mit dem Heizelement (5) verbunden ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein optisches Positionsmesssystem mit einem optischen Sensor zum Empfang optischer Signale in einer Beschichtungsanlage mit einem optischen Empfänger zur Aufnahme eines optischen Signals und eine Beschichtungsanlage mit einem solchen optischen Positionsmesssystem. Die Erfindung betrifft ebenso ein Verfahren zur Reinigung eines optischen Positionsmesssystems, das in einer Beschichtungsanlage angeordnet ist.
Optische Sensoren werden in Beschichtungsanlagen, z.B. PVD-Anlagen zur Charakterisierung des Zustandes oder der Position des Substrats oder des Zustandes der auf einem Substrat herzustellenden Schicht verwendet. Entsprechend der Aufgabenstellung des optischen Sensors wird er in verschiedenen Prozessabschnitten einer Beschichtungsanlage eingesetzt und ist den verschiedensten Umgebungsbedingungen ausgesetzt. Z.B. werden zur Charakterisierung der Schicht mittels In-situ-Messverfahren optische Sensoren innerhalb der Beschichtungskammer eingesetzt. Die Positionserfassung der Substrate mittels optischer Sensoren, z.B. in einem Durchlaufverfahren, dient hauptsächlich der präzisen Steuerung des Verfahrensablaufs in einer Beschichtungsanlage. Sowohl die Charakterisierung von Schicht und Substrat als auch die Positionserfassung des Substrats kann in der Beschichtungskammer und ebenso in einer der vor- oder nachgelagerten Prozesseinheiten der Beschichtungsanlage, z.B. Transferkammern, Pufferkammern, Schleusen oder anderen Prozesseinheiten zur Vor- oder Nachbehandlung des Substrats erfolgen.
In einer Beschichtungskammer beeinflussen hauptsächlich die Beschichtungsparameter direkt die Funktionsfähigkeit eines optischen Sensors. Insbesondere durch hohe Temperaturen oder durch sich am Sensor anlagerndes Beschichtungsmaterial kann die Funktionsfähigkeit des optischen Sensors beeinträchtigt werden. Aber auch in den anderen Prozesseinheiten einer Beschichtungsanlage können Einflüsse, die von benachbarten Einheiten oder vom Substrat herrühren, wie Restgase oder Beschichtungsmaterialien, Staub, hohe Temperaturen des Substrats oder der Kammerwandung, Temperaturwechselprozesse oder ähnliches, Ausfälle, Störungen oder zumindest Verfälschungen der Messergebnisse des optischen Sensors bewirken. Solche Effekte verkürzen die Wartungsintervalle der optischen Sensoren in Beschichtungsanlagen beträchtlich und erfordern insbesondere bei Wartungen oder Austausch im Vakuumbereich einen hohen Zeit- und Energieaufwand.
Die DE 10 2008 017 412 A1 offenbart einen optischen Sensor und ein Verfahren zur Reinigung eines optischen Sensors, wobei dieser eine Düse aufweist, mit der es möglich ist, auf den optischen Empfänger eine Gasströmung zu richten, die diesen anbläst oder vollständig umspült. Gleichzeitig ist eine einfache Adaption des Sensors an dessen verschiedenen Einsatzgebiete möglich. Je nach Umgebungs- oder Prozessbedingungen kann die Adaption z.B. durch die Gestaltung, Dimensionierung, Lage und Ausrichtung der Düse, durch die Wahl des Gases oder durch die Druck- und Temperaturbedingungen des Gases, welches auf den optischen Empfänger strömt, vorgenommen werden. Verfahrensseitig wird ein Reinigungsverfahren des optischen Sensors offenbart, das während des laufenden Betriebes der Beschichtungsanlage Ablagerungen am optischen Empfänger wie Staub oder dampf- oder partikelförmiges Beschichtungsmaterial verhindert, indem eine auf den Empfänger gerichtete Gasströmung derartige Verschmutzungen noch vor deren Ablagerung entfernt. Gleichzeitig kann durch gezielten Verlauf der Gasströmung die Temperatur des optischen Sensors gezielt beeinflusst werden.
Der Nachteil dieser Vorrichtung und des Verfahrens zur Reinigung des optischen Sensors besteht darin, dass hierfür eine zusätzliche Gasquelle benötigt wird und ferner ein Eintrag von Gasströmen in die Prozessatmosphäre der Beschichtungsanlage erfolgt, was wiederum zur Störung der stöchiometrischen Verhältnisse in der Gasphase der Beschichtungsanlage und der auf dem Substrat abgeschiedenen Schicht führt. Infolgedessen kann eine stöchiometrisch gleichmäßige Schichtabscheidung auf dem Substrat gestört werden. Ein weiterer Nachteil ergibt sich aus dem Eintrag der kühleren Gasströmung in die Prozessatmosphäre, wodurch es partiell zur Störung der Prozesstemperatur und infolgedessen zumindest teilweise zur Ausbildung eines Temperaturgradienten in der Prozessatmosphäre bzw. auf dem Substrat kommt.
Auch bei anderen Reinigungsverfahren gemäß Stand der Technik, bei denen regelmäßig die Temperatur am Sensorkopf stark erhöht wird ( DE 39 21 402 A1 , US 2007/0068495 A1 , JP 60 22 116 A ) stellt sich ein solcher Temperaturgradient ein.
Es wäre daher wünschenswert, ein stabil arbeitendes Positionsmesssystems unter stark kontaminierter thermisch belasteter Prozessatmosphäre zu konstruieren. Dabei sind Lichtwellenleiter grundsätzlich geeignet, als Positionsmesssystem verwendet zu werden. Der Nachteil einer problemlosen Verwendung ist hierbei die Verschmutzung bzw. Kondensatbildung durch Dämpfe am Lichtwellenleiterende bzw. Sensorkopf. Dieser wird in Abhängigkeit von der Prozessumgebungstemperatur durch die Kondensatbildung mehr oder weniger schnell unbrauchbar. Infolge dessen ist die eigentliche Funktion des Positionsmesssystems nicht mehr gegeben.
