DE10117170A1 - Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte - Google Patents

Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte

Info

Publication number
DE10117170A1
DE10117170A1 DE10117170A DE10117170A DE10117170A1 DE 10117170 A1 DE10117170 A1 DE 10117170A1 DE 10117170 A DE10117170 A DE 10117170A DE 10117170 A DE10117170 A DE 10117170A DE 10117170 A1 DE10117170 A1 DE 10117170A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
optical
housing
pressure compensation
arrangement according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE10117170A
Other languages
English (en)
Inventor
Nico Correns
Ullrich Klarner
Werner Hoyme
Felix Kerstan
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss Jena GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Jena GmbH filed Critical Carl Zeiss Jena GmbH
Priority to DE10117170A priority Critical patent/DE10117170A1/de
Priority to PCT/EP2002/002991 priority patent/WO2002082153A1/de
Priority to US10/415,213 priority patent/US7082003B2/en
Priority to EP02704762A priority patent/EP1373956A1/de
Publication of DE10117170A1 publication Critical patent/DE10117170A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0006Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0286Constructional arrangements for compensating for fluctuations caused by temperature, humidity or pressure, or using cooling or temperature stabilization of parts of the device; Controlling the atmosphere inside a spectrometer, e.g. vacuum
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/06Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
    • G01J5/068Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling parameters other than temperature
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Accommodation For Nursing Or Treatment Tables (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

