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Gebiet der Erfindung
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Die
Erfindung betrifft einen gesinterten, hochdichten Verbundwerkstoff
auf Basis von Übergangsmetalldiboriden der IV. bis VI.
Nebengruppe des Periodensystems und einer metallischen Bindephase,
die vorwiegend aus Kupfer besteht, ein Verfahren zur Herstellung
eines solchen Verbundwerkstoffs sowie die Verwendung des gesinterten
Verbundwerkstoffs als verschleißbeständiger Werkstoff für
Anwendungen, bei denen einen hohe Wärmeleitfähigkeit,
eine gute Thermoschockbeständigkeit und eine hohe elektrische
Leitfähigkeit erforderlich sind. Die erfindungsgemäßen
Verbundwerkstoffe weisen darüber hinaus eine gute mechanische
Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit auf.
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Hintergrund der Erfindung
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Die
Boride der Übergangsmetalle der IV. bis VI. Nebengruppe
des Periodensystems gelten als metallische Hartstoffe. Trotz ihrer
extremen Eigenschaften hinsichtlich Härte, Korrosionsbeständigkeit und
mechanischer Festigkeit haben diese Stoffe weder für sich
allein noch in Kombination mit anderen Werkstoffen bisher Verbreitung
und Anwendung in der Technik gefunden.
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Bis
heute überragt Wolframcarbid (WC), welches ebenfalls zu
den metallischen Hartstoffen zählt, mengenmäßig
als Komponente in Hartmetallen alle anderen Hartstoffe.
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Titandiborid,
welches eine Härte aufweist, die vergleichbar ist mit der
von Siliciumcarbid, kann durch Heißpressen oder Drucklossintern
mit geeigneten Sinterhilfsmitteln verdichtet werden. Eine Formgebung
von Titandiborid durch Schmelzen und Gießen ist aufgrund
des hohen Schmelzpunktes von 3225°C nicht möglich.
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Es
ist bekannt, dass pulvrige Stoffe erst bei Temperaturen um 0,75 × Schmelztemperatur
gut sintern. Bei Titandiborid liegt diese Temperatur demnach bei
ca. 2400°C. Da kommerziell erhältliche Titandiborid-Pulver
grundsätzlich sintertemperatursenkende Verunreinigungen
enthalten, stellt man bei praktischen Versuchen eine Sintertemperatur
von ca. 2100°C fest, bei der aber schon erhebliches Kornwachstum
auftritt.
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Zwar
ist es bekannt, dass man Titandiborid durch Zugabe von ausreichend
hohen Gehalten an Eisen oder Stahl, Kobalt oder Nickel bei Temperaturen
unter 2000°C drucklos zu fast vollständiger Dichte
sintern kann. Diese Sinteradditive bilden jedoch mit den Verunreinigungen
des Titandiborids relativ spröde Boride, weswegen diese
Kombinationen nicht wie zu erwarten zu zähen Kompositwerkstoffen
führen.
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Kupfer
ist andererseits kein geeignetes Sinterhilfsmittel für Übergangsmetallboride
wie Titandiborid, da im System TiB2-Cu keine
nennenswerte Lösung und Wiederausscheidung von Boriden
stattfindet. Daher wirkt Kupfer kaum sinterfördernd bei
Boriden.
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Stand der Technik
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In
der
US 4,617,053 werden
so genannte Refractory Hard Metals (RHM) sowie RHM-Metall-Verbundwerkstoffe
beschrieben, zu denen auch TiB
2-Cu-Verbundwerkstoffe
zählen. Zur Herstellung dieser Verbundwerkstoffe wird zunächst
ein poröser Formkörper aus TiB
2 hergestellt,
in dem ein TiB
2-Pulver in eine Graphitform
geschüttet und bei einer Temperatur von mindestens 2000°C
gesintert wird. Dieser poröse Formkörper wird
anschließend mit Kupfer infiltriert. Im angegebenen Beispiel
wird durch dieses Verfahren ein TiB
2-Cu-Werkstoff
mit einer Porosität von über 20 Vol.-% erhalten.
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Ein
Material mit derart hoher Porosität hat keine optimalen
Eigenschaften hinsichtlich Festigkeit und elektrischer Leitfähigkeit.
Nachteilig ist ausserdem die hohe Sintertemperatur von über
2000°C, die zur Vergröberung des primären
TiB2-Kornes führt. Es ist bekannt,
dass TiB2 aufgrund seiner anisotropen thermischen
Ausdehnungskoeffizienten zur spontanen Rissbildung neigt, wenn bestimmte
Grenzen der Korngrößen überschritten
werden („Material Properties of Titanium Diboride",
in: Journal of Research of the National Institute of Standards and
Technology, Volume 105, Number 5, September-October 2000, Seite
711).
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Bei
dieser sogenannten Festphasensinterung, bei der die Sinterung ohne
die Bildung einer erkennbaren Menge Flüssigphase abläuft,
bilden sich zwischen den TiB2-Partikeln
TiB2-TiB2-Sinterhälse, die
bei der nachfolgenden Infiltration nicht mehr aufgelöst
werden können. Die sich bei der beschrieben Her stellmethode
des TiB2-Körpers zwangsweise bildenden
abgeschlossenen Porenräume können bei der Infilttration
nicht mehr mit Kupfer gefüllt werden und verbleiben als
störende Porosität.
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Weiterhin
sind durch die Art der Formgebung die technisch herstellbaren Geometrien
stark eingeschränkt und auf einfache, wenig endkonturnahe
Geometrien beschränkt. Insbesondere fehlt beim beschriebenen
Werkstoff die in der keramischen Industrie oft geforderte Möglichkeit
der Grünbearbeitbarkeit, womit die Bearbeitung komplexer
Geometrien kostengünstig möglich ist.
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In
der
JP 01278975 A wird
ein TiB
2-Kupfer Werkstoff beschrieben, der
durch Zumischung von TiB
2 in Form von Pulvern
bzw. Körnungen oder Whiskern in eine Kupferschmelze entsteht.
Dieses Vorgehen hat den Nachteil, dass die Herstellung von Bauteilen
nur über giesstechnische oder spangebende Verfahren mittels
Halbzeugen erfolgen kann. Endkonturnahe Bauteile sind mit diesem
Verfahren nicht herstellbar; die spangebende Bearbeitung des Werkstoffs
TiB
2-Kupfer ist aber wegen des sehr unterschiedlichen
Charakters der beiden Komponenten schwierig und teuer. Kupfer ist
ein weicher, zum Schmieren neigender Werkstoff, während
Titandiborid extrem hart ist. Kupfer kann mit üblichen
Werkzeugen mit großem Spanraum leicht bearbeitet werden,
während die Bearbeitung von Titandiborid schleifende Diamantwerkzeuge
verlangt, die konstruktionsbedingt kleine Spanräume haben.
