DE102005016538A1

DE102005016538A1 - Laserbearbeitungsvorrichtung für ein plattenförmiges Werkstück

Info

Publication number: DE102005016538A1
Application number: DE102005016538A
Authority: DE
Inventors: Yasushi Ebina Ito; Tatsuo Ebina Sato
Original assignee: Hitachi Via Mechanics Ltd
Current assignee: Via Mechanics Ltd
Priority date: 2004-04-08
Filing date: 2005-04-08
Publication date: 2005-10-27
Anticipated expiration: 2025-04-09
Also published as: CN1680067B; KR101215109B1; US7897894B2; TWI367140B; CN1680067A; JP2005296981A; US20050224476A1; TW200536648A; KR20060045539A; JP4215675B2; DE102005016538B4

Abstract

Die Erfindung beinhaltet eine Laserbearbeitungsvorrichtung für die Bearbeitung von plattenförmigen Werkstücken, welche eine Laserstrahlbestrahlungseinrichtung umfasst und in der Lage ist, einen Laserstrahl auszusenden. Die Laserbearbeitungsvorrichtung ist auf einem Bett installiert. Weiterhin besteht die Erfindung aus einem bewegbaren Tisch, der so bereitgestellt wird, dass er zumindest in ebenen Richtungen orthogonal zum Laserstrahl bewegbar ist. Des Weiteren enthält die Erfindung eine Haltevorrichtung für eine Zuführungsseiten-Rolle für das Halten einer Zuführungsseiten-Rolle, auf welche ein plattenförmiges Werkstück in einer Rolle aufgerollt ist und die in der Lage ist, das plattenförmige Werkstück dem bewegbaren Tisch zuzuführen, und eine Haltevorrichtung für eine Aufnahmeseiten-Rolle für das Halten eienr Aufnahmeseiten-Rolle, auf welche das plattenförmige Werkstück, dessen Bearbeitung abgeschlossen ist, in einer Rolle aufgenommen wird und die in der Lage ist, das plattenförmige Werkstück auf dem bewegbaren Tisch aufzunehmen. Das Bearbeiten des plattenförmigen Werkstücks erfolgt in einem Bearbeitungsbereich auf dem bewegbaren Tisch durch das Befestigen des auf dem Bearbeitungsbereich platzierten plattenförmigen Werkstücks auf dem bewegbaren Tisch und durch das Ausstrahlen des Laserstrahls auf dieses durch die Laserstrahlbestrahlungseinrichtung, während der bewegbare Tisch und die Laserstrahlbestrahlungseinrichtung während der Bearbeitung relativ bewegt werden. ...

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laserbearbeitungsvorrichtung für das wiederholte Bearbeiten eines plattenförmigen Werkstücks durch das Positionieren und Befestigen des plattenförmigen Werkstücks auf einem Bearbeitungsbereich auf einem bewegbaren Tisch und durch das relative Bewegen des bewegbaren Tisches und der Laserbearbeitungseinrichtung.

Das offen gelegte japanische Patent Nr. 2000-246479 hat eine Art Laserbearbeitungsvorrichtung offenbart, die einen bewegbaren Tisch umfasst, auf dem eine zu bearbeitende Fläche einer länglichen flexiblen Leiterplatte, das heißt, ein plattenförmiges Werkstück befestigt wird und das in drei axialen Richtungen bewegt werden kann und eine Laserstrahlbestrahlungseinrichtung für das Ausstrahlen eines Laserstrahls auf die flexible Leiterplatte und des Weiteren eine Abrolleinrichtung, angeordnet an einer Seite der Bearbeitungsvorrichtung, für das Abrollen einer nicht bearbeiteten flexiblen Leiterplatte, die in einer Rolle aufgerollt ist, und eine Aufnahmevorrichtung, angeordnet an der anderen Seite der Bearbeitungsvorrichtung, für das Aufnehmen der flexiblen Leiterplatte, deren Bearbeitung abgeschlossen ist, so dass das plattenförmige Werkstück eine bestimmte Länge freier Schleifen (Durchhang) zwischen der Bearbeitungsvorrichtung und der Abrolleinrichtung und/oder zwischen der Bearbeitungsvorrichtung und der Aufnahmeeinrichtung ausbildet, um es dem bewegbaren Tisch zu ermöglichen, sich während der Bearbeitung zu bewegen.

