DE102007044208A1

DE102007044208A1 - Verbinder-Baugruppe, Verbinder vom Buchsentyp und Schnittstellenvorrichtung

Info

Publication number: DE102007044208A1
Application number: DE102007044208A
Authority: DE
Inventors: Shigeru Matsumura; Eiichiro Kawasaki Takemasa; Kazutaka Osawa; Hiroyuki Hama; Yuichiro Izumi
Original assignee: Tyco Electronics AMP KK; Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp; Tyco Electronics Japan GK
Priority date: 2006-09-22
Filing date: 2007-09-17
Publication date: 2008-04-03
Also published as: JP2008078048A; US7690944B2; US20080076298A1; JP4275163B2; KR20080027446A; TW200815778A; TWI336404B; CN101149395A; KR100941703B1; CN101149395B

Abstract

Eine Verbinder-Baugruppe zum elektrischen Verbinden elektrischer Kabel (7) mit einem Prüfkopf (4) weist auf mehrere Typen von kabelseitigen Verbindern (8), die jeweils an ein Ende des elektrischen Kabels (7) angeschlossen sind, und einen Zwischenverbinder (6), mit dem die mehreren Typen von kabelseitigen Verbindern (8) in einer lösbaren Weise verbunden sind, wobei der Zwischenverbinder (6) einen ersten Eingriffsteil (501) mit einer Form, mit der alle Typen von kabelseitigen Verbindern (8) in Eingriff gebracht werden können, und einen Ausgangsanschluss (602) hat, der geeignet ist, in Eingriff mit einem prüfkopfseitigen Verbinder (41) gebracht ikkarte des Prüfkopfes (4) verbunden ist.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verbinder-Baugruppe zum elektrischen Verbinden eines elektrischen Kabels mit einer Leiterplatte (engl.: "circuit board"), einen Verbinder vom Buchsentyp, der einen Teil dieser Verbinder-Baugruppe bildet, und eine Schnittstellenvorrichtung zum Einrichten von elektrischen Verbindungen zwischen einem Prüfkopf und zu prüfenden Bauelementen (engl.: "devices under test") in einer Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente.
Technischer Hintergrund
Im Herstellungsprozeß von Integrierter-Schaltkreis-Halbleiter-Bauelementen und anderen verschiedensten elektronischen Bauelementen (im folgenden auch als "IC-Bauelemente" bezeichnet) wird eine Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente verwendet, um Leistungen und Funktionen von IC-Bauelementen in dem auf einem Wafer gebildeten Zustand oder in einem Zustand mit Gehäuse zu prüfen.
Diese Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente verwendet eine Handhabungseinrichtung oder Sondierungseinrichtung, um IC-Bauelemente elektrisch mit einem Prüfkopf zu verbinden, und verwendet eine Prüfeinrichtung, um Prüfungen an ihnen auszuführen. Der Prüfkopf ist oben mit einer Schnittstellenvorrichtung versehen, um elektrische Verbindungen zwischen den IC-Bauelementen und dem Prüfkopf einzurichten (im folgenden einfach bezeichnet als ein "HiFix (High Fidelity Tester Access Fixture, Prüfeinrichtungszugangsbefestigung mit hoher Wiedergabetreue)" oder als eine "Waferhauptkarte").
Ein konventioneller HiFix 5', wie er in 22 gezeigt ist, ist an seinem obersten Abschnitt mit Sockelkarten 98 versehen, auf welchen Sockel 99 montiert sind, die eine große Anzahl von Kontaktstiften haben, die Eingangs-Ausgangs-Anschlüsse von IC-Bauelementen elektrisch kontaktieren, und ist an seinem untersten Abschnitt mit einer Verbindungskarte (engl.: "interconnec tion board") 6' versehen, die durch elektrische Kabel 7 elektrisch mit den Sockelkarten 98 verbunden ist. An die Verbindungskarte 6' sind die Enden der elektrischen Kabel 7 direkt angelötet. Der HiFix 5' ist durch diese Verbindungskarte 6' elektrisch mit dem Prüfkopf 4 verbunden.
Um die Prüfungen zu rationalisieren, ist ein HiFix mit einer großen Anzahl von (beispielsweise 32, 64 oder 128) Sockeln versehen. Außerdem sind mehrere elektrische Kabel aus jedem Sockel herausgeführt.
Aus diesem Grund müssen beim Herstellen eines HiFix mehrere tausend elektrische Kabel an die Verbindungskarte angelötet werden. Dies verbraucht enorme Arbeitskraft und erfordert erfahrene Arbeiter, und ist daher zu einem Grund für höhere Kosten bei einem HiFix geworden.
Um mit diesem Problem umzugehen, kann es als effektiv angesehen werden, von der Verbindungskarte zu einem lösbaren Verbindungsaufbau überzugehen. Jedoch umfassen die elektrischen Kabel, die die Sockelkarten und die Verbindungskarte elektrisch verbinden, beispielsweise Koaxialkabel zum Übertragen von Hochgeschwindigkeitssignalen, Einzelleitungen zum Zurverfügungstellen von Leistung oder zum Übertragen von Signalen geringer Geschwindigkeit und andere aus einer Vielzahl von Typen von Kabeln. Aus diesem Grund ist es notwendig, eine Vielzahl von Typen von Verbindern entsprechend allen Kabeln bereitzuhalten, und daher konnten die Kosten eines HiFix nicht ausreichend verringert werden.
Offenbarung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung hat zum Ziel, eine Verbinder-Baugruppe zur Verfügung zu stellen, die in der allgemeinen Anwendbarkeit überlegen ist.
Um das obige Ziel zu erreichen, wird gemäß der vorliegenden Erfindung eine Verbinder-Baugruppe zur Verfügung gestellt, welche mehrere Typen von kabelseitigen Verbindern aufweist, die jeweils an ein Ende von elektrischen Kabeln angeschlossen sind, und welche einen Zwischenverbinder aufweist, mit dem die mehreren Typen von kabelseitigen Verbindern lösbar verbunden sind, und wobei der Zwischenverbinder einen ersten Eingriffsteil hat, welcher eine Form hat, mit der alle Typen der kabelseitigen Verbinder in Eingriff gebracht werden können.
Bei der vorliegenden Erfindung ist der Zwischenverbinder mit einem ersten Eingriffsteil versehen, der eine Form hat, mit welcher die mehreren Typen von kabelseitigen Verbindern in Eingriff gebracht werden können. Aufgrunddessen können die mehreren Typen von Kabeln durch einen einzigen Typ eines Zwischenverbinders gehandhabt werden, und die Kosten der Schnittstellenvorrichtung können verringert werden.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, umfassen vorzugsweise die mehreren Typen von kabelseitigen Verbindern einen Koaxialverbinder, der an ein Ende eines Koaxialkabels angeschlossen ist, welches einen Mittelleiter und eine Masseleitung hat, und einen Einzelleitungsverbinder, der an ein Ende einer Einzelleitung angeschlossen ist, und der erste Eingriffsteil des Zwischenverbinders hat eine Form, mit welcher der Koaxialverbinder in Eingriff gebracht werden kann und der Einzelleitungsverbinder in Eingriff gebracht werden kann.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, hat der Zwischenverbinder vorzugsweise einen Verbinderkörper, der mit mehreren der ersten Eingriffsteile versehen ist.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, hat vorzugsweise das Koaxialkabel einen Mittelleiter und eine Masseleitung, der Koaxialverbinder hat einen Signalanschluß, mit dem der Mittelleiter elektrisch verbunden ist, und erste und zweite Masseanschlüsse, mit denen die Masseleitung elektrisch verbunden ist, und der Einzelleitungsverbinder hat erste bis dritte Einzelleitungsanschlüsse, mit denen drei Einzelleitungen elektrisch verbunden sind.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, hat vorzugsweise der erste Eingriffsteil erste bis dritte Ausgangsanschlüsse, wobei, wenn der Koaxialverbinder in Eingriff mit dem ersten Eingriffsteil ist, der Signalanschluß elektrisch mit dem ersten Ausgangsanschluß verbunden ist und die ersten und zweiten Masseanschlüsse elektrisch mit den zweiten und dritten Ausgangsanschlüssen verbunden sind, und, wenn der Einzelleitungs verbinder in Eingriff mit dem ersten Eingriffsteil ist, die ersten bis dritten Einzelleitungsanschlüsse elektrisch mit den ersten bis dritten Ausgangsanschlüssen verbunden sind.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, hat vorzugsweise der erste Eingriffsteil eine Verriegelungseinrichtung, die den in Eingriff mit dem ersten Eingriffsteil stehenden Koaxialverbinder oder Einzelleitungsverbinder befestigt, und der Koaxialverbinder und der Einzelleitungsverbinder haben einen Eingriffsvorsprung für ein Eingreifen der Verriegelungseinrichtung.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, hat vorzugsweise der Verbinderkörper des Zwischenverbinders einen zweiten Eingriffsteil, mit welchem ein kartenseitiger Verbinder, der elektrisch mit einer Leiterplatte verbunden ist, in Eingriff gebracht werden kann.
Weiter ist der Verbinder vom Buchsentyp der vorliegenden Erfindung ein Verbinder vom Buchsentyp, der geeignet ist, entweder einen Koaxialkabelverbinder vom Steckertyp, mit welchem ein Koaxialkabel verbunden ist, oder einen Einzelleitungsverbinder vom Steckertyp, mit welchem mehrere Einzelleitungen verbunden sind, aufzunehmen. Dieser Verbinder vom Buchsentyp (im folgenden einfach als eine "Buchse" bezeichnet) weist eine erste Gruppe von Kontakten zur elektrischen Verbindung mit einem Koaxialkabelverbinder vom Steckertyp (im folgenden einfach bezeichnet als ein "Koaxialkabelstecker") und eine zweite Gruppe von Kontakten zur elektrischen Verbindung mit einem Einzelleitungsverbinder vom Steckertyp (im folgenden einfach bezeichnet als ein "Einzelleitungsstecker") auf. Die erste Gruppe von Kontakten umfaßt einen ersten Signalkontakt und ein Paar von Massekontakten, die symmetrisch um den ersten Signalkontakt positioniert sind. Weiter umfaßt die zweite Gruppe von Kontakten den ersten Signalkontakt und ein Paar von zweiten Signalkontakten, die an zwei Punkten positioniert sind, welche sich in einem gleichen Abstand von dem ersten Signalkontakt befinden. Weiter weist die Buchse der vorliegenden Erfindung ein isolierendes Gehäuse zum Halten der ersten Gruppe von Kontakten und der zweiten Gruppe von Kontakten auf. Weiter sind bei der Buchse der vorliegenden Erfindung die zweiten Signalkontakte der zweiten Gruppe von Kontakten auf einer Seite einer Linie angeord net, die das Paar der Massekontakte verbindet, betrachtet von der Eingriffsseite.
Die Eignung, entweder einen Koaxialkabelstecker oder einen Einzelleitungsstecker aufzunehmen, bedeutet hier die Eignung einer Eingriffsausnehmung, entweder einen Koaxialkabelstecker oder einen Einzelleitungsstecker aufzunehmen. Eine Form, bei der eine Eingriffsausnehmung zum Aufnehmen eines Koaxialkabelsteckers und eine Eingriffsausnehmung zum Aufnehmen eines Einzelleitungssteckers separat vorgesehen sind, ist ausgeschlossen. Bei der vorliegenden Erfindung kann eine Eingriffsausnehmung durch das isolierende Gehäuse gebildet werden. Durch Anordnen der ersten Gruppe von Kontakten und der zweiten Kontakten in jeder Eingriffsausnehmung kann eine Eingriffsausnehmung entweder einen Koaxialkabelstecker oder einen Einzelleitungsstecker aufnehmen.
Die Buchse der vorliegenden Erfindung ermöglicht es, indem der obige Aufbau eingesetzt wird, daß der erste Signalkontakt der ersten Gruppe von Kontakten auch als ein Signalkontakt in der zweiten Gruppe von Kontakten dient. Das heißt, bei der Buchse der vorliegenden Erfindung teilen sich die erste Gruppe von Kontakten und die zweite Gruppe von Kontakten einen Signalkontakt, da ein Element des Aufbaus geeignet ist, entweder einen Koaxialkabelstecker oder einen Einzelleitungsstecker mittels einer Eingriffsausnehmung aufzunehmen. Indem die Anzahl der Kontakte auf diese Weise verringert wird, ist es möglich, die von den Signalkontakten in der Eingriffsausnehmung belegte Fläche zu verringern. Dies bedeutet, daß die Kontakte bei einer höheren Dichte in der Eingriffsausnehmung angeordnet werden können, und, wenn eine große Anzahl von Kontakteinheiten angeordnet werden, die aus der ersten Gruppe von Kontakten und der zweiten Gruppe von Kontakten bestehen, ergibt sich der Vorteil, daß der Gesamtaufbau kompakter gestaltet werden kann. Indem die erste Gruppe der Kontakte und die zweite Gruppe der Kontakte sich einen Signalkontakt teilen, ergibt sich weiter der Vorteil, daß es möglich ist, die externen Verbindungskontakte, die mit dem Signalkontakt verbunden sind, als einen einzigen Kontakt zu gestalten. Diese Tatsache trägt auch zu einer größeren Kompaktheit der Buchse bei.
