DE102009019215A1 - Computertomographische Werkstückmessvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine computertomographische Werkstückmessvorrichtung mit einer zum Erzeugen invasiver Strahlung ausgebildeten Röntgenquelle (16), zum Erfassen der invasiven Strahlung ausgebildeten Detektormitteln (28) und einer Werkstückträgereinheit (20, 24, 26), die so ausgebildet ist, dass ein von dieser getragenes, zu vermessendes Werkstück (40) in einem Strahlengang (30) der invasiven Strahlung zwischen der Röntgenquelle und den Detektormitteln platzierbar und im Strahlengang bewegbar ist. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass ein Verhältnis eines ersten kleinsten Abstands A zwischen einem Strahlungsauslass der Röntgenquelle (16) und einer sich in dem Strahlengang erstreckenden Mitten- und/oder Drehachse (42) der Trägereinheit im Verhältnis zu einem zweiten kleinsten Abstand B zwischen dem Strahlenauslass und den eine Mehrzahl von in einer Fläche angeordneten Detektorpixeln aufweisenden Detektormitteln A/B > 0,5, bevorzugt > 0,7, weiter bevorzugt > 0,8 beträgt, ein Seiten- und/oder Kantenlängenverhältnis der Fläche der Detektormittel im Bereich zwischen 1,5 : 1 bis 500 : 1 liegt und die Detektorpixel eine maximale Pixelgröße kleiner 100 µm, bevorzugt kleiner 80 µm, weiter bevorzugt kleiner 50 µm, aufweisen.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine computertomographischen Werkstückmessvorrichtung nach dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
  • Derartige Vorrichtungen zur nicht-medizinischen Computertomographie sind aus dem Stand der Technik allgemein bekannt und basieren auf dem Messprinzip, analog zur human- oder tiermedizinischen Computertomographie, Werkstücke mit einem Hochleistungs-Röntgenstrahl als invasiver Strahlung zu beaufschlagen und zu durchleuchten, wobei sich das Werkstück als Messobjekt typischerweise auf einem Drehtisch als Werkstückträger zwischen einer (Hochleistungs-)Röntgenquelle und einem elektronischen Röntgendetektor befindet. Der Detektor nimmt die das Objekt durchdringenden Röntgenstrahlen pixelweise mittels geeigneter Detektorpixel auf. Indem das zu messende bzw. zu prüfende Werkstück mit dem Drehtisch rotiert, können mehrere Röntgenbilder aus unterschiedlichen Richtungen (Perspektiven) erstellt werden, welche dann in einer nachgeschalteten Auswerteeinheit in ein dreidimensionales Modell als Volumeninformationen zusammengesetzt und weiteren Auswertungen oder Aufbereitungen, z. B. zur visuellen Darstellung auf einem Monitor o. dgl. mit der Möglichkeit zur weiteren visuellen Inspektion, aufbereitet werden.
  • Derartige, als bekannt vorauszusetzende Vorrichtungen besitzen etwa gegenüber sogenannten taktilen Messverfahren (bei welchen, typischerweise mittels dreidimensional bewegbaren Tastern, ein Werkstück mit seiner Außenkontur abgetastet werden kann) den Vorteil, auch mechanisch nicht zugängliche Innenbereiche und Hohlräume oder Hinterschneidun gen eines Werkstücks zuverlässig erfassen und abbilden zu können, so dass, über das Anwendungsspektrum bekannter Taster-Koordinatenmessvorrichtungen hinaus, eine computertomographische nicht-medizinische Werkstückmessung (Vermessung) insbesondere sich auch günstig für Zwecke der Montage- und Defektkontrolle, der Porositätsanalyse, zur Wandstärkenmessung oder für andere komplexe messtechnische Auswertungen eignet, bis hin zu Aufgaben des Reverse-Engineering, bei welchen, ausgehend von einem körperlich vorliegenden Messobjekt, die gewonnenen äußeren und inneren Konturdaten dann in geeignete CAD-Daten transformiert werden können.
  • Gattungsgemäße computertomographische Werkstückmessvorrichtungen setzen dabei üblicherweise Hardware ein, Röntgenquellen, welche einen punktförmigen Strahlenauslass aufweisen, und dieser Röntgenquelle zugeordnete zeilenartige oder quadratische Detektorarrays. Nicht zuletzt bedingt durch die geometrischen Verhältnisse der aus der Medizintechnik stammenden Detektoren weisen diese typischerweise Pixelgrößen im Bereich zwischen etwa 200 und 400 μm auf, wobei, zum Erreichen einer hinreichenden Genauigkeit, eine Werkstückträgereinheit, angeordnet zwischen der Röntgenquelle und dem Detektor, in etwa mittig oder in Richtung auf die Röntgenquelle platziert ist, um, entsprechend der Detektorgeometrie und dessen Auflösung, die gewünschte Vergrößerung des durchleuchteten Röntgenbildes zu erreichen.
