DE102006034395B4 - Vorrichtung zum Transportieren von Gegenständen - Google Patents

Vorrichtung zum Transportieren von Gegenständen Download PDF

Info

Publication number
DE102006034395B4
DE102006034395B4 DE102006034395A DE102006034395A DE102006034395B4 DE 102006034395 B4 DE102006034395 B4 DE 102006034395B4 DE 102006034395 A DE102006034395 A DE 102006034395A DE 102006034395 A DE102006034395 A DE 102006034395A DE 102006034395 B4 DE102006034395 B4 DE 102006034395B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
article
item
location
transport
placement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE102006034395A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102006034395A1 (de
Inventor
Yoshitaka Inui
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Publication of DE102006034395A1 publication Critical patent/DE102006034395A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102006034395B4 publication Critical patent/DE102006034395B4/de
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
  • Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Structure Of Belt Conveyors (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

Gegenstands-Transportvorrichtung, aufweisend:
einen umlaufenden Körper (1), der konfiguriert ist, um sich entlang einem kreisförmigen Weg in im Wesentlichen horizontaler Richtung zu bewegen;
eine Mehrzahl von Gegenstands-Trägereinrichtungen (2), von denen jede einen Gegenstand (B) trägt, wobei sich die Gegenstands-Trägereinrichtungen (2) gemeinsam mit dem umlaufenden Körper (1) bewegen, und wobei die Trägereinrichtungen (2) in Laufrichtung mit Abstand zueinander angeordnet sind;
eine Trägereinrichtung (13, 14), welche die Gegenstands-Trägereinrichtungen (2) am umlaufenden Körper (1) lagert, derart, dass sich die Gegenstands-Trägereinrichtungen (2) zwischen einer Transportposition benachbart dem umlaufenden Körper (1) und einer entfernten Position bewegen können, die von der Transportposition beabstandet ist; und
eine Führungseinrichtung (21), die verursacht, dass sich zumindest einige der Gegenstands-Trägereinrichtungen (2) aus der Transportposition in die entfernte Position, und aus der entfernten Position in die Transportposition bewegen, und zwar bei einem Gegenstands-Abgabeort (3) oder einem Gegenstands-Empfangsort (4) entlang dem kreisförmigen Weg des umlaufenden Körpers (1),...

