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Die
Erfindung betrifft ein Schichtsystem mit der Funktion eines Elektrolyten
einer Hochtemperatur-Brennstoffzelle sowie ein Verfahren zu dessen
Herstellung.
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Stand der Technik
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Die
Brennstoffzellen unterteilen sich nach ihrer Elektrolytart, die
die Betriebstemperatur bestimmt. Die oxidkeramische Brennstoffzelle,
auch SOFC (= solid Oxide fuel cell) genannt, ist eine Hochtemperatur-Brennstoffzelle
(HT-BZ). Die SOFC ist ein hocheffizienter Energiewandler zur Stromgewinnung
aus chemischer Energie. Im Vergleich zu Verbrennungsmotoren oder
Kraftwerken liegt der Wirkungsgrad bei einer SOFC bis zu einem Faktor
zwei höher. Die SOFC hat dadurch einen relativ niedrigen
Brennstoffverbrauch und gilt daher als umweltfreundlich.
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Gemäß dem
Stand der Technik wird für die Elektrolytherstellung für
eine SOFC ein Schlicker aus einem Elektrolytpulver, z. B. 8 mol-%
Yttrium stabiliertes Zirkoniumoxid (YSZ), und zusätzlichen
Stabilisatoren, wie z. B. Polyethylenimin in einer alkoholischen
Suspension, mittels eines Gießverfahrens (z. B. Vakuumschlickerguss)
auf einem Trägersubstrat, gegebenenfalls mit weiteren Funktionsschichten,
aufgebracht. Ein sich anschließender Sinterungsschritt
ist notwendig, um die Pulverpartikel zu verfestigen und zu verdichten
und dadurch eine Helium-Leckrate der Zelle im betriebsfertigen Zustand
von kleiner 1,0 × 10–3 mbar
l/(cm2 sec) erreicht wird. Dies ist notwendig,
da der Elektrolyt die Anode von der Kathode räumlich gasdicht
trennen muss, da andernfalls die Gase miteinander reagieren. Der
Elektrolyt besteht in diesem Fall nur aus einer Schicht. Die notwendige
Gasdichtigkeit wird hier durch eine Sinterungstemperatur von ca.
1400°C erreicht. Darüber hinaus muss der Elektrolyt
isolierend für Elektronen sein, ansonsten gäbe
es einen Kurzschluss. Bei einem mehrschichtigen Aufbau eines Elektrolyten
kann dieser Sinterungsschritt bei 1400°C zu unerwünschter
Reaktion zwischen den angrenzenden Schichten in der Brennstoffzelle
führen.
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In
einem folgenden Schritt wird, abhängig vom Kathodenmaterial,
z. B. mittels Siebdruck eine Sr-Sperrschicht aufgetragen. Diese
soll eine Reaktion zwischen dem Ionen leitenden Elektrolyten und
dem ionischen und elektronischen Kathodenmischleiter verhindern
bzw. verlangsamen. Diese Sperrschicht muss ebenfalls verdichtet
werden, bei Pulvern durch Sintern. Bei diesem Herstellungsverfahren
treten in der Regel keine Probleme mit der Haftung der Kathode auf
der Sr-Sperrschicht des Elektrolyten auf. Allerdings bleibt diese
Sperrschicht porös, so dass es bei der Sinterung der Kathode
trotzdem zu einer Reaktion zwischen dem Elektrolyt und Kathode kommen
kann.
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Alternativ
kann diese Sr-Sperrschicht auch mittels physikalischer Gasphasenabscheidung
(PVD = physical vapor deposition) hergestellt werden, wobei vorteilhaft
die Sr-Diffusion von der Kathode zum Elektrolyten besser verhindert
werden kann. [1].
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In
einem letzten Schritt wird die Kathode, z. B. aus Lanthan-Strontium-Kobalt-Eisenoxid, La0 , 58Sr0 , 48Fe0 , 8Co0,2-Oxid (LSFC) z. B. mittels Siebdruck auf
die Sperrschicht aufgetragen und ebenfalls gesintert.
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Der
Sinterungsschritt bei der Herstellung des Elektrolyten (YSZ) bei
1400°C erlaubt nachteilig nur eine geringe Auswahl an geeigneten
Werkstoffen für das Substrat und Funktionsschichten auf
dem Substrat und erhöht zudem die Kosten bei der Herstellung.
Die minimale Schichtdicke, die bislang notwendig ist, um nach dem
Sinterungsschritt die geforderte Dichtigkeit der Elektrolytschicht
zu gewährleisten, liegt bislang bei ca. 8 bis 10 μm.
Damit würde sich ein theoretischer Flächenspezifischenwiderstand
dieser Schicht von etwa 40–60 mΩ pro cm2 bei 700°C ergeben [2, 3].
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Ein
besserer Sauerstoffionleiter, z. B. mit Gadolinium dotiertes Ceroxid
(CGO), kann allein nicht für die Elektrolytschicht eingesetzt
werden, da dieser Werkstoff nachteilig auch eine gute Leitfähigkeit
für Elektronen besitzt und ein Kurzschluss bei der Zelle
verursachen würde. Ein solcher erfolgt insbesondere unter
reduzierenden Bedingungen oberhalb von ca. 650°C, z. B.
bei einem Sauerstoffpartialdruck von weniger als 10–18 bar, was
in der Regel bei Betriebsbedingungen auf der Brenngasseite der SOFC
erreicht wird.