  • Eine derartige, konventionelle Vorgehensweise besitzt jedoch den Nachteil, dass bei diesen geometrischen Verhältnissen und einer stets vorhandenen Instabilität der Röntgenröhre unerwünschte Bewegungen im von der Röntgenquelle ausgesendeten Strahl vorliegen, welche sich dann detektor seitig in Abbildungsunschärfen zeigen. Dies führt dazu, dass Bildqualität und Auflösung begrenzt sind. Auch führt die konventionelle Geometrie der beteiligten Partner Röntgenquelle, Detektor und Trägereinheit dazu, dass aus dem Stand der Technik bekannte Vorrichtungen typischerweise mechanisch groß sind, mit dem damit verbundenen Nachteil hohen Gehäuse-, Abschirmungs- und Unterstützungsaufwands: Prinzipbedingt verlangt die Röntgentomographie eine (Blei-)Abschirmung der relevanten Passagen, so dass große mechanische Abmessungen (insbesondere relativ zu den Abmessungen eines zu prüfenden Werkstücks) sich nachteilig auf Herstellungskosten, Gewicht und Einbauvoraussetzungen (etwa die Notwendigkeit zusätzlicher mechanischer Verstärkung auf einem Untergrund) auswirken.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine gattungsbildende computertomographische Werkstückmessvorrichtung im Hinblick auf ihre Mess- und Bildgebungseigenschaften zu verbessern, gleichzeitig die Möglichkeit zu schaffen, eine solche Vorrichtung kompakter und mit geringerem mechanischem Aufwand realisierbar zu gestalten.
  • Die Aufgabe wird durch die Vorrichtung mit den Merkmalen des Hauptanspruchs gelöst; vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.
  • In erfindungsgemäß vorteilhafter Weise wird diese Aufgabe durch drei einander ergänzende bzw. synergistisch unterstützende Maßnahmen gelöst: Zum einen ist erfindungsgemäß vorgesehen, die Trägereinheit (mit dem darauf vorzusehenden, zu vermessenden Werkstück) relativ näher zu den Detektormitteln vorzusehen, insbesondere so vorzusehen, dass, bezogen auf eine Mitte der Strecke zwischen Röntgenquelle und Detektor, die Trägereinheit näher zu den Detektormitteln steht. Diese Maßnahme steht in Verbindung mit der erfindungsgemäßen Maßnahme, kleine Detektorpixel zu verwenden, nämlich solche, deren maximale Pixelgröße kleiner als 100 μm beträgt. Hierdurch lässt sich die Bildqualität signifikant erhöhen, da – mit gegenüber dem Stand der Technik gleich bleibender oder verbesserter Auflösung – sich unerwünschte Bewegungen bzw. Instabilitäten der Röntgenquelle weniger stark auswirken.
  • Zusätzlich ermöglicht diese Geometrie das Realisieren einer wesentlich kompakteren Anordnung, da sich durch die beschriebenen Maßnahmen faktisch der Abstand zwischen Röntgenquelle und Detektormitteln verringern lässt.
  • Als weitere erfinderische Maßnahme ist vorgesehen, die Detektormittel als rechteckig-flächiges Array zu realisieren. Hierdurch kann, z. B. bei Ausbildung der Flachseite dieser Rechteckkontur in horizontaler Richtung, die Kompaktheit der Vorrichtung dadurch erhöht werden, dass, neben einer Drehtellerfunktionalität, die Trägereinheit weiterbildungsgemäß zusätzlich eine Längs- bzw. Axialbewegung entlang der Drehachse vollführt. Entsprechend entstehende Röntgen(einzel-)bilder können dann wiederum geeignet zu vollständigen Flächen- und dann Volumenmodellen, entsprechend einem zu prüfenden Werkstück, zusammengesetzt werden. Vorteilhaft ist die erfindungsgemäße Rechteckform zudem dadurch, dass Fehler, die bei der Rekonstruktion von gattungsgemäßen, nahezu quadratischen Detektorbildern entstehen, verringert werden können.
