DE10060205A1 - Vorrichtung zum Bestücken von Substraten mit elektrischen Bauteilen - Google Patents

Abstract

Ein Substrat (1) ist in einer Transportrichtung (x) unter einem querstehenden Träger (6) verfahrbar, entlang dem Führungsbahnen (7) für Bestückköpfe (8) in einer Bestückrichtung y verlaufen. An den Enden des Trägers (6) befinden sich Umlenkeinrichtungen (11), mit denen die Bestückköpfe (8) von der einen auf die andere Führungsbahn (6) gesetzt werden können. DOLLAR A Dadurch ist es möglich, die Bestückköpfe (8) umlaufend zu betreiben. Die Führungsbahnen (6) erstrecken sich dabei auch parallel zu Abholplätzen (10) für die zu bestückenden Bauteile. Durch eine Kombination aus der y-Position des jeweiligen Bestückkopfes (8) und der x-Position des Substrats (1) läßt sich die genaue Bestückposition des Bauteiles einstellen. Die Bauteile können in sehr kurzen zeitlichen Abständen abgeholt und aufgesetzt werden.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Bestücken zumindest eines Substrates (1) mit elektrischen Bauteilen, wobei das Substrat (1) mittels einer Transporteinrichtung (4) in einer Transportrichtung (x) verschiebbar ist, wobei zumin­ dest ein Bestückkopf (8) mit zumindest einem Greifer (12) für die Bauteile über dem Substrat (1) quer zur Transportrichtung (x) auf einer Bestückstrecke verfahrbar ist und dabei in ei­ ner Führungsbahn (7) eines stationären Trägers (6, 19) ge­ führt ist und wobei die Bauteile an Abholplätzen (10) bereit­ stellbar sind, über denen der Bestückkopf (8) mit dem Greifer (12) verfahrbar ist

Eine derartige Vorrichtung ist z. B. durch die EP 0 373 373 A bekannt geworden. Danach ist eine Leiterplatte auf einem Schlitten gehalten, der in der Transportrichtung verschiebbar ist. Quer zu dieser Transportrichtung erstreckt sich ein sta­ tionärer Balken mit zwei Führungsbahnen für je einen Bestück­ kopf entlang der beiden Längsseiten. Seitlich der Transpor­ teinrichtung sind modulare Zuführeinrichtungen für Bauteile angeordnet, deren Abholstellen senkrecht zur Transportrich­ tung der Leiterplatten aneinandergereiht sind. Der Balken ist so lang gehalten, dass die Bestückköpfe mit ihren Sauggrei­ fern für die Bauteile über die gesamte Bestückbreite und die gesamte Reihe der Abholstellen verfahren werden können. Die mittels einer Spindel angetriebenen Bestückköpfe sind in der Bestückrichtung ebenso wie der Schlitten in der Trans­ portrichtung feinstufig verstellbar. Durch Kombination der beiden Verfahrwege kann jeder beliebige Punkt der Leiterplat­ te definiert angesteuert werden.

Die Vorrichtung kann so gesteuert werden, dass jeweils einer der Bestückköpfe Bauteile auf die Leiterplatte aufsetzt, während der andere Bestückkopf Bauteile an den Abholstellen auf­ nimmt. Zwischen den Abholstellen und der Transporteinrichtung sind Kameras vorgesehen, mit denen die Position der Bauteile am Bestückkopf genau ermittelt werden kann, um sie anschlie­ ßend in eine montagegerechte Lage verdrehen zu können. Um beide Bestückköpfe jederzeit voll auslasten zu können, kann die Leiterplatte nicht schrittweise kontinuierlich in einer Richtung verfahren werden. Vielmehr wird es vorkommen, daß der Schlitten in großen Schritten hin und her bewegt werden muß, was mit beträchtlichem Antriebsaufwand und Zeitverlust verbunden ist.