Somit liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Reinigung eines solchen optischen Positionsmesssystems für Beschichtungsanlagen anzugeben. Ferner soll ein optisches Positionsmesssystem für Beschichtungsanlagen angegeben werden, dessen Zuverlässigkeit verbessert und Wartungsintervalle verlängert werden können.
Die Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Reinigung des Positionsmesssystems gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 6 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen davon sind jeweils in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Weiterhin wird die Aufgabe auch durch eine Positionsmesssystems gemäß Anspruch 7 oder Anspruch 12 und eine Beschichtungsanlage gemäß Anspruch 16 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind hierfür in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zur Reinigung eines in einer Beschichtungsanlage angeordneten optischen Positionsmesssystems vorgeschlagen, welches einen Ausleger aufweist, an dessen Ende ein Strahlungsein- und/oder -ausgang in einem Sensorkopf zur Aufnahme und/oder Aussendung eines optischen Signals angeordnet ist, wobei eine lokale Wärmeregulierung zur Temperierung des Sensorkopf in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit des Materials zumindest des Sensorkopfs und in Abhängigkeit von der Sekundärwärme in der Beschichtungsanlage erfolgt. Die Temperierung des Sensorkopfs erfolgt auf eine Temperatur zumindest oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials. Damit wird erfindungsgemäß eine Abscheidung des Beschichtungsmaterials am Sensorkopf unterbunden.
Unter dem Begriff eines Strahlungsein- und/oder -ausgangs wird im Sinne der Erfindung sowohl ein einfacher Strahlungseingang zur Aufnahme eines optischen Signals als auch ein Strahlungsausgang zur Aussendung eines optischen Signals verstanden. Bevorzugt wird ein Strahlungsein- und -ausgang verwendet, der einen Strahlungseingang zur Aufnahme eines optischen Signals zusammen mit einem Strahlungsausgang zur Aussendung eines optischen Signals umfasst.
Unter einer Temperierung wird im Sinne der Erfindung sowohl die Erwärmung mittels eines Heizelements als auch die Kühlung mittels eines Kühlelements des Sensorkopfes auf eine vorgegebene Temperatur, Solltemperatur, verstanden.
Erfindungsgemäß kann die lokale Wärmeregulierung im Bereich des Sensorkopfes, gemäß einer Ausführungsform beispielsweise am Sensorkopf, erfolgen. Dabei wird auch der Strahlungsein- und/oder -ausgang im Sensorkopf über die Wärmeregulierung des Sensorkopfs temperiert, weshalb auch der Strahlungsein- und/oder -ausgang im Sensorkopf frei von Abscheidungen des Beschichtungsmaterials bleibt.
Alternativ erfolgt die lokale Wärmeregulierung örtlich getrennt zum Sensorkopf. Dabei wird der Sensorkopf mittels des am Ausleger angeordneten Heiz- und/oder Kühlelements temperiert, wobei der Ausleger eine geeignete Wärmeleitfähigkeit aufweisen muss.
In einer Ausführungsform der Erfindung wird der Sensorkopf über eine Kühleinrichtung gekühlt, welche wärmeleitend mit dem Sensorkopf verbunden ist. Vorzugsweise wird die Kühlung des Sensorkopfs über die Wärmeleitfähigkeit des Auslegers realisiert. Dabei wird der Ausleger innerhalb der Vakuumkammer wärmeleitend mit einer Wärmesenke verbunden.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die Kühleinrichtung außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet. Die Kühlung erfolgt somit indirekt über den Ausleger, der hierfür aus einem Material bestehen muss, dass eine geeignete Wärmeleitfähigkeit aufweisen muss. Dadurch wird eine effektive Wärmeleitung des Materials gewährleistet, wodurch eine zeitnahe Temperierung möglich ist. Die Abgrenzung des Auslegers des optischen Positionsmesssystems gegenüber der außerhalb der Beschichtungsanlage angeordneten Kühleinrichtung erfolgt über einen Flansch, der zumindest eine dampfdichte Verbindung ermöglicht. Durch die Anordnung der Kühleinrichtung außerhalb der Beschichtungsanlage ergibt sich der Vorteil einer einfachen Zuführung des Kühlmittels, womit ein schneller Wärmeaustausch erfolgen kann.
Erfindungsgemäß erfolgt die Temperierung des Sensorkopfs mittels Kühlung und mittels eines Heizelements, wobei die Regulierung der Heizleistung des Heizelements über einen Temperatursensor erfolgt, wobei der Temperatursensor über einen Regelkreis mit dem Heizelement verbunden ist.
Der Temperatursensor ist in seiner einfachsten Ausgestaltung als Thermoelement ausgeführt, welcher über einen Regelkreis eine Temperierung des Sensorkopfs über die betragsmäßige Ansteuerung des Heizelements bewirkt. Dabei wird eine Temperatur oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials als Solltemperatur für den Sensorkopf festgelegt, die zumindest während des Beschichtungsvorgangs nicht unterschritten werden darf. Entsprechend wird bei Bedarf, etwa bei Abfall der Temperatur am Sensorkopf, das Heizelement angesteuert, um eine Erhitzung des Sensorkopfs zu bewirken. Ob die Beheizung direkt oder indirekt erfolgt, ist hierbei unwesentlich. Der Regelkreis besteht hierbei aus dem Temperatursensor als Messglied, welches den Ist-Wert der Temperatur bestimmt, dem Temperatursollwert als Führungsgröße, der Differenz zwischen dem Ist-Wert und dem Temperatursollwert als Regeldifferenz und dem Heizelement als Stellglied.
