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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Mikroleistungszelle mit einem
Mikrofluidchip, der durch das Strömungspotential von Fluid, das
durch Mikrokanäle
strömt,
elektrische Energie erzeugen kann.
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Wenn
Fluid durch einen Druckgradienten durch einen geladenen Kanal strömt, wird
die Dichte von Gegenionen, deren Ladung zu jener der Wandoberfläche entgegengesetzt
ist, nahe der Oberfläche der
Kanalwand höher,
was zum Aufbau der elektrischen Doppelschicht (der sogenannten Debye-Schicht)
führt.
Die Gegenionen in der elektrischen Doppelschicht erzeugen den Strömungsstrom durch
die Strömung
in Richtung des Druckgradienten. Aufgrund der Potentialdifferenz,
die durch den Verteilungsgradienten zwischen den Mitionen und den
Gegenionen verursacht wird, wird das Strömungspotential zwischen der
Einlass- und der Auslassseite des Kanals erzeugt. Da die Gegenionen stromabwärts angesammelt
werden, bewegen sich die Gegenionen zur entgegengesetzten Richtung des
Druckgradienten (d. h. der entgegengesetzten Richtung der Fluidströmung) durch
den Rückdiffusionseffekt,
weshalb Leitungsströme
induziert werden. Es ist zu beachten, dass die Summierung des Strömungsstroms
und des Leitungsstroms im stationären Zustand Null ist, was die
Bewahrung eines Nettostroms im Kanal bedeutet.
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Wenn
eine Elektrolytlösung,
die mit willkürlicher
Ionenkonzentration (d. h. Ionenstärke) hergestellt wird, innerhalb
des geraden zylindrischen Kanals mit einem wohldefinierten kreisförmigen Querschnitt
strömt,
ist die Beziehung zwischen dem Zeta-Potential ζ und dem Strömungspotential E durch Gleichung
1 gegeben, die als Helmholtz-Smoluchowski-Gleichung (H-S-Gleichung) bezeichnet
wird. [Gleichung
1]
wobei
- E
- das durch den elektrokinetischen
Effekt induzierte Potential, d. h. das Strömungspotential, bedeutet,
- ΔP
- die zwischen beiden
Enden des Kanals ausgeübte
Druckdifferenz bedeutet,
- ε0
- die Dielektrizitätskonstante
im Vakuum oder die absolute Dielektrizitätskonstante im Vakuum bedeutet,
- εr
- die relative Dielektrizitätskonstante
der Elektrolytlösung
bedeutet,
- λ0
- die elektrische Leitfähigkeit
der Elektrolytlösung
bedeutet, und
- η
- die Viskosität der Elektrolytlösung bedeutet.
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Für entweder
eine hohe Ionenkonzentration der Elektrolytlösung oder ein niedriges Oberflächenpotential
stimmt das durch Messungen erhaltene Zeta-Potential ziemlich genau
mit dem durch Gleichung 1 abgeschätzten überein.
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Viele
Forscher haben versucht, die elektrokinetischen Phänomene zu
verstehen und das im Mikrokanal mit einem Durchmesser von weniger
als einigen Hundert Mikrometern fließende Fluid und das Strömungspotential
gemäß diesem
zu analysieren.
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Vor
etwa 40 Jahren wandten sich Rice und Whitehead einem Korrekturfaktor
für die
analytische Lösung
der Poisson-Boltzmann-Gleichung
(P-B-Gleichung), der auf den Fall der Verwendung der H-S-Gleichung (d. h.
Gleichung 1) angewendet werden sollte, im Dokument [C.L. Rice, R.
Whitehead, "Electrokinetic
flow in a narrow cylindrical capillary", J. Phys. Chem., 69, 4017-4024, 1965]
zu.
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Die
obige Forschung ist jedoch auf die Elektrolytlösung vom 1:1-Typ mit niedrigem
Oberflächenpotential
begrenzt, da die Debye-Hückel-Näherung angewendet
wird.
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Levine
u. a. präsentierten
eine analytische Lösung
der P-B-Gleichung, die auf eine einwertige symmetrische Elektrolytlösung mit
denselben Beweglichkeiten für
einen vollen Bereich des Oberflächenpotentials
anwendbar ist, im Dokument [S. Levine, J.R. Marriott, Gl. Neale,
N. Epstein, "Theory
of electrokinetic flow in fine cylindrical capillaries at high zeta-potentials", J. Colloid Interface
Sci., 52, 136-149, 1975].
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Das
Strömungspotential,
das ein zur Elektroosmose entgegengesetzter Mechanismus ist, ist
eines der elektrokinetischen Phänomene.
Das Strömungspotential
wurde als nützliches
Verfahren zum Bestimmen des unbekannten Zeta-Potentials entsprechend
dem Oberflächenpotential
von geladenem Material betrachtet. Aus Untersuchungen an der Filtration
mit einer porösen
Membran, die im Dokument von Causserand u. a. [C. Causserand, M.