  • Als „Fläche oder „flächig” im Sinne der Erfindung ist dabei nicht notwendigerweise eine plane (Rechteck-)Fläche zu verstehen; vielmehr ist damit auch eine gebogene Fläche, oder aber fassettenartig entlang einer Bogenlinie aneinandergereihte (z. B. plane) Anordnung aus Einzeldetektoren umfasst. Das erfindungsgemäße Seiten- bzw. Kantenlängenverhältnis wäre entsprechend dann durch eine zugehörige Bogenlinie zu bemessen.
  • Um gleichwohl die Flexibilität und Anpassbarkeit an verschiedene mögliche Vergrößerungsmaßstäbe zu gewährleisten, ist weiterbildungsgemäß vorgesehen, die Detektormittel, ergänzend oder alternativ die Röntgenquelle, in Richtung des Strahlengangs zu verschieben.
  • Gemäß bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung ist vorgesehen, die Trägereinheit, vorteilhaft integriert in ein Gehäuse, so auszugestalten, dass sowohl die Drehtellerfunktionalität, eingeschlossen die einstellbare Rotation um eine Drehachse, als auch eine Linearverschiebung des Drehtellers (Auflagefläche) in axialer Richtung, simultan oder sequentiell durchgeführt werden; vorteilhaft stellt insoweit die Trägereinheit eine modulare Einheit dar, welche die jeweiligen Antriebsmittel in das Gehäuse integriert aufweist und eine geeignete Steuerschnittstelle zum Ausführen der Bewegungen anbietet. Konkret würde damit etwa das Gehäuse der Trägereinheit einerseits den Drehantrieb (erste Antriebsmittel) für die Werkstückauflagefläche (welche z. B. eine obere Stirnfläche des Gehäuses sein könnte) anbieten, zusätzlich würde im Gehäuse dann, etwa in der Art eines Spindelantriebs, ein Motor angeordnet sein, welcher nach bodenseitig eine ein Abstützen und mithin den Linearantrieb bewirkende Spindel aus dem Gehäuse heraustreibt.
  • Weiter vorteilhaft und weiterbildungsgemäß ist zudem diese Trägereinheit (bzw. das zugehörige Gehäuse) so ausgestaltet, dass es zusätzlich eine Lagerung (bevorzugt Luftlagerung) der Auflagefläche (Drehteller) bewirken kann.
  • Weiter vorteilhaft und erfindungsgemäß im Rahmen bevorzugter Ausführungsbeispiele ist vorgesehen, dass zumindest die Komponenten Röntgenquelle, Detektormittel und Trägereinheit (im Gehäuse samt Antriebsaggregaten) gemeinsam auf einem Haltebett od. dgl. durchgehender unterliegender Stützvorrichtung festgelegt sind. Damit sind diese Einheiten, weiter bevorzugt nicht durch elastische oder andere Mittel gegeneinander gepuffert, gemeinsam gegenüber einem unterliegenden Boden, einem umgebenen Gehäuse o. dgl. stoß- und/oder schwingungsgedämpft gelagert, wobei diese Vorgehensweise in einfacher und eleganter Weise mechanischen Aufwand verringert, Kompaktheit fördert und gleichzeitig eine optimale Entkopplung von störenden Umwelteinflüssen, etwa Vibrationen od. dgl., bewirkt.
  • Weiter vorteilhaft bietet die Konfiguration die Möglichkeit, eine wärmeisolierende Scheibe o. dgl. Wärmeisolationseinheit in den Strahlengang zwischen Röntgenquelle und Trägereinheit zu platzieren, wobei die erfindungsgemäße Abstandskonfiguration hierfür hinreichend Platz lässt und gleichwohl eine kompakte Gesamtanordnung ermöglicht.
  • Gemäß weiterer bevorzugter Weiterbildungen der Erfindung, für die zusammen mit dem Oberbegriff auch unabhängig Schutz beansprucht wird, ist vorgesehen, dass der Detektoreinheit zugeordnete bzw. nachgeschaltete Auswertemittel die (prinzipiell aus dem Stand der Technik bekannte) elektronische Aufbereitung der Pixeldaten in zwei- oder dreidimensionale Datensätze (Schaaren) des Werkstücks so vornimmt, dass in erfindungsgemäß vorteilhafter Weise aus dem Stand der Technik bekannte Datenaufbereitungs- und/oder Bilderzeugungssysteme, wie sie insbesondere im Zusammenhang mit mechanischen Taster-Koordinatenmessvorrichtungen verwendet werden, unmittelbar mit Daten beschickt und insoweit unmittelbar weiterbenutzt werden können, ohne dass weitergehender Datenaufbereitungsaufwand notwendig ist: So ist es nämlich insbesondere im Rahmen von Weiterbildungen der Erfindung vorgesehen und bevorzugt, entsprechend den (typischerweise standardisierten) Messdatenformaten bekannter mechanischer Taster-Koordinatenmessvorrichtungen eine Mehrzahl von dreidimensionalen Punkt- und/oder Flächendaten zu erzeugen und bereitzustellen, um auf diesem Wege dann nachgelagert eine Bilderzeugung, eine Erzeugung von Raster- oder Gittermustern oder aber von CAD-Daten zu ermöglichen.