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Mit
dem beschriebenen Verfahren ist es zudem schwierig, einen homogenen
Werkstoff herzustellen, da das Titandiborid aufgrund seiner geringeren
Dichte (ρTiB2, theoretisch = 4,51
g/cm3) zum Aufschwimmen bzw. Entmischen
in der spezifisch schwereren Kupferschmelze (ρCu,
theoretisch = 8,9 g cm–3) neigt.
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Die
Anmeldung
WO 94/06585 beschreibt
im wesentlichen einen Werkstoff auf der Basis Aluminiumoxid-Kupfer
(Al
2O
3-Cu), wobei
aber auch der Werkstoff TiB
2-Cu erwähnt
wird, ohne auf seine Herstellung einzugehen. In dieser Schrift wird
die Herstellung von Verbundwerkstoffen durch Infiltration eines
porösen Formkörpers mit Metallschmelzen beschrieben.
Das beschriebene Verfahren geht von einem porösen Sinterkörper
aus Al
2O
3 aus, der
zwischen 10 und 80% offener Porosität enthält.
Zur Verbesserung der Benetzung der keramischen Phase wird ein Sintern
mit reaktiver Gasatmosphäre vorgeschlagen. Als Gase können
HCl (Chlorwasserstoff) und HF (Florwasserstoff) einge setzt werden.
Beide Gase sind hochgefährlich und umweltbelastend, so dass
eine Reihe von Vorsichtsmaßnahmen bei der industriellen
Verwendung dieser Gase getroffen werden muß. Hinzu kommt,
dass auch bei vorschriftsmäßigem Umgang mit diesen
Stoffen eine Umweltbelastung nicht ausgeschlossen werden kann. Die ätzende
Sinteratmoshäre greift zudem nicht nur das keramische Sintergut
an, sondern auch die Ofenaggregate und deren Einbauten, wie Wärmeisolierung,
Heizer, Brennhilfsmittel und dgl., so dass dieses Herstellverfahren
nicht wirtschaftlich ist.
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In
der
US 5,753,574 werden
zweiphasige Werkstoffe vorwiegend auf der Basis von unterstöchiometrischem
Zirkondiborid (ZrB
2-z, wobei 0 < z < 0,1) mit Infiltration
von Cu, Au und Ag beschrieben. Der poröse Formkörper,
der infiltriert werden soll, wird über Heißpressen
hergestellt. Als wesentlich wird dabei erwähnt, dass die
Heißpresstemperatur bei 2150°C liegen muß,
während bei niedrigeren Temperaturen wie z. B. 1760°C
und 2000°C keine vollständige Infiltration erreicht
wird. Auch bei diesem Verfahren stellen sich die Nachteile wie bei
US 4,617,053 dargestellt
ein, insbesondere unzureichende Dichte und Kornvergröberung
bei der Sinterung vor dem Infiltrieren.
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Der
Boridkörper hat vor dem Infiltrieren ein Mindesporosität
von 10 Vol.-%. Bei dieser relativ hohen Dichte des Boridformkörpers
liegt ein hoher Anteil an geschlossener Porosität vor,
der durch Infiltration nicht mehr aufgefüllt werden kann.
In diesem Patent wird auch ein Zusammenhang zwischen der angeblich
einstellbaren Stöchiometrie des Bonds (Stöchimetrie
des Bonds = Verhältnis Metall/Bor, bei variabler Stöchiometrie
spricht man von einem Homogenitätsbereich) und der Benetzbarkeit
bei der Infiltration beschrieben. Allerdings ist die Existenz dieses Homogenitätsbereiches
bis heute nicht eindeutig nachgewiesen. Die Stöchimetrie
des Bonds ist in der industriellen Fertigung kaum steuerbar. Ohne
die besondere Maßnahme der Justierung der „Stöchiometrie” des
Bonds durch Zugabe von Zirkonium-Metall bzw. -Metallhydrid wird
eine unerwünschte Schwankung der Eigenschaften, insbesondere
der elektrischen Leitfähigkeit, beobachtet. Somit unterliegen die
in dieser Druckschrift beschrieben Werkstoffe einem hohen Fertigungsrisko
bzw. einer Prozessunsicherheit, was unter dem Gesichtspunkt einer
industriellen Fertigung unerwünscht ist.
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In
der
US 5,933,701 wird
ein Verfahren zur Herstellung von ZrB
2-Kupfer-Werkstoffen
beschrieben, bei dem die Methoden des sogenannten „Rapid Prototyping” zur
Anwendung kommen. Diese Verfahren sind aber nur für Prototypen,
Einzelstücke oder allenfalls kleine Serien geeignet, da
sie teuer und langsam sind. Hinzu kommt, dass durch die bei der Herstellung
der Formkörper verwendeten Polymer-Werkstoffe kohlenstoffhaltige
Rückstände im ZrB
2-Formkörper
zurückbleiben, welche die Benetzung mit Kupfer behindern.
Deswegen müssen Kupferlegierungen eingesetzt werden, was
einer guten elektrischen Leitfähigkeit abträglich
ist. Bei dem in der Schrift geschilderten Beispiel 1 wird auch nur
ein Gehalt an ZrB
2 im Werkstoff von 50%
erreicht, was für bestimmte Anwendungen zu wenig ist. Auch
in dieser Schrift muss der Formkörper vor dem Füllen mit
Kupfer bei höheren Temperaturen gesintert werden, was die
bereits weiter oben erwähnten Nachteile nach sich zieht:
Hohlräume, die bei der Vorsinterung zwischen den Boridkörnern
eingeschlossen werden, können später nicht mehr
mit Metall gefüllt werden, da die Verbindung zwischen den
Boriden „unlösbar” ist.