Description

  • Die Erfindung betrifft Vorrichtungen zum Transportieren von Gegenständen.
  • Vorrichtungen zum Transportieren von Gegenständen weisen einen umlaufenden Endloskörper, der so konfiguriert ist, dass er sich entlang eines kreisförmigen Weg in im Wesentlichen horizontaler Richtung bewegt, und eine Mehrzahl von Gegenstands-Trägereinrichtungen auf, von denen jede einen Gegenstand trägt. Die Mehrzahl von Gegenstands-Trägereinrichtungen bewegt sich gemeinsam mit dem umlaufenden Endloskörper, wobei die Trägereinrichtungen in Laufrichtung mit Abstand zueinander angeordnet sind.
  • Derartige Gegenstands-Transportvorrichtungen werden verwendet, um Gegenstände, wie beispielsweise Transportbehälter, die Halbleitersubstrate enthalten, zu verschiedenen Gegenstands-Handhabungseinrichtungen, wie beispielsweise Gegenstands-Bevorratungseinrichtungen, welche die Gegenstände aufbewahren, hin zu transportieren und von diesen weg zu transportieren.
  • Ein Umlaufweg beim umlaufenden Endloskörper ist mit einem Gegenstands-Abgabeort zum Abgeben von Gegenständen an eine Gegenstands-Handhabungseinrichtung und einem Gegenstands-Empfangsort zum Empfangen von Gegenständen von einer Gegenstands-Handhabungseinrichtung versehen.
  • Beispielsweise sind, bei derartigen herkömmlichen Gegenstands-Transportvorrichtungen, Gegenstands-Platzierungselemente in feststehender Weise an einem umlaufenden Endloskörper montiert, eine Gegenstands-Transfereinrichtung ist an einem Gegenstands-Abgabeort und einem Gegenstands-Empfangsort an der Außenseite des umlaufenden Endloskörpers vorgesehen, und wenn die Gegenstands-Transfereinrichtung einen Platzierabschnitt betreibt, auf dem ein Gegenstand platziert ist und getragen wird, wird der Gegenstand zwischen dem Gegenstands-Platzierelement und einer Gegenstands-Handhabungseinrichtung transportiert (siehe beispielsweise internationale Publikation Nr. WO 03/000472 A1 ).
  • Weiterhin geht aus der WO 00/51921 A1 ein Materialhandhabungs- und -transportsystem hervor. Das Materialhandhabungs- und -transportsystem ist zur Bewegung von Substratträgern zwischen Lager- und Verarbeitungsorten vorgesehen. Das System umfasst ein Fahrzeug, das auf einer Transportstruktur bewegt wird, wie zum Beispiel einem bodengestützten Schienensystem. Eine Tragstruktur auf dem Fahrzeug übernimmt und trägt ein Transportgut. Die Tragstruktur weist eine Hebeeinheit auf, um das Transportgut auf einer von mehreren Abstellpositionen, die sich oberhalb des Schienenssystems befinden, abstellen zu können.
  • Bei diesen herkömmlichen Gegenstands-Transportvorrichtungen wird, wenn die Gegenstands-Transfereinrichtung einen Gegenstand aus dem Gegenstands-Platzierelement am Gegenstands-Abgabeort entnimmt, als Erstes der Platzierungsabschnitt synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierelementes in Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers bewegt. Als Nächstes wird, in einem Zustand, bei dem der Platzierungsabschnitt synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes bewegt wird, der Platzierungsabschnitt unter den Gegenstand vorgeschoben, der vom Gegenstands-Platzierungselement getragen wird, und wird dann angehoben, so dass der Gegenstand durch den Platzierungsabschnitt getragen wird, und dann wird der Platzierungsabschnitt zurückgezogen.
  • Weiter wird, wenn die Gegenstands-Transfereinrichtung einen Gegenstand auf das Gegenstands-Platzierungselement beim Gegenstands-Empfangsort lädt, bei einem Zustand, bei dem der Platzierungsabschnitt synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes bewegt wird, der Platzierungsabschnitt derart vorgeschoben, dass der Gegenstand, der durch den Platzierungsabschnitt getragen wird, oberhalb des Gegenstands-Platzierungselementes positioniert wird, dann wird der Platzierungsabschnitt abgesenkt, so dass der Gegenstand auf das Gegenstands-Platzierungselement geladen wird, und dann wird der Platzierungsabschnitt zurückgezogen.
  • Nachdem die Gegenstands-Transfereinrichtung einen Gegenstand aus dem Gegenstands-Platzierungselement beim Gegenstands-Abgabeort entnimmt, wird der Platzierungsabschnitt bewegt, beispielsweise wird der Platzierungsabschnitt, der den Gegenstand trägt, zur Gegenstands-Handhabungseinrichtung bewegt, um den entnommenen Gegenstand zur Gegenstands-Handhabungseinrichtung zu transportieren, und dann wird der Platzierungsabschnitt zu einer Startposition bewegt, um einen nächsten Gegenstand zu empfangen.
  • Außerdem wird, nachdem die Gegenstands-Transfereinrichtung einen Gegenstand auf das Gegenstands-Platzierungselement beim Gegenstands-Empfangsort lädt, der Platzierungsabschnitt bewegt, beispielsweise wird der Platzierungsabschnitt zur Gegenstands-Handhabungseinrichtung bewegt, um einen Gegenstand von der Gegenstands-Handhabungseinrichtung zu empfangen, dann wird der Platzierungsabschnitt zu einer Startposition bewegt, um den Platzierungsabschnitt synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes zu bewegen, wenn der Gegenstand beim Gegenstands-Empfangsort auf das Gegenstands-Platzierungselement geladen wird.
  • Auf diese Weise werden, bei einem Zustand, bei dem der Platzierungsabschnitt synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes bewegt wird, wenn der Platzierungsabschnitt vorgeschoben, in vertikaler Richtung bewegt, und durch die Gegenstands-Transfereinrichtung zurückgezogen wird, Gegenstände zwischen dem Gegenstands-Platzierungselement und der Gegenstands-Handhabungseinrichtung transportiert, ohne dass der umlaufende Endloskörper, der in kreisförmiger Weise umläuft, gestoppt wird, während Gegenstände an das Gegenstands-Platzierungselement und von diesem weg transferiert werden.
  • Bei diesen herkömmlichen Gegenstands-Transportvorrichtungen wird beim Gegenstands-Abgabeort und dem Gegenstands-Empfangsort, wenn die Gegenstands-Transfereinrichtung einen Gegenstand aus dem Gegenstands-Platzierungselement für einen Transfer entnimmt oder einen Gegenstand auf das Gegenstands-Platzierungselement für einen Transfer lädt, der Platzierungsabschnitt der Gegenstands-Transfereinrichtung bei einer Bewegungsstartposition in einen Wartezustand versetzt. Wenn das Gegenstands-Platzierungselement für einen Transfer eine Position entsprechend der Bewegungsstartposition erreicht, wird der Platzierungsabschnitt zum Gegenstands-Platzierungselement vorgeschoben, während der Platzierungsabschnitt synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes für einen Transfer bewegt wird. Als Nächstes wird der Platzierungsabschnitt in vertikaler Richtung bewegt, und ein Gegenstand wird aus dem Gegenstands-Platzierungselement entnommen oder auf das Gegenstands-Platzierungselement geladen, und dann wird der Platzierungsabschnitt zurückgezogen. Zu diesem Zeitpunkt bewegt sich der Platzierungsabschnitt über eine lange Strecke, wobei sich das Gegenstands-Platzierungselement während einer Gesamtzeit bewegt, die aus einer Zeit, die zum Vorschieben des Platzierungsabschnittes benötigt wird, einer Zeit, die zum Bewegen in vertikaler Richtung des Platzierungsabschnittes benötigt wird, und einer Zeit besteht, die zum Zurückziehen des Platzierungsabschnittes benötigt wird. Da es erforderlich ist den Platzierungsabschnitt über eine lange Strecke zu bewegen, hat die Gegenstands-Transfereinrichtung eine große und komplexe Konfiguration.
  • Zur Erfindung gelangte man in Anbetracht dieser Punkte, und es ist ein Ziel von dieser, eine Gegenstands-Transportvorrichtung bereitzustellen, mit welcher die Konfiguration zur Abgabe eines Gegenstandes bei einem Gegenstands-Abgabeort oder zum Empfangen eines Gegenstandes bei einem Gegenstands-Empfangsort kleiner und einfacher gemacht werden kann.
  • Eine Lösung zur Erreichung dieses Ziels besteht in einer Gegenstands-Transportvorrichtung mit den Merkmalen von Patentanspruch 1. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Patentansprüche 2 bis 9.
  • Um das zuvor beschriebene Ziel zu erreichen, weist eine Gegenstands-Transportvorrichtung auf:
    einen umlaufenden Endloskörper, der konfiguriert ist, um sich entlang einem kreisförmigen Weg in im Wesentlichen horizontaler Richtung zu bewegen;
    eine Mehrzahl von Gegenstands-Trägereinrichtungen, von denen jede einen Gegenstand trägt, wobei sich die Gegenstands-Trägereinrichtungen gemeinsam mit dem umlaufenden Endloskörper bewegen, und wobei die Trägereinrichtungen in Laufrichtung mit Abstand zueinander angeordnet sind;
    eine Trägereinrichtung, welche die Gegenstands-Trägereinrichtungen am umlaufenden Endloskörper lagert, derart, dass sich die Gegenstands-Trägereinrichtungen zwischen einer Transportposition benachbart dem umlaufenden Endloskörper und einer entfernten Position bewegen können, die von der Transportposition beabstandet ist;
    eine Führungseinrichtung, die verursacht, dass sich zumindest einige der Gegenstands-Trägereinrichtungen aus der Transportposition in die entfernte Position, und aus der entfernten Position in die Transportposition bewegen, und zwar bei einem Gegenstands-Abgabeort oder einem Gegenstands-Empfangsort entlang dem kreisförmigen Weg des umlaufenden Endloskörpers;
    einen Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt, der am Gegenstands-Abgabeort installiert ist und der einen Gegenstand von der Gegenstands-Trägereinrichtung empfängt, die bei der entfernten Position am Gegenstands-Abgabeort positioniert ist;
    wobei die Trägereinrichtung konfiguriert ist, um die Gegenstands-Trägereinrichtung bezüglich des umlaufenden Körpers in vertikaler Richtung beweglich zu lagern, um einen Gegenstand abzugeben, und
    die Führungseinrichtung verursacht, dass sich die Gegenstands-Trägereinrichtung, die bei der entfernten Position am Gegenstands-Abgabeort positioniert ist, in vertikaler Richtung bewegt, derart, dass ein durch die Gegenstands-Trägereinrichtung getragener Gegenstand an den Gegenstands-Empfangs-Platzierungsabschnitt abgegeben wird, und zwar durch Absenken des Gegenstandes aus einer Position oberhalb des Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnittes,
    wobei der Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt eine Gegenstandsplatzierungs-Transporteinrichtung aufweist, die einen Gegenstand am Gegenstands-Abgabeort in einer im Wesentlichen horizontalen Richtung zu einem Gegenstands-Entnahmeort transportiert, und eine Mehrzahl von Gegenständen zwischen dem Gegenstands-Abgabeort und dem Gegenstands-Entnahmeort platziert.
  • Mit der Vorrichtung gemäß der Erfindung ist es möglich, die Konfiguration zum Abgeben eines Gegenstandes bei einem Gegenstands-Abgabeort oder zum Empfangen eines Gegenstandes bei einem Gegenstands-Empfangsort kleiner und einfacher als bei herkömmlichen Vorrichtungen zu machen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Gesamt-Draufsicht einer Gegenstands-Transportvorrichtung;
  • 2 ist eine Draufsicht, welche die Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung zeigt;
  • 3 ist eine perspektivische Ansicht, welche die Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung zeigt;
  • 4A, 4B sind perspektivische Ansichten, welche die Hauptabschnitte eines umlaufenden Endloskörpers darstellen;
  • 5 ist ein seitlicher Querschnitt, der die Hauptabschnitte des umlaufenden Endloskörpers zeigt;
  • 6 ist eine Draufsicht, welche die Hauptabschnitte des umlaufenden Endloskörpers darstellt;
  • 7 ist ein Querschnitt des umlaufenden Endloskörpers, gesehen in Richtung entgegengesetzt zur Umlaufrichtung;
  • 8A u. 8B sind perspektivische Ansichten, welche die Funktionsweise eines Gegenstands-Platzierungselementes darstellen;
  • 9A u. 9B sind perspektivische Ansichten, welche die Funktionsweise eines Gegenstands-Platzierungselementes darstellen;
  • 10A u. 10B sind perspektivische Ansichten, welche die Funktionsweise eines Gegenstands-Platzierungselementes darstellen;
  • 11A, 11B und 11C sind Seitenansichten, welche die Funktionsweise eines Gegenstands-Platzierungselementes darstellen;
  • 12A u. 12B sind perspektivische Ansichten, welche den Transport von Gegenständen von einem Gegenstands-Abgabeort zu einem Gegenstands-Entnahmeort darstellen;
  • 13A u. 13B sind perspektivische Ansichten, welche den Transport eines Gegenstandes von einem Gegenstands-Einbringort zu einem Gegenstands-Empfangsort darstellen;
  • 14 ist ein Querschnitt einer Gegenstands-Abgabeeinrichtung;
  • 15A u. 15B sind perspektivische Ansichten, welche die Funktionsweise der Gegenstands-Abgabeeinrichtung darstellen;
  • 16 ist eine Draufsicht der Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung einer zweiten Ausführungsform;
  • 17 ist eine perspektivische Ansicht von Hauptabschnitten der Gegenstands-Transportvorrichtung der zweiten Ausführungsform;
  • 18 ist eine Draufsicht einer Positionsbeibehaltungseinrichtung;
  • 19A u. 19B sind Ansichten, welche die Funktionsweise der Gegenstands-Transportvorrichtung der zweiten Ausführungsform darstellen;
  • 20A u. 20B sind Ansichten, welche die Funktionsweise der Gegenstands-Transportvorrichtung der zweiten Ausführungsform darstellen;
  • 21A u. 21B sind Ansichten, welche die Funktionsweise der Gegenstands-Transportvorrichtung der zweiten Ausführungsform darstellen;
  • 22 ist eine Draufsicht der Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung einer weiteren Ausführungsform;
  • 23 ist eine Draufsicht der Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung einer weiteren Ausführungsform;
  • 24A u. 24B sind eine Seitenansicht und eine Vorderansicht der Hauptabschnitte einer Gegenstands-Transportvorrichtung bei einer weiteren Ausführungsform;
  • 25A, 25B, und 25C sind Draufsichten, welche die Funktionsweise der Gegenstands-Transportvorrichtung bei einer weiteren Ausführungsform darstellen.
  • Nachfolgend werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung basierend auf den anliegenden Zeichnungen beschrieben.
  • Ausführungsformen einer Gegenstands-Transportvorrichtung gemäß der Erfindung werden basierend auf den Zeichnungen beschrieben.
  • Als Erstes wird eine erste Ausführungsform beschrieben.
  • Wie in 1 bis 3 dargestellt, ist eine Gegenstands-Transportvorrichtung der ersten Ausführungsform durch eine Mehrzahl von Gegenstands-Platzierungselementen 2 (Gegenstands-Trägereinrichtungen), auf denen Gegenstände B platziert sind und getragen werden, sowie einem umlaufenden Endloskörper 1 aufgebaut, der in kreisförmiger Weise in horizontaler Richtung einer im Wesentlichen horizontalen Richtung umläuft. Die Gegenstands-Platzierungselemente 2 sind in Längsrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1 mit Abstand zueinander fluchtend angeordnet, und bewegen sich gemeinsam mit dem umlaufenden Endloskörper 1.
  • 1 ist eine Gesamt-Draufsicht der Gegenstands-Transportvorrichtung. 2 ist eine Draufsicht, welche die Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung zeigt. 3 ist eine perspektivische Ansicht, welche die Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung darstellt.
  • Ein Umlaufweg des umlaufenden Endloskörper 1 ist mit einem Gegenstands-Abgabeort 3 versehen, um Gegenstände B an verschiedene Gegenstands-Handhabungseinrichtungen abzugeben, wie beispielsweise eine Gegenstands-Bevorratungseinrichtung, die Gegenstände B aufbewahrt, und einen Gegenstands-Empfangsort 4, welcher Gegenstände B von einer Gegenstands-Handhabungseinrichtung empfängt. Bei dieser Ausführungsform ist der Gegenstands-Abgabeort 3 in Umlaufrichtung (Richtung des Pfeils in 1) des umlaufenden Endloskörpers 1 vor dem Gegenstands-Empfangsort 4 positioniert, und der Gegenstands-Abgabeort und der Gegenstands-Empfangsort 4 sind benachbart zueinander angeordnet.
  • Der Gegenstands-Abgabeort 3 ist mit einer Empfangs-Rollenfördereinrichtung (Gegenstandempfangs-Platzierungsabschnitt) 28 versehen, an die Gegenstände B von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 abgegeben werden. Die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 ist so konfiguriert, dass sie Gegenstände B transportiert, die von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 in horizontaler Richtung oder einer im Wesentlichen horizontalen Richtung vom Gegenstands-Abgabeort 3 an einen Gegenstands-Entnahmeort 27 abgegeben wurden.
  • Außerdem ist eine Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 vorgesehen, die Gegenstände B von der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 zum Gegenstands-Entnahmeort 27 transportiert.
  • Auf diese Weise ist eine Gegenstandplatzierungs-Transporteinrichtung 22, die Gegenstände B, die beim Gegenstands-Abgabeort 3 positioniert sind, zu dem Gegenstände B von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 in horizontaler Richtung oder einer im Wesentlichen horizontalen Richtung zugeführt werden, zum Gegenstands-Entnahmeort 27 transportieren, durch die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 und die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 gebildet.
  • Der Gegenstands-Entnahmeort 27 ist ein Ort, an dem Gegenstände B aus der Gegenstands-Transportvorrichtung herausgebracht und der Gegenstands-Handhabungseinrichtung zugeführt werden, bei der beispielsweise einen Gegenstands-Transportvorrichtung, die auf der Seite der Gegenstands- Handhabungseinrichtung eingebaut ist, Gegenstände B entnimmt, die zum Gegenstands-Entnahmeort 27 transportiert wurden.
  • Der Gegenstands-Empfangsort 4 ist mit einer Abgabe-Rollenfördereinrichtung (Gegenstandempfangs-Platzierungsabschnitt) 35, auf dem Gegenstände B platziert sind und getragen werden, sowie einer Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 zum Abgeben von Gegenständen B von der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 an die Gegenstands-Platzierungselemente 2 versehen.
  • Außerdem ist eine Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 vorgesehen, die Gegenstände B von einem Gegenstands-Einbringort 38 zur Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 der Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 transportiert.
  • Die Gegenstands-Einbringort 38 ist ein Ort, um Gegenstände B von der Gegenstands-Handhabungseinrichtung zur Gegenstands-Transportvorrichtung zu bringen, wobei beispielsweise eine Gegenstands-Transfereinrichtung, die auf seiten der Gegenstands-Handhabungseinrichtung installiert ist, Gegenstände B an die Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 transferiert.
  • Die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28, die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42, die Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 und die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 fluchten auf einer Geraden parallel zur Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1, und zwar auf der Außenseite des umlaufenden Endloskörpers 1.
  • Wie in 2 und 3 dargestellt, haben alle der folgenden, und zwar die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28, die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42, die Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 und die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35, vorgeschriebene Abstände zwischen ihren linken und rechten Rollen, derart, dass die Gegenstands-Platzierungselemente 2 zwischen den linken und rechten Rollen positioniert werden können, und diese transportieren Gegenstände B in einem Zustand, bei dem beide Endabschnitte der Gegenstände B auf den linken und rechten Rollen platziert sind und von diesen getragen werden.
  • Auf diese Weise werden Gegenstände B entlang einem kreisförmigen Transportweg transportiert, wobei sie dabei auf den Gegenstands- Platzierungselementen 2 platziert sind und von diesen getragen werden. Die Gegenstände B werden beim Gegenstands-Abgabeort 3 von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 auf die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 gebracht. Dann werden die Gegenstände B auf der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 und der Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 zum Gegenstands-Entnahmeort 27 transportiert. Außerdem werden Gegenstände B, die beim Gegenstands-Einbringort 38 eingebracht wurden, von der Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 zur Zufuhr-Rollenfördereinrichtung 35 der Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 transportiert. Die Gegenstände B werden durch die Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 von der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 auf die Gegenstands-Platzierungselemente 2 beim Gegenstands-Empfangsort 4 geladen, und werden entlang dem kreisförmigen Transportweg transportiert, wobei sie dabei auf den Gegenstands-Platzierungselementen platziert sind und von diesen getragen werden.
  • Der umlaufende Endloskörper 1 besteht aus einer Mehrzahl von Laufelementen 6 (Fahrzeugen), die durch ein Paar von äußeren und inneren Führungsschienen 5 geführt sind, sowie einer Mehrzahl von Kopplungselementen 7, welche die Laufelemente 6 koppeln.
  • Wie in 4 bis 7 dargestellt, ist ein Laufelement 6 durch Kombinieren von zwei Plattenelementen konfiguriert, und jedes der Mehrzahl von Laufelementen 6 ist mit einer Mehrzahl von Laufrollen 8 versehen, die um horizontale Achse rotieren können, sowie einer Mehrzahl von Vibrationsverhinderungsrollen 9, die um vertikale Achsen rotieren können. Auf den Führungsschienen 5 sind Laufführungsflächen 5a, welche die Laufrollen 8 führen, und Vibrationsverhinderungs-Führungsflächen 5b ausgebildet, welche die Vibrationsverhinderungsrollen 9 führen.
  • 4A und 4B sind perspektivische Ansichten, welche die Hauptabschnitte eines umlaufenden Endloskörpers 1 darstellen. 5 ist ein seitlicher Querschnitt, der die Hauptabschnitte des umlaufenden Endloskörpers 1 zeigt. 6 ist eine Draufsicht, welche die Hauptabschnitte des umlaufenden Endloskörpers 1 darstellt. 7 ist ein Querschnitt des umlaufenden Endloskörpers 1, gesehen in Richtung entgegengesetzt zur Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1.
  • Der umlaufende Endloskörper 1 wird für ein Umlaufen in Längsrichtung durch die Antriebskraft angetrieben, die von Linearmotoren erhalten wird, welche durch Magnete 10 und Primärspulen 11 gebildet sind. Die Mehrzahl von Magneten 10 ist entfernt voneinander in Längsrichtung der Führungsschienen 5 angeordnet. Die Mehrzahl von Magneten 10 ist jeweils durch Magnetträgerstützen 29 gelagert, die an den Führungsschienen 5 befestigt sind. Die Primärspulen 11 sind an auf der Unterseite befindlichen Abschnitten der Laufelemente 6 vorgesehen, derart, dass die Primärspulen 11 nahe bei den Magneten 10 und diesen gegenüberliegend angeordnet sind.
  • Jedes der Mehrzahl von Kopplungselementen 7 ist mit einem einzigen Gegenstands-Platzierungselement 2 in Form einer Platte versehen, die einer geringere Breite als die Breite eines Gegenstandes B hat, sowie Trägereinrichtungen zum Bewegen des Gegenstands-Platzierungselementes, welche das Gegenstands-Platzierungselement tragen.
  • Die Trägereinrichtung, welche das Gegenstands-Platzierungselement bewegt, ist so konfiguriert, dass sie das Gegenstands-Platzierungselement 2 bezüglich des umlaufenden Endloskörpers 1 derart trägt, dass sie das Gegenstands-Platzierungselement 2 zwischen einer in 4A dargestellten Transportposition und einer in 4B dargestellten entfernten Position bewegen kann und sich in vertikaler Position bewegen kann, wobei es dabei in einer Gegenstands-Platzierungsstellung gehalten wird.
  • Die Gegenstands-Platzierungsstellung ist eine horizontale Richtung oder eine im Wesentlichen horizontale Stellung, und ist eine Stellung, bei der ein Gegenstand B getragen und platziert wird, während dabei dessen Stellung horizontal oder im Wesentlichen horizontal gehalten wird. Das Platzieren und Tragen eines Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 platziert und getragen wird, ist, erfolgt unter durch Positionierstifte W (Positionierelemente) festgelegter Position, die sich in vertikaler Richtung erstrecken.
  • Die Transportposition ist eine Position oberhalb des Kopplungselementes 7 auf dem umlaufenden Endloskörper 1, und ist eine Position, bei der das Gegenstands-Platzierungselement nahe dem umlaufenden Endloskörper 1 positioniert ist.
  • Wie in 6 und 7 dargestellt, ist die entfernte Position eine Position, die von der Transportposition in horizontaler Richtung beabstandet ist, und zwar auf der Außenseite des umlaufenden Endloskörpers 1, und ist eine Position, bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2 außerhalb eines Gegenstands-Transportraums positioniert ist, der von Gegenständen B belegt wird, die bei fortlaufendem Transportvorgang bei den Transportpositionen auf den Gegenstands-Platzierungselementen 2 platziert sind und von diesen getragen werden. Wie in 2 und 3 dargestellt, sind die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28, die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42, die Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 und die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 entsprechend den entfernten Positionen angeordnet.
  • Die Trägereinrichtung zum Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes ist durch eine Anhebe-Trägereinrichtung 13 (erste Einrichtung) gebildet, welche das Gegenstands-Platzierungselement 2 in vertikal beweglicher Weise trägt, und eine Trägereinrichtung 14 zum Bewegen der Anhebe-Trägereinrichtung (zweite Einrichtung), welche die Anhebe-Trägereinrichtung 13 in beweglicher Weise bezüglich des umlaufenden Endloskörpers 1 derart trägt, dass das Gegenstands-Platzierungselement 2 in beweglicher Weise zwischen der Transportposition und der entfernten Position bezüglich des umlaufenden Endloskörpers 1 getragen wird.