Weiter ist in der dem Koaxialkabelstecker entsprechenden ersten Gruppe von Kontakten das Paar der Massekontakte an um den ersten Signalkontakt sym metrischen Positionen angeordnet. In der ersten Gruppe von Kontakten könnte das Paar der Massekontakte und der Signalkontakt auch an den Ecken eines gleichschenkligen Dreiecks angeordnet sein. Diese Anordnung wäre jedoch weit von einer koaxialen Struktur entfernt, so daß der Kennwiderstand nicht mit einem Koaxialkabel abgestimmt werden könnte. Daher ist, um eine pseudokoaxiale Struktur zu realisieren, das Paar der Massekontakte an Positionen angeordnet, die symmetrisch in Bezug auf den ersten Signalkontakt sind. Als eine pseudokoaxiale Struktur kann das Paar der Massekontakte beispielsweise als parallele, plattenförmige Elemente gestaltet sein.
Die zweite Gruppe von Kontakten umfaßt zwei zweite Kontakte, die in gleichem Abstand von dem ersten Signalkontakt, der mit der ersten Gruppe von Kontakten geteilt wird, angeordnet sind. In der Buchse der vorliegenden Erfindung sind jedoch die zweiten Signalkontakte der zweiten Gruppe von Kontakten auf einer Seite der Linie angeordnet, die das Paar der Massekontakte der ersten Gruppe von Kontakten verbindet. Somit sind in der zweiten Gruppe von Kontakten der erste Signalkontakt und das Paar von zweiten Kontakten an den Ecken eines gleichschenkligen Dreiecks angeordnet. Man beachte, daß, an welcher Seite sie anzuordnen sind, bestimmt wird nur unter Beurteilung von der Eingriffsseite.
Bei der Buchse der vorliegenden Erfindung haben der erste Signalkontakt und die zweiten Signalkontakte vorzugsweise dieselbe Form. Die drei Kontakte des Einzelleitungssteckers sind vorzugsweise untereinander von einer identischen Form, um die Anzahl der Teile zu verringern. Daher sind vorzugsweise der zu verbindende erste Signalkontakt und die zweiten Signalkontakte ebenfalls untereinander von derselben Form.
Hier müssen der erste Signalkontakt und das Paar von Massekontakten, die die erste Gruppe von Kontakten bilden, elektrisch voneinander isoliert sein. Der erste Signalkontakt und das Paar von zweiten Signalkontakten, die die zweite Gruppe von Kontakten bilden, müssen ebenfalls elektrisch voneinander isoliert sein. Jedoch können die Massekontakte der ersten Gruppe von Kontakten und die zweiten Signalkontakte der zweiten Gruppe von Kontakten elektrisch miteinander verbunden sein. Daher sind bei der Buchse der vorliegenden Erfindung die Massekontakte und die zweiten Signalkontakte, die auf derselben Seite des ersten Signalkontakts positioniert sind, vorzugsweise ein stückig gebildet. Verglichen damit, die Elemente unabhängig voneinander herzustellen, kann die Anzahl der Teile verringert werden, so daß die Kontakteinheit mit einer höheren Dichte aufgebaut werden kann. Aufgrund dieses Aufbaus kann, wie später beschrieben wird, die Masseschleifenstörung verringert werden. Weiter ist es durch einen Aufbau in dieser Weise möglich, die Anzahl von externen Verbindungskontakten für vier Kontakte auf zwei zu verringern. Kombiniert mit dem einen externen Verbindungskontakt durch Teilen des oben erwähnten Signalkontaktes wird eine Gesamtzahl von drei externen Verbindungskontakten ausreichend.
Die vorliegende Erfindung kann eine Buchse mehrere Kontakteinheiten aufweisen lassen, die aus der ersten Gruppe von Kontakten und der zweiten Gruppe von Kontakten bestehen. In diesem Fall sind die Kontakteinheiten vorzugsweise in einer Zickzackkonfiguration angeordnet. In derselben Weise wie ein Differentialübertragungsverbinder sind die Massekontakte und die Signalkontakte abwechselnd angeordnet. Im Ergebnis kann ein Abfall in den Hochfrequenzcharakteristiken vermieden werden.
Die vorliegende Erfindung kann auch verstanden werden als eine Verbinder-Baugruppe, die eine Buchse aufweist, die geeignet ist, entweder einen Koaxialkabelstecker oder einen Einzelleitungsstecker aufzunehmen, und den Koaxialkabelstecker oder den Einzelleitungsstecker, der elektrisch mit der Buchse verbunden ist. Diese Buchse kann jede der oben erwähnten Konfigurationen verwenden.
Weiter wird gemäß der vorliegenden Erfindung, um das obige Ziel zu erreichen, eine Schnittstellenvorrichtung zur Verfügung gestellt, die an einem Prüfkopf montiert ist, zum Prüfen eines zu prüfenden Bauelements und Einrichten einer elektrischen Verbindung zwischen dem zu prüfenden Bauelement und dem Prüfkopf, wobei die Schnittstellenvorrichtung die obige Verbinder-Baugruppe aufweist, der Zwischenverbinder in der Schnittstellenvorrichtung an einer Position vorgesehen ist, die an den Prüfkopf angrenzt, das andere Ende des elektrischen Kabels elektrisch verbunden ist mit einer Meßkarte, die das zu prüfende Bauelement elektrisch kontaktiert, und der kartenseitige Verbinder elektrisch mit dem Prüfkopf verbunden ist.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, hat der Zwischenverbinder vorzugsweise mehrere der ersten Eingriffsteile und hat mehrere der zweiten Eingriffsteile.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, ist vorzugsweise die Schnittstellenvorrichtung mit mehreren der Zwischenverbinder versehen.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, hat vorzugsweise der Zwischenverbinder einen Positionierungsstift, der in Richtung auf den prüfkopfseitigen Verbinder vorsteht, und der prüfkopfseitige Verbinder hat ein Positionierungsloch, das dem Positionierungsstift gegenüberliegt.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, ist vorzugsweise das zu prüfende Bauelement ein Halbleiterbauelement im Gehäuse, und die Meßkarte ist eine Sockelkarte, auf der ein Sockel für elektrischen Kontakt mit dem Halbleiterbauelement montiert ist.
Obwohl es bei der Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist, ist vorzugsweise das zu prüfende Bauelement ein Halbleiterbauelement, welches auf einem Wafer gebildet ist, und die Meßkarte ist eine Prüfkarte, auf der Prüfnadeln für elektrischen Kontakt mit dem Halbleiterbauelement montiert sind.
Um das obige Ziel zu erreichen, wird gemäß der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente zum Prüfen eines zu prüfenden Bauelements zur Verfügung gestellt, wobei die Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente einen Prüfkopf aufweist, der zum Zeitpunkt der Prüfung elektrisch mit dem zu prüfenden Bauelement verbunden ist, und die Schnittstellenvorrichtung elektrisch mit dem zu prüfenden Bauelement verbunden ist, an dem Prüfkopf montiert ist und eine elektrische Verbindung zwischen dem zu prüfenden Bauelement und dem Prüfkopf einrichtet.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine gesamte Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
2 ist eine schematische Querschnittsansicht entlang der Linie II-II aus 1.
3 ist eine Rückansicht der in 1 gezeigten Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente.
4 ist eine Querschnittsansicht, die einen HiFix und einen Prüfkopf gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.
5 ist eine Draufsicht eines HiFix gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, betrachtet von der Unterseite.
6 ist eine Querschnittsansicht, die einen bauelementseitigen Verbinder, einen Zwischenverbinder und einen prüfkopfseitigen Verbinder in der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
7 ist eine Draufsicht von oben, die einen Zwischenverbinder in der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
8 ist eine perspektivische Ansicht aus der Richtung der Unterseite einer Buchse gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
9 ist eine perspektivische Teilansicht, die ein unteres Gehäuse einer Buchse gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
10 ist eine perspektivische Teilansicht aus der planaren Richtung einer Buchse gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
11 ist eine perspektivische Ansicht, die ein für eine Buchse gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendetes Kontaktelement zeigt.
12 ist eine perspektivische Ansicht, die ein für eine Buchse gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendetes Kontaktelement zeigt.
13 ist eine Darstellung, die die Anordnung von Kontakten einer Buchse gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
14 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Koaxialkabelstecker zeigt, der mit einer Buchse gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Eingriff zu bringen ist.
15 ist eine perspektivische Ansicht, die Hauptbestandteile des in 14 gezeigten Koaxialkabelsteckers zeigt.
16 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Einzelleitungsstecker zeigt, der mit einer Buchse gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Eingriff zu bringen ist.
17 ist eine perspektivische Ansicht, die Hauptbestandteile des in 16 gezeigten Einzelleitungssteckers zeigt.
18 ist eine perspektivische Teilansicht eines bauelementseitigen Verbinders, eines Zwischenverbinders und eines prüfkopfseitigen Verbinders in der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
19 ist eine Querschnittsansicht, die einen HiFix und einen Prüfkopf gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
20 ist eine Querschnittsansicht, die einen HiFix und einen Prüfkopf gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
21 ist eine Querschnittsansicht, die eine Waferhauptkarte und einen Prüfkopf gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
22 ist eine Querschnittsansicht, die einen konventionellen HiFix und einen Prüfkopf zeigt.
Beste Form, um die Erfindung auszuführen
Weiter unten werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung basierend auf den Zeichnungen erläutert werden.
Erste Ausführungsform
1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine vollständige Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, 2 ist eine schematische Querschnittsansicht entlang der Linie II-II aus 1, und 3 ist eine Rückansicht der in 1 gezeigten Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente. Zunächst wird der Gesamtaufbau einer Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Ausführungsform kurz unter Bezugnahme auf 1 bis 3 erläutert werden.
Die Prüfvorrichtung 1 für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist, wie in 1 und 2 gezeigt, eine Handhabungseinrichtung 10 zum Handhaben von zu prüfenden IC-Bauelementen, einen Prüfkopf 4, mit dem zu prüfende IC-Bauelemente elektrisch verbunden werden, und eine Prüfeinrichtung 3 zum Senden von Prüfsignalen an diesen Prüfkopf 4 auf, um Prüfungen an den zu prüfenden IC-Bauelementen auszuführen.
Die Handhabungseinrichtung 10 ist eine Vorrichtung, um dem Prüfkopf 4 IC-Bauelemente in den Zustand zuzuführen, bei dem die zu prüfenden IC-Bauelemente thermischer Belastung durch hohe Temperatur oder niedrige Temperatur ausgesetzt sind, und um die IC-Bauelemente basierend auf den Prüfergebnissen zu klassifizieren, nachdem die Prüfungen abgeschlossen sind, und weist eine Speichereinheit 200, eine Ladeeinheit 300, eine Kammereinheit 100 und eine Entladeeinheit 400 auf.
Kundentablare, die eine große Anzahl von zu prüfenden IC-Bauelementen halten, werden in der Speichereinheit 200 gespeichert. In der Ladeeinheit 300 werden IC-Bauelemente vor der Prüfung (engl.: "pre-test IC devices") von einem solchen Kundentablar auf ein Prüfungstablar (ein Tablar, das innerhalb der Handhabungseinrichtung 10 umläuft) umgeladen, und dann wird das Prüfungstablar in die Kammereinheit 100 befördert. In der Kammereinheit 100 wird auf die IC-Bauelemente eine vorbestimmte thermische Belastung ausgeübt, dann werden die IC-Bauelemente gegen den Prüfkopf 4 in dem auf dem Prüfungstablar getragenen Zustand gedrückt, die IC-Bauelemente werden elektrisch in Kontakt mit den Sockeln 99 gebracht, und die IC-Bauelemente werden geprüft. Die IC-Bauelemente nach der Prüfung (engl.: "posttest IC devices") werden von der Kammereinheit 100 zu einer Entladeeinheit 400 befördert und werden gemäß den Prüfungsergebnissen auf Kundentablare umgeladen. Man beachte, daß Teilen, die denjenigen des herkömmlichen HiFix ähnlich sind, dieselben Bezugszeichen zugeordnet sind.
Die Speichereinheit 200 ist versehen mit Lagerern 201 für ICs vor der Prüfung zum Speichern von Kundentablaren, die sich vor der Prüfung befindende IC-Bauelemente halten, und mit Lagerern 202 für ICs nach der Prüfung, die Kundentablare speichern, welche IC-Bauelemente halten, die gemäß den Prüfungsergebnissen klassifiziert sind.