Alternativ wird die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe durch ein gattungsgemäßes Verfahren gelöst, bei dem eine lokale Wärmeregulierung zur Temperierung des Sensorkopfs auf eine Temperatur zumindest oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit des Materials zumindest des Sensorkopfs und in Abhängigkeit von der Sekundärwärme in der Beschichtungsanlage durch indirekte Kühlung mittels einer Kühleinrichtung und Wärmeleitung über den Ausleger örtlich getrennt zum Sensorkopf erfolgt, wobei die Kühleinrichtung außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet ist.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird das optische Positionsmesssystem unter atmosphärischen Bedingungen verwendet. Unter atmosphärischen Bedingungen sind Drücke im Bereich von 300 < x < 1300 mbar zu verstehen. Daneben kann das erfindungsgemäße optische Positionsmesssystem auch bei höheren Drücken und nicht beschränkt auf den Bereich des Hoch- oder Feinvakuums angewendet werden.
Das erfindungsgemäße optische Positionsmesssystem zur Bestimmung der Position von Substraten in einer Beschichtungsanlage weist einen Ausleger und an dessen freiem Ende einen Sensorkopf auf, wobei am Sensorkopf ein Strahlungsein- und/oder -ausgang zur Aufnahme und/oder Aussendung eines optischen Signals angeordnet ist und wobei der Sensorkopf in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit des Materials zumindest des Sensorkopfs und in Abhängigkeit von der Sekundärwärme in der Beschichtungsanlage mittels eines Heizelements erwärmbar und mittels eines Kühlelements kühlbar temperierbar ist. Die Temperierung des Sensorkopfs des optischen Positionsmesssystems erfolgt mittels eines Heiz- und eines Kühlelements, so dass die Temperatur im Bereich des Sensorkopfs zumindest oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials ist. Dadurch wird eine Abscheidung des verdampften Beschichtungsmaterials am Sensorkopf unterbunden, da infolgedessen der Sensorkopf frei von Ablagerungen des Beschichtungsmaterials bleibt und weiterhin zur optischen Positionsmessung von Substraten innerhalb der Beschichtungsanlage verwendet werden kann. Das optische Positionsmesssystem dient zur Bestimmung der Position von Substraten in einer Beschichtungsanlage, insbesondere einer Durchlaufbeschichtungsanlage.
Die Kühlung des Sensorkopfs kann zur Temperierung vorteilhaft sein, um eine schnelle Regulierung der Temperatur am Sensorkopf an eine vorgegebene Soll-Temperatur anzupassen. Eine schnelle Anpassung ist insbesondere vorteilhaft, um einen Wärmeeintrag durch Überhitzung des Sensorkopfs auf das Substrat und die Schicht zu vermeiden, wodurch sich Störungen im Schichtaufbau vermeiden lassen.
Alternativ ist ein Kühlelement nur im Bereich des Sensorkopfs angeordnet, wobei dieses Kühlelement wärmeleitend mit einer Kühleinrichtung verbunden ist. Dies ist insbesondere vorteilhaft, wenn das Material des Sensorkopfs eine geringe Wärmeleitfähigkeit aufweist, wodurch eine örtlich getrennte Kühlung nicht möglich ist.
Alternativ sind sowohl das Heizelement als auch das Kühlelement im Bereich des Sensorkopfs angeordnet. Ein Vorteil einer derartigen Ausgestaltung liegt darin begründet, dass hierbei nur der Sensorkopf in Form von Heizung und Kühlung temperiert wird, so dass das Material des Auslegers nicht wärmeleitend sein muss. Ein weiterer Vorteil ergibt sich aus der wesentlich geringeren Heiz-/Kühlleitung die notwendig ist, um die Abscheidung des Beschichtungsmaterials am Sensorkopf zu unterbinden.
Alternativ sind sowohl das Heizelement als auch das Kühlelement im Bereich des Sensorkopfs angeordnet, wobei Heiz- und Kühlelement als ein Heiz- und Kühlelement ausgebildet sind, welches heiz- und kühlbar ausgeführt ist.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist eine Kühleinrichtung zur Kühlung des optischen Positionsmesssystems vorgesehen. Dabei erfolgt die Kühlung des optischen Positionsmesssystems vorteilhafterweise über den Ausleger des optischen Positionsmesssystems, wobei dieser eine geeignete Wärmeleitfähigkeit aufweisen muss. Der Ausleger fungiert dabei als Wärmesenke.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die Kühleinrichtung zur Kühlung des optischen Positionsmesssystems außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet. Die Abgrenzung des Auslegers des optischen Positionsmesssystems gegenüber der außerhalb der Beschichtungsanlage angeordneten Kühleinrichtung erfolgt über einen Flansch, der zumindest eine dampfdichte Verbindung ermöglicht.
In einer weiteren Ausgestaltung der vorbenannten Ausführungsform ist die Kühleinrichtung außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet und wärmeleitend mit der Kühleinrichtung am Sensorkopf verbunden.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist der Sensorkopf mittels des Heizelements direkt heizbar ausgeführt, indem das Heizelement am Sensorkopf angeordnet ist. Das Heizelement kann hierfür als Heizspirale, Induktionsheizung, etc. ausgeführt sein. Durch die direkte Heizung des Sensorkopfs über das Heizelement, ist eine schnelle Temperaturänderung am Sensorkopf möglich, was insbesondere bei schnell wechselnden Prozessbedingungen vorteilhaft ist, da jeweils ein Anpassung an verschiedene Umgebungsbedingungen erfolgen kann. Dabei erfolgt die Beheizung des Sensors im Sensorkopf mittels des Heizelements.