Die Vorrichtung weist jedoch ein Problem auf, das heißt, dass ihre Installationsfläche insgesamt groß ist, weil es einen ausreichenden Abstand zwischen der Bearbeitungsvorrichtung und der Abrolleinrichtung und zwischen der Bearbeitungsvorrichtung und der Aufnahmeeinrichtung geben muss, um zu verhindern, dass die flexible Leiterplatte durch eine Verdrehung oder dergleichen beschädigt wird, die verursacht wird, wenn sich der bewegbare Tisch während der Bearbeitung bewegt.

Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, eine Laserbearbeitungsvorrichtung für plattenförmige Werkstücke bereitzustellen, die eine geringere Installationsfläche erforderlich macht und die problemlos gesteuert werden kann. Die Aufgabe wird durch eine Laserbearbeitungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 selbst.

Um die oben erwähnten Probleme zu lösen, umfasst gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung eine Laserbearbeitungsvorrichtung für das Bearbeiten von plattenförmigen Werkstücken Folgendes:

– eine Laserstrahlbestrahlungseinrichtung, installiert auf einem Bett und in der Lage, einen Laserstrahl auszustrahlen;
– einen bewegbaren Tisch, der so bereitgestellt wird, dass er zumindest in ebenen Richtungen (X- und Y-Ebene-Richtungen) orthogonal zum Laserstrahl bewegt werden kann; und
– eine Rollen-Halteeinrichtung auf der Zuführungsseite für das Halten einer Zuführungsseiten-Rolle, auf welche ein plattenförmiges Werkstück in einer Rolle aufgerollt ist und die Zuführung des plattenförmigen Werkstücks zum bewegbaren Tisch ermöglicht; und
– eine Rollen-Halteeinrichtung auf der Aufnahmeseite für das Halten einer Aufnahmeseiten-Rolle, auf welche das plattenförmige Werkstück, dessen Bearbeitung abgeschlossen ist, in einer Rolle aufgerollt wird, und die in der Lage ist, das plattenförmige Werkstück auf dem bewegbaren Tisch aufzunehmen;

wobei die Bearbeitung des plattenförmigen Werkstücks in einem Bearbeitungsbereich auf dem bewegbaren Tisch durch das Befestigen des auf dem Bearbeitungsbereich auf dem bewegbaren Tisch positionierten plattenförmigen Werkstücks und durch das Aufstrahlen des Laserstrahls darauf durch die Laserstrahlbestrahlungseinrichtung erfolgt, während der bewegbare Tisch und die Laserstrahlbestrahlungseinrichtung relativ während der Bearbeitung bewegt werden,
dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die Rollen-Halteeinrichtung der Zuführungsseite und/oder die Rollen-Halteeinrichtung der Aufnahmeseite auf dem bewegbaren Tisch ange ordnet ist.

Gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung sind die Rollen-Halteeinrichtung der Zuführungsseite und die Rollen-Halteeinrichtung der Aufnahmeseite auf einer Seite der Bearbeitungsfläche auf dem bewegbaren Tisch angeordnet.

Gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung umfasst die Laserbearbeitungsvorrichtung weiterhin eine Transporteinrichtung für das Halten und das Bewegen des plattenförmigen Werkstücks über eine gewünschte Entfernung in der Aufnahmerichtung bei der Aufnahme und Zuführung des plattenförmigen Werkstücks durch die Rollen-Halteeinrichtung der Aufnahmeseite und die Rollen-Halteeinrichtung der Zuführungsseite nach der Bearbeitung.

Die Ausführung der Laserbearbeitungsvorrichtung, wie oben beschrieben, ermöglicht zumindest einen Raum, wo eine freie Schleife des plattenförmigen Werkstücks, die ausgebildet wird, eliminiert wird, so dass ihre Installationsfläche insgesamt verringert werden kann. Darüber hinaus kann die Vorrichtung problemlos gesteuert werden, da sie aus weniger Bauteilen besteht.