  • Das Folgende ist eine Beschreibung, welche die Anhebe-Trägereinrichtung 13 (erste Einrichtung) betrifft. Wie in 5 und 7 dargestellt, ist die Anhebe-Trägereinrichtung 13 so konfiguriert, dass sie ein Verlängerungselement 15 trägt, das mit dem Gegenstands-Platzierungselement 2 gekoppelt ist, und zwar vertikal beweglich bezüglich eines Basiselementes 16, wobei dabei die Stellung des Verlängerungselementes 15 gehalten wird. Die Anhebe-Trägereinrichtung 13 ist durch eine Parallelgelenkmechanismus gebildet, der mit vier, oberen und unteren, linken und rechten Anhebe-Gelenkarmen 17 versehen ist, die um horizontale Achsen schwenkbar mit dem Verlängerungselement 15 gekoppelt sind und die mit dem Basiselement 16 um horizontale Achsen schwenkbar gekoppelt sind.
  • Das Verlängerungselement 15 weist eine Form auf, die sich von der mittleren Position oder einer im Wesentlichen mittleren Position des Gegenstands- Platzierungselements 2 nach unten erstreckt, und ist so vorgesehen, dass es sich gemeinsam mit dem Gegenstands-Platzierungselement 2 in horizontaler Richtung und in vertikaler Richtung bewegt. Das Basiselement 16 hat eine Form, die sich in vertikaler Richtung in einem Zustand erstreckt, bei dem es dem Verlängerungselement 15 gegenüberliegend angeordnet ist, und ist so vorgesehen, dass es sich gemeinsam mit dem Gegenstands-Platzierungselement 2 in horizontaler Richtung bewegt.
  • Als Nächstes wird die Trägereinrichtung 14 zum Bewegen der Anhebe-Trägereinrichtung (zweite Einrichtung) beschrieben. Wie in 4 bis 7 dargestellt, ist die zweite Einrichtung 14 so konfiguriert, dass sie das Basiselement 16 horizontal beweglich bezüglich des Kopplungselementes 7 trägt, wobei dabei die Stellung des Basiselementes 16 gehalten wird. Die zweite Einrichtung 14 ist durch einen Parallelgelenkmechanismus 14 gebildet, der ein Paar von ersten Gelenkarmen 18, die mit dem Kopplungselement 7 um vertikale Achsen schwenkbar gekoppelt sind, und ein Paar von zweiten Gelenkarmen 19 schwenkbar koppelt, die mit dem Basiselement 16 um vertikale Achsen schwenkbar gekoppelt sind.
  • Eine Führungseinrichtung 21 zum Führen eines geführten Abschnittes, der so vorgesehen ist, dass er sich gemeinsam mit dem Gegenstands-Platzierungselement 2 bewegt, ist derart vorgesehen, dass ein Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer von der Mehrzahl von Gegenstands-Platzierungselementen 2 aus der Transportposition in die entfernte Position, und aus der entfernten Position in die Transportposition bewegt wird, und zwar beim Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Empfangsort 4 Die Führungseinrichtung 21 ist so konfiguriert, dass sie das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer in vertikaler Richtung bewegt, das an der entfernten Position am Gegenstands-Abgabeort 3 derart positioniert ist, dass ein Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer getragen wird, das an der entfernten Position am Gegenstands-Abgabeort 3 positioniert ist, an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 durch Absenken des Gegenstands-Platzierungselementes 2 aus einer Position oberhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abgegeben wird.
  • Die Gegenstands-Platzierungselemente 2, auf denen Gegenstände B, die beim Gegenstands-Abgabeort 3 abzugeben sind, platziert sind und getragen werden, und die leeren Gegenstands-Platzierungselemente 2, die Gegenstände B am Gegenstands-Empfangsort 4 empfangen sollen, werden als Gegenstands-Platzierungselemente 2 für einen Transfer genommen.
  • Auf diese Weise ist die Führungseinrichtung 21 so konfiguriert, dass sie das Gegenstands-Platzierungselement 2 in horizontaler Richtung zwischen der Transportposition und der entfernten Position bewegt, und sie das Gegenstands-Platzierungselement 2 in vertikaler Richtung bewegt, das bei der entfernten Position in vertikaler Richtung zwischen Positionen oberhalb und unterhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 positioniert ist. Es sei angemerkt, dass die Positionen oberhalb und unterhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 dadurch bestimmt werden, dass die Rollen der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 als Bezugspunkt genommen werden, und sich beispielsweise eine Position oberhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 auf eine Position oberhalb der Rollen der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 bezieht.
  • Die Führungseinrichtung 21 ist durch eine Führungsschiene 24 (Bewegungsführungselement) gebildet, das eine horizontale Führungsrolle 20 führt, die so vorgesehen ist, dass sie sich gemeinsam mit dem Gegenstands-Platzierungselement 2 derart bewegt, dass das Gegenstands-Platzierungselement 2 zwischen der Transportposition und der entfernten Position bewegt wird, sowie eine Führungsschiene 26 (Anhebe-Führungselement), die eine Anhebe-Führungsrolle 25, die so vorgesehen ist, dass sie sich gemeinsam mit dem Gegenstands-Platzierungselement 2 in vertikaler Richtung bewegt, derart führt, dass das Gegenstands-Platzierungselement 2, das an der entfernten Position am Gegenstands-Abgabeort 3 positioniert ist, in vertikaler Richtung bewegt wird.
  • Als Erstes wird eine Konfiguration beschrieben, bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2 zwischen der Transportposition und der entfernten Position bewegt wird, wenn die Führungsschiene 24 die horizontale Führungsrolle 20 führt.
  • Wie in 7 dargestellt, sind zwei horizontale Führungsrollen 20 auf der linken Seite und der rechten Seite vorgesehen, und zwar gesehen aus einer Richtung entgegengesetzt zur Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1. Jede der zwei horizontalen Führungsrollen 20 ist in einer um eine vertikale Achse umlaufenden Weise bezüglich des Basiselementes 16 vorgesehen. Das Basiselement 16 hat eine Form, bei dem ein Abschnitt unterhalb eines mit den Anhebe-Gelenkarmen 17 gekoppelten oberen Abschnitts in zwei untere Abschnitte verzweigt ist, und die verzweigten vorderen Endabschnitte sind jeweils mit den horizontalen Führungsrollen 20 versehen.
  • Bei dieser Ausführungsform wird, bei einer Betrachtung aus einer Richtung entgegengesetzt zur Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1, die horizontale Führungsrolle 20, die auf der rechten Seite (innere Seite bezüglich des umlaufenden Endloskörpers 1) positioniert ist, als erste horizontale Führungsrolle 20a bezeichnet, und die horizontale Führungswalze 20, die auf der linken Seite (Außenseite bezüglich des umlaufenden Endloskörpers 1) positioniert ist, wird als zweite horizontale Führungsrolle 20b bezeichnet.
  • Wie in 2, 3 und 6 dargestellt, hat die Führungsschiene 24 die Form einer vertieften Nut, welche die horizontale Führungsrolle 20 in horizontaler Richtung führt, und ist auf der Außenseite des umlaufenden Endloskörpers 1 angeordnet. Die Führungsschiene 24 ist durch einen Gabelungsabschnitt 24a, der sich vom umlaufenden Endloskörper 1 weg schräg zur Außenseite erstreckt, und einen entfernten Abschnitt 24b, der parallel zur Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1 ist, wobei sich zwischen diesen in horizontaler Richtung ein Zwischenraum befindet, und einen Zusammenführungsabschnitt 24c gebildet, der sich näher zum umlaufenden Endloskörper 1 schräg zur Innenseite erstreckt. Außerdem ist die Führungsschiene 24 so konfiguriert, dass sie die erste horizontale Führungsrolle 20a zwischen den zwei horizontalen Führungsrollen 20 führt.
  • Wenn der Gabelungsabschnitt 24a der Führungsschiene 24 die erste horizontale Führungsrolle 20a führt, wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer aus der Transportposition in die entfernte Position an einem Ort vor dem Gegenstands-Abgabeort 3 bewegt. Wenn der entfernte Abschnitt 24b der Führungsschiene 24 die erste horizontale Führungsrolle 20a führt, ist das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer an den entfernten Positionen bei dem Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Empfangsort 4 positioniert. Wenn der Zusammenführungsabschnitt 24c der Führungsschiene 24 die erste horizontale Führungsschiene 20a führt, wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer, das den Gegenstands-Empfangsort 4 passiert hat, aus der entfernten Position in die Transportposition bewegt.
  • Auf diese Weise wird, wenn die Führungsschiene 24 die erste horizontale Führungsrolle 20a führt, das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer aus der Transportposition in die entfernte Position bei einem Ort vor der Gegenstands-Abgabeposition 3 bewegt, das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer wird beim Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Empfangsort 4 bei den entfernten Positionen positioniert, und das Gegenstands-Platzierungselement 2, das den Gegenstands-Empfangsort 4 passiert hat, wird aus der entfernten Position in die Transportposition bewegt.
  • Eine einzige Führungsschiene 24 dient sowohl als Führungseinrichtung entsprechend dem Gegenstands-Abgabeort 3, die das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer aus der Transportposition in die entfernte Position beim Gegenstands-Abgabeort 3 bewegt, als auch als Führungseinrichtung entsprechend dem Gegenstands-Empfangsort 4, die das Gegenstands-Platzierungelement 2 für einen Transfer beim Gegenstands-Empfangsort 4 aus der entfernten Position in die Transportposition bewegt.
  • Das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer wird entlang der Führungsschiene 24 aus der Transportposition in die entfernte Position bewegt, und somit wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 an den entfernten Positionen positioniert, und zwar beim Gegenstands-Abgabeort und dem Gegenstands-Empfangsort 4. Dabei werden die Gegenstands-Platzierungselemente 2, abgesehen von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 für einen Transfer, derart gehalten, dass sich die Gegenstands-Platzierungselemente 2 bei dem Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Empfangsort 4 in den Transportpositionen befinden.
  • Somit führt, wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 sich bei einer in der Mitte der Gabelung befindlichen Position zwischen der Transportposition und der entfernten Position befindet, die Führungsschiene 24 die erste horizontale Führungsrolle 20a, und somit wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 aus der in der Mitte der Gabelung befindlichen Position in die entfernte Position bewegt, und wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 an der Transportposition positioniert ist, führt die Führungsschiene 24 die erste horizontale Führungsrolle 20a nicht, und somit wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 in der Transportposition gehalten.
  • Außerdem ist ein Ort, bevor die Führungsschiene 24 die erste horizontale Führungsrolle 20a in Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1 führt, mit einer Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 versehen, die in der Lage ist, zwischen einem Gabelungszustand, bei dem das Gegenstands-Platzierungselement, das in der Transportposition positioniert ist, in die Gabelungs-Mittelposition bewegt wird, und einem Nicht-Gabelungszustand umzuschalten, bei dem das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der Transportposition positioniert ist, in den Transportpositionen gehalten wird.
  • Die Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 ist durch eine Gabelungs-Führungsschiene 40a gebildet, die sich in horizontaler Richtung zwischen einer Führungsposition (durchgezogene Linie in 2), bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2, das an der Transportposition positioniert ist, aus der Transportposition in die Gabelungs-Mittelposition bewegt wird, und einer Nicht-Führungsposition (unterbrochene Linie in 2) bewegen kann.
  • Die Führungsposition ist eine Position, bei der die zweite horizontale Führungsrolle 20b mit der Gabelungs-Führungsschiene 40a geführt wird, und zwar dadurch, dass der vordere Endabschnitt der Gabelungs-Führungsschiene 40a bei einer Position positioniert wird, die von der zweiten horizontalen Führungsrolle 20b am Gegenstands-Platzierungselement, das auf der Transportposition positioniert ist, passiert wird.
  • Die Nicht-Führungsposition ist eine Position, welche die zweite horizontale Führungsrolle 20b am Gegenstands-Platzierungselement, das auf der Transportposition positioniert ist, passieren lässt, und zwar durch Zurückziehen des vorderen Endabschnittes der Gabelungs-Führungsschiene 40a zur Außenseite der Position, die von der zweiten horizontalen Führungsrolle 20b am Gegenstands-Platzierungselement, das in der Transportposition positioniert ist, passiert wird.
  • Wenn die Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 den Zustand in den Gabelungszustand umschaltet, und zwar durch Positionieren der Gabelungs-Führungsschiene 40a in der Führungsposition, wie in 8A dargestellt, wird die zweite horizontale Führungsrolle 20b durch die Gabelungs-Führungsschiene 40a geführt, und das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Transportposition positioniert ist, wird in die Gabelungs-Mittelposition bewegt, wie in 8B dargestellt. Demgemäß wird die erste horizontale Führungsrolle 20a durch die Führungsschiene 24 geführt, und das Gegenstands-Platzierungselement 2, das auf der Gabelungs-Mittelposition positioniert ist, wird in die entfernte Position bewegt, wie in 9A dargestellt. Auf diese Weise wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 in den entfernten Positionen positioniert, und zwar am Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Empfangsort 4.
  • Außerdem wird, auch wenn dies nicht dargestellt ist, wenn die Gabelungs-Umschalteinrichtung 40, durch Positionieren der Gabelungs-Führungsschiene 40a in der Nicht-Führungsposition den Zustand in den Nicht-Gabelungszustand umschaltet, die zweite horizontale Führungsrolle 20b nicht durch die Gabelungs-Führungsschiene 40a geführt, und das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Transportposition positioniert ist, wird in den Transportpositionen gehalten. Da die erste horizontale Führungsrolle 20a auch nicht durch die Führungsschiene 24 geführt wird, wird das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Transportposition positioniert ist, in den Transportpositionen gehalten. Auf diese Weise ist das Gegenstands-Platzierungselement 2 in den Transportpositionen positioniert, und zwar am Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Empfangsort 4.
  • Außerdem ist die Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 so konfiguriert, dass der Zustand für gewöhnlich im Nicht-Gabelungszustand gehalten wird, und zwar dadurch, dass die Gabelungs-Führungsschiene 40a in der Nicht-Führungsposition positioniert wird, und der Zustand in den Gabelungszustand umgeschaltet wird, dadurch dass die Gabelungs-Führungsschiene 40a aus der Nicht-Führungsposition in die Führungsposition unter Verwendung einer Gabelungsbewegungsführung 40b in horizontaler Richtung bewegt wird, und zwar lediglich, wenn sich das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer annähert.
  • Am Gegenstands-Empfangsort 4 ist es, wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2, das an den entfernten Positionen positioniert ist, passiert (sich vorbei bewegt) und dann das Gegenstands-Platzierungselement 2 aus der entfernten Position in die Transportposition bewegt wird, erforderlich, dass die Führungsschiene 24 die erste horizontale Führungsrolle 20a führt, ohne eine Bewegung der Gegenstands-Platzierungselement 2 zu verhindern, die in den Transportpositionen positioniert sind.
  • Wie in 2 und 3 dargestellt, ist der hintere Endabschnitt des Zusammenführungsabschnittes 24c der Führungsschiene 24 auf der Außenseite des umlaufenden Endloskörpers 1 bezüglich den Gegenstands-Platzierungselementen 2 positioniert, die in den Transportpositionen positioniert sind, so dass die Führungsschiene 24 die Bewegung der Gegenstands-Platzierungselemente 2 nicht verhindert, die in den Transportpositionen positioniert sind. Mit dieser Konfiguration wird, wenn der Zusammenführungsabschnitt 24c der Führungsschiene 24 die erste horizontale Führungsrolle 20a führt, das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der entfernten Position positioniert ist, nicht weiter als zu einer Zusammenführungs-Mittelposition zwischen der entfernten Position und der Transportposition bewegt.
  • Somit ist ein Ort, bei dem der Zusammenführungsabschnitt 24c der Führungsschiene 24 das Führen der ersten horizontalen Führungsrolle 20a beendet, mit einer Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 versehen, die in der Lage ist, zwischen einem Zusammenführungszustand, bei dem das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Zusammenführungs-Mittelposition positioniert ist, in die Transportposition bewegt wird, und einen zurückgezogenen Zustand umzuschalten, bei dem ein Zurückziehen so durchgeführt wird, dass die Bewegung der Gegenstands-Platzierungselemente 2, die an den Transportpositionen positioniert sind, nicht verhindert wird.
  • Die Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 ist durch eine Zusammenführungs-Führungsschiene 41a gebildet, die sich in horizontaler Richtung zwischen einer Führungsposition (unterbrochene Linie in 2), bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Zusammenführungs-Mittelposition positioniert ist, aus der Zusammenführungs-Mittelposition in die Transportposition bewegt wird, und einer zurückgezogenen Position (durchgezogene Linie in 2) in horizontaler Richtung bewegen kann.
  • Wie in 10A und 10B dargestellt, ist die Führungsposition eine Position, bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2 in die Transportposition bewegt wird, und zwar dadurch, dass der hintere Endabschnitt der Zusammenführungs-Führungsschiene 41a zum umlaufenden Endloskörper 1 hin vorgeschoben wird, wodurch ein Führen der Zusammenführungs-Führungsschiene 41a mit der zweiten horizontalen Führungsrolle 20b erfolgt.
  • Die zurückgezogene Position ist eine Position, um die Bewegung der folgenden Gegenstands-Platzierungselemente 2, die in den Transportpositionen positioniert sind, nicht zu verhindern, und zwar durch Positionieren des hinteren Endabschnittes der Zusammenführungs-Führungsschiene 41 auf der Außenseite des umlaufenden Endloskörpers 1, wodurch verhindert wird, dass die Zusammenführungs-Führungsschiene 41a auf die Gegenstands-Platzierungselemente 2, die in den Transportpositionen positioniert sind, störend einwirkt.
  • Die Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 ist so konfiguriert, dass sie den Zustand in den Zusammenführungszustand umschaltet, und zwar durch Positionieren der Zusammenführungs-Führungsschiene 41a in der Führungsposition, und den Zustand in den zurückgezogenen Zustand umschaltet und zwar durch Positionieren der Zusammenführungs-Führungsschiene 41a in der zurückgezogenen Position.
  • Außerdem ist die Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 so konfiguriert, dass für gewöhnlich der Zustand in dem zurückgezogenen Zustand gehalten wird, und zwar dadurch, dass die Zusammenführungs-Führungsschiene 41a in der zurückgezogenen Position positioniert wird, und der Zustand durch horizontales Bewegung der Zusammenführungs-Führungsschiene 41a aus der zurückgezogenen Position in die Führungsposition unter Verwendung einer Zusammenführungs-Bewegungsführung 41b lediglich dann in den Zusammenführungszustand umgeschaltet wird, wenn sich das Gegenstands-Platzierungselement 2 nähert, das in der entfernten Position positioniert ist.
  • Als Nächstes wird eine Konfiguration beschrieben, bei der die Anhebeschiene 26 die Anhebe-Führungsrolle 25 führt, und somit das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der entfernten Position positioniert ist, in vertikaler Richtung bewegt wird.
  • Wie in 5 und 7 dargestellt, befindet sich die Anhebe-Führungsrolle 25 unterhalb des Verlängerungselementes 15, so dass es sich in der mittleren Position oder einer im Wesentlichen mittleren Position des Gegenstands-Platzierungselementes 2 befindet, und ist in einer um eine horizontale Achse drehbaren Weise angeordnet.
  • Wie in 2, 3, 6 und 7 dargestellt, dient die Anhebeschiene 26 zum Führen der Anhebe-Führungsrolle 25 am Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der entfernten Position positioniert ist. Von oben her gesehen hat die Anhebeschiene die Form einer Geraden, die länger ist als die Gesamtlänge von Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28, Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42, Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 und Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35, die entsprechend den entfernten Positionen angeordnet sind, und ist so angeordnet, dass sie sich in der mittleren Position oder einer im Wesentlichen mittleren Position dieser Rollenfördereinrichtungen in horizontaler Richtung befindet.
  • Wie in 11A, 11B und 11C dargestellt, ist die Anhebeschiene 26 durch einen ebenen Vorderendabschnitt 26a, einen nach oben verlaufenden Abschnitt 26a, der in Richtung näher zum hinteren Ende hin nach oben geneigt ist, einen ebenen mittleren Abschnitt 26c, einen nach unten verlaufenden Abschnitt 26d, der in Richtung zum hinteren Ende hin nach unten geneigt ist, und einen ebenen hinteren Endabschnitt 26e gebildet, und zwar in Seitenansicht in dieser Reihenfolge vom vorderen Ende aus gesehen.
  • Die Anhebeschiene 26 ist so konfiguriert, dass sie die Anhebe-Führungsrolle 25 in vertikaler Richtung führt, und zwar dadurch, dass sie gegen die Anhebe-Führungsrolle 25 von unten her zur Anlage kommt.
  • Wenn der vordere Endabschnitt 26a die Anhebe-Führungsrolle 25 führt, wird ein Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer getragen wird, unterhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 positioniert, wie in 11A dargestellt. Wenn der nach oben verlaufende Abschnitt 26b die Anhebe-Führungsrolle 25 führt, wie in 11B dargestellt, wird das Gegenstands-Platzierungselement für einen Transfer allmählich angehoben und schließlich oberhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 positioniert, und das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer wird näher zur Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 in einem Zustand bewegt, bei dem der Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer getragen wird, oberhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 positioniert ist. Wenn der mittlere Abschnitt 26c die Anhebe-Führungsrolle 25 führt, wird der Zustand beibehalten, bei dem das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer oberhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 positioniert ist. Wenn der nach unten verlaufende Abschnitt 26d die Anhebe-Führungsrolle 25 führt, wie in 11C dargestellt, wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer allmählich aus der Position oberhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abgesenkt, und schließlich ist das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer unterhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 positioniert.
  • Auf diese Weise wird, wenn die Anhebeschiene 26 die Anhebe-Führungsrolle 25 führt, beim Gegenstands-Abgabeort 3, in einem Zustand, bei dem ein Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer getragen wird, das bei der entfernten Position positioniert ist, sich oberhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 befindet, der Gegenstand B näher zur Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 bewegt. Dann wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer allmählich abgesenkt und schließlich unterhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 positioniert, und der Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer getragen wird, wird an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abgegeben.
  • Wenn ein Gegenstand vom Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer beim Gegenstands-Transferort 3 an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abgegeben wird, wird als Erstes das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer an den entfernten Positionen entlang der Führungsschiene 24 positioniert, und das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer wird so positioniert, dass es mit der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 in vertikaler Richtung überlappt. Wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer so positioniert ist, dass es mit der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 in vertikaler Richtung in dieser Weise überlappt, ist es möglich, den Gegenstand B vom Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abzugeben, und zwar einfach durch ein Führen mit der Anhebeschiene 26, um das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer in vertikaler Richtung zu bewegen.
  • Zu diesem Zeitpunkt ist die Bewegungsstrecke, über die sich das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer bewegt, lediglich eine Strecke, über die sich das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer in vertikaler Richtung bewegt wird, um den Gegenstand B vom Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abzugeben. Somit kann die Konfiguration zum Abgeben von Gegenständen beim Gegenstands-Abgabeort 3 kleiner und einfacher gemacht werden.
  • Außerdem ist es, sogar bei einer einfachen Konfiguration, bei der die Anhebeschiene 26 die Anhebe-Führungsrolle 25 führt, möglich, den Gegenstand B vom Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abzugeben, und zwar einfach durch Installieren der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 am Gegenstands-Abgabeort 3. Somit kann die Konfiguration zum Abgeben von Gegenständen beim Gegenstands-Abgabeort 3 weiter vereinfacht werden.