Nyström,
P. Aimar, "Study
of streaming potentials of clean and fouled ultrafiltration membranes", J. Membr. Sci.,
88, 211-222, 1994] und im Dokument von Szymczyk u. a. [A. Szymczyk,
B. Aoubiza, P. Fievet, J. Pagetti, "Electrokinetic phenomena in homogenous
cylindrical pores",
J. Colloid Interface Sci. 216, 285-296, 1999] offenbart sind, kann
bekannt sein, dass die Messung des elektrokinetischen Strömungspotentials
effektiv zur Ladungscharakterisierung der Pore und der Oberfläche von
porösem
Material beiträgt.
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Wie
im Dokument von Sung u. a. [J.H. Sung, M.-S. Chun, H.J. Choi, "On the behavior of
electrokinetic streaming potential during protein filtration with fully
and partially retentive nanopores", J. Collid Interface Sci. 264, 195-202,
2003] oder im US-Patent von Chun u. a. [M.-S. Chun, J.-J. Kim, S.-Y.
Lee, "Equipment
and method of local streaming potential measurement for monitoring
the process of membrane fouling in hollowfiber membrane filtration", US-Patent Nr. 6
277 099, B2, 2004] offenbart, kann eine wichtige Information über die
Abscheidung von kolloidalen Teilchen auf der Oberfläche der
porösen
Membran durch Überwachen
des dynamischen Verhaltens der elektrokinetischen Strömungspotentiale
mit dem Zeitverlauf erhalten werden.
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Die
physikalische Bedeutung der obigen Gleichung 1 besteht darin, dass,
wenn die Elektrolytlösung
in einem geladenen Kanal mit einem Druckgradienten ΔP strömt, die
Potentialdifferenz ΔE
zwischen den Enden des Kanals auftritt. Folglich schafft das Verbinden
der externen Schaltung, an die ein geeigneter Widerstand angelegt
ist, die elektrische Energie, die vom elektrischen Strom und Potential
angetroffen wird. In letzter Zeit wurde eine Forschung an der Möglichkeit
des Strömungspotentials,
das durch das elektrische Prinzip erzeugt wird, als Energiequelle
dargestellt. Im Dokument von Daniel Kwok [J. Yang, F.L. Larry, W.
Kostiuk, D.Y. Kwok, "Electrokinetic
microchannel battery by means of electrokinetic and microfluidic
phenomena", J. Micromech.
Microeng., 13, 963-970, 2003] wurde berichtet, dass, wenn das Leitungswasser
durch die Druckdifferenz in einem mikroporösen Glasfilter (Durchmesser
2 cm, Dicke 3 mm, Schott-Duran,
Mainz), der mit ungeordneten Poren mit einer Porengröße von 10-16 μm und maximaler
Porosität
von 60% strukturiert ist, fließt, der
Maximalwert des Strömungspotentials
von 10 V und der maximale Strom von einigen μA erhalten werden konnte.
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Eine
für das
Strömungspotential
relevante Leistungszelle, die für
den praktischen Betrieb gelten könnte,
wurde jedoch bis jetzt nicht entwickelt.
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Sowohl
der MEMS-Prozess als auch Mikrobearbeitungstechnologien ermöglichen
uns, Mikrokanäle
mit gewünschter
Kanalabmessung herzustellen. Unter Verwendung des Verfahrens für ein Labor
auf einem Chip auf der Basis dieser Technologien können das
gesamte Mikroanalysesystem (μ-TAS)
sowie das System mit hohem Durchsatz (HTS) realisiert werden. Wie
in der Forschung von Shoji und Esashi [S. Shoji, M. Esashi, "Microflow devices
and systems" J.
Micromech. Microeng., 4, 157-171, 1994] gezeigt, entwickelten die
frühen
Forscher von den 80-er Jahren bis zur Mitte der 90-er Jahre hauptsächlich die Mikrofluidvorrichtungen
mittels der Mikrobearbeitung auf Siliciumbasis.
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Da
die Instrumente in der Halbleiterindustrie fortgeschritten sind,
wurde das Paradigma der Herstellungstechnologie hinsichtlich Mikrofluidvorrichtungen
auch verändert.
Nach der Mitte der 90-er Jahre wurde eine Mikrobearbeitungstechnologie
für die wegwerfbaren
Kunststoffmaterialien, die leicht massenweise reproduzierbar sind,
entwickelt. Die Originalform für
die Vervielfältigung
kann durch die herkömmliche
Mikrobearbeitungstechnologie auf Siliciumbasis hergestellt werden.
Wie die Untersuchung von Jo u. a. [B.-H. Jo, L.M. van Lerberghe, K.M.
Motsegood, D.J. Beebe, "Three-dimensional
micro-channel fabrication in polydimethylsiloxane (PDMS) elastomer", J. Microelectromech.
Sys., 9(1), 76-81, 2000], ist ein Verfahren unter Verwendung von
Photoresist SU8 und Polydimethylsiloxan (PDMS) als einfache und
kostengünstige
Technologie umfangreich bekannt.