Zusätzliche Vorteile der Erfindung werden aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform offensichtlich, die am besten unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen zu verstehen ist.

1 ist ein vorderes Teilschnittbild einer erfindungsgemäßen Laserbearbeitungsvorrichtung.
2 ist eine vergrößerte Ansicht eines Teils A von 1.
3A bis 3L sind Zeichnungen zur Erläuterung der Arbeitsweise der Erfindung.
Die vorliegende Erfindung wird nachstehend auf der Grundlage einer Ausführungsform derselben erläutert, die in den Zeichnungen gezeigt wird.
1 ist ein vorderes Teilschnittbild einer erfindungsgemäßen Laserbearbeitungsvorrichtung, und 2 ist eine vergrößerte Ansicht eines Teils A von 1.
Bei der erfindungsgemäßen Laserbearbeitungsvorrichtung 50 ist eine gatterartige Säule 30 fest auf einem Bett 1 installiert. Auf der Säule 30 sind ein Laseroszillator 31, eine Vielzahl von Spiegeln 32 (zwei in 1), ein Paar Spiegel 33 und eine f0 Linse 34 angeordnet.
Eine lineare Führung 2 ist auf der Oberseite von Bett 1 angeordnet. Die lineare Führung 2 ermöglicht es einem X-Tisch 3, sich auf dem Bett 1 in der X-Richtung zu bewegen. Eine lineare Führung 4 ist auf der Oberseite des X-Tisches 3 angeordnet. Die lineare Führung 4 ermöglicht es einem Y-Tisch (bewegbarer Tisch) 5, sich auf dem X-Tisch 3 in der Y-Richtung zu bewegen. Bei der oben beschriebenen Ausführung ist der Y-Tisch 5 bewegbar in der X-Richtung und in der Y-Richtung zum Bett 1.
Wie in 2 gezeigt wird, sind ein Bearbeitungstisch 6 und ein Rollenhalter 10 auf der Oberseite des Y-Tisches 5 angeordnet. Ein Kanal 6m, der eine laterale Breite aufweist, die größer ist als die eines plattenförmigen Werkstücks w (nachstehend einfach als "Werkstück" bezeichnet), ist ausgebildet in der Y-Richtung auf der Unterseite des Bearbeitungstisches 6. Eine Vielzahl von Öffnungen, die mit einem nicht gezeigten hohlen Abschnitt innerhalb des Tisches verbunden sind, sind auf der Oberseite des Bearbeitungstisches 6 ausgebildet, und der nicht gezeigte hohle Abschnitt innerhalb des Tisches ist mit einer nicht gezeigten Vakuumquelle verbunden. Auf dem Rollenhalter 10 sind angeordnet: eine Zuführungsrolle 11, eine Aufnahmerolle 12, Führungsrollen 13, 14 und 15, Halteglieder 16 und 17, eine Rückführungsrolle 18 und eine Werkstücktransporteinrichtung (Transporteinrichtung) 20.
Die Zuführungsrolle 11 ist auf dem Rollenhalter 10 so angeordnet, dass ein unteres Ende 11b einer Achswelle derselben auf einer Ebene unterhalb von einem oberen Ende 13t der Führungsrolle 13 positioniert ist und mit Hilfe eines nicht gezeigten Motors drehbar ist. Das heißt, die Zuführungsrolle 11 hält eine Rolle 40 der Zuführungsseite, auf welche das nicht bearbeitete Werkstück w in einer Rolle aufgewickelt ist, und sie ist in der Lage, das Werkstück w zuzuführen, wenn dieses durch einen nicht gezeigten Motor transportiert wird (Rollen-Halteeinrichtung der Zuführungsseite).
Die Aufnahmerolle 12 ist so angeordnet, dass ein unteres Ende einer Rolle 41 der Aufnahmeseite mit dem aufgenommenen Werkstück w auf einer Ebene oberhalb eines unteren Endes 14b der Führungsrolle 14 positioniert wird und mit Hilfe eines nicht gezeigten Motors drehbar ist. Das heißt, die Aufnahmerolle 12 hält die Aufnahmeseiten-Rolle 41, auf welche das bearbeitete Werkstück w in einer Rolle aufgenommen wird, und sie ist in der Lage, das Werkstück w aufzunehmen, wenn es von dem nicht gezeigten Motor transportiert wird (Rollen-Halteeinrichtung der Aufnahmeseite).