In einer alternativen Ausführungsform der Erfindung ist der Sensorkopf mittels des Heizelements indirekt heizbar ausgeführt, indem das Heizelement am Ausleger angeordnet ist und wärmeleitend mit dem Sensorkopf verbunden ist. Damit ist es möglich, den gesamten Teil des Auslegers auf Temperaturen oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials zu halten, der sich im Prozessraum befindet. Eine Kondensation am Ausleger im Prozessraum wird damit komplett unterbunden, was beispielsweise ein Herabfallen von Kondensaten auf das vorbeifahrende Substrat unterbindet. Die Erwärmung des Sensorkopfs auf eine Temperatur zumindest oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials wird hierbei über die Wärmeleitfähigkeit des Auslegers gewährleistet. Dabei wird unter der Wärmeleitfähigkeit, auch Wärmeleitzahl (λ) eines Festkörpers, einer Flüssigkeit oder eines Gases sein Vermögen verstanden, thermische Energie mittels Wärmeleitung in Form von Wärme zu transportieren. Die (spezifische) Wärmeleitfähigkeit wird in W/(K·m) angegeben und ist eine temperaturabhängige Materialkonstante. Diese muss hinreichend geeignet sein, eine indirekte Heizung zu ermöglichen.
Unter einer indirekten Heizung wird im Sinne der Erfindung eine Erwärmung verstanden, welche mittels des Heizelements, aber örtlich getrennt vom Sensorkopf erfolgt am optischen Positionsmesssystem erfolgt, es aber infolgedessen zu einer Erwärmung des Sensorkopfs kommt.
Erfindungsgemäß umfasst das optische Positionsmesssystem weiterhin einen Temperatursensor, wobei der Temperatursensor mit dem Heizelement über einen Regelkreis verbunden ist. Der Temperatursensor kann in seiner einfachsten Ausgestaltung als Thermoelement ausgeführt sein, welches über einen Regelkreis eine Temperierung des Sensorkopfs über die bedarfsgemäße Ansteuerung des Heizelements bewirkt. Dabei wird eine Temperatur zumindest oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials als Solltemperatur für den Sensorkopf festgelegt, die zumindest während des Beschichtungsvorgangs nicht unterschritten werden darf. Entsprechend wird bei Bedarf, etwa bei Abfall der Temperatur am Sensorkopf, das Heizelement angesteuert, um eine Erhitzung des Sensorkopfs zu bewirken. Ob die Beheizung direkt oder indirekt erfolgt, ist hierbei unwesentlich. Nach Erreichen des Sollwerts erfolgt ein Abschalten des Heizelements, wodurch eine weitere Erhitzung des Sensorkopfs durch das Heizelement unterbleibt. Der Regelkreis besteht dabei aus dem Temperatursensor als Messglied, welches den Ist-Wert der Temperatur bestimmt, dem Temperatursollwert als Führungsgröße, der Differenz zwischen dem Ist-Wert und dem Temperatursollwert als Regeldifferenz und dem Heizelement als Stellglied.
In einer Ausführungsform der Erfindung ist der Temperatursensor am Sensorkopf angeordnet. Hierbei erfolgt direkt ein Abgleich der Temperatur des Sensorkopfs mit der Solltemperatur, welche zumindest oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials liegt. Bei Abfall der Temperatur unter die Solltemperatur erfolgt eine Beheizung des Sensorkopfs über das Heizelement, wobei hierfür sowohl eine direkte Beheizung als auch eine indirekte Heizung möglich ist. Die Temperatur am Sensorkopf wirkt hierbei als Störgröße des Regelkreises bestehend aus Temperatursensor und Heizelement. Der Vorteil der Anordnung des Temperatursensors direkt am Sensorkopf besteht darin, dass somit eine genauerer Abgleich der Temperaturdifferenz zwischen Ist- und Sollwert an der Stelle erfolgt, die erfindungsgemäß frei von Abscheidungen des Beschichtungsmaterials zu halten ist. Ein weiterer Vorteil liegt in der schnelleren Regulierung der Heizleistung des Heizelements entsprechend des Bedarfs bei Unterschreitung der Solltemperatur durch direkten Abgleich der Temperaturen (Ist- und Sollwert) am Sensorkopf.
Für den Fall, dass mehrere Beschichtungsvorgänge in voneinander separierten Bereichen der Beschichtungsanlagen erfolgen, ist die Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials für den Bereich maßgebend, welches in dem Bereich verdampft wird, in der das optische Positionsmesssystem angeordnet ist. Unter separierten Bereichen in der Beschichtungsanlage wird erfindungsgemäß zumindest eine dampfdichte Separierung der einzelnen Beschichtungspositionen der Beschichtungsanlage verstanden, wobei in diesen Bereichen verschiedene Beschichtungsmaterialien auf dem Substrat abgeschieden werden.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung sind mehrere optische Positionsmesssysteme in den verschiedenen separierten Bereichen der Beschichtungsanlage vorgesehen, welche an die im jeweiligen Bereich der Beschichtungsanlage herrschende Prozesstemperatur mittels des Heizelements angepasst sind.