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Aufgabe der Erfindung
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Übergangsmetalldiborid-Kupfer-Verbundwerkstoff
mit verbesserten Eigenschaften zur Verfügung zu stellen,
der die Nachteile des Standes der Technik nicht aufweist, insbesondere
hochdicht und weitgehend porenfrei ist, eine gute elektrische Leitfähigkeit, eine
hohe Wärmeleitfähigkeit und eine gute Thermoschockbeständigkeit
aufweist und der weiterhin aufgrund seiner mechanischen Festigkeit
und Korrosionsbeständigkeit verschleißbeständig
ist. Ferner soll ein kostengünstiges und umweltschonendes
Verfahren zur Herstellung eines solchen Verbundwerkstoffes angegeben
werden, das ebenfalls die endkonturnahe Fertigung von Bauteilen
aus diesen Verbundwerkstoffen ermöglicht.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Die
vorstehende Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst
durch einen Verbundwerkstoff auf der Basis von Übergangsmetalldiboriden
der IV. bis VI. Nebengruppe des Periodensystems gemäß Anspruch 1,
ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Verbundwerkstoffs gemäß Anspruch
7 sowie die Verwendung des Verbundwerkstoffs gemäß Anspruch 13.
Vorteilhafte bzw. besonders zweckmäßige Ausgestaltungen
des Anmeldungsgegenstandes sind in den Unteransprüchen
angegeben.
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Gegenstand
der Erfindung ist somit ein Verbundwerkstoff auf Basis von Übergangsmetalldiboriden
der IV. bis VI. Nebengruppe des Periodensystems und einer metallischen
Bindephase, dadurch gekennzeichnet, dass die metallische Bindephase aus
Kupfer und mindestens einem Hilfsmetall besteht, wobei das oder
die Hilfsmetalle teilweise oder vollständig in der Kupferphase
gelöst sein können, und dass der Verbundwerkstoff
eine Dichte von mindestens 97% der theoretischen Dichte aufweist.
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Gegenstand
der Erfindung ist ferner ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Verbundwerkstoffs,
umfassend die Schritte:
- a) Vermischen eines
pulverförmigen Übergangsmetalldiborids und mindestens
eines pulverförmigen Hilfsmetalls, gegebenenfalls unter
Zusatz von organischen Binde- und Presshilfsmitteln, entweder
i)
trocken zur Herstellung einer homogenen Pulvermischung oder
ii)
in Gegenwart eines flüssigen Suspensionsmediums zur Herstellung
einer homogenen Pulversuspension,
- b) im Falle der Herstellung einer Pulversuspension, Herstellen
eines Pulvergranulats aus der Pulversuspension,
- c) Verpressen der in Schritt a) erhaltenen Pulvermischung oder
des in Schritt b) erhaltenen Pulvergranulats zu einem Grünkörper,
- d) Drucklossintern des erhaltenen Grünkörpers
im Vakuum oder unter Schutzgas bei einer Temperatur im Bereich von
1050 bis 1750°C, vorzugsweise 1550 bis 1650°C,
und
- e) Infiltrieren des erhaltenen Sinterkörpers mit schmelzflüssigem
Kupfer.
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Die
erfindungsgemäßen Verbundwerkstoffe eignen sich
für Anwendungen, bei denen eine hohe Wärmeleitfähigkeit,
eine gute Thermoschockbeständigkeit und eine hohe elektrische
Leitfähigkeit erforderlich sind. Daher eignen sich die
erfindungsgemäßen Werkstoffe insbesondere zur
Herstellung von Stromkontaktbelägen, die einer Beanspruchung durch
Lichtbogenabbrand und/oder einer Reibbeanspruchung ausgesetzt sind.
Ebenso eignen sich die erfindungs gemäßen Verbundwerkstoffe
zur Herstellung von verschleißbeständigen, nicht
funkenreißenden Werkzeugen.
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Beim
erfindungsgemäßen Verbundwerkstoff besteht die
metallische Bindephase aus Kupfer und mindestens einem Hilfsmetall,
wobei das oder die Hilfsmetalle teilweise oder vollständig
in der Kupferphase gelöst sein können. Für
den Fall, dass eine vollständige Lösung des Hilfsmetalls
in der Kupferphase stattfindet, entsteht ein zweiphasiger Werkstoff
aus Übergangsmetalldiborid und metallischer Bindephase.
Für den Fall, dass keine oder nur eine teilweise Lösung
des Hilfsmetalls in der Kupferphase stattfindet, entsteht ein ebenfalls
fast vollständig porenfreier, jedoch dreiphasiger Werkstoff
aus Übergangsmetalldiborid, Kupfer und Hilfsmetall.
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Im
Unterschied zur
US 4,617,053 weisen
die erfindungsgemäßen Verbundwerkstoffe eine hohe Dichte
von mindestens 97% der theoretischen Dichte auf.
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Im
Gegensatz zur
US 4,617,053 und
US 5,753,574 muss beim erfindungsgemäßen
Verfahren der Vorformkörper nicht bei hohen Temperaturen oberhalb
2000°C gesintert werden, so dass erfindungsgemäß keine
Vergröberung des Übergangsmetalldiborids auftritt.
Zudem kann beim erfindungsgemäßen Verfahren das
Sintern in Ofenaggregaten durchgeführt werden, die nicht
für hohe Temperaturen von über 2000°C
ausgelegt sein müssen, sondern deren Maximaltemperatur
auf 1750°C ausgelegt sind. Das erfindungsgemäße
Verfahren ist somit insgesamt kostengünstiger.
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Im
Gegensatz zu
WO 94/06585 benötigt
das erfindungsgemäße Verfahren weiterhin keine
reaktive und ätzende Gasatmosphäre aus HCl oder
HF und ist somit deutlich umweltschonender und wirtschaftlicher.
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Detaillierte Beschreibung
der Erfindung
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Die Übergangsmetalldiboride
des erfindungsgemäßen Verbundwerkstoffs sind vorzugsweise
ausgewählt aus Diboriden von Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr,
Mo, W und Mischungen davon, aus Mischkristallen aus (Ti, W)B2 und/oder (Zr, W)B2 und/oder
(Ti, Zr)B2 oder Mischungen aus solchen Diborid-Mischkristallen
mit einem oder mehreren der Übergangsmetalldiboride, insbesondere
bevorzugt aus TiB2 und ZrB2.
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Die
Hilfsmetalle sind vorzugsweise ausgewählt aus Eisen, legierten
Stählen, Kobalt, Nickel, Silicium, Zinn, Silber und Kombinationen
oder Legierungen davon, insbesondere bevorzugt aus Eisen und legierten
Stählen. Der Gesamtgehalt der Hilfsmetalle beträgt
vorzugsweise 1,5 bis 20 Gew.-%, weiter vorzugsweise 2 bis 5 Gew.-%,
bezogen auf das Gewicht der Übergangsmetalldiboride.