Ferner ist durch die US 4951388 A ein Bestückautomat mit festem Drehtisch bekannt, bei dem die Leiterplatte in zwei Koordina­ tenrichtungen unter einer Bestückstation des in festen Win­ kelschritten angetriebenen Drehtischs verfahren wird. Die Be­ stückköpfe sind dem Drehtisch fest zugeordnet. Die Bauteile werden durch lineares Verschieben eines kompletten Bauteile­ tischs an einer Abholstation bereitgestellt. Um möglichst kurze Verschiebewege einzuhalten, bestimmt sich die Abholfol­ ge der Bauteile nach ihrer der Lage auf dem Bauteiletisch weitgehend unabhängig von der Bestückposition. Dies führt zu großen Verfahrwegen der Leiterplatte mit entsprechenden Ver­ zögerungen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Bestückvor­ richtung zu schaffen, deren Bestückleistung erheblich gestei­ gert werden kann.

Diese Aufgabe wird durch die Erfindung gemäß Anspruch 1 ge­ löst. Die Umlaufbahn kann mit mehreren Bestückköpfen belegt werden, die zeitgleich Bauteile abholen und auf die Leiter­ platte aufsetzen können und bei denen zugleich die Bauteile über der Kamera vermessen werden können. Ein besonderer Vor­ teil besteht darin, dass durch den Umlaufbetrieb die Reihen­ folge der Bauteile ihrer Flächenverteilung auf der Leiter­ platte angepaßt werden kann, so dass diese in kleinen Schritten in lediglich einer einzigen Richtung weiter transportiert werden muß, ähnlich wie dies beim Bedrucken von Papier mit einem Matrixdrucker geschieht. Mit dieser Abfolge ist es mög­ lich, die Bestückleistung entscheidend zu steigern.

Besonders vorteilhaft ist es, die Bestückköpfe mit einem ei­ genen Antrieb zu versehen und hinsichtlich ihrer Umlaufbewe­ gung voneinander zu entkoppeln, so dass ständig zugleich Bau­ teile abgeholt, vermessen, verdreht und auf die Leiterplatte aufgesetzt werden können. Durch diese Parallelisierung der Arbeitsinhalte der Bestückköpfe ist es ohne Zeitverlust mög­ lich, die Bauteile stationär mit hoher Präzision zu vermessen und in einer anschließenden Drehstation in ihrer Aufsetzlage zu verdrehen. Das bedeutet, dass die Bestückköpfe keinen ei­ genen Drehantrieb benötigen, wie die Greifer nach dem genann­ ten Stand der Technik.

Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß die Vorrichtung mit gleichbleibenden Funktionselemente unter­ schiedlichen Anforderungsprofile flexibel angepaßt werden kann. Z. B. kann die Bestückleistungsgrenze entsprechend der Anzahl der umlaufenden Bestückköpfe verschoben werden. Durch Verlängerung oder Verkürzung der Umlaufstrecke kann auch die Anzahl der Zuführeinrichtungen verändert werden. Lagert man z. B. die Bestückköpfe hängend an der Unterseite des Trägers, sind an den Umlenkstellen enge Kurven oder Querführungen mög­ lich, wodurch sich verschiedenartige Streckenprofile mit meh­ reren Abholbereichen und/oder Bestückstrecken realisieren lassen.

Ferner ist es auch im Sinne der Erfindung möglich, die Um­ laufstrecke über mehrere der Bestückvorrichtungen einer Be­ stückanlage mit einer entsprechenden Vielzahl von Bestücksta­ tionen zu führen, die somit funktional zu einer aus weitge­ hend autonomen Modulen gebildeten Vorrichtung zusammenzufas­ sen.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Un­ teransprüchen gekennzeichnet:
Durch die Weiterbildung nach Anspruch 2 kann die Vielfalt der bereitgestellten Bauteile erheblich gesteigert werden.

Durch die Weiterbildung nach Anspruch 3 ist es möglich, die Bestückköpfe in engem Abstand zueinander anzuordnen und so mit geringstem Zeitverlust aufeinanderfolgen zu lassen.