Die Lagerer 201 für ICs vor der Prüfung und die Lagerer 202 für ICs nach der Prüfung haben Tablarträgerrahmen 203 und Aufzüge 204, die in der Lage sind, in den Tablarträgerrahmen 203 aufzusteigen und abzusteigen. Die Tablarträgerrahmen 203 tragen mehrere nicht gezeigte, gemeinsam aufgestapelte Kundentablare. Diese Kundentablare sind in der Lage, sich mittels der Aufzüge 204 nach oben und unten zu bewegen.
Die Lagerer 201 für ICs vor der Prüfung halten Stapel von Kundentablaren, welche IC-Bauelemente vor der Prüfung halten. Im Gegensatz dazu halten die Lagerer 202 für ICs nach der Prüfung Stapel von Kundentablaren, welche IC-Bauelemente nach der Prüfung halten, die gemäß den Prüfungsergebnissen gespeichert sind.
Die in den Lagerern 201 für ICs vor der Prüfung gespeicherten Kundentablare werden in die Ladeeinheit 300 transportiert. In dieser Ladeeinheit 300 werden IC-Bauelemente vor der Prüfung von den Kundentablaren auf Prüfungstablare umgeladen.
Die Ladeeinheit 300 ist mit einem XY-Fördersystem 304 versehen, welches zu prüfende IC-Bauelemente von den Kundentablaren auf die Prüfungstablare umlädt. Dieses XY-Fördersystem 304 ist, wie in 1 gezeigt, mit zwei Schienen 301 versehen, die über ein Hauptgestell 105 verlaufen, mit einem bewegbaren Arm 302, der sich entlang dieser zwei Schienen 301 zurück und vorwärts zwischen den Kundentablaren und den Prüfungstablaren bewegen kann (diese Richtung ist als die Y-Richtung definiert), und mit einem bewegbaren Kopf 303, der an diesem bewegbaren Arm 302 gehalten und in der Lage ist, sich entlang des bewegbaren Arms 302 in der X-Richtung zu bewegen.
Der bewegbare Kopf 303 dieses XY-Fördersystems 304 hat Aufnahmeköpfe, die in der Lage sind, zu prüfende IC-Bauelemente aufzunehmen und zu halten. Zum Beispiel sind an dem bewegbaren Kopf 303 acht Aufnahmeköpfe montiert, und er kann acht zu prüfende IC-Bauelemente zugleich von Kundentablaren auf Prüfungstablare umladen.
In dem Hauptgestell 105 der Ladeeinheit 300 ist ein Paar von Fenstern 306, 306 gebildet, so daß zu der Ladeeinheit 300 transportierte Kundentablare sich der Oberseite des Hauptgestells 105 nähern können. Obwohl die Darstellung unterblieben ist, ist jedes Fenster 306 mit Haltehaken zum Halten eines Kundentablars versehen, und ein Kundentablar wird an einer Position gehalten, bei der die Oberseite des Kundentablars sich der Oberseite des Hauptgestells 105 durch das Fenster 306 nähert.
Weiter ist unterhalb jedes Fensters 306 ein Aufzugtisch zum Anheben und Absenken eines Kundentablares vorgesehen. Dieser Aufzugtisch senkt ein durch Entladen von IC-Bauelementen vor der Prüfung geleertes Kundentablar ab und überführt es an den Tablartransportarm 205.
Die Kammereinheit 100 umfaßt einen Tank 101 mit konstanter Temperatur zum Ausüben der gewünschten thermischen Belastung durch hohe Temperatur oder niedrige Temperatur auf die zu prüfenden IC-Bauelemente, die auf ein Prüfungstablar geladen sind, eine Prüfungskammer 102, die die zu prüfenden IC-Bauelemente in einem Zustand unter Temperaturbelastung in die sem Tank 101 mit konstanter Temperatur an den Prüfkopf 4 drückt, und einen Tank 103 zum Abbauen der thermischen Belastung, welcher die ausgeübte thermische Belastung der IC-Bauelemente nach der Prüfung abbaut.
Wenn in dem Tank 101 mit konstanter Temperatur eine hohe Temperatur angewandt wird, wird in dem Tank 103 zum Abbau der thermischen Belastung Luft gegen die zu prüfenden IC-Bauelemente geblasen, um sie abzukühlen und auf Raumtemperatur zurückzubringen. Andererseits werden, wenn der Tank 101 mit konstanter Temperatur verwendet wird, um eine niedrige Temperatur von beispielsweise ungefähr –30° C anzuwenden, in dem Tank 103 zum Abbauen der thermischen Belastung die zu prüfenden IC-Bauelemente durch heiße Luft oder eine Heizung, etc. beheizt, um sie auf eine Temperatur von einer Höhe zu bringen, bei der keine Kondensation auftreten wird. Weiter werden die zu prüfenden IC-Bauelemente, deren Belastung abgebaut wurde, zu der Entladeeinheit 400 befördert.
Wie in 2 und 3 gezeigt, ist in der Basiseinheit 11 der Handhabungseinrichtung 10, welche die Unterseite der Prüfungskammer 102 bildet, im wesentlichen in ihrer Mitte eine Öffnung 11a gebildet. In der Öffnung 11a ist ein oben auf dem Prüfkopf 4 montierter HiFix 5A verbunden.
Wenn ein Prüfungstablar zu den Sockeln 99 an diesem HiFix 5A transportiert wird, drückt ein Z-axiales Antriebssystem (nicht gezeigt) die sich in der Prüfung befindenden IC-Bauelemente mittels eines Drückers (nicht gezeigt) an den HiFix 5, damit die Eingangs-/Ausgangs-Anschlüsse der großen Anzahl von zu prüfenden IC-Bauelementen auf dem Prüfungstablar die Kontaktstifte der Sockel 99 elektrisch kontaktieren. Weiter sendet die Prüfeinrichtung 3 Prüfsignale über den Prüfkopf 4 an die zu prüfenden IC-Bauelemente und führt Prüfungen an den zu prüfenden IC-Bauelementen durch. Die Ergebnisse der Prüfungen werden an Adressen gespeichert, die beispielsweise bestimmt sind durch die dem Prüfungstablar zugeordnete Identifizierungsnummer und die Nummern der zugeordneten zu prüfenden IC-Bauelemente innerhalb des Prüftablars. Ein Prüfungstablar, dessen Prüfung abgeschlossen ist, wird zu der Entladeeinheit 400 befördert, nachdem die Temperaturen der IC-Bauelemente in dem Tank 103 zum Abbau der thermischen Belastung auf Raumtemperatur zurückgegangen sind.
Die Entladeeinheit 400 ist ebenfalls mit einem XY-Fördersystem 404 desselben Aufbaus wie das an der Ladeeinheit 300 vorgesehene XY-Fördersystem 304 ausgestattet. Dieses XY-Fördersystem 404 wird verwendet, um IC-Bauelemente nach der Prüfung von einem Prüfungstablar, welches zu der Entladeeinheit 400 gefördert wurde, auf die Kundentablare umzuladen.
Das Hauptgestell 105 der Entladeeinheit 400 ist mit zwei Paaren von Fenstern 406, 406 versehen, die derart angeordnet sind, daß zu der Entladeeinheit 400 transportierte Kundentablare sich der Oberseite des Hauptgestells 105 nähern können. Obwohl die Darstellung unterlassen werden wird, ist jedes Fenster 406 mit Haltehaken zum Halten eines Kundentablars versehen, und ein Kundentablar wird an einer Position gehalten, bei der die Oberseite des Kundentablars sich der Oberseite des Hauptgestells 105 durch die Fenster 406 nähert.
Weiter ist unterhalb jedes Fensters 406 ein Aufzugtisch zum Anheben und Absenken eines Kundentablars vorgesehen. Dieser Aufzugtisch senkt ein mit IC-Bauelementen nach der Prüfung gefülltes Kundentablar ab und überführt sie an den Tablartransportarm 205.
Wie in 1 gezeigt, ist die Speichereinheit 200 mit einem Tablartransportarm 205 ausgestattet, der in der Lage ist, sich über die Lagerer 201, 202 zu bewegen. Dieser Tablartransportarm 205 kann Kundentablare zwischen der Ladeeinheit 300, der Entladeeinheit 400 und den Lagerern 201, 202 transportieren.
4 ist eine Querschnittsansicht, die einen HiFix und einen Prüfkopf gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt, 5 ist eine Draufsicht eines HiFix gemäß der vorliegenden Ausführungsform in der Ansicht von unten, 6 ist eine Querschnittsansicht, die einen bauelementseitigen Verbinder, einen Zwischenverbinder und einen prüfkopfseitigen Verbinder in der vorliegenden Ausführungsform zeigt, und 7 ist eine Draufsicht von oben, die einen Zwischenverbinder in der vorliegenden Ausführungsform zeigt.
Der HiFix 5A gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie in 4 gezeigt, ist ein SBC-Typ (Socket Board Change, Sockelkartenwechsel) eines HiFix, der es ermöglicht, einen Wechsel der Art der zu prüfenden IC-Bauelemente hand zuhaben, indem nur die Sockelkarten 98 des obersten Abschnitts austauscht werden. Dieser HiFix 5A ist, wie in der Zeichnung gezeigt, oben auf dem Prüfkopf 4 mittels prüfkopfseitiger Verbinder 41 (kartenseitiger Verbinder), welche oben auf dem Prüfkopf 4 vorgesehen sind, und Zwischenverbindern (Buchsen) 6 montiert.
Der HiFix 5A hat, wie in 5 gezeigt, mehrere (28 in dem in 5 gezeigten Beispiel) Zwischenverbinder 6. Diese Zwischenverbinder 6 sind am untersten Abschnitt des HiFix 5A positioniert und sind, in dem Zustand einer im wesentlichen parallelen Anordnung entlang der Richtung der Tiefe des HiFix 5A, an einem rahmenförmigen Gestell 52 befestigt.
Jeder Zwischenverbinder 6 hat ein stabförmiges Gehäuse 61 mit im wesentlichen quadratischem Querschnitt, das aus einem isolierenden Material hergestellt ist, wie in 6 und 7 gezeigt ist. In der oberen Oberfläche des Gehäuses 61 jedes Zwischenverbinders 6 sind mehrere Eingriffsöffnungen 601 gebildet, mit denen ein bauelementseitiger Verbinder 8, der an ein Ende eines elektrischen Kabels 7 angeschlossen ist, in Eingriff gebracht werden kann. In der vorliegenden Ausführungsform sind mehrere Eingriffsöffnungen 601 in zwei Reihen entlang der Richtung der Tiefe des HiFix 5A angeordnet.
Indem mehrere Eingriffsöffnungen 601 an einem einzigen Zwischenverbinder 6 gebildet sind, ist es möglich, die Anzahl der an dem Gestell 52 befestigten Zwischenverbinder 6 zu verringern, so daß die Arbeitseffizienz beim Befestigen der Zwischenverbinder 6 an dem Gestell 52 des HiFix 5A verbessert wird. Weiter wird auch die Arbeitseffizienz zum Zeitpunkt einer Wartung der Zwischenverbinder 6 verbessert.
Weiter wird es durch Unterteilen der Zwischenverbinder 6 in mehrere Teile (28 in dem in 5 gezeigten Beispiel), verglichen mit dem Fall, alle Eingriffsöffnungen 601 in einem einzigen Zwischenverbinder zu bilden, möglich, nur die zu wartenden Zwischenverbinder abzunehmen, so daß die Arbeitseffizienz bei der Wartung der Zwischenverbinder 6 verbessert wird.
In der vorliegenden Ausführungsform sind, wie in 7 gezeigt, je Zwischenverbinder 6 mehrere Eingriffsöffnungen 601 in einer Zickzackkonfiguration in zwei Reihen entlang der gesamten Tiefe des HiFix 5A angeordnet. Man beach te, daß die Erfindung nicht besonders darauf beschränkt ist. So ist es beispielsweise ebenfalls möglich, die mehreren Eingriffsöffnungen 601 in einer einzigen Reihe oder in drei oder mehr Reihen entlang der gesamten Tiefe des HiFix 5A anzuordnen oder, beispielsweise, eine Anzahl von M × N Eingriffsöffnungen 601 in einer M-reihigen, N-spaltigen Matrix anzuordnen (wobei M und N beides natürliche Zahlen sind, von denen wenigstens eine 2 oder größer ist).
8 ist eine perspektivische Ansicht der Buchsen 6 in der vorliegenden Ausführungsform von unten gesehen. Wie in der Zeichnung gezeigt, weist das Gehäuse 61 der Buchse (Zwischenverbinder) 6 ein unteres Gehäuses 62 und ein oberes Gehäuses 63 auf. Die Buchse 6 kann entweder einen Koaxialkabelstecker aufnehmen, mit dem das Koaxialkabel verbunden ist, oder einen Einzelleitungsstecker, mit dem drei Einzelleitungen verbunden sind.
Die Kontakte der Buchse 6 werden gehalten, indem sie in einem Preßsitz in dem unteren Gehäuse 62 sitzen. Weiter ist das obere Gehäuse 63 mit Eingriffsausnehmungen 601 versehen, um Koaxialkabelstecker (Koaxialverbinder) 81 oder Einzelleitungsstecker (Einzelleitungsverbinder) 82 aufzunehmen.
9 ist eine perspektivische Teilansicht, die das Innere des unteren Gehäuses 62 zeigt, während 10 eine perspektivische Teilansicht der Buchse 6 aus Sicht von der Eingriffsseite ist.
Wie in 8 und 9 gezeigt ist, ist das untere Gehäuse 62 mit einem unteren Boden 621 und mit einer Seitenwand 622 versehen, die vom Randbereich des unteren Bodens 62 absteht und eine kastenförmige Form hat, bei der die dem unteren Boden 621 gegenüberliegende Seite offen ist. Weiter ist unter dem unteren Boden 621 des unteren Gehäuses 62 entlang der Längsrichtung des unteren Bodens 621 ein blockförmiger externer Verbindungskontakt-Halter 624 gebildet.
Das untere Gehäuse 62 hält Kontakte, welche Kontakteinheiten 64 bilden. Diese "Kontakteinheit 64" bedeutet eine Einheit eines Satzes mehrerer Kontakte, die zum Eingriff mit entweder einem Koaxialkabelstecker oder einem Einzelleitungsstecker benötigt werden. Eine Kontakteinheit 64 umfaßt eine Gesamtheit von fünf Kontakten aus einem ersten Signalkontakt 641 (643c), Massekontakten 642a, 642b und zweiten Signalkontakten 643a, 643b. Hier ist, während es im Detail weiter unten erläutert wird, der erste Signalkontakt 641 (643c) durch ein Kontaktelement 65 gebildet. Weiter sind der Massekontakt 642a und der zweite Signalkontakt 643a, und der Massekontakt 642b und der zweite Signalkontakt 643b durch einstückige Kontaktelemente 66 gebildet und sind identisch geformt. Somit bestehen die fünf Kontakte aus drei Kontaktelementen. Diese fünf Kontakte sind von einer Trennwand 623 umgeben, die von dem unteren Boden 621 bis zu einer vorbestimmten Höhe abstehend vorgesehen ist. Diese Kontakteinheit 64 kann, wie weiter unten erläutert wird, mit entweder einem Koaxialkabelstecker 81 oder einem Einzelleitungsstecker 82 in Eingriff stehen. Der Koaxialkabelstecker 81 ist elektrisch mit dem ersten Signalkontakt 641 und den Massekontakten 642a, 642b verbunden. Weiter ist der Einzelleitungsstecker 82 elektrisch mit dem ersten Signalkontakt 643c und den zweiten Signalkontakten 643a, 643b verbunden.
11 ist eine perspektivische Ansicht eines ersten Kontaktelements 65, das den ersten Signalkontakt 641 (643c) bildet. Das erste Kontaktelement 65 wird einstückig gebildet durch Stanzen und Biegeumformen eines Blechs.
Das erste Kontaktelement 65 ist an einem Ende mit einem Paar von federnden Kontaktarmen 651, 652 versehen, die einen ersten Signalkontakt 641 (643c) bilden. Die federnden Kontaktarme 651, 652 sind miteinander durch einen U-förmigen Verbindungsabschnitt 653 an ihren Basisabschnitten verbunden. Die federnden Kontaktarme 651, 652 haben aufeinander zu gebogene Abschnitte und bilden einen Kontakt vom Klammertyp. Durch Einsetzen eines entgegengesetzten Kontaktes zwischen den federnden Kontaktarmen 651, 652 werden der erste Signalkontakt 641 (643c) und der entgegengesetzte Kontakt elektrisch verbunden. Dieser entgegengesetzte Kontakt ist ein Signalkontakt des weiter unten erläuterten Koaxialkabelsteckers 81 oder ein Signalkontakt des weiter unten erläuterten Einzelleitungssteckers 82.
Es ist ein Verlängerungsabschnitt 654 von dem Verbindungsabschnitt 653 zu dem anderen Ende des ersten Kontaktelements 65 gebildet. Der Verlängerungsabschnitt 654 tritt durch den unteren Boden 621 des unteren Gehäuses 62 hindurch. Daher ist der untere Boden 621 mit einer Durchgangsöffnung gebildet, durch welche der Verlängerungsabschnitt 654 hindurchtritt. Ein Preßsitzabschnitt 655 ist zwischen dem Verbindungsabschnitt 653 und dem Verlängerungsabschnitt 654 gebildet. Dieser Preßsitzabschnitt 655 sitzt in einem Preßsitz in dieser Durchgangsöffnung. Der durch den unteren Boden 621 hindurchtretende Verlängerungsabschnitt 654 ist entlang des externen Verbindungskontakt-Halters 624 angeordnet. Ein Teil des Verlängerungsabschnitts 654 bildet einen externen Verbindungskontakt 644.
12 ist eine perspektivische Ansicht eines zweiten Kontaktelements 66, das den Massekontakt 642a (642b) und den zweiten Signalkontakt 643a (643b) bildet. Das zweite Kontaktelement 66 wird ebenfalls einstückig gebildet durch Stanzen und Biegeumformen eines Blechs.
Das zweite Kontaktelement 66 ist an einem Ende mit einem Paar federnder Kontaktarme 661, 662 versehen, die einen zweiten Signalkontakt 643a (643b) bilden. Die federnden Kontaktarme 661, 662 sind miteinander durch einen U-förmigen Verbindungsabschnitt 663 an ihren Basisabschnitten verbunden. Die federnden Kontaktarme 661, 662 haben aufeinander zu gebogene Abschnitte und bilden einen Kontakt vom Klammertyp. Durch Einsetzen eines entgegengesetzten Kontakts zwischen den federnden Kontaktarmen 661, 662 werden der zweite Signalkontakt 643a (643b) und der entgegengesetzte Kontakt elektrisch verbunden. Dieser entgegengesetzte Kontakt ist ein Signalkontakt des weiter unten erläuterten Einzelleitungssteckers 82. Man beachte, daß der zweite Signalkontakt 643a (643b) die gleiche Form hat wie der erste Signalkontakt 641 (643c). Dies entspricht den identischen Formen der drei Signalkontakte eines Einzelleitungssteckers 82.
Das zweite Kontaktelement 66 ist mit einem plattenförmigen Element 664 versehen. Das plattenförmige Element 664 bildet einen Massekontakt 642a (642b) in dem Zustand mit an dem unteren Gehäuse 62 gehaltenem zweiten Kontaktelement 66. Das plattenförmige Element 664 ist mit dem entgegengesetzten Kontakt elektrisch verbunden. Dieser entgegengesetzte Kontakt ist der Massekontakt 812 oder der Massekontakt 813 des weiter unten erläuterten Koaxialsteckers 81.
Wie in 12 gezeigt ist, sind die federnden Kontaktarme 661, 662 und das plattenförmige Element 664 einstückig gebildet. Somit sind der zweite Signalkontakt 643a (643b) und der Massekontakt 642a (642b) in der Buchse 6 elektrisch miteinander verbunden.
Es ist ein Verlängerungsabschnitt 665 von dem plattenförmigen Element 664 zu dem anderen Ende des zweiten Kontaktelements 66 gebildet. Der Verlängerungsabschnitt 665 tritt durch den unteren Boden 621 des unteren Gehäuses 62 hindurch. Daher ist der untere Boden 621 mit einer Durchgangsöffnung gebildet, durch welche der Verlängerungsabschnitt 665 hindurchtritt. Ein Preßsitzabschnitt 666 ist zwischen dem Verbindungsabschnitt 663 und dem Verlängerungsabschnitt 665 gebildet. Dieser Preßsitzabschnitt 666 wird in einen Preßsitz in dieser Durchgangsöffnung eingesetzt. Der durch den unteren Boden 621 hindurchtretende Verlängerungsabschnitt 665 ist entlang des externen Verbindungskontakt-Halters 624 angeordnet. Ein Teil des Verlängerungsabschnitts 665 bildet den externen Verbindungskontakt 645.
Wie aus 9, 11 und 12 deutlich wird, besteht die Kontakteinheit 64 aus einem ersten Kontaktelement 65 und zwei zweiten Kontaktelementen 66. Auf diese Weise ist die Kontakteinheit 64 aus zwei Typen von Kontaktelementen aufgebaut, so daß die Anzahl der die Buchse 6 bildenden Bauteile verringert werden kann. Somit können Kontakte in einer hohen Dichte in der Kontakteinheit 64 angeordnet werden, und die Buchse 6 kann als Ganzes einen kompakten Aufbau haben. Weiter trägt eine Verringerung der Anzahl der Bauteile auch zu einer Verringerung der Kosten bei.
Verlängerungsabschnitte 654 der ersten Kontaktelemente 65 und Verlängerungsabschnitte 665 der zweiten Kontaktelemente 66 treten jeweils durch den unteren Boden 621 des unteren Gehäuses 62 hindurch und sind entlang des externen Verbindungskontakt-Halters 624 angeordnet. Wie in 8 gezeigt ist, bilden die Verlängerungsabschnitte 654 der ersten Kontaktelemente 65 erste externe Verbindungskontakte 644. Weiter bilden die Verlängerungsabschnitte 665 der zweiten Kontaktelemente 66 zweite externe Verbindungskontakte 645. Jede Kontakteinheit 64 weist einen ersten externen Verbindungskontakt 644 und zwei zweite externe Verbindungskontakte 645 auf. Weiter ist jeder erste externe Verbindungskontakt 644 in der Mitte angeordnet, während zwei zweite externe Verbindungskontakte 645 an den beiden Seiten des ersten externen Verbindungskontaktes 644 angeordnet sind. Diese externen Verbindungskontakte 644, 645 und 645 bilden Ausgangsanschlüsse 602, die in Eingriff mit Eingriffsöffnungen 42 des prüfkopfseitigen Verbinders 41 stehen. Drei externe Verbindungskontakte entsprechend den fünf (insge samt sechs) Kontakten sind ausreichend, so daß die Buchsen 6 in dieser Längsrichtung kompakt geformt sind.
In 9 sind die ersten Signalkontakte 641 (643c) so angeordnet, daß die Kontaktabschnitte vom Klammertyp sich in der Richtung der Breite des Gehäuses 61 öffnen und schließen. Dasselbe gilt für die zweiten Signalkontakte 643a, 643b. Wenn die Kontaktabschnitte vom Klammertyp so konfiguriert sind, daß sie sich in der Längsrichtung des unteren Gehäuses 62 öffnen und schließen, muß die Ausdehnung des unteren Gehäuses 62 in der Längsrichtung vergrößert werden. Daher sind die Buchsen 6 mit den sich in Richtung der Breite des Gehäuses 61 öffnenden und schließenden Kontaktabschnitten vom Klammertyp eingerichtet, um die Ausdehnung in der Längsrichtung zu verringern. Dies erfolgt aufgrund der Betrachtung der Tatsache, daß wesentlich mehr Raum in dem Zustand mit offenen Kontaktabschnitten vom Klammertyp benötigt wird.
Die Massekontakte 642a, 642b sind parallel zueinander angeordnet. Weiter sind die Massekontakte 642a, 642b so angeordnet, daß ihre flachen Oberflächen parallel zu der Richtung der Breite des Gehäuses 61 sind. In der Mitte zwischen den Massekontakten 642a und den Massekontakten 642b sind die ersten Signalkontakte 641 angeordnet.
Wie in 10 gezeigt ist, ist das obere Gehäuse 63 mit einer Seitenwand 631 versehen, die es umgibt und eine im wesentlichen kastenförmige Form bildet. Das obere Gehäuse 63 ist mit mehreren Trennwänden 632 in dieser Längsrichtung und in der Richtung der Breite gebildet. Ein Koaxialkabelstecker 81 oder ein Einzelleitungsstecker 82 wird von den Trennwänden 632 in die Eingriffsposition geführt und davor bewahrt, schief zu stehen. Weiter ist das obere Gehäuse 63, indem es von der Seitenwand 631 und den Trennwänden 632 umgeben ist, mit mehreren Eingriffsausnehmungen 601 versehen, die aus quaderförmigen Räumen bestehen. Die Eingriffsausnehmungen 601, d. h. die Kontakteinheiten 64, sind in einer Zickzackkonfiguration in dem oberen Gehäuse 63 angeordnet. Eine Eingriffsausnehmung 601 entspricht einer Kontakteinheit 64. In die Eingriffsausnehmungen 601 werden die weiter unten erläuterten Koaxialkabelstecker 81 oder Einzelleitungsstecker 82 zum Eingriff eingesetzt.
Das obere Gehäuse 63 ist mit einem unteren Boden 633 versehen. Der untere Boden 633 ist in die besagten quaderförmigen Räume und das untere Gehäuse 62 unterteilt. Der untere Boden 633 ist mit Durchgangsöffnungen 633a bis 633c gebildet.
Die Durchgangsöffnungen 633a entsprechen einem ersten Signalkontakt 641 (643c). Das obere Ende des ersten Signalkontakts 641 (643c) ist in der Durchgangsöffnung 633a positioniert. Ein Signalkontakt 811 eines Koaxialkabelsteckers 81 (siehe 14) tritt durch die Durchgangsöffnung 633a hindurch und ist elektrisch mit dem ersten Signalkontakt 641 der Buchse 6 verbunden. Alternativ tritt ein Signalkontakt 823 eines Einzelleitungssteckers 82 (siehe 16) durch die Durchgangsöffnungen 633a hindurch und ist elektrisch mit dem ersten Signalkontakt 643c (641) der Buchse 6 verbunden.
Die Durchgangsöffnungen 633b entsprechen den zweiten Signalkontakten 643a, 643b. Daher sind zwei Durchgangsöffnungen 633b in jeder Eingriffsausnehmung 601 gebildet. Die oberen Enden der zweiten Signalkontakte 643a, 643b sind in den Durchgangsöffnungen 633b positioniert. Die Signalkontakte 821, 822 eines Einzelleitungssteckers 82 treten durch die Durchgangsöffnungen 633b hindurch und sind elektrisch mit den zweiten Signalkontakten 643a, 643b der Buchse 6 verbunden.
Die Durchgangsöffnungen 633c entsprechen den Massekontakten 642a, 642b. Daher sind zwei Durchgangsöffnungen 633c ebenfalls in jeder Eingriffsausnehmung 601 gebildet. Die oberen Enden der Massekontakte 642a, 642b sind in den Durchgangsöffnungen 633c positioniert. Die Massekontakte 812, 813 eines Koaxialkabelsteckers 81 treten durch die Durchgangsöffnungen 633c hindurch und sind elektrisch mit den Massekontakten 642a, 642b der Buchse 6 verbunden.
Die Seitenwand 631 des oberen Gehäuses 63 ist mit Eingriffszungen 634 gebildet, die zu den Innenseiten der Eingriffsausnehmungen 601 hin verlaufen. Die Eingriffszungen 634 ergeben, wie weiter unten erläutert wird, einen zuverlässigeren Eingriff der Koaxialkabelstecker 81 oder der Einzelleitungsstecker 82.
13 ist eine Ansicht, die schematisch die Anordnung des ersten Signalkontakts 641 (643c), der Massekontakte 642a, 642b und der zweiten Signalkontakte 643a, 643b zeigt, die eine Kontakteinheit 64 bilden. Diese Anordnung ist von der eingriffsseitigen Seite der Buchse 6 betrachtet.
Wie in 13 gezeigt ist, sind die Massekontakte 642a, 642b an symmetrischen Positionen in Bezug auf den ersten Signalkontakt 641 angeordnet. Somit sind der erste Signalkontakt 641 (643c) und die Massekontakte 642a, 642b auf einer Linie angeordnet. Der erste Signalkontakt 641 und die Massekontakte 642a, 642b bilden eine erste Gruppe von Kontakten, die elektrisch mit einem Koaxialkabelstecker 81 verbunden sind.
Der ersten Signalkontakt 643c (641) und die zweiten Signalkontakte 643a, 643b bilden eine zweite Gruppe von Kontakten, die elektrisch mit einem Einzelleitungsstecker 82 verbunden sind. In der zweiten Gruppe von Kontakten sind die zweiten Signalkontakte 643a, 643b an zwei Punkten positioniert, die sich in einem gleichen Abstand von dem ersten Signalkontakt 643c befinden. Daher wird, wenn man die Mitten des ersten Signalkontakts 643c und der zweiten Signalkontakte 643a, 643b verbindet, ein gleichschenkliges Dreieck gezeichnet. Dieses "gleichschenklige Dreieck" schließt ein gleichseitiges Dreieck ein.
Weiter sind in 13 die zweiten Signalkontakte 643a, 643b der zweiten Gruppe von Kontakten auf einer Seite der imaginären Linie, welche den ersten Signalkontakt 641 und die Massekontakte 642a, 642b der ersten Gruppe von Kontakten verbindet, angeordnet. Dieses Erfordernis schließt den Fall aus, bei dem die zweiten Signalkontakte 643a, 643b mit dem ersten Signalkontakt 641 und den Massekontakten 642a, 642b auf einer Linie liegen. Wenn alle Kontakte auf einer Linie liegen, wird die Richtung der Anordnung zu lang. Weiter schließt dieses Erfordernis den Fall aus, bei dem die zweiten Signalkontakte 643a, 643b eine Sandwichanordnung mit der imaginären Linie bilden, welche den ersten Signalkontakt 641 und die Massekontakte 642a, 642b verbindet. Der Massekontakt 642a und der zweite Signalkontakt 643a, und weiter der Massekontakt 642b und der zweite Signalkontakt 643b sind jeweils durch einstückige Kontaktelemente 66 gebildet, also können die Elemente nicht in der obigen Weise angeordnet werden.
Eine Buchse 6 mit einem ersten Signalkontakt 641 (643c), den Massekontakten 642a, 642b und den zweiten Signalkontakten 643a, 643b, die in der oben genannten Weise angeordnet sind, kann entweder einen Koaxialkabelstecker 81 oder einen Einzelleitungsstecker 82 aufnehmen.
Weiter sind, wie in 13 gezeigt, bei einer Kontakteinheit 64 die imaginäre Linie, welche die Massekontakte 642a, 642b verbindet, und die imaginäre Linie, welche die zweiten Signalkontakte 643a, 643b verbindet, parallel zueinander. Weiter liegen die Massekontakte 642a, 642b und die zweiten Signalkontakte 643a, 643b an Ecken eines Rechtecks. Das heißt, die Kontakteinheit 64 hat fünf Kontakte, die bei hoher Dichte in einer rechteckigen Fläche angeordnet sind.
Bei jeder Buchse 6 teilen die erste Gruppe von Kontakten und die zweite Gruppe von Kontakten sich den ersten Signalkontakt 641 (643c). Natürlich können der erste Signalkontakt 641 und der ersten Signalkontakt 643c separat vorgesehen sein. Auf diese Weise vergrößert sich jedoch die Fläche, die von dem ersten Signalkontakt 641 und dem ersten Signalkontakt 643c eingenommen wird, und letztendlich wird die Eingriffsausnehmung größer, verglichen mit einer Kontakteinheit. Daher kombiniert die Buchse 6 den ersten Signalkontakt 641 und den ersten Signalkontakt 643c und ermöglicht es so, daß die Kontakte mit einer höheren Dichte angeordnet werden. Weiter trägt dieses Teilen zu einer Verringerung der Anzahl von Bauteilen der Buchse 6 bei und ermöglicht es, die externen Verbindungskontakte zu einem zu kombinieren.
Die elektrischen Kabel 7 umfassen in der vorliegenden Ausführungsform Koaxialkabel 71 zum Übertragen von Hochgeschwindigkeitssignalen und Einzelleitungen 72 zum Zuführen von Leistung oder zum Übertragen von Signalen niedriger Geschwindigkeit.
14 ist eine perspektivische Ansicht, die das Erscheinungsbild eines Koaxialkabelsteckers 81 zeigt. Weiter ist 15 eine perspektivische Ansicht, die die Hauptbestandteile des Koaxialkabelsteckers 81 zeigt.
Wie in 14 und 15 gezeigt ist, ist der Koaxialkabelstecker 81 an ein Koaxialkabel 71 angeschlossen. Das Koaxialkabel 71 umfaßt, wie gut bekannt ist, einen Mittelleiter 711, ein Dielektrikum 712, welches den Mittelleiter 711 umgibt, einen Außenleiter 713, der das Dielektrikum 712 umgibt, und eine isolierende Ummantelung 714, die den Außenleiter 713 umgibt.
Der Koaxialkabelstecker 81 ist mit einem Signalkontakt 811 und einem Paar von Massekontakten 812, 813 versehen. Die räumliche Beziehung des Signalkontaktes 811 und des Paares von Massekontakten 812, 813 ist ähnlich der der ersten Gruppe von Kontakten der Buchse 6. Das heißt, die Massekontakte 812, 813 sind symmetrisch in Bezug auf den Signalkontakt 811 positioniert. Weiter sind die von plattenförmigen Elementen gebildeten Massekontakte 812, 813 derart angeordnet, daß sie flache Oberflächen parallel zueinander haben. Das Bilden der Massekontakte 812, 813 als derartige plattenförmige Elemente und das sandwichartige Anordnen in Bezug auf die Signalkontakte 811 dient dazu, den Koaxialkabelstecker 81 elektrisch äquivalent zu dem koaxialen Aufbau zu machen, um den Kennwiderstand (charakteristische Impedanz) soweit wie möglich auf das Koaxialkabel 71 abzustimmen. Bei der Buchse 6 sind ebenfalls die Massekontakte 642a, 642b als plattenförmige Elemente entsprechend den Massekontakten 812, 813 gebildet.
Der Signalkontakt 811 und das Paar von Massekontakten 812, 813 sind in einem aus einem isolierenden Material hergestellten Gehäuse 814 gehalten. Das Innere des Gehäuses 814 ist mit einem Raum zum Aufnehmen des Signalkontaktes 811 und anderer Elemente versehen. Innerhalb des Gehäuses 814 sind diese Kontakte in elektrischer Verbindung mit dem Koaxialkabel 71 befestigt. Der Signalkontakt 811 ist elektrisch mit dem Mittelleiter 711 des Koaxialkabels 71 über das Mittelleiterverbindungsstück 815 verbunden, welches elektrisch mit dem Signalkontakt 811 verbunden ist. Weiter sind die Massekontakte 812, 813 elektrisch mit dem Außenleiter 713 des Koaxialkabels 71 über das Außenleiterverbindungsstück 816 verbunden, welches elektrisch mit den Massekontakten 812, 813 verbunden ist. Das Außenleiterverbindungsstück 816 stößt an die Wand an und unterteilt den Raum innerhalb des Gehäuses 714 unten und oben in der Figur, wodurch selbst dann, wenn das Koaxialkabel 71 verdreht wird, eine darauf folgende Veränderung der relativen Positionen des Signalkontakts 811 und der Massekontakte 812, 813 verhindert wird.
Der Koaxialkabelstecker 81 ist mit dem in die zwei Massekontakte 812, 813 aufgeteilten Außenleiter 713 aufgebaut. Weiter werden die aufgeteilten zwei Massekontakte 642a, 642b der Buchse 6 manchmal außerhalb der Buchse 6 nach dem zweiten externen Verbindungskontakt 645 zu einem elektrischen Pfad kombiniert. In diesem Fall wird eine Masseschleife gebildet, indem der Massekontakt 812 und der Massekontakt 642a, und der Massekontakt 813 und der Massekontakt 642b elektrisch verbunden sind. Bei der Buchse 6 können, wie oben erläutert wurde, die Kontakte in einer hohen Dichte in der Kontakteinheit 64 angeordnet werden, insbesondere können die Abstände zwischen den Massekontakten 642a, 642b verringert werden, so daß die Störung aufgrund der Masseschleife verringert werden kann.
Weiter ist 16 eine perspektivische Ansicht, die das Erscheinungsbild eines Einzelleitungssteckers 82 zeigt. Weiter ist 17 eine perspektivische Ansicht, die Hauptbestandteile des Einzelleitungssteckers 82 zeigt.
Wie in 16 gezeigt ist, ist der Einzelleitungsstecker 82 an drei Einzelleitungen 72 angeschlossen. Die Einzelleitung 72 (eine elektrische Leitung) umfaßt, wie gut bekannt ist, einen Signalleiter 721 und einen Isolator 722, der den Signalleiter 721 umgibt. Der Einzelleitungsstecker 82 ist mit drei Signalkontakten 821 bis 823 versehen. Die räumliche Beziehung zwischen den drei Signalkontakten 821 bis 823 ist ähnlich der der zweiten Gruppe von Kontakten der Buchse 6. Das heißt, die Signalkontakte 821, 822 sind an zwei Punkten positioniert, welche sich im gleichen Abstand von dem Signalkontakt 823 befinden. Daher wird, wenn man die Mittelpunkte der Signalkontakte 821 bis 823 verbindet, bei Betrachtung von der Eingriffsseite ein gleichschenkliges Dreieck gezeichnet.
Die Signalkontakte 821 bis 823 sind in einem Gehäuse 824 gehalten, welches aus einem isolierenden Material hergestellt ist. Der Eingriffsteil des Gehäuses 824 hat dieselbe äußere Form wie der Eingriffsteil des Gehäuses 814 des Koaxialkabelsteckers 81, so daß die Buchse 6 entweder einen Koaxialkabelstecker 81 oder einen Einzelleitungsstecker 82 aufnimmt. Jedoch bedeutet die hier als "dieselbe" bezeichnete Form eine Ähnlichkeit von einem Ausmaß, bei der ein Koaxialkabelstecker 81 und ein Einzelleitungsstecker 82 in Eingriff gebracht werden können. Eine vollständige physische Ähnlichkeit ist nicht erforderlich.
Innerhalb des Gehäuses 824 sind diese Kontakte in elektrischer Verbindung mit Einzelleitungen 72 verbunden. Der Signalkontakt 821 (822, 823) ist elektrisch mit einem Signalleiter 721 einer Einzelleitung 72 über einen Leiterschaft 826 verbunden, der elektrisch mit dem Signalkontakt 821 (822, 823) verbunden ist. Ein U-förmiger Isolierungsschaft 827, mit welchem der Signalkontakt 821 und der einstückig gebildete Leiterschaft 826 um den Isolator 722 der Einzelleitung 72 herum gecrimpt sind, wodurch der Signalkontakt 821 und die Einzelleitung 72 fest miteinander verbunden sind. Weiter verhindert ein U-förmiger Stabilisator 828, der einstückig mit dem Signalkontakt 821 usw. ausgebildet ist, die Bewegung der relativen Positionen der Signalkontakte 821 bis 823 in derselben Weise wie die oben erwähnten Außenleiterverbindungsstücke 816.
Weiter ist das Gehäuse 824 mit einem Eingriffsvorsprung 825 an seinem äußeren Umfang gebildet. Dieser Eingriffsvorsprung 825 gelangt in Eingriff mit einer Eingriffszunge 634 des oberen Gehäuses 63, wenn der Einzelleitungsstecker 82 in Eingriff mit einer Buchse 6 gelangt, wodurch der Einzelleitungsstecker 82 davor bewahrt wird, sich von der Buchse 6 zu lösen. Man beachte, daß, obwohl es nicht gezeigt ist, ein Koaxialkabelstecker 81 ebenfalls mit einem Eingriffsvorsprung in derselben Weise wie der Einzelleitungsstecker 82 gebildet ist.
Wenn nun der Koaxialkabelstecker 81 mit einer Buchse 6 in Eingriff gebracht wird, wird der Koaxialkabelstecker 81 in die Eingriffsausnehmung 601 eingesetzt, die von dem oberen Gehäuse 63 der Buchse 6 gebildet wird, von wo der Signalkontakt 811 und das Paar der Massekontakte 812, 813 gebildet sind. Dann kommen der erste Signalkontakt 641 der Buchse 6 und der Signalkontakt 811 des Koaxialkabelsteckers 81 in Kontakt. Weiter kommen der Massekontakt 642a der Buchse 6 und der Massekontakt 812 des Koaxialkabelsteckers 81 in Kontakt, und der Massekontakt 642b der Buchse 6 und der Massekontakt 813 des Koaxialkabelsteckers 81 kommen in Kontakt.
Wenn andererseits ein Einzelleitungsstecker 82 in eine Buchse 6 in Eingriff gebracht wird, wird der Einzelleitungsstecker 82 in die von dem oberen Gehäuse 63 der Buchse 6 gebildete Eingriffsausnehmung 601 eingesetzt, von wo die Signalkontakte 821 bis 823 gebildet sind. Dann kommen der erste Signalkontakt 643c der Buchse 6 und der Signalkontakt 823 des Einzelleitungs steckers 82 in Kontakt. Weiter kommen der zweite Signalkontakt 643a der Buchse 6 und der Signalkontakt 821 des Einzelleitungssteckers 82 in Kontakt, und der zweite Signalkontakt 643b der Buchse 6 und der Signalkontakt 822 des Einzelleitungssteckers 82 kommen in Kontakt.
Die obige Buchse 6 ist mit der ersten Gruppe von Kontakten, um elektrisch mit dem Koaxialkabelstecker 81 verbunden zu werden, und der zweiten Gruppe von Kontakten, um elektrisch mit dem Einzelleitungsstecker 82 verbunden zu werden, versehen, und kann daher entweder den Koaxialkabelstecker 81 oder den Einzelleitungsstecker 82 aufnehmen.
An dem Koaxialkabelstecker 81 sind die Massekontakte 812, 813 symmetrisch in Bezug auf den Signalkontakt 811 positioniert. Auf der anderen Seite sind bei der Buchse 6 die Massekontakte 642a, 642b symmetrisch in Bezug auf den ersten Signalkontakt 641 angeordnet. Weiter sind die Massekontakte 812, 813 und die Massekontakte 642a, 642b durch Plattenelemente mit vorbestimmten Außenflächen gebildet. Der obige Aufbau trägt dazu bei, die Kennwiderstände zwischen dem Koaxialkabelstecker 81, der Buchse 6 und den Koaxialkabeln 71 abzustimmen.
Bei der Buchse 6 sind der erste Signalkontakt 641 und der erste Signalkontakt 643c durch ein erstes Kontaktelement 65 gebildet, und der Massekontakt 642a (642b) und der zweite Signalkontakt 643a (643b) sind durch ein zweites Kontaktelement 66 gebildet. Auf diese Weise kann die Buchse 6 durch zwei Typen von Kontaktelementen gebildet werden, so daß die Anzahl der Bauteile zum Bilden einer Kontakteinheit 64 verringert werden kann. Somit können die die Kontakteinheiten 64 bildenden Kontakte mit einer hohen Dichte angeordnet werden, und, wenn eine große Anzahl von Kontakteinheiten 64 angeordnet wird, kann die Buchse 6 als Ganzes kompakter gestaltet werden.
Weiter ist in der Buchse 6 die Kontakteinheit 64 durch ein erstes Kontaktelement 65 und zwei Kontaktelemente 66 gebildet, also sind drei externe Verbindungskontakte ausreichend für eine Kontakteinheit 64. Dies trägt ebenfalls zu einer größeren Kompaktheit der Buchse 6 bei.
Weiter sind bei der Buchse 6 Kontakte in dem rechteckigen Bereich der Kontakteinheit 64 angeordnet. Somit können Eingriffsteile der Gehäuse 814, 824 des Koaxialkabelsteckers 81 und des Einzelleitungssteckers 82, die in Eingriff mit dieser Kontakteinheit 64 stehen, rechteckig in ihren Querschnittsformen und identisch in ihren äußeren Formen hergestellt werden.
Weiter sind bei der Buchse 6 Kontakteinheiten 64 in einer Zickzackform angeordnet, also sind die Massekontakte und die Signalkontakte abwechselnd angeordnet. Als Ergebnis davon wird die Wirkung erzielt, einen Abfall in den Hochfrequenzcharakteristiken zu vermeiden.
Man beachte, daß die Eingriffsöffnung 601 des Zwischenverbinders (Buchse) 6 in der vorliegenden Ausführungsform dem ersten Eingriffsteil in der vorliegenden Erfindung entspricht, während der Ausgangsanschluß 602 des Zwischenverbinders 6 in der vorliegenden Ausführungsform dem zweiten Eingriffsteil in der vorliegenden Erfindung entspricht.
Wie oben erläutert wurde, können in der vorliegenden Ausführungsform sowohl ein Koaxialkabelstecker 81 als auch ein Einzelleitungsstecker 82 in Eingriff mit dem ersten Eingriffsteil 601 des Zwischenverbinders 6 gebracht werden, also kann ein Typ eines Zwischenverbinders 6 verwendet werden, um mehrere Typen von Kabeln handzuhaben, so daß die Kosten des HiFix 5A verringert werden können.
Weiter wird, indem es ermöglicht wird, daß sowohl ein Koaxialkabelstecker 81 als auch ein Einzelleitungsstecker 82 in Eingriff mit dem ersten Eingriffsteil 601 des Zwischenverbinders 6 gebracht werden, die Arbeitsbelastung zum Verbinden der elektrischen Kabel 7 mit der konventionellen Verbindungskarte 6' deutlich verringert, und die Verbindungsarbeit mit der Verbindungskarte kann durchgeführt werden, ohne daß zwischen Koaxialkabeln und Einzelleitungen einzeln unterschieden werden muß.
Zurückkehrend zu 6 sind nach unten vorstehenden Führungsstifte 603 an den unteren beiden Enden des Gehäuses 61 der Zwischenverbinder 6 vorgesehen. Weiter sind Führungsöffnungen 43 an den oberen beiden Enden des prüfkopfseitigen Verbinders 41, der oben an dem Prüfkopf vorgesehen ist, derart gebildet, daß sie den Führungsstiften 603 gegenüberstehen. Wenn der HiFix 5A auf dem Prüfkopf 4 montiert wird, werden die Führungsstifte 603 in die Führungsöffnungen 43 geführt, wodurch der HiFix 5A einfach in Bezug auf den Prüfkopf 4 positioniert werden kann. Man beachte, daß es ebenfalls möglich ist, Führungsöffnungen in den Zwischenverbindern 6 vorzusehen und Führungsstifte in den prüfkopfseitigen Verbindern 41 vorzusehen.
Wie weiter in der Zeichnung zu sehen ist, ist das Gehäuse 61 der Zwischenverbinder 6 an seinen unteren beiden Enden mit Durchgangsöffnungen 604 gebildet, die durch das Gehäuse 61 von der unteren Außenfläche in Richtung auf die obere Außenfläche hindurchgehen. An dem Gestell 52 sind Befestigungsöffnungen 52b an Positionen gebildet, die den Durchgangsöffnungen 604 entsprechen. Durch Befestigen von Bolzen 605 durch die Durchgangsöffnungen 604 in den Befestigungsöffnungen 52b wird es möglich, die Zwischenverbinder 6 an dem Gestell 52 zu befestigen.
Zurückkehrend zu 4 ist ein Abstandsgestell 93 oben an dem Gestell 52 vorgesehen, welches die mehreren Zwischenverbinder 6 über Abstandsstützen 52a verbindet, die in der Lage sind, sich etwas nach oben und nach unten entlang der Z-axialen Richtung zu bewegen.
Am obersten Abschnitt des Abstandsgestells 93 sind Sockelsubkarten 96 über Sockelsubkartenabstandshalter 95 vorgesehen. Weiter sind an den Oberseiten der Sockelsubkarten 96 Sockelkarten 98 über Sockelkartenabstandshalter 97 vorgesehen.
Weiter sind die Zwischenverbinder 6 und die Sockelsubkarten 96 durch mehrere elektrische Kabel 7 verbunden. An den unteren Enden der elektrischen Kabel 7 sind bauelementseitige Verbinder 8 angeschlossen. Die bauelementseitigen Verbinder 8 können lösbar mit den Eingriffsöffnungen 601 der Zwischenverbinder 6 verbunden werden. Auf der anderen Seite sind die oberen Enden der elektrischen Kabel 7 durch Löten direkt mit den Sockelsubkarten 96 verbunden.
18 ist eine perspektivische Teilansicht eines bauelementseitigen Verbinders, eines Zwischenverbinders und eines prüfkopfseitigen Verbinders in der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Wie in 18 gezeigt ist, sind, wenn der bauelementseitige Verbinder 8 mit der Eingriffsöffnung 601 des Zwischenverbinders 6 in Eingriff steht, die Anschlüsse des bauelementseitigen Verbinders 8 elektrisch mit dem Ausgangsanschluß 602 des Zwischenverbinders 6 verbunden. Weiter sind, wenn der Ausgangsanschluß 602 des Zwischenverbinders 6 mit der Eingriffsöffnung 42 des prüfkopfseitigen Verbinders 41 in Eingriff steht, der HiFix 5A und der Prüfkopf 4 elektrisch verbunden. Man beachte, daß der prüfkopfseitige Verbinder 41, obwohl es nicht besonders dargestellt ist, elektrisch mit einer in dem Prüfkopf 4 gehaltenen Stift-Elektronikkarte (engl.: pin electronics board) verbunden ist.
Bei der vorliegenden Ausführungsform werden Zwischenverbinder 6 anstelle der konventionellen Verbindungskarte 6 eingesetzt, also entfällt die Lötarbeit der Enden der elektrischen Kabel 7, und der HiFix 5A kann einfach hergestellt werden.
Wie in 4 gezeigt ist, sind die Sockelsubkarten 96 mit Zwischenanschlüssen 961 versehen. Die Zwischenanschlüsse 961 werden zur elektrischen Verbindung der Sockelsubkarten 96 und der Sockelkarten 98 verwendet.
Man beachte, daß zur Erleichterung der Erläuterung 4 lediglich zwei Sockelkarten 98 zeigt, aber tatsächlich beispielsweise 64 Sockelkarten 98 in einer vierreihigen, 16-spaltigen Matrix angeordnet sind.
Jede Sockelkarte 98 ist an ihrer Oberseite mit einem Sockel 99 versehen, der mehrere Kontaktstifte (nicht gezeigt) hat. Dieser Sockel 99 ist um sich herum mit einer Sockelführung 991 versehen. Man beachte, daß die Sockelführung 991 ein Führungsmittel zum Positionieren eines zu prüfenden IC-Bauelements, wenn das IC-Bauelement in elektrischen Kontakt mit den Kontaktstiften des Sockels 99 gebracht wird, ist und in einigen Fällen weggelassen werden kann.
In der obigen ersten Ausführungsform wurde das Beispiel der Anwendung der vorliegenden Erfindung auf den SBC-Typ eines HiFix erläutert, aber die Erfindung ist nicht besonders darauf beschränkt. Die vorliegende Erfindung kann ebenfalls auf die folgenden verschiedenen Typen von HiFixen angewendet werden.
Zweite Ausführungsform
19 ist eine Querschnittsansicht, die einen HiFix und einen Prüfkopf gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
Der HiFix 5B gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie in 19 gezeigt, ist ein CLS-Typ (Cable Less, kabellos) eines HiFix, der es ermöglicht, einen Wechsel der Art der zu prüfenden IC-Bauelemente durch Auswechseln eines obersten DSA (Device Specific Adapter, bauelementspezifischer Adapter) 90 handzuhaben. Dieser HiFix 5B weist, wie in der Zeichnung gezeigt ist, eine Hauptkarte 51, die oben auf dem Prüfkopf 4 montiert ist, und einen DSA 90 auf, der an dieser Hauptkarte 51 montiert ist.
Der HiFix 5B gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist von den Sockeln 99 bis zu dem Abstandsgestell 93 als eine Einheit als DSA 90 aufgebaut. Dies unterscheidet sich von dem HiFix 5A gemäß der ersten Ausführungsform in dem Punkt, daß der DSA 90 mittels der Verbinder 92 an die Hauptkarte 51 angeschlossen und von dieser abgenommen werden kann.
Der DSA 90 ist mit dem Abstandsgestell 93 aufgebaut, welches oben auf Leistungskarten 91 vorgesehen ist, und weiter mit Sockelkarten 98, die auf diesen mittels Sockelkartenabstandshaltern 97 vorgesehen sind. Sockel 99 sind auf den Sockelkarten 98 montiert.
Die Leistungskarten 91 und die Sockelkarten 98 sind durch Verbindungskarten 94 verbunden. Weiter sind die Leistungskarten 91 mit mehreren Paaren von Verbindern 92 zum Anschließenden an/Abnehmen von der Hauptkarte 51 versehen. Einer dieser Verbinder 92 ist an ein Ende eines elektrischen Kabels 7 angeschlossen.
In derselben Weise wie bei der ersten Ausführungsform ist ein bauelementseitiger Verbinder 8 an das andere Ende des elektrischen Kabels 7 angeschlossen. An dem untersten Abschnitt des HiFix 5B gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind mehrere Zwischenverbinder 6, die detailliert bei der ersten Ausführungsform beschrieben wurden, in dem Zustand mit einer Anordnung im wesentlichen parallel in der Richtung der Tiefe des HiFix 5B vorgesehen.
Die bauelementseitigen Verbinder 8 sind lösbar mit den Eingriffsöffnungen 601 der Zwischenverbinder 6 verbunden.
Wenn der bauelementseitige Verbinder 8 mit der Eingriffsöffnung 601 des Zwischenverbinders 6 in Eingriff steht, sind die Anschlüsse des bauelementseitigen Verbinders 8 elektrisch mit dem Ausgangsanschluß 602 des Zwischenverbinders 6 verbunden. Weiter sind, wenn der Ausgangsanschluß 602 des Zwischenverbinders 6 in Eingriff mit der Eingriffsöffnung 42 des prüfkopfseitigen Verbinders 41 steht, der HiFix 5B und der Prüfkopf 4 elektrisch verbunden.
Dritte Ausführungsform
20 ist eine Querschnittsansicht, die einen HiFix und einen Prüfkopf gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
Der HiFix 5C gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie in 20 gezeigt, ist ein CCN-Typ (Cable Connection, Kabelverbindung) eines HiFix, bei dem der gesamte HiFix 5C jedes Mal ausgewechselt wird, wenn die Art der zu prüfenden IC-Bauelemente wechselt. Dieser HiFix 5C unterscheidet sich von den HiFixen 5A, 5B gemäß der ersten Ausführungsform und der zweiten Ausführungsform in dem Punkt, daß es überhaupt keine trennbaren Stellen an dem HiFix 5C gibt.
An dem untersten Abschnitt dieses HiFix 5C sind mehrere Zwischenverbinder 6, die in der ersten Ausführungsform erläutert wurden, in dem Zustand einer Anordnung im wesentlichen parallel entlang der Richtung der Tiefe des HiFix 5C vorgesehen. Die bauelementseitigen Verbinder 8, die an den Enden der elektrischen Kabel 7 angeschlossen sind, sind lösbar mit den Eingriffsöffnungen 601 der Zwischenverbinder 6 verbunden.
Die anderen Enden der elektrischen Kabel 7 sind durch Löten direkt mit den Sockelkarten 98 verbunden. Auf den Sockelkarten 98 sind Sockel 99 montiert. In der vorliegenden Ausführungsform kann, da die Zwischenverbinder 6 und die Sockelkarten 98 direkt verbunden sind, eine Durchführung einer Prüfung hoher Qualität erreicht werden.
Wenn der bauelementseitige Verbinder 8 in Eingriff mit der Eingriffsöffnung 601 des Zwischenverbinders 6 steht, sind die Anschlüsse des bauelementseitigen Verbinders 8 elektrisch mit dem Ausgangsanschluß 602 des Zwischenverbinders 6 verbunden. Weiter sind, wenn der Ausgangsanschluß 602 des Zwischenverbinders 6 in Eingriff mit der Eingriffsöffnung 42 des prüfkopfseitigen Verbinders 41 steht, der HiFix 5C und der Prüfkopf 4 elektrisch verbunden.
In den oben erläuterten ersten bis dritten Ausführungsformen wird durch Einsetzen der Zwischenverbinder 6 anstelle der konventionellen Verbindungskarte 6' die Arbeit des Anlötens der Enden der elektrischen Kabel 7 vermieden, so daß die HiFixe 5A bis 5C einfach hergestellt werden können.
Weiter ist es, wenn die herkömmliche Verbindungskarte 6' eingesetzt wird, notwendig, die Schaltungsverdrahtung im Voraus zu entwerfen und eine spezialisierte Karte herzustellen. Im Gegensatz dazu ist es in der vorliegenden Ausführungsform, indem die bauelementseitigen Verbinder 8 selektiv mit den Zwischenverbindern 6 verbunden werden, möglich, jede Schaltungsverdrahtung zu bilden.
Weiter müssen, wenn die herkömmliche Verbindungskarte 6' repariert oder ersetzt wird, die gelöteten Stellen entfernt werden, und die Arbeitseffizienz verschlechtert sich. Im Gegensatz dazu ist es in der vorliegenden Ausführungsform möglich, die Zwischenverbinder 6 zu reparieren oder zu ersetzen, indem nur die bauelementseitigen Verbinder 8 an den Zwischenverbindern 6 angeschlossen und von diesen abgenommen werden, so daß die Wartungseignung besser ist.
Weiter tritt, wenn die herkömmliche Verbindungskarte 6' eingesetzt wird, eine Impedanzfehlanpassung aufgrund der Durchgangsöffnungen usw. auf, und die Übertragungseigenschaften der Hochfrequenzsignale verschlechtern sich. Im Gegensatz dazu kann bei der vorliegenden Ausführungsform, da keine Leiterplatte verwendet wird, eine Impedanzfehlabstimmung vermieden werden.
Weiter können, da sowohl die Koaxialkabelstecker 81 als auch die Einzelleitungsstecker 82 mit den ersten Eingriffsteilen 601 der Zwischenverbinder 6 in Eingriff gebracht werden können, die Kosten der HiFixe 5A bis 5C verringert werden.
In den obigen ersten bis dritten Ausführungsformen wurde das Beispiel der Anwendung der vorliegenden Erfindung auf einen HiFix erläutert, der zum Prüfen von IC-Bauelementen im Zustand im Gehäuse verwendet wird, aber die Erfindung ist nicht besonders darauf beschränkt. Es ist ebenfalls möglich, die vorliegende Erfindung auf eine Waferhauptkarte anzuwenden, die zum Prüfen von in einen Wafer geformten IC-Bauelementen verwendet wird, wie weiter unten erläutert wird.
Vierte Ausführungsform
21 ist eine Querschnittsansicht, die eine Waferhauptkarte und einen Prüfkopf gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
Die Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente in der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung zum Prüfen von IC-Bauelementen, die auf einem Wafer W gebildet sind, und umfaßt einen Prüfkopf 4, der elektrisch mit der Prüfeinrichtung (nicht gezeigt) über Kabel (nicht gezeigt) verbunden ist, eine Prüfkarte 2000, die zu prüfende IC-Bauelemente auf dem Wafer W elektrisch kontaktiert, und eine Sondierungseinrichtung 3000, die den Wafer W an die Prüfkarte 2000 drückt.
Die Prüfkarte 2000, wie in 21 gezeigt, ist elektrisch über die Waferhauptkarte (Schnittstellenvorrichtung) 1000 mit dem Prüfkopf 4 verbunden. Diese Prüfkarte 2000 umfaßt eine große Anzahl von Prüfnadeln 2100, die die Eingangs-/Ausgangs-Anschlüsse der IC-Bauelemente auf dem Wafer W elektrisch kontaktieren, eine Leiterplatte 2200, an der die Prüfnadeln 2100 montiert sind, ZIF-(Zero Insertion Force, Null-Einführungs-Kraft)-Verbinder 2300, um die Prüfkarte 2000 elektrisch mit der Waferhauptkarte 1000 zu verbinden, und eine Versteifungseinrichtung 2400 zum Verstärken der Prüfkarte 2000.
Diese Prüfkarte 2000 ist, wie in 21 gezeigt, an dem ringförmigen Kartenhalter 3100 gehalten, so daß die Prüfnadeln 2100 durch die Mittelöffnung nach unten zeigen. Weiter ist dieser Kartenhalter 3100 an einem ringförmigen Adapter 3200 festgeklemmt.
An der Unterseite des Prüfkopfes 4 ist eine Waferhauptkarte 1000 montiert. An dem untersten Abschnitt dieser Waferhauptkarte 1000 sind ZIF-Verbinder 1200 vorgesehen. Mehrere elektrische Kabel 1100 sind aus den ZIF-Verbindern 1200 herausgeführt. An den oberen Enden der elektrischen Kabel 1100 sind, in derselben Weise wie bei der ersten Ausführungsform, bauelementseitige Verbinder 1300 angeschlossen. Man beachte, daß die elektrischen Kabel 1100 beispielsweise Koaxialkabel zum Übertragen von Hochgeschwindigkeitssignalen, Einzelleitungen zum Zuführen von Leistung oder zum Übertragen von Signalen niedriger Geschwindigkeit usw. darstellen können.
Am obersten Abschnitt der Waferhauptkarte 1000 sind mehrere Zwischenverbinder 1400, die den detailliert in der ersten Ausführungsform erläuterten Zwischenverbindern 6 ähnlich sind, in dem Zustand im wesentlichen parallel entlang der Richtung der Tiefe der Waferhauptkarte 1000 angeordnet vorgesehen. Die Eingriffsöffnungen der Zwischenverbinder 1400 sind dazu eingerichtet, ein Anschließen/Abnehmen der bauelementseitigen Verbinder 1300 zu ermöglichen, die an den Enden der elektrischen Kabel 1100 angeschlossen sind.
In der vorliegenden Ausführungsform ragen, anders als in den ersten bis dritten Ausführungsformen, die Ausgangsanschlüsse 1500 der Zwischenverbinder 1400 aufwärts vor, um in der Lage zu sein, in Eingriff mit Eingriffsöffnungen der prüfkopfseitigen Verbinder 41 zu gelangen, die an dem untersten Abschnitt des Prüfkopfes 4 vorgesehen sind.
Wenn ein bauelementseitiger Verbinder 1300 in Eingriff mit dem Zwischenverbinder 1400 steht, sind die Anschlüsse des bauelementseitigen Verbinders 1300 elektrisch mit den Ausgangsanschlüssen 1500 des Zwischenverbinders 1400 verbunden. Weiter sind, wenn der Ausgangsanschluß 1500 des Zwischenverbinders 1400 in Eingriff mit der Eingriffsöffnung des prüfkopfseitigen Verbinders 41 steht, die Waferhauptkarte 1000 und der Prüfkopf 4 elektrisch verbunden.
In der oben erläuterten vierten Ausführungsform gibt es, indem die Zwischenverbinder 1400 eingesetzt werden, keine Lötarbeit an den Enden der elektrischen Kabel 1100 mehr, so daß eine Waferhauptkarte 1000 einfach hergestellt werden kann. Weiter kann, indem die bauelementseitigen Verbinder 1300 selektiv mit den Zwischenverbindern 1400 verbunden werden, jede Schaltungsverdrahtung gebildet werden. Weiter sind eine Reparatur und ein Ersatz der Zwischenverbinder 1400 möglich, indem einfach die bauelementseitigen Verbinder 1300 von den Zwischenverbindern 1400 abgenommen werden, also ist die Wartungseignung besser. Weiter wird in der vorliegenden Ausführungsform keine Leiterplatte verwendet, so daß eine Impedanzfehlabstimmung vermieden werden kann. Weiter können, da sowohl Koaxialkabelstecker als auch Einzelleitungsstecker in Eingriff mit den ersten Eingriffsteilen der Zwischenverbinder 1400 gebracht werden können, die Kosten der Waferhauptkarte 1000 verringert werden.
Man beachte, daß die oben erläuterten Ausführungsformen beschrieben wurden, um das Verständnis der vorliegenden Erfindung zu erleichtern, und nicht beschrieben wurden, um die vorliegende Erfindung zu beschränken. Daher umfassen die in den obigen Ausführungsformen offenbarten Elemente alle Abwandlungen des Aufbaus und Äquivalente, die zu dem technischen Umfang der vorliegenden Erfindung gehören.
Bei der vorliegenden Erfindung ist es ausreichend, daß die Sockelkarten 98 und die elektrischen Kabel 7 elektrisch verbunden sind, ungeachtet dessen, ob sie direkt oder indirekt verbunden sind. Beispielsweise, wie bei dem SBC-Typ der ersten Ausführungstyp oder dem CLS-Typ der zweiten Ausführungsform, kann die vorliegenden Erfindung auch dann angewandt werden, wenn die Sockelkarten 98 und die elektrischen Kabel 7 indirekt über die Zwischenanschlüsse 96 oder über die Verbinder 92 zwischen den Sockelkarten 98 und den elektrischen Kabeln 7 verbunden sind. Weiter kann, wie bei dem CCN-Typ der dritten Ausführungsform, die vorliegende Erfindung angewandt werden, auch wenn die Sockelkarten 98 und die elektrischen Kabel 7 direkt verbunden sind.
Weiter ist in den oben erwähnten Ausführungsformen erläutert, daß die bauelementseitigen Verbinder 8 in die Eingriffsöffnungen 601 der Zwischenverbinder 6 eingesetzt werden, aber die vorliegende Erfindung ist nicht beson ders darauf beschränkt. Beispielsweise ist es ebenfalls möglich, an den bauelementseitigen Verbindern 8 Eingriffsöffnungen vorzusehen und vorstehende Teile an oberen Außenflächen der Zwischenverbinder 6 vorzusehen, und die Zwischenverbinder 6 in die bauelementseitigen Verbinder 8 einzusetzen.
In der gleichen Weise ist es in den oben erwähnten Ausführungsformen erläutert worden, daß die von den Zwischenverbindern 6 vorstehenden Ausgangsanschlüsse 602 in die Eingriffsöffnungen 42 der prüfkopfseitigen Verbinder 41 eingesetzt werden, aber die vorliegende Erfindung ist nicht besonders darauf beschränkt. Beispielsweise ist es ebenfalls möglich, Eingriffsöffnungen an den unteren Außenflächen der Zwischenverbinder 6 vorzusehen und die vorstehenden Teile an den prüfkopfseitigen Verbindern 41 vorzusehen, und die prüfkopfseitigen Verbinder 41 in die Zwischenverbinder 6 einzusetzen.

Claims

Verbinder-Baugruppe, aufweisend: mehrere Typen von kabelseitigen Verbindern (8; 1300), die jeweils an ein Ende von elektrischen Kabeln (7; 1100) angeschlossen sind; und einen Zwischenverbinder (6; 1400), mit welchem die mehreren Typen von kabelseitigen Verbindern (8; 1300) lösbar verbunden sind, und wobei der Zwischenverbinder (6; 1400) einen ersten Eingriffsteil (601) hat, der eine Form hat, mit der alle Typen der kabelseitigen Verbinder (8; 1300) in Eingriff gebracht werden können.
Verbinder-Baugruppe nach Anspruch 1, bei der die mehreren Typen von kabelseitigen Verbindern (8; 1300) umfassen: – einen Koaxialverbinder (81), der an ein Ende eines Koaxialkabels (71) angeschlossen ist, welches einen Mittelleiter (711) und eine Masseleitung (713) hat; und – einen Einzelleitungsverbinder (82), der an ein Ende einer Einzelleitung (72) angeschlossen ist, und der erste Eingriffsteil (601) des Zwischenverbinders (6; 1400) eine Form hat, mit der der Koaxialverbinder (81) in Eingriff gebracht werden kann und der Einzelleitungsverbinder (82) in Eingriff gebracht werden kann.
Verbinder-Baugruppe nach Anspruch 2, bei der der Zwischenverbinder (6; 1400) einen Verbinderkörper hat, der mit mehreren der ersten Eingriffsteile (601) versehen ist.
Verbinder-Baugruppe nach Anspruch 2 oder 3, wobei das Koaxialkabel (71) einen Mittelleiter (711) und eine Masseleitung (713) hat, der Koaxialverbinder (81) einen Signalanschluß (811), mit welchem der Mittelleiter (711) elektrisch verbunden ist, und erste und zweite Masseanschlüsse (812; 813) hat, mit denen die Masseleitung (713) elektrisch verbunden ist, und der Einzelleitungsverbinder (82) erste bis dritte Einzelleitungsanschlüsse (812; 812; 813) hat, mit denen drei Einzelleitungen (72) elektrisch verbunden sind.
Verbinder-Baugruppe nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei der erste Eingriffsteil (601) erste bis dritte Ausgangsanschlüsse (644; 645) hat, wenn der Koaxialverbinder (81) in Eingriff mit dem ersten Eingriffsteil (601) ist, der Signalanschluß (811) elektrisch mit dem ersten Ausgangsanschluß (644) verbunden ist und die ersten und zweiten Masseanschlüsse (812; 813) elektrisch mit den zweiten und dritten Ausgangsanschlüssen (645) verbunden sind, und, wenn der Einzelleitungsverbinder (82) in Eingriff mit dem ersten Eingriffsteil ist, die ersten bis dritten Einzelleitungsanschlüsse (812; 812; 813) elektrisch mit den ersten bis dritten Ausgangsanschlüssen (644; 645) verbunden sind.
Verbinder-Baugruppe nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei der erste Eingriffsteil (601) eine Verriegelungseinrichtung (634) hat, die den sich mit dem ersten Eingriffsteil (601) in Eingriff befindenden Koaxialverbinder (81) oder Einzelleitungsverbinder (82) befestigt, und der Koaxialverbinder (81) und der Einzelleitungsverbinder (82) einen Eingriffsvorsprung (825) zum Eingreifen der Verriegelungseinrichtung (634) haben.
Verbinder-Baugruppe nach einem der Ansprüche 2 bis 6, bei der der Verbinderkörper des Zwischenverbinders (6; 1400) einen zweiten Eingriffsteil (602) hat, mit dem ein kartenseitiger Verbinder (41), der elektrisch mit einer Leiterplatte verbunden ist, in Eingriff gebracht werden kann.
Verbinder (6) vom Buchsentyp, der geeignet ist, entweder einen Verbinder (81) vom Koaxialkabelsteckertyp, mit welchem ein Koaxialkabel (71) verbunden ist, oder einen Verbinder (82) vom Einzelleitungssteckertyp, mit welchem mehrere Einzelleitungen (72) verbunden sind, aufzunehmen, wobei der Verbinder (6) vom Buchsentyp aufweist: eine erste Gruppe von Kontakten (641; 642) zur elektrischen Verbindung mit dem Verbinder (81) vom Koaxialkabelsteckertyp, umfassend einen ersten Signalkontakt (641, 643c) und ein Paar von Massekontakten (642a; 642b), die symmetrisch um den ersten Signalkontakt (641, 643c) positioniert sind; eine zweite Gruppe von Kontakten (643) zur elektrischen Verbindung mit dem Verbinder (82) vom Einzelleitungssteckertyp, umfassend den ersten Signalkontakt (641, 643c) und ein Paar von zweiten Signalkontakten (643a; 643b), die an zwei Punkten positioniert sind, welche sich in einem gleichen Abstand von dem ersten Signalkontakt (641, 643c) befinden; und ein isolierendes Gehäuse (61) zum Halten der ersten Gruppe von Kontakten (641; 642) und der zweiten Gruppe von Kontakten (643).
Verbinder (6) vom Buchsentyp nach Anspruch 8, bei dem die zweiten Signalkontakte (643a; 643b) der zweiten Gruppe von Kontakten (643), bei Betrachtung von der Eingriffsseite, auf einer Seite einer Linie angeordnet sind, welche das Paar von Massekontakten (642a; 642b) verbindet.
Verbinder (6) vom Buchsentyp nach Anspruch 8 oder 9, bei dem das Paar der Massekontakte (642a; 642b) parallele, plattenförmige Elemente sind, die an symmetrischen Positionen um den ersten Signalkontakt (641, 643c) angeordnet sind.
Verbinder (6) vom Buchsentyp nach einem der Ansprüche 8 bis 10, bei dem der erste Signalkontakt (641, 643c) und die zweiten Signalkontakte (643a; 643b) jeweils dieselbe Form haben.
Verbinder (6) vom Buchsentyp nach einem der Ansprüche 8 bis 11, bei dem einer des Paares der Massekontakte (642a; 642b) und einer des Paares der zweiten Signalkontakte (643a; 643b), die auf derselben Seite von dem ersten Signalkontakt (641, 643c) positioniert sind, einstückig gebildet sind.
Verbinder (6) vom Buchsentyp nach einem der Ansprüche 8 bis 12, bei dem der Verbinder (6) vom Buchsentyp mehrere Kontakteinheiten (64) aufweist, die aus der ersten Gruppe von Kontakten (641; 642) und der zweiten Gruppe von Kontakten (643) bestehen.
Verbinder-Baugruppe, aufweisend einen Verbinder (6) vom Buchsentyp, der geeignet ist, entweder einen Verbinder (81) vom Koaxialkabelsteckertyp, mit welchem ein Koaxialkabel (71) verbunden ist, oder einen Verbinder (82) vom Einzelleitungssteckertyp, mit welchem mehrere Einzelleitungen (72) verbunden sind, aufzunehmen; wobei der Verbinder (81) vom Koaxialkabelsteckertyp oder der Verbinder (82) vom Einzelleitungssteckertyp elektrisch mit dem Verbinder (6) vom Buchsentyp verbunden ist, und wobei der Verbinder (6) vom Buchsentyp aufweist: eine erste Gruppe von Kontakten (641; 642) zur elektrischen Verbindung mit dem Verbinder (81) vom Koaxialkabelsteckertyp, umfassend einen ersten Signalkontakt (641; 643c) und ein Paar von Massekontakten (642a; 642b), die symmetrisch um den ersten Signalkontakt (641; 643c) positioniert sind; eine zweite Gruppe von Kontakten (643) zur elektrischen Verbindung mit einem Verbinder (82) vom Einzelleitungssteckertyp, umfassend den ersten Signalkontakt (641; 643c) und ein Paar von zweiten Signalkontakten (643a; 643b), die an zwei Punkten positioniert sind, welche sich in einem gleichen Abstand von dem ersten Signalkontakt (641; 643c) befinden; und ein isolierendes Gehäuse (61) zum Halten der ersten Gruppe von Kontakten (641; 642) und der zweiten Gruppe von Kontakten (643).
Schnittstellenvorrichtung (5; 1000), die an einem Prüfkopf (4) montiert ist, zum Prüfen eines zu prüfenden Bauelements und Einrichten einer elektrischen Verbindung zwischen dem zu prüfenden Bauelement und dem Prüfkopf (4), wobei die Schnittstellenvorrichtung (5; 1000) eine Verbinder-Baugruppe nach Anspruch 7 oder 14 aufweist, der Zwischenverbinder (6; 1400) in der Schnittstellenvorrichtung an einer an den Prüfkopf (4) angrenzenden Position vorgesehen ist, das andere Ende des elektrischen Kabels (7; 1100) elektrisch mit einer Meßkarte (98; 2000) verbunden ist, die das zu prüfende Bauelement elektrisch kontaktiert, und der kartenseitige Verbinder (41) elektrisch mit dem Prüfkopf (4) verbunden ist.