DE10112460A1 - Mehrschicht-Induktor - Google Patents
Mehrschicht-InduktorInfo
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Abstract
Drei Dünnfilmspulen, mit isolierenden Schichten zwischen sich, sind auf dem Spulenwicklungsabschnitt des Kernbauglieds laminiert. Eine Anschlußelektrode ist elektrisch mit dem Endabschnitt der dritten Dünnschichtspule verbunden. Eine Anschlußelektrode ist elektrisch mit dem Endabschnitt der ersten Dünnfilmspule durch die Herausführungsöffnungsabschnitte und getrennten Bereiche verbunden. Auf diese Weise sind die Dünnfilmspulen zwischen den Anschlußelektroden elektrisch in Reihe geschaltet. Dann sind bei den Dünnfilmspulen die Wicklungsrichtungen der benachbarten Spulen, mit einer isolierenden Schicht zwischen sich, entgegengesetzt zueinander.
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Oberflächen
befestigungstyp-Mehrschicht-Induktor für die Verwendung als
Mehrschicht-Induktoren, insbesondere als Drosselspulen, LC-
Filter usw.
Unter den herkömmlichen Technologien ist ein Induktor, der
beispielsweise in der japanischen ungeprüften Patentveröf
fentlichung Nr. 5-41324 offenbart ist, bekannt. Der Induktor
ist mit einem säulenförmigen Magnetkern versehen, der aus ei
nem isolierenden, magnetischen Material, wie z. B. Ferrit, usw.
hergestellt ist. Auf der Oberfläche des Magnetkerns wird ein
Leiterfilm gebildet, und danach wird eine spiralspulenbilden
de Rille auf solche Weise gebildet, dass der Leiterfilm mit
einem Laserstrahl bestrahlt wird und sich der Laserstrahl in
eine Axialrichtung bewegt, während der Magnetkern gedreht
wird, und eine Spule, die den Magnetkern spiralförmig umgibt,
wird durch den verbleibenden Abschnitt des Leiterfilms gebil
det. Auf diese Weise wird ein herkömmlicher Induktor aus ei
ner Einschichtspule hergestellt.
Bei den herkömmlichen Induktoren werden Einrichtungen wie 1.
Verwenden eines Magnetkerns mit einer großen Querschnittsflä
che, 2. Erhöhen der Anzahl der Windungen der Spule und 3.
Verwenden eines magnetischen Materials mit einer hohen magne
tischen Permeabilität als ein magnetisches Kernmaterial all
gemein verwendet, um die Induktivität zu erhöhen. Die magne
tische Permeabilität der Magnetkerne und ihre Abmessungen
(Querschnittsfläche, Länge) sind jedoch selbstverständlich
beschränkt, und es ist schwierig, die gewünschte Induktivität
zu erhalten. Wenn darüber hinaus die Anzahl der Drehungen der
Spule durch Reduzieren der Breite eines Spulenleiters erhöht
wird, um die gewünschte Induktivität zu erhalten, entsteht
ein Problem dadurch, dass nicht nur der Gleichsignalwider
standswert der Spule erhöht wird, sondern sich auch der Güte
faktorwert der Spule verringert.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen kompak
ten Mehrschicht-Induktor zu schaffen, in dem eine hohe Induk
tivität realisiert werden kann.
Diese Aufgabe wird durch einen Mehrschicht-Induktor gemäß An
spruch 1 gelöst.
Um die obige Aufgabe zu lösen, umfasst ein Mehrschicht-
Induktor gemäß der vorliegenden Erfindung ein Kernbauglied,
eine Mehrzahl von Dünnfilmspulen, die spiralförmig gewickelt
und auf der Oberfläche des Kernbauglieds laminiert sind, und
Anschlusselektroden, die an den einzelnen Endabschnitten des
Kernbauglieds vorgesehen sind, wobei die Wicklungsrichtungen
der benachbarten Dünnfilmspulen, mit isolierenden Schichten
zwischen sich, einander entgegengesetzt sind, und wobei die
Mehrzahl der Dünnfilmspulen elektrisch in Reihe geschaltet
sind.
Dann ist es als eine Konstruktion zum elektrischen Verschal
ten der Dünnfilmspulen in Reihe wünschenswert, Trennabschnit
te zum elektrischen Verschalten der Dünnfilmspulen in Reihe
zu schaffen, wobei die Trennabschnitte zwischen einem Be
reich, in dem die Dünnfilmspulen vorgesehen sind, und den Be
reichen, in denen die Anschlusselektroden vorgesehen sind,
angeordnet sind, um den Umfang des Kernbauglieds zu umgeben,
wobei die benachbarten Dünnfilmspulen, mit den isolierenden
Schichten zwischen sich, durch einen Öffnungsabschnitt zum
Verbinden der Dünnfilmspulen, der in den Isolierschichten
vorgesehen ist, elektrisch in Reihe verbunden sind.
Das Kernbauglied ist beispielsweise hantelförmig. Dann ist es
wünschenswert, einen Identifikationsabschnitt zum Identifi
zieren der Richtung des Kernbauglieds entweder auf einer der
Endflächen oder einer Seitenfläche des Kernbauglieds anzuord
nen. Ferner ist entweder der Anfangsabschnitt oder der Endab
schnitt einer Spule, die die Mehrzahl der Dünnfilmspulen, die
elektrisch in Reihe geschaltet sind, umfasst, über Herausfüh
rungsöffnungsabschnitte, die in den isolierenden Schichten
vorgesehen sind, elektrisch mit der Anschlusselektrode ver
bunden.
Wenn wie oben beschrieben konstruiert, sind die Wicklungs
richtungen der benachbarten Dünnfilmspulen, mit den isolie
renden Schichten zwischen sich, einander entgegengesetzt, wo
bei jede einzelne Dünnfilmspule der Mehrzahl von Dünnfilmspu
len ein magnetisches Feld in der gleichen Richtung erzeugt,
und die Spulen eine Spule bilden. Auf diese Weise wird die
Länge des Kernbauglieds kürzer, und die Anzahl der Windungen
der Dünnfilmspulen erhöht sich im Vergleich mit einem Induk
tor, bei dem die Mehrzahl der Dünnfilmspulen Seite an Seite
in der Axialrichtung des Kernbauglieds angeordnet ist. Da
darüber hinaus eine Mehrzahl von Dünnfilmspulen, mit den iso
lierenden Schichten zwischen sich, auf dem Kernbauglied ange
ordnet ist, so dass sie eine gemeinsame Achse aufweisen, wird
verteilte Kapazität gleichmäßig zwischen den Dünnfilmspulen
erzeugt.
Darüber hinaus umfasst der Mehrschicht-Induktor gemäß der
vorliegenden Erfindung zweite Trennabschnitte zum Bilden ge
trennter Bereiche, die von den Dünnfilmspulen unterhalb den
Anschlusselektroden elektrisch abgetrennt sind, wobei die
zweiten Trennabschnitte zwischen dem Bereich, in dem die
Dünnfilmspulen vorgesehen sind, und den Bereichen, in denen
die Anschlusselektroden vorgesehen sind, angeordnet sind, um
den Umfang des Kernbauglieds zu umgeben.