  • Im Ergebnis gestattet die vorliegende Erfindung in überraschend einfach und eleganter Weise das Herstellen von kompakten, leistungsfähigen und betriebssicheren Computertomographischen Werkstückmessvorrichtungen, welche potenziell beachtliche Dimensionsreduzierungen, damit verbundene Kostenersparnisse versprechen und, bei zusätzlich potenziell erhöhter Abbildungs- und Vermessungsqualität, die Vorteile nicht-medizinischer computertomographischer Werkstückvermessung neuen Anwendungsgebieten zugänglich machen kann.
  • Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiel sowie anhand der Zeichnungen; diese zeigen in:
  • 1: eine schematische Ansicht der computertomographischen Werkstückmessvorrichtung gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung (bestmode);
  • 2: eine Schemaansicht zum Verdeutlichen der geometrischen Verhältnisse zwischen Röntgenquelle, Trägereinheit und Detektormitteln samt relativer Beweglichkeit zwischen diesen und
  • 3: ein Blockschaltbild zum Verdeutlichen wesentlicher Funktionskomponenten und deren Zusammenwirken in der Realisierung eines Systems zur computertomographischen Werkstückvermessung samt Schnittstellentechnologie für bekannte Darstellungs- und Auswerteperipherie von Taster-Koordinatenmessvorrichtungen.
  • Die 1 verdeutlicht in der schematischen Seitenansicht, wie innerhalb eines Strahlenschutz (z. B. über eine Bleiverkleidung) anbietenden Rahmengestells 10 auf einer Basisplatte 12 (Haltebett), welche über Dämpfereinheiten 14 gegenüber dem Rahmengestell 10 dämpfend (stoß- und/oder vibrationshemmend) abgestützt, eine Röntgenquelle 16 (geschlossene Mikrofokus- oder Makrofokus-Röntgenquelle) vorgesehen ist. Die Röntgenquelle 16 ist, schematisch durch eine Verstelleinheit 18 sowie Pfeile 46 in 2 angedeutet, linear entlang eines Verfahrweges beweg- und einstellbar, um insoweit eine Anpassung an ein auf einem Drehtisch 20 vorsehbares Messobjekt (Werkstück) vornehmen zu können.
  • Mit einen für Röntgenstrahlen durchlässigen, scheibenartigen Wärmeisolations-Schutzschirm 22 von der Röntgenquelle 16 getrennt, sitzt der Drehtisch 20 auf einer mittels einer Lagereinheit 24 vertikal linear bewegbaren Gehäuseeinheit 26, die im Inneren ein zum Antreiben des Drehtisches 20 vorgesehenes Drehaggregat (z. B. Schrittmotor) trägt, ferner zu (bevorzugt luftgelagerter) Vertikalbewegung innerhalb der Platte 12 die nötigen Einrichtungen in ansonsten bekannter Weise aufweist.
  • Weiterhin montiert auf der Basisplatte 12 ist eine Detektoreinheit 28, welche so relativ zur Röntgenquelle und zum Drehtisch 20 am Ende eines schematisch gezeigten Strahlengangs 30 positioniert ist, dass ein ein Werkstück 30 durchstrahlender Röntgenstrahl auf die Detektoreinheit 28 trifft und dort, von einer Mehrzahl von eckig-flächig angeordneten, röntgen-sensitiven Halbleiter-Photoelementen pixelweise aufgenommen und einer weiteren Verarbeitung zugeführt wird. Genauer gesagt ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel ein Röntgendetektor vorgesehen, welcher eine effektive Sensorfläche von 7,5 cm (horizontal) × 5 cm (vertikal) bei einer Auflösung von 200 Pixeln pro/cm (entsprechend daher einer totalen Pixelzahl von ca. 1500000 Pixeln) vorgesehen.