  • Wie in 12A und 12B dargestellt, transportiert die Gegenstandsplatzierungs-Transporteinrichtung 22, die durch die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 und die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 gebildet ist, einen Gegenstand B, der vom Gegenstands-Platzierungselement 2 abgegeben wurde, in horizontaler Richtung oder einer im Wesentlichen horizontalen Richtung vom Gegenstands-Abgabeort 3 zum Gegenstands-Entnahmeort 27. Dabei können eine Mehrzahl von Gegenständen B zwischen dem Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Entnahmeort 27 platziert sein.
  • Die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 transportiert Gegenstände B, die von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 abgegeben wurden, parallel oder im Wesentlichen parallel zur Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1. Die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 kann die Transportrichtung eines Gegenstandes B, der durch die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 transportiert wurden, um 90° ändern.
  • Die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 kann um eine erste vertikale Achse P1 schwenken. Wenn sich die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 dreht, wird die Transportrichtung eines Gegenstandes B, der von der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 transportiert wurde, um 90° verändert, und der Gegenstand B wird zum Gegenstands-Entnahmeort 27 transportiert.
  • Auf der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 können zwei Gegenstände B in Transportrichtung hinter einem Ort platziert werden, bei dem Gegenstände B von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 empfangen werden. Auf der Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 kann ein einziger Gegenstand B platziert werden. Auf diese Weise können beim Gegenstands-Abgabeort 3 bis zu drei Gegenstände B, die von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 abgegeben wurden, zwischen dem Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Entnahmeort 27 platziert werden.
  • Die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 und die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 transportieren Gegenstände B, die von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 am Gegenstands-Abgabeort 3 abgegeben wurden, zum Gegenstands-Entnahmeort 27, und zwar indem sie die Gegenstände B einen nach dem anderen zum Gegenstands-Entnahmeort 27 bewegen, in einem Zustand, bei dem die Gegenstände B zwischen dem Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Entnahmeort 27 platziert sind.
  • Wie in 13A und 13B dargestellt, kann die Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 um eine zweite vertikale Achse P2 schwenken. Wenn die Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 schwenkt, kann ein Gegenstand B, der am Gegenstands-Einbringort 38 eingebracht wurde, zur Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 der Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 transportiert werden.
  • Wenn ein Gegenstand B von der Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 transportiert wird, führt die Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 den Gegenstand B, der auf dem Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt platziert ist und von diesem getragen wird, dem Gegenstands-Platzierungselement 2 zu, das an der entfernten Position am Gegenstands-Empfangsort 4 positioniert ist.
  • Die Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 bewegt die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 derart in vertikaler Richtung, dass ein Gegenstand B, der durch die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 getragen wird, an das Gegenstands-Platzierungselement 2 abgegeben wird, und zwar dadurch, dass die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes 2, das an der entfernten Position am Gegenstands-Empfangsort 4 positioniert ist, bewegt wird, und der Gegenstand B aus einer Position oberhalb des Gegenstands-Platzierungselementes 2 abgesenkt wird, das an der entfernten Position am Gegenstands-Empfangsort 4 positioniert ist.
  • Wie in 14 dargestellt, ist die Gegenstands-Zuführeinrichtung 23 durch einen Anheberahmen 34, der die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 in feststehender Weise trägt, und einen sich hin- und herbewegenden Rahmen 32 gebildet, der den Anheberahmen 34 in vertikaler Richtung beweglich freitragend lagert und der sich beispielsweise in Längsrichtung eines Führungselementes 30 in Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1 hin- und herbewegen kann. Wie in 3 dargestellt, ist das Führungselement 30 über der gesamten Länge des Gegenstands-Empfangsortes 4 installiert.
  • Auch wenn dies nicht dargestellt ist, sind beispielsweise ebenfalls ein Hin- und Herbewegungsmotor zum Ausführen einer Hin- und Herbewegung des Hin- und Herbewegungsrahmens 32 in Längsrichtung des Führungselementes 30 sowie ein Anhebemotor zum Anheben des Anheberahmens 34 vorgesehen.
  • Das Folgende ist eine Beschreibung betreffend die Funktionsweise der Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23. Wenn ein Gegenstand B von der Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 zur Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 transportiert wird, wird die Operation der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 gestoppt, und in einem Zustand, bei dem der Gegenstand B auf der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 platziert ist und auf dieser getragen wird, wird der Anheberahmen 34 bezüglich des Hin- und Herbewegungsrahmens 32 derart angehoben, dass der Gegenstand B, der durch die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 getragen wird oberhalb des Gegenstands-Platzierungselementes 2 positioniert wird, und somit wird die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 in einen Wartezustand bei einer Startposition versetzt, um die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes 2, das in der entfernten Position positioniert ist, in einen Zustand zu bewegen, bei dem die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 mit einer Ortskurve des Gegenstands-Platzierungselementes 2 in vertikaler Richtung überlappt.
  • Wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer eine Position entsprechend der Bewegungsstartposition erreicht, wie in 15A und 15B dargestellt, wird der Hin- und Herbewegungsrahmen 32 synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes 2 bewegt, und der Anheberahmen 34 wird abgesenkt, derart dass die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 aus der Position oberhalb des Gegenstands-Platzierungselementes 2 allmählich abgesenkt wird und schließlich unterhalb des Gegenstands-Platzierungselementes 2 positioniert wird.
  • Bei einem Zustand, bei dem die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes 2 in dieser Weise bewegt wird, ist es möglich, dass die Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 einen Gegenstand B aus der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 auf das Gegenstands- Platzierungselement 2 für einen Transfer lädt, und zwar einfach durch Absenken der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35.
  • Dabei ist die Bewegungsstrecke, über welche die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer bewegt wird, lediglich eine Strecke, um die die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 abgesenkt wird, um den Gegenstand B von der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 auf das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer zu laden. Somit kann die Konfiguration der Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 kleiner und einfacher gemacht werden.
  • Das Folgende ist eine Beschreibung betreffend die Funktionsweise der Gegenstands-Transportvorrichtung.
  • Der Betrieb der Gegenstands-Transportvorrichtung wird durch eine (außerhalb der Zeichnung befindliche) Steuereinrichtung gesteuert. Dabei verwaltet die Steuereinrichtung verschiedene Informationstypen wie beispielsweise die aktuellen Positionen der Gegenstands-Platzierungselemente 2 auf dem umlaufenden Endloskörper 1, und Kombinationen zwischen den Gegenstands-Platzierungselementen 2 und Gegenständen B, die auf diesen platziert sind und gelagert werden. Der Betrieb der Gegenstands-Transportvorrichtung wird basierend auf der verwalteten Information gesteuert.
  • Als Erstes wird ein Fall beschrieben, bei dem ein Gegenstand B vom Gegenstands-Platzierungselement 2 an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 beim Gegenstands-Abgabeort 3 abgegeben wird.
  • Bei einem Zustand, bei dem der umlaufende Endloskörper 1 in kreisförmiger Weise umläuft, wird, wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer eine vorgeschriebene Gabelungsposition vor der Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 erreicht, mit der Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 der Zustand aus dem Nicht-Gabelungszustand in den Gabelungszustand umgeschaltet. Wie in 8 und 9 dargestellt, wird, wenn die zweite horizontale Führungsrolle 20b durch die Gabelungsführungsschiene 40a geführt wird und die erste horizontale Führungsrolle 20a durch die Führungsschiene 24 geführt wird, das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer, das an der Transportposition positioniert ist, aus der Transportposition in die entfernte Position bei einem Ort vor dem Gegenstands-Abgabeort 3 bewegt. Dann wird, wie in 11A, 11B und 11C dargestellt, wenn die Anhebe-Führungsrolle 25 durch die Anhebeschiene 26 geführt wird, das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer näher zur Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 in einen Zustand bewegt, bei dem, in horizontaler Richtung, das Gegenstands-Platzierungselement 2 bei einer entfernten Position vertikal überlappend mit der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 positioniert ist, und, in vertikaler Richtung, der getragene Gegenstand B oberhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 positioniert ist.
  • Wenn die Anhebe-Führungsrolle 25 durch die Anhebeschiene 26 geführt wird, wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer auf eine Position unterhalb der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abgesenkt und führt den getragenen Gegenstand B der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 zu.
  • Dann wird, wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer den Gegenstands-Empfangsort 4 passiert und eine vorgeschriebene Zusammenführungsposition vor der Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 erreicht, der Zustand aus dem zurückgezogenen Zustand in den Zusammenführungszustand mit der Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 umgeschaltet. Wie in 10A und 10B dargestellt, wird, wenn die erste horizontale Führungsrolle 20a durch die Führungsschiene 24 geführt wird und die zweite horizontale Führungsrolle 20b durch die Zusammenführungs-Führungsschiene 41a geführt wird, das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer, das bei der entfernten Position positioniert ist, aus der entfernten Position in die Transportposition bewegt.
  • Auf diese Weise wird beim Gegenstands-Abgabeort 3 ein Gegenstand B vom Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abgegeben. Dabei ist es möglich, Gegenstände B von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 für einen Transfer an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 beim Gegenstands-Abgabeort 3 abzugeben.
  • Insbesondere transportieren die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 und die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 Gegenstände B, die von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 für einen Transfer beim Gegenstands-Abgabeort 3 abgegeben wurden, einen nach dem anderen zum Gegenstands-Entnahmeort 27, und zwar in einem Zustand, bei dem die Gegenstände B zwischen dem Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Entnahmeort 27 platziert sind. Demgemäß ist es, sogar wenn Gegenstände B von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 für einen Transfer abgegeben werden, die Gegenstände B einer nach dem anderen an dem Gegenstands-Entnahmeort 27, und somit auf die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 transportiert, möglich, einen Raum zu gewährleisten, auf dem ein Gegenstand B vom nächsten Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer empfangen wird.
  • Die Mehrzahl von Gegenstands-Platzierungselementen 2 für einen Transfer werden sukzessive aus der Transportposition in die entfernte Position entlang der Führungsschiene 24 bewegt, und somit werden Gegenstände B sukzessive von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 für einen Transfer zur Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 beim Gegenstands-Abgabeort 3 abgegeben.
  • Die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 transportiert Gegenstände B, die von den Gegenstands-Platzierungselementen 2 beim Gegenstands-Abgabeort 3 abgegeben wurden, an die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42, und zwar dadurch, dass die Gegenstände B einer nach dem anderen zum Gegenstands-Entnahmeort 27 bewegt werden, jedesmal wenn die Gegenstände B am Gegenstands-Entnahmeort 27 entnommen werden. Die Entnahme-Rollenfördereinrichtung 42 dreht sich, um die Gegenstände, die von der Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 transportiert wurden, zum Gegenstands-Entnahmeort 27 zu transportieren.
  • Als Nächstes wird ein Fall beschrieben, bei dem ein Gegenstand B von der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 auf das Gegenstands-Platzierungselement 2 beim Gegenstands-Empfangsort 4 geladen wird.
  • in diesem Fall wird als Erstes, wie in 13A und 13B dargestellt, mit der Einbring-Rollenfördereinrichtung 39 und der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 der Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23, ein Gegenstand, der beim Gegenstands-Einbringort 38 eingebracht wurde, auf der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 platziert und wird von dieser getragen. Dann bringt die Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 in einen Wartezustand, derart, dass der Gegenstand B, der von der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 gelagert wird, oberhalb des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer, das bei der entfernten Position positioniert ist, in einem Zustand platziert wird, bei dem der Gegenstand B mit einer Ortskurve des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer in vertikaler Richtung überlappt.
  • Wie im Fall, bei dem ein Gegenstand B vom Gegenstands-Platzierungselement 2 an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 beim Gegenstands-Abgabeort 3 abgegeben wird, wird bei einem Zustand, bei dem der umlaufende Endloskörper 1 in kreisförmiger Weise umläuft, wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer eine vorgeschriebene Gabelungsposition vor der Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 erreicht, der Zustand aus dem Nicht-Gabelungszustand in den Gabelungszustand mit der Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 umgeschaltet. Bei einem Ort vor dem Gegenstands-Abgabeort 3 wird das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der Transportposition positioniert ist, aus der Transportposition in die entfernte Position bewegt.
  • Dann erfolgt, wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer, das an der entfernten Position positioniert ist, den Gegenstands-Abgabeort 3 passiert und dann eine Position entsprechend der Bewegungsstartposition der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 erreicht, wobei dabei das Gegenstands-Platzierungselement 2 in den entfernten Positionen gehalten wird, wie in 15A und 15B dargestellt, durch die Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 ein Laden eines Gegenstandes B, das durch die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 getragen wird, auf das Gegenstands-Platzierungselement 2, und zwar dadurch, dass die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes 2 bewegt wird und die Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 aus einer Position oberhalb des Gegenstands-Platzierungselementes 2 in eine Position unterhalb von dieser abgesenkt wird.
  • Außerdem wird, wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer, auf dem der Gegenstand B geladen ist, den Gegenstands-Empfangsort 4 passiert und dann die vorgeschriebene Zusammenführungsposition vor der Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 erreicht, der Zustand aus dem zurückgezogenen Zustand in den Zusammenführungszustand mit der Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 umgeschaltet, und das Gegenstands-Platzierungselement 2, das an der entfernten Position positioniert ist, wird aus der entfernten Position in die Transportposition bewegt.
  • Als Nächstes wird ein Fall beschrieben, bei dem ein Gegenstand B nicht beim Gegenstands-Abgabeort 3 abgegeben wird und ein Gegenstand B nicht am Gegenstands-Empfangsort 4 empfangen wird.
  • In diesem Fall wird, bei einem Zustand, bei dem der umlaufende Endloskörper in kreisförmiger Weise umläuft, sogar wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2, abgesehen von dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer, die vorgeschriebene Gabelungsposition vor der Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 erreicht, der Zustand beim Nicht-Gabelungszustand mit der Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 gehalten. Demgemäß wird die zweite horizontale Führungsrolle 20b nicht durch die Gabelungs-Führungsschiene 40a geführt, und die erste horizontale Führungsrolle 20a wird nicht durch die Führungsschiene 24 geführt, und das Gegenstands-Platzierungselement 2 wird durch den Gegenstands-Abgabeort 3 und den Gegenstands-Empfangsort 4 in einen Zustand gebracht, bei dem das Gegenstands-Platzierungselement 2 in den Transportpositionen positioniert ist.
  • Als Nächstes wird eine zweite Ausführungsform beschrieben.
  • Die zweite Ausführungsform ist eine weitere Ausführungsform betreffend die Konfiguration, bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Transportposition positioniert ist, in die Gabelungs-Mittelposition bewegt wird, so wie die Konfiguration, bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der Zusammenführungs-Mittelposition positioniert ist, in die Transportposition der ersten Ausführungsform bewegt wird. Diese Konfigurationen wurden bereits detailliert beschrieben, und eine detaillierte Beschreibung der weiteren Konfigurationen wurde weggelassen.
  • Als Erstes wird eine Konfiguration beschrieben, bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Transportposition positioniert ist, in die Gabelungs-Mittelposition bewegt wird.
  • Bei der ersten Ausführungsform, wie dargestellt in 2, ist die Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 vorgesehen, welche die Gabelungs-Führungsschiene 40a beinhaltet, die sich in horizontaler Richtung zwischen der Führungsposition, bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Transportposition positioniert ist, aus der Transportposition in die Gabelungs-Mittelposition und die Nicht-Führungsposition bewegt wird. Bei der zweiten Ausführungsform, wie in 16 dargestellt, ist die Gabelungs-Umschalteinrichtung 40, die eine bewegliche Führungseinrichtung 40b beinhaltet, welche das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der Transportposition positioniert ist, aus der Transportposition zur Gabelungs-Mittelposition bewegt, sowie eine Gabelungs-Mittelführungsschiene 40c beinhaltet, die das Gegenstands-Platzierungselement 2, das durch die bewegliche Führung 40b zur Gabelungs-Mittelposition bewegt wurde, in die Gabelungs-Mittelposition bewegt.
  • Die bewegliche Führungseinrichtung 40b ist um eine vertikale Achse schwenkbar vorgesehen, und zwar zwischen einer Führungsposition (unterbrochene Linie in 16), bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der Transportposition positioniert ist, aus der Transportposition in die Gabelungs-Mittelposition bewegt wird, sowie einer Nicht-Führungsposition (durchgezogene Linie in 16), und in der Führungsposition führt sie die zweite horizontale Führungsrolle 20b zur Gabelungs-Mittelposition.
  • Die Gabelungs-Mittelführungsschiene 40b ist in feststehender Weise bei einer Position installiert, die zur Außenseite einer Position zurückgezogen ist, bei der die zweite horizontale Führungsrolle 20b am Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Transportposition positioniert ist, sich vorbeibewegt, und somit erfolgt durch die Gabelungs-Mittelführungsschiene 40c keine störende Beeinflussung des Gegenstands-Platzierungselementes 2, das in der Transportposition positioniert ist.
  • Wenn die Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 den Zustand durch Positionieren der beweglichen Führungseinrichtung 40b auf die Führungsposition in den Gabelungszustand umschaltet, wird die zweite horizontale Führungsrolle 20b durch die bewegliche Führungseinrichtung 40b zur Gabelungs-Mittelposition geführt, und das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Transportposition positioniert ist, wird zur Gabelungs-Mittelposition bewegt. Unmittelbar nach dieser Führung durch die bewegliche Führung 40b wird die zweite horizontale Führungsrolle 20b durch die Gabelungs-Mittelführungsschiene 40c geführt, und das Gegenstands-Platzierungselement 2 wird in die Gabelungs-Mittelposition bewegt.
  • Außerdem wird, wenn die Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 durch Positionieren der beweglichen Führung 40b auf die Nicht-Führungsposition den Zustand in den Nicht-Gabelungszustand umschaltet, die zweite horizontale Führungsrolle 20b nicht durch die bewegliche Führung 40b zur Gabelungs-Mittelposition geführt, und das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Transportposition positioniert ist, wird in einen Zustand bewegt, bei dem das Gegenstands-Platzierungselement 2 in den Transportpositionen gehalten wird.
  • Die Gabelungs-Umschalteinrichtung 40 ist so konfiguriert, dass sie für gewöhnlich den Zustand in dem Nicht-Gabelungszustand hält, und zwar durch Positionieren der beweglichen Führungseinrichtung 40b in der Nicht-Führungsposition, und den Zustand, durch Positionieren der beweglichen Führungseinrichtung 40b auf die Führungsposition, lediglich dann in den Gabelungszustand umschaltet, wenn sich das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer nähert.
  • Als Nächstes wird eine Konfiguration beschrieben, bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2, das in der Zusammenführungs-Mittelposition positioniert ist, in die Transportposition bewegt wird.
  • Bei der ersten Ausführungsform, wie in 2 dargestellt, ist die Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 vorgesehen, welche die Zusammenführungs-Führungsschiene 41a beinhaltet, die sich in horizontaler Richtung zwischen der Führungsposition, bei der das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der Zusammenführungs-Mittelposition positioniert ist, aus der Zusammenführungs-Mittelposition in die Transportposition bewegt wird, und der zurückgezogenen Position bewegen kann. Bei der zweiten Ausführungsform, wie in 17 dargestellt, ist eine Positionshalteeinrichtung 50 vorgesehen, welche das Gegenstands-Platzierungselement 2 in der Transportposition oder der entfernten Position hält. Mit der Positionshaltewirkung der Positionshalteeinrichtung 50 wird das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der Zusammenführungs-Mittelposition positioniert ist, aus der Zusammenführungs-Mittelposition in die Transportposition bewegt, ohne dass die Zusammenführungs-Umschalteinrichtung 41 vorgesehen ist.
  • Wie in 17 und 18 dargestellt, ist die Positionshalteeinrichtung 50 am Rückflächenabschnitt des Kopplungselementes 7 vorgesehen und beinhaltet ein rundes Nockenelement 51, das sich um eine vertikale Achse drehen kann, gemeinsam mit dem Schwenken der ersten Gelenkarme 18, einen Eingreifstift 52, der mit einer Eingreifnut 51a bis 51c in Eingriff ist, die auf dem Außenumfangsabschnitt des Nockenelementes 51 ausgebildet ist, und ein Paar von elastischen Elementen (Schraubenfedern) 53, die den Eingreifstift 52 in Richtung zu den Eingreifnuten 51a bis 51c des Nockenelementes 51 vorspannen.
  • 17 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Zustands, bei dem das Gegenstands-Platzierungselement 2 näher an der entfernten Position als an der Transportposition positioniert ist. 18 zeigt eine Draufsicht der Positionshalteeinrichtung 50.
  • Das Nockenelement 51 ist entsprechend einem des Paares von ersten Gelenkarmen 18 vorgesehen, und ist so vorgesehen, dass es sich gemeinsam mit einem vertikalen Schaftabschnitt 54 dreht, der an einem Ort vorgesehen ist, der den ersten Gelenkarm 18 und das Kopplungselement 7 verbindet. Insbesondere ist das Nockenelement 51 so verbunden, dass es sich gemeinsam mit dem Schwenken der ersten Gelenkarme 18 dreht.
  • Die Eingreifnuten 51a bis 51c haben Formen, die am Nockenelement 51 nach innen vertieft sind, und drei Eingreifnuten 51a bis 51c sind in Umfangsrichtung des Nockenelementes 51 voneinander entfernt vorgesehen. Die zweite Eingreifnut 51b, die in der Mitte positioniert ist, entspricht der Transportposition, und die erste Eingreifnut 51a und die dritte Eingreifnut 51c, die an den Seiten positioniert sind, entsprechen den entfernten Positionen.
