DE102007032801A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung - Google Patents

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Hans-Joachim Quenzer
Marten Oldsen
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung, umfassend eine intensitätsmodulierbare Strahlungsquelle (1) und eine Strahlablenk-einheit (2) zum Umlenken von der Strahlungsquelle (1) ausgehender Strahlung auf eine Projektionsfläche (3), wobei die Strahlablenk-Einheit (2) ansteuerbar ist zum Vorgeben einer zeitabhängigen momentanen Projektionsrichtung, wobei die Vorrichtung ferner eine ebenfalls intensitätsmodulierbare Sekundärquelle (4) zum Bestrahlen der Strahlablenk-Einheit (2) aufweist und wobei eine Steuereinheit (5) zum Steuern einer Strahlungsintensität der Sekundärquelle (4) in Abhängigkeit von einer momentanen Strahlungsintensität der Strahlungsquelle (1) vorgesehen ist. Die Erfindung betrifft ferner ein entsprechendes Verfahren zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung nach dem Oberbegriff des Hauptanspruchs mit einer intensitätsmodulierbaren Strahlungsquelle und einer Strahlablenk-Einheit sowie ein entsprechendes Verfahren zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung nach dem Oberbegriff des Nebenanspruchs.
  • Bei einer gattungsgemäßen Vorrichtung kann von der Strahlungsquelle ausgehende Strahlung auf eine Projektionsfläche umgelenkt werden, wobei durch ein entsprechendes Ansteuern der Strahlablenk-Einheit eine zeitabhängige momentane Projektionsrichtung vorgegeben werden kann. Damit kann eine solche Vorrichtung z. B. zur Bilderzeugung oder auch für Oberflächenbearbeitung von Werkstücken verwendet werden.
  • Elektromagnetische Strahlung des UV- bis IR-Wellenlängenbereichs kann mit bewegten Reflektoren oder aber auch mit bewegten refraktiv oder diffraktiv wirkenden Elementen gezielt abgelenkt werden. Von Bedeutung ist eine solche Strahlablenkung z. B. für die Übertragung ein- oder mehrdimensionaler Bildinformation (Display-Aufgaben, z. B. Laserprojektion) oder aber auch für materialbearbeitende Aufgaben (z. B. Laserbeschriftung).
  • Eine oder mehrere in Bezug auf die Ausgangsintensität zeitlich gezielt steuerbare Quellen elektromagnetischer Strahlung liefern einen oder mehrere Strahlen, welche mit Hilfe eines ein- oder mehrachsigen Ablenksystems über die zu bestrahlende Oberfläche geführt werden. Ein Beispiel hierfür kann eine aus drei Laserquellen verschiedener Wellenlängen bestehende modulierbare Rot-Grün-Blau-Lichtquelle sein, die für farbige Bilddaten-Projektion eingesetzt wird und deren vereinigter Ausgangsstrahl über einen zweiachsigen Mikroscan-Spiegel oder alternativ über zwei hintereinander angeordnete einachsige Mikroscan-Spiegel horizontal und vertikal so abgelenkt wird, dass der abgelenkte Strahl eine Projektionsfläche in gewünschter Form überstreicht und ausleuchtet. Die Strahlablenkung kann, wie in den Druckschriften US 6140979 A und US 7009748 B2 beschrieben, rasterförmig sein und einen zeilenweisen Bildaufbau erzeugen, oder aber auch kreisförmig oder spiralförmig erfolgen, wie in der Druckschrift US 6147822 A beschrieben. In der Druckschrift WO 03/032046 A1 wird ein ähnliches Projektionssystem beschrieben, welches lissajous-förmig einen Bildaufbau erzielt basierend auf zwei resonanten Scan-Vorrichtungen deren Scan-Frequenzen sich stets um weniger als eine Größenordnung unterscheiden. In der Druckschrift WO 2006/063577 A1 ist eine Bildprojektions-Vorrichtung beschrieben, welche den Bildaufbau sowohl über rasterförmiges Scannen als auch über beliebige Lissajous-Figuren basierend auf beliebigen Verhältnissen der Scan-Frequenzen eines zweiachsigen Strahlablenksystems erzeugen kann. Dabei wird die beliebig angesteuerte Strahlablenkeinheit durch einen Beobachtungslaserstrahl, weicher nach Reflektion am Strahlablenksystem auf einen zweidimensionalen positionsempfindlichen Detektor trifft, kontinuierlich verfolgt und in Abhängigkeit von einer so gemessenen momentanen XY-Position der zu dieser Position gehörende Intensitätswert aus dem Bildspeicher ausgelesen und diesem Wert entsprechend eine Lichtquelle angesteuert.