Um eine Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte, insbesondere Spektrometer oder dergleichen optischen Geräte, zum Ausgleich von durch Temperatur- und Luftdruckänderungen entstehenden Druckdifferenzen, die zwischen dem Innendruck und dem Umgebungsdruck an einem Gehäuse eines optische Einheiten umschließenden optischen Gerätes entstehen, zu schaffen, die mit geringem Fertigungsaufwand sowie kostengünstig eine Verschmutzung optischer Funktionsflächen der optischen Einheiten des optischen Gerätes verhindert und einen ständigen Druckausgleich zwischen dem Innenraum und der äußeren Umgebung des Gehäuses eines optischen Gerätes mit seinen optischen Einheiten gewährleistet, wird vorgeschlagen, daß die Anordnung zum Druckausgleich aus mindestens einem beidseitig luftdurchlässig ausgebildeten Druckausgleichselement besteht, das in einer Gehäuseöffnung der die optischen Einheiten umschließenden Gehäusewandung des optischen Gerätes angeordnet ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte, insbesondere Spektrometer oder dergleichen op­ tischen Geräte, zum Ausgleich von durch Temperatur- und Luft­ druckänderungen entstehenden Druckdifferenzen, die zwischen dem Innendruck und dem Umgebungsdruck an einem Gehäuse eines opti­ sche Einheiten umschließenden optischen Gerätes entstehen.
Die Gefahr einer Beeinträchtigung der Funktionsfähigkeit der optischen Einheiten mit ihren Funktionsflächen besteht im all­ gemeinen darin, daß durch Kontakt der optischen Funktionsflä­ chen mit normaler Luft eine Verschmutzung dieser Flächen durch die festen oder flüssigen Stoffpartikel der Luft erfolgen kann, was zu einer Beeinträchtigung bzw. zum totalen Ausfall der Funktion der optischen Einheiten eines optischen Gerätes führen kann. Ist aber aus optischen Gründen ein Übergang von Luft zu der optisch aktiven Funktionsfläche erforderlich, so werden diese optischen Einheiten mit ihren Funktionsflächen dicht in das Gehäuse des optischen Gerätes eingebaut. Dadurch wird ei­ nerseits eine Verschmutzung der optischen Funktionsflächen ver­ hindert, aber anderseits besteht der Nachteil dieser Verfah­ rensweise darin, daß durch Temperatur- und Luftdruckänderungen Druckdifferenzen zwischen dem Innendruck und dem Umgebungsdruck an einem Gehäuse entstehen können, wodurch die Dichtheit des Gehäuses des optischen Gerätes stark belastet wird. Es bestehen deshalb hohe Anforderungen an die Dichtungselemente eines Gehäuses eines optischen Gerätes mit den darin enthalte­ nen optischen Einheiten, wobei einerseits absolut dichte Gehäu­ se schwer zu realisieren sind und anderseits diese hohen Anfor­ derungen an die Dichtungselemente des Gehäuses zu einer Erhö­ hung des technischen und finanziellen Fertigungsaufwandes füh­ ren.
Aus dem Stand der Technik sind für andere technische Bereiche Einrichtungen zum Druckausgleich bekannt. So ist aus der DE 198 50 561 A1 eine Einrichtung zum Druckausgleich in einer hydrau­ lischen Anlage, insbesondere für eine Kupplung oder Bremse ei­ nes Kraftfahrzeuges bekannt, wobei ein mit dem Druckausgleichs­ raum in Verbindung stehendes, bei Unterdruck im Druckraum sein Volumen um ein vorgegebenes Maß vergrößerndes Volumenaus­ gleichselement in einer Ausführungsform als eine elastische Membran vorgesehen ist.
Aus der DE 199 40 235 C1 ist weiterhin ein Getriebe, insbeson­ dere ein Planetengetriebe bekannt, bei welchem der Druckaus­ gleich zwischen dem Innern des Getriebegehäuses und der äußeren Umgebung bei gleichzeitigem Verhindern des Austritts von Verun­ reinigungen dadurch erfolgt, daß für die im Innern der Welle oder einem mit dieser Welle verbundenen Getriebeteil eine in der Druckausgleichskammer angeordnete verformbare Membran vor­ gesehen ist, die die äußere Umgebung und das Innere des Getrie­ bes voneinander trennt.
Eine weitere Form einer Einrichtung zum Druckausgleich wird in der DE 198 59 272 A1 beschrieben, wobei zum Druckausgleich in einem Behälterinnenraum beim Transport dieser Innenraum mittels eines Druckausgleichseinsatzes, der mit einem Schutzfolienliner fest verbunden ist, verschlossen wird. Ein entstehendes Druck­ potential im Schutzfolienliner wird dann über ein im Deckel des Druckausgleichseinsatzes integriertes Membranventil zur Druck­ ausgleichseinrichtung des Transportbehälters geleitet. Bei die­ sen technischen Lösungen erfüllt die Membran die Funktion eines Volumenausgleichselementes.
Ausgehend von dem eingangs bezeichneten Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zum Druck­ ausgleich für optischen Geräte zu schaffen, die mit geringem Fertigungsaufwand sowie kostengünstig eine Verschmutzung opti­ scher Funktionsflächen der optischen Einheiten des Gerätes ver­ hindert und einen ständigen Druckausgleich zwischen dem Innenraum und der äußeren Umgebung des Gehäuses eines optischen Ge­ rätes mit seinen optischen Einheiten gewährleistet.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird eine Anordnung zum Druckaus­ gleich vorgeschlagen, die aus mindestens einem beidseitig luft­ durchlässig ausgebildeten Druckausgleichselement besteht, das in einer Gehäuseöffnung der die optischen Einheiten umschlie­ ßenden Gehäusewandung des optischen Gerätes angeordnet ist.
Vorteilhaft ist vorgesehen, daß das Druckausgleichselement als beidseitig luftdurchlässige und feinporige elastische Membran­ folie ausgebildet ist.
Dadurch, daß das Druckausgleichselement insbesondere als eine in einer Gehäuseöffnung der die optischen Einheiten umschlie­ ßenden Gehäusewandung angeordnete Membranfolie vorgesehen und beidseitig luftdurchlässig und feinporig ausgebildet ist, kann ein ständiger Gasaustausch erfolgen und damit ein ständiger Druckausgleich zwischen dem Innen- und Umgebungsdruck des Ge­ häuses des optischen Gerätes, indem Luft und Wasserdampf das Druckausgleichselement passieren können und flüssige und feste Stoffpartikel zurückgehalten werden. Außerdem werden durch die­ se Anordnung zum Druckausgleich sowohl die mechanische Belastung des Gehäuses des optischen Gerätes vermindert, als auch gleichzeitig damit die Anforderungen an die Dichtheit des Ge­ häuses reduziert, da Staub und Feuchtigkeit in Form von Nässe nicht in das Gehäuse eindringen können.