Alternativ wird die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe durch ein gattungsgemäßes optisches Positionsmesssystem gelöst, bei dem der Sensorkopf in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit des Materials zumindest des Sensorkopfs und in Abhängigkeit von der Sekundärwärme in der Beschichtungsanlage mittels einer Kühleinrichtung indirekt kühlbar ist, welche wärmeleitend über den Ausleger mit dem Sensorkopf (2) verbunden ist, wobei die Kühleinrichtung außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet ist.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist der Strahlungsein- und/oder -ausgang als Lichtleitungselement ausgeführt, wobei das Lichtleitungselement aus einem transparenten Material besteht, das geeignet ist Licht vom Eingang geradlinig und mit möglichst geringem Verlust für zumindest einen ausgewählten Wellenlängenbereich zu einem Ausgang zu übertragen. Es ist zu unterscheiden von einem Lichtwellenleiter, der aufgrund der Totalreflexion innerhalb des Leiters nicht auf die geradlinige Übertragung angewiesen ist. Das in der beschriebenen Ausgestaltung verwendete Lichtleitungselement kann z.B. als ein Quarzglasstab ausgebildet sein. Dies ist insbesondere vorteilhaft bei Verwendung des erfindungsgemäßen optischen Positionsmesssystem im Hochtemperaturbereich, da Quarzglas eine geringe Wärmeleitfähigkeit aufweist, wodurch schädliche Wärmeeinträge durch Temperierung des Sensorkopfs auf das optische Positionsmesssystem vermeiden werden können.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung umfasst das optische Positionsmesssystem einen Temperatursensor, welcher am Sensorkopf angeordnet ist und eine Kühleinrichtung die mit dem Sensorkopf wärmeleitend verbunden ist. Dabei erfolgt direkt ein Abgleich der Temperatur des Sensorkopfs mit der Solltemperatur, welche zumindest gleich oder oberhalb der Verdampfungstemperatur des Beschichtungsmaterials liegt. Bei Abfall der Temperatur unter die Solltemperatur erfolgt eine Beheizung des Sensorkopfs über das Heizelement, wobei hierfür sowohl eine direkte Beheizung als auch eine indirekte Heizung möglich ist. Bei starkem Temperaturanstieg kann zur Vermeidung eines großen Wärmeeintrags auf den Sensorkopf eine Temperierung des Sensorkopfs über die Kühleinrichtung erfolgen. Die Temperatur am Sensorkopf wirkt hierbei als Störgröße des Regelkreises bestehend aus Thermoelement, Heizelement und Kühleinrichtung. Ein weiterer Vorteil liegt in der schnelleren Regulierung der Temperierung des Sensorkopfs durch Heizen mittels des Heizelements als auch über eine Kühlung mittels der Kühleinrichtung, wodurch sich eine präzise Sollwerteinstellung des Sensorkopfs ermöglichen lässt. Der Vorteil liegt in einer konstanten Temperatur des Sensorkopfs und der Vermeidung von Temperaturschwankungen im Bereich des Sensorkopfs, welcher in räumlicher Nähe zum Substrat angeordnet ist, um eine optische Positionsbestimmung des Substrats durchführen zu können. Bei zu starker Erwärmung des Sensorkopfs wäre möglicherweise ein Wärmeeintrag auf das Substrat durch Wärmestrahlung vom Sensorkopf gegeben, was zu einer Störung der Abscheidung des Beschichtungsmaterials am Substrat führen kann. Eine Kühlung des Sensorkopfs über den Ausleger ist besonders vorteilhaft, da hierbei der Ausleger als Wärmesenke genutzt werden kann. Weiterhin wird dadurch auch vermeiden, dass eine störende Wärmestrahlung bei zu starker Erwärmung vom Ausleger ausgeht.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist sowohl der Sensor, der das empfangene Signal in ein auswertbares elektrisches Signal umwandelt, als auch das Sensor-Auswertegerät außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet. Dadurch wird ein Temperatureintrag auf beide vermieden.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist das optische Positionsmesssystem ein Heizelement auf, welches über eine Heizelement-Zuleitung mit einer außerhalb der Beschichtungsanlage angeordneten Heizeinrichtung verbunden ist.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist das optische Positionsmesssystem ein Heizelement auf, welches über eine Heizelement-Zuleitung mit einer außerhalb der Beschichtungsanlage angeordneten Spannungsquelle leitend verbunden ist.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist der Strahlungsein- und/oder -ausgang als Ein- oder Ausgang eines Lichtwellenleiters ausgeführt und umfasst weiterhin Mittel zur Kompensation der thermischen Ausdehnung von Lichtwellenleiter und Ausleger, welche innerhalb des Auslegers angeordnet sind. Dieses ist insbesondere vorteilhaft, wenn der Ausleger sich aufgrund der Erwärmung ausdehnt. Somit werden Spannungen im Bereich des Lichtwellenleiters bei Erwärmung vermieden, die durch eine mögliche Materialdehnung des Auslegers auftreten können.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist das optische Positionsmesssystem einen Ausleger auf, welcher aus vernickeltem Kupfer bzw. anderen Beschichtungen, die der ggf. aggressiven Prozessgasatmosphäre widerstehen können, ausgeführt ist.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung handelt es sich bei dem Substrat, dessen Position in der Beschichtungsanlage mittels des erfindungsgemäßen optischen Positionsmesssystems bestimmt wird, um ein Glassubstrat.
Die erfindungsgemäße Beschichtungsanlage zur Beschichtung von Substraten in einem Durchlaufverfahren umfasst ein erfindungsgemäßes optisches Positionsmesssystem zur optischen Positionsbestimmung der Substrate in der Beschichtungsanlage. Das erfindungsgemäße optische Positionsmesssystem ist entsprechend einer der oben ausgeführten Ausführungsformen realisiert.
Nachfolgend soll die Erfindung anhand einiger Ausführungsbeispiele eingehender erläutert werden. Die zugehörigen Figuren zeigen in
1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen optischen Positionsmesssystems gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels, in
2 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen optischen Positionsmesssystems gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels zur Bestimmung der Position von Substraten in einer Durchlaufbeschichtungsanlage in Form einer Durchlichtanlage und in
3 eine schematische Querschnittsansicht eines erfindungsgemäßen optischen Positionsmesssystems gemäß eines zweiten Ausführungsbeispiels.