  • Der Eingreifstift 52 ist durch einen Eingreifstiftträger 55 bei einer Stellung entlang der vertikalen Richtung gelagert. Der Eingreifstiftträger 55 beinhaltet ein Paar von oberen und unteren Plattenabschnitten 55a und einen Gleitschaftabschnitt 55b, der sich in horizontaler Richtung erstreckt. Der Gleitschaftabschnitt 55b ist in gleitend verschieblicher Weise bezüglich eines Lochabschnitts vorgesehen, der auf einem aus einem elastischen Element bestehenden Lager 56 gebildet ist, das auf dem Rückflächenabschnitt des Kopplungselementes 7 verschraubt ist. Die Eingreifstiftträger 55 ist in gleitend verschieblicher Weise bezüglich der aus einem elastischen Element bestehenden Lager 56 gelagert. Außerdem ist der Eingreifstiftträger 55 derart angeordnet, dass das Nockenelement 51 zwischen dem Paar von oberen und unteren Plattenabschnitten 55a in einem Zustand gehalten wird, bei dem vertiefte Nutabschnitte 55c, die auf dem Paar von oberen und unteren Plattenabschnitten 55a ausgebildet sind, mit dem Schaftabschnitt 54 in Eingriff sind.
  • Die elastischen Elemente 53 sind zwischen dem aus einem elastischen Element bestehenden Lager 56 und dem Eingreifstiftträger 55 vorgesehen, und spannen den Eingreifstiftträger 55 zur Seite weg von dem aus einem elastischen Element bestehenden Lager 56 vor.
  • Basierend auf 19 bis 21 wird die Bewegung beschrieben, bei der, mit der Positionshaltewirkung der Positionshalteeinrichtung 50, das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der Zusammenführungs-Mittelposition positioniert ist, von der Zusammenführungs-Mittelposition in die Transportposition bewegt wird. 19A, 20A und 21A zeigen Draufsichten der Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes, und 19B, 20B und 21B zeigen Draufsichten der Funktionsweise der Positionshalteeinrichtung 50.
  • Wie in 19A und 19B dargestellt, ist, wenn das Gegenstands-Platzierungselement in der entfernten Position positioniert ist, der Eingreifstift 52 mit der ersten Eingreifnut 51a oder der dritten Eingreifnut 51c in Eingriff, entsprechend der entfernten Position. 19A und 19B zeigen einen Fall, bei dem der Eingreifstift 52 mit der dritten Eingreifnut 51c in Eingriff ist. Wenn der Eingreifstift 52 mit der dritten Eingreifnut 51c in Eingriff ist, wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 in den entfernten Positionen gehalten, und horizontale Vibrationen des Gegenstands-Platzierungselementes 2 werden verhindert.
  • Wie in 20A und 20B dargestellt, wird das Gegenstands-Platzierungselement 2 aus der entfernten Position in die Zusammenführungs-Mittelposition entlang dem Zusammenführungsabschnitt 24c der Führungsschiene 24 bewegt. Dabei schwenken die ersten Gelenkarme 18, und das Nockenelement 51 dreht sich gemeinsam mit dem Schwenken der ersten Gelenkarme 18. Dann wird der Eingreifstift 52 aus der dritten Eingreifnut 51c herausbewegt, und wird auf dem Außenumfangsabschnitt des Nockenelementes 51 gleitend verschoben.
  • Dann wird, wie in 21A und 21B dargestellt, bedingt durch die Federkraft der elastischen Elemente 3, der Eingreifstift 52 auf dem Außenumfangsabschnitt des Nockenelementes 51 gleitend verschoben, so dass er mit der zweiten Eingreifnut 51b in Eingriff gebracht wird. Wenn ein gleitendes Verschieben des Eingreifstiftes 52 erfolgt, dreht sich das Nockenelement 51 in Pfeilrichtung in der Zeichnung, die ersten Gelenkarme 18 schwenken gemeinsam mit dem Drehen des Nockenelementes 51, und das Gegenstands-Platzierungselement 2 wird in die Transportposition bewegt.
  • Auf diese Weise wird, mit der Positionshaltewirkung der Positionshalteeinrichtung 50, das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der Zusammenführungs-Mittelposition positioniert ist, aus der Zusammenführungs-Mittelposition in die Transportposition bewegt.
  • Außerdem werden, wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 in der Transportposition positioniert ist, horizontale Schwingungen des Gegenstands-Platzierungselementes 2 durch den Eingriff von Eingreifstift 52 und zweiter Eingreifnut 51b verhindert, wodurch das Gegenstands-Platzierungselement 2 in den Transportpositionen gehalten wird.
  • Weitere Ausführungsformen
    • (1) Bei der ersten und zweiten Ausführungsform sind die entfernten Positionen auf der Außenseite des umlaufenden Endloskörpers 1 festgelegt, und der Gegenstands-Abgabeort 3 und der Gegenstands-Empfangsort 4 werden als Ort, um Gegenstände B aus den Gegenstands-Transportvorrichtungen zur Gegenstands-Handhabungseinrichtung zu befördern, und als Ort verwendet, um Gegenstände B aus der Gegenstands-Handhabungseinrichtung zu den Gegenstands-Transporteinrichtungen zu befördern. Jedoch kann die Anwendung, für die der Gegenstands-Abgabeort 3 und der Gegenstands-Empfangsort 4 verwendet wird, geeignet verändert werden.
  • Beispielsweise können, wie in 22 dargestellt, die Gegenstands-Abgabeorte und die Gegenstands-Empfangsorte als Orte zum Abgeben von Gegenständen B und zum Empfangen von Gegenständen B zwischen den umlaufenden Endloskörpern 1 verwendet werden, die zueinander benachbart sind.
  • Der Gegenstands-Abgabeort 3 und der Gegenstands-Empfangsort 4, die benachbart zueinander angeordnet sind, sind zu einer einzigen Einheit kombiniert, und zwei derartige Einheiten verbinden die umlaufenden Endloskörper 1, die benachbart zueinander sind. Eine einzige Einheit wird verwendet, um Gegenstände B von einem ersten umlaufenden Endloskörper 1a zu einem zweiten umlaufenden Endloskörper 1b zu befördern, und der Gegenstands-Abgabeort 3 und der Gegenstands-Abgabeort 4 werden dabei als erster Gegenstands-Abgabeort 3a und als erster Gegenstands-Empfangsort 4a bezeichnet. Außerdem wird die andere Einheit verwendet, um Gegenstände B vom zweiten umlaufenden Endloskörper 1b zum ersten umlaufenden Endloskörper 1a zu befördern, und der Gegenstands-Abgabeort 3 und der Gegenstands-Empfangsort 4 werden als zweiten Gegenstands-Abgabeort 3b und als zweiter Gegenstands-Empfangsort 4b bezeichnet.
  • Wie bei den vorhergehenden Ausführungsformen sind die Empfangs-Rollenfördereinrichtungen 28 entsprechend den entfernten Positionen beim ersten Gegenstands-Abgabeort 3a und dem zweiten Gegenstands-Abgabeort 3b vorgesehen. Die Führungsschienen 24 und die Anhebeschienen 26 sind beispielsweise ebenfalls vorgesehen. Außerdem sind, wie bei den vorhergehenden Ausführungsformen, der erste Gegenstands-Empfangsort 4a und der zweite Gegenstands-Empfangsort 4b mit der Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23 versehen, welche die Abgabe-Rollenfördereinrichtungen 35 beinhaltet.
  • Außerdem können, wie in 23 bis 25 dargestellt, die Gegenstands-Abgabeorte und die Gegenstands-Empfangsorte als Orte verwendet werden, um ein Abgeben von Gegenständen B und ein Empfangen von Gegenständen B zwischen den verschiedenen Gegenstands-Platzierungselementen 2 auf demselben umlaufenden Endloskörper 1 durchzuführen.
  • 23 ist eine Draufsicht der Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung einer weiteren Ausführungsform. 24A ist eine Seitenansicht der Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung. 24B ist eine Vorderansicht der Hauptabschnitte der Gegenstands-Transportvorrichtung. 25A, 25B und 25C sind Draufsichten, welche die Funktionsweise der Gegenstands-Transportvorrichtung zeigen.
  • Bei einem Ort, bei dem die umlaufenden Endloskörper 1 einander gegenüberliegend sind und für ein Umlaufen angetrieben werden, sind der Gegenstands-Abgabeort 3 und der Gegenstands-Empfangsort 4, die benachbart zueinander in Umlaufrichtung der umlaufenden Endloskörper 1 auf der Innenseite der umlaufenden Endloskörper 1 angeordnet sind, zu einer einzige Einheit kombiniert. Zwei derartige Einheiten sind entlang der Richtung angeordnet, in der die umlaufenden Endloskörper 1 einander gegenüberliegend sind, derart, das die Einheiten entsprechend den umlaufenden Endloskörpern 1 positioniert sind.
  • Der Gegenstands-Abgabeort 3 und der Gegenstands-Empfangsort 4, entsprechend dem Abschnitt, bei dem der umlaufende Endloskörper 1 von der Oberseite zur Unterseiten in 23 umläuft, werden als dritter Gegenstands-Abgabeort 3c und dritter Gegenstands-Empfangsort 4c bezeichnet. Der Gegenstands-Abgabeort 3 und der Gegenstands-Empfangsort 4, entsprechend dem Abschnitt, bei dem der umlaufende Endloskörper 1 von der Unterseite zur Oberseite in 23 umläuft, werden als vierter Gegenstands-Abgabeort 3d und vierter Gegenstands-Empfangsort 4d bezeichnet.
  • Eine Entnahme- und Ladeeinrichtung 43, welche einen Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement getragen wird, das bei der entfernten Position beim dritten Gegenstands-Abgabeort 3c positioniert ist, entnimmt, und dann den entnommenen Gegenstand B auf das Gegenstands-Platzierungselement 2 lädt, das bei der entfernten Position beim vierten Gegenstands-Empfangsort 4d positioniert ist, ist vorgesehen. Außerdem kann die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 auch einen Gegenstand B entnehmen, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 getragen wird, das bei der entfernten Position beim vierten Gegenstands-Abgabeort 3d positioniert ist, und dann den empfangenen Gegenstand B auf das Gegenstands-Platzierungselement 2 laden, das bei der entfernten Position beim dritten Gegenstands-Empfangsort 4c positioniert ist.
  • Die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 ist mit einer Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 versehen, die das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer zwischen ihren linken und rechten Rollen halten kann und die einen Gegenstand B in einem Zustand transportieren kann, bei dem beide Endabschnitte des Gegenstandes B auf den linken und rechten Rollen platziert sind und von diesen getragen werden. Die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 kann die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 in vertikaler Richtung und in Bewegungsrichtung des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer bewegen, das bei der entfernten Position in einem Zustand positioniert ist, bei dem die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 mit einer Ortskurve des Gegenstands-Platzierungselementes 2 in vertikaler Richtung überlappt, und zwar beim dritten Gegenstands-Abgabeort 3c, dem dritten Gegenstands-Empfangsort 4c, dem vierten Gegenstands-Abgabeort 3d und dem vierten Gegenstands-Empfangsort 4d. Außerdem kann die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 in kreisförmiger Weise bewegen, wobei der dritte Gegenstands-Abgabeort 3c, der dritte Gegenstands-Empfangsort 4c, der vierte Gegenstands-Abgabeort 3d und der vierte Gegenstands-Empfangsort 4d in dieser Reihenfolge passiert wird.
  • Auch in diesem Fall sind die Führungsschiene 24 und die Anhebeschiene 26 vorgesehen, jedoch hat die Anhebeschiene 26 eine ebene Form. Insbesondere bewegt die Anhebeschiene 26 das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer, das in der entfernten Position positioniert ist, nicht in vertikaler Richtung, und wenn die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 die Entnahme- und Lade- Rollenfördereinrichtung 44 in vertikaler Richtung bewegt, wird ein Gegenstand B aus dem Gegenstands-Platzierungselement für einen Transfer, das bei der entfernten Position positioniert ist, zur Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 befördert, und zwar beim dritten Gegenstands-Abgabeort 3c und dem vierten Gegenstands-Abgabeort 3d.
  • Insbesondere ist eine Vor-und-Zurück-Führungsschiene 45, welche die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 über die gesamte Länge des dritten Gegenstands-Abgabeortes 3c und des dritten Gegenstands-Empfangsortes 4c sowie über die gesamte Länge des vierten Gegenstands-Abgabeortes 3d und den vierten Gegenstands-Empfangsort 4d bewegen kann, und ein Paar von Querrichtungs-Führungsschienen 47 vorgesehen, welche die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 von dem dritten Gegenstands-Empfangsort 4c zum vierten Gegenstands-Abgabeort 3d, und vom vierten Gegenstands-Empfangsort 4d zum dritten Gegenstands-Abgabeort 3c bewegen können.
  • Die Vor-und-Zurück-Führungsschiene 45 ist in beweglicher Weise in Längsrichtung der Querrichtungs-Führungsschienen 47 vorgesehen, so dass sie sich zwischen einer Position entsprechend dem dritten Gegenstands-Abgabeort 3c und dem dritten Gegenstands-Empfangsort 4c sowie einer Position entsprechend dem vierten Gegenstands-Abgabeort 3d und dem vierten Gegenstands-Empfangsort 4d bewegen kann.
  • Ein Vor-und-Zurück-Hin-und-Herbewegungselement 46 ist vorgesehen, das sich in Längsrichtung der Vor-und-Zurück-Führungsschiene 25 hin- und herbewegen kann. Die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 ist durch das Vor-und-Zurück-Hin-und-Herbewegungselement 46 drehbar und in vertikaler Richtung beweglich aufgehängt und gelagert.
  • Auch wenn dies nicht dargestellt ist, sind ein Motor für die Führungsschiene, welcher die Vor-und-Zurück-Führungsschiene 45 in Längsrichtung der Querrichtungs-Führungsschiene 47 bewegt, und ein Hin- und Herbewegungsmotor vorgesehen, welcher eine Hin- und Herbewegung des Vor-und-Zurück-Hin-und-Herbewegungselement 46 in Längsrichtung der Vor-und-Zurück-Führungsschiene 45 durchführt. Das Vor-und-Zurück-Hin-und- Herbewegungselement 46 ist auch mit einem Schwenkmotor zum Schwenken der Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 versehen.
  • Nachfolgend wird die Funktionsweise der Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 in einem Fall beschrieben, bei dem ein Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 getragen wird, das in der entfernten Position positioniert ist, beim dritten Gegenstands-Abgabeort 3c entnommen wird, und dann der entnommene Gegenstand B auf das Gegenstands-Platzierungselement 2 geladen wird, das bei der entfernten Position beim vierten Gegenstands-Empfangsort 4d positioniert ist.
  • Wenn ein Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer getragen wird, das bei der entfernten Position positioniert ist, beim dritten Gegenstands-Entnahmeort 3c entnommen wird, erfolgt als Erstes, in einem Zustand, bei dem die Vor-und-Zurück-Führungsschiene 45 sich bei der Position entsprechend dem dritten Gegenstands-Abgabeort 3c und dem dritten Gegenstands-Empfangsort 4c befindet, durch die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 ein Versetzen der Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 in einen Wartezustand bei einer Bewegungsstartposition, derart, dass die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 unterhalb des Gegenstandes B positioniert ist, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer getragen wird, das in der entfernten Position positioniert ist, und zwar in einem Zustand, bei dem die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 mit einer Ortskurve des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer in vertikaler Richtung überlappt. Die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 bewegt das Vor-und-Zurück-Hin-und-Herbewegungselement 46 derart, dass die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer bewegt wird, das in der entfernten Position positioniert ist, wenn das Gegenstands-Platzierungselement für einen Transfer eine Position entsprechend der Bewegungsstartposition der Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 erreicht, wie in 25A dargestellt, und hebt die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 an, derart, dass der Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer getragen wird, das sich in der entfernten Position befindet, zur Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 befördert wird, und zwar durch Anheben der Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 aus der Position unterhalb des Gegenstandes B, wie durch die durchgezogene Linie in 24B angegeben.
  • Wenn der Gegenstand B aus der Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 in dieser Weise entnommen wird, wie in 25B dargestellt, wird die Vor-und-Zurück-Führungsschiene 45 aus der Position entsprechend dem dritten Gegenstands-Abgabeort 3c und dem dritten Gegenstands-Empfangsort 4c in die Position entsprechend dem vierten Gegenstands-Abgabeort 3d und dem vierten Gegenstands-Empfangsort 4d bewegt, und die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 wird durch das Vor-und-Zurück-Hin-und-Herbewegungselement 46 gedreht. Dann lädt die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 den Gegenstand B, der durch die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 getragen wird, auf das Gegenstands-Platzierungselement 2, das bei der entfernten Position beim vierten Gegenstands-Empfangsort 4d positioniert ist.
  • Wenn ein Gegenstand B, der durch die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 getragen wird, auf das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer geladen wird, das bei der entfernten Position beim vierten Gegenstands-Empfangsort 4d positioniert ist, versetzt als Erstes die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 in einen Wartezustand bei einer Bewegungsstartposition, derart, dass der Gegenstand B, der durch die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 getragen wird, oberhalb des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer positioniert wird, das in der entfernten Position in einem Zustand positioniert ist, bei dem der Gegenstand B mit einer Ortskurve des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer in vertikaler Richtung beim vierten Gegenstands-Empfangsort 4d überlappt. Wenn das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer eine Position entsprechend der Bewegungsstartposition der Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 erreicht, bewegt die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43 das Vor-und-Zurück-Hin-und-Herbewegungselement 46 derart, dass die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 synchron zur Bewegung des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer bewegt wird, das bei der entfernten Position positioniert ist, wie in 25C dargestellt, und senkt die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 derart ab, dass der Gegenstand B, der durch die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 getragen wird, auf das Gegenstands-Platzierungselement 2 geladen wird, das in der entfernten Position positioniert ist, und zwar durch Absenken des Gegenstandes B, der durch die Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 getragen wird, aus der Position oberhalb des Gegenstands-Platzierungselementes 2, das bei der entfernten Position positioniert ist, wie durch die unterbrochene Linie in 24B angegeben.
    • (2) Bei der ersten und zweiten Ausführungsform dient eine einzige Führungsschiene 24 sowohl als Führungseinrichtung beim Gegenstands-Abgabeort 3 als auch als Führungseinrichtung beim Gegenstands-Empfangsort 4. Jedoch ist es auch möglich, die Führungsschiene entsprechend dem Gegenstands-Abgabeort 3 und die Führungsschiene entsprechend dem Gegenstands-Empfangsort 4 separat vorzusehen, wobei dabei der Gegenstands-Empfangsort 3 und der Gegenstands-Empfangsort 4 beispielsweise in Umlaufrichtung des umlaufenden Endloskörpers 1 mit Abstand zueinander angeordnet sind.
    • (3) Bei der ersten und zweiten Ausführungsform ist die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 als Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt 22 vorgesehen, der beim Gegenstands-Abgabeort 3 eingebaut ist, und das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer, das bei der entfernten Position beim Gegenstands-Abgabeort 3 positioniert ist, wird in vertikaler Richtung entlang der Anhebeschiene 26 bewegt, so dass ein Gegenstand B vom Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer an die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 abgegeben wird. Jedoch ist es, ohne ein vertikales Bewegen des Gegenstands-Platzierungselementes 2 für einen Transfer, das bei der entfernten Position beim Gegenstands-Abgabeort 3 positioniert ist, ebenfalls möglich, einen Gegenstand B vom Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer zum Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt zu befördern, der beim Gegenstands-Abgabeort 3 installiert ist, und zwar durch vertikales Bewegen des Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnittes. In diesem Fall ist beispielsweise, wie in der anderen Ausführungsform (1) beschrieben, die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43, die mit der Entnahme- und Lade- Rollenfördereinrichtung 44 versehen ist, in vertikaler Richtung beweglich beim Gegenstands-Abgabeort 3 installiert.
    • (4) Bei der ersten und zweiten Ausführungsform ist die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 (Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt 22) beim Gegenstands-Abgabeort 3 installiert, und die Gegenstands-Abgabeeinrichtung 23, die mit der Abgabe-Rollenfördereinrichtung 35 versehen ist, ist beim Gegenstands-Abgabeort 4 installiert. Jedoch kann, wie bei der anderen Ausführungsform (1) beschrieben, die Entnahme- und Ladeeinrichtung 43, die mit der Entnahme- und Lade-Rollenfördereinrichtung 44 versehen ist, beispielsweise in vertikal beweglicher Weise in hin- und her bewegbarer Weise über die gesamte Länge des Gegenstands-Abgabeortes 3 und des Gegenstands-Empfangsortes 4 installiert sein.
    • (5) Bei der ersten und zweiten Ausführungsform ist der Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt 22 durch die Empfangs-Rollenfördereinrichtung 28 gebildet, auf der eine Mehrzahl von Gegenständen B zwischen dem Gegenstands-Abgabeort 3 und dem Gegenstands-Empfangsort 27 platziert werden können. Jedoch kann die Konfiguration des Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnittes 22 geeignet verändert werden, und beispielsweise kann eine Platzierungsstufe, auf der beide Endabschnitte von Gegenständen B platziert sind und getragen werden, als Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt 22 vorgesehen sein.
    • (6) Bei der ersten und zweiten Ausführungsform ist die Trägereinrichtung zum Bewegen des Gegenstands-Platzierungselementes durch die Anhebe-Trägereinrichtung 13, welche das Gegenstands-Platzierungselement 2 in vertikal beweglicher Weise trägt, und die zweite Einrichtung 14 gebildet, welche die Anhebe-Trägereinrichtung 13 in beweglicher Weise bezüglich des umlaufenden Endloskörpers 1 trägt, derart, dass das Gegenstands-Platzierungselement 2 zwischen der Transportposition und der entfernten Position bezüglich des umlaufenden Endloskörpers 1 bewegt werden kann. Jedoch kann eine einzige Trägereinrichtung das Gegenstands-Platzierungselement 2 derart tragen, dass das Gegenstands-Platzierungselement 2 sich in vertikaler Richtung bewegen kann und sich beispielsweise zwischen der Transportposition und der entfernten Position bezüglich des umlaufenden Endloskörpers 1 bewegen kann. Die Konfiguration der Trägereinrichtung zum Bewegen des Gegenstands-Platzierungselementes kann geeignet verändert werden.
    • (7) Bei der ersten und zweiten Ausführungsform ist die Führungseinrichtung 21 durch die Führungsschiene 24, welche die horizontale Führungsrolle 20 führt, und die Anhebeschiene 26 gebildet, welche die Anhebe-Führungsrolle 25 führt. Jedoch kann die Führungseinrichtung 21 beispielsweise durch eine einzige Führungsschiene gebildet sein. Die Konfiguration der Führungseinrichtung 21 kann geeignet verändert werden.
    • (8) Bei der ersten und zweiten Ausführungsform ist der umlaufende Endloskörper durch die Mehrzahl von Laufelementen 6 und die Mehrzahl von Kopplungselementen 7 gebildet, welche die Laufelemente 6 koppeln. Jedoch kann der umlaufende Endloskörper 1 beispielsweise durch einen kreisförmigen Riemenkörper gebildet sein, der in kreisförmiger Weise umläuft. Die Konfiguration des umlaufenden Endloskörpers 1 kann geeignet verändert werden.
    • (9) Es ist nicht immer erforderlich, die Mehrzahl von Laufelementen 6 (Fahrzeuge) zu koppeln.
    • (10) Bei der ersten und zweiten Ausführungsform ist die entfernte Position eine Position, die von der Transportposition in horizontaler Richtung beabstandet ist. Jedoch kann die entfernte Position eine beliebige Position sein, solange es sich um einen Position außerhalb des Gegenstands-Transportraums handelt, der durch Gegenstände B belegt wird, die bei den Transportpositionen bei fortschreitendem Transportieren auf den Gegenstands-Platzierungselementen platziert sind und von diesen getragen werden. Die entfernte Position kann bezüglich der Transportposition geeignet verändert werden.
  • Beispielsweise kann die entfernte Position eine Position sein, die von der Transportposition zur oberen Seite hin beabstandet ist. In diesem Fall kann die Führungseinrichtung so konfiguriert sein, dass sie das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer derart führt, dass das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer aus die Transportposition in die entfernte Position angehoben wird und aus der entfernten Position in die Transportposition abgesenkt wird, und zwar beim Gegenstands-Abgabeort oder dem Gegenstands-Empfangsort, und das Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer bei der entfernten Position beim Gegenstands-Abgabeort derart in vertikaler Richtung zu bewegen, dass ein Gegenstand B, der auf dem Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer getragen wird, das sich bei der entfernten Position befindet, vom Gegenstands-Platzierungselement 2 für einen Transfer zum Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt befördert wird, und zwar durch Absenken des Gegenstands B aus der Position oberhalb des Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnittes beim Gegenstands-Abgabeort.