Die drehbare Führungsrolle 13 wird so vom Rollenhalter 10 getragen, dass ein oberes Ende 13t derselben auf einer Ebene oberhalb der Oberfläche des Bearbeitungstisches 6 positioniert ist. Die drehbaren Führungsrollen 14 und 15 werden so vom Rollenhalter 10 getragen, dass die unteren Enden 14b und 15b derselben auf einer Ebene unterhalb der Unterseite des Kanals 6m positioniert sind.
Die Halteglieder 16 und 17 bestehen aus Aufnahmefassungen 16u und 17u und Druckvorrichtungen 16p und 17p, die so angeordnet sind, dass sie den Aufnahmefassungen 16u und 17u zugewandt sind. Diese Bauteile sind, mit Ausnahme der Aufnahmefassung 17u, jeweils mit Hilfe einer nicht gezeigten Vorrichtung in der Z-Richtung (vertikale Richtung in der Abbildung) bewegbar. Eine Standby-Position der Aufnahmefassung 16u ist ihr sich senkendes Ende, und zu diesem Zeitpunkt ist ihre Oberseite auf einer Ebene positioniert, die niedriger ist als die Oberfläche des Bearbeitungstisches 6. Wenn sie sich an ihrem sich hebenden Ende befindet, ist ihre Oberseite auf der gleichen Ebene mit dem oberen Ende 13t der Führungsrolle 13 positioniert. Ein sich senkendes Ende der Druckvorrichtung 16p befindet sich auf einer Ebene weit unterhalb der Oberseite der Aufnahmefassung 16u, die sich in ihrer Standby-Position befindet, so dass die Unterseite der Druckvorrichtung 16p Druck auf die Oberseite der Aufnahmefassung 16u ausüben kann, die sich in ihrer Standby-Position befindet. Darüber hinaus befindet sich das sich senkende Ende der Druckvorrichtung 17p auf einer Ebene weit unterhalb der Oberseite der Aufnahmefassung 17u, so dass die Unterseite der Druckvorrichtung 17p Druck auf die Oberseite der Aufnahmefassung 17u ausüben kann.
Die drehbare Rückführungsrolle 18 ist so auf dem Rollenhalter 10 gelagert, dass ihr oberes Ende 18t auf der gleichen Ebene mit dem oberen Ende 13t der Führungsrolle 13 positioniert ist.
Die Werkstücktransportvorrichtung 20 kann in der X-Richtung zum Rollenhalter 10 mit Hilfe einer nicht gezeigten Vorrichtung, wie zum Beispiel eines Motors und einer Führungsschienenvorrichtung bewegt und positioniert werden. Die Werkstücktransportvorrichtung 20 trägt ein Halteglied 21. Das Halteglied 21 besteht aus einer Druckvorrichtung 21p und einer Aufnahmefassung 21u, bewegbar in vertikaler Richtung. Eine Standby-Position der Aufnahmefassung 21u ist die Position, bei welcher ihre Oberseite sich auf einer Ebene befindet, die niedriger ist als die Oberseite des Bearbeitungstisches 6, und ihr sich hebendes Ende sich auf der gleichen Ebene mit dem oberen Ende 13t der Führungsrolle 13 und dem oberen Ende 18t der Rückführungsrolle 18 befindet, wie in 2 mit durchgehenden Linien gezeigt wird. Eine Standby-Position der Druckvorrichtung 21p ist die Position, bei welcher ihr unteres Ende sich auf einer Ebene oberhalb des oberen Endes 13t der Führungsrolle 13 und des oberen Endes 18t der Rückführungsrolle 18 befindet und ihr sich senkendes Ende sich auf einer Ebene weit unterhalb des oberen Endes der Aufnahmefassung 21u befindet, die so an ihrem sich hebenden Ende positioniert ist, dass die Unterseite derselben Druck auf die Oberseite der Aufnahmefassung 21u ausüben kann, die an ihrem sich hebenden Ende positioniert ist. Es ist zu beachten, dass die Standby-Position der Werkstücktransportvorrichtung 20 in der X-Richtung sich am linken Ende der Bewegung befindet, die mit den durchgehenden Linien in der Abbildung gezeigt wird, und dass das rechte Ende der Bewegung durch gepunktete Linien in der Abbildung gezeigt wird.
Als Nächstes werden die Arbeitsgänge der Laserbearbeitungsvorrichtung 50 unter Bezugnahme auf 3 erläutert. 3 ist ein erläuterndes Diagramm, welches die erfinderische Tätigkeit der Laserbearbeitungsvorrichtung 50 zeigt.
Vorbereitende Arbeitsschritte werden zunächst erläutert.
Die Zuführungsseiten-Rolle 40 wird von der Zuführungsrolle 11 getragen, das Werkstück w wird um die Rückführungsrolle 18 gewickelt und wird dann durch den Kanal 6m des Bearbeitungstisches 6 geführt, um sein Ende an der Aufnahmerolle 12 (die Aufnahmeseiten-Rolle 41) zu befestigen, wie in den Abbildungen gezeigt wird, während alle Halteglieder 16, 17 und 21 vorher geöffnet werden (durch die Positionierung der Aufnahmefassungen 16u und 21u zu ihrer Standby-Position bzw. der Druckvorrichtungen 16p, 17p und 21p zu ihrem Anhebungsende).
Danach wird die Druckvorrichtung 16p aktiviert, das heißt, sie wird gesenkt, um das Werkstück w zwischen ihr und der Aufnahmefassung 16u zu befestigen, während eine Drehkraft im Uhrzeigersinn auf die Zuführungsrolle 11 und die Aufnahmerolle 12 ausgeübt wird, wie in 3A gezeigt wird. Danach wird die Druckvorrichtung 17p aktiviert, das heißt, sie wird gesenkt, um das Werkstück w zwischen ihr und der Aufnahmefassung 17u zu befestigen. Als Ergebnis dessen wird das Werkstück w auf der Oberfläche des Bearbeitungstisches 6 ohne Spielraum angebracht. Eine nicht gezeigte Vakuumquelle kommt in diesem Stadium zum Einsatz, damit das Werkstück w fest auf der Oberfläche des Bearbeitungstisches 6 haftet.
Anschließend erfolgt die maschinelle Bearbeitung, das heißt, der Laseroszillator 31 kommt zum Einsatz, und ein vom Laseroszillator 31 abgegebener Laserstrahl wird über die Spiegel 32 zu den Spiegeln 33 geführt. Danach wird der Laserstrahl durch den galvanischen Scannerspiegel 33 positioniert, und er wird in das Werkstück w eingebracht, nach vertikaler Ausrichtung einer optischen Achse des Laserstrahls durch die f0 Linse 34, um das Werkstück w zu bearbeiten. Nach der Bearbeitung eines durch die f0 Linse 34 bestimmten Bereiches wird die Bearbeitung eines nächsten Bereiches durch die Bewegung des X-Tisches 3 oder des Y-Tisches 5 vorgenommen.
Als Nächstes werden die Schritte für den Transport des Werkstückes nach der Bearbeitung erläutert.
Nach der Bearbeitung wird die nicht gezeigte Vakuumquelle außer Betrieb gesetzt, und danach wird die Druckvorrichtung 16p angehoben, wie in 3B gezeigt wird.
Danach wird das Halteglied 21 aktiviert, das heißt, die Druckvorrichtung 21p wird gesenkt, nach dem Anheben der Aufnahmefassung 21u, um das Werkstück w durch die Druckvorrichtung 21p und die Aufnahmefassung 21u zu halten, wie in 3C gezeigt wird.
Als Nächstes wird die Druckvorrichtung 17p angehoben, wie in 3D gezeigt wird. Als Ergebnis wird das Werkstück w auf einer Ebene des oberen Endes 13t der Führungsrolle 13 und des oberen Endes 18t der Rückführungsrolle 18 positioniert.
In diesem Stadium wird die Werkstücktransportvorrichtung 20 nach rechts in der Abbildung über eine gewünschte Entfernung bewegt, wie in 3E gezeigt wird. Es ist zu beachten, dass in diesem Stadium das bearbeitete Werkstück w durch die Aufnahmerolle 12 aufgenommen wird, während das Werkstück w durch die Zuführungsrolle 11 zugeführt wird.
Als Nächstes wird die Aufnahmefassung 16u zu ihrem Anhebeende bewegt, wie in 3F gezeigt wird, und danach wird die Druckvorrichtung 16p gesenkt, um das Werkstück w mit Hilfe des Haltegliedes 16 zu halten, wie in 3G gezeigt wird.