Durch die Weiterbildung nach Anspruch 4 können die Bestück­ köpfe in einfacher Weise zwischen den verschiedenen Führungs­ bahnen umgesetzt werden.

Durch die Weiterbildung nach Anspruch 5 ist es möglich, ent­ lang der verschiedenen Teilabschnitte eine große Anzahl von Abholplätzen vorzusehen.

Durch die Anordnung nach Anspruch 6 wird der Aufbau der Vor­ richtung erheblich vereinfacht.

Die zweite Führungsbahn nach Anspruch 7 ermöglicht eine zu­ sätzliche Bestückstrecke, auf der gleichzeitig mit der ande­ ren Bauteile auf die Leiterplatte aufgebracht werden können, wodurch sich die Bestückleistung entsprechend steigern läßt.

Durch die Weiterbildung nach den Ansprüchen 8 bis 10 kann die Bauteilevielfalt weiter erhöht werden. Es kann somit eine doppelt symmetrische Struktur von einfachem und übersichtli­ chem Aufbau geschaffen werden. Dabei wird die Rückführstrecke mit geringem Zusatzaufwand als zusätzliche Bestückstrecke ge­ nutzt, wodurch die Bestückleistung entsprechend erhöht werden kann. Die definierten Umlaufbahnen machen es möglich, die Be­ stückköpfe zum Beispiel in schleifender Stromabnahme mit elektrischer Energie zu versorgen. Der Datenaustausch zwi­ schen den Bestückköpfen und einer zentralen Steuerung kann zum Beispiel drahtlos abgewickelt werden.

Durch den Linearmotor nach Anspruch 11 können die Bestückköp­ fe in einfacher Weise individuell angetrieben und genau posi­ tioniert werden.

Die Anordnung nach Anspruch 12 stellt eine übliche Bauweise dar, deren Technologie gut beherrscht wird.

Die Zuordnung nach Anspruch 13 hat den Vorteil, keine eigene Stromversorgung für den Vortrieb zu benötigen und dass sich das Eigengewicht der Bestückköpfe durch die geringere Masse der Magnete im Vergleich mit Spulen verringert wird. Der mit den Spulen versehene Stator kann segmentweise so gesteuert werden, dass jeder der Bestückköpfe individuell angetrieben und positioniert werden kann.

Bei der Umlenkeinrichtung nach Anspruch 14 stellen die ein­ zelnen Segmente Teile der Führungsbahnen dar, so dass die Be­ stückköpfe mühelos hinein und wieder heraus gefahren werden können, wobei durch die Vervielfachung der Segmente nach An­ spruch 15 die Taktzeit entsprechend gesteigert werden kann.

Durch die Weiterbildung nach Anspruch 16 ist es möglich, die Leiterplatte in groben Schritten entsprechend dem waagerech­ ten Greiferhub anzutreiben. Auf diese Weise ist es möglich, zumindest zwei Bauteile in unterschiedlichen Spuren gleich­ zeitig innerhalb des jeweiligen Bestückstreifens auf die Lei­ terplatte aufzusetzen und so die Bestückleistung noch weiter zu steigern. Außerdem können durch den ausfahrbaren Greifer Abweichungen in diese Hubrichtung ausgeglichen werden, was insbesondere bei sehr kleinen Bauteilen von erheblicher Be­ deutung ist.

Durch die Weiterbildung nach Anspruch 17 ist es möglich, den Greifer mit geringster Masse auf und ab zu bewegen und so den Strombedarf des Bestückkopfes entsprechend gering zu halten.

Durch die Weiterbildung nach den Ansprüchen 18 und 19 können die Bauteile im Bestückrhythmus vermessen und verdreht wer­ den.

Die Zusatzeinrichtungen nach den Ansprüchen 20 können zum Beispiel als Abwurfbehälter für fehlerhafte Bauteile ausge­ bildet sein, so dass unmittelbar anschließend bereits neue Bauteile an den Abholplätzen aufgenommen werden können.

Durch die Weiterbildung nach Anspruch 21 ist es möglich, die beiden Transportstrecken voneinander entkoppelt zu betreiben. Eine solche Betriebsweise wird insbesondere bei in hohen Stückzahlen zu fertigenden Baugruppen mit geringer Substrat­ breite z. B. für Mobiltelefone gewählt.

Der Sensor nach Anspruch 22 dient der Erfassung von Referenz­ marken der Leiterplatte, wobei die Koordinaten durch das Po­ sitioniersystem der Transporteinrichtung und des Bestückkop­ fes in einfacher Weise erfaßt werden.

Die Sensoreinrichtung nach Anspruch 23 kann z. B. als umlau­ fende Kamera mit eigenem Antrieb wie bei den Bestückköpfen ausgebildet sein. Es ist aber auch möglich, die Kamera an ei­ nem der Bestückköpfe anzubringen und mit diesem umlaufen zu lassen ebenfalls zur Überwachung der Referenzmarken der Lei­ terplatte sowie von anderen Referenzmarken der Bestückvor­ richtung und der Zuführeinrichtungen genutzt werden. Auf die­ se Weise ist es möglich, z. B. temperaturbedingte Veränderun­ gen der Lagemarkierung zu überwachen und zu berücksichtigen.

Bei der Bestückvorrichtung nach Anspruch 24 ist die Lagebe­ stimmung und Lagekorrektur an den einzelnen Bauteilen komple­ xer als bei einer linearen Bestückstrecke. Jedoch entfallen hier die Umlenkeinrichtungen, was eine erhebliche Vereinfa­ chung darstellt.

Die passive Umlenkeinrichtung nach Anspruch 26 ermöglicht oh­ ne großen mechanischen Aufwand unterschiedliche Streckenfor­ men zur Anpassung an unterschiedliche Anforderungsprofile hinsichtlich der Bestückprozesse. Beispielsweise können die Bestückprozesse bei sehr hoher Substratmenge auf mehrere Vor­ richtungen aufgeteilt werden, die dann jeweils eine geringere Anzahl der Bauteiletypen und Zuführeinrichtung benötigen.

Um bei kleineren Substratmengen die verketteten Vorrichtungen nicht zu häufig umrüsten zu müssen, wird man hier bestrebt sein, möglichst viele der Bauteiletypen an einer Maschine be­ reitzustellen. In diesem Falle kann die Umlaufstrecke der Be­ stückköpfe so gestaltet werden, daß größere Anzahl der Zufüh­ reinrichtungen insbesondere nach Abspruch 26 angeordnet wer­ den können.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt in einer Stirnansicht eine Vorrichtung zum Be­ stücken von Substraten mit elektrischen Bauteilen,

Fig. 2 eine Draufsicht auf die Vorrichtung nach Fig. 1.

Fig. 3 eine Draufsicht auf eine andere Bestückvorrichtung

Fig. 4 eine Draufsicht auf eine weitere Bestückvorrichtung

Nach den Fig. 1 und 2 weist eine Vorrichtung zum Bestücken von Substraten 1 mit elektrischen Bauteilen zwei nebeneinan­ der liegende parallele Transportstrecken 2 auf, die jeweils aus einem Eingabeband 3, einer linearen schlittenartigen Transporteinrichtung 4 und einem Ausgabeband 5 bestehen, wo­ bei die Transporteinrichtung 4 zwischen dem Eingabeband 3 und dem Ausgabeband 5 verfahrbar ist. Über den Transportstrecken 2 erstreckt sich quer zur Transportrichtung x ein balkenarti­ ger Träger 6, der auf beiden Längsseiten Führungsbahnen 7 aufweist, in denen Bestückköpfe 8 zum Handhaben der Bauteile in einer Bestückrichtung y verschiebbar geführt sind. Die Führungsbahn 7 bildet über der Transportstrecke 2 eine Bestückstrecke 22 auf der die Bauteile in Kombination der x- und y-Bewegungen der Transporteinrichtung 4 und des jeweili­ gen Bestückkopfes 8 auf das Substrat 1 aufgesetzt werden kön­ nen.

Zu beiden Seiten der Transportstrecken 2 sind ferner modulare Zuführeinrichtungen 9 für die bereitgestellten Bauteile der­ art angeordnet, dass ihre Abholplätze 10 in der Längsrichtung der Führungsbahnen 7 aneinandergereiht sind. An den beiden Enden des Trägers 6 sind Umlenkeinrichtungen 11 vorgesehen, mittels derer die Bestückköpfe 8 von einer Führungsbahn auf die andere revolverartig umgesetzt werden können. Auf diese Weise ist es möglich, die Bestückköpfe 6 ähnlich wie eine um­ laufende Kette anzutreiben und kontinuierlich in der stets gleichen Richtung umlaufen zu lassen. Die Bestückköpfe 8 wei­ sen als Saugpipetten ausgebildete Greifer 12 für die elektri­ schen Bauteile auf. Die Abholplätze 10 für die Bauteile sind so angeordnet, dass sie unterhalb der Umlaufbahn der Greifer 12 liegen.

Die Substrate 1 sind auf den Transporteinrichtungen 4 so ge­ führt, dass sie während der Bestückphase von den Greifern 12 überfahren werden. Dabei ist die Reihenfolge der an den Grei­ fern gehaltenen Bauteile auf die Verteilung ihrer Bestück­ plätze in der Transportrichtung x der Substrate 1 abgestimmt, so dass die Transporteinrichtung 4 ohne Rückwärtsbewegung und in entsprechend kurzen Vorwärtsschritten zeitsparend ange­ trieben werden kann. Die Greifer 12 sind im Bestückkopf 8 kurzhubig in der Transportrichtung x verschiebbar. Dadurch ist es möglich, an zwei Bestückplätzen gleichzeitig Bauteile abzusetzen, deren x-Position geringfügig unterschiedlich ist.

Zwischen den Zuführeinrichtungen 9 und den Transporteinrich­ tungen 4 ist ein optischer Sensor 13 vorgesehen, mit dem die Lage des Bauteiles am Greifer 12 vermessen werden kann. Eine nachfolgende Dreheinrichtung 14 verdreht die Bauteile anhand der gemessenen Werte in die vorgesehene Einbaulage. Auf der jeweils gegenüberliegenden Seite des Trägers 6 sind Hilfsein­ richtungen in Form von Abwurfbehältern 15 für fehlerhafte Bauteile und eines Greiferwechslers 16 vorgesehen. An der Un­ terseite des Trägers 6 ist ferner eine in dessen Längsrich­ tung verschiebbare optische Sensoreinrichtung 17 angeordnet, mit deren Hilfe die Position von Lagemarkierungen auf den Substraten 1 vermessen werden kann.

Der Träger 6 und die Bestückköpfe 8 bilden Linearmotoren, bei denen die Spulenteile in den Bestückköpfen 8 und die Ma­ gnetteile entlang der Führungsbahnen 7 angeordnet sind. Die beiden Transporteinrichtungen 4 sind so gesteuert, dass eines der Substrate auf einer Seite des Trägers 6 und das andere auf der anderen Seite des Trägers 6 bestückt wird. Dadurch ist es möglich, die Bestückleistung erheblich zu steigern.

Die Bestückvorrichtung nach Fig. 3 unterscheidet sich von der Vorrichtung nach Fig. 2 im wesentlichen dadurch, daß die Bestückstrecke 23 und die Rückführstrecke in einer gemeinsa­ men Kreisbahn verlaufen und gleichmäßig gekrümmte Umlaufbahn der Bestückköpfe 8 an der Außenseite eines ringförmigen Trä­ gers 19 bilden. Aktive Umlenkeinrichtungen werden hier nicht benötigt. Vielmehr dienen die Zwischenabschnitten zwischen den Bestückstrecken 23 als passive Umlenkeinrichtungen, ohne sich strukturell von diesen zu unterscheiden.