Claims (9)

  1. Gegenstands-Transportvorrichtung, aufweisend: einen umlaufenden Körper (1), der konfiguriert ist, um sich entlang einem kreisförmigen Weg in im Wesentlichen horizontaler Richtung zu bewegen; eine Mehrzahl von Gegenstands-Trägereinrichtungen (2), von denen jede einen Gegenstand (B) trägt, wobei sich die Gegenstands-Trägereinrichtungen (2) gemeinsam mit dem umlaufenden Körper (1) bewegen, und wobei die Trägereinrichtungen (2) in Laufrichtung mit Abstand zueinander angeordnet sind; eine Trägereinrichtung (13, 14), welche die Gegenstands-Trägereinrichtungen (2) am umlaufenden Körper (1) lagert, derart, dass sich die Gegenstands-Trägereinrichtungen (2) zwischen einer Transportposition benachbart dem umlaufenden Körper (1) und einer entfernten Position bewegen können, die von der Transportposition beabstandet ist; und eine Führungseinrichtung (21), die verursacht, dass sich zumindest einige der Gegenstands-Trägereinrichtungen (2) aus der Transportposition in die entfernte Position, und aus der entfernten Position in die Transportposition bewegen, und zwar bei einem Gegenstands-Abgabeort (3) oder einem Gegenstands-Empfangsort (4) entlang dem kreisförmigen Weg des umlaufenden Körpers (1), einen Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt (28), der am Gegenstands-Abgabeort (3) installiert ist und der einen Gegenstand (B) von der Gegenstands-Trägereinrichtung (2) empfängt, die bei der entfernten Position am Gegenstands-Abgabeort (3) positioniert ist; wobei die Trägereinrichtung (13, 14) konfiguriert ist, um die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) bezüglich des umlaufenden Körpers (1) in vertikaler Richtung beweglich zu lagern, um einen Gegenstand (B) abzugeben, und die Führungseinrichtung (21) verursacht, dass sich die Gegenstands-Trägereinrichtung (2), die bei der entfernten Position am Gegenstands-Abgabeort (3) positioniert ist, in vertikaler Richtung bewegt, derart, dass ein durch die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) getragener Gegenstand (B) an den Gegenstands-Empfangs-Platzierungsabschnitt (28) abgegeben wird, und zwar durch Absenken des Gegenstandes (B) aus einer Position oberhalb des Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnittes (28), dadurch gekennzeichnet, dass der umlaufende Körper ein umlaufender Endloskörper (1) ist; und der Gegenstandsempfangs-Platzierungsabschnitt (28) eine Gegenstandsplatzierungs-Transporteinrichtung (22) aufweist, die einen Gegenstand (B) am Gegenstands-Abgabeort (3) in einer im Wesentlichen horizontalen Richtung zu einem Gegenstands-Entnahmeort (27) transportiert, und eine Mehrzahl von Gegenständen (B) zwischen dem Gegenstands-Abgabeort (3) und dem Gegenstands-Entnahmeort (27) platziert.
  2. Gegenstands-Transportvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägereinrichtung eine erste Einrichtung (13), welche die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) in vertikaler Richtung beweglich lagert, und eine zweite Einrichtung (14) aufweist, welche die erste Einrichtung (13) in beweglicher Weise bezüglich des umlaufenden Endloskörpers (1) lagert, derart, dass die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) so gelagert ist, dass sie zwischen der Transportposition und der entfernten Position bezüglich des umlaufenden Endloskörpers (1) beweglich ist.
  3. Gegenstands-Transportvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungseinrichtung (21) ein Bewegungsführungselement (24), welches die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) derart führt, dass die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) zwischen der Transportposition und der entfernten Position bewegt wird, und ein Anhebe-Führungselement (26) aufweist, das die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) derart führt, dass die Gegenstands-Trägereinrichtung (2), die an der entfernten Position am Gegenstands-Abgabeort (3) positioniert ist, in vertikaler Richtung bewegt wird.
  4. Gegenstands-Transportvorrichtung nach Anspruch 1, weiter aufweisend: eine Gegenstands-Abgabeeinrichtung (23), die am Gegenstands-Empfangsort (4) installiert ist, um einen Gegenstand (B), der durch einen Gegenstandsabgabe-Platzierungsabschnitt (35) getragen wird, an die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) abzugeben, die an der entfernten Position am Gegenstands-Empfangsort (4) positioniert ist, wobei die Gegenstands-Abgabeeinrichtung (23) verursacht, dass der Gegenstandsabgabe-Platzierungsabschnitt (35) sich synchron zu einer Bewegung der Gegenstands-Trägereinrichtung (2) bewegt, die an der entfernten Position beim Gegenstands-Empfangsort (4) positioniert ist, und dass der Gegenstandsabgabe-Platzierungsabschnitt (35) sich in vertikaler Richtung bewegt, derart, dass ein Gegenstand (B), der durch den Gegenstandsabgabe-Platzierungsabschnitt (35) getragen wird, an die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) abgegeben wird, und zwar durch Absenken des Gegenstands (B) aus einer Position oberhalb der Gegenstands-Trägereinrichtung (2), die bei der entfernten Position am Gegenstands-Empfangsort (4) positioniert ist.
  5. Gegenstands-Transportvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Einrichtung (14) mindestens einen ersten Gelenkarm (18), der am umlaufenden Endloskörper (1) schwenkbar befestigt ist, und mindestens einen zweiten Gelenkarm (19) aufweist, der am ersten Gelenkarm (18) schwenkbar befestigt ist.
  6. Gegenstands-Transportvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Einrichtung (13) ein Basiselement (16), das durch den zweiten Gelenkarm (19) getragen wird, und mindestens einen Anhebe-Gelenkarm (17) aufweist, dessen eines Ende durch das Basiselement (16) in vertikaler Richtung schwenkbar gelagert ist und dessen anderes Ende durch die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) in vertikaler Richtung schwenkbar gelagert ist.
  7. Gegenstands-Transportvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Anhebe-Führungselement (26) eine Anhebeschiene (26) aufweist, und die Anhebeschiene (26) einen nach oben verlaufenden Abschnitt (26b), der nach oben geneigt ist, einen ebenen mittleren Abschnitt (26c) und einen nach unten verlaufenden Abschnitt (26d) aufweist, der nach unten geneigt ist, und zwar in Seitenansicht.
  8. Gegenstands-Transportvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der umlaufende Endloskörper (1) durch einen Linearmotor angetrieben wird, der Magnete (10) und Spulen (11) aufweist.
  9. Gegenstands-Transportvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenstands-Trägereinrichtung (2) auf einer Fläche von ihr ein sich in vertikaler Richtung erstreckendes Positionierungselement aufweist, das die Position eines Gegenstandes fixiert.
DE102006034395A 2005-08-10 2006-07-25 Vorrichtung zum Transportieren von Gegenständen Expired - Fee Related DE102006034395B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-232283 2005-08-10
JP2005232283A JP4666215B2 (ja) 2005-08-10 2005-08-10 物品搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102006034395A1 DE102006034395A1 (de) 2007-02-15
DE102006034395B4 true DE102006034395B4 (de) 2010-08-19