Als Nächstes wird das Halteglied 21 freigesetzt, wie in 3H gezeigt wird. Zu diesem Zeitpunkt wird die Druckvorrichtung 21p zu ihrem Anhebeende bewegt, und die Aufnahmefassung 21u wird zu der Position bewegt, wo ihre Oberseite nicht in Kontakt mit dem Werkstück w und ebenfalls nicht mit der Oberseite des Bearbeitungstisches 6 gelangt. Danach wird die Werkstücktransportvorrichtung 20 zu ihrer Standby-Position zurückgeführt, wie in 3I gezeigt wird.
Als Nächstes wird die Aufnahmefassung 21u an ihrer Standby-Position positioniert, wie in 3J gezeigt wird, und danach wird die Druckvorrichtung 17p gesenkt, wie in 3K gezeigt wird, um das Werkstück w mit Hilfe des Halteglieds 17 zu halten.
Danach wird das Halteglied 16 freigesetzt, wie in 3L gezeigt wird.
Anschließend wird die Aufnahmefassung 16u an ihrer Standby-Position positioniert und die Druckvorrichtung 16p wird gesenkt, um das Werkstück w mit Hilfe des Halteglieds 16 zu halten (siehe 3A). Danach wird die nicht gezeigte Vakuumquelle in Betrieb gesetzt, um das Werkstück w eng an den Bearbeitungstisch anzuhaften und um die nächste Bearbeitung vorzunehmen. Diese Schritte werden anschließend in der gleichen Weise wiederholt.
Während der oben beschriebenen Schritte und der oben beschriebenen Bearbeitung wird der Motor für das Drehen der Zuführungsrolle 11 und der Aufnahmerolle 12 mit der Drehkraft eines Bereiches angetrieben, der keine nachteiligen Auswirkungen auf das Werkstück w hat und so gesteuert wird, dass eine Zugkraft auf das Werkstück w ausgeübt wird, damit das Werkstück keinen Spielraum hat. Es ist zu beachten, dass es möglich ist, dafür zu sorgen, dass eine Zugkraft auf das Werkstück w ausgeübt wird, damit das Werkstück w keinen Spielraum, wenn die Führungsrollen 13 und 14 oder die Rückführungsrolle 18 durch Federn oder dergleichen in vorbestimmte Richtungen gebracht werden.
Wie oben beschrieben ermöglicht die erfindungsgemäße Laserbearbeitungsvorrichtung 50 für plattenförmige Werkstücke einen Raum, wo eine freie Schleife des plattenförmigen Werkstücks, die ausgebildet wird, eliminiert wird, so dass dadurch die Installationsfläche der Laserbearbeitungsvorrichtung 50 insgesamt verringert werden kann. Darüber hinaus kann die Vorrichtung problemlos gesteuert werden, da sie aus weniger Bauteilen besteht.
Darüber hinaus kann die Installationsfläche der Laserbearbeitungsvorrichtung 50, da die Zuführungsrolle 11 und die Aufnahmerolle 12 auf einer Seite des Y-Tisches 5 angeordnet sind, im Vergleich zu dem Fall, wenn diese auf beiden Seiten des Y-Tisches 5 angeordnet sind, insgesamt verringert werden.
Es ist zu beachten, dass, obwohl der Fall der Anordnung sowohl der Zuführungsrolle 11 als auch der Aufnahmerolle 12 auf dem Y-Tisch 5 in der oben beschriebenen Ausführungsform erläutert worden ist, zumindest eine freie Schleife ausgelassen werden kann, indem zumindest eine Zuführungsrolle 11 und/oder eine Aufnahmerolle 12 auf dem Y-Tisch 5 angeordnet werden. Demgemäß kann die Gesamtinstallationsfläche der Laserbearbeitungs vorrichtung 50 im Vergleich zur herkömmlichen Vorrichtung verringert werden.
Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen beschrieben worden sind, sind Variationen derselben für den Fachmann innerhalb des Schutzumfangs der vorliegenden Erfindungsgedanken, die durch die nachfolgenden Ansprüche beschrieben werden, möglich.