Eine bevorzugte Variante einer Ausführungsform des Druckaus­ gleichselementes wird darin gesehen, daß das Druckausgleichs­ element aus feinporigem, papierartigem Material besteht.
Eine bevorzugte Weiterbildung wird darin gesehen, daß das pa­ pierartige Material schwarz, bzw. dunkel eingefärbt ist, um Fremdlichteinfluß auf die optischen Einheiten auszuschließen.
Vorteilhaft ist, daß das Druckausgleichselement mittels einer Klebverbindung in einer Aussparung der Gehäuseöffnung befestigt ist.
Eine weitere vorteilhafte Ausführung wird darin gesehen, daß die Gehäusewandung des optischen Gerätes mehrere Gehäuseöffnun­ gen zur Aufnahme von Druckausgleichselementen aufweist, um den ständigen Druckausgleich für die Funktionsflächen der einzelnen optischen Einheiten zu erhöhen, so daß beim Übergang von Luft zu den optisch aktiven Funktionsflächen eine Verschmutzung dieser aktiven Funktionsflächen verhindert wird. Die Anzahl der Gehäuseöffnungen zur Aufnahmen von Druckausgleichselementen ist dabei abhängig vom Aufbau des optischen Gerätes, d. h. von der Anzahl der darin befindlichen optischen Einheiten in den ein­ zelnen unterschiedlichen Innenräumen des optischen Gerätes.
In Variation dazu kann auch vorgesehen sein, daß bei Vorhanden­ sein von unterschiedlichen Innenräumen in dem optischen Gerät diese Innenräume zusätzliche Verbindungsöffnungen zum Druckaus­ gleich aufweisen, um das Entstehen eines Unterdrucks in den einzelnen Innenräumen des optischen Gerätes zu verhindern.
Diese Verbindungsöffnungen sind insbesondere als Bohrungen aus­ gebildet.
Eine weitere vorteilhafte Variante wird darin gesehen, daß in die Verbindungsöffnungen zwischen den unterschiedlichen Innen­ räumen des optischen Gerätes ebenfalls Druckausgleichselemente einsetzbar sind.
Eine bevorzugte Ausführungsform wird darin gesehen, daß das Druckausgleichselement in einer vorgegebenen Entfernung von den optischen Funktionsflächen der optischen Einheiten, vorzugsweise in einer Gehäuseöffnung im Gehäuseboden des optischen Gerä­ tes angeordnet ist, um beim Arbeiten mit dem optischen Gerät das Druckausgleichselement vor Beschädigungen zu schützen.
Eine vorteilhafte Variante wird darin gesehen, daß das Druck­ ausgleichselement in einer Gehäuseöffnung in der Seitenwand des Gehäuses des optischen Gerätes vorgesehen ist. Dieser Anordnung eines Druckausgleichselementes in der Öffnung einer Seitenwand des Gehäuses hat den Vorteil, daß sich Staubpartikel in der Um­ gebungsluft nicht direkt auf dem Druckausgleichselement abla­ gern können.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und im folgenden näher beschrieben.
Es zeigt:
Fig. 1 eine Anordnung von Druckausgleichselementen in einem op­ tischen Gerät;
Fig. 2 eine Detailansicht eines Druckausgleichselementes in ei­ ner Gehäusewandung.
Fig. 1 zeigt einen Ausschnitt eines optischen Gerätes 1, bei­ spielsweise eines Spektrometers, in dessen Gehäusewandung 2 vorzugsweise zwei Gehäuseöffnungen 3 und 4 zur Aufnahme je ei­ nes Druckausgleichselementes 5 und 6 in Form einer beidseitig luftdurchlässigen, vorzugsweise elastisch ausgebildeten Mem­ branfolie vorgesehen sind, durch die Staub und Feuchtigkeit nicht in den Innenraum des optischen Gerätes 1 eindringen und sich auf den optischen Funktionsflächen der optischen Einheiten absetzen können, die einen Gasaustausch jedoch zulassen. Die Membranfolie ist für einen effektiven Gasaustausch feinporig ausgebildet, sie kann aus papierartigem Material bestehen und ist schwarz oder dunkel eingefärbt, um Fremdlichteinfall auf die optischen Funktionsflächen der optischen Einheiten zu ver­ hindern. Die Größe der Druckausgleichselemente 5 und 6 ist da­ bei von dem Volumen, das mit der Membranfolie abgeschlossen werden soll, von der Schnelligkeit der Druckänderung und von den inneren und äußeren Temperaturänderungen abhängig. Die Druckausgleichselemente 5 und 6 (siehe Fig. 2) sind dabei je­ weils in einer Aussparung 7 und 8 der Gehäuseöffnungen 3 und 4 der Gehäusewandung 2 des optischen Gerätes 1 angeordnet. Damit sowohl eine normale Funktionsfähigkeit des optischen Gerätes 1 gewährleistet ist, anderseits sich nicht direkt zusätzlicher Staub in den Gehäuseöffnungen 3 und 4 ablagern kann und außerdem diese Gehäuseöffnungen 3 und 4 vor Beschädigungen geschützt sind, sind die Gehäuseöffnungen 3 und 4 vorzugsweise im Gehäu­ seboden 9 angeordnet. Eine zusätzliche Anforderung besteht dar­ in, daß die Gehäuseöffnungen 3 und 4 möglichst weit weg von den optischen Funktionsflächen angeordnet sind. Eine andere vor­ teilhafte Variante der Anordnung der Druckausgleichselemente 5 und 6 in der Gehäusewandung 2 wird darin gesehen, daß die Ge­ häuseöffnungen 3 und 4 seitlich in der Gehäusewandung 2 vorge­ sehen sind.
Die Druckausgleichselemente 5 und 6 werden vorzugsweise in den in den in den Gehäuseöffnungen 3 und 4 der Gehäusewandung 2 vorgesehenen Aussparungen 7 und 8 mittels einer Klebverbindung befestigt.
Um einen Druckausgleich in den unterschiedlichen Innenräumen 10,11, 12 des optischen Gerätes 1 zu gewährleisten, ist eine Verbindungsöffnung 13 vorgesehen, die als Bohrung ausgeführt sein kann und eine Verbindung zu den unterschiedlichen Innen­ räume 10,11, 12 ermöglicht, so daß sich der Druck in den einzel­ nen Innenräumen 10,11, 12 ausgleicht. Anstelle einer Verbin­ dungsöffnung 13 können auch mehrere Verbindungsöffnungen zwi­ schen den unterschiedlichen Innenräumen 10, 11, 12 vorgesehen sein, wobei alternativ auch Druckausgleichselemente 5 in diese Verbindungsöffnungen einsetzbar sind.
Die Erfindung ist nicht auf das Ausführungsbeispiel beschränkt, sondern im Rahmen der Offenbarung vielfach variabel.
Alle neuen, in der Beschreibung und/oder Zeichnung offenbarten Einzel- und Kombinationsmerkmale werden als erfindungswesent­ lich angesehen.
Zusammenstellung der verwendeten Bezugszeichen
1
optisches Gerät
2
Gehäusewandung
3
Gehäuseöffnung
4
Gehäuseöffnung
5
Druckausgleichselement
6
Druckausgleichselement
7
Aussparung
8
Aussparung
9
Gehäuseboden
10
Innenraum
11
Innenraum
12
Innenraum
13
Verbindungsöffnung