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Da
PDMS im Bereich von sichtbarem oder nahem UV-Licht tatsächlich inert
und transparent ist, hat es Vorzüge
als Material für
eine Mikrofluidvorrichtung. Um den Mikrokanal herzustellen, wird
eine Originalform, die der Mikrokanalform entspricht, auf dem Siliciumwafer
ausgebildet. Flüssiges
PDMS-Prepolymer wird über
die Form gegossen und dann gehärtet. Anschließend wird
die PDMS-Kopie von der Originalform abgelöst und die Kopie wird mit einem
Deckglas versiegelt, um die Kanäle
einzuschließen.
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Wie
in der Untersuchung von McDonald und Whitesides [J.C. McDonald,
G.M. Whitesides, "Poly(dimethylsiloxane)
as a material for fabricating microfluidic devices", Acc. Chem. Res.,
35(7), 491-498, 2002] offenbart, ist das obige Verfahren hinsichtlich des
Prozesses leichter und hinsichtlich der Kosten niedriger als das
herkömmliche
Verfahren zum Ätzen des
Glas- oder Siliciumwafers angesichts der Massenproduktion eines
Mikrofluidchips.
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Die
Erfindung wird vorgestellt, um zum Strömungspotential an einer elektrischen
Stromquelle zu gelangen. Die elektrokinetischen Phänomene führen zu
einer Erzeugung eines Strömungspotentials, wenn
die Elektrolytlösung
in Mikrokanälen
strömt, wodurch
eine elektrokinetische Mikroleistungszelle implementiert werden
kann. Bei der Herstellung der Strömungspotentialzelle wird die
Mikrofluid-Chipvorrichtung vom Mehrfachkanaltyp mittels des MEMS-Prozesses
und einer Mikrobearbeitung auf der Basis des Kopieformens (REM)
gestaltet und hergestellt.
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Eine
erfindungsgemäße elektrokinetische Mikroleistungszelle
kann effizient elektrische Energie erhalten, da das Strömungspotential
und der Strömungsstrom
offensichtlich maximal erzeugt wurden.
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Daher
ist es die Aufgabe der Erfindung, eine Mikroleistungszelle zu schaffen,
die einen Mikrofluidchip des Mehrfachkanaltyps verwendet und elektrische
Energie aus dem Strömungspotential
von Fluid, das in Mikrokanälen
strömt,
erzeugen kann.
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Diese
Aufgabe wird gelöst
durch die Merkmale des Anspruchs 1. Weiterbildungen der Erfindung
sind in den Unteransprüchen
angegeben.
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Die
Erfindung betrifft einen Mikrofluidchip, in dem ein Mehrfachkanal
dazu ausgelegt ist, die elektrische Energie durch das Strömungspotential
zu erzeugen, sowie eine Mikroleistungszelle, die den Mikrofluidchip
verwendet.
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Der
erfindungsgemäße Mikrofluidchip
umfasst:
eine Einströmöffnung,
in die Fluid eingeleitet wird,
einen Verteiler, der sich zwischen
der Einströmöffnung und
dem Mehrfachkanal befindet, bei dem das zugeführte Fluid durch die Einströmöffnung in
den Mehrfachkanal fließt,
einen
Mehrfachkanal, in dem alle Mikrokanäle parallel zueinander angeordnet
sind und in dem eine elektrische Potentialdifferenz zwischen beiden
Enden eines Einlasses und eines Auslasses des Mikrokanals durch
das Strömungspotential
auftritt, wenn das Fluid durch den Mikrokanal strömt,
eine
Sammeleinrichtung, die Fluid sammelt, das durch den Mehrfachkanal
ausströmt,
eine
Ausströmöffnung,
aus der das Fluid von der Sammeleinrichtung ausströmt, und
ein
Paar Elektroden, die jeweils im Verteiler und in der Sammeleinrichtung
angeordnet sind und die mit der externen Schaltung verbunden werden
können.
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Vorzugsweise
liegt die Einströmöffnung gemäß der Erfindung
auf der Einlassseite des Mikrokanals, die sich auf der einen Seite
des Mehrfachkanals befindet, während
die Ausströmöffnung auf
der Auslassseite des Mikrokanals liegt, die sich auf der anderen
Seite des Mehrfachkanals befindet.
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Es
wird bevorzugt, dass der Verteiler und die Sammeleinrichtung eine
Trapezform besitzen. Mit anderen Worten, die Querschnittsfläche des
Verteilers nimmt von der einen Seite, die sich an der Einströmöffnung befindet,
zur anderen Seite ab. Ferner nimmt die Querschnittsfläche der
Sammeleinrichtung auch von der einen Seite, die sich an der Ausströmöffnung befindet,
zur anderen Seite ab.
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In
der Erfindung ist die Mikrokanalbreite mit etwa 10 bis 200 μm, vorzugsweise
20 bis 100 μm ausgebildet.