  • Bei allen diesen bekannten Projektions-Systemen tritt folgendes Problem auf:
    Da die zu übertragende Information in der Regel intensitätscodiert ist, wird die jeweils vorgesehene Strahlablenkvorrichtung zeitlich nicht mit konstanter Intensität bestrahlt. Da die Strahlablenkvorrichtung stets einen nicht unendlich kleinen Anteil der eintreffenden Strahlung absorbiert, heizt sich die Ablenkvorrichtung in Abhängigkeit von der Intensität des eintreffenden Strahls auf. Bedingt durch die zeitlich wechselnde Bestrahlungsintensität variiert somit auch stets die Temperatur der Strahlablenkvorrichtung. Die wechselnde Temperatur der Strahlablenkvorrichtung hat aber zur Folge, dass das Material, aus dem die Strahlablenkvorrichtung besteht, Volumenänderung erfährt. Das hat wiederum zur Folge, dass sich die mechanisch-dynamischen Eigenschaften der Strahlablenkvorrichtung zumindest geringfügig ändern. Wenn es sich bei der Strahlablenkvorrichtung beispielsweise um an Federn aufgehängte resonant betrie bene Torsionsspiegel handelt, dann führen die temperaturbedingten Volumenänderungen zu Änderungen der Federkonstanten und damit zu Änderungen der Resonanzfrequenz dieser Ablenkvorrichtung, zugleich aber auch zu Änderungen von Phase und Amplitude der Spiegelauslenkung. Das Ergebnis dessen kann sein, dass nicht alle Bildinformationen auf den richtigen Ort projiziert werden und auch die Größe des projizierten Bildes sich ändert. Es entstehen also unerwünschte Verzerrungen. Die geschilderte Problematik tritt insbesondere auf bei Verwendung von aus Silizium gefertigten einachsigen oder mehrachsigen Torsions-Mikroscan-Spiegeln, wie z. B. in DE 19941363 A1 oder US 6595055 B1 beschrieben, denn die in der Regel sehr dünnen Federaufhängungen lässen keinen ausreichend schnellen Wärmeabtransport zu.
  • In der Druckschrift WO 2005/015903 A1 wird zur Lösung des geschilderten Temperatur-Problems vorgeschlagen, zwischen intensitätsmodulierter Lichtquelle und Projektions- bzw. Bearbeitungsfläche ein Abschattungselement so einzufügen, dass es dazu dient, den Lichtstrahl während bestimmter Zeitintervalle innerhalb der Gesamtdauer der Projektion auszublenden. Die Zeitintervalle während der der Lichtstrahl über das Abschattungselement ausgeblendet wird, stehen jeweils zur Temperaturkompensation zur Verfügung. Eine Steuereinheit und ein Steuerprogramm steuern die Moduiationseinrichtung derart, dass sich eine über den Gesamtprojektionszeitraum hinweg zumindest annähernd konstante mittlere Intensität des Lichtstrahls ergibt.
  • Der Nachteil dieser Anordnung ist unmittelbar ersichtlich: Zunächst einmal bewirkt ein solches Abschattungselement, dass nicht alles Licht, weiches prinzipiell zur Bild- bzw. Informationsübertragung zur Verfügung stünde, für diesen Zweck auch verwendet werden kann. Diese geringere Effizienz der Lichtausbeute ist für Anordnungen zur Materialbearbeitung unproblematisch, da dies in der Regel durch die hohen zur Verfügung stehenden Lichtleistungen der Lichtquellen ausgeglichen werden kann. Für mobile Laserprojektionsdisplays hingegen, speziell für solche, die Batterie gespeist sind, kann eine solche schlechtere Effizienz bei der Lichtübertragung sehr wohl ein inakzeptables Problem darstellen. Ein weiteres Problem besteht grundsätzlich ganz unabhängig von der Anwendung: Die in der Druckschrift WO 2005/015903 A1 beschriebene Erfindung lässt eine Temperaturkorrektur immer nur zu bestimmten Zeitpunkten zu. Der Fachmann kann diesem vorgeschlagenen Verfahren entnehmen, dass ein Projektionsdisplay für Bildwiedergabe Abschattungselemente besitzen muss, die sich an den Rändern des Bildbereichs und nicht inmitten des Bildbereichs befinden. Damit beschränkt sich der beabsichtigte Vorgang zur Temperaturkompensation jeweils auf die Bereiche der Umkehrpunkte der Ablenkvorrichtung. Somit ergibt sich eine Temperaturstabilisierung nur als Mittelung über ein vergleichsweise sehr großes Zeitintervall hinweg. Groß bedeutet dabei, dass zwischen zwei Abschattungsintervallen durchaus sehr viele Bildinformationen (Pixel) projiziert werden können. Beispielsweise werden bei einer Bildprojektion mit VGA-Auflösung mindestens 480 Pixel, maximal sogar 640 Pixel am Stück projiziert ohne, dass das vorgeschlagene Verfahren zwischenzeitlich auf etwaige Intensitätsschwankungen innerhalb dieser projizierten Pixel reagieren kann. Auf kleine Zeitintervalle (wenige Pixel) bezogen, können daher sehr wohl erhebliche Intensitäts- und Temperaturschwankungen auftreten, die mit diesem Verfahren nicht zu kompensieren sind. In nerhalb zweier Abschattungsereignisse kann es deshalb weiterhin zu Phasen-, Amplituden- und Frequenzschwankungen kommen. Um hohe originaltreue Bild- bzw. Informationsübertragung zu gewährleisten, kann dieses Verfahren daher speziell bei hochauflösenden Bildinformationen unzureichend sein.
  • in der Druckschrift US 7157679 B2 wird ein sogenanntes "pattern dependent heating" angesprochen, also ein musterabhängiges Aufheizen. Vorgeschlagen wird dort zur Problemlösung eine Korrektur der Bilddaten, die mit einem nachteilig hohen Rechenaufwand verbunden ist.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt also die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung zu entwickeln, die die geschilderten Nachteile mit geringem Aufwand vermeidet. Die Vorrichtung soll insbesondere eine Projektion vorgegebener Muster mit hoher Präzision erlauben. Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, ein entsprechendes präzises Verfahren zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung zu entwickeln.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs in Verbindung mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Hauptanspruchs sowie durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Nebenanspruchs. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterentwicklungen der Erfindung ergeben sich mit den Merkmalen der Unteransprüche.
  • Dadurch, dass die Vorrichtung eine ebenfalls intensitätsmodulierbare Sekundärquelle zum Bestrahlen der Strahlablenk-Einheit aufweist, wobei ferner eine Steuereinheit zum Steuern einer Strahlungsintensität der Sekundärquelle in Abhängigkeit von einer momentanen Strahlungsintensität der Strahlungsquelle vorgesehen ist, kann trotz einer sich zeitlich ändernden Bestrahlung der Strahlablenk-Einheit ein weitgehend konstanten Energieeintrag in die Strahlablenk-Einheit erreicht werden. Dadurch wiederum können Temperaturschwankungen in der Strahlablenkeinheit vermieden werden, die andernfalls deren mechanische Eigenschaften auf Kosten der Präzision beeinflussen würden. So kann eine thermische Stabilisierung der als Strahlablenksystem dienenden Strahlablenk-Einheit erreicht werden, während sich eine aufwendige Korrektur der Ansteuerung der Strahlungsquelle selbst und oder der Strahlablenkeinheit erübrigt. Realisierbar wird durch die Erfindung also eine instantane Temperatur-Angleichung.
  • Mit der vorgeschlagenen Vorrichtung sowie dem entsprechenden Verfahren ist man bei bevorzugten Ausführungen in der Lage, mit entsprechend geringer Verzögerung bereits auf die Differenz der Intensitäten von nur zwei benachbarten Pixeln zu reagieren. Das weiter oben geschilderte Temperatur-Problem wird also gelöst, ohne dass die Qualität der Projektionsaufgabe beeinträchtigt wird, weil die zum Projezieren vorgesehene Strahlungsquelle dank einer Kompensation von Intensitätsänderungen durch die Sekundärquelle ohne Rücksicht auf thermische Effekte angesteuert werden kann.
  • Eine Vorrichtung vorgeschlagener Art kann je nach Ausführung und Bedarf zur Bilderzeugung oder zur Materialbearbeitung an einer die Projektionsfläche bildenden Werkstückoberfläche verwendet werden. Die Steuereinheit ist typischerweise programmtechnisch so eingerichtet, dass die Strahlungsintensität der Sekundärquelle zunimmt, wenn die Bestrahlungsintensität der Strahlablenk-Einheit durch die Strahlungsquelle abnimmt und umgekehrt, damit der erwünschte Effekt erzielt wird.
  • Bei dem entsprechenden Verfahren zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung, das mit einer derartigen Vorrichtung ausgeführt werden kann, wird von einer Strahlungsquelle ausgehende Strahlung intensitätsmoduliert und mittels einer Strahlablenk-Einheit auf die Projektionsfläche umgelenkt, wobei die Strahlablenk-Einheit so angesteuert wird, dass die von der Strahlungsquelle ausgehende Strahlung mit einer sich zeitlich ändernden Projektionsrichtung auf verschiedene Orte auf der Projektionsfläche fällt. Zusätzlich wird nun die Strahlablenk-Einheit mit einer intensitätsmodulierbaren Sekundärquelle bestrahlt, die so angesteuert wird, dass eine Strahlungsintensität der Sekundärquelle abnimmt, wenn eine zunehmende Strahlungsintensität der Strahlungsquelle und/oder eine Frequenzänderung der von der Strahlungsquelle ausgehenden Strahlung zu einem erhöhten Wärmeeintrag in die Strahlablenk-Einheit führt und umgekehrt.
  • Vorzugsweise wird die Sekukndärquelle dabei so angesteuert, dass die Strahlungsquelle und die Sekundärquelle gemeinsam einen zeitlich konstanten Wärmeeintrag in die Strahlablenk-Einheit bewirken, indem die Sekundärquelle mit der Strahlungsquelle synchronisiert intensitätsmoduliert wird.
  • Für typsiche Anwendungen der Erfindung kann die Strahlungsquelle und/oder die Sekundärquelle eine in einem Wellenlängenbereich zwischen Ultraviolett und Infrarot strahlende Lichtquelle sein. Es kann vor teilhaft sein, wenn die Sekundärquelle eine in einem nichtsichtbaren Wellenlängenbereich strahlende Licht- oder Wärmestrahlungsquelle ist, damit von der Sekundärquelle ausgehende Strahlung ein erzeugtes Bild nicht stören kann.
  • Die Strahlungsquelle kann direkt oder indirekt mittels eines nachgeschalteten Modulationseinheit intensitätsmodulierbar sein. Sie kann insbesondere eine Laserdiode oder eine RGB-Laser-Lichtquelle oder einen Infrarot-Laser umfassen.
  • Genauso gilt für die Sekundärquelle, dass sie direkt oder mittels einer nachgeschalteten Modulationseinheit intensitätsmodulierbar sein kann. Dabei sollte die Sekundärquelle mit einer Maximalfrequenz intensitätsmodulierbar ist, die mindestens so hoch ist wie eine maximale Modulationsfrequenz der Strahlungsquelle, damit sich ändernde Bestrahlungintensitäten durch die Strahlungsquelle ohne Zeitverlust kompensiert werden können. Die Sekundärquelle kann insbesondere eine Infrarot-Laserdiode oder eine Nahinfrarot-Laserdiode umfassen.
  • Die Strahlablenk-Einheit kann zwar theoretisch auch durch refraktives Element gegeben sein, bei typischen Ausführungen der Erfindung wird sie jedoch reflektierend ausgeführt sein. Eineinfacher Aufbau ergibt sich wenn die Strahlablenk-Einheit einen um eine oder zwei Achsen kippbaren Spiegel umfasst. Insbesondere kann die Strahlablenk-Einheit einen z. B. auf Siliziumbasis hergestellten Mikrospiegel umfassen und bspw. einen Mikrospiegel-Scanner bilden. Für die Strahlablenkeinheit und die Art ihrer Ansteuerung und der damit erreichten Bilderzeugung kommt jede der im einleitenden Teil im Zusammenhang mit dem Stand der Technik ange sprochenen Realisierungen in Frage. Für weitere Details kann insofern auf die dort genannten Druckschriften verwiesen werden.
  • Die Sekundärquelle so angeordnet ist, dass sie die Strahlablenk-Einheit von einer Rückseite aus bestrahlt, damit von der Sekundärquelle ausgehende Strahlung nicht auf die Projektionsfläche reflektiert wird. Die Sekundärquelle kann die Strahlablenk-Einheit auch in anderer Weise so bestrahlen, dass von der Sekundärquelle ausgehende Strahlung, die von der Strahlablenk-Einheit umgelenkt wird, nicht auf die Projektionsfläche fällt. Das kann beispielsweise erreicht werden, indem die Sekundärquelle die Strahlablenk-Einheit aus einer um einen hinreichend großen Winkel, bspw. um mindestens 20°, von einer Bestrahlungsrichtung durch die Strahlungsquelle abweichenden Richtung bestrahlt.
  • Die zeitabhängige Strahlungsintensität der Sekundärquelle kann in einfacher Weise definiert werden, indem ein momentaner Intensitätswert der Strahlungsquelle von einem Sollwert subtrahiert wird, ein sich dadurch ergebender Differenzwert mit einem Wichtungsfaktor gewichtet wird und ein so erhaltenes Ansteuer-Signal zum Ansteuern der Sekundärquelle verwendet wird. Dazu kann die Steuereinheit der Vorrichtung entsprechend programmtechnisch eingerichtet sein. Wenn die Strahlungsquelle mehrere Lichtquellen umfasst, bspw. zur Erzeugung verschiedener Farbkomponenten, kann der genannte Intensitätswert der Strahlungsquelle dabei ermittelt werden, indem jede Einzelintensität der in der Strahlungsquelle enthaltener Lichtquellen mit einem farbspezifischen Wichtungsfaktor gewichtet wird und die so gewichteten Einzelintensitäten addiert werden. Dadurch können frequenzab hängige Absorptionseigenschaften der Strahlablenk-Einheit berücksichtigt werden.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der 1 bis 4 beschrieben. Es zeigt
  • 1 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung,
  • 2 ebenfalls schematisch, aber etwas detailierter eine Vorrichtung in einer Ausführung der Erfindung,
  • 3 eine andere Ausführung der Erfindung in der 2 entsprechender Darstellung und
  • 4 in vergleichbarer Darstellung eine weitere Ausführung der Erfindung.
  • Die in 1 gezeigte Vorrichtung bildet eine Projektions-Apparatur zur Lösung des eingangs geschilderten Problems und sieht eine Strahlungsquelle 1 vor, die eine oder mehrere Primär-Quellen für elektromagnetischer Strahlung umfasst, welche hinsichtlich ihrer Ausgangsleistung gezielt modulierbar ist bzw. sind. Dies kann eine direkt modulierbare Quelle sein, wie beispielsweise eine durch den Strom steuerbare Laserdiode, oder aber auch eine CW-Quelle (also eine insbesondere mit konstanter Frequenz und Ampitude strahlende "continuous wave source"), deren Ausgangsstrahlung durch einen nachgeschalteten Modulator intensitätsmoduliert wird. Ein Beispiel für eine solche Primär-Quelle ist die RGB-Laser-Lichtquelle eines vollfarbigen Laser-Video-Projektors, oder aber auch ein für Beschriftungszwecke eingesetzter Infrarot-Laser.
  • Für einige Anwendungen, für die diese Erfindung von Relevanz ist, ist es erforderlich, die von der Strahlungsquelle 1 bzw. von der oder den Primär-Quellen emittierte Strahlung zunächst durch eine geeignete Strahlformungseinheit (Optik) in gewünschter Weise zu beeinflussen (z. B. durch Kollimation einer divergenten Strahlungsquelle).
  • Eine Strahlablenk-Einheit 2 ist in der Apparatur vorgesehen, um eine ein- oder mehrdimensionale Ablenkung der intensitätsmodulierten Strahlung zu ermöglichen. Für scannende Bildprojektion kann dies ein zweiachsiges Strahlablenksystem sein, weiches z. B. aus zwei nacheinander geschalteten einachsigen gezielt beweglichen Ablenkspiegeln besteht. Ebenso gut kann es aber auch ein einziger um zwei oder mehr Achsen beweglicher Spiegel oder auch eine andere Ablenkapparatur sein, die es erlaubt, den Ausgangsstrahl der Primär-Quelle bzw. der Primär-Quellen gezielt mindestens vertikal und horizontal abzulenken. Für andere Projektionsaufgaben kann ohne Einschränkung auch eine andere Art der Strahlablenkung, zum Beispiel nur einachsig (Linienprojektion) gewünscht sein.
  • Die durch die Strahlablenk-Einheit 2 abgelenkte Strahlung wird direkt auf eine Projektionsfläche 3 projiziert. Je nach Applikation kann die Projektionsfläche verschieden gestaltet sein, so beispielsweise im Fall eines aufprojizierenden oder rückprojizierenden bildgebenden Laserprojektionsverfahren als reflektierender oder auch transmittierender, in der Regel auch streuender Projektions-Schirm. Im Fall einer Projektion zur Materialbearbeitung kann es sich bei der Projektionsfläche 3 um vielfältig andere Materia lien und Oberflächen handeln, welche es durch die abgelenkte Strahlung zu bearbeiten gilt.
  • Zusätzlich zur auch als Primär-Quellen-Einheit bezeichneten Strahlungsquelle 1 ist in der hier vorgeschlagenen Apparatur mindestens eine Sekundärquelle 4 vorgesehen, welche hinsichtlich der Ausgangsintensität ebenfalls gezielt modulierbar ist, und zwar mit einer Maximalfrequenz, die vorzugsweise mindestens eben so hoch ist, wie die höchste für die Projektionsaufgabe zum Einsatz kommende Modulationsfrequenz der Strahlungsquelle 1. Für scannende Bildprojektion mit z. B VGA-Auflösung wird eine Modulationsfrequenz von einigen MHz benötigt.
  • Die Sekundärquelle 4 muss nicht Anteil haben an der Projektionsaufgabe (Bildprojektion oder Materialbearbeitung, etc.). In bevorzugten Ausgestaltungen der Erfindung (siehe z. B. 2) wird die von der Sekundärquelle 4 emittierte Strahlung daher nicht auf die Projektionsfläche 3 projiziert.
  • Eine Steuereinheit 5 (auch als Kontroll-Einheit bezeichnet) empfängt (in der 1 veranschaulicht durch einen von unten kommenden Pfeil) Projektionsdaten, bei denen es sich beispielsweise um sequentielle RGB-Video-Daten handeln kann oder aber beispielsweise auch um ein- oder mehrdimensionale Daten zur Materialbearbeitung. In der Regel handelt es sich um Intensitätsinformationen, in Abhängigkeit derer die Strahlungsquelle 1 angesteuert wird. Der Steuereinheit 5 kommt die Aufgabe zu, die Daten zu empfangen zwischenzuspeichern und in Auswertung dieser Daten synchronisiert zur Strahlablenk-Einheit 2 die Strahlungsquelle 1 anzusteuern. Während in der Steuereinheit 5 aus den Eingangsdaten ein Steuersignal für die Strahlungsquelle 1 erzeugt wird, berechnet dieselbe Steuereinheit 5 basierend auf denselben momentanen Eingangsdaten auch einen momentanen Ansteuer-Signalwert für die Ansteuerung der Sekundärquelle 4. Dieser Ansteuer-Signalwert für die Sekundärquelle 104 wird im einfachsten Fall folgendermaßen berechnet:
  • Schritt 1: Wenn die Strahlungsquelle 1 aus mehreren unabhängig voneinander angesteuerten Einzelquellen besteht, wie beispielsweise bei einer Weißlicht-Laserquelle eines Video-Laser-Projektionssystems, bestehend aus einer roten, einer grunen und einer blauen Lichtquelle, dann wird zunächst der momentan vorliegende Intensitätswert eines jeden dieser verschiedenen Primär-Quellen-Kanäle mit einem Wichtungsfaktor multipliziert. Dieser Wichtungsfaktor kann sich aus experimentell gewonnenen Daten ergeben und beispielsweise die unterschiedlichen spektral unterschiedlichen Absorptionseigenschaften des Strahlablenksystems, als der Strahlablenk-Einheit 2, berücksichtigen. So wird beispielsweise kurzwelliges blaues Licht von einer Aluminium-Reflektionsschicht stärker absorbiert als grünes oder rotes Licht. Demzufolge wären bezogen auf die weiter oben geschilderte Temperatur-Problematik die momentanen Intensitätswerte für eine blaue Primärquelle stärker zu gewichten als die für Grün und für Rot. Die Wichtung kann aber auch darüber hinaus weitere experimentell erkannte Einflüsse berücksichtigen. So wäre es möglich, auch die Abhängigkeit der spektralen Absorption vom veränderlichen Auftreffwinkel auf eine bewegte Spiegelplatte in der Gewichtung zu berücksichtigen. Insofern die Strahlungsquelle 1 aus nur einer einzigen Quelle elektromagnetischer Strahlung besteht, entfällt die spektrale Wichtung.
  • Schritt 2: Für den Fall, dass die Strahlungsquelle 1 aus mehreren Einzelquellen besteht, werden die gewichteten momentanen Einzel-Intensitätswerte zu einem momentanen Gesamt-Intensitätswert aufaddiert.
  • Schritt 3. Der ermittelte Gesamt-Intensitätswert wird von einem vorgegebenen Sollwert subtrahiert. Dieser Sollwert ist dabei mindestens so hoch wie die Summe der gewichteten Maximal-Intensitätswerte aller Einzelquellen aus der Strahlungsquelle 1.
  • Schritt 4: Der so berechnete Momentanwert verhält sich stets proportional zu dem Energie-Eintrag in die Strahlablenk-Einheit 2, welcher fehlt, um die Strahlablenk-Einheit 2 permanent auf konstanter Temperatur zu halten. Der so ermittelte Differenzwert wird ebenfalls mit einem Wichtungsfaktor multipliziert. Der Wichtungsfaktor ergibt sich beispielsweise aus experimentell gewonnen Daten zur Absorptionseigenschaft des Strahlablenksystems bei Bestrahlung mit Strahlung der Sekundärquelle 4.
  • Schritt 5: Schließlich wird basierend auf dem so zuletzt gewonnenen Momentanwert ein Ansteuer-Signal für die Sekundärquelle 4 erzeugt und das Strahlablenksystem dementsprechend aktiv geheizt und damit nicht nur über große Zeiträume hinweg gemittelt sondern auch auf der Zeitskala von Pixel-Belichtungszeiten auf annähernd konstanter Temperatur gehalten.
  • Wiederkehrende Merkmale sind in den weiteren Figuren stets mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet.
  • Die in 2 gezeigte Vorrichtung bildet ein RGB-Laser-Display, basierend auf einer RGB-Primär-Quelle als Strahlungsquelle 1 und einem aus Silizium gefer tigten zweiachsigen Mikro-Spiegel-Scanner als Strahlablenk-Einheit 2. Das abgelenkte Licht der Strahlungsquelle 1 trifft auf die Projektionsfläche 3. Die Sekundärquelle 4, vorzugsweise eine Nahinfrarot-Laser-Diode (mit einer Wellenlänge zwischen 700 nm und 800 nm) wird auf eine unbeschichtete Rückseite des Silizium-Mikrospiegels gerichtet, der die Strahlablenk-Einheit 2 bildet.
  • Die in 3 gezeigte Vorrichtung ist ein anderes RGB-Laser-Display, basierend auf einer RGB-Primär-Quelle als Strahlungsquelle 1 und einem aus Silizium gefertigten zweiachsigen Mikro-Spiegel-Scanner als Strahlablenk-Einheit 2. Das abgelenkte Licht der Strahlungsquelle 1 trifft auf die Projektionsfläche 3. Die Sekundärquelle 4, vorzugsweise eine Nahinfrarot-Laser-Diode mit einer Wellenlänge zwischen 700 nm und 800 nm wird hier ebenfalls auf die verspiegelte Vorderseite des Silizium-Mikrospiegels 2 gerichtet. Die Effizienz des Heizstrahlers ist bei dieser Anordnung wegen der hohen Reflektivität jedoch deutlich geringer als bei der Anordnung aus 2. Insofern die Sekundärquelle 4 ein Emitter einer nicht sichtbaren Nahinfrarot Wellenlänge ist, könnte ihre Strahlung ohne Störung des Kontrastes der Laser-Bild-Projektion auf die Projektionsfläche 3 abgelenkt werden. Das wäre bei einem, anders als hier dargestellt, entsprechend angewinkelten Auftreffen dieser Strahlung auf den Spiegel der Fall.
  • Auch die in 4 dargestellte Vorrichtung bildet ein RGB-Laser-Display, basierend auf einer RGB-Primär-Quelle als trahlungsquelle 1 und einem aus Silizium gefertigten zweiachsigen Mikro-Spiegel-Scanner als Strahlablenksystem oder Strahlablenk-Einheit 2. Das abgelenkte Licht der durch die Strahlungsquelle 1 gegebenen Primär-Quelle trifft auf die Projektionsfläche 3. Die Sekundärquelle 4, vorzugsweise eine Nahinfrarot-Laser-Diode (also wieder mit einer Wellenlänge zwischen 700 nm und 800 nm strahlend) wird auf die unverspiegelte Rückseite des Silizum-Mikrospiegels gerichtet, der die Strahlablenkeinheit 2 bildet. Der hier dargestellte Silizium-Mikrospiegel-Scanner ist hermetisch verpackt und beidseitig von Glasflächen 6 und 7 umgeben, die durchstrahlt werden müssen.
  • Die Ausführungsbeispiele können in beliebiger Kombination auch alle weiteren im allgemeinen Beschreibungsteil erläuterten Merkmale aufweisen.
  • Mit der zuletzt anhand von Ausführungsbeispielen beschriebenen Erfindung wird eine apparative Anordnung und ein Verfahren zur ein- oder mehrdimensionalen Projektion elektromagnetischer Strahlung vorgeschlagen. Die relevanten Wellenlängen- und Leistungsbereiche, für die die Erfindung angewendet werden kann, umfassen dabei zumindest alle Wellenlängen und Leistungen, die sich mit metallischen oder dielektrischen Spiegeln geeignet ablenken lassen, ohne dass es dabei zur Zerstörung des Ablenkspiegels bzw. der Ablenkspiegel kommt. Die Anordnung umfasst zumindest zwei oder aber auch mehreren Quellen, nämlich zumindest die Strahlungsquelle 1 und die Sekundärquelle 4, deren emittierte elektromagnetische Strahlung entweder direkt, oder aber indirekt über eine nachgeschaltete Einheit, in der Intensität moduliert werden kann. Die Intensitätsmodulation wird durch eine, zwei oder mehrere elektronische Steuereinheiten 5 entsprechend einer zugeführten ein- oder mehrdimensionalen Bilddaten-Information gesteuert. Der intensitätsmodulierte Strahl mindestens einer dieser Quellen kann mittels einer ein- oder mehrachsigen Ablenkeinheit, hier als Strahlablenk-einheit 2 bezeichnet, kontrolliert abgelenkt und entweder direkt auf die vorgesehene Projektionsfläche 3 gerichtet oder aber indirekt über eine nachgeschaltete Abbildungseinrichtung (z. B. Objektiv) auf die Projektionsfläche 3 projiziert werden. Mindestens eine der intensitätsmodulierbaren Quellen elektromagnetischer Strahlung dient nicht oder zumindest nicht primär der Projektionsaufgabe (z. B. Bildprojektion oder Materialbearbeitung), sondern ist dazu vorgesehen, vermittelt durch Absorption Energie an die eine oder aber auch mehrere Ablenkeinheiten zu übertragen. Dadurch kann die Temperatur der einen oder mehreren Ablenkeinheiten zeitlich nicht nur auf der Skala von ganzen Bildern oder ganzen Zeilen, sondern wesentlich präziser noch, auf der Skala der Elementarbestandteile von Zeilen, nämlich von Pixeln, konstant gehalten werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - US 6140979 A [0004]
    • - US 7009748 B2 [0004]
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    • - WO 03/032046 A1 [0004]
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Claims (22)

  1. Vorrichtung zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung, umfassend eine intensitätsmodulierbare Strahlungsquelle (1) und eine Strahlablenk-Einheit (2) zum Umlenken von der Strahlungsquelle (1) ausgehender Strahlung auf eine Projektionsfläche (3), wobei die Strahlablenk-Einheit (2) ansteuerbar ist zum Vorgeben einer zeitabhängigen momentanen Projektionsrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung ferner eine ebenfalls intensitätsmodulierbare Sekundärquelle (4) zum Bestrahlen der Strahlablenk-Einheit (2) aufweist, wobei ferner eine Steuereinheit (5) zum Steuern einer Strahlungsintensität der Sekundärquelle (4) in Abhängigkeit von einer momentanen Strahlungsintensität der Strahlungsquelle (1) vorgesehen ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie zur Bilderzeugung oder zur Materialbearbeitung geeignet ist.
  3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (5) programmtechnisch so eingerichtet ist, dass die Strahlungsintensität der Sekundärquelle (4) zunimmt, wenn die Bestrahlungsintensität der Strahlablenk-Einheit (2) durch die Strahlungsquelle (1) abnimmt und umgekehrt.
  4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (1) und/oder die Sekundärquelle (4) eine in einem Wellenlängenbereich zwischen Ultraviolett und Infrarot strahlende Lichtquelle ist.
  5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Sekundärquelle (4) eine in einem nichtsichtbaren Wellenlängenbereich strahlende Licht- oder Wärmestrahlungsquelle ist.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (1) direkt oder mittels eines nachgeschalteten Modulationseinheit intensitätsmodulierbar ist.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (1) eine Laserdiode oder eine RGB-Laser-Lichtquelle oder einen Infrarot-Laser umfasst.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Sekundärquelle (4) direkt oder mittels einer nachgeschalteten Modulationseinheit intensitätsmodulierbar ist.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Sekundärquelle (4) mit einer Maximalfrequenz intensitätsmodulierbar ist, die mindestens so hoch ist wie eine maximale Modulationsfrequenz der Strahlungsquelle (1).
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Sekundärquelle (4) eine Infrarot-Laserdiode oder eine Nahinfrarot-Laserdiode umfasst.
  11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlablenk-Einheit (2) reflektierend ausgeführt ist.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlablenk-Einheit (2) einen um eine oder zwei Achsen kippbaren Spiegel umfasst.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlablenk-Einheit (2) einen Silizium-Mikrospiegel umfasst und/oder einen Mikrospiegel-Scanner bildet.
  14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Sekundärquelle (4) so angeordnet ist, dass sie die Strahlablenk-Einheit (2) von einer Rückseite aus und/oder aus einer um mindestens 20° von einer Bestrahlungsrichtung durch die Strahlungsquelle (1) abweichenden Richtung bestrahlt.
  15. Verfahren zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung, bei dem von einer Strahlungsquelle (1) ausgehende Strahlung intensitätsmoduliert und mittels einer Strahlablenk-Einheit (2) auf eine Projektionsfläche (3) umgelenkt wird, wobei die Strahlablenk-Einheit (2) so angesteuert wird, dass die von der Strahlungsquelle (1) ausgehende Strahlung mit einer sich zeitlich ändernden Projektionsrichtung auf verschiedene Orte auf der Projektionsfläche (3) fällt, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlablenk-Einheit (2) zusätzlich mit einer intensitätsmodulierbaren Sekundärquelle (4) bestrahlt wird, die so angesteuert wird, dass eine Strahlungsintensität der Sekundärquelle (4) abnimmt, wenn eine zunehmende Strahlungsintensität der Strahlungsquelle (1) und/oder eine Frequenzänderung der von der Strahlungsquelle (1) ausgehenden Strahlung zu einem erhöhten Wärmeeintrag in die Strahlablenk-Einheit (2) führt und umgekehrt.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass es zur Bilderzeugung auf der Projektionsfläche (3) oder zur Materialbearbeitung an einer die Projektionsfläche (3) bildenden Werkstückoberfläche dient.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (1) und die Sekundärquelle (4) durch eine mit der Strahlungsquelle (1) synchronisierte Intensitätsmodulation der Sekundärquelle (4) gemeinsam einen zeitlich konstanten Wärmeeintrag in die Strahlablenk-Einheit (2) bewirken.
  18. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlablenk-Einheit (2) die von der Strahlungsquelle (1) ausgehende Strahlung mit einem Spiegel reflektiert, der um eine oder zwei Achsen geschwenkt wird.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Sekundärquelle (4) die Strahlablenk-Einheit (2) von einer Rückseite und/oder so bestrahlt, dass von der Sekundärquelle (4) ausgehende Strahlung, die von der Strahlablenk-Einheit (2) umgelenkt wird, nicht auf die Projektionsfläche (3) fällt.
  20. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die zeitabhängige Strahlungsintensität der Sekundärquelle (4) definiert wird, indem ein momentaner Intensitätswert der Strahlungsquelle (1) von einem Sollwert subtrahiert wird, ein sich dadurch ergebender Differenzwert mit einem Wichtungsfaktor gewichtet wird und ein so erhaltenes Ansteuer-Signal zum Ansteuern der Sekundärquelle (4) verwendet wird.
  21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass der Intensitätswert der Strahlungsquelle (1) ermittelt wird, indem jede Einzelintensität mehrerer in der Strahlungsquelle (1) enthaltener Lichtquellen mit einem farbspezifischen Wichtungsfaktor gewichtet wird und die so gewichteten Einzelintensitäten addiert werden.
  22. Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14 zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 15 bis 21.
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