Claims (8)

1. Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte, insbe­ sondere Spektrometer oder dergleichen optische Geräte, zum Ausgleich von durch Temperatur- und Luftdruckänderungen entstehenden Druckdifferenzen, die zwischen dem Innendruck und dem Umgebungsdruck an einem Gehäuse eines optische Einheiten umschließenden optischen Gerätes entstehen, da­ durch gekennzeichnet, daß zum Druckausgleich mindestens ein beidseitig luftdurchlässig ausgebildetes Druckaus­ gleichselement (5) vorgesehen ist, das in einer Gehäuse­ öffnung (3) der die optischen Einheiten umschließenden Ge­ häusewandung (2) des optischen Gerätes (1) angeordnet ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Druckausgleichselement (5) als beidseitig luftdurchlässi­ ge, feinporige elastische Membranfolie ausgebildet ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Druckausgleichselement (5) aus feinporigem, pa­ pierartigem Material besteht.
4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das papierartige Material schwarz, bzw. dunkel eingefärbt ist.
5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Druckausgleichselement (5) mittels einer Klebverbindung in einer Aussparung (7) der Gehäuse­ öffnung (3) befestigt ist.
6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Gehäusewandung (2) des optischen Ge­ rätes (1) mehrere, insbesondere zwei Gehäuseöffnungen (3, 4) zur Aufnahme von Druckausgleichselementen (5, 6) auf­ weist.
7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch ge­ kennzeichnet, daß unterschiedliche Innenräume (10, 11, 12) des optischen Gerätes (1) Verbindungsöffnungen (13) zum Druckausgleich aufweisen.
8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsöffnungen (13) als Bohrungen ausgebildet sind.
DE10117170A 2001-04-06 2001-04-06 Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte Withdrawn DE10117170A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10117170A DE10117170A1 (de) 2001-04-06 2001-04-06 Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte
PCT/EP2002/002991 WO2002082153A1 (de) 2001-04-06 2002-03-19 Anordnung zum druckausgleich für optische geräte
US10/415,213 US7082003B2 (en) 2001-04-06 2002-03-19 Pressure compensating device for optical apparatus
EP02704762A EP1373956A1 (de) 2001-04-06 2002-03-19 Anordnung zum druckausgleich für optische geräte

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10117170A DE10117170A1 (de) 2001-04-06 2001-04-06 Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10117170A1 true DE10117170A1 (de) 2002-10-10

Family

ID=7680619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10117170A Withdrawn DE10117170A1 (de) 2001-04-06 2001-04-06 Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7082003B2 (de)
EP (1) EP1373956A1 (de)
DE (1) DE10117170A1 (de)
WO (1) WO2002082153A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012022936A1 (en) * 2010-08-19 2012-02-23 Perkinelmer Uk Limited Spectroscopic instrument

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202005020282U1 (de) * 2005-12-23 2007-05-03 Mobotix Ag Feuchtigkeitsgeeignetes Kameragehäuse
DE102010047103A1 (de) 2010-09-29 2012-03-29 Carl Zeiss Jena Gmbh Flansch zum Abschluss eines optischen Geräts gegenüber einem Probenstrom und optisches Gerät zur teilweisen Anordnung in einem Probenstrom
JP6331428B2 (ja) * 2014-01-31 2018-05-30 オムロン株式会社 光学計測装置用のセンサヘッド
US10073465B1 (en) * 2015-11-30 2018-09-11 Arete Associates Optical sensor scanning platform

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3498695A (en) 1966-10-11 1970-03-03 Sanders Associates Inc Pressure compensated optical device
DE1964496A1 (de) 1969-12-23 1971-07-01 Siemens Ag Unterwasser-Endoskop
US3759605A (en) * 1971-10-29 1973-09-18 Q Johnson Method and apparatus for housing underwater optical instruments
US4419663A (en) * 1979-03-14 1983-12-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Display device
US4402574A (en) * 1981-04-20 1983-09-06 Weyerhaeuser Company Method and apparatus for refracting a laser beam
US4871237A (en) * 1983-07-27 1989-10-03 Nikon Corporation Method and apparatus for adjusting imaging performance of projection optical apparatus
DE3443856A1 (de) 1983-12-02 1985-06-13 Nippon Kogaku K.K., Tokio/Tokyo Optisches projektionsgeraet
US4616908A (en) 1984-07-19 1986-10-14 Gca Corporation Microlithographic system
JPS61168919A (ja) * 1985-01-22 1986-07-30 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 投影光学装置
JPS61278141A (ja) * 1985-05-31 1986-12-09 Canon Inc 投影倍率調整方法
US5337097A (en) * 1985-12-26 1994-08-09 Nippon Kogaku K.K. Projection optical apparatus
US4763145A (en) * 1986-03-26 1988-08-09 Fuji Photo Film Co., Ltd. Water-resistant camera with automatic internal air-pressure adjustment
JP3163619B2 (ja) * 1990-05-15 2001-05-08 松下電器産業株式会社 投写レンズ装置
US5212595A (en) * 1990-12-21 1993-05-18 Mp Video, Inc. Sterilizable focusing lens assembly
US5170283A (en) * 1991-07-24 1992-12-08 Northrop Corporation Silicon spatial light modulator
US5751469A (en) * 1996-02-01 1998-05-12 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for an improved micromechanical modulator
US5786927A (en) * 1997-03-12 1998-07-28 Lucent Technologies Inc. Gas-damped micromechanical structure
JPH11329951A (ja) * 1998-05-15 1999-11-30 Canon Inc 光源装置及び露光装置
DE19941320B4 (de) * 1998-09-01 2005-07-21 Olympus Optical Co., Ltd. Zur Autoklavensterilisation geeignetes Endoskop
DE19850561A1 (de) 1998-11-03 2000-05-04 Mannesmann Sachs Ag Einrichtung zum Druckausgleich in einer hydraulischen Anlage
DE19859272A1 (de) 1998-12-22 2000-06-29 Holger Poetzsch Schutzinliner mit Druckausgleich
JP3775772B2 (ja) * 1998-12-28 2006-05-17 キヤノン株式会社 露光装置、鏡筒および筐体ならびにそれらの運送方法
DE19940235C1 (de) * 1999-08-25 2000-09-28 Neugart Gmbh & Co Getriebe, insbesondere Planetengetriebe, mit Druckausgleich
US6351329B1 (en) * 1999-10-08 2002-02-26 Lucent Technologies Inc. Optical attenuator
DE10000193B4 (de) * 2000-01-05 2007-05-03 Carl Zeiss Smt Ag Optisches System
JP2002005737A (ja) * 2000-06-20 2002-01-09 Komatsu Ltd 光検出装置
US20020177052A1 (en) * 2001-03-15 2002-11-28 Sogard Michael R. Means for purging an assembly cavity of an optical assembly
DE10121185B4 (de) * 2001-04-30 2013-04-25 Sick Ag Optischer Sensor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012022936A1 (en) * 2010-08-19 2012-02-23 Perkinelmer Uk Limited Spectroscopic instrument
US9322703B2 (en) 2010-08-19 2016-04-26 Perkinelmer Singapore Pte Ltd. Spectroscopic instrument