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Ferner
ergeben sich Probleme bei der Sinterung der Sr-Sperrschicht, die
in der Regel nur teilweise eine Verdichtung dieser Schicht erreicht.
Wird die Sinterungstemperatur zu niedrig gewählt, bleibt
die Schicht zu porös und eine Reaktion zwischen dem Elektrolyten
und der Kathode kann nur teilweise verhindert werden. Bei einer
zu hoch eingestellten Sintertemperatur reagiert die Sr-Sperrschicht
mit dem Elektrolyt und bildet nachteilig eine Mischphase aus, die
nur schlecht Sauerstoffionen leitend ist und daher einen erhöhten
Widerstand der Zelle verursacht. Die Schicht selbst bleibt zu einem
gewissen Anteil porös und erzeugt somit zusätzlich
noch einen Widerstand. Die minimale Schichtdicke der siebgedruckten
Sr-Sperrschicht beträgt in diesen Fall ca. 7 μm.
Der theoretische Flächen-spezifische Widerstand läge
dann bei 16 mΩ pro cm2 bei 700°C
[2, 4].
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Aus
den vorgenannten Gründen ist bislang die Realisierung der
Herstellung eines Elektrolyten bestehend aus mehr als zwei Schichten über
ein Verfahren, bei welchem der Schichtverbund oder ein Teil davon wenigstens
einen Sinterschritt bei Temperaturen von etwa 1400°C benötigt,
nicht möglich.
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Aufgabe und Lösung
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Aufgabe
der Erfindung ist es, einen Elektrolyten für eine SOFC
bereitzustellen, der einen geringen spezifischen Flächenwiderstand
(kleiner als 10 mΩ pro cm2) bei
deutlich geringerer Schichtdicke (kleiner als 3 μm) aufweist,
als bislang nach dem Stand der Technik möglich war. Weiterhin
ist es Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung eines
solchen Elektrolyten für eine SOFC zu schaffen.
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Die
Aufgabe wird gelöst durch ein Schichtsystem mit der Gesamtheit
der Merkmale des Hauptanspruchs, der Verwendung eines solchen Schichtsystems
gemäß Nebenanspruch sowie durch ein Verfahren zur
Herstellung eines solchen Schichtsystems gemäß weiterem
Nebenanspruch. Vorteilhafte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Schichtsystems und des Herstellungsverfahrens ergeben sich aus den
jeweils rückbezogenen Unteransprüchen.
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Gegenstand der Erfindung
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Diese
Erfindung bezieht sich auf die Herstellung mehrerer thermisch stabiler
dichter Funktionsschichten mittels Gasphasenabscheidung, speziell
physikalische Gasphasenabscheidung (physical vapor deposition, PVD)
für die Hochtemperatur-Brennstoffzelle.
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Die
Anordnung dieser Funktionsschichten ermöglicht es, den
Elektrolyten einer Brennstoffzelle aus mindestens drei Schichten
aufzubauen. Die Anordnung umfasst eine erste, gut Sauerstoffionen
leitende Schicht, die auch Elektronen leitend sein darf, aus z.
B. Gadolinium dotiertem Ceroxid (CGO). Darauf angeordnet befindet
sich eine weitere und im Vergleich zur ersten Schicht möglicherweise
etwas schlechter Sauerstoffionen leitende Schicht, die dafür
aber aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff besteht, wie z.
B. aus Yttriumoxid stabilisiertem Zirkoniumoxid (YSZ). Auf dieser
ist eine dritte Schicht, wiederum gut Sauerstoffionen leitend, angeordnet,
die ebenfalls Elektronen leitend sein darf, aus z. B. CGO. Diese
letztgenannte Schicht wirkt gleichzeitig als notwendige Kationensperrschicht,
um eine Reaktion zwischen dem Elektrolyten und der Kathode zu vermeiden.
Da diese Schicht zudem eingesetzt wird, um den Elektrolyten weiter
abzudichten, wird sie regelmäßig als Teil des
Elektrolyten betrachtet.
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Um
eine gute Anbindung der Kathode zum Elektrolyten zu erzielen, ist
es optional auch noch möglich, eine weitere Schicht, die
auch gasdicht sein kann, aus einem elektrischen und ionischen Mischleiter
(z. B. La0 , 6Sr0 , 4FeO3) herzustellen,
die ähnliche elektrochemische Eigenschaften wie die Kathode
aufweist. Durch diese (Haft-)Schicht werden der Kontakt zwischen
der Kathode und der obersten Elektrolytschicht und die Haftung zwischen
dem Elektrolyten und der porösen Kathode/Anode regelmäßig
verbessert. Diese Haftschicht zwischen Elektrolyt und Kathode kann
bei der späteren Sinterung der Kathode ihre Morphologie ändern
bzw. mit der Kathode reagieren.
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Im
Rahmen der Erfindung wurde festgestellt, dass die bislang für
die Herstellung eines Elektrolyten einer Hochtemperatur-Brennstoffzelle
eingesetzten Verfahren des Schlickergusses und des Siebdruckes regelmäßig
eine Mindestschickdicke von ca. 8 bis 10 μm erfordern,
um die notwendige Gasdichtigkeit dieser Schicht mit Hilfe eines
Sinterschrittes zu erzeugen. Im Unterschied dazu bietet das Ver fahren über
die Gasphasenabscheidung, speziell physikalische Gasphasenabscheidung,
die Möglichkeit, die für einen Elektrolyten notwendige
dichte Schicht auch schon bei Schichtdicken unter 3 μm
zu realisieren.
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Durch
die Herstellung über Gasphasenabscheidungsverfahren wird
der Kontakt zwischen den Schichten regelmäßig
erhöht, wodurch die Verluste an den Grenzflächen
zwischen den einzelnen unterschiedlichen Schichten vorteilhaft minimiert
werden. Zudem wird dadurch der Sauerstoffionentransport zwischen
den Schichten unterstützt. Als weiterer Vorteil ist zu
nennen, dass der sonst übliche Sinterungsschritt bei diesem Herstellungsverfahren
umgangen werden kann.
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Im
Rahmen der Erfindung wurde daher ein dünner, gasdichter
Elektrolyt für eine Hochtemperatur-Brennstoffzelle mit
Hilfe der physikalischen Gasphasenabscheidung hergestellt. Zu den
Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung im Rahmen der
Erfindung werden einerseits die Kathodenzerstäubung („Sputtern"),
andererseits die Gasphasenabscheidung mit Hilfe eines Elektronenstrahls,
genauer mit Hilfe der Electron-Beam Physical Vapor Deposition (EB-PVD)
sowie auch Kombinationen dieser beiden Verfahren gezählt.
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Durch
Gasphasenabscheidungsverfahren ist es regelmäßig
möglich, eine Schichtdicke unter 1 μm, insbesondere
sogar unter 200 nm herzustellen. Die Bildung der dichten Schicht
erfolgt bei den Gasphasenabscheidungsverfahren ohne den bislang üblichen
Sinterungsschritt bei hohen Temperaturen (über etwa 1200°C) anwenden
zu müssen. Ferner ist über diese Verfahren ein
bevorzugtes Kristallwachstum möglich, was sich in der Regel
positiv auf die Sauerstoffionenleitfähigkeit der hergestellten
Schicht auswirken kann. Ein weiterer Vorteil dieser Verfahren ist
die Aufbringung von mehreren Schichten in einem Verfahrensschritt.
Dadurch können vorteilhaft Einsparungen bei der Zeit und
den Kosten bewirkt werden.
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Der
erfindungsgemäße Elektrolyt besteht aus einem
Schichtsystem aus mindestens drei Schichten:
- • Eine
erste Schicht hat die Funktion, das Elektrolytschichtsystem abzudichten,
insbesondere die Funktion der Anode räumlich von der Kathode
zu trennen. Sie sollte ein guter Sauerstoffionenleiter sein. Ein
geeignetes Material für diese Schicht ist beispielsweise
mit Gadolinium dotiertes Ceroxid (CGO). Dieses Material besitzt
eine gute Sauerstoffionenleitfähigkeit, aber auch eine
gute Elektronenleitfähigkeit. Die Schichtdicke kann insbesondere
weniger als 1 μm betragen. Eine solche 1 μm dicke
Schicht würde einen theoretischen spezifischen Flächenwiderstand
von 2,6 mΩ pro cm2 bei 700°C
aufweisen.
- • Eine zweite Schicht hat die Funktion, den Elektrolyten
elektrisch zu isolieren, um einen Kurzschluss in der Brennstoffzelle
zu vermeiden. Ein für diese Zwecke geeigneter Werkstoff
ist zum Beispiel mit Yttrium stabilisiertes Zirkoniumoxid (YSZ).
Im Vergleich zu CGO ist dieser Werkstoff aber ein schlechterer Sauerstoffionenleiter.
Um den Widerstand nicht unnötig zu erhöhen, sollte
diese zweite Schicht daher mit einer Schichtdicke von weniger als
1 μm, bevorzugt von weniger als 100 nm hergestellt werden.
Der theoretische spezifische Flächenwiderstand für
eine Schichtdicke von 500 nm würde dann ca. 2,9 mΩ pro
cm2 bei 700°C betragen.
- • Die dritte Schicht hilft bei der Abdichtung (räumliche
Trennung von Anode und Kathode) und wird als Teil des Elektrolyts
betrachtet. Diese Schicht besteht wiederum aus einem guten Sauerstoffionen-
und eventuell Elektronenleiter, wie beispielsweise die erste Schicht.
Hierfür wäre wieder eine CGO-Schicht mit einer Schichtdicke
von weniger als 1 μm geeignet. Eine Schicht mit 1 μm
Schichtdicke würde einen theoretischen spezifischen Flächenwiderstand
von 2,6 mΩ/cm2 bei 700°C
aufweisen. Diese Schicht kann auch wichtig sein, um eine chemische
Reaktion zwischen dem Elektrolytmaterial (z. B. YSZ) und einer angrenzenden Kathode
(z. B. aus LSFC) zu verhindern.
- • Optional kann zwischen der dritten Schicht und der
Kathode eine weitere Schicht angeordnet sein, die für eine
optimale mechanische und elektrochemische Anbindung zwischen der
porösen Kathode und dem Elektrolyten während des
Sinterns sorgt und gut Sauerstoffionen leitend ausgestaltet ist.
- • Ferner kann optional auch eine weitere Schicht zwischen
der ersten Schicht und der Anode angeordnet sein, die ebenfalls
für eine besonders gute me chanische und elektrochemische
Anbindung zwischen Elektrolyt und Anode sorgt.
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Alle
Schichten des Elektrolyten müssen einen ausreichenden Sauerstoffionentransport
gewährleisten, chemisch beständig gegenüber
den angrenzenden Schichten sein und einen angepassten thermischen
Ausdehnungskoeffizienten aufweisen.