In einem ersten Ausführungsbeispiel ist das optische Positionsmesssystem 1 in 1 dargestellt. Dieses besteht aus einem Ausleger 11, welcher aus einem Metall ausgeführt ist und in dem sich ein Lichtleitungselement 14 befindet, welches als Quarzglasstab ausgeführt ist. Am vorderen Ende des Quarzglasstabs 14, in Richtung des Substrats 7, befindet sich der Sensorkopf 2, welcher einen Strahlungsein- und/oder -ausgang 3 zur Aufnahme und/oder Aussendung eines optischen Signals aufweist. Das optische Signal wird über einen nicht näher dargestellten Sensor aufgenommen und mittels eines ebenfalls nicht näher dargestellten Sensor-Auswertegeräts, wie etwa einem Datenverarbeitungssystem, ausgewertet. Der Flansch 9 bildet den Übergang zwischen dem Vakuum in der Beschichtungsanlage und der Atmosphäre. Gleichzeitig dient der Flansch 9 als Halterung des Auslegers 11.
In der 2 ist ein erstes optisches Positionsmesssystem 15 und ein zweites optisches Positionsmesssystem 16 dargestellt, welche die Position des Substrats 7 in einer Durchlaufbeschichtungsanlage bestimmen. Hierzu wird vom ersten optischen Positionsmesssystem 15 ein optisches Signal ausgesendet, welche vom zweiten optischen Positionsmesssystem 16 detektiert wird. Hierbei erfolgt eine Durchlichtmessung, d.h. das vom zweiten optischen Positionsmesssystem 16 aufgenommene Signal entspricht einer dauerhaften Aufnahme eines optischen Signals vom ersten optischen Positionsmesssystem 15. Im Falle eines Substrats 7, welches in einer Durchlaufbeschichtungsanlage die Position der Messsysteme passiert, erfolgt eine Unterbrechung des dauerhaften Signals vom ersten zum zweiten optischen Positionsmesssystem 15, 16, wodurch die Position des Substrats 7 bestimmt werden kann. Die Dauer der Unterbrechung des optischen Signals vom ersten zum zweiten optischen Positionsmesssystems 15, 16 ergibt dabei, die Verweilzeit des Substrats 7 im Bereich des Messsystems.
In einer Ausgestaltung dieses Ausführungsbeispiels wird ein optisches Positionsmesssystems 1 zur Bestimmung der Position von Substraten 7 in einer Durchlaufbeschichtungsanlage verwendet. Das optische Positionsmesssystem wird dabei so in Bezug zum Substrat 7 platziert, dass die Bestimmung der Position des Substrats 7 über eine Reflektion des optisch en Signals, welches vom optischen Positionsmesssystem 1 ausgesendet wurde, erfolgt. Das ausgesendete optische Signal wird durch das Substrat 7 reflektiert und im optischen Positionsmesssystem 1 detektiert. Für den Fall, dass kein Substrat 7 im Bereich des optischen Positionsmesssystems 1 vorhanden ist, erfolgt keine Reflexion des optischen Signals und mithin keine Detektion der Reflexion.
In einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der 3 beispielhaft ein erfindungsgemäßes optisches Positionsmesssystem 1 dargestellt. Das optische Positionsmesssystem 1 besteht aus einem Ausleger 11, welcher ein statisch fixes Element ist und aus vernickeltem Kupfer besteht. Im Inneren nimmt der Ausleger 11 den Lichtwellenleiter 17 auf. Der Ausleger 11 weist an seinem vorderen Ende, welches dem Substrat 7 zugewandt einen Sensorkopf 2 auf. Am Sensorkopf 2 ist ein Strahlungsein- und/oder -ausgang 3 zur Aufnahme und/oder Aussendung eines optischen Signals vorgesehen. Weiterhin ist ein Temperatursensor 4, welcher als Thermoelement ausgeführt ist, am Sensorkopf 2 angeordnet. Der Sensorkopf 2 ist selbst über dem Substrat 7 angeordnet, kann aber alternativ auch unter dem Substrat angeordnet sein, um die Position des Substrats 7 mittels optischer Positionsbestimmung zu ermitteln. Die Auswertung der über das optische Positionsmesssystem 1 ermittelten Position des Substrats 7 erfolgt mittels eines außerhalb der Beschichtungsanlage angeordneten Sensor-Auswertegeräts 8, welches als Datenverarbeitungssystem ausgeführt ist. Der Strahlungseingang 18 und der Strahlungsausgang 19 sind am Sensor-Auswertegerät 8 angeordnet, wobei der Strahlungsausgang 19 zur Aussendung eines optischen Signals dient, während der Strahlungseingang 18 zur Aufnahme eines optischen Signals verwendet wird.
Dieses aufgenommene optische Signal wird im Sensor-Auswertegerät 8 verarbeitet. Weiterhin ist am Ausleger 11 ein Heizelement 5 angeordnet, welches als Heizspirale ausgeführt ist. Das Heizelement 5 erwärmt den Ausleger 11, welcher über seine Wärmeleitfähigkeit den Sensorkopf 2 erwärmt. Das Heizelement 5 wird in Abhängigkeit von der vom Temperatursensor 4 ermittelten Temperatur in der Beschichtungsanlage angesteuert. Zudem ist ein Kühlelement 5 zur Kühlung des Sensorkopfes 2 vorgesehen.