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In
Abhängigkeit der Porosität des gesinterten Vorformkörpers
und der erwünschten Dichte beträgt der Kupferanteil
vorzugsweise 10 bis 40 Vol.-%, weiter vorzugsweise 15 bis 30 Vol.-%,
bezogen auf das Gesamtvolumen des Verbundwerkstoffs. Die Dichte des
erfindungsgemäßen Werkstoffs beträgt
mindestens 97%, vorzugsweise mindestens 99% der theoretischen Dichte.
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Grundsätzlich
wird bei Verbundwerkstoffen, die aus einer Hartstoffphase und einem
duktilen Bindematerial bestehen, eine möglichst geringe
Korngröße des Hartstoffs angestrebt. Für
spezielle Anwendungen werden aber auch Verbundwerkstoffe benötigt,
die einen gewissen Anteil an groben Hartstoffpartikeln enthalten.
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Die
mittlere Korngröße des Übergangsmetalldiborids
in den erfindungsgemäßen Verbundwerkstoffen beträgt
vorzugsweise 1–20 μm.
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In
einer weiteren Ausführungsform hat das Übergangsmetalldiborid
in den erfindungsgemäßen Verbundwerkstoffen eine
bimodale oder multimodale Korngrößenverteilung,
wodurch Werkstoffe mit noch höheren Hartstoffkonzentrationen
hergestellt werden können. Dabei enthält der erfindungsgemäße
Werkstoff bevorzugt einen Feinanteil von 50 bis 90 Vol.-% (bezogen
auf die Übergangsmetalldiborid-Phase) mit einer mittleren
Korngröße (d50) zwischen
1 μm und 10 μm und einen Grobanteil von 10 bis
50 Vol.-% mit einer maximalen Korngröße (d99) bis zu 800 μm.
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Gemäß der
Erfindung hat sich überraschenderweise gezeigt, dass sich
eine bessere und vollständigere Infiltration eines porösen Übergangsmetalldiborid- Formkörpers
mit schmelzflüssigem Kupfer erreichen lässt, wenn
der poröse Boridformkörper zunächst in
Gegenwart einer geringen Menge eines Hilfsmetalls gesintert wird.
Dieses Hilfsmetall ist derart beschaffen, dass es einerseits durch
Lösung und Wiederausscheidung von Boriden deren Sinterung schon
bei relativ geringen Temperaturen ermöglicht, andererseits
sich beim Infiltrationsprozess in dem flüssigen Kupfer
zumindest teilweise lösen kann. Gemäß der
Erfindung hat sich somit überraschenderweise gezeigt, dass
die Herstellung von hochdichten, weitgehend porenfreien Verbundwerkstoffen
gelingt, wenn zwei Flüssigphasenprozesse zeitlich aufeinanderfolgend
angewandt werden.
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Die
im Vorformkörper vorhandenen Sinterhälse, die
vorwiegend aus Hilfsmetall bestehen, können sich beim erfindungsgemäßen
Verfahren während der Infiltration mit Kupfer teilweise
wieder lösen, ohne dabei den grundsätzlich vorhandenen
Zusammenhalt zwischen den Boridkörnern zu zerstören. Der
Zusatz des Hilfsmetalls wirkt durch Lösungs- und Wiederausscheidungsvorgänge
verdichtungsfördernd auf das Übergangsmetalldiborid
und kann das zwischen den Hartstoffpartikeln zurückbleibende
Porenvolumen auffüllen.
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Der
Gehalt an Hilfsmetall wird erfindungsgemäß so
gering gewählt, dass es nur in sehr geringem Maße
zu Lösungs- und Wiederausscheidungsprozessen kommt und
die Verdichtung dementsprechend gering ist. Durch die Sinterung
des hilfsmetallhaltigen Grünkörpers entsteht ein
poröser Körper, in dem die Übergangsmetalldiboridteilchen
durch hilfsmetallhaltige Korngrenzen miteinander verbunden sind.
Dieser Körper hat ausreichende Festigkeit, so dass er gut
gehandhabt und, falls erwünscht, auch auf Maschinen bearbeitet
werden kann.
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Die
Dichtemessung anhand eines Vergleichs von geometrischer und archimedischer
Dichte zeigt, dass ein herkömmlicher gesinterter Vorformkörper sowohl
offene als auch geschlossene Porosität enthält.
Die offene Porosität kann durch Infiltrieren mit einem
schmelzflüssigen Metall aufgefüllt werden, wohingegen
die geschlossene Porosität normalerweise von einem solchen
schmelzflüssigen Infiltrat nicht erreicht werden kann.
Nach der Infiltration liegt daher üblicherweise ein dreiphasiger
Körper mit einem größeren Anteil an Restporosität
vor.
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Überraschenderweise
hat sich jedoch gezeigt, dass beim erfindungsgemäßen
Verfahren durch Infiltration eines hilfsmetallhaltigen Vorformkörpers
mit schmelzflüssigem Kupfer ein fast vollständig porenfreier
Werkstoff entsteht. Dies kann nur dadurch erklärt werden,
dass sich die hilfsmetallhaltigen Korngrenzverbindungen während
der Infiltration mit schmelzflüssigem Kupfer zumindest
teilweise auflösen und dem Kupfer das Eindringen in die
vormals geschlossene Porosität ermöglicht wird.
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Wie
bereits erwähnt, kann das Hilfmetall teilweise oder vollständig
in der Kupferphase gelöst sein. Für den Fall,
dass eine vollständige Lösung stattfindet, entsteht
ein zweiphasiger Werkstoff. Wenn keine oder eine nur teilweise Lösung
stattfindet, entsteht ein dreiphasiger Werkstoff. Prinzipiell gilt,
dass bei hohen Gehalten an Hilfsmetall eher eine dritte Phase entsteht
und bei geringen Gehalten eher nicht. Zudem wird die Phasenbildung
durch die Herstellungbedingungen beeinflusst. Wird beispielsweise
der Sinterkörper nach dem Infiltrieren rasch abgekühlt,
bleibt das Hilfsmetall in Lösung und es entsteht ein zweiphasiger
Werkstoff, während beim langsamen Abkühlen sich
eher ein dreiphasiger Werkstoff bildet.
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Nachfolgend
wird das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung
eines Verbundwerkstoffs näher erläutert.