Family

ID=37681255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102006034395A Expired - Fee Related DE102006034395B4 (de) 2005-08-10 2006-07-25 Vorrichtung zum Transportieren von Gegenständen

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7648018B2 (de)
JP (1) JP4666215B2 (de)
CN (1) CN1911762B (de)
DE (1) DE102006034395B4 (de)
NL (1) NL1032195C2 (de)
SG (1) SG130104A1 (de)
TW (1) TWI424948B (de)

Families Citing this family (343)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4378656B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN101402277B (zh) * 2007-10-29 2012-04-11 陆新田 一种丝网印花机
CN101659350B (zh) * 2008-08-29 2012-06-27 向熙科技股份有限公司 可双面装卸的连续式输送***及其方法
EP2353797B1 (de) * 2008-10-07 2014-08-06 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Substratübertragungsroboter und system
US10378106B2 (en) 2008-11-14 2019-08-13 Asm Ip Holding B.V. Method of forming insulation film by modified PEALD
JP2010162198A (ja) * 2009-01-16 2010-07-29 Ishino Seisakusho Co Ltd 飲食物搬送装置
JP5102788B2 (ja) * 2009-01-16 2012-12-19 株式会社石野製作所 飲食物搬送装置
US9394608B2 (en) 2009-04-06 2016-07-19 Asm America, Inc. Semiconductor processing reactor and components thereof
CN101875432B (zh) * 2009-04-28 2012-03-28 河南理工大学 一种直驱式刮板输送装置
EP2433299B1 (de) * 2009-05-18 2022-10-26 Brooks Automation US, LLC Substratbehälterlagerungssystem
US8882433B2 (en) * 2009-05-18 2014-11-11 Brooks Automation, Inc. Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems
US8802201B2 (en) 2009-08-14 2014-08-12 Asm America, Inc. Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species
DE102009049905A1 (de) * 2009-10-12 2011-04-14 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Halteeinrichtung für dünne flächige Substrate
JP5051799B2 (ja) * 2010-06-30 2012-10-17 日本電波工業株式会社 感知装置
CN101948020B (zh) * 2010-09-08 2012-11-21 区永辉 一种用于条烟包装生产线的定量周转箱环路输送工艺
DE202010016627U1 (de) * 2010-12-15 2011-03-10 Expresso Deutschland Gmbh Umlauf-Fördersystem für Fertigungs- oder Montage-Linien
CN102285532B (zh) * 2011-05-12 2013-05-22 苏州市诺弗电器有限公司 一种自动排布产品间距机构
US9312155B2 (en) 2011-06-06 2016-04-12 Asm Japan K.K. High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules
US10364496B2 (en) 2011-06-27 2019-07-30 Asm Ip Holding B.V. Dual section module having shared and unshared mass flow controllers
US10854498B2 (en) 2011-07-15 2020-12-01 Asm Ip Holding B.V. Wafer-supporting device and method for producing same
US20130023129A1 (en) 2011-07-20 2013-01-24 Asm America, Inc. Pressure transmitter for a semiconductor processing environment
JP5827069B2 (ja) * 2011-08-11 2015-12-02 平田機工株式会社 搬送装置
US9017481B1 (en) 2011-10-28 2015-04-28 Asm America, Inc. Process feed management for semiconductor substrate processing
US9105760B2 (en) 2011-11-07 2015-08-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Pick-and-place tool for packaging process
US8546802B2 (en) * 2011-11-07 2013-10-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Pick-and-place tool for packaging process
CN102491088A (zh) * 2011-12-13 2012-06-13 区永辉 一种条烟成品生产存储销售环节物流工艺
CN102774638B (zh) * 2012-08-17 2014-12-03 卢鹰 实时响应购物指令自动送达商品入户智能分拣分流装置
US9659799B2 (en) 2012-08-28 2017-05-23 Asm Ip Holding B.V. Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling
US10714315B2 (en) 2012-10-12 2020-07-14 Asm Ip Holdings B.V. Semiconductor reaction chamber showerhead
DE102012024674B4 (de) * 2012-12-18 2015-03-12 Hennecke Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Formteilen
US20160376700A1 (en) 2013-02-01 2016-12-29 Asm Ip Holding B.V. System for treatment of deposition reactor
US9484191B2 (en) 2013-03-08 2016-11-01 Asm Ip Holding B.V. Pulsed remote plasma method and system
US9589770B2 (en) 2013-03-08 2017-03-07 Asm Ip Holding B.V. Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species
US9142437B2 (en) * 2013-04-10 2015-09-22 Globalfoundries Inc. System for separately handling different size FOUPs
US9240412B2 (en) 2013-09-27 2016-01-19 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process
US10683571B2 (en) 2014-02-25 2020-06-16 Asm Ip Holding B.V. Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same
US10167557B2 (en) 2014-03-18 2019-01-01 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same
US11015245B2 (en) 2014-03-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof
US10858737B2 (en) 2014-07-28 2020-12-08 Asm Ip Holding B.V. Showerhead assembly and components thereof
KR102174332B1 (ko) * 2014-07-30 2020-11-04 삼성전자주식회사 반도체 제조 라인의 스토커 및 상기 스토커를 이용하여 웨이퍼를 이송하는 방법
US9890456B2 (en) 2014-08-21 2018-02-13 Asm Ip Holding B.V. Method and system for in situ formation of gas-phase compounds
US10941490B2 (en) 2014-10-07 2021-03-09 Asm Ip Holding B.V. Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same
US9657845B2 (en) 2014-10-07 2017-05-23 Asm Ip Holding B.V. Variable conductance gas distribution apparatus and method
CN104477587A (zh) * 2014-12-08 2015-04-01 苏州卫捷医药科技有限公司 一种环式医用分拣机
DE102014119110A1 (de) 2014-12-18 2016-06-23 Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach Bewegungsvorrichtung
KR102263121B1 (ko) 2014-12-22 2021-06-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 및 그 제조 방법
US10529542B2 (en) 2015-03-11 2020-01-07 Asm Ip Holdings B.V. Cross-flow reactor and method
US10276355B2 (en) 2015-03-12 2019-04-30 Asm Ip Holding B.V. Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same
DE102015104023A1 (de) * 2015-03-18 2016-09-22 Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach Vorrichtung zum Bewegen von Objekten
US10458018B2 (en) 2015-06-26 2019-10-29 Asm Ip Holding B.V. Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same
US10600673B2 (en) 2015-07-07 2020-03-24 Asm Ip Holding B.V. Magnetic susceptor to baseplate seal
US9960072B2 (en) 2015-09-29 2018-05-01 Asm Ip Holding B.V. Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings
US10211308B2 (en) 2015-10-21 2019-02-19 Asm Ip Holding B.V. NbMC layers
CN105600382B (zh) * 2015-10-29 2017-08-08 苏州凡特斯测控科技有限公司 一种半自动旋转侧翻机构
US10322384B2 (en) 2015-11-09 2019-06-18 Asm Ip Holding B.V. Counter flow mixer for process chamber
US11139308B2 (en) 2015-12-29 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices
US10529554B2 (en) 2016-02-19 2020-01-07 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches
US10468251B2 (en) 2016-02-19 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning
US10501866B2 (en) 2016-03-09 2019-12-10 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system
US10343920B2 (en) 2016-03-18 2019-07-09 Asm Ip Holding B.V. Aligned carbon nanotubes
US9892913B2 (en) 2016-03-24 2018-02-13 Asm Ip Holding B.V. Radial and thickness control via biased multi-port injection settings
JP2017178532A (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 日清食品ホールディングス株式会社 物品搬送装置
DE102016106621A1 (de) 2016-04-11 2017-10-12 Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach Vorrichtung, Transportmover und Transportmoversystem
US10190213B2 (en) 2016-04-21 2019-01-29 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides
US10865475B2 (en) 2016-04-21 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides and silicides
US10367080B2 (en) 2016-05-02 2019-07-30 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a germanium oxynitride film
US10032628B2 (en) 2016-05-02 2018-07-24 Asm Ip Holding B.V. Source/drain performance through conformal solid state doping
KR102592471B1 (ko) 2016-05-17 2023-10-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법
US11453943B2 (en) 2016-05-25 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor
US10388509B2 (en) 2016-06-28 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Formation of epitaxial layers via dislocation filtering
US9859151B1 (en) 2016-07-08 2018-01-02 Asm Ip Holding B.V. Selective film deposition method to form air gaps
US10612137B2 (en) 2016-07-08 2020-04-07 Asm Ip Holdings B.V. Organic reactants for atomic layer deposition
US10714385B2 (en) 2016-07-19 2020-07-14 Asm Ip Holding B.V. Selective deposition of tungsten
KR102354490B1 (ko) 2016-07-27 2022-01-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
US9812320B1 (en) 2016-07-28 2017-11-07 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US10395919B2 (en) 2016-07-28 2019-08-27 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US9887082B1 (en) 2016-07-28 2018-02-06 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
KR102532607B1 (ko) 2016-07-28 2023-05-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 가공 장치 및 그 동작 방법
KR102613349B1 (ko) 2016-08-25 2023-12-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배기 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치와 박막 제조 방법
US10410943B2 (en) 2016-10-13 2019-09-10 Asm Ip Holding B.V. Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems
US10643826B2 (en) 2016-10-26 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for thermally calibrating reaction chambers
US11532757B2 (en) 2016-10-27 2022-12-20 Asm Ip Holding B.V. Deposition of charge trapping layers
US10714350B2 (en) 2016-11-01 2020-07-14 ASM IP Holdings, B.V. Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
US10435790B2 (en) 2016-11-01 2019-10-08 Asm Ip Holding B.V. Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap
US10229833B2 (en) 2016-11-01 2019-03-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
US10643904B2 (en) 2016-11-01 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures
US10134757B2 (en) 2016-11-07 2018-11-20 Asm Ip Holding B.V. Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method
KR102546317B1 (ko) 2016-11-15 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
DE102016222806B3 (de) 2016-11-18 2018-04-05 Apt Gmbh Automation Und Produktionstechnik Transportgutträger, Transportsystem und Verfahren zum Transport eines Transportguts
US10340135B2 (en) 2016-11-28 2019-07-02 Asm Ip Holding B.V. Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride
KR20180068582A (ko) 2016-12-14 2018-06-22 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11447861B2 (en) 2016-12-15 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure
US11581186B2 (en) 2016-12-15 2023-02-14 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus
KR20180070971A (ko) 2016-12-19 2018-06-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US10269558B2 (en) 2016-12-22 2019-04-23 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US10867788B2 (en) 2016-12-28 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US11390950B2 (en) 2017-01-10 2022-07-19 Asm Ip Holding B.V. Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process
US10655221B2 (en) 2017-02-09 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD
US10468261B2 (en) 2017-02-15 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10283353B2 (en) 2017-03-29 2019-05-07 Asm Ip Holding B.V. Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern
US10529563B2 (en) 2017-03-29 2020-01-07 Asm Ip Holdings B.V. Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
KR102457289B1 (ko) 2017-04-25 2022-10-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법
US10446393B2 (en) 2017-05-08 2019-10-15 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures
US10892156B2 (en) 2017-05-08 2021-01-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US10770286B2 (en) 2017-05-08 2020-09-08 Asm Ip Holdings B.V. Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US10504742B2 (en) 2017-05-31 2019-12-10 Asm Ip Holding B.V. Method of atomic layer etching using hydrogen plasma
US10886123B2 (en) 2017-06-02 2021-01-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures
US12040200B2 (en) 2017-06-20 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and methods for calibrating a semiconductor processing apparatus
US11306395B2 (en) 2017-06-28 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus
US10685834B2 (en) 2017-07-05 2020-06-16 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures
KR20190009245A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물
US11374112B2 (en) 2017-07-19 2022-06-28 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11018002B2 (en) 2017-07-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10541333B2 (en) 2017-07-19 2020-01-21 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10312055B2 (en) 2017-07-26 2019-06-04 Asm Ip Holding B.V. Method of depositing film by PEALD using negative bias
US10590535B2 (en) 2017-07-26 2020-03-17 Asm Ip Holdings B.V. Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same
US10605530B2 (en) 2017-07-26 2020-03-31 Asm Ip Holding B.V. Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace
US10770336B2 (en) 2017-08-08 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Substrate lift mechanism and reactor including same
US10692741B2 (en) 2017-08-08 2020-06-23 Asm Ip Holdings B.V. Radiation shield
US11769682B2 (en) 2017-08-09 2023-09-26 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US11139191B2 (en) 2017-08-09 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US10249524B2 (en) 2017-08-09 2019-04-02 Asm Ip Holding B.V. Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly
USD900036S1 (en) 2017-08-24 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Heater electrical connector and adapter
US11830730B2 (en) 2017-08-29 2023-11-28 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
US11295980B2 (en) 2017-08-30 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
US11056344B2 (en) 2017-08-30 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method
KR102491945B1 (ko) 2017-08-30 2023-01-26 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR102401446B1 (ko) 2017-08-31 2022-05-24 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US10607895B2 (en) 2017-09-18 2020-03-31 Asm Ip Holdings B.V. Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal
KR102630301B1 (ko) 2017-09-21 2024-01-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치
US10844484B2 (en) 2017-09-22 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
US10658205B2 (en) 2017-09-28 2020-05-19 Asm Ip Holdings B.V. Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber
US10403504B2 (en) 2017-10-05 2019-09-03 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a metallic film on a substrate
US10319588B2 (en) 2017-10-10 2019-06-11 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition
US10923344B2 (en) 2017-10-30 2021-02-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures
US10910262B2 (en) 2017-11-16 2021-02-02 Asm Ip Holding B.V. Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure
KR102443047B1 (ko) 2017-11-16 2022-09-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US11022879B2 (en) 2017-11-24 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer
WO2019103613A1 (en) 2017-11-27 2019-05-31 Asm Ip Holding B.V. A storage device for storing wafer cassettes for use with a batch furnace
KR102633318B1 (ko) 2017-11-27 2024-02-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 청정 소형 구역을 포함한 장치
US10290508B1 (en) 2017-12-05 2019-05-14 Asm Ip Holding B.V. Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning
US10872771B2 (en) 2018-01-16 2020-12-22 Asm Ip Holding B. V. Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures
CN111630203A (zh) 2018-01-19 2020-09-04 Asm Ip私人控股有限公司 通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法
TWI799494B (zh) 2018-01-19 2023-04-21 荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 沈積方法
USD903477S1 (en) 2018-01-24 2020-12-01 Asm Ip Holdings B.V. Metal clamp
US11018047B2 (en) 2018-01-25 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Hybrid lift pin
US10535516B2 (en) 2018-02-01 2020-01-14 Asm Ip Holdings B.V. Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures
USD880437S1 (en) 2018-02-01 2020-04-07 Asm Ip Holding B.V. Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus
US11081345B2 (en) 2018-02-06 2021-08-03 Asm Ip Holding B.V. Method of post-deposition treatment for silicon oxide film
US10896820B2 (en) 2018-02-14 2021-01-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
WO2019158960A1 (en) 2018-02-14 2019-08-22 Asm Ip Holding B.V. A method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
US10731249B2 (en) 2018-02-15 2020-08-04 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus
US10658181B2 (en) 2018-02-20 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication
KR102636427B1 (ko) 2018-02-20 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 장치
US10975470B2 (en) 2018-02-23 2021-04-13 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment
US11473195B2 (en) 2018-03-01 2022-10-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate
US11629406B2 (en) 2018-03-09 2023-04-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate
US11114283B2 (en) 2018-03-16 2021-09-07 Asm Ip Holding B.V. Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same
KR102646467B1 (ko) 2018-03-27 2024-03-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조
US10510536B2 (en) 2018-03-29 2019-12-17 Asm Ip Holding B.V. Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber
US11230766B2 (en) 2018-03-29 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
US11088002B2 (en) 2018-03-29 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate rack and a substrate processing system and method
KR102501472B1 (ko) 2018-03-30 2023-02-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
US12025484B2 (en) 2018-05-08 2024-07-02 Asm Ip Holding B.V. Thin film forming method
KR20190128558A (ko) 2018-05-08 2019-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 산화물 막을 주기적 증착 공정에 의해 증착하기 위한 방법 및 관련 소자 구조
TW202349473A (zh) 2018-05-11 2023-12-16 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構
KR102596988B1 (ko) 2018-05-28 2023-10-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US11718913B2 (en) 2018-06-04 2023-08-08 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system and reactor system including same
US11270899B2 (en) 2018-06-04 2022-03-08 Asm Ip Holding B.V. Wafer handling chamber with moisture reduction
US11286562B2 (en) 2018-06-08 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase chemical reactor and method of using same
US10797133B2 (en) 2018-06-21 2020-10-06 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures
KR102568797B1 (ko) 2018-06-21 2023-08-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 시스템
TW202405221A (zh) 2018-06-27 2024-02-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 用於形成含金屬材料及包含含金屬材料的膜及結構之循環沉積方法
TW202409324A (zh) 2018-06-27 2024-03-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 用於形成含金屬材料之循環沉積製程
TWI751420B (zh) 2018-06-29 2022-01-01 荷蘭商Ａｓｍ知識產權私人控股有限公司 薄膜沉積方法
US10612136B2 (en) 2018-06-29 2020-04-07 ASM IP Holding, B.V. Temperature-controlled flange and reactor system including same
US10388513B1 (en) 2018-07-03 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10755922B2 (en) 2018-07-03 2020-08-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10767789B2 (en) 2018-07-16 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components
US10483099B1 (en) 2018-07-26 2019-11-19 Asm Ip Holding B.V. Method for forming thermally stable organosilicon polymer film
US11053591B2 (en) 2018-08-06 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Multi-port gas injection system and reactor system including same
US10883175B2 (en) 2018-08-09 2021-01-05 Asm Ip Holding B.V. Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein
US10829852B2 (en) 2018-08-16 2020-11-10 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution device for a wafer processing apparatus
US11430674B2 (en) 2018-08-22 2022-08-30 Asm Ip Holding B.V. Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
KR20200030162A (ko) 2018-09-11 2020-03-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법
US11024523B2 (en) 2018-09-11 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
US11049751B2 (en) 2018-09-14 2021-06-29 Asm Ip Holding B.V. Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith
CN110970344A (zh) 2018-10-01 2020-04-07 Asm Ip控股有限公司 衬底保持设备、包含所述设备的***及其使用方法
US11232963B2 (en) 2018-10-03 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102592699B1 (ko) 2018-10-08 2023-10-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
US10847365B2 (en) 2018-10-11 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD
US10811256B2 (en) 2018-10-16 2020-10-20 Asm Ip Holding B.V. Method for etching a carbon-containing feature
KR102605121B1 (ko) 2018-10-19 2023-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR102546322B1 (ko) 2018-10-19 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
USD948463S1 (en) 2018-10-24 2022-04-12 Asm Ip Holding B.V. Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus
US10381219B1 (en) 2018-10-25 2019-08-13 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a silicon nitride film
US11087997B2 (en) 2018-10-31 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
KR20200051105A (ko) 2018-11-02 2020-05-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US11572620B2 (en) 2018-11-06 2023-02-07 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate
US11031242B2 (en) 2018-11-07 2021-06-08 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a boron doped silicon germanium film
US10818758B2 (en) 2018-11-16 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures
US10847366B2 (en) 2018-11-16 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process
US10559458B1 (en) 2018-11-26 2020-02-11 Asm Ip Holding B.V. Method of forming oxynitride film
US12040199B2 (en) 2018-11-28 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
US11217444B2 (en) 2018-11-30 2022-01-04 Asm Ip Holding B.V. Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film
KR102636428B1 (ko) 2018-12-04 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치를 세정하는 방법
US11158513B2 (en) 2018-12-13 2021-10-26 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
JP7504584B2 (ja) 2018-12-14 2024-06-24 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム
TWI819180B (zh) 2019-01-17 2023-10-21 荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
KR20200091543A (ko) 2019-01-22 2020-07-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
CN111524788B (zh) 2019-02-01 2023-11-24 Asm Ip私人控股有限公司 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法
CN109720817A (zh) * 2019-02-18 2019-05-07 东莞科视自动化科技有限公司 一种pcb在线检测设备及其检测方法
KR102626263B1 (ko) 2019-02-20 2024-01-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치
US11482533B2 (en) 2019-02-20 2022-10-25 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and methods for plug fill deposition in 3-D NAND applications
JP7509548B2 (ja) 2019-02-20 2024-07-02 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置
JP2020136678A (ja) 2019-02-20 2020-08-31 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置
JP2020133004A (ja) 2019-02-22 2020-08-31 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材を処理するための基材処理装置および方法
KR20200108243A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200108242A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
KR20200108248A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200116033A (ko) 2019-03-28 2020-10-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치
CN113677478B (zh) * 2019-03-29 2023-06-23 平田机工株式会社 安装装置
KR20200116855A (ko) 2019-04-01 2020-10-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자를 제조하는 방법
KR20200123380A (ko) 2019-04-19 2020-10-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 층 형성 방법 및 장치
KR20200125453A (ko) 2019-04-24 2020-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
KR20200130118A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법
KR20200130121A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
KR20200130652A (ko) 2019-05-10 2020-11-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
JP2020188255A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
JP2020188254A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
USD947913S1 (en) 2019-05-17 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD975665S1 (en) 2019-05-17 2023-01-17 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD935572S1 (en) 2019-05-24 2021-11-09 Asm Ip Holding B.V. Gas channel plate
CN112036782B (zh) * 2019-06-04 2024-04-05 江苏华章物流科技股份有限公司 货到人拣选***的拣选调度方法及***
USD922229S1 (en) 2019-06-05 2021-06-15 Asm Ip Holding B.V. Device for controlling a temperature of a gas supply unit
KR20200141002A (ko) 2019-06-06 2020-12-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
KR20200143254A (ko) 2019-06-11 2020-12-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
USD944946S1 (en) 2019-06-14 2022-03-01 Asm Ip Holding B.V. Shower plate
USD931978S1 (en) 2019-06-27 2021-09-28 Asm Ip Holding B.V. Showerhead vacuum transport
KR20210005515A (ko) 2019-07-03 2021-01-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
JP7499079B2 (ja) 2019-07-09 2024-06-13 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
CN112216646A (zh) 2019-07-10 2021-01-12 Asm Ip私人控股有限公司 基板支撑组件及包括其的基板处理装置
KR20210010307A (ko) 2019-07-16 2021-01-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210010816A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
KR20210010820A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
US11643724B2 (en) 2019-07-18 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Method of forming structures using a neutral beam
CN112238975A (zh) * 2019-07-18 2021-01-19 杭州永创智能设备股份有限公司 一种物品输送方法以及物品包装输送方法
TWI839544B (zh) 2019-07-19 2024-04-21 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 形成形貌受控的非晶碳聚合物膜之方法
TW202113936A (zh) 2019-07-29 2021-04-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法
CN112309899A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112309900A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
US11227782B2 (en) 2019-07-31 2022-01-18 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587815B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587814B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
CN112323048B (zh) 2019-08-05 2024-02-09 Asm Ip私人控股有限公司 用于化学源容器的液位传感器
USD965524S1 (en) 2019-08-19 2022-10-04 Asm Ip Holding B.V. Susceptor support
USD965044S1 (en) 2019-08-19 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
JP2021031769A (ja) 2019-08-21 2021-03-01 エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
USD979506S1 (en) 2019-08-22 2023-02-28 Asm Ip Holding B.V. Insulator
USD949319S1 (en) 2019-08-22 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Exhaust duct
USD930782S1 (en) 2019-08-22 2021-09-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor
USD940837S1 (en) 2019-08-22 2022-01-11 Asm Ip Holding B.V. Electrode
KR20210024423A (ko) 2019-08-22 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
KR20210024420A (ko) 2019-08-23 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
US11286558B2 (en) 2019-08-23 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
KR20210029090A (ko) 2019-09-04 2021-03-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
KR20210029663A (ko) 2019-09-05 2021-03-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11562901B2 (en) 2019-09-25 2023-01-24 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing method
CN112593212B (zh) 2019-10-02 2023-12-22 Asm Ip私人控股有限公司 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
KR20210042810A (ko) 2019-10-08 2021-04-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
CN112635282A (zh) 2019-10-08 2021-04-09 Asm Ip私人控股有限公司 具有连接板的基板处理装置、基板处理方法
KR20210043460A (ko) 2019-10-10 2021-04-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체
US12009241B2 (en) 2019-10-14 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
TWI834919B (zh) 2019-10-16 2024-03-11 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法
US11637014B2 (en) 2019-10-17 2023-04-25 Asm Ip Holding B.V. Methods for selective deposition of doped semiconductor material
KR20210047808A (ko) 2019-10-21 2021-04-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
KR20210050453A (ko) 2019-10-25 2021-05-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
US11646205B2 (en) 2019-10-29 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
KR20210054983A (ko) 2019-11-05 2021-05-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
US11501968B2 (en) 2019-11-15 2022-11-15 Asm Ip Holding B.V. Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
KR20210062561A (ko) 2019-11-20 2021-05-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
CN112951697A (zh) 2019-11-26 2021-06-11 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
US11450529B2 (en) 2019-11-26 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface
CN112885693A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885692A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
JP2021090042A (ja) 2019-12-02 2021-06-10 エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． 基板処理装置、基板処理方法
KR20210070898A (ko) 2019-12-04 2021-06-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210078405A (ko) 2019-12-17 2021-06-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 바나듐 나이트라이드 층을 포함하는 구조
US11527403B2 (en) 2019-12-19 2022-12-13 Asm Ip Holding B.V. Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures
TW202140135A (zh) 2020-01-06 2021-11-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 氣體供應總成以及閥板總成
KR20210089079A (ko) 2020-01-06 2021-07-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 채널형 리프트 핀
US11993847B2 (en) 2020-01-08 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Injector
CN111217092B (zh) * 2020-01-10 2021-07-30 北自所（北京）科技发展有限公司 玻纤生产***的缓存分配装置及丝车缓存分配方法
KR102675856B1 (ko) 2020-01-20 2024-06-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법
TW202130846A (zh) 2020-02-03 2021-08-16 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 形成包括釩或銦層的結構之方法
CN115023401B (zh) * 2020-02-04 2024-06-11 平田机工株式会社 自动仓库单元以及自动仓库设备
KR20210100010A (ko) 2020-02-04 2021-08-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 대형 물품의 투과율 측정을 위한 방법 및 장치
US11776846B2 (en) 2020-02-07 2023-10-03 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices
US11781243B2 (en) 2020-02-17 2023-10-10 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing low temperature phosphorous-doped silicon
TW202203344A (zh) 2020-02-28 2022-01-16 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ控股公司 專用於零件清潔的系統
US11876356B2 (en) 2020-03-11 2024-01-16 Asm Ip Holding B.V. Lockout tagout assembly and system and method of using same
KR20210116240A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
CN113394086A (zh) 2020-03-12 2021-09-14 Asm Ip私人控股有限公司 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法
KR20210124042A (ko) 2020-04-02 2021-10-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법
TW202146689A (zh) 2020-04-03 2021-12-16 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ控股公司 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法
TW202145344A (zh) 2020-04-08 2021-12-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
US11821078B2 (en) 2020-04-15 2023-11-21 Asm Ip Holding B.V. Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film
US11996289B2 (en) 2020-04-16 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods
KR20210132600A (ko) 2020-04-24 2021-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
KR20210132605A (ko) 2020-04-24 2021-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리
CN113555279A (zh) 2020-04-24 2021-10-26 Asm Ip私人控股有限公司 形成含氮化钒的层的方法及包含其的结构
KR20210134226A (ko) 2020-04-29 2021-11-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 고체 소스 전구체 용기
KR20210134869A (ko) 2020-05-01 2021-11-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환
KR20210141379A (ko) 2020-05-13 2021-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
DE202020102692U1 (de) * 2020-05-13 2020-06-05 Markus Pfuderer Modulares Transfersystem
KR20210143653A (ko) 2020-05-19 2021-11-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210145078A (ko) 2020-05-21 2021-12-01 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
KR20210145080A (ko) 2020-05-22 2021-12-01 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치
TW202201602A (zh) 2020-05-29 2022-01-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 基板處理方法
TW202218133A (zh) 2020-06-24 2022-05-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 形成含矽層之方法
TW202217953A (zh) 2020-06-30 2022-05-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 基板處理方法
TW202202649A (zh) 2020-07-08 2022-01-16 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 基板處理方法
KR20220010438A (ko) 2020-07-17 2022-01-25 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법
TW202204662A (zh) 2020-07-20 2022-02-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 用於沉積鉬層之方法及系統
US12040177B2 (en) 2020-08-18 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a laminate film by cyclical plasma-enhanced deposition processes
KR20220027026A (ko) 2020-08-26 2022-03-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 실리콘 산화물 및 금속 실리콘 산질화물 층을 형성하기 위한 방법 및 시스템
USD990534S1 (en) 2020-09-11 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
USD1012873S1 (en) 2020-09-24 2024-01-30 Asm Ip Holding B.V. Electrode for semiconductor processing apparatus
US12009224B2 (en) 2020-09-29 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and method for etching metal nitrides
TW202229613A (zh) 2020-10-14 2022-08-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 於階梯式結構上沉積材料的方法
KR20220053482A (ko) 2020-10-22 2022-04-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐 금속을 증착하는 방법, 구조체, 소자 및 증착 어셈블리
TW202223136A (zh) 2020-10-28 2022-06-16 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
TW202235649A (zh) 2020-11-24 2022-09-16 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 填充間隙之方法與相關之系統及裝置
KR20220076343A (ko) 2020-11-30 2022-06-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터
CN114639631A (zh) 2020-12-16 2022-06-17 Asm Ip私人控股有限公司 跳动和摆动测量固定装置
TW202231903A (zh) 2020-12-22 2022-08-16 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
CN112960351B (zh) * 2021-03-31 2022-09-23 联想(北京)有限公司 一种输送装置、存放设备
USD980813S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate for substrate processing apparatus
USD981973S1 (en) 2021-05-11 2023-03-28 Asm Ip Holding B.V. Reactor wall for substrate processing apparatus
USD980814S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor for substrate processing apparatus
USD1023959S1 (en) 2021-05-11 2024-04-23 Asm Ip Holding B.V. Electrode for substrate processing apparatus
USD990441S1 (en) 2021-09-07 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate
CN113955168B (zh) * 2021-12-07 2023-02-14 广东凯美实业有限公司 一种产品包装容量可调传送装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000051921A1 (en) * 1999-03-05 2000-09-08 Pri Automation, Inc. Material handling and transport system and process
WO2003000472A1 (fr) * 2001-06-25 2003-01-03 Takehide Hayashi Systeme de transport et de transfert de plaquette de semi-conducteur ou de cristaux liquides, une par une