In einem Ausführungsbeispiel wird bei der Beschichtung des Substrats mit Beschichtungsmaterial, wie z.B. Selen, die Temperatur des Sensorkopfs 2 im thermischen Gleichgewicht, etwas oberhalb des Kondensationspunktes des Beschichtungsmaterials gehalten. Hierzu wird mittels eines als Thermoelement ausgeführten Temperatursensors 4 die Umgebungstemperatur innerhalb der Beschichtungsanlage ermittelt und mit dem Sollwert in Form der vorher festgelegten Temperatur, beispielsweise der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials, verglichen. Im Falle einer Differenz zwischen dem vom Thermoelement 4 ermittelt Ist-Wert und der festgelegten Solltemperatur erfolgt eine Heizung über das Heizelement 5 oder eine Kühlung über das Kühlelement 5.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird mittels des Thermoelements 4 die Temperatur am Sensorkopf 2 ermittelt und mit dem Sollwert in Form der vorher festgelegten Temperatur, beispielsweise dem Kondensationspunktes des Halbleiters, verglichen. Im Falle einer Differenz zwischen dem vom Thermoelement 4 ermittelt Ist-Wert und der festgelegten Solltemperatur erfolgt eine Heizung über das Heizelement 5 oder eine Kühlung über das Kühlelement 5.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel erfolgt die Heizung des Heizelements 5 am Ausleger 11, welcher über seine Wärmeleitfähigkeit eine Beheizung des Sensorkopfs 2 gewährleistet.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel erfolgt die Heizung des Heizelements 5 am Sensorkopf 2.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel sind innerhalb einer Beschichtungsanlage mehrere thermisch notwendige Prozesse vorgesehen. Liegt dabei die Prozessumgebungstemperatur in der Beschichtungsanlage etwas oberhalb des Kondensationspunktes des Beschichtungsmaterials, ist weder Kühlung noch Heizung erforderlich, wenn der Ausleger 11 keine oder nur geringfügig Wärme ableitet, liegt die Prozessumgebungstemperatur unterhalb des Kondensationspunktes des Beschichtungsmaterials, ist ein geregeltes Nachheizen, mit Hilfe der Heizspirale 5 notwendig. Die nicht näher dargestellte Regeleinrichtung entscheidet dann, ob geheizt oder gekühlt werden muss oder nicht. Das Heizelement 5 ist wiederum über eine Heizelement-Zuleitung 6 mit einer nicht näher dargestellten Steuereinheit verbunden, die außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet ist. Im Falle einer induktiven Heizung ist die Heizelement-Zuleitung 6 als Anschluss des Heizelements 5 an eine Spannungsquelle 12 ausgebildet.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel liegt die Prozessumgebungstemperatur deutlich über dem Kondensationspunkt des Beschichtungsmaterials und droht sogar den Lichtwellenleiter 17 zu schädigen. Dann wird die Wärme über den Ausleger 11, welcher eine gute Wärmeleitfähigkeit verfügt, in die Kühleinrichtung 13 eingeleitet. Die Kühleinrichtung 13 kann dabei aus der Behälterwand und Kühlwasser gebildet werden, wobei die Kühleinrichtung 13 außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet ist. Der Flansch 9 bildet dabei den Übergang von Atmosphäre zum Vakuum und dient gleichzeitig als mechanische Halterung. Die Hauptaufgabe des Auslegers 11 ist jedoch die thermische Anbindung zur kühlen Behälterwand für den Fall der notwendigen Kühlung des Sensorkopfs 2 bzw. zur Heizspirale 5 für den Fall der indirekten Heizung des Sensorkopfs 2.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel weist das optische Positionsmesssystem 1 am Sensorkopf 2 ein Heiz- und Kühlelement 5 auf, weshalb die Temperierung ausschließlich am Sensorkopf erfolgt. Der Ausleger 11 zur Aufnahme des Sensorkopfs 2 ist herbei aus einem Material mit einer zumindest geringen Wärmeleitfähigkeit, wie etwa Glas, ausgeführt. Dadurch erfolgt die Temperierung nur am Sensorkopf 2, wodurch ein größerer Wärmeeintrag in die Beschichtungsanlage durch Heizung des Auslegers 11 vermieden wird.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel ist ein Mittel zur Kompensation 10 der thermischen Ausdehnung von Lichtwellenleiter 17 und Ausleger 11 vorgesehen, welches eine Ausdehnung des Auslegers 11 bei höheren Temperaturen erlaubt.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird das optische Positionsmesssystem 1 unter atmosphärischen Bedingungen eingesetzt.
Bezugszeichenliste

1: Optisches Positionsmesssystem
2: Sensorkopf
3: Strahlungsein- und/oder -ausgang
4: Temperatursensor
5: Heiz- und/oder Kühlelement
6: Heiz- und/oder Kühlelement -Zuleitung
7: Substrat
8: Sensor-Auswertegerät
9: Flansch
10: Mittel zur Kompensation der thermischen Ausdehnung von Lichtwellenleiter und Ausleger
11: Ausleger
12: Spannungsquelle
13: Kühleinrichtung
14: Lichtleitungselement
15: erstes optisches Positionsmesssystem
16: zweites optisches Positionsmesssystem
17: Lichtwellenleiter
18: Strahlungseingang
19: Strahlungsausgang

Claims

Verfahren zur Reinigung eines in einer Beschichtungsanlage angeordneten optischen Positionsmesssystems (1) mit einem Ausleger (11) und an dessen Ende einem Strahlungsein- und/oder -ausgang (3) in einem Sensorkopf (2) zur Aufnahme und/oder Aussendung eines optischen Signals, dadurch gekennzeichnet, dass eine lokale Wärmeregulierung zur Temperierung des Sensorkopfs (2) auf eine Temperatur zumindest oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit des Materials zumindest des Sensorkopfs (2) und in Abhängigkeit von der Sekundärwärme in der Beschichtungsanlage durch Heizung mittels eines Heizelements (5) und durch Kühlung erfolgt, und dass die Regulierung der Heizleistung des Heizelements (5) über einen Temperatursensor (4) erfolgt, wobei der Temperatursensor (4) über einen Regelkreis mit dem Heizelement (5) verbunden ist.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die lokale Wärmeregulierung durch direkte Heizung und direkte Kühlung mittels eines im Bereich des Sensorkopfs (2) angeordneten Heiz- und Kühlelements (5) erfolgt.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die lokale Wärmeregulierung durch indirekte Kühlung mittels Wärmeleitung über den Ausleger (11) örtlich getrennt zum Sensorkopf (2) und entweder durch eine direkte Heizung mittels eines im Bereich des Sensorkopfs (2) angeordneten Heizelements (5) oder durch eine indirekte Heizung mittels Wärmeleitung über den Ausleger (11) örtlich getrennt zum Sensorkopf (2) erfolgt.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die lokale Wärmeregulierung durch direkte Kühlung mittels eines am Sensorkopf (2) angeordneten Kühlelements (5) und indirekte Heizung mittels Wärmeleitung über den Ausleger (11) örtlich getrennt zum Sensorkopf (2) erfolgt.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (2) über eine Kühleinrichtung (13) gekühlt wird, welche wärmeleitend mit dem Sensorkopf (2) verbunden ist.
Verfahren zur Reinigung eines in einer Beschichtungsanlage angeordneten optischen Positionsmesssystems (1) mit einem Ausleger (11) und an dessen Ende einem Strahlungsein- und/oder -ausgang (3) in einem Sensorkopf (2) zur Aufnahme und/oder Aussendung eines optischen Signals, dadurch gekennzeichnet, dass eine lokale Wärmeregulierung zur Temperierung des Sensorkopfs (2) auf eine Temperatur zumindest oberhalb der Kondensationstemperatur des Beschichtungsmaterials in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit des Materials zumindest des Sensorkopfs (2) und in Abhängigkeit von der Sekundärwärme in der Beschichtungsanlage durch indirekte Kühlung mittels einer Kühleinrichtung (13) und Wärmeleitung über den Ausleger (11) örtlich getrennt zum Sensorkopf (2) erfolgt, wobei die Kühleinrichtung (13) außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet ist.
Optisches Positionsmesssystem (1), welches zur Bestimmung der Position von Substraten (7) in einer Beschichtungsanlage einen Ausleger (11) und an dessen freiem Ende einen Sensorkopf (2) aufweist, wobei am Sensorkopf (2) ein Strahlungsein- und/oder -ausgang (3) zur Aufnahme und/oder Aussendung eines optischen Signals angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (2) in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit des Materials zumindest des Sensorkopfs (2) und in Abhängigkeit von der Sekundärwärme in der Beschichtungsanlage mittels eines Heizelements (5) erwärmbar und mittels eines Kühlelements (5) kühlbar ist, und dass das optische Positionsmesssystem (1) weiterhin einen Temperatursensor (4) umfasst, wobei der Temperatursensor (4) mit dem Heizelement (5) über einen Regelkreis verbunden ist.
Optisches Positionsmesssystem nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (2) direkt mittels eines im Bereich des Sensorkopfs (2) angeordneten Heizelements und eines im Bereich des Sensorkopfs (2) angeordneten Kühlelements (5) oder mittels eines im Bereich des Sensorkopfs (2) angeordneten Heiz- und Kühlelements (5) temperierbar ist.
Optisches Positionsmesssystem nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (2) indirekt durch Kühlung mittels Wärmeleitung über den Ausleger (11) und entweder direkt mittels eines im Bereich des Sensorkopfs angeordneten Heizelements (5) oder indirekt mittels eines am Ausleger (11) angeordneten und wärmeleitend mit dem Sensorkopf (2) verbundenen Heizelements (5) temperierbar ist.
Optisches Positionsmesssystem (1) nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (2) direkt mittels eines im Bereich des Sensorkopfs (2) angeordneten Kühlelements (5) und indirekt mittels eines am Ausleger (11) angeordneten und wärmeleitend mit dem Sensorkopf (2) verbundenen Heizelements (5) temperierbar ist.
Optisches Positionsmesssystem (1) nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (4) am Sensorkopf (2) angeordnet ist.
Optisches Positionsmesssystem (1), welches zur Bestimmung der Position von Substraten (7) in einer Beschichtungsanlage einen Ausleger (11) und an dessen freiem Ende einen Sensorkopf (2) aufweist, wobei am Sensorkopf (2) ein Strahlungsein- und/oder -ausgang (3) zur Aufnahme und/oder Aussendung eines optischen Signals angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (2) in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit des Materials zumindest des Sensorkopfs (2) und in Abhängigkeit von der Sekundärwärme in der Beschichtungsanlage mittels einer Kühleinrichtung (13) indirekt kühlbar ist, welche wärmeleitend über den Ausleger (11) mit dem Sensorkopf (2) verbunden ist, wobei die Kühleinrichtung außerhalb der Beschichtungsanlage angeordnet ist.
Optisches Positionsmesssystem (1) nach einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlungsein-und/oder-ausgang (3) als Ein- oder Ausgang eines Lichtleitungselements (14) zur geradlinigen Weiterleitung des Lichts ausgeführt ist.
Optisches Positionsmesssystem (1) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Lichtleitungselement (14) als Quarzglasstab ausgeführt ist.
Optisches Positionsmesssystem (1) nach einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlungsein- und/oder -ausgang (3) als Ein- oder Ausgang eines Lichtwellenleiters (17) ausgeführt ist und weiterhin Mittel zur Kompensation (10) der thermischen Ausdehnung von Lichtwellenleiter (17) und Ausleger (11) umfasst, welche innerhalb des Auslegers (11) angeordnet sind.
Beschichtungsanlage zur Beschichtung von Substraten (7) in einem Durchlaufverfahren umfassend ein optisches Positionsmesssystem (1) gemäß einem der Ansprüche 7 bis 15 zur optischen Positionsbestimmung der Substrate in der Beschichtungsanlage.