Also Published As

Publication number Publication date
US20040027565A1 (en) 2004-02-12
US7082003B2 (en) 2006-07-25
EP1373956A1 (de) 2004-01-02
WO2002082153A1 (de) 2002-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102004053840B4 (de) Entlüftungsventil für ein Gleichlaufgelenk
DE2625153C2 (de) Wellendichtung
DE102004051572B4 (de) Reifendruck-Erfassungskomponente zum Erfassen des Luftdrucks
DE10209963A1 (de) Entlüftungsvorrichtung für ein Gleichlaufgelenk
DE2327405A1 (de) Ziehdueseneinrichtung mit hydrodynamischer schmierung
DE2524614A1 (de) Rotierende gaskorrelationszelle
US4175671A (en) Breather cap
DE10117170A1 (de) Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte
DE202014102322U1 (de) Vorrichtung zum spanenden Bearbeiten eines Werkstücks
EP1070948A1 (de) Relativdrucksensor
DE10103275B4 (de) Dichtungsventilanordnung
DE4214804A1 (de) Einrichtung zur optischen Anzeige des Druckes eines Mediums
EP1277010B1 (de) Blendschutzvorrichtung
DE10208948A1 (de) Druckstückeinheit für Zahnstangen-Lenkgetriebe
EP3714312B1 (de) Blende und vorrichtung zur reinigung von sichtsystemen
DE4135518C2 (de) Wasserdichte Kamera
DE10122993A1 (de) Vorrichtung zum Verschließen einer Öffnung in einer Gehäusewand bei einem Gehäuse eines Getriebes
DE4018601A1 (de) Einrichtung zum be- und entlueften von hohlraeumen
DE4035375A1 (de) Daempfendes lager, insbesondere aggregatlager fuer kraftfahrzeuge
DE3101742C2 (de)
DE3342248C2 (de)
DE3124486C2 (de) Kugelhahn für heiße Medien
DE10310444B4 (de) Gleitabdichtungsvorrichtung mit eingebauter Feder
DE102006059950B4 (de) Dichtmanschette für Fahrzeuggelenkwellen
DE102017102455B4 (de) Druckindikator für ein Fluid

Legal Events

Date Code Title Description
8181 Inventor (new situation)

Inventor name: CORRENS, NICO, DIPL.-ING., 99425 WEIMAR, DE

Inventor name: KLARNER, ULLRICH, DIPL.-ING., 07751 JENAPRIESSNITZ

Inventor name: KERSTAN, FELIX, DR.RER.NAT., 07747 JENA, DE

Inventor name: HOYME, WERNER, DIPL.-ING., 07745 JENA, DE

8181 Inventor (new situation)

Inventor name: CORRENS, NICO, DIPL.-ING., 99425 WEIMAR, DE

Inventor name: KLARNER, ULLRICH, DIPL.-ING., 07751 JENAPRIESSNITZ

Inventor name: KERSTAN, FELIX, DR.RER.NAT., 07747 JENA, DE

Inventor name: HOYME, WERNER, DIPL.-ING., 99510 GEBSTEDT, DE

8110 Request for examination paragraph 44
R016 Response to examination communication
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE

Effective date: 20130206

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20131101