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4597708A (en) * 1984-06-04 1986-07-01 Tencor Instruments Wafer handling apparatus
JPS6171343U (de) * 1984-10-16 1986-05-15
US4736787B1 (en) * 1987-06-29 1999-11-16 Vulcan Engineering Co Lost foam handling system
IT1236790B (it) * 1989-11-15 1993-04-02 Salvagnini Transferica Spa Ora Impianto di lavorazione di pezzi su pallet mediante macchina utensile con un unico dispositivo per il trasferimento dei pallet tra una stazione di lavoro e un'adiacente stazione di carico/scarico dei pallet.
JPH04277114A (ja) * 1991-03-04 1992-10-02 Ishino Seisakusho:Kk 射的ゲーム機に於ける搬送装置
US5299680A (en) * 1992-12-04 1994-04-05 Rhodes Arthur B Conveyor system with transverse pusher to transfer load carrying units between separate conveying paths
JP2903983B2 (ja) * 1993-12-03 1999-06-14 株式会社ダイフク コンベヤ装置
JPH07172538A (ja) * 1993-12-15 1995-07-11 Daifuku Co Ltd コンベヤ装置
FR2721913B1 (fr) * 1994-07-04 1997-01-10 Blanc Roger Dispositif pour le transfert de plateaux entre une chaine d'entrainement et des postes de travail
DE29600902U1 (de) * 1996-01-19 1997-05-15 Heuft Systemtechnik Gmbh, 56659 Burgbrohl Vorrichtung zur Inspektion von Gegenständen, insbesondere Getränkeflaschen
JP2930565B2 (ja) * 1996-10-05 1999-08-03 三星電子株式会社 サーボモータを用いた半導体チップパッケージのローディング及びアンローディング装置
US6435330B1 (en) * 1998-12-18 2002-08-20 Asyai Technologies, Inc. In/out load port transfer mechanism
TW494523B (en) * 2000-04-05 2002-07-11 Tokyo Electron Ltd Processing device
JP2002193096A (ja) 2000-12-28 2002-07-10 Takashi Shirai 搬送装置
WO2003024673A1 (fr) * 2001-09-12 2003-03-27 Takehide Hayashi Main de robot a fonction de positionnement pour tranche en semiconducteur et substrat de verre a cristaux liquides
JP4291709B2 (ja) * 2003-04-16 2009-07-08 株式会社ダイヘン 直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット
JP3981885B2 (ja) * 2003-05-20 2007-09-26 株式会社ダイフク 搬送装置
KR101001677B1 (ko) * 2004-08-09 2010-12-15 가부시키가이샤 다이후쿠 승강하는 피반송물 지지대를 구비한 반송장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000051921A1 (en) * 1999-03-05 2000-09-08 Pri Automation, Inc. Material handling and transport system and process
WO2003000472A1 (fr) * 2001-06-25 2003-01-03 Takehide Hayashi Systeme de transport et de transfert de plaquette de semi-conducteur ou de cristaux liquides, une par une

Also Published As

Publication number Publication date
JP4666215B2 (ja) 2011-04-06
IE20060532A1 (en) 2007-05-02
NL1032195C2 (nl) 2007-10-09
CN1911762B (zh) 2012-05-30
CN1911762A (zh) 2007-02-14
TWI424948B (zh) 2014-02-01
US7648018B2 (en) 2010-01-19
TW200716461A (en) 2007-05-01
NL1032195A1 (nl) 2007-02-13
US20070034477A1 (en) 2007-02-15
SG130104A1 (en) 2007-03-20
JP2007045585A (ja) 2007-02-22
DE102006034395A1 (de) 2007-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006034395B4 (de) Vorrichtung zum Transportieren von Gegenständen
DE102008012409B4 (de) Steuerverfahren zum Steuern einer Gegenstandbearbeitungsanlage
EP2753559B1 (de) Kommissionierstation und verfahren zum kommissionieren von artikeln aus ladehilfsmitteln
EP0477163B1 (de) Vorrichtung zum Sortieren von Glastafelzuschnitten
DE102007017288C5 (de) Anlage zum Einladen von Gepäckstücken in Container
EP3281891A1 (de) Übergabesystem mit schiebevorrichtung für stückgüter
DE202008018512U1 (de) Anlage zur Lagerung von Artikeln
DE102012212518A1 (de) Klappbehälter
DE2611556A1 (de) Automatisches sortierfoerdersystem
EP3623061B1 (de) Sortieranlage und verfahren zum sortieren von objekten
DE3511390A1 (de) Automatisches system zum herstellen von koerpern aus metallblech, insbesondere fahrzeugkarosserien
EP2753558B1 (de) Kommissionierstation und verfahren zum kommissionieren von artikeln aus ladehilfsmitteln
DE69302603T2 (de) Vorrichtung zum selektiven Weiterbefördern von Produktreihen auf dem einen oder dem anderen Förderer von Paaren von Bandfördern
EP2192061B1 (de) Vorrichtung zur Übernahme, Zwischenspeicherung und Weitergabe von länglichen, hohlzylindrischen Produkteinheiten sowie Verfahren zum Betrieb einer solchen Vorrichtung
DE2608393A1 (de) Foerderanlage
DE2755147A1 (de) Foerderanlage, insbesondere schleppkettenkreisfoerderer
DE1802410C3 (de) Fahrbares Regalförderzeug
EP0825284B1 (de) Umlaufförderer
DE2355143B2 (de) Paletten-Umsetzvorrichtung
DE2524783A1 (de) Foerderanordnung fuer stangenmaterial in rollenform
DE112014003903B4 (de) Transportvorrichtung
EP0305456A1 (de) Spulenübergabegerät und verfahren zum betrieb des geräts.
EP1057758A1 (de) Vertikalförderer nach dem Paternosterprinzip
DE4333775B4 (de) Verfahren zum Austausch von Spinnbandbehältern, Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens und Spinnbandbehälter
EP0474990B1 (de) Vorrichtung zum Entfernen von Spulenhülsen von den Spulendornen eines Spulengatters od. dgl.

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: GROSSE, SCHUMACHER, KNAUER, VON HIRSCHHAUSEN, 8033

8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee