DE10114012B4

DE10114012B4 - Chipantenne

Info

Publication number: DE10114012B4
Application number: DE10114012A
Authority: DE
Inventors: Wen-Jen Tseng; Jyh-Wen Sheen; Jian-Hong Chen
Original assignee: Amtran Technology Co Ltd
Current assignee: Amtran Technology Co Ltd
Priority date: 2000-05-11
Filing date: 2001-03-22
Publication date: 2011-02-24
Anticipated expiration: 2021-03-23
Also published as: US6396460B2; US20010043161A1; DE10114012A1

Abstract

Chipantenne, umfassend:
ein Substrat (41; 837) aus einem dielektrischen Material mit einer oder einer Mehrzahl von Substratschichten
einen Mäanderleiter (42; 836) als Abstrahlungselement, der auf einer der Substratschichten angeordnet ist,
eine Speiseanschlussfläche (43; 831) zur Signalzuführung, die auf einer Oberfläche des Substrats (41; 837) ausgebildet ist,
einen Speiseleiter (46; 833), der mit der Speiseanschlussfläche (43; 831) und dem Mäanderleiter (42; 836) zur Signalweiterleitung verbunden und auf einer der Substratschichten ausgebildet ist, und
eine Anpassungseinheit aus einem Anpassungsleiter (45; 834, 835) auf einer der Substratschichten und einer Massefläche (47; 832) auf zumindest einer Oberfläche des Substrats (41; 837) zur Anpassung der Eingangsimpedanz und Bandbreite der Chipantenne, wobei der Anpassungsleiter (45; 834, 835) an einem Ende mit dem Mäanderleiter (42; 836) und dem Speiseleiter (46; 833) am anderen Ende mit der Massefläche (47; 832) verbunden ist, der Anpassungsleiter (45; 834, 835) von der Massefläche (47; 832) kapazitiv...

Description

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf das Gebiet der Chipantennen und insbesondere auf eine Breitband-Chipantenne für die Verwendung in drahtlosen Kommunikationsnetzen und -anlagen, einschließlich drahtlosen Kurzstrecken-Kommunikationsnetzen und persönlichen Mobil-Kommunikationsnetzen und -anlagen.
Bei der Entwicklung und beim Entwurf drahtloser mobiler Kommunikationsvorrichtungen werden aufgrund der Größenbeschränkungen im allgemeinen Monopolantennen 10 mit einer Viertelwellenlänge, wie in 1 gezeigt, in die Vorrichtung als Basiseinheiten eingebaut. Die Entwicklung bewegt sich jedoch langsam in Richtung zu Vorrichtungen, die leichter, dünner, kürzer und kleiner sind.
Das Konzept der Verwendung einer speziellen Wicklungsform, um die Länge einer Drahtantenne zu verkürzen, wurde zuerst im Jahr 1984 entwickelt. Zum Beispiel ist eine Wicklungsantenne mit einer Zickzackform oder Mäanderform offenbart worden von H. Nakano, H. Tagami, A. Yoshizawa und J. Yamauchi in einem Artikel mit dem Titel ”Shortening Ratios of Modified Dipole Antenna”, veröffentlicht in IEEE Trans. Antennas Propagat., AP-32, S. 385–386. Im Jahr 1996 wurde eine Wicklungsantenne mit Bogenband-Form, die die Antennenlänge weiter verkürzt, offenbart in ”IEEE A2-S International Symposium”, S. 1566–1569, von M. All und S. S. Stuchly.
2 zeigt eine herkömmliche Chipantenne 20 eines Mäander-Typs. Die Chipantenne 20 besitzt ein Substrat 22 aus einem dielektrischen und/oder magnetischen Material. Ein Metalleiter 24 ist in oder auf der Außenoberfläche des Substrats wie eine Mäanderlinie oder eine Zickzacklinie (nicht gezeigt) angeordnet. Ein Ende des Metalleiters 24 wird als Speisepunkt 26 verwendet, der mit der Speiseanschlußfläche 28 verbunden ist. Durch Nutzung der inhärenten Eigenschaft, der Länge und der Anzahl der Windungen oder Kurven des Metalleiters kann das allgemeine Entwurfsprinzip bezüglich der Selbstanpassungsfunktionen erreicht werden, so dass die Antenne eine geeignete Resonanz und Abstrahlung aufweisen kann. Ein Nachteil dieses Typs von Chipantenne besteht jedoch darin, dass sie bei einer Reduktion der Größe eine begrenzte Reichweite aufweist.
Wie in 3 gezeigt, verwendet ein weiterer Typ einer herkömmlichen Chipantenne 30 ( US-Patent Nr. 5.764.198 A einen spiralförmig gewickelten Leiter 32 und einen Kondensator 34, der parallel angeschlossen ist, um die Anpassungsfunktion für die Antenne zu erreichen. Obwohl die Chipantenne dieses Typs eine reduzierte Größe aufweist, ist ihre Bandbreite beschränkt.
US 5 764 198 A zeigt weiterhin in 8 eine Chipantenne mit offenem Anpassungsleiter und kapazitiver Last.
Aus EP 0 766 340 A2 ist in 2 eine Chipantenne bekannt, bei der der Anpassungsleiter an einem Ende mit dem Mäanderleiter und am anderen Ende mit Masse verbunden ist. Die kapazitive Last besteht zur Leiterplatte.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine kompakte Chipantenne mit verbesserter Impedanzanpassung anzugeben.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Chipantenne, die die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale besitzt. Die abhängigen Ansprüche sind auf bevorzugte Ausführungsformen gerichtet.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden deutlich beim Lesen der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung, die auf die beigefügten Zeichnungen Bezug nimmt; es zeigen:
1 die bereits erwähnte Ansicht einer herkömmlichen Monopolantenne mit einer Viertelwellenlänge;
2 die bereits erwähnte perspektivische Ansicht einer herkömmlichen Chipantenne;
3 die bereits erwähnte perspektivische Ansicht einer weiteren herkömmlichen Chipantenne;
4 eine Chipantenne gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung;
5 einen Graphen, der die Kennlinie der Chipantenne gemäß der Erfindung zeigt;
6 eine Chipantenne gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;
7A eine Explosionsansicht, die eine Anordnung für einen Mäanderleiter, einen Speiseleiter und einen Anpassungsleiter gemäß der Erfindung zeigt;
7B eine Explosionsansicht, die eine weitere Anordnung für einen Mäanderleiter, einen Speiseleiter und einen Anpassungsleiter gemäß der Erfindung zeigt;
8 eine perspektivische Explosionsansicht, die eine Chipantenne gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung zeigt;
9 eine perspektivische Außenansicht, die die Chipantenne der 8 zeigt;
10 eine isolierte perspektivische Ansicht, die eine Ausführungsform für eine Masse, eine Speiseauschlußfläche und einen Speiseleiter sowie einen Anpassungsleiter gemäß der Erfindung zeigt;
11A eine perspektivische Teilvorderansicht, die eine Ausführungsform für einen Mäanderleiter, einen Speiseleiter und einen Anpassungsleiter gemäß der Erfindung zeigt;
11B eine perspektivische isolierte Vorderansicht des Mäanderleiters der 11A;
12 eine Explosionsansicht, die Schichten der Chipantenne der 8 zeigt;
13 eine perspektivische isolierte Ansicht, die eine weitere Ausführungsform für eine Masse, eine Speiseanschlußfläche und einen Speiseleiter sowie einen Anpassungsleiter gemäß der Erfindung zeigt;
14 eine weitere Ausführungsform für eine Masse, eine Speiseanschlußfläche und einen Speiseleiter sowie einen Anpassungsleiter gemäß der Erfindung;
15 eine weitere Ausführungsform für eine Masse, eine Speiseanschlußfläche und einen Speiseleiter sowie einen Anpassungsleiter gemäß der Erfindung; und
16 eine weitere Explosionsansicht, die Schichten der Chipantenne der 15 zeigt.