  • Dessen Ausgangssignal wird einer Steuereinheit 32 zugeführt und steht dann zur rechnerischen Weiterverarbeitung, Bildaufbereitung oder anderen Schnittstellenfunktionen bereit; in einer günstigen konstruktiv-apparativen Konfiguration ist, wie schematisch in der 1 gezeigt, dem rahmenartigen Gehäuse 10 eine Schreibtischfläche 34 unmittelbar zugeordnet, so dass die Kompaktheit der Anordnung weiter erhöht wird. Die Schreibtischfläche 34 bietet zudem im Unterbau 36 die Möglichkeit, weitere Verarbeitungseinrichtungen, z. B. ein Rechnerarray, vorzusehen. Das Integrieren der Schreib tischfläche wird auch unabhängig und in Verbindung mit dem Oberbegriff als Erfindung beansprucht.
  • Im Ergebnis entsteht durch die gezeigte Konfiguration ein überaus kompaktes System, nicht zuletzt bedingt durch die geometrischen Verhältnisse zwischen den beteiligten Aggregaten, die im Detail in der 2 verdeutlicht sind: So ist im gezeigten Ausführungsbeispiel in einer typischen Messposition (etwa für ein Messobjekt 40 einer horizontalen Ausdehnung von 6,5 mm), die Röntgenquelle 16 um einen Abstand B = 40 cm von der Detektoreinheit 28 entfernt. Gleichzeitig ist in dieser Konfiguration die Röntgenquelle A um einen Abstand A von 36,5 cm von der Drehtischeinheit 20 bzw. der Gehäuseeinheit 26 entfernt (genauer: von einer Mittenachse 42, welche sich mittig durch diese Einheiten erstreckt). Entsprechend ergibt sich für diese Konfiguration ein Verhältnis A/B von 0,915.
  • Wie zusätzlich die 2 verdeutlicht, ist das Werkstück 40 um einen Vertikalhub, verdeutlicht durch den Doppelpfeil 44, verschiebbar; ein typisches Beispiel eines Maximalhubes liegt bei ca. 20 cm. Auch ist im Rahmen der Erfindung vorgesehen, die Röntgenquelle 16 um einen horizontalen Linearhub von 20 cm (Pfeile 46) verschiebbar zu gestalten, ebenso wie (oder alternativ) die Detektoreinheit 28 um einen horizontalen Linearhub 48 von 10 cm.
  • Die 3 verdeutlicht das schematische Zusammenwirken der Funktionseinheiten mit einer zugeordneten Aufbereitungs- und Auswertungseinheit: Genauer gesagt wirken die Röntgenquelle 16, die Detektoreinheit 28 sowie eine Drehsteuerung 50 bzw. eine Vertikalbewegungssteuerung 52 (für den Drehtisch 20 bzw. den vertikalen Hubantrieb 26) zusammen mit der in 1 schematisch gezeigten Steuereinheit 32, welche einerseits die nötigen Bewegungen der Einheiten ansteuert, andererseits die Emission der Röntgenquelle 16 steuert sowie die Strahlungsdetektion durch die Detektoreinheit 28 sowie die Erfassung der eingehenden Pixelsignale bewirkt. Diese Signale werden zunächst in einen nachgeschalteten zweidimensionalen Bildspeicher 54 als Mehrzahl von (zweidimensionalen) Einzelbildern abgelegt, um dann in einer weiter nachgeschalteten dreidimensionalen Verarbeitungseinheit 56 in ein dreidimensionales (Volumen-)Bild zusammengefasst bzw. verrechnet zu werden.
  • In erfindungsgemäß vorteilhafter Weise stehen zudem bei diesem gezeigten Ausführungsbeispiel diese dreidimensionalen Daten der Einheit 56 in der Art von 3D-Datensätzen, -Punkten und/oder -Vektoren und entsprechend typischen Schnittstellen- bzw. Datenformaten von Taster-Koordinatenmessvorrichtungen an einer Schnittstelleneinheit 58 bereit, um, wie in der 3 gezeigt, mit einer nachgeschalteten, standardisierten Auswerteeinheit 60 (wie sie typischerweise auch mit eben jenen bekannten Taster-Koordinatenmessvorrichtungen zusammenwirken kann) verbunden zu werden und ein Auswerteergebnis für eine Darstellungseinheit 62, z. B. einen Bildschirm, einen Drucker od. dgl., auszugeben.
  • Die in der 3 als Funktionskomponenten gezeigten Einheiten können als diskret realisierte Hardware-Baugruppen existieren, ergänzend oder alternativ in Form von geeignet programmierten Computer- oder Controllereinheiten, gegebenenfalls als Cluster von Parallelrechnern.

Claims (12)

  1. Computertomographische Werkstückmessvorrichtung mit einer zum Erzeugen invasiver Strahlung ausgebildeten Röntenquelle (16), zum Erfassen der invasiven Strahlung ausgebildeten Detektormitteln (28) und einer Werkstückträgereinheit (20, 24, 26), die so ausgebildet ist, dass ein von dieser getragenes, zu vermessendes Werkstück (40) in einem Strahlengang (30) der invasiven Strahlung zwischen der Röntgenquelle und den Detektormitteln platzierbar und im Strahlengang bewegbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein Verhältnis eines ersten kleinsten Abstands A zwischen einem Strahlungsauslass der Röntgenquelle (16) und einer sich in dem Strahlengang erstreckenden Mitten- und/oder Drehachse (42) der Trägereinheit im Verhältnis zu einem zweiten kleinsten Abstand B zwischen dem Strahlenauslass und den eine Mehrzahl von in einer Fläche angeordneten Detektorpixeln aufweisenden Detektormitteln A/B > 0,5, bevorzugt > 0,7, weiter bevorzugt > 0,8 beträgt, ein Seiten- und/oder Kantenlängenverhältnis der Fläche der Detektormittel im Bereich zwischen 1,5:1 bis 500:1 liegt und die Detektorpixel eine maximale Pixelgröße kleiner 100 μm, bevorzugt kleiner 80 μm, weiter bevorzugt kleiner 50 μm, aufweisen.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektormittel und/oder die Röntgenquelle so ausgebildet sind, dass diese in einer Richtung des Strahlengangs einstell- und/oder verschiebbar (46, 48) sind.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägereinheit eine Drehtellerfunktionalität mit einer um eine Drehachse (42) drehbar antreibbaren Werkstückauflagefläche (20) aufweist.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägereinheit so ausgebildet ist, dass die Werkstück-Auflagefläche entlang der Drehachse um einen vorbestimmten Längshub (44) verfahrbar ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägereinheit ein Gehäuse aufweist, welches erste Antriebsmittel zum Drehen der Werkstück-Auflagefläche um die Drehachse sowie zweite Antriebsmittel zum linearen Bewegen der Werkstück-Auflagefläche entlang der Drehachse, beide Antriebsmittel bevorzugt integriert in das Gehäuse, aufweist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und die zweiten Antriebsmittel so ausgebildet und ansteuerbar sind, dass das Drehen und das lineare Bewegen simultan erfolgen kann.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägereinheit Mittel (24) zur Lagerung, insbesondere Luftlagerung, der Werkstück-Auflagefläche, insbesondere an oder in einem bewegbaren Gehäuse oder Schlitten der Trägereinheit, aufweist.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgenquelle, die Detektormittel sowie die Antriebsmittel aufweisende Trägereinheit an einem gemeinsamen Haltebett (12) festgelegt sind, welches Haltebett bevorzugt gegenüber einem Untergrund und/oder einem umgebenen Gehäuse (10) durch mechanische Puffermittel (14) stoß- oder schwingungsgedämpft abgestützt ist.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch eine scheibenartige, für Röntgenstrahlung durchlässige Wärmeisolationseinheit (22) im Strahlengang zwischen der Röntgenquelle (16) und der Trägereinheit (20, 24, 26).
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektoreinheit elektronische Auswertemittel (58, 60) nachgeschaltet sind, die so ausgebildet sind, dass sie entsprechend einem Messdatenformat einer mechanischen Taster-Koordinatenmessvorrichtung aus einer Mehrzahl von Röntgendetektorbildern der Detektionseinheit dreidimensionale Konturdaten eines vermessenen Werkstücks erzeugen und elektronisch ausgeben.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die dreidimensionalen Konturdaten dreidimensionale Punkt- und/oder Flächendaten und/oder Körper-Dimensionsdaten aufweisen und so elektronisch strukturiert und/oder aufbereitet sind, dass sie durch Bilderzeugungssysteme (62) einer Tasten- Koordinatenmessvorrichtung in visuelle Darstellungen umsetzbar sind.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Werkstückmessvorrichtung in einem Gehäuse und/oder einer umschließenden Rahmenstruktur vorgesehen ist und an dem Gehäuse bzw. der Rahmenstruktur (10) ein Schreibtischabschnitt oder Schreibtischansatz (34) ausgebildet ist.
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