Die Mikrokanaltiefe ist mit etwa 10 bis 200 μm, vorzugsweise 50 bis 100 μm ausgebildet. Die
Mikrokanallänge
ist mit etwa 500 μm
bis 1 cm, vorzugsweise 1 mm bis 3 mm ausgebildet.
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Der
Abstand zwischen den Mikrokanälen
ist mit etwa 10 bis 200 μm,
vorzugsweise 50 bis 200 μm ausgebildet,
was zur Mikrokanaltiefe ähnlich
ist.
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Im
erfindungsgemäßen Mikrofluidchip
ist die Anzahl von Mikrokanälen
mit etwa 20 bis 200, vorzugsweise 50 bis 150 ausgebildet.
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Der
erfindungsgemäße Mikrofluidchip
umfasst ein oberes Substrat und ein unteres Substrat. Das obere
Substrat umfasst:
den Verteiler, den Mehrfachkanal und die
Sammeleinrichtung, die in einer gegebenen Höhe von der unteren Oberfläche ausgebildet
sind, damit das Fluid strömen
kann; und
die Einströmöffnung und
die Ausströmöffnung,
die mit dem Verteiler bzw. der Sammeleinrichtung verbunden sind.
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Als
oberes Substrat kann ein transparenter Kunststoff wie z. B. PDMS
verwendet werden. Als unteres Substrat kann ein Deckglas verwendet
werden.
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Die
Elektroden befinden sich im Verteiler und in der Sammeleinrichtung.
Es wird bevorzugt, dass Löcher
zum Verlängern
der Elektroden zur externen Schaltung am Verteiler und Löcher zum
Verlängern der
Elektrode zur externen Schaltung an der Sammeleinrichtung im oberen
Substrat ausgebildet sind.
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Ein
Herstellungsverfahren für
den erfindungsgemäßen Mikrofluidchip
umfasst die folgenden Schritte:
Abscheiden von Photoresist
auf dem Siliciumwafer;
Ausbilden eines Maskenmusters und dann
Strukturieren durch Belichten des auf dem Wafer abgeschiedenen Photoresists
mit dem UV-Licht durch das Maskenmuster hindurch;
Herstellen
einer Originalform durch Entwickeln des Wafers; Formen von PDMS
auf der Originalform und dann Ablösen desselben von der Originalform;
Ultraschallwaschen
des PDMS und des Deckglases und dann Versiegeln des PDMS mit dem
Deckglas durch reaktives Ionenätzen
(RIE); und
Einsetzen der Elektroden in den Verteiler sowie
in die Sammeleinrichtung aus PDMS.
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Die
obigen und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden
Erfindung werden aus der folgenden ausführlichen Beschreibung in Verbindung
mit den Zeichnungen besser ersichtlich, in denen:
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1 eine
Anordnung einer Photomaske zur Herstellung eines Mikrofluidchips
vom Mehrfachkanaltyp darstellt.
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2 einen
Prozessablaufplan zur Herstellung des Mikrofluidchips vom Mehrfachkanaltyp
darstellt.
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3a-3e Querschnittsansichten
zur Herstellung des Mikrofluidchips vom Mehrfachkanaltyp darstellen.
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4a-4c eine
perspektivische Ansicht und Querschnittsansichten des Mikrofluidchips
vom Mehrfachkanaltyp darstellen.
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5 ein
Systemblockdiagramm für
eine elektrokinetische Mikroleistungszelle gemäß der Erfindung darstellt.
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6 ein
Bild einer Originalform darstellt, die bei der Herstellung des PDMS-Glas-Mikrofluidchips mit
verschiedenen Größen der
Kanalbreite, Kanallänge
und des Abstandes zwischen den Kanälen verwendet wird.
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7 eine
Mikrophotographie eines in der Originalform ausgebildeten Mehrfachkanals
darstellt.
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8 ein
Bild der Strömungspotentialzelle darstellt,
in dem der Mikrofluidchip, in den Ag/AgCl-Elektroden eingesetzt
sind, auf der Leiterplatte (PCB) montiert ist.
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9 ein
Ergebnis der Messung von Strömungspotentialen
als Funktion der Kanalbreiten darstellt, wenn deionisiertes Wasser,
Elektrolytlösungen von
0,1 mM KCl und 1,0 mM KCl durch den Mehrfachkanal des erfindungsgemäßen Mikrofluidchips strömen.
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10 ein
Ergebnis der Messung von Strömungspotentialkoeffizienten
als Funktion der Kanalbreiten darstellt, wenn deionisiertes Wasser,
Elektrolytlösungen
von 0,1 mM KCl und 1,0 mM KCl durch den Mehrfachkanal des erfindungsgemäßen Mikrofluidchips
strömen.
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11 die
Ergebnisse der Strömungspotentialmessungen
für die
Kanalbreiten von 20 μm,
30 μm, 50 μm und 100 μm als Funktion
der Ionenkonzentration der Elektrolytlösung zeigt.
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Nachstehend
wird die erfindungsgemäße Mikroleistungszelle
konkret mit Bezug auf die Zeichnungen erläutert. Die Erfindung wird jedoch
nicht durch diese nachstehenden Ausführungsformen eingeschränkt.
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[AUSFÜHRUNGSFORM 1]
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HERSTELLUNG
DER ORIGINALFORM ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROFLUIDCHIPVORRICHTUNG
VOM MEHRFACHKANALTYP GEMÄSS
DER ERFINDUNG
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1 stellt
eine Photomaskenzeichnung dar, die mit AutoCAD® 2002
als ersten Schritt zur Herstellung des erfindungsgemäßen Mikrofluidchips entworfen
wurde. Der Chip umfasst die Einströmöffnung 10, den Verteiler 20,
den Mehrfachkanal 30, die Sammeleinrichtung 40 und
die Ausströmöffnung 50.
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In
den Verteiler 20 und in die Sammeleinrichtung 40 sollten
Ag/AgCl-Elektroden
eingesetzt werden. Daher sollten der Verteiler 20 und die
Sammeleinrichtung 40 mit einer ausreichenden Tiefe ausgebildet
werden, um die Elektroden in diesen anzuordnen. Ebenso sollte der
aus 100 Mikrokanälen
bestehende Mehrfachkanal 30 mit derselben Tiefe wie der Verteiler 20 und
die Sammeleinrichtung 40 ausgebildet werden. Da der Durchmesser
von herkömmlichen
Elektroden etwa 100 μm
beträgt,
ist es optimal, die Mikrokanaltiefe mit etwa 100 μm auszubilden.
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Der
Durchmesser der Einströmöffnung 10,
in die Fluid strömt,
und der Ausströmöffnung 50,
aus der Fluid ausströmt,
kann so bestimmt werden, dass die Einströmöffnung 10 und die
Ausströmöffnung 50 zweckmäßig mit
externen Rohren verbunden werden. In der Ausführungsform weisen die externen Rohre
einen Durchmesser von 1/16 Inch auf, der Durchmesser der Einströmöffnung 10 und
der Ausströmöffnung 50 wird
auf 1,6 mm festgelegt.
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Um
die Elektroden auf der Eingangsseite sowie der Ausgangsseite des
Mehrfachkanals anzuordnen, wird der Elektrodeneinsetzraum 70 ausgebildet. Die
Breite des Elektrodeneinsetzraums wird so ausgelegt, dass sie geeignet
ist, um die Elektroden in diesen einzusetzen, welche in dieser Ausführungsform
auf 300 μm
festgelegt ist. Die eingesetzte Elektrode ist in dieser Ausführungsform
ein Ag-Draht mit einem Durchmesser von 100 μm und seine Oberfläche ist
mit AgCl beschichtet, eine Raumtoleranz von 200% zum Durchmesser
des Ag-Drahts wird reserviert.
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Der
Verteiler 20, in dem das Fluid, das durch die Einströmöffnung 10 zugeführt wird,
gleichmäßig in den
Mehrfachkanal strömt,
und die Sammeleinrichtung 40, die das aus dem Mehrfachkanal
ausgeströmte
Fluid sammelt, nehmen vorzugsweise eine Trapezform an. Die Querschnittsfläche des
Verteilers 20 nimmt von der einen Seite 32, die sich an
der Einströmöffnung befindet,
zur entgegengesetzten Seite 34 ab. Die Querschnittsfläche der
Sammeleinrichtung 40 nimmt auch von der einen Seite 34,
die sich an der Ausströmöffnung befindet,
zur entgegengesetzten Seite 32 ab.
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Im
Fall einer solchen Konstruktion kann das Fluid, wenn das Fluid durch
100 der Mikrokanäle strömt, fast
gleichzeitig aus dem Auslass des Mehrfachkanals ausströmen, wie
vorstehend beschrieben. Wenn der Verteiler mit einer gleichmäßigen Breite
wie der rechteckigen Form konstruiert ist, strömt das Fluid, das in den Mikrokanal 32 strömt, der sich
auf der Seite befindet, auf der die Einströmöffnung 20 vorhanden
ist, möglicherweise
zur Sammeleinrichtung 40 aus, bevor das Fluid in den auf
der entgegengesetzten Seite befindlichen Mikrokanal 34 strömt. In diesem
Fall wird die elektrische Energie nicht regelmäßig erzeugt, da die elektrische
Potentialdifferenz extrem abnimmt.
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Im
Verteiler 20 und in der Sammeleinrichtung 40,
die eine Trapezform annehmen, wird die Abnahmerate der Breite r
in Abhängigkeit
von der Gesamtlänge
L abgeschätzt,
die durch die Kanalbreite x, den Abstand y zwischen den Mikrokanälen und
die Anzahl von Mikrokanälen
N bestimmt ist. Wenn die Länge
der längeren
Seite und jene der kürzeren
Seite im Trapez a bzw. b bedeuten, ist die Abnahmerate der Breite
r durch Gleichung 2 definiert.
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In
der Maskenkonstruktion gemäß dieser Ausführungsform
sind die Parameter folgendermaßen:
die Länge
a der längeren
Seite beträgt
800 μm, die
Länge b
der kürzeren
Seite beträgt
300 μm,
die Kanalbreite x beträgt
20 μm, der
Abstand zwischen den Mikrokanälen
beträgt
100 μm und
die Anzahl von Kanälen
ist 100. In diesem Fall ist die Abnahmerate r der Breite 0,042.
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2 stellt
einen Prozessablaufplan zur Herstellung des Mikrofluidchips vom
Mehrfachkanaltyp dar. 3a bis 3e stellen
Querschnittsansichten zur Herstellung des Mikrofluidchips dar.
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Zuerst
wird die Maske entworfen, wie vorstehend erläutert (S10, 1).
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Die
Oberfläche
des Siliciumwafers wird mit Piranhalösung gewaschen, die durch Vermischen von
H2SO4 und H2O2 im Verhältnis 1:4
hergestellt wird. Dann wird ein Photoresist SU8-50 (MicroChem Co.,
MA) 200 auf den Siliciumwafer 100 durch Schleuderbeschichten
geschichtet (S20, 3a). Damit die Mikrokanaltiefe
100 μm ist,
wird der Photoresist mit einer Dicke von 100 μm angereichert, wie vorstehend
beschrieben. Die Beschichtungsdicke variiert in Abhängigkeit
von der Umdrehungsrate der Schleuderbeschichtung. SU8-50 breitet
sich auf dem Wafer bei einer Umdrehung von 500 min–1 für 10 Sekunden
und dann mit einer Beschleunigung von 300 min–1/s
und einer Umdrehung von 1000 min–1 für 30 Sekunden
gleichmäßig aus,
um die Dicke von 100 μm
anzunehmen.
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Dann
wird der beschichtete Wafer auf einer heißen Platte für 10 Minuten
bei 65°C
und für
30 Minuten bei 95°C
vorgehärtet
(S30). Da der Photoresist SU8-50 gegen Wärme empfindlich ist, wird daher
die Temperatur langsam von der Raumtemperatur auf 65°C und 95°C ohne abrupte
Erwärmung
erhöht.
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Der
vorgehärtete
Wafer wird durch Belichten mit der i-Linie (365 nm Wellenlänge des
UV-Bereichs) mit einer MA6-Maskenjustier- und -belichtungsanlage
strukturiert (S40). Wenn er für
60 Sekunden mit der Energiedichte von 17 mW/cm2 durch die
in Schritt S10 hergestellte Photomaske hindurch belichtet wird,
wird der belichtete Photoresist vernetzt.
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Der
belichtete SU8-50 wird durch das Nachhärten (S50) straffer am Wafer 100 befestigt.
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Dann
wird durch die Entwicklungsprozedur durch Rühren mit einem Magnetstab ein
Teil von SU8-50 200, der nicht belichtet wurde, durch Schmelzen
im Entwickler beseitigt, um die Originalform auszubilden (S60, 3b).
Tränken
für zu
lange Zeit schafft unerwünschte
Trennungen von irgendeinem Teil des belichteten SU8-50 200 vom Wafer.
Daher ist in diesem Schritt Aufmerksamkeit erforderlich.
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6 stellt
ein Bild der hergestellten Originalform dar. Der Photoresist SU8-50
wird mit einer Dicke von 100 μm
auf einem Siliciumwafer mit einem Durchmesser von 4 Inch strukturiert.
Die Originalform wurde in der Abmessung und Geometrie des Mikrokanals
verschiedenartig entworfen.
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Im
Bild von 6 zeigen die rechte halbe Seite
und die linke halbe Seite jede Form mit einem Abstand von 100 μm bzw. 50 μm zwischen
den Mikrokanälen.
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Außerdem zeigen
die obere halbe Seite und die untere halbe Seite jede Form mit einer
Mikrokanallänge
von 1 mm bzw. 3 mm. Wenn man vom Zentrum weggelangt, nimmt die Kanalbreite
auf 20 μm, 30 μm, 40 μm und 50 μm zu. Sowohl
ganz links als auch ganz rechts im Bild befinden sich Formen mit
einer Kanalbreite von 100 μm.
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7 ist
eine Mikrophotographie von Mikrokanälen mit einer Breite von 20 μm, einer
Länge von 1
mm und einem Abstand von 100 μm
zwischen den Mikrokanälen,
die durch ein Mikroskop mit einer 20fachen Vergrößerung der in 6 dargestellten Originalform
aufgenommen wird.
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Vorläufige Rohre 15, 55 mit
einem Durchmesser von 1/16 Inch werden schwach an die entsprechenden
Positionen der Einströmöffnung 10 bzw.
der Ausströmöffnung 50 in
der Originalform geklebt und stehen in diesen (S70, 3c).
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PDMS-Prepolymer
(Sylgard 184 Elastomer, Dow Corning Corp., MI) wird mit einem Härtungsmittel
in einem Verhältnis
von 10:1 auf das Gewicht vermischt und dann wird das Gemisch über die
Originalform gegossen. Es wird in einem Vakuumofen entgast, wobei
in dem Ofen ein Vakuum über
3 oder 4 Schritte für
15-20 Minuten pro jeweiligem Schritt hergestellt wird. Wenn alle
Luftblasen beseitigt sind, wird die Originalform mit PDMS für 2 Stunden
auf 80°C
in einem Konvektionsofen bei Atmosphärendruck erhitzt und dann wird
sie langsam für
etwa 6 Stunden auf Raumtemperatur abgekühlt, um das PDMS 300 zu
härten
(S80, 3d).
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Dann
werden die vorläufigen
Rohre beseitigt und das gehärtete
PDMS 300 wird von der Originalform abgelöst. Das
PDMS 300 wird durch Ultrabeschallung zusammen mit dem Deckglas 400 unter Verwendung
von Methanol für
1 Stunde gewaschen.
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Dann
wird die Oberfläche
des PDMS und des Deckglases, die miteinander versiegelt werden sollen,
mit O2-Plasma durch eine RF-Leistung für 10 Sekunden
behandelt. Das O2-Plasma wird im voraus unter
Verwendung einer RIE-Vorrichtung so eingestellt, dass es einen Partialdruck
von 50% aufweist.
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Das
oberflächenaktivierte
PDMS 300 wird so schnell wie möglich an das Deckglas 400 geklebt,
um den Mikrofluidchip auszubilden (S90, 3e).
Der Mikrofluidchip kann zwischen beiden Enden des Mikrokanals bis
zu etwa 5 bar standhalten.
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Dann
werden die Elektroden 60 in den Elektrodeneinsetzraum 70 an
beiden Enden der Mikrokanäle
des Chips eingesetzt (S100). Nach Beseitigen der vorläufigen Rohre
werden dauerhafte Rohre 150, 151 (4a)
eingesetzt und durch ein Epoxidharz und einen Klebstoff für Silikonkautschuk
befestigt (S110).
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4a ist
eine perspektivische Ansicht des durch das obige Verfahren hergestellten
Mikrofluidchips. 4b und 4c stellen
eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A' bzw. der Linie B-B' in 4a dar.
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[Ausführungsform 2]
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HERSTELLUNG
EINER STRÖMUNGSPOTENTIALZELLE
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Vor
dem Einsetzen der Elektroden wird ein Ag-Draht (Aldrich Chemical
Co., WI) mit einem Durchmesser von 100 μm zur Verwendung als Elektrode
in einer 3M HNO3-Lösung für 5 Minuten gewaschen. Dann
wird die Anode (rote Farbe) einer Stromversorgung mit dem Ag-Draht
verbunden und die Katode (schwarze Farbe) wird mit einem Pt-Draht in
einer 0,1 M HCl-Lösung verbunden
und dann wird ein statischer Strom von 4 mA/cm2 für 20 Minuten zum
Anodisieren angelegt. AgCl überzieht
die Oberfläche
des Ag-Drahts und
dann kann eine Ag/AgCl-Elektrode hergestellt werden.
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Die
Ag/AgCl-Elektroden werden in den Elektrodeneinsetzraum 70 des
Mikrofluidchips der Erfindung eingesetzt.
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Das
Schneiden beider Enden der PDMS-Kopie, die von der Originalform
abgelöst
wurde, ergibt die Ausbildung von Löchern an beiden Enden des Elektrodeneinsetzraums
mit einer Breite von 300 μm und
einer Tiefe von 100 μm.
Danach wird eine Elektrode in das Loch eingesetzt und die Elektrode
wird außerhalb
beider Enden des Elektrodeneinsetzraums hervorragen lassen. Dann
wird die Ag/AgCl-Elektrode mit einem externen Ag-Draht mit einem Durchmesser
von 250 μm
durch Ag-Löten
an die PCB verbunden. Der externe Ag-Draht verbindet mit einem digitalen
Multimeter über
einen Verbindungsstecker.
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Die
dauerhaften Rohre 150, 151 werden an der Einströmöffnung 10 und
der Ausströmöffnung 50 installiert.
Die vom Chip erzeugte elektrische Energie ist durch Installieren
des Mikrofluidchips auf der PCB erhältlich.
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In
einem Ein-Kanal-Chip ist der Bereich des ertragbaren Drucks relativ
hoch, da der mit einem Deckglas versiegelte PDMS-Teil groß ist. Im
Chip mit dem Mehrfachkanal sollte jedoch der Abstand zwischen den
Kanälen
so eingestellt werden, dass der geeignete ertragbare Druck erhalten
wird.
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In
der obigen Ausführungsform
ist der Abstand zwischen den Mikrokanälen mit 100 μm konstruiert,
wobei das Strukturieren im UV-Belichtungsprozess ohne jegliches
Problem durchgeführt
werden könnte.
Wenn jedoch der Abstand zu klein ist (beispielsweise unterhalb 50 μm), kann
das Strukturieren unvollständig
durchgeführt
werden.
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Der
Teil des PDMS, der mit einem Abstand von 100 μm zwischen den Kanälen hergestellt
wird, wird durch das O2-Plasma aktiviert
und soll an das Deckglas geklebt werden. Um etwa 5 bar standzuhalten,
sollte dieser Teil des PDMS zwischen den Kanälen, die parallel zueinander
angeordnet sind, eng an ein Deckglas gebunden werden. Wenn eine
Kanaltiefe 100 μm
beträgt,
kann der Abstand zwischen den Kanälen vorzugsweise größer als
100 μm sein.
Daher sollte das Seitenverhältnis
des Abstandes zwischen den Kanälen
und der Kanaltiefe vorzugsweise als 1:1 konstruiert werden.
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8 stellt
eine Strömungspotentialzelle dar,
in der ein Mikrofluidchip auf einer PCB installiert ist. Im Mikrofluidchip
sind externe Rohre, die aus Polyethylethylketon (PEEK) bestehen,
unter Verwendung eines Epoxyharzes und eines Klebstoffes eingesetzt,
und Ag/AgCl-Elektroden sind unter Verwendung eines Epoxyharzes eingesetzt
und befestigt.
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[AUSFÜHRUNGSFORM 3]
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MESSEXPERIMENTE
FÜR DAS
ELEKTRISCHE POTENTIAL BEI EINER MIKROLEISTUNGSZELLE GEMÄSS DER ERFINDUNG
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Wie
in 5 gezeigt, besteht eine Strömungspotentialzelle aus einer
elektrokinetischen Mikroleistungszelle. In 5 wird das
Fluid, das die in einem Behälter
enthaltene Elektrolytlösung
ist, durch eine Dosierpumpe mit hoher Präzision (SD-200, Rainin, CA)
in die Einströmöffnung 10 zugeführt und
wird nach dem Strömen
durch den Mehrfachkanal 30 zur Ausströmöffnung 50 abgeführt. Die
Druckdifferenz ΔP
zwischen beiden Enden der Mikrokanäle 30 wird durch ein
präzises
Druckmessgerät
gemessen. Die Strömungspotentialdifferenz ΔE zwischen
beiden Enden von Kanälen
wird durch ein digitales Multimeter (HP34970A, Hewlett-Packard Co.,
CA) über
die Ag/AgCl-Elektroden 60, die jeweils am oberen und unteren
Teil der Kanäle
angeordnet sind, gemessen. Indem eine Elektrolytlösung mit
verschiedenen Ionenkonzentrationen strömen lassen wird, wird das Strömungspotential
gemessen.
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9 stellt
die Ergebnisse des erzeugten Strömungspotentials
in Abhängigkeit
von der Kanalbreite für
das deionisierte Wasser mit einer Ionenkonzentration von 10–4 mM,
die Elektrolytlösungen von
0,1 mM und 1,0 mM KCl dar. In der erfindungsgemäßen Mikroleistungszelle ist
die Anzahl der Mikrokanäle 100,
der Abstand zwischen den Kanälen ist
gleichmäßig 100 μm und die
Durchflussrate der Lösung
ist auf 10 ml/min eingestellt.
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In
der obigen 9 wird im Fall des deionisierten
Wassers das Strömungspotential
von bis zu 700 mV bei einer Kanalbreite von 20 μm erzeugt.
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10 stellt
die Ergebnisse von Strömungspotentialkoeffizienten,
gemessen durch den mittleren Druck, der an beiden Enden des Mikrokanals
ausgeübt
wird, in Abhängigkeit
von der Kanalbreite für
das deionisierte Wasser, die Elektrolytlösungen von 0,1 mM und 1,0 mM
KCl dar. Wenn die Kanalbreite zunimmt, nimmt die Dicke der elektrischen
Doppelschicht relativ gleichmäßig in derselben
Ionenkonzentration ab. Somit nimmt der Wert des Strömungspotentials
ab.
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11 zeigt
die Ergebnisse des Strömungspotentials
in Abhängigkeit
von der Ionenkonzentration der Elektrolytlösung. Wie in 11 dargestellt, nimmt,
wenn die Ionenkonzentration zunimmt, die Dicke der elektrischen
Doppelschicht ab. Selbst wenn die Kanalbreite dieselbe ist, nimmt
daher der Wert des Strömungspotentials
mit zunehmender Ionenkonzentration ab.
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Die
Erfindung betrifft eine elektrokinetische Mikroleistungszelle, die
den Mikrofluidchip vom Mehrfachkanaltyp anwendet und als neue Stromquelle
für saubere
Energie verwendet werden könnte.
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Insbesondere
da sie als Stromversorgung oder selbstangetriebener Chip wirkt,
könnte
sie bei der Elektrophorese, in optischen Versuchseinrichtungen,
Vorrichtungen mit ultrakleinem Maßstab für einen MEMS-Prozess wie z.
B. eine Mikropumpe, und zum Aufladen von kleinen elektronischen
Vorrichtungen wie z. B. einem Laptopcomputer oder einem Mobiltelephon
verwendet werden.