4 ist eine Teilexplosionsansicht einer ersten Ausführungsform gemäß der Erfindung. Ein Substrat 41, das aus einem dielektrischen Material gebildet ist, umfaßt z. B. Keramiken, Glas/Epoxydharz oder dergleichen. Ein Mäander-Metalleiter 42, der z. B. aus Gold, Silber, Silber-Palladium, Kupfer oder Legierungen gefertigt ist, ist mäanderartig im Substrat 41 angeordnet. Ein erstes Ende 421 des Mäanderleiters 42 ist mit einem ersten Abschnitt des Anpassungsleiters 45 verbunden. Ein zweites Ende 422 des Mäanderleiters 42 erstreckt sich in Längsrichtung mäanderartig in Richtung zur gegenüberliegenden Seite eines Lötkontaktes 44. Somit ist die Gesamtlänge der Chipantenne verkürzt, während die effektive Resonanzlänge und die Eigenschaften nahezu diejenigen einer Monopolantenne mit einer Viertelwellenlänge sind. Außerdem ist ein Ende des Speiseleiters 46 mit der Speiseanschlußfläche 43 verbunden, während das andere Ende des Speiseleiters 46 mit einem zweiten Abschnitt und dem ersten Abschnitt des Anpassungsleiters 45 verbunden ist.
Durch Kontrollieren der Länge des Mäanderleiters 42 wird entsprechend die Mittenfrequenz der Antenne beeinflußt. Außerdem kann der Mäanderleiter 42 vollständig oder teilweise an der äußeren Oberfläche des Substrats 41 plaziert sein, oder im Inneren desselben (nicht gezeigt). Um die Abmessungen der Antenne anzupassen, weist der Mäanderleiter 42 eine Mäanderform oder Zickzackform auf und ist in Längsrichtung oder spiralförmig in drei Dimensionen gewunden.
Wenn die Anzahl der Windungen des Mäanderleiters 42 zunimmt, nimmt der Abstrahlungswiderstand der Antenne ab und die Induktivität nimmt zu, was die gesamte Abstrahlungseffizienz und die Bandbreite der Antenne reduziert. Daher wird ein Anpassungsmetalleiter in der Erfindung verwendet, um die Abstrahlungseffizienz und die Bandbreite zu erhöhen. Die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist so konfiguriert, daß sie eine Streifenleitungsstruktur ausbildet, in der eine Masse 47 mit gegenüberliegenden Metallplatten den Anpassungsleiter 45 abschirmt. Außerdem ist die Masse 47 mit dem zweiten Abschnitt des Anpassungsleiters 45 verbunden, um somit eine Kurzschlußbedingung zu schaffen. Ferner ist es zulässig, eine spezifische Länge und/oder Breite für den Anpassungsleiter zu entwerfen oder zu implementieren, um die Eingangsimpedanz anzupassen und die gewünschte Bandbreite zu erreichen.
5 zeigt das Meßergebnis der Echodämpfung der Antenne gemäß der Erfindung. Genauer ist die Mittenfrequenz derselben auf 2,44 GHz gesetzt, wobei die Bandbreite (–10 dB) bis zu 220 MHz (ungefähr 9,2%) erreichen kann.
Eine Möglichkeit zum weiteren Reduzieren der Größe der Chipantenne ist in 6 gezeigt, die eine Mikrostreifenleitungsstruktur verwendet. Die Chipantenne in dieser Ausführungsform umfaßt ein Substrat 61, einen Mäanderleiter 62, eine Speiseanschlußfläche 63, einen Speiseleiter 66 und eine Anpassungseinheit.
Der Mäanderleiter 62 ist im Substrat 61 angeordnet. Ein Ende 621 des Mäanderleiters 62 ist mit einem ersten Abschnitt des Anpassungsleiters 65 verbunden. Das andere Ende 622 des Mäanderleiters 62 erstreckt sich in Längsrichtung mäanderartig in Richtung zur gegenüberliegenden Seite eines Lötkontaktes 64. Ein Ende des Speiseleiters 66 ist mit der Speiseanschlußfläche 63 verbunden. Das andere Ende des Speiseleiters 66 ist mit einem ersten und einem zweiten Abschnitt des Anpassungsleiters 65 verbunden. Die Anpassungseinheit dieser Ausführungsform umfaßt eine Masse 67 und einen Anpassungsleiter 65, der durch die Metallplatte der Masse 67 abgeschirmt ist. Genauer ist die Masse 67 mit einem zweiten Abschnitt des Anpassungsleiters 65 verbunden, um eine Kurzschlußbedingung zu schaffen. Wie oben beschrieben worden ist, ist es zulässig, eine spezifische Länge und/oder Breite für den Anpassungsleiter zu entwerfen oder zu implementieren, um somit die Eingangsimpedanz anzupassen und die gewünschte Bandbreite zu erreichen. Da außerdem die physikalische Fläche im Substrat, die von der Masse 67 belegt ist, reduziert wird, kann mehr Raum zur Nutzung durch den Mäanderleiter zugewiesen werden.
Eine Möglichkeit zum Erhöhen der Mittenfrequenz der Antenne besteht darin, die Länge eines Mäanderabschnitts 710 eines Mäanderleiters 711 zu verkürzen, wie in 7A gezeigt ist. In 7A ist der Mäanderäbschnitt 710 des Mäanderleiters 711 auf einer flachen Oberfläche einer der Substratschichten angeordnet. Genauer, ein Speiseleiter 713, die Anpassungsleiterabschnitte 715–712 und die Mäanderleiter 711 sind alle auf der gleichen Substratschicht angeordnet. Ein Anpassungsleiterabschnitt 717, der durch mehrere Substratschichten führt, ist mit der (nicht gezeigten) Masse an einem Oberflächenpunkt 719 verbunden. Es können unterschiedliche Größen und Breiten des Speiseleiters, des Anpassungsleiters und des Mäanderleiters verwendet werden.
Wie in 7B gezeigt, können unterschiedliche Komponenten oder Abschnitte, die sich auf den Mäanderleiter und den Anpassungsleiter beziehen, über unterschiedliche Substratschichten verteilt sein, um die Mittenfrequenz der Antenne zu reduzieren. Genauer, der Hauptabschnitt 720 des Mäanderleiters ist auf einer oberen Schicht des Substrats angeordnet; ein Ende 721 des Mäanderleiters ist mit dem ersten Abschnitt 722 eines Anpassungsleiters verbunden, wobei ein Endabschnitt 725 des Mäanderleiters auf einer anderen Substratschicht als derjenigen des Hauptabschnitts 720 angeordnet ist oder der Speiseabschnitt 723 auf einem Verbindungsabschnitt 724 (z. B. dem erweiterten Endabschnitt des Mäanderleiters) angeordnet ist, der ebenfalls durch mehrere Substratschichten führt. Der erste Abschnitt 722 führt durch mehrere Substratschichten und ist mit einem Speiseleiter 723 verbunden, einem Abschnitt 729 eines zweiten Anpassungsleiters. Der Abschnitt 729 eines zweiten Anpassungsleiters, der durch mehrere Substratschichten führt und mit einem weiteren Abschnitt 726 des zweiten Anpassungsleiters verbunden ist, ist auf einer Substratschicht angeordnet, die sich von den Substratschichten des Speiseabschnitts und des Hauptabschnitts unterscheidet. Der Abschnitt 726 ist ferner mit der (nicht gezeigten) Masse an einem Oberflächenpunkt 728 über einen Abschnitt 727 verbunden.
Der Mäanderleiter gemäß der Erfindung kontrolliert die Mittenfrequenz der Antenne und senkt die Gesamtgröße der Antenne, wobei die Anpassungseinheit gemäß der Erfindung die Ausgangsimpedanz der Antenne am Speisepunkt anpaßt. Somit ist die Bandbreite erhöht und die Größe wirksam reduziert.
Die 8 bis 16 zeigen eine Chipantenne gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. In 8 ist eine Masse 832, die durch drei Platten in Sektionen unterteilt ist, in einem Substrat 837 angeordnet, daß aus einem dielektrischen Material gebildet ist und z. B. Keramiken, Glas/Epoxyd oder dergleichen umfaßt. Eine Speiseanschlußfläche 831 ist auf der Oberfläche des Substrats 837 angeordnet und mit einem Speiseleiter 833 verbunden. Ein erster Anpassungsleiterabschnitt 835, der gebogen ist und durch mehrere Substratschichten führt, ist mit einem Mäanderleiter 836 verbunden, während ein zweiter Anpassungsleiterabschnitt 834 mit einer der drei Platten verbunden ist.
Die Art, in der die Speiseanschlußfläche 831 und die Masse 832 auf der Außenoberfläche des Substrats angeordnet sind, ist in 9 gezeigt.
In 10 umfassen drei Platten der Masse eine obere Platte 852, eine mittlere Platte 854 und eine untere Platte 856. Der zweite Anpassungsleiterabschnitt 834 ist mit der unteren Platte 856 verbunden und unterhalb der mittleren Platte 854 angeordnet, während der zweite Anpassungsleiterabschnitt hauptsächlich zwischen der oberen Platte 852 und der mittleren Platte 854 angeordnet ist. Somit wird eine Streifenleitungsstruktur für sowohl den ersten als auch den zweiter Leiterabschnitt 835 und 834 ausgebildet aufgrund der Tatsache, daß der zweite Leiterabschnitt 834 zwischen der unteren Platte 856 und der mittleren Platte 854 eingesetzt ist, wobei der Hauptabschnitt des ersten Leiterabschnitts 835 zwischen der oberen Platte 852 und der mittleren Platte 854 eingesetzt ist.
Die 11A und 11B zeigen den dreidimensionalen Aspekt des Mäanderleiters 836. Genauer, wie in 11A gezeigt, sind der erste und der zweite Anpassungsleiterabschnitt auf unterschiedlichen Ebenen bezüglich der vertikal angeordneten Speiseanschlußfläche 831 angeordnet, um die Wirkung des Impedanzaustausches zu erreichen. Durch die Parallelverbindung des ersten und des zweiten Anpassungsleiterabschnitts 835 und 834 wird eine Eingangsimpedanz-Anpassungsschaltung gebildet, wobei diese Schaltung in Serie mit dem Speiseleiter 833 und dem Mäanderleiter 836 verbunden ist. 11B zeigt die Art, in der der Mäanderleiter 836 sich relativ zu den x-, y- und z-Koordinaten erstreckt. Durch Erweitern in den Richtungen x, y und z und Erreichen von wenigstens zwei oder mehr unterschiedlichen Ebenen oder Schichten des Substrats können verschiedene Sektionen des Mäanderleiters spezifisch im Substrat 837 auf unterschiedlichen Tiefen und in unterschiedlichen Richtungen gesetzt werden. Außerdem kann die gewünschte Bandbreite erhalten werden durch eine Eingangsimpedanzanpassung mittels Verändern der Länge und der Breite des zweiten Anpassungsleiterabschnitts 834 und/oder des ersten Anpassungsleiterabschnitts 835.
In 12 ist eine Explosionsansicht des Substrats gezeigt, um verschiedene Orte z. B. der oberen, der mittleren und der unteren Platte 852, 854 und 856 bezüglich der unterschiedlichen Schichten des Substrats zu zeigen.
Wenn der erste Anpassungsleiterabschnitt 835 nicht zwischen den Platten eingesetzt ist, sondern nur von einer Platte (z. B. der mittleren Platte 854) abgeschirmt wird, wie in 13 gezeigt ist, wird eine Mikrostreifenleitungsstruktur ausgebildet. Im Gegensatz hierzu bildet der zweite Anpassungsleiterabschnitt 834, wie in 13 gezeigt, eine Streifenleitungsstruktur (siehe obige Beschreibung in bezug auf 10). Wenn im Gegensatz hierzu der zweite Anpassungsleiterabschnitt 834 mit nur einer Platte verbunden ist und von dieser abgeschirmt wird (z. B. der mittleren Platte 854), wie in 14 gezeigt ist, wird die Mikrostreifenleitungsstruktur vergleichbar dem ersten Leiterabschnitt 835 ausgebildet, der eine Streifenleitungsstruktur aufweist, da er hauptsächlich von sowohl der oberen Platte 852 als auch der mittleren Platte 854 abgeschirmt wird.
Eine Möglichkeit zum Vereinfachen der Strukturen, die in den 13 und 14 gezeigt sind, besteht darin, nur eine Mikrostreifenleitungsstruktur zu verwenden, wie in 15 gezeigt ist, so daß der zweite Anpassungsleiterabschnitt 834, der mit einem vereinfachten ersten Anpassungsleiterabschnitt 835' gekoppelt ist, mit der unteren Platte 856 verbunden ist und von dieser abgeschirmt wird. Die verschiedenen Orte z. B. des vereinfachten zweiten Anpassungsleiterabschnitts 835' und der unteren Platte 856 bezüglich der unterschiedlichen Ebenen oder Schichten des Substrats sind in 16 gezeigt.

Claims

Chipantenne, umfassend: ein Substrat (41; 837) aus einem dielektrischen Material mit einer oder einer Mehrzahl von Substratschichten einen Mäanderleiter (42; 836) als Abstrahlungselement, der auf einer der Substratschichten angeordnet ist, eine Speiseanschlussfläche (43; 831) zur Signalzuführung, die auf einer Oberfläche des Substrats (41; 837) ausgebildet ist, einen Speiseleiter (46; 833), der mit der Speiseanschlussfläche (43; 831) und dem Mäanderleiter (42; 836) zur Signalweiterleitung verbunden und auf einer der Substratschichten ausgebildet ist, und eine Anpassungseinheit aus einem Anpassungsleiter (45; 834, 835) auf einer der Substratschichten und einer Massefläche (47; 832) auf zumindest einer Oberfläche des Substrats (41; 837) zur Anpassung der Eingangsimpedanz und Bandbreite der Chipantenne, wobei der Anpassungsleiter (45; 834, 835) an einem Ende mit dem Mäanderleiter (42; 836) und dem Speiseleiter (46; 833) am anderen Ende mit der Massefläche (47; 832) verbunden ist, der Anpassungsleiter (45; 834, 835) von der Massefläche (47; 832) kapazitiv belastet ist, wobei die Massefläche (47; 832) eine erste Fläche (47) und eine mit der ersten Fläche (47; 852) verbundene zweite Fläche (47; 856) und dritte Fläche 147; 856) auf der Oberfläche des Substrats (41; 837) umfasst, die senkrecht auf der ersten Fläche (47) stehen und einander gegenüber liegen, wobei der Anpassungsleiter (45, 834, 835) zwischen den gegenüberliegenden Flächen (47; 852, 856) angeordnet ist.
Chipantenne nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Anpassungsleiter (45; 65; 834, 835) einen ersten Anpassungsleiterabschnitt (835) und einen zweiten Anpassungsleiterabschnitt (834) umfasst, wobei der zweite Anpassungsleiterabschnitt (834) mit dem Speiseleiter (46; 66; 833) und der Masse (47; 67; 832) verbunden ist und der erste Anpassungsleiterabschnitt (835) mit dem zweiten Anpassungsleiterabschnitt (834), dem Speiseleiter (46; 66 833) und dem Mäanderleiter (42; 62; 836) verbunden ist.
Chipantenne nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Anpassungsleiter (834, 835) und der Mäanderleiter (836) auf wenigstens zwei unterschiedlichen Substratschichten angeordnet sind.
Chipantenne nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Mäanderleiter (836) spiralförmig auf den Substratschichten gewunden ist und Sektionen umfaßt, die verbunden, jedoch auf unterschiedlichen Schichten des Substrats (41) separat angeordnet sind.
Chipantenne nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Mäanderleiter (42; 62) eine quadratische Form oder eine Z-Wellen-Form aufweist.
Chipantenne nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das dielektrische Material Keramikmaterialien umfasst.
Chipantenne nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Speiseleiter (833), der zweite Anpassungsleiterabschnitt (834) und der Mäanderleiter (836) auf wenigstens einer anderen Schicht der Substratschichten angeordnet sind.
Chipantenne nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Speiseleiter (833), der erste Anpassungsleiterabschnitt (835) und der Mäanderleiter (836) auf einer gleichen Substratschicht angeordnet sind.
Chipantenne nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Speiseleiter (833) und der erste Anpassungsleiter auf einer gleichen Substratschicht angeordnet sind.