Claims

Laserbearbeitungsvorrichtung (50) für die Bearbeitung von plattenförmigen Werkstücken, welche umfasst: eine Laserstrahlbestrahlungseinrichtung, installiert auf einem Bett und in der Lage, einen Laserstrahl auszusenden; einen bewegbaren Tisch (6), der so bereitgestellt wird, dass er zumindest in ebenen Richtungen orthogonal zum Laserstrahl bewegbar ist; eine Haltevorrichtung für eine Zuführungsseiten-Rolle (40) für das Halten einer Zuführungsseiten-Rolle (40), auf welche ein plattenförmiges Werkstück in einer Rolle aufgerollt ist und die in der Lage ist, das plattenförmige Werkstück dem bewegbaren Tisch (6) zuzuführen; und eine Haltevorrichtung für eine Aufnahmeseiten-Rolle (41) für das Halten einer Aufnahmeseiten-Rolle (41), auf welche das plattenförmige Werkstück, dessen Bearbeitung abgeschlossen ist, in einer Rolle aufgenommen wird, und die in der Lage ist, das plattenförmige Werkstück auf dem bewegbaren Tisch (6) aufzunehmen; und Bearbeiten des plattenförmigen Werkstücks in einem Bearbeitungsbereich auf dem bewegbaren Tisch (6) durch das Befestigen des auf dem Bearbeitungsbereich platzierten plattenförmigen Werkstücks auf dem bewegbaren Tisch (6) und durch das Ausstrahlen des Laserstrahls auf dieses durch die Laserstrahlbestrahlungseinrichtung, während der bewegbare Tisch (6) und die Laserstrahlbestrahlungseinrichtung während der Bearbeitung relativ bewegt werden; dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine Haltevorrichtung der Zuführungsseiten-Rolle (40) und eine Haltevorrichtung der Aufnahmeseiten-Rolle (41) auf dem bewegbaren Tisch (6) angeordnet sind.
Laserbearbeitungsvorrichtung (50) für die Bearbeitung plattenförmiger Werkstücke nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung der Zuführungsseiten-Rolle (40) und die Haltevorrichtung der Aufnahmeseiten-Rolle (41) auf einer Seite des Bearbeitungsbereiches auf dem bewegbaren Tisch (6) angeordnet sind.
Laserbearbeitungsvorrichtung (50) für die Bearbeitung plattenförmiger Werkstücke nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, die des Weiteren eine Transporteinrichtung für das Halten und Bewegen des plattenförmigen Werkstücks über eine gewünschte Entfernung in der Aufnahmerichtung bei der Aufnahme und der Zuführung des plattenförmigen Werkstücks durch die Haltevorrichtung der Aufnahmeseiten-Rolle (41) und durch die Haltevorrichtung der Zuführungsseiten-Rolle (40) nach der Bearbeitung umfasst.