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Mit
konventionellen Herstellungsverfahren, z. B. dem Vakuumschlickerguss
oder dem Siebdruck ist derzeit die Herstellung von solchen Schichtdicken
mit der gewünschten Dichtigkeit nicht möglich.
Erfindungsgemäß ist die gesamte Schichtdicke des
Elektrolyts geringer als 3 μm, insbesondere geringer als
2 μm im Vergleich zum bisherigen Stand der Technik mit
mindestens 8 μm bis 10 μm Schichtdicke für
einen Elektrolyten.
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Das
erfindungsgemäße Schichtsystem umfasst wenigstens
zwei unterschiedliche Werkstoffe. Die höhere Ionenleitfähigkeit
und die dünnere Schichtdicke bedeuten insgesamt einen niedrigen
Widerstand der Zelle. Beispiel: Der theoretische spezifische Flächenwiderstand
sinkt von ca. 60–80 mΩ pro cm2 bei
700°C für herkömmlichen Elektrolyten
auf < 10 mΩ pro
cm2 bei 700°C für das
erfindungsgemäße Schichtsystem.
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Neben
den Widerständen der unterschiedlichen Werkstoffe (Ionenleitfähigkeit)
innerhalb der einzelnen Schichten, ist auch der Widerstand an der
Grenzfläche zwischen den Schichten zu erwähnen
(Übergang von Ionen von einer Schicht in die nächste).
Dieser Widerstand kann vorteilhaft minimiert werden, indem ein guter
Kontakt zwischen den Schichten erzeugt wird. Bei konventionellen
Verfahren, wie Siebdruck oder Vakuumschlickerguss, müssen
einzelne Partikel auf der unteren Schicht versintern, was in der
Regel eine erhebliche Kontaktflächenminderung bedeutet.
Eine mögliche Reaktion zwischen der unteren Schicht und
den Partikeln kann auch diesen Kontakt verschlechtern. Dies wird
vorteilhaft durch den Einsatz von Gasphasenabscheidungsverfahren
umgegangen, da hierbei keine Sinterung erforderlich ist.
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Zusammenfassend
lassen sich die einzelnen Funktionen der Schichtenfolge für
den Einsatz als Elektrolyten auf einem Substrat mit einer Funktionsschicht
(z. B. Anode) in einer Brennstoffzelle wie folgt charakterisieren:
- – (E0): optionale Haftschicht zur
Optimierung des Kontaktes Anode/Elektrolyt; optimierter Übergang
der O2-Ionen von dem Elektrolyten in die
Anode; diese Funktionen können eventuell durch E1 übernommen werden;
- – E1: Abdichtung zum Erreichen der Gasdichtigkeit zwischen
Anode und Kathode; Abdichtung der Poren an der Oberfläche
der Anode sowie Unterlage für die Schicht E2; sie muss
eine hinreichend gute O2-Ionen-Transporteigenschaften
aufweisen;
- – E2: Abdichtung zum Erreichen der Gasdichtigkeit zwischen
Anode und Kathode; zusätzlich muss hiermit ein Elektronenfluss
zwischen Kathode und Anode verhindert werden; hinreichend gute O2-Ionen-Transporteigenschaften sind erforderlich;
- – E3: Abdichtung zum Erreichen der Gasdichtigkeit zwischen
Anode und Kathode; zusätzliche Sperrschicht für
Kationen der Kathode; auch sie muss eine hinreichend gute O2-Ionen- Transporteigenschaften aufweisen;
- – (E4): optionale Haftschicht zur Optimierung des Kontaktes
Kathode/Elektrolyt; Verbesserung der mechanischen Haftung; optimierter Übergang
der O2-Ionen von der Kathode in den Elektrolyten;
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Zur
Vervollständigung der SOFC muss im Anschluss eine Kathode
aufgetragen werden.
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Während
die Schichtenfolge E1 + E2 + E3 für den Aufbau des erfindungsgemäßen
Schichtsystems mit der Funktion eines Elektrolyten einer Hochtemperatur-Brennstoffzelle
zwingend ist, sind die weiteren Anordnungen der Haftschichten E0
und/oder E4 optional und bilden besonders vorteilhafte Ausgestaltungen
der erfindungsgemäßen Schichtfolgen für
einen Elektrolyten.
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Spezieller Beschreibungsteil
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Nachfolgend
wird der Gegenstand der Erfindung anhand von einigen Figuren und
Tabellen sowie von Ausführungsbeispielen näher
erläutert, ohne dass der Gegenstand der Erfindung dadurch
beschränkt wird.
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Als
Substrate können sowohl keramische als auch metallische
Substrate eingesetzt werden. Im Falle von metallischen Substraten
weisen diese jedoch noch zusätzlich eine poröse
katalytisch (als Anode oder Kathode) wirkende Oberflächenschicht
auf, wie beispielsweise ein poröses Substrat aus Crofer
Stahl beschichtet mit einem YSZ-Ni-Cermet (Cermet: eine gesinterte
Mischung aus einer Keramik und einem Metall) als Anode.
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Die
Herstellung der Beschichtung des Elektrolyten erfolgt über
PVD, insbesondere über EB-PVD, Kathodenzerstäubung
("Sputtern"), auch reaktive Kathodenzerstäubung („Reaktivsputtern")
oder über eine Kombination dieser beiden Verfahren. Die
Prozessschritte gliedern sich dabei wie folgt: Dampferzeugung der schichtausbildenden
Teilchen, Dampftransport von der Teilchenquelle durch die verdünnte
Gasatmosphäre zum Substrat, Adsorption der Teilchen, Schichtbildung
und Schichtwachstum auf dem Substrat.
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Beim
Aufbringen der Kathode auf die vorgenannten Beschichtungen kann
es vereinzelt zu einer nicht optimalen Haftung der siebgedruckten
Kathode kommen. In diesen Fällen kann eine ungenügende
Haftung während des Betriebs der Zelle nachteilig zum teilweisen
Abplatzen der Kathode führen und dadurch eine Verringerung
der Kathodenfläche verursachen. Dies führt in
der Folge zu einer deutlichen Leistungsminderung der Zelle.
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Diesen
Fällen kann vorgebeugt werden, indem optional zunächst
noch eine weitere Schicht ebenfalls mit PVD auf die Beschichtungen
aufgebracht wird. Ein kompatibler und besonders geeigneter Werkstoff
dafür ist z. B. Lanthan-Strontium-Eisenoxid (LSF). Eine
derart aufgebrachte, dichte Schicht bewirkt nicht nur eine gute
Haftung zur Kathode, sondern wirkt sich auch vorteilhaft auf den
Sauerstoffionentransport an der Grenzfläche zwischen Kathode
und Sr-Sperrschicht aus. Dies resultiert dann in der Regel in einem
niedrigen Widerstand für die Sauerstoffionen bzw. für
die gesamte Zelle.
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Nach
dem Aufbringen dieser weiteren Haftschicht erfolgt üblicherweise
ein Reinigungsschritt durch Plasma-Reinigung, bevor die poröse
Standard-Kathode mittels Siebdruck aufgetragen wird und der abschließende
Sinterschritt folgt. Die Plasma-Reinigung ist ein Vorgang, ähnlich
dem des Plasma-Ätzens, jedoch wird kein reaktives Gas,
sondern Argon eingesetzt.
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A. Schichtherstellung über EB-PVD
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1. Substrate:
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Als
Substrat 1 wird ein planares, poröses, gesintertes Anodensubstrat
mit einer NiO-YSZ-Zusammensetzung und einer Geometrie von zum Beispiel
5 cm × 5 cm × 0,15 cm eingesetzt. Die Oberfläche
ist mit einer angesinterten feinkörnigen Schicht mit einer
Dicke von 3 bis 25 μm mit derselben Zusammensetzung wie
das Substrat belegt, um einerseits die Oberflächenrauhigkeit
zu erniedrigen und andererseits die aktive Elektrodenoberfläche
zu vergrößern. Das Substrat 1 wird zum Beispiel
bei 1400°C 5 h in Luft gesintert.
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Das
Substrat 2 umfasst ebenfalls ein gesintertes planares poröses
Anodensubstrat mit einer NiO-YSZ-Cermet und einer Geometrie von
zum Beispiel 5 cm × 5 cm × 0,15 cm. Die Oberfläche
ist mit einer reinen YSZ-Schicht ca. 8–10 μm dick
belegt, z. B. durch Vakuumschlickerguss. Nach einem weiteren Sinterschritt
kann eine gasdichte YSZ-Schicht erhalten werden.
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2a. Targetherstellung:
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Durch
Zusatz von Presshilfsmitteln wie z. B. Glyzerin werden Tabletten
aus YSZ- bzw. CGO-Pulvern hergestellt. Die entsprechenden Pulver
sind zum Teil kommerziell erhältlich, wie zum Beispiel
YSZ-Pulver von der Firma Unitec, und CGO-Pulver von der Firma Treibacher.
Sind die Pulver nicht kommerziell erhältlich, können
sie z. B. über Sprühpyrolyse und Kalzination gewonnen
werden. Nach dem Pressen werden die Tabletten gesintert. Diese Tabletten
werden anschließend als Verdampfungsgut („Targets")
für die Elektronenstrahlverdampfung genutzt.
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2b. Beschichtungen:
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Vor
der eigentlichen Beschichtung der Substrate werden alle Proben erst
im Ultraschallbad mit flüssigen Reinigungsmitteln gereinigt
und dann durch Plasma-Reinigung gesäubert, zum Beispiel
mit Hilfe eines Argonplasmas, bei dem das eigentliche zu beschichtende
Substrat mit Argonionen beschossen wird („Inver ser Sputterätzer").
Bei Verwendung von Ionen mit geeigneter Energie [5] werden zudem
Adsorbate entfernt, was sich positiv auf die Haftung der danach
aufgebrachten Schichten auswirkt. Als Prozessgas wird Argon mit
einem Volumenstrom von z. B. 30 Standard-cm3 pro
Minute, bei einer Prozessdauer von z. B. 10 Minuten eingesetzt.
Bei einer konstanten Spannung von ca. 1000 V wird eine Leistung
von ca. 200 Watt im Plasma umgesetzt.
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Die
Gasphasenabscheidung für die Schichten selbst verläuft
wie nachfolgend beschrieben. Der Rezipient (d. h. die Beschichtungsprozesskammer)
wird in den Hochvakuumbereich (Größenordnung 10–8 Pa) evakuiert und das Substrat
langsam (etwa 5 Kelvin pro Minute) auf zum Beispiel 800°C
erhitzt. Der Elektronstrahl wird mit einer Hochspannung zwischen
z. B. 6 bis 10 kV und einer Stromstärke zwischen beispielsweise
5 und 500 mA auf das Target fokussiert und das Targetmaterial dabei
in die Dampfphase überführt. Durch Elektronstrahlverdampfer
mit mehreren Tiegeln können die Schichten sukzessiv beschichtet
werden, ohne die Substrate zwischen unterschiedlichen Beschichtungen
abkühlen oder die Kammer öffnen zu müssen.
Nach der Beschichtung wird die Probe abgekühlt und aus
der Kammer ausgeschleust. Anschließend werden die Proben noch
einmal einer Plasma-Reinigung unmittelbar vor dem Siebdruck unterzogen.
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3. Kathode:
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Die
porösen Kathoden aus La0 , 58Sr0 , 4Co0 , 2Fe0 , 8O3-x werden
mittels Siebdruck (z. B mit 146 μm Nassschichtdicke) auf
die Proben aufgetragen. Die Proben werden getrocknet (z. B. bei
60°C 4 h lang) und anschließend insgesamt mit
der Kathode bei beispielsweise 1040°C gesintert.
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B. Schichtherstellung über Sputtern
am Beispiel des Reaktiv-Sputterns (reaktive Kathodenzerstäubung)
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1. Substrate: wie unter A.1
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2a. Target:
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Die
entsprechenden Targets aus Yttrium-Zirkon- bzw. Cer-Gadolinium-Legierungen
können kommerziell bezogen werden.
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2b. Beschichtung:
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Vor
der eigentlichen Beschichtung der Substrate werden die Proben wie
im Abschnitt über EB-PVD-Beschichtungen beschrieben gereinigt.
Der Rezipient mit der Sputterquelle wird dann in den Hochvakuumbereich
(ca. 10–8 Pa) evakuiert. Das Substrat
wird, wie beim oben beschriebenen EB-PVD, aufgeheizt. Das metallische
Target wird durch Ionen aus dem Argon-Plasma beschossen und das
Targetmaterial in die Gasphase überführt. Das
in die Gasphase überführte Material reagiert mit
dem gasflussgeregelt zugegebenen Sauerstoff und oxidiert. Das oxidierte
Material scheidet sich dann auf dem Substrat ab. Die spezifische
Target-Leistungsdichte beträgt je nach Targetgröße
und in das Plasma eingekoppelter elektrischer Leistung einige W/cm2. Nach der Beschichtung wird die Probe abgekühlt
und anschließend aus der Kammer ausgeschleust. Anschließend
werden die Proben unmittelbar vor dem Siebdruck noch einmal einer
Plasma-Reinigung unterzogen.
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3. Kathode: wie unter A.3
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Insgesamt
wurden die nachfolgend in der Tabelle aufgeführten Schichtenfolgen
(Schichtdicken in Klammern) zur Herstellung eine kompletten Membran-Elektrodeneinheit
(MEA) über die vorgenannten Verfahren hergestellt, wobei
die Schichtenfolgen zwischen Anode und Kathode jeweils die erfindungsgemäßen
Mehrschicht-Elektrolyten darstellen.
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Die
eingesetzten Materialien entsprechen dabei:
- K:
- poröse Kathode,
elektronen- und Ionen- leitendes Material für eine Kathode
(Beispiel LSFC)
- E4:
- Elektronen und Ionen
leitendes Material für eine Kathode (Beispiel LSF)
- E3:
- sehr guter Ionenleiter,
bei dem eine gewisse Elektronenleitfähigkeit erlaubt ist;
eine schädliche Reaktion mit der Kathode muss ausgeschlossen
sein (Beispiel CGO)
- E2:
- eine Ionen-, aber
keinesfalls gut Elektronen leitende Schicht (Beispiel YSZ)
- E1:
- sehr guter Ionenleiter,
bei dem eine gewisse Elektronenleitfähigkeit erlaubt ist
(Beispiel CGO)
- E0:
- Elektronen- und Ionen
leitendes Material für eine Anode (Beispiel dotiertes Strontium-Titan-Oxid)
- A:
- poröse Anode
(Beispiel: Ni/YSZ Cermet)
- S1:
- metallisches poröses
Substrat (Beispiel: pulvermetallurgisch hergestelltes poröses
Crofer 22 APU)
- S2:
- poröses Substrat,
das gleichzeitig die Funktion einer Anode wahrnehmen kann (Beispiel:
Ni/YSZ Cermet)
- S3:
- poröses Substrat,
das gleichzeitig die Funktion einer Kathode wahrnehmen kann (Beispiel:
(La, Sr)(Fe.Co, Mn)O3-x)
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In
den nachfolgenden Tabellen sind einige experimentelle Schichtenfolgen
zusammengefasst. Tabelle 1 listet dabei die Schichten basierend
auf einem Anoden-gestützten Substrate auf, während
für die Schichtenfolgen in Tabelle 2 Kathoden-gestützte
Substrate eingesetzt wurden. Tabelle 1: Mögliche Anordnungen
für Zellen mit Substrat an der Anodenseite
lfd.
Nr | Substrat | Anode(n-optimierung) | Elektrolyt | Kathode |
1 | S1 | A
(10 μm) | | E1
(1 μm) | E2
(100
nm) | E3
(1 μm) | | K
(40 μm) |
2 | S1 | A
(10 μm) | | E1
(1 μm) | | | E4
(100
nm) | K
(40 μm) |
3 | S1 | A
(10 μm) | E0
(100
nm) | E1
(1 μm) | | | | K
(40 μm) |
4 | S1 | A
(10 μm) | E0
(100
nm) | E1
(1 μm) | | | E4
(100
nm) | K
(40 μm) |
5 | S1 | A
(10 μm) | | E1
(1 μm) | E2
(100
nm) | E3
(1 μm) | E4
(100
nm) | K
(40 μm) |
6 | S1 | A
(10 μm) | E0
(100
nm) | E1
(1 μm) | E2
(100
nm) | E3
(1 μm) | | K
(40 μm) |
7 | S1 | A
(10 μm) | E0
(100
nm) | E1
(1 μm) | E2
(100
nm) | E3
(1 μm) | E4
(100
nm) | K
(40 μm) |
8 | S2 | A
(10 μm) | | E1
(1 μm) | E2
(100
nm) | E3
(1 μm) | | K
(40 μm) |
9 | S2 | A
(10 μm) | | E1
(1 μm) | | | E4
(100
nm) | K
(40 μm) |
10 | S2 | A
(10 μm) | E0
(100
nm) | E1
(1 μm) | | | | K
(40 μm) |
11 | S2 | A
(10 μm) | E0
(100
nm) | E1
(1 μm) | | | E4
(100
nm) | K
(40 μm) |
12 | S2 | A
(10 μm) | | E1
(1 μm) | E2
(100
nm) | E3
(1 μm) | E4
(100
nm) | K
(40 μm) |
13 | S2 | A
(10 μm) | E0
(100
nm) | E1
(1 μm) | E2
(100
nm) | E3
(1 μm) | | K
(40 μm) |
14 | S2 | A
(10 μm) | E0
(100
nm) | E1
(1 μm) | E2
(100
nm) | E3
(1 μm) | E4
(100
nm) | K
(40 μm) |
Tabelle 2: Mögliche Anordnungen
für Zellen mit Substrat an der Kathodenseite
| Substrat | Kathode | Elektrolyt | Anode |
1 | S1 | K
(40 μm) | | E3
(1 μm) | E2
(100 nm) | E1
(200
nm) | | A
(40 μm) |
2 | S1 | K
(40 μm) | | E3
(5 μm) | | | E0
(100
nm) | A
(40 μm) |
3 | S1 | K
(40 μm) | E4
(100
nm) | E3
(5 μm) | | | | A
(40 μm) |
4 | S1 | K
(40 μm) | E4
(100
nm) | E3
(5 μm) | | | E0
(100
nm) | A
(40 μm) |
5 | S1 | K
(40 μm) | | E3
(1 μm) | E2
(100 nm) | E1
(200
nm) | E0
(100
nm) | A
(40 μm) |
6 | S1 | K
(40 μm) | E4
(100
nm) | E3
(1 μm) | E2
(100 nm) | E1
(200
nm) | | A
(40 μm) |
7 | S1 | K
(40 μm) | E4
(100
nm) | E3
(1 μm) | E2
(100 nm) | E1
(200
nm) | E0
(100
nm) | A
(40 μm) |
8 | S3 | K
(20 μm) | | E3
(1 μm) | E2
(100 nm) | E1
(200
nm) | | A
(40 μm) |
9 | S3 | K
(20 μm) | | E3
(5 μm) | | | E0
(100
nm) | A
(40 μm) |
10 | S3 | K
(20 μm) | E4
(100
nm) | E3
(5 μm) | | | | A
(40 μm) |
11 | S3 | K
(20 μm) | E4
(100
nm) | E3
(5 μm) | | | E0
(100
nm) | A
(40 μm) |
12 | S3 | K
(20 μm) | | E3
(1 μm) | E2
(100 nm) | E1
(200
nm) | E0
(100
nm) | A
(40 μm) |
13 | S3 | K
(20 μm) | E4
(100
nm) | E3
(1 μm) | E2
(100 nm) | E1
(200
nm) | | A
(40 μm) |
14 | S3 | K
(20 μm) | E4
(100
nm) | E3
(1 μm) | E2
(100 nm) | E1
(200
nm) | E0
(100
nm) | A
(40 μm) |
-
Zu
beachten ist, dass die Arbeitstemperatur der Zellen für
die Schichtenfolgen aus Tabelle 1 und 2 eventuell etwas abgesenkt
werden muss (T < 650°C),
da die anodenseitig erste CGO-Schicht unter Anodenbedingungen regelmäßig
bei höheren Temperaturen die Struktur ändern kann
und möglicherweise nicht stabil ist. Da erfindungsgemäß ein
verbesserter Kontakt zwischen den Schichten hergestellt werden kann
(niedriger Widerstand für Sauerstoffionentransport), ist
eine entsprechende Absenkung der Arbeitstemperatur um 100–200
K jedoch ohne eine Leistungsminderung der Zelle möglich.
-
In
der 1 sind drei Schnittaufnahmen eines
Schichtverbundes umfassend jeweils einen Elektrolyten, eine Kathode
sowie eine dazwischen angeordnete CGO-Schicht zu sehen, wobei die
CGO-Schicht jeweils mit unterschiedlichen Verfahren aufgebracht
wurde.
-
In 1a)
ist eine CGO-Schicht zu sehen, die mit Hilfe des reaktiven Sputterns
aufgebracht wurde. Die Schicht ist deutlich dünner als
500 nm und dicht ausgestaltet. Ähnliches ist in der 1b)
zu sehen, wo die CGO-Schicht mit Hilfe des EB-PVD Verfahrens aufgebracht
wurde. Auch sie ist dicht ausgestaltet und dünner als 1 μm.
Im Gegensatz dazu zeigt 1c) eine
CGO-Schicht, die wie bislang üblich über Siebdruck
aufgebracht wurde. Die Schicht ist ähnlich porös
wie die nebengeordnete Kathode und weist eine Schichtdicke von ca.
5 μm auf.
-
2 zeigt
eine elektronenmikroskopische Aufnahme einer Bruchfläche
einer erfindungsgemäßen Ausführungsform
eines Elektrolyten auf einem Anodensubstrat. Im unteren Bereich
ist die poröse Anode aus einem YSZ-Ni-Komposit zu erkennen.
Die darauf abgeschiedenen drei Schichten zeigen nahezu keine Porosität.
Ein etwas dunklerer Streifen lässt die dünne YSZ-Schicht
erkennen, die zwischen den beiden ebenfalls dünnen CGO-Schichten
angeordnet ist. In dieser Figur ist nur ein Ensemble aus Anode/Anodensubstrat
und Elektrolyt zu sehen. Die Kathode fehlt. Der Schichtverbund des
Elektrolyten weist eine Dicke von insgesamt nur 2 μm auf.
-
Die 3 zeigt
die elektronenmikroskopische Aufnahme einer Bruchfläche
eines Teils eines erfindungsgemäßen Schichtsystems,
umfassend jeweils eine YSZ-Schicht und eine darauf aufgebrachte CGO-Schicht
als Teil eines Elektrolyten sowie eine darauf angeordnete Haftschicht
aus LSF. Es handelt sich um ein keramisches Substrat mit einer Anodenfunktionsschicht
(beide NiO/YSZ) und eine Elektrolyt aus YSZ (8–10 μm),
was dem Stand der Technik entspricht. In der Figur ist nur ein Teil
des Elektrolyts zu sehen (untere Schicht, mit YSZ gekennzeichnet).
Die Schicht E1, 200 nm (als CGO gekennzeichnet) und die Schicht
E4, 50 nm (als LSF gekennzeichnet) sind als Modell zu verstehen,
um zu zeigen, wie diese beide Schichten vorteilhaft zusammenwirken
können. Die entsprechenden Vorteile in Form einer Leistungserhöhung
sind in der 4 dargestellt.
-
In 3 sind
deutlich die Größenordnungen der Schichtdicken
zu erkennen. Während die CGO-Schicht eine Schichtdicke
im Bereich von 200 nm aufweist, ist die LSF-Haftschicht mit ca.
50 nm nochmals deutlich dünner. In dieser Figur ist deutlich
zu erkennen wie dicht und kompakt diese Schichten sind und wie gut
der Kontakt zwischen den Schichten ist.
-
4 stellt
die Zellspannung in Abhängigkeit der Stromdichte für
eine Brennstoffzelle bei einer Betriebstemperatur von 650°C
dar. Verglichen werden Zellen, die jeweils eine CGO-Schicht aufweisen,
die jedoch mit unterschiedlichen Aufbringungsverfahren hergestellt
wurden. Diese Untersuchung wurde gemacht, um die Bedeutung der einzelnen
Schichten in den gesamten Elektrolytverbund zu ermitteln. Dafür
wurden bei allen Zellen ein keramisches Substrat mit einer Anodenfunktionsschicht
(beide NiO/YSZ) und ein Elektrolyt aus YSZ (8–10 μm)
eingesetzt, was dem bisherigen Stand der Technik entspricht. Die
schwarze Linie mit den Quadraten und der Bezeichnung SD CGO wurde
mit einer siebgedruckten CGO-Schicht aufgenommen, wobei die Kathode
ebenfalls siebgedruckt und gesintert wurde. Die Kennlinie mit den
Dreiecken und der Bezeichnung EB-PVD CGO wurde für eine
EB-PVD CGO-Schicht (E3) erhalten, bei der die Kathode siebgedruckt
und gesintert wurde (vgl. 1b). Der
Einfluss des LSF-Schicht (E4) wird mit der Linie mit den Rauten
und der Bezeichnung EB-PVD CGO/LSF dargestellt (vgl. 3,
die REM-Abbildung wurde vor der Kathodenbeschichtung gemacht). Die
Brennstoffzelle mit den über PVD aufgebrachten CGO-Schichten
schneiden dabei deutlich besser in der elektrischen Leistung ab.
-
In
der Anmeldung zitierte Literatur:
-
- [1] Mai, A.; in Solid State Ionics,
Vol. 177, pages 1965–1968 (2006)
- [2] Kharton, V.V.; Solid State Ionics, Vol. 174, pages
135–149 (2004)
- [3] Mizutani, Y.; Solid State Ionics, Vol. 72, pages
271–275 (1994)
- [4] Hideko, H.; Solid State Ionics, Vol. 132, pages
227–233 (2000)
- [5] CS 400 ES Clustersystem, ISE 200 Betriebsanleitung
Inverser Sputterätzer, VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH,
Dresden, 2004
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
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-
Zitierte Nicht-Patentliteratur
-
- - Mai, A.; in
Solid State Ionics, Vol. 177, pages 1965–1968 (2006) [0052]
- - Kharton, V.V.; Solid State Ionics, Vol. 174, pages 135–149
(2004) [0052]
- - Mizutani, Y.; Solid State Ionics, Vol. 72, pages 271–275
(1994) [0052]
- - Hideko, H.; Solid State Ionics, Vol. 132, pages 227–233
(2000) [0052]
- - CS 400 ES Clustersystem, ISE 200 Betriebsanleitung Inverser
Sputterätzer, VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, Dresden,
2004 [0052]