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Zunächst
erfolgt in Schritt a) das Vermischen eines pulverförmigen Übergangsmetalldiborids
und mindestens eines pulverförmigen Hilfsmetalls, gegebenenfalls
unter Zusatz von herkömmlichen organischen Binde- und Presshilfsmitteln,
wie Polyvinylalkohol (PVA), wasserlöslichen Harzen, Polyacrylsäuren,
Fettsäuren und Wachsen. Das Hilfsmetall wird vorzugsweise
in einer Menge von 1,5 bis 20 Gew.-%, weiter vorzugsweise 2 bis
5 Gew.-%, bezogen auf das Gewicht der Boride, zugesetzt.
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Das
Vermischen kann trocken zur Herstellung einer homogenen Pulvermischung
oder in Gegenwart eines flüssigen Suspensionsmediums zur Herstellung
einer homogenen Pulversuspension erfolgen. Als flüssiges
Suspensionsmedium können Wasser und/oder organische Lösungsmittel,
wie Alkohole einschließlich Ethanol, Kohlenwasserstoffe einschließlich
Benzin, Heptan etc., eingesetzt werden. Wenn Wasser als umweltfreundliches
Dispergiermedium verwendet wird, sollte als Hilfsmetall kein Reineisen
eingesetzt werden, da dieses durch oxidative Reaktion zersetzt werden
kann. In Kombination mit Wasser haben sich als Hilfsmetall insbesondere nichtrostende
legierte Stähle bewährt.
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Im
Falle der Herstellung einer Pulversuspension wird in Schritt b)
aus der Pulversuspension ein Pulvergranulat hergestellt, vorzugsweise
durch eine übliche Sprühtrocknung zur Erzielung
eines rieselfähigen, gut verarbeitbaren Granulats.
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In
Schritt c) wird die in Schritt a) erhaltene Pulvermischung oder
das in Schritt b) erhaltene Pulvergranulat mittels eines üblichen
Pressverfahrens, vorzugsweise durch isostatisches Pressen oder Gesenkpressen,
zu einem Grünkörper verpresst und in die gewünschte
Form gebracht. Falls erwünscht, kann sich eine Grünbearbeitung
zur Vervollständigung der gewünschten Geometrie
daran anschließen.
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Sofern
der Grünkörper organische Bestandteile einschließlich
Binde- und Presshilfsmittel enthält, werden diese vor dem
Drucklossintern durch einen thermischen Prozess bei Temperaturen
unterhalb der Sintertemperatur in inerter Atmosphäre, vorzugsweise
unter Argon, und vorzugsweise bei Temperaturen von bis zu etwa 500°C,
ausgeheizt. Ebenso besteht die Möglichkeit, diese so genannte ”Entbinderung” zusammen
mit der darauf folgenden Vorsinterung in einem zweistufigen thermischen
Prozess auszuführen, sofern hierfür ein geeignetes
Ofenaggregat zur Verfügung steht.
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In
Schritt d) erfolgt ein Drucklossintern des erhaltenen Grünkörpers
im Vakuum oder unter Schutzgas, vorzugsweise unter Argon, bei einer Temperatur
im Bereich von 1050 bis 1750°C, vorzugsweise 1550 bis 1650°C.
Die Sintertemperatur wird in Abhängigkeit des Schmelzpunktes
des Hilfsmetalles festgelegt. Generell gilt, dass die Sintertemperatur
etwas oberhalb des Schmelzpunktes des Hilfsmetalls liegt. Hierfür
eignen sich Öfen, die Graphit- oder Metallheizelemente
aufweisen. Sofern diese Vorsinterung unter Vakuum erfolgt, eignen
sich hierfür Drücke von unterhalb 4 × 10–2 mbar. Bei dieser Vorsinterung
tritt nur eine minimale lineare Schwindung von im Allgemeinen weniger
als 1% auf. Nach dem Drucklossintern besteht ebenfalls die Möglichkeit,
die Geome trie des Vorformkörpers durch mechanische Bearbeitung
zu verändern oder zu optimieren.
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In
Schritt e) erfolgt das Infiltrieren des erhaltenen Vorform- bzw.
Sinterkörpers mit schmelzflüssigem Kupfer, vorzugsweise
in einem Vakuumofenaggregat bei Temperatur im Bereich von 1300 bis 1650°C,
insbesondere bevorzugt bei etwa 1600°C. Vorzugsweise wird
die so genannte Dochtinfiltration angewandt. Hierbei wird der Vorformkörper
in einem Tiegel, beispielsweise aus Graphit oder Bornitrid, mit einer
ausreichenden Menge Kupfer, die etwa dem 1,5-fachen Porenvolumen
des Vorformkörpers entspricht, auf die oben genannten Temperaturen
erhitzt, wobei das schmelzflüssige Kupfer durch Kapillarwirkung
in den porösen Vorformkörper eingezogen wird und
diesen vollständig infiltriert. Diese Infiltration dauert
je nach Geometrie des Vorformkörpers zwischen etwa 30 Minuten
und 2 Stunden. Die hierfür notwendige Zeit richtet sich
auch nach dem gewünschten Grad der Vollständigkeit
der Infiltration. Je länger die isotherme Zeit der Infiltration,
desto vollständiger erfolgt die Infiltration.
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Nach
der Abkühlung kann der erfindungsgemäße
kupferinfiltrierte Sinterkörper aus dem Tiegel entnommen
und, falls erforderlich, einer Endbearbeitung zur Erreichung der
gewünschten Geometrie unterzogen werden. Für die
Herstellung von Massenteilen können auch kontinuierlich
arbeitende Infiltrationsverfahren angewendet werden.
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Der
erfindungsgemäße Verbundwerkstoff kann als verschleißbeständiger
Werkstoff für Anwendungen eingesetzt werden, bei denen
eine hohe Wärmeleitfähigkeit, eine gute Temperaturwechselbeständigkeit
und eine hohe elektrische Leitfähigkeit wichtig sind. Spezielle
Anwendungen sind beispielsweise Stromkontaktbeläge und
Stromschienen, die einer Beanspruchung durch Lichtbogenabbrand und/oder
einer Reibbeanspruchung ausgesetzt sind, wie beispielsweise bewegliche
Stromabnehmer für Bahn-Oberleitungen, Schleifkontakte bei
U-Bahnen etc. Eine weitere Verwendung betrifft die Herstellung von
verschleißbeständigen, nicht funkenreißenden Werkzeugen.
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Beispiele und Vergleichsbeispiele
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Die
nachfolgenden Beispiele und Vergleichsbeispiele dienen zur weiteren
Erläuterung der Erfindung.
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Beispiel 1
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970
Gramm TiB2-Pulver (Korngröße
d50 = 12,5 μm, Hersteller ESK Ceramics
GmbH & Co KG) werden
mit 30 Gramm Carbonyleisen (Typ CM, Hersteller BASF Aktiengesellschaft)
mit Ethanol innig gemischt. Als Binder und Gleitmittel werden 2
Gew.-% PVA (Polyvinylalkohol) zugesetzt. Die Suspension wird durch
Sprühtrocknung granuliert. Das Sprühgranulat wird
in einer mechanischen Presse (DORST TPA 15) mit einem Druck von
1200 bar zu Platten der Größe 50 × 50 × 10
mm3 verpresst. Die so genannte Gründichte
der Platten liegt bei 68% th. D (bezogen auf die theoretische Dichte
von 4,58 g/cm3 für eine Zusammensetzung
von 97 Gew.-% TiB2 + 3 Gew.-% Fe).
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Die
Platten werden bei 350°C entbindert und anschließend
bei 1650°C/30 Minuten unter Argon gesintert. Dabei steigt
die Dichte geringfügig von 68% th. D auf 72% th. D. an
(Absolutwert 3,3 g/cm3).
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Die
porösen Sinterkörper werden in einen Tiegel aus
Bornitrid (BN, Hersteller ESK Ceramics GmbH & Co KG) gestellt, mit Kupfergranulat
(Lieferant: ALFA/Johnson Mattthey GmbH, Kupfer 99,999%, „Powder, –100
mesh”) umgeben, mit einem Deckel verschlossen, um die Abdampfverluste
des Kupfers möglichst gering zu halten und bei 1600°C infiltriert.
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Nach
dem Infiltrationsprozess werden die Platten von überschüssigem,
aussen anhaftenden Kupfer befreit und entsprechende Prüfkörper
für die Untersuchung der Eigenschaften hergestellt.
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Die
Dichte der erfindungsgemäß hergestellten Platten
beträgt nun 5,64 g/cm3 entsprechend
98% th. D., bezogen auf die theoretische Gesamtdichte von 5,752
g/cm3 (für eine Zusammensetzung
von 72 Vol.-% TiB2 (+3 Gew.-% Fe) + 28 Vol.-%
Kupfer).
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Im
Schliffbild erkennt man keine Überreste der ehemals vorhandenen
Fe-haltigen Sinterbrücken bzw. Sinterhälse zwischen
den TiB2-Kristalliten. Diese haben sich
offensichtlich während des Infiltrationsprozesses weitgehend
aufgelöst und den kapillaren Weg für das infiltrierende
Kupfer frei gemacht. Überraschenderweise wachsen die TiB2-Kristalle an den Kontaktstellen untereinander
vollständig zusammen und sind nicht durch Kupferfilme an
den Grenzflächen getrennt.
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Beispiel 2
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Zur
Herstellung eines TiB2-Kupfer-Werkstoffes
mit besonders hohem TiB2-Gehalt wird eine TiB2-Körnung mit einem speziellen bimodalen
Körnungsaufbau verwendet.
Grobfraktion: 60 Gew.-%
d99 = 800μm
Feinfraktion:
40 Gew.-% d99 = 37 μm, d50 = 6 μm
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Diese
Zusammensetzung zeichnet sich dadurch aus, dass aufgrund der bimodalen
Korngrößenverteilung eine besonders hohe Schütt-
und Pressdichte erreicht werden kann, wie sie mit marktüblichen
Pulvern, deren Partikelgrößen nicht bimodal verteilt
sind, nicht erreicht wird. Im vorliegenden Beispiel wurde eine Stampfdichte
von 3,25 g/cm3 gemessen, was 72% der theoretischen
Dichte von TiB2 (4,51 g/cm3)
entspricht.
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1,728
kg der groben Kornfraktion wurde zunächst mit 2 Gew.-%
alkohollöslichem Phenolharz und Ethanol in einer Kugelmühle
unter Verwendung von Hartgummikugeln gemischt und getrocknet, anschließend
in einem Sieb der Maschenweite 1 mm entagglomeriert.
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1,152
kg der feinen Pulverfraktion und 120 Gramm Carbonyleisen (= 4 Gew.-%
Fe bezogen auf Gesamt-TiB2) wurden mit 1,8
Gewichts-% Polyethylenglykol der Kettenlänge 600 (sog.
PEG 600) mit Ethanol in einer Kugelmühle unter Verwendung
von Hartgummikugeln gemischt und getrocknet, anschließend
in einem Sieb der Maschenweite 250 μm entagglomeriert.
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Die
grobe Kornfraktion wurde in einem EIRICH-Mischer (Hersteller Maschinenfabrik
Gustav Eirich GmbH & Co.
KG) vorgelegt und langsam unter Zugabe der feinen Kornfraktion aufbaugranuliert.
Zur Verbesserung des Granulationsvorganges wurde während
des Prozesses etwas Wasser (insgesamt etwa 150 Gramm = ca. 5 Gew.-%)
zugesprüht.
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Das
auf diese Weise rieselfähig gemachte Pulver wurde in PVC-Hüllen
der Größe Durchmesser 60 mm/Höhe 120
mm gefüllt. Durch isostaisches Pressen bei 1200 bar wurde
das Material auf 3,91 g/cm3 verdichtet.
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Durch
Grünbearbeitung auf der Drehmaschine wurde der etwas unregelmäßige
isostatisch gepresste Zylinder in eine geometrisch exakt zylindrische
Form gebracht. Dazu wurden PKD-Werkzeuge (PKD = polykristalliner
Diamant) verwendet.
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Der
Pressling wurde unter strömendem Argon bei Tmax = 350°C
entbindert; d. h. die organischen Bestandteile (Phenolharz + PEG)
wurden entfernt.
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Anschließend
wurde der Pressling bei 1600°C unter strömender
Argonatmosphäre für 1 Stunde gesintert. Nach dem
Sintern hatte der poröse Körper eine Dichte von
4,00 g/cm3, was etwa 87% th. D. oder 13
Vol.-% Porosität entspricht.
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Daraufhin
wurde der Zylinder bei 1600°C unter Vakuum mit Kupfer infiltriert
(analog Beispiel 1).
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Bei
der anschließenden metallografisch-physikalischen Untersuchung
zeigte sich, dass der Sinterkörper weniger als 0,5% Porosität
aufweist. Dies ist überraschend, da normalerweise bei einem
keramischen Körper, der 87% der theoretischen Dichte hat,
ein größerer Anteil der Porosität geschlossen vorliegt
und diese nicht mehr von der Metallschmelze gefüllt werden
kann.
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Auch
in diesem Beispiel zeigt sich, dass sich die beim Sintern gebildeten
eisenhaltigen TiB2-TiB2-Brücken
teilweise gelöst und anschließend wieder verbunden
haben.
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Beispiel 3
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970
Gramm TiB2-Pulver (Korngröße
d50 = 12,5 μm, Hersteller ESK Ceramics
GmbH & Co KG) werden
mit 30 Gramm rostfreiem Stahlpulver (Typ 321, Werkstoff-Nr. 1.4541,
Hersteller SANDVIK, Sandvik-Bezeichnung 8LR30) mit Wasser innnig
gemischt, Wachse und Gleitmittel gemäß bekannten Rezepturen
zugesetzt und durch Sprühtrocknung granuliert. Als wachsartiger
Binder werden 4 Gewichtsteile Polypropylenglykol (PPG, z. B. Pluriol 1500
von Zschimmer & Schwarz)
sowie 2 Gewichtsteile Polyethylenglykol (PEG 400) verwendet.
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Das
Sprühgranulat wird in einer mechanischen Presse (DORST
TPA 15) mit einem Druck von 1300 bar zu Platten der Größe
50 × 50 × 10 mm3 verpresst.
Die sogenannte Gründichte der Platten liegt bei 71% th.
D (bezogen auf die theoretische Dichte von 4,58 g/cm3 für
eine Zusammensetzung von 97 Gew.-% TiB2 +
3 Gew.-% Stahl.
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Die
Platten werden bei 350°C entbindert und anschließend
bei 1550°C/30 Minuten unter Argon gesintert. Dabei bleibt
die Dichte praktisch konstant, da keine Schwindung gemessen werden
konnte.
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Die
porösen Sinterkörper werden in einen Tiegel aus
Bornitrid (BN, Hersteller ESK Ceramics GmbH & Co KG) gestellt, mit Kupfergranulat
(Lieferant: ALFA/Johnson Mattthey GmbH, Kupfer 99,999%, Powder, –100
mesh) umgeben, mit einem Deckel verschlossen, um die Abdampfverluste
des Kupfers möglichst gering zu halten und bei 1600°C infiltriert.
Nach dem Infiltrationsprozess werden die Platten von überschüssigem,
aussen anhaftenden Kupfer befreit und entsprechende Prüfkörper
für die Untersuchung der Eigenschaften hergestellt.
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Die
Dichte der erfindungsgemäß hergestellten Platten
beträgt nun 5,723 g/cm3 entsprechend 99,5%
th. D., bezogen auf die theoretische Gesamtdichte von 5,752 g/cm3 (für eine Zusammensetzung von
72 Vol.-% TiB2 (+3 Gew.-% Stahl) + 28 Vol.-% Kupfer).
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Beispiel 4
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Zur
Erzielung eines Werkstoffs mit besonders guter elektrischer Leitfähigkeit
wird der TiB2-Vorformkörper unter
Verwendung von Silber als Hilfsmetall hergestellt, der später
mit Kupfer infiltriert wird.
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800
Gramm TiB2 (d50 =
18 μm, Hersteller ESK Ceramics GmbH & Co. KG) werden mit 200 Gramm Ag-Granulat
(Hersteller/Lieferant: GOODFELLOW GmbH, kugelförmiges 3
mm-Granulat) trocken auf einem Rollenbock gemischt und homogenisiert.
Als Mahlköper werden Hartmetallkugeln mit einem Durchmesser
von ca. 8 mm und einem spezifischen Gewicht von 14,5 g/cm3 verwendet. Aufgrund der Duktilität
des Silbers und der Härte des TiB2 wird bei
diesem Prozess nicht nur eine Homogenisierung der beiden Komponenten
erreicht, sondern eine „Aufplattierung” des TiB2 mit Silber. Nach dem Prozess sind die TiB2-Partikel mit einer dünnen Silber-Schicht überzogen.
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Das
Pulvergemisch kann jetzt ohne Zuhilfenahme weiterer Presshilfsmittel
in der Gesenkpresse oder Kaltisostatpresse geformt werden. Im vorliegenden
Beispiel wurden Platten mit Durchmesser 70 mm und einer Höhe
von 12 mm gepresst. Die geometrisch bestimmte Dichte ergibt 78%
der theoretischen Dichte.
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Der
Vorformkörper wird anschließend bei 1050°C
45 Minuten lang gesintert (bis 950°C, kurz unter dem Schmelzpunkt
von Silber, unter Vakuum 2 × 10–2 mbar,
dann unter Argon 0,9 bar absolut).
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Nach
der Vorsinterung ist der Vorformkörper leicht geschwunden
und weist eine Dichte von 4,42 g/cm3 auf,
was 83% der theoretischen Dichte entspricht.
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Der
Vorformkörper wird jetzt wie in den vorausgegangenen Beispielen
mit Kupfer infiltriert.
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Nach
der Infiltration ist der Formkörper porenfrei (Dichte > 99,8% th. D.). Im
Schliff zeigt sich ein dreiphasiges Gefüge: TiB2, Kupfer und Silber. Risse, die schon im
groben TiB2-Partikeln des Ausgangspulvers
vorhanden waren, sind vollständig mit flüssiger
Metallphase verfüllt worden.
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Vergleichsbeispiel 1
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Gemäß
US 4,617,053 wird ein handelsübliches
TiB
2-Pulver (Grade F/Hersteller H. C. Starck)
in einen leicht konischen Grafittiegel (Durchmesser 50 mm, Höhe
80 mm) auf dem Rütteltisch eingefüllt. Der Tiegel
wurde mit dem Pulver bei 2030°C unter Argon gesintert.
Anschließend wurde der vorgesinterte Körper aus
dem Tiegel entnommen und mit Kupfer infiltriert. Dazu wurde der
TiB
2-Körper in einen BN-Tiegel gestellt,
mit Kupfergranulat umgeben und in einem Ofen unter reduziertem Druck
(ca. 100 mbar) bei 1600°C infiltriert.
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Der
polierte Schnitt durch den so hergestellen Körper zeigt
eine deutliche Restporosität, die mittels digitaler Bildauswertung
zu ca. 18,4 Volumen-% ge messen wird. Dieses Ergebnis ist in guter Übereinstimmung
mit dem in der US-Patentschrift erwähnten Porengehalt von
20,6 Volumen-%.
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Es
zeigt sich, dass sich bei der Vorsinterung des TiB2-Körpers
abgeschlossene Porenräume gebildet haben, in die das Infiltrat
nicht eindringen kann.
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Vergleichsbeispiel 2
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Gemäß
US 5,933,701 (Example 1)
wurden 3 kg ZrB
2-Pulver (Hersteller ESK
Ceramics GmbH & Co.
KG) mit einer mittleren Partikelgröße (d
50-Wert) von 7,5 μm mit üblichen
Presshilfsmitteln gemischt und gefriergetrocknet und entagglomeriert.
In einer Gesenkpresse wurden unter Anwendung eines Druckes von 1200
bar geometrisch exakte Formkörper der Größe
30 × 30 × 12 mm gepresst. Anschließend wurden
die Körper in strömender Inergasatmoshäre entbindert.
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Zwei
Körper wurden auf einer Grafitunterlage bei 1600°C/1
Stunde Haltezeit/Argon strömend gesintert. Die dabei enstehenden
Formkörper hatten keine industriell verwendbare Festigkeit.
Die Sintertemperatur ist so gering, dass nur ein extrem empfindlicher,
bei der Handhabung zerbrechlicher Formkörper ensteht. Eine
Schwindung konnte nicht beobachtet werden.
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Ein
weiterer Sinterversuch bei 1700°C ergab ein tendenziell
gleiches Ergebnis. Eine Infiltration war somit nicht mehr möglich.
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Vergleichsbeispiel 3
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Vergleichsbeispiel
2 wurde wiederholt, jedoch wurde anstelle der in Beispiel 1 der
US 5,933,701 angegebenen
Sintertemperatur von 1600 bzw. 1700°C eine Sintertemperatur
von 1900°C gewählt. Diese Temperatur entspricht
der in Anspruch 41 angegebenen Maximaltemperatur. Bei dieser Sintertemperatur
trat eine Schwindung von ca. 8,5% (linear) ein. Bei der anschließenden
Infiltration mit Kupfer, welchem 3 Gew.-% Bor zulegiert waren (gemäß Spalte
3, Z. 40 bis 41, und Sp. 6, Z. 61 bis Sp. 7, Z. 5) wurde eine Dichte
von nur 92% th. D. erreicht. Im Gefügebild konnten geschlossene
Poren im ZrB
2 gefunden werden, in die kein
Kupfer eindringen konnte.
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Somit
zeigt sich, dass das in
US 5,933,701 dargestellte
Verfahren in dieser Ausführungsform nicht anwendbar ist.
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Vergleichbeispiel 4
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Gemäß
US 5,753,574 (Example, Sp.
5, Z. 13–47) wurden 262 Gramm ZrB
2-Pulver
(Hersteller ESK Ceramics GmbH & Co.
KG) mit einer mittleren Partikelgröße (d
50-Wert) von 7,5 μm bei 2150°C
und einem spezifischen Druck von 35 bar (Gesamtkraft = 14.250 N)
in einer Vakuumheißpresse (Typ 200/2050–2200–180,
Hersteller: KCE Rödental) heißgepresst. Die Pulvereinwaage
betrug 262 Gramm, nach dem Heißpressen wog die Platte 261,6 Gramm,
der Durchmesser der Platte war 72 mm und die Höhe der Platte
wurde zu 12 mm gemessen. Somit ergibt sich eine Dichte der Platte
von 88% th. D. (Dichte ZrB
2: 6,085 g/cm
3).
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Die
Platte wurde in einem gedeckelten Grafittiegel mit 100 Gramm Kupfergranulat
auf 1700°C erhitzt (Gasdruck ca. 300 mbar) und 4 Stunden
gehalten. Nach dem Erkalten wurde der Massenverlust der Infiltrationsbehandlung
zu 12,0 Gramm bestimmt, was allein dem Abdampfen von Kupfer zuzuschreiben
ist.
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Im
metallografischen Schliff sind ca. 4 Vol.-% Poren zu erkennen, die
im wesentlichen auf abgeschlossene Poren im ZrB2 zurückzuführen
sind. Ausserdem ist durch den Heißpressprozess bei der
hohen Temperatur die mittlere Korngröße des ZrB2 auf 15,7 μm angestiegen. Dieser
Zuwachs ist normalerweise unerwünscht.
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Vergleichsbeispiel 5
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Gemäß
US 5,753,574 (Sp. 6 Z. 66
bis Sp. 7 Z. 8) wurden 190 Gramm TiB
2-Pulver
(Hersteller ESK Ceramics GmbH & Co
KG) mit einer mittleren Partikelgroße (d
50-Wert)
von 8,6 μm bei 2050°C und einem spezifischen Druck
von 35 bar (Gesamtkraft = 14.250 N) in einer Vakuumheißpresse
(Typ 200/2050–2200–180, Hersteller: KCE Rödental) heißgepresst.
Nach dem Heißpressen hat die Platte eine Dichte von 86%
th. D.
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Die
TiB2-Platte wurde in einem gedeckelten Grafitiegel
mit 100 Gramm Kupfergranulat auf 1700°C erhitzt (Gasdruck
ca. 300 mbar) und 4,5 Stunden gehalten. Nach dem Erkalten wurde
der Massenverlust der Infiltrationsbehandlung zu 12,0 Gramm bestimmt,
was allein dem Abdampfen von Kupfer zuzuschreiben ist.
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Im
metallografischen Schliff sind ca. 6 Vol.-% Poren zu erkennen, die
im wesentlichen auf abgeschlossene Poren im TiB2 zurückzuführen
sind. Ausserdem ist durch den Heißpressprozess bei der
hohen Temperatur die mittlere Korngröße des TiB2 auf 13,4 μm angestiegen. Dieser
Zuwachs ist normalerweise unerwünscht.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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-
Zitierte Patentliteratur
-
- - US 4617053 [0008, 0015, 0024, 0025, 0080]
- - JP 01278975 A [0012]
- - WO 94/06585 [0014, 0026]
- - US 5753574 [0015, 0025, 0088, 0091]
- - US 5933701 [0017, 0083, 0086, 0087]
-
Zitierte Nicht-Patentliteratur
-
- - „Material
Properties of Titanium Diboride”, in: Journal of Research
of the National Institute of Standards and Technology, Volume 105,
Number 5, September-October 2000, Seite 711 [0009]