Da die getrennten Bereiche und die Spule auf der Basis der
obigen Konstruktion elektrisch abgetrennt sind, ist ein Teil
der Spulen nicht kurzgeschlossen, selbst wenn Schichten un
terhalb der Anschlusselektroden kurzgeschlossen sind, und
demgemäss ist die Spulenkonstruktion nicht betroffen.
Die Vorzüge der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfin
dung werden nachfolgend, bezugnehmend auf die beiliegenden
Zeichnungen, näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt eines Mehrschicht-Induktors gemäß einem ersten Aus
führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
prozess des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 1 folgt;
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 2 folgt;
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 3 folgt;
Fig. 5 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des in Fig. 4 gezeigten Mehrschicht-Induktors zeigt;
Fig. 6 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 5 folgt;
Fig. 7 eine horizontale Schnittansicht des in Fig. 6 gezeig
ten Mehrschicht-Induktors;
Fig. 8 ein Ersatzschaltbild des in Fig. 6 gezeigten Mehr
schicht-Induktors;
Fig. 9A bis 9D perspektivische Ansichten, die Beispiele
eines Identifikationsabschnitts zeigen, der auf einer Endflä
che des Kernbauglieds vorgesehen ist;
Fig. 10A bis 10D perspektivische Ansichten, die Beispiele
eines Identifikationsabschnittes zeigen, der auf einer Seite
des Kernbauglieds vorgesehen ist;
Fig. 11 eine perspektivische Ansicht eines Herstellungs
schritts eines Mehrschicht-Induktors gemäß einem zweiten Aus
führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
Fig. 12 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 11 folgt;
Fig. 13 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 12 folgt;
Fig. 14 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 13 folgt;
Fig. 15 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 14 folgt;
Fig. 16 eine horizontale Schnittsansicht des in Fig. 15 ge
zeigten Mehrschicht-Induktors;
Fig. 17 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors gemäß einem dritten Ausfüh
rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
Fig. 18 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 27 folgt;
Fig. 19 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 18 folgt;
Fig. 20 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 19 folgt;
Fig. 21 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs
schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in
Fig. 20 folgt;
Fig. 22 eine horizontale Schnittansicht des in Fig. 20 ge
zeigten Mehrschicht-Induktors.
Hierin nachfolgend werden die Ausführungsbeispiele eines
Mehrschicht-Induktors gemäß der vorliegenden Erfindung zusam
men mit dem Herstellungsverfahren desselben mit Bezugnahme
auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
Wie in Fig. 1 gezeigt, besteht ein Kernbauglied 11 mit einer
Hantelform aus einem Spulenwicklungsabschnitt 11c mit einem
rechteckigen Querschnitt und einen quadratischen Querschnitt
und Flanschabschnitte 11a und 11b, die an beiden Enden des
Spulenwicklungsabschnitts 11c vorgesehen sind. Das Kernbau
glied 11 ist aus einem magnetischen Material, wie z. B. Ni-Zn-
Cu-Ferrit, usw., einem keramischen Material, wie z. B. nicht
magnetischem Aluminiumoxid, usw., einem Harzmaterial, usw.
hergestellt. Durch Hitzebehandlung des Kernbauglieds 11 und
Zink-Borosilikat-Systemglaspulver bei 800 bis 900°Celsius,
während es bewegt wird, wird das Glaspulver auf die Oberflä
che des Kernbauglieds 11 aufgebracht, um einen isolierenden
Überzugfilm 3 (siehe Fig. 7) zu bilden. Wie später beschrie
ben wird, soll dieser isolierende Überzugfilm 3 verhindern,
dass sich der magnetische Widerstand des Kernbauglieds 11
aufgrund der Verschlechterung des Kernbauglieds 11 durch ei
nen Laserstrahl, der das Kernbauglied 11 erreicht, wenn eine
Dünnfilmspule durch Bestrahlung des Laserstrahls gebildet
wird, verringert. Darüber hinaus kann Zink-Borosilikat in die
Oberfläche des Kernbauglieds 11 imprägniert werden, und außer
bei Glasmaterial kann ein Harz, wie z. B. Epoxidharz, usw.,
als Material für den isolierenden Überzugfilm 3 verwendet
werden. Ferner ist dieser isolierende Überzugfilm 3 nicht
notwendigerweise erforderlich, und ohne Bilden eines isolie
renden Überzugfilms 3 auf der Oberfläche eines Kernbauglieds
11 kann ein Dünnfilmleiter 12 (der nachfolgend beschreiben
wird) direkt gebildet werden.
Danach wird, wie in Fig. 2 gezeigt, auf der gesamten Oberflä
che des Kernbauglieds 1 durch ein Verfahren von außenstromlo
sen Plattieren, Zerstäuben bzw. Sputtern, usw. ein Dünnfilm
leiter 12 gebildet. Der Dünnfilmleiter 12 ist aus Cu, Ni, Ag,
Ag-Pd, usw. hergestellt. Danach wird das Kernbauglied 11
durch Einspannen in der Spindel (nicht dargestellt) einer La
serprozessiervorrichtung gehalten. Das Kernbauglied 11 wird
in die Richtung eines Pfeils K1 (im Uhrzeigersinn) durch An
treiben der Spindel gedreht und gleichzeitig parallel zu der
Richtung eines Pfeils K3 bewegt, und dann wird der Spulen
wicklungsabschnitt 11c des Kernbauglieds 11 mit einem Laser
strahl L bestrahlt. Auf diese Weise wird der Dünnfilmleiter
12 in dem Bereich, der mit dem Laserstrahl L bestrahlt wird,
entfernt, und eine spiralspulenbildende Rille 17 wird gebil
det. Somit ist eine erste Dünnfilmspule 22, die die externe
Oberfläche des Spulenwicklungsabschnitts 11c umgibt, gebil
det.
Danach wird, wie in Fig. 3 gezeigt, auf dem Dünnfilmleiter
12, in dem die spulenbildende Rille 17 gebildet wurde, eine
isolierende Schicht 27 gebildet. Die isolierende Schicht 27
ist aus einem isolierenden Material, wie z. B. einem Epoxid
harz, usw. hergestellt. Ein Teil der isolierenden Schicht 27
tritt in die spulenbildende Rille ein, und folglich ist die
Isolierung der Dünnfilmspule 22 verbessert.
Die isolierende Schicht 27 umfasst einen Dünnfilmspulen-
Verbindungsöffnungsabschnitt 31, der auf der einen Seite von
einem Ende (an der Seite des Flanschabschnitts 11a) des Spu
lenwicklungsabschnitts 11c des Kernbauglieds 11 angebracht
ist, und einen Herausführungsöffnungsabschnitt 41, der auf
dem Flanschabschnitt 11b angeordnet ist. Diese Öffnungsab
schnitte 31 und 41 umgeben das Kernbauglied 11 in der Um
fangsrichtung. Dann wird ein Verbindungsabschnitt 22a der
ersten Dünnfilmspule 22 in dem Öffnungsabschnitt 31 zum Ver
binden der Dünnfilmspule freigelegt, und der andere Verbin
dungsabschnitt 22b der Dünnfilmspule 22 ist in dem Herausfüh
rungsöffnungsabschnitt 41 freigelegt. Darüber hinaus können
die Öffnungsabschnitte 31 und 41 auch in der Form einer Mehr
zahl von geraden Linien, Flecken, gebogenen Linien usw., au
ßer einer geraden Linie sein, um eine elektrische Verbindung
zu gewährleisten.
Danach wird, wie in Fig. 4 gezeigt, auf der gesamten Oberflä
che des Kernbauglieds 11 ein Dünnfilmleiter 13 durch ein Ver
fahren von außenstromlosen Plattieren, Zerstäuben usw. ge
bildet. Zu diesem Zeitpunkt wird der Dünnfilmleiter 13 außer
dem in die Öffnungsabschnitte 31 und 41 gefüllt. Auf diese
Weise wird eine Wirkung des elektrischen Verbindens des Dünn
filmleiters 13 und des Dünnfilmleiters 12 und ein Keil-
Eintreibungs-Effekt des Erhöhens der physikalischen Stärke
des Dünnfilmleiters 13 erreicht. Danach wird das Kernbauglied
11 in die Richtung eines Pfeils K2 (gegen den Uhrzeigersinn)
gedreht und gleichzeitig parallel zu der Richtung des Pfeils
K3 bewegt, und dann wird das Kernbauglied 11 mit einem Laser
strahl L bestrahlt. Auf diese Weise wird der Dünnfilmleiter
13, in dem Abschnitt, der mit einem Laserstrahl bestrahlt
wird, entfernt, und eine spiralspulenbildende Rille 18 wird
gebildet. Folglich ist eine zweite Dünnfilmspule 23, die die
äußere Oberfläche des Spulenwicklungsabschnitts 11c in die
entgegengesetzte Richtung zu der Wicklungsrichtung der ersten
Dünnfilmspule 23 spiralförmig umgibt, gebildet. Diese zweite
Dünnfilmspule 23 ist durch den Dünnfilmspulen-
Verbindungsöffnungsabschnitt 31, der in der isolierenden
Schicht 27 gebildet ist, mit der ersten Dünnfilmspule
22 elektrisch in Reihe geschaltet.
Ferner wird, während das Kernbauglied 11 gedreht wird, der
Grenzabschnitt zwischen dem Flanschabschnitt 11b und dem Spu
lenwicklungsabschnitt 11c mit dem Laserstrahl L bestrahlt.
Auf diese Weise wird eine umgebende Trennrille 35, die den
Umfang des Kernbauglieds 11 umgibt, gebildet. Diese Trennril
le 35 soll die zweite Dünnfilmspule 23 mit der ersten Dünn
filmspule 22 elektrisch in Reihe schalten. Ein getrennter Be
reich 13a wird durch die umgebende Trennrille 35 von dem
Dünnfilmleiter 13 getrennt. Die zweite Dünnfilmspule 23 und
der getrennte Bereich 13a sind elektrisch abgetrennt.
Danach wird, wie in Fig. 5 gezeigt, eine isolierende Schicht
28 auf dem Dünnfilmleiter 13, in dem die spulenbildende Rille
18 gebildet ist, auf die gleiche Weise gebildet, wie die
isolierende Schicht 27. Wenn die isolierende Schicht 28
gebildet ist, tritt ein Teil der Schicht ebenfalls in die
spulenbildende Rille 18 und die umgebende Trennrille 35 ein.
Diese isolierende Schicht 28 umfasst einen Öffnungsabschnitt
32 zum Verbinden der Dünnfilmspule, die auf der Seite des
Flanschabschnitts 11b des Spulenwicklungsabschnitts 11c des
Kernbauglieds 11 angeordnet ist, und einen
Herausführungsöffnungsabschnitt 42, der in dem Flanschab
schnitt 11b angeordnet ist. Diese Öffnungsabschnitte 32 und
Diese Öffnungsabschnitte 32 und 42 umgeben das Kernbauglied
11 in der Richtung seines Umfangs. Dann wird ein Verbindungs
abschnitt 23b der Dünnfilmspule 23 in dem Öffnungsabschnitt
32 zum Verbinden der Dünnfilmspule freigelegt, und der ge
trennte Bereich 13a, der von dem Dünnfilmleiter 13 getrennt
ist, wird in dem Herausführungsöffnungsabschnitt 42 freige
legt.
Danach wird, wie in Fig. 6 gezeigt, auf der gesamten Oberflä
che des Kernbauglieds 11 durch ein Verfahren außenstromlosen
Plattierens, Zerstäubens usw. ein Dünnfilmleiter 14 gebil
det. Zu diesem Zeitpunkt wird der Dünnfilmleiter 14 in die
Öffnungsabschnitte 32 und 42 gefüllt. Danach wird, während
das Kernbauglied 11 in die Richtung des Pfeils K1 (im Uhrzei
gersinn) gedreht wird und gleichzeitig parallel zu der Rich
tung des Pfeils K3 bewegt wird, das Kernbauglied 11 mit dem
Laserstrahl bestrahlt. Auf diese Weise wird eine spiralspu
lenbildende Rille 19 und eine dritte Dünnfilmspule 24 gebil
det, die die äußere Oberfläche des Spulenwicklungsabschnitts
11c in die entgegengesetzte Richtung wie die Umwicklungsrich
tung der zweiten Dünnfilmspule 23 spiralförmig umwickelt.
Diese dritte Dünnfilmspule 24 ist durch den Dünnfilmspulen
verbindungsöffnungsabschnitt 32, der in der isolierenden
Schicht 28 gebildet ist, mit der zweiten Dünnfilmspule 23,
elektrisch in Reihe geschaltet.
Ferner wird, während das Kernbauglied 11 gedreht wird, der
Grenzabschnitt zwischen dem Flanschabschnitt 11b und dem Spu
lenwicklungsabschnitt 11c mit dem Laserstrahl L bestrahlt.
Auf diese Weise wird eine umgebende Trennrille 36, die den
Umfang des Kernbauglieds 11 umgibt, gebildet. Diese umgebende
Trennrille 36 soll die dritte Dünnfilmspule 24 mit der zwei
ten Dünnfilmspule 23 elektrisch in Reihe verschalten. Ein ge
trennter Bereich 14a ist durch die umgebende Trennrille 36
von dem Dünnfilmleiter 14 getrennt. Die Dünnfilmspule 24 und
der getrennte Bereich 14a sind elektrisch abgetrennt. Der ge
trennte Bereich 14a ist mit dem getrennten Bereich 13a, der
von dem Dünnfilmleiter 13 durch den Herausführungsöffnungsab
schnitt 42, der in der isolierenden Schicht 28 gebildet ist,
getrennt ist, elektrisch verbunden.
Danach wird, wie in Fig. 7 gezeigt, ein isolierender Umhül
lungsabschnitt 45, der aus einem isolierenden Harzmaterial,
wie z. B. Epoxidharz, usw., hergestellt ist, geschaffen, wobei
die Flanschabschnitte 11a und 11b ausgenommen sind, um die
drei Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 zu schützen. Ferner werden
die Oberflächen der Flanschabschnitte 11a und 11b durch Sn-
Plattieren, Ni-Cu-Sn-Plattieren usw. überzogen, um An
schlusselektroden 1 und 2 mit guten Lötcharakteristika usw.
zu bilden.
Bei einem Mehrschicht-Induktor 40 mit der obigen Konstruktion
sind die drei Dünnfilmspulen 22, 23 und 24, mit den isolie
renden Schichten 27 und 28 zwischen sich, auf der Spulenwick
lungsstruktur 11c des Kernbauglieds 11 laminiert. Die An
schlusselektroden 1 und 2 sind jeweils in den Flanschab
schnitten 11a und 11b des Kerbauglieds 11 gebildet. Die An
schlusselektrode 1 ist mit dem Endabschnitt der dritten Dünn
filmspule 24 elektrisch verbunden. Die Anschlusselektrode 2
ist durch die Herausführungsöffnungsabschnitte 42 und 41 und
die getrennten Bereiche 14a und 13a mit dem Endabschnitt der
ersten Dünnfilmspule 22 elektrisch verbunden. Auf diese Weise
sind die erste Dünnfilmspule 22, die zweite Dünnfilmspule 23,
und die dritte Dünnfilmspule 24 zwischen den Anschlusselekt
roden 1 und 2 elektrisch in Reihe geschaltet. Fig. 8 ist ein
elektrisches Ersatzschaltbild, das den Mehrschicht-Induktor
40 zeigt.
Darüber hinaus ist es wünschenswert, um das Durchführen einer
Reihe von Prozessen des Bildens der umgebenden Trennrillen 35
und 36, Bildens der Öffnungsabschnitte 31, 32, 41 und 42, Bil
dens der spulenbildenden Rille 17 bis 19, usw. zu ermöglichen,
in einer Endfläche oder einer Seitenfläche des Kernbauglieds
11 im voraus konkave Identifikationsabschnitte 67 zu schaf
fen, wie es in den Fig. 9A bis 9D oder den Fig. 10A bis
10D dargestellt ist. Wenn ein Identifikationsabschnitt 67 auf
einer Endfläche des Kernbauglieds 11 geschaffen ist, befindet
sich der Identifikationsabschnitt 67 in Richtung einer der
vier Seiten, so daß er von der Mitte der Endfläche entfernt
angeordnet ist. Wenn ein Identifikationsabschnitt 67 auf ei
ner Seitenfläche des Kernbauglieds 11 geschaffen ist, ist der
Identifikationsabschnitt 67 in dem Endabschnitt von einer der
Seitenflächen angeordnet. Deswegen kann die Richtung des
Kernbauglieds 11 identifiziert werden, und gleichzeitig können
die vier Seiten des Kernbauglieds 11 durch Verwendung des
Identifikationsabschnittes 67 identifiziert werden. Dement
sprechend kann die Verarbeitung der umgebenden Trennrille 35
und 36 usw. ordnungsgemäß durchgeführt werden, während die
Richtung und Seitenflächen des Kernbauglieds 11 auf der Basis
des Identifikationsabschnitts 67 ordnungsgemäß bestätigt wer
den. Darüber hinaus ist die Form des Identifikationsab
schnitts 67 beliebig und kann hervorstehend usw. sein.
Bei dem Mehrschicht-Induktor 40 kann, wenn die drei Dünn
filmspulen 22, 23 und 24, mit den isolierenden Schichten 27
und 28 zwischen sich, auf dem Spulenwicklungsabschnitt 11c
des Kernbauglieds 11 laminiert sind, die Länge des Kernbau
gliedes 11 verkürzt werden, und die Anzahl der Windungen der
Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 kann im Vergleich zu denen er
höht werden, die durch Anordnen von drei Dünnfilmspulen Seite
an Seite in der Richtung der Achse des Kernbauglieds gebildet
werden.
Außerdem ist bei den laminierten Dünnfilmspulen 22, 23 und
24, mit den isolierenden Schichten 27 und 28 zwischen sich,
die Richtung der Wicklung der benachbarten Dünnfilmspulen be
züglich einander entgegengesetzt, und folglich kann jede der
Dünnfilmspulen 22 bis 24 ein Magnetfeld in der gleichen Rich
tung erzeugen. Deshalb kann ein Mehrschicht-Induktor 40 mit
reduzierter Größe mit hoher Induktivität erhalten werden.
Außerdem wird, wenn die drei Dünnfilmspulen 22, 23 und 24, mit
den isolierenden Schichten 27 und 28 zwischen sich, so auf dem
Kernbauglied 11 angeordnet sind, daß sie koaxial sind, die
verteilte Kapazität zwischen den Dünnfilmspulen 22, 23 und 24
gleich erzeugt, und ein Verteilungskonstant-Typ-Mehrschicht-
Induktor 40 kann erhalten werden.
Bei dem Mehrschicht-Induktor 40 des ersten Ausführungsbei
spieles gibt es, weil der getrennte Bereich 13a und der Ver
bindungsabschnitt 22b der ersten Dünnfilmspule 22, die sich
unter der Anschlußelektrode 2 befinden, elektrisch durch die
Öffnungsabschnitte 41 und 42 verbunden sind, selbst wenn die
getrennten Bereiche 14a und 13a elektrisch durch Ritzel kurz
geschlossen sind, die durch Handhaben von Produkten, Druck
stellen von Stößen, Lot usw. verursacht sind, oder selbst
wenn der getrennte Bereich 13a und der Verbindungsabschnitt
22b elektrisch kurzgeschlossen sind, keinen Funktionsverlust.
Die Bereiche der Dünnfilmleiter 12 und 13, die sich unter der
Anschlußelektrode 1 befinden, sind jedoch elektrisch unabhän
gig voneinande, und folglich sind, wenn die Dünnfilmleiter 12
bis 14 elektrisch zwischen sich unter der Anschlußelektrode 1
kurzgeschlossen sind, ein Teil der Spulen kurzgeschlossen,
was die Spulenkonstruktion beeinflußt.
Dann wird bei dem vorliegenden zweiten Ausführungsbeispiel
ein Mehrschicht-Induktor beschrieben, bei dem, wenn Schichten
zwischen sich unter der Anschlußelektroden 1 und 2 kurzge
schlossen werden, ein Teil der Spulen elektrisch nicht kurz
geschlossen. Außerdem sind in den Fig. 11 bis 16, die die
Konstruktion des zweiten Ausführungsbeispiels darstellen, die
Abschnitte entsprechend denjenigen in den Fig. 1 bis 10,
die die Konstruktion des ersten Ausführungsbeispiels zeigen,
mit den entsprechenden Bezugszeichen versehen, und eine über
lappende Beschreibung wird weggelassen.
Wie in Fig. 11 gezeigt, wird der Dünnfilmleiter 12 auf der
gesamten Oberfläche des Kernbaugliedes 11 durch ein Verfahren
des stromlosen Plattierens usw. gebildet. Als nächstes wird
der Spulenwicklungsabschnitt 11c des Kernbauglieds 11 mit dem
Laserstrahl L bestrahlt. Auf diese Weise wird eine spiralspu
lenbildende Rille 17 in dem Dünnfilmleiter 12 gebildet; dann
wird die erste Dünnfilmspule 22, die die äußere Oberfläche
des Spulenwicklungsabschnittes 11c spiralförmig umgibt, ge
bildet.
Ferner wird der Grenzabschnitt zwischen dem Flanschabschnitt
11a und dem Spulenwicklungsabschnitt 11c mit dem Laserstrahl
L bestrahlt. Auf diese Weise wird eine umgebende Trennrille
50, die den Umfang des Kernbauglieds 11 umgibt, gebildet.
Diese umgebende Trennrille 50 trennt einen getrennten Bereich
12a von dem Dünnfilmleiter 12, um den getrennten Bereich 12a,
der elektrisch von der ersten Dünnfilmspule 22 unter einer
Anschlußelektrode 1, was später beschrieben wird, abgetrennt
ist, zu bilden.
Als nächstes wird, wie in Fig. 12 dargestellt, eine isolie
rende Schicht 27 auf dem Dünnfilmleiter 12 gebildet, in dem
die spulenbildende Rille 17 gebildet wird. Diese isolierende
Schicht 27 beinhaltet den Öffnungsabschnitt 31 zum Verbinden
einer Dünnfilmspule, die sich auf der Seite des einen Endes
(auf der Seite des Flanschabschnittes 11a) des Spulenwick
lungsabschnittes 11c des Kernbaugliedes 11 befindet, und der
Herausführungsöffnungsabschnitte 46 und 41, die sich in den
Flanschabschnitten 11a bzw. 11b befinden. Diese Öffnungsab
schnitte umgeben das Kernbauglied 11 in der Richtung seines
Umfangs. Dann wird ein Verbindungsabschnitt 22a der ersten
Dünnfilmspule 22 in dem Öffnungsabschnitt 31 zum Verbinden
einer Dünnfilmspule freigelegt; der andere Verbindungsab
schnitt 22b der ersten Dünnfilmspule 22 wird in dem Heraus
führungsöffnungsabschnitt 41 freigelegt, und der getrennte
Bereich 12a wird in dem Herausführungsöffnungsabschnitt 46
freigelegt.
Als nächstes wird, wie in Fig. 13 gezeigt, der Dünnfilmleiter
13 auf der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11 durch ein
Verfahren des außenstromlosen Plattierens usw. gebildet. Zu
diesem Zeitpunkt wird auch der Dünnfilmleiter 13 in die Öff
nungsabschnitte 31, 41 und 46 gefüllt. Als nächstes wird die
spiralspulenbildende Rille 18 in dem Dünnfilmleiter 13 unter
Verwendung des Laserstrahls gebildet. Auf diese Weise umgibt
die zweite Dünnfilmspule 23 spiralförmig die äußere Oberflä
che des Spulenwicklungsabschnittes 11c des Kernbauglieds 11
in der entgegengesetzten Richtung zu der Wicklungsrichtung
der ersten Dünnfilmspule 22. Die zweite Dünnfilmspule 23 ist
mit der ersten Dünnfilmspule 22 durch die Dünnfilmspule
elektrisch in Reihe geschaltet, die den Öffnungsabschnitt 31
verbindet, der in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist.
Außerdem wird jeder einzelne Grenzabschnitt zwischen dem
Flanschabschnitt 11a und dem Spulenwicklungsabschnitt 11c und
der Grenzabschnitt zwischen dem Flanschabschnitt 11b und dem
Spulenwicklungsabschnitt 11c mit dem Laserstrahl L bestrahlt.
Auf diese Weise werden die umgebenden Trennrillen 35 und 51,
die den Umfang des Kernbauglieds 11 umgeben, gebildet. Dann
werden die getrennten Bereiche 13a und 13b von dem Dünnfilm
leiter 13 durch die umgebenden Trennrillen 35 und 51 und die
zweite Dünnfilmspule 23 getrennt, und die getrennten Bereiche
13a und 13b werden elektrisch abgetrennt. Die umgebende
Trennrille 35 soll die zweite Dünnfilmspule 23 elektrisch mit
der ersten Dünnfilmspule 22 verbinden. Die umgebende Trenn
rille 51 soll den getrennten Bereich 13b bilden, der elekt
risch von der zweiten Dünnfilmspule 23 unter der Anschluße
lektrode 1 abgetrennt ist. Der getrennte Bereich 13a ist
elektrisch mit dem Verbindungsabschnitt 22b der ersten Dünn
filmspule 22 durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 41
verbunden, der in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist.
Der getrennte Bereich 13b ist elektrisch mit dem getrennten
Bereich 12a durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 36 ver
bunden, der in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist.
Als nächstes wird, wie in Fig. 14 dargestellt, eine isolie
rende Schicht 28 auf dem Dünnfilmleiter 13 mit der spulenbil
denden Rille 18, die darin gebildet ist, gebildet. Diese iso
lierende Schicht 28 enthält den Öffnungsabschnitt 32 zum Ver
binden einer Dünnfilmspule, die sich auf der Seite des
Flanschabschnittes 11b des Spulenwicklungsabschnittes 11c des
Kernbaugliedes 11 befindet, und der Herausführungsöffnungsab
schnitte 47 und 42, die sich in den Flanschabschnitten 11a
bzw. 11b befinden. Diese Öffnungsabschnitte 32, 42 und 47 um
geben das Kernbauglied in seiner Umfangsrichtung. Dann wird
ein Verbindungsabschnitt 23b der zweiten Dünnfilmspule 23 in
der Dünnfilmspule freigelegt, die einen Öffnungsabschnitt 32
verbindet; der getrennte Bereich 13a wird in dem Herausfüh
rungsöffnungsabschnitt 42 freigelegt, und der getrennte Be
reich 13b wird in dem Auslauföffnungsabschnitt 47 freigelegt.
Als nächstes wird, wie in Fig. 15 dargestellt, ein Dünnfilm
leiter 14 aus der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11
durch ein Verfahren des außenstromlosen Plattierens usw. ge
bildet. Dann wird der Dünnfilmleiter 14 auch in die Öffnungs
abschnitte 32, 42 und 47 gefüllt. Als nächstes wird eine spi
ralspulenbildende Rille 19 in dem Dünnfilmleiter 14 unter
Verwendung des Laserstrahls L gebildet. Dadurch wird die
dritte Dünnfilmspule 24 in der entgegengesetzten Richtung zu
der Wicklungsrichtung der zweiten Dünnfilmspule 23 gebildet.
Die dritte Dünnfilmspule 24 wird mit der zweiten Dünnfilmspu
le 23 durch die Dünnfilmspule elektrisch in Reihe geschaltet,
die den Öffnungsabschnitt 32 verbindet, der in der isolieren
den Schicht 28 gebildet ist.
Außerdem wird der Grenzabschnitt zwischen dem Flanschab
schnitt 11b und dem Spulenwicklungsabschnitt 11c mit einem
Laserstrahl L bestrahlt, um eine umgebende Trennrille 36 zu
bilden, die den Umfang des Kernbauglieds 11 umgibt. Die umge
bende Trennrille 36 soll die dritte Dünnfilmspule 24 mit der
zweiten Dünnfilmspule 23 in Reihe schalten. Der getrennte Be
reich 14a ist von dem Dünnfilmleiter 14 durch die umgebende
Trennrille 36 getrennt, und dann werden die dritte Dünnfilm
spule 24 und der getrennte Bereich 14a elektrisch abgetrennt.
Der getrennte Bereich 14a wird elektrisch mit dem getrennten
Bereich 13a verbunden, der von dem Dünnfilmleiter 13 durch
den Herausführungsöffnungsabschnitt 42 getrennt ist, der in
der isolierenden Schicht 28 gebildet ist. Auf der Seite des
Flanschabschnittes 11a wird der Verbindungsabschnitt der
dritten Dünnfilmspule 24 elektrisch mit dem getrennten
Bereich 13b durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 47 ver
bunden, der in der isolierenden Schicht 28 gebildet ist.
Dann wird, wie in Fig. 16 dargestellt, ein isolierender Um
hüllungsabschnitt 45, mit Ausnahme der Flanschabschnitte 11a
und 11b, geschaffen, um die Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 zu
schützen. Außerdem werden die Oberflächen der Flanschab
schnitte 11a und 11b mit Sn-Plattieren usw. beschichtet, um
die Anschlußelektroden 1 und 2 zu bilden.
Bei einem Mehrschicht-Induktor 40a, der wie oben aufgebaut
ist, werden zusätzlich zu dem Betrieb des Mehrschicht-
Induktors des ersten Ausführungsbeispiels, weil die getrenn
ten Bereiche 12a und 13b, die sich unter der Anschlußelektro
de 1 befinden, elektrisch von den Dünnfilmspulen 22 und 23
abgetrennt sind und elektrisch mit der Anschlußelektrode 1
durch die Öffnungsabschnitte 46 und 47 verbunden sind, selbst
wenn die Anschlußelektrode 1 und die getrennten Bereiche 12a
und 13b durch Ritzel beim Handhaben von Produkten, Druckstel
len von Stößen, Lot usw. kurzgeschlossen sind, ein Teil der
Spulen elektrisch nicht kurzgeschlossen, und die Schaltungs
konstanten werden nicht verändert.
Ein drittes Ausführungsbeispiel ist ein weiteres Ausführungs
beispiel des Mehrschicht-Induktors, bei dem, selbst wenn die
Schichten zwischen sich unter den Anschlußelektroden 1 und 2
kurzgeschlossen sind, ein Teil der Spulen elektrisch nicht
kurzgeschlossen ist. Außerdem werden bei den Fig. 17 bis
22, die die Konstruktion des dritten Ausführungsbeispiels
darstellen, die Abschnitte entsprechend jenen aus den Fig.
1 bis 10, die die Konstruktion des ersten Ausführungsbeispie
les zeigen, mit den entsprechenden Bezugszeichen versehen, und
eine überlappende Beschreibung wird weggelassen.
Wie aus Fig. 17 hervorgeht, wird der Dünnfilmleiter 12 auf
der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11 durch ein Ver
fahren des außenstromlosen Plattierens usw. gebildet. Als
nächstes wird der Spulenwicklungsabschnitt 11c des Kernbau
glieds 11 mit dem Laserstrahl L bestrahlt. Dadurch wird eine
spiralspulenbildende Rille 17 in dem Dünnfilmleiter 12 gebil
det; dann wird die erste Dünnfilmspule 22, die die äußere
Oberfläche des Spulenwicklungsabschnittes 11c spiralförmig um
gibt, gebildet.
Außerdem werden ein Teil des geneigten Abschnittes 71a auf
der Seite des Flanschabschnittes 11a und ein Teil des geneig
ten Abschnittes 71b auf der Seite des Flanschabschnittes 11b
mit dem Laserstrahl L bestrahlt. Auf diese Weise werden die
umgebenden Trennrillen 72 und 75, die den Umfang des Kernbau
glieds 11 umgeben, gebildet. Die umgebende Trennrille 72
trennt den getrennten Bereich 12a von dem Dünnfilmleiter 12
und soll den getrennten Bereich 12a bilden, der elektrisch
von der ersten Dünnfilmspule 22 unter der Anschlußelektrode 1
(was später beschrieben wird) abgetrennt ist. Auf die gleiche
Weise trennt die umgebende Trennrille 75 einen getrennten Be
reich 12b von dem Dünnfilmleiter 12 und soll den getrennten
Bereich 12b bilden, der sich unter einer Anschlußelektrode 2
(was später beschrieben wird) befindet und der elektrisch von
der ersten Dünnfilmspule 22 abgetrennt ist.
Als nächstes wird, wie in Fig. 18 dargestellt, eine isolie
rende Schicht 27 auf dem Dünnfilmleiter 12 mit der spulenbil
denden Rille 17, die darin gebildet ist, gebildet. Die iso
lierende Schicht 27 enthält eine Dünnfilmspule, die den Öff
nungsabschnitt 31 auf der Seite des Spulenwicklungsabschnit
tes 11c des geneigten Abschnittes 71a verbindet, und einen
Herausführungsöffnungsabschnitt 91 auf der Seite des Spulen
wicklungsabschnittes 11c des geneigten Abschnittes 71b. Diese
Öffnungsabschnitte 31 und 41 umgeben das Kernbauglied 11 in
seiner Umfangsrichtung. Dann wird ein Verbindungsabschnitt
22a der ersten Dünnfilmspule 22 in der Dünnfilmspule freige
legt, die den Öffnungsabschnitt 31 verbindet, und der andere
Verbindungsabschnitt 22b der ersten Dünnfilmspule 22 wird in
dem Herausführungsöffnungsabschnitt 41 freigelegt.
Als nächstes wird, wie in Fig. 19 dargestellt, ein Dünnfilm
leiter 13 auf der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11
durch ein Verfahren des außenstromlosen Plattierens usw. ge
bildet. Zu diesem Zeitpunkt wird auch der Dünnfilmleiter 13
in die Öffnungsabschnitte 31 und 41 gefüllt. Als nächstes
wird eine spiralspulenbildende Rille 18 in dem Dünnfilmleiter
13 unter Verwendung des Laserstrahls L gebildet. Dadurch wird
die zweite Dünnfilmspule 23, die die äußere Oberfläche des
Spulenwicklungsabschnittes 11c des Kernbauglieds 11 spiral
förmig umgibt, in der entgegengesetzten Richtung zu der Wick
lungsrichtung der ersten Dünnfilmspule 22 gebildet. Diese
zweite Dünnfilmspule 23 ist mit der ersten Dünnfilmspule 22
durch die Dünnfilmspule elektrisch in Reihe geschaltet, die
den Öffnungsabschnitt 31 verbindet, der in der isolierenden
Schicht 27 gebildet ist.
Außerdem wird auf der Seite des Flanschabschnittes 11b ein
Teil des Spulenwicklungsabschnittes 11c, auf der Seite des
Flanschabschnittes 11a ein Teil des geneigten Abschnittes
71a, und auf der Seite des Flanschabschnittes 11b ein Teil
des geneigten Abschnittes 71b mit dem Laserstrahl L be
strahlt. Auf diese Weise werden umgebende Trennrillen 35, 73
und 76, die das Kernbauglied 11 umgeben, gebildet. Die umge
bende Trennrille 35 ist elektrisch mit der zweiten Dünnfilm
spule 23 in Reihe mit der ersten Dünnfilmspule 22 geschaltet.
Die umgebende Trennrille 73 soll einen getrennten Bereich 13a
bilden, der elektrisch von der zweiten Dünnfilmspule 23 abge
trennt ist, und der sich unter der Anschlußelektrode 1 befin
det. Die umgebende Trennrille 76 soll einen getrennten Be
reich 13b bilden, der elektrisch von der zweiten Dünnfilmspu
le 23 abgetrennt ist, und der sich unter der Anschlußelektro
de 2 befindet.
Außerdem wird ein getrennter Bereich 13c, der zwischen den
umgebenden Trennrillen 35 und 76 gebildet ist, elektrisch mit
dem Verbindungsabschnitt 22b der ersten Dünnfilmspule 22
durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 41 verbunden, der
in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist.
Als nächstes wird, wie in Fig. 20 dargestellt, eine isolie
rende Schicht 28 auf dem Dünnfilmleiter 13 mit der spulenbil
denden Rille 18, die darin gebildet ist, gebildet. Die iso
lierende Schicht 28 enthält den Öffnungsabschnitt 32 zum Ver
binden einer Dünnfilmspule, die sich nahe des Flanschab
schnittes 11b befindet, in dem Spulenwicklungsabschnitt 11c
und einen Herausführungsöffnungsabschnitt 42, der sich nahe
dem Spulenwicklungsabschnitt 11c befindet, in dem geneigten
Abschnitt 71b. Diese Öffnungsabschnitte 32 und 42 umgeben das
Kernbauglied 11 in seiner Umfangsrichtung. Dann wird ein Ver
bindungsabschnitt 23b der zweiten Dünnfilmspule 23 in der
Dünnfilmspule, die den Öffnungsabschnitt 32 verbindet, frei
gelegt, und der getrennte Abschnitt 13c wird in dem Herausfüh
rungsöffnungsabschnitt 42 freigelegt.
Als nächstes wird, wie in Fig. 21 dargestellt, ein Dünnfilm
leiter 14 auf der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11
durch ein Verfahren des außenstromlosen Plattierens usw. ge
bildet. Zu diesem Zeitpunkt wird auch der Dünnfilmleiter 14
in die Öffnungsabschnitte 32 und 42 gefüllt. Als nächstes
wird eine spiralspulenbildende Rille 19 in dem Dünnfilmleiter
14 unter Verwendung des Laserstrahls L gebildet. Dadurch wird
die dritte Dünnfilmspule 24 in einer spiralförmig umgebenden
Richtung gebildet, die entgegengesetzt zu der umgebenden
Richtung der zweiten Dünnfilmspule 23 ist. Die dritte Dünn
filmspule 24 ist mit der zweiten Dünnfilmspule 23 durch die
Dünnfilmspule elektrisch in Reihe geschaltet, die den Öff
nungsabschnitt 32 verbindet, der in der isolierenden Schicht
28 gebildet ist.
Außerdem wird der Spulenwicklungsabschnitt 11c auf der Seite
des Flanschabschnittes 11b mit dem Laserstrahl L bestrahlt,
um eine umgebende Trennrille 36 zu bilden, die den Umfang des
Kernbauglieds 11 umgibt. Diese umgebende Trennrille 36 soll
die dritte Dünnfilmspule 24 in Reihe mit der zweiten Dünn
filmspule 23 schalten. Ein getrennter Bereich 14a wird von
dem Dünnfilmleiter 14 durch die umgebende Trennrille 36 ge
trennt, und dann werden die dritte Dünnfilmspule 24 und der
getrennte Bereich 14a elektrisch voneinander abgetrennt. Der
getrennte Bereich 14a wird elektrisch mit dem getrennten Be
reich 13c durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 42 ge
trennt, der in der isolierenden Schicht 28 gebildet ist.
Dann wird, wie in Fig. 22 dargestellt, eine isolierende Um
hüllung 45 geschaffen, wodurch die Flanschabschnitte 11a und
11b bleiben, um die Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 zu schützen.
Außerdem werden die Oberflächen der Flanschabschnitte 11a und
11b mit Sn-Plattieren usw. beschichtet, um die Anschluße
lektroden 1 und 2 zu bilden.
Bei einem Mehrschicht-Induktor 40b, der wie oben aufgebaut
wird, ist die Anschlußelektrode 1 elektrisch mit dem Endab
schnitt der dritten Dünnfilmspule 24 verbunden. Die Anschlu
ßelektrode 2 ist elektrisch mit dem Endabschnitt der ersten
Dünnfilmspule 22 durch die Herausführungsöffnungsabschnitte
42 und 41 und die getrennten Bereiche 14a und 13b verbunden.
Dadurch sind die Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 zwischen den
Anschlußelektroden 1 und 2 elektrisch in Reihe geschaltet.
Bei dem Mehrschicht-Induktor 40b wird, zusätzlich zu dem Be
trieb des Mehrschicht-Induktors 40 des ersten Ausführungsbei
spiels, weil die getrennten Bereiche 12a und 13a, die sich
unter der Anschlußelektrode 1 befinden, und die getrennten
Bereiche 12b und 13b, die sich unter der Anschlußelektrode 2
befinden, elektrisch von den anderen Leitern abgetrennt sind,
selbst wenn die Anschlußelektrode 1 und die getrennten Berei
che 12a und 13a oder die Anschlußelektrode 2 und die getrenn
ten Bereiche 12b und 13b elektrisch kurzgeschlossen sind, ein
Teil der Spulen nicht kurzgeschlossen.
Außerdem ist die vorliegende Erfindung nicht auf die oben be
schriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt, die
verschiedenartig geändert werden können, ohne sich von der
Wesensart und dem Schutzbereich der Erfindung zu entfernen.
Zum Beispiel kann ein säulenförmiges oder ein
zylinderförmiges Kernbau
glied mit einem kreisförmigen, dreieckigen, fünfeckigen oder
mehreckigen (mit mehr als fünf Seiten und Winkeln) Quer
schnitt anstelle eines hantelförmigen verwendet werden. Au
ßerdem sind, wenn eine Spule aus Dünnfilmspulen mit gerader
Anzahl aufgebaut ist, die elektrisch in Reihe geschaltet
sind, der Anfang und das Ende der Spule auf der Seite der
gleichen Anschlußelektrode angeordnet, und folglich können der
Anfang und das Ende der Spule so gemacht werden, dass sie
entsprechend mit verschiedenen Anschlußelektroden verbunden
sind, indem eine weitere Dünnfilmleiterschicht zum Zurückfüh
ren geschaffen wird.
Außerdem können die Trennrillen und die spulenbildenden Ril
len durch computergesteuerten Betrieb verarbeitet werden. Au
ßerdem wird eine dielektrische Schicht so gebildet, daß sie
eine Dünnfilmspule bedeckt, und die Elektroden als Kondensato
ren werden auf der dielektrischen Schicht gebildet; auf diese
Art kann ein Kondensator-eingebetteter Induktor gebildet wer
den. Weitere Induktoren, die elektronische Vorrichtungen, wie
z. B. Widerstände usw. enthalten, können darin gebildet wer
den.
Außerdem können, wenn die Trennrillen und spulenbildenden
Rillen gebildet werden, obwohl der Laserstrahl bei den obigen
Ausführungsbeispielen verwendet wird, ein Elektronenstrahl,
ein Ionenstrahl usw. verwendet werden, und sie können durch
ein Verfahren des Sandstrahlens, des Schneidens unter Verwen
dung einer Diamantsäge usw. gebildet werden. Außerdem wird
bei den obigen Ausführungsbeispielen, nachdem der Dünnfilm
leiter auf der gesamten Oberfläche des Kernbaugliedes gebil
det wurde, ein Verfahren des Bildens der Dünnfilmspule durch
Entfernen von unnötigen Abschnitten des Dünnfilmleiters, wie
bei den Trennrillen, spulenbildenden Rillen usw., verwendet
wird; dies ist aber nicht beschränkt, und ein Verfahren zum
Bilden der Dünnfilmspule durch Bereitstellen des Leiters nur
an einem notwendigen Abschnitt durch Zerstäuben, Verdunsten,
Plattieren usw., was als ein zusätzlicher Prozeß usw. bekannt
ist, kann angewendet werden.
Wie aus der obigen Beschreibung klar verständlich ist, werden
gemäß der vorliegenden Erfindung eine Mehrzahl von Dünn
filmspulen, mit isolierenden Schichten zwischen sich, lami
niert, und die Wicklungsrichtungen der benachbarten Dünn
filmspulen, mit einer isolierenden Schicht zwischen sich,
sind entgegengesetzt zueinander, und folglich erzeugt jede
der Dünnfilmspulen ein Magnetfeld in der gleichen Richtung.
Deshalb kann ein Induktor, der sehr klein ist, aber eine gro
ße Induktivität aufweist, erhalten werden. Außerdem wird,
wenn zwei Dünnfilmspulen, mit einer isolierenden Schicht zwi
schen sich, so auf dem Kernbauglied angeordnet sind, daß sie
eine gemeinsame Achse haben, die verteilte Kapazität gleich
erzeugt, und ein Verteilungskonstant-Typ-Mehrschicht-Induktor
kann erhalten werden.
Außerdem sind die zweiten Trennabschnitte, die den Umfang des
Kernbauglieds umgeben, zwischen einem Bereich, wo die Dünn
filmspulen vorgesehen sind, und Bereichen vorgesehen, wo die
Anschlußelektroden vorgesehen sind, damit die getrennten Be
reiche, die elektrisch von den Dünnfilmspulen abgetrennt wer
den, unter den Anschlußelektroden gebildet werden, und folg
lich wird, selbst wenn die Schichten unter den Anschluße
lektroden kurzgeschlossen werden, ein Teil der Spulen elekt
risch nicht kurzgeschlossen, und Schaltungskonstanten sollen
nicht geändert werden.
Claims (6)
1. Mehrschicht-Induktor (40; 40a; 40b) mit folgenden Merkma
len:
einem Kernbauglied (11);
einer Mehrzahl von Dünnfilmspulen (22, 23, 24), die spi ralförmig gewickelt sind und auf der Oberfläche des Kern bauglieds (11) laminiert sind, und
Anschlußelektroden (1, 2), die an den Endabschnitten des Kernbauglieds vorgesehen sind, wobei die Wicklungsrichtun gen der benachbarten Dünnfilmspulen (22, 23, 24), die iso lierende Schichten (27, 28) zwischen sich aufweisen, ent gegengesetzt zueinander sind, und wobei die Mehrzahl der Dünnfilmspulen (22, 23, 24) elektrisch in Reihe geschaltet ist.
einem Kernbauglied (11);
einer Mehrzahl von Dünnfilmspulen (22, 23, 24), die spi ralförmig gewickelt sind und auf der Oberfläche des Kern bauglieds (11) laminiert sind, und
Anschlußelektroden (1, 2), die an den Endabschnitten des Kernbauglieds vorgesehen sind, wobei die Wicklungsrichtun gen der benachbarten Dünnfilmspulen (22, 23, 24), die iso lierende Schichten (27, 28) zwischen sich aufweisen, ent gegengesetzt zueinander sind, und wobei die Mehrzahl der Dünnfilmspulen (22, 23, 24) elektrisch in Reihe geschaltet ist.
2. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß Anspruch 1, der ferner
erste Trennabschnitte zum elektrischen Verschalten der
Dünnfilmspulen (22, 23, 24) in Reihe aufweist, wobei die
ersten Trennabschnitte zwischen einem Bereich, an dem die
Dünnfilmspulen (22, 23, 24) vorgesehen sind, und den Be
reichen angeordnet sind, an denen Anschlußelektroden (1, 2)
vorgesehen sind, um den Umfang des Kernbaugliedes (11) zu
umgeben,
wobei die benachbarten Dünnfilmspulen (22, 23, 24), die
die isolierenden Schichten zwischen sich aufweisen, durch
einen Öffnungsabschnitt zum Verbinden der Dünnfilmspulen
elektrisch in Reihe geschaltet sind, die in den isolieren
den Schichten (27, 28) vorgesehen sind.
3. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß Anspruch 2, der ferner
zweite Trennabschnitte zum Bilden von getrennten Bereichen
(13a, 14a), die von den Dünnfilmspulen (22, 23, 24) unter
den Anschlusselektroden (1, 2) elektrisch getrennt sind,
aufweist, wobei die zweiten Trennabschnitte, die zwischen
dem Bereich, an dem die Dünnfilmspulen vorgesehen sind,
und den Bereichen angeordnet sind, an denen Anschluße
lektroden vorgesehen sind, um den Umfang des Kernbauglieds
zu umgeben.
4. Mehrschichtinduktor (40) gemäß Anspruch 2 oder Anspruch 3,
bei dem zumindest entweder der Anfang oder das Ende der
Spule, die die Mehrzahl von Dünnfilmspulen (22, 23, 24)
umfaßt, die elektrisch in Reihe geschaltet sind, mit der
Anschlußelektrode durch Herausführungsöffnungsabschnitte
(41, 42) elektrisch verbunden ist, die in den isolierenden
Schichten vorgesehen sind.
5. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1 bis
3, bei dem das Kernbauglied (11) hantelförmig ist.
6. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1 bis
3, bei dem ein Identifikationsabschnitt (67) zum Identifi
zieren der Richtung des Kernbauglieds (11) auf zumindest
entweder einer Endfläche oder einer Seitenfläche des Kern
bauglieds (11) vorgesehen ist.
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