Der Träger 19 überdeckt die Transportstrecke 2, zu deren bei­ den Seiten die strahlenförmig abstehenden Zuführeinrichtungen 9 in segmentierter Ringverteilung derart angeordnet sind, daß ihre Abholplätze 10 in der Umlaufbahn der Greifer 12 liegen. Die komplexeren geometrischen Beziehungen beim Positionieren der Bauteile auf dem Substrat lassen sich mit Hilfe einer leistungsfähigen Steuerung problemlos beherrschen. Der Träger 19 bildet den Stator einer ringförmigen Motoreinrichtung in der Art eines Linearmotors, dessen Sekundärteile den Bestück­ köpfe 8 zugeordnet sind. Eine wie einer der Bestückköpfe 8 umlaufende Sensoreinrichtung 26 ist mit einer CCT-Kamera versehen, mit deren Hilfe z. B. die Lage der Abholplätze 10 ver­ messen werden kann.

Die sich nach außen auseinander spreizenden Zuführeinrichtun­ gen 9 erleichtern den Zugang zu den Vorratsbändern für die Bauteile. Der Durchmesser der Umlaufbahn ist der Anzahl der benötigten Zuführeinrichtungen 9 angepaßt. Da die Trans­ portstrecke 2 die Umlaufbahn der Bestückköpfe 8 zweimal kreuzt, ergeben sich auch hier ebenfalls zwei Bestückstrecken 23, deren Abstand voneinander so groß ist, daß zwei hinter­ einanderliegende autonome Transporteinrichtungen 4 für je ei­ nes der Substrate 1 eingesetzt werden können. Ein ähnlicher Effekt läßt sich bei der Vorrichtung nach Fig. 2 dann errei­ chen, wenn der Wendedurchmesser der Umlenkeinrichtung größer ist als die Transporteinrichtung 4 lang.

Die Bauteile sind auf die beiden Abholstrecken so aufgeteilt, daß sie auf das jeweils nächste Substrat aufgesetzt werden. Sie werden sofort für die andere Seite frei und somit in ei­ nem Umlauf zweimal genutzt. Dabei ist lediglich darauf zu achten, daß die Gesamtbestückdauer auf jeder Seite annähernd gleich ist. Da hierbei die Substrate zeitlich abgestuft die Bauteile von beiden Seiten beziehen kann, die Anzahl der be­ reitgestellten Bauteiltypen verdoppelt werden.

Bei der Vorrichtung nach Fig. 4 ähnelt der in Fig. 3 darge­ stellten besonders in der Funktionsweise. Die Umlaufbahn ist ebenfalls an einem stationären Träger 20 ausgebildet, bei dem sich lineare und gekrümmte Abschnitte ohne aktive Umlenkein­ richtung abwechseln. Die Umlenkeinrichtungen 24 sind hier als Viertelkreisbögen des Trägers 20 zwischen den linearen Ab­ schnitten ausgebildet. Die linearen Bestückstrecken 22 über der Transportstrecke 2 erleichtern die Positionierung der Bauteile auf den Substraten 1 im Vergleich mit den gebogenen Bestückstrecken 23 nach Fig. 3. Ein weiterer linearer Ab­ schnitt 25 liegt im Abholbereich der Bauteile und verlängert die Abholstrecke, so daß an dieser zusätzliche Zuführeinrichtungen 9 angeordnet werden können. Der Abstand zwischen den beiden Bestückstrecken 22 ist hier durch einen Zwischentrans­ port 21 für die Substrate überbrückt.

Claims (26)

1. Vorrichtung zum Bestücken zumindest eines Substrates (1) mit elektrischen Bauteilen,
wobei das Substrat (1) mittels einer Transporteinrichtung (4) in einer Transportrichtung (x) verschiebbar ist,
wobei zumindest ein Bestückkopf (8) mit zumindest einem Grei­ fer (12) für die Bauteile über dem Substrat (1) quer zur Transportrichtung (x) auf einer Bestückstrecke (22, 23) ver­ fahrbar ist und dabei in einer Führungsbahn (7) eines statio­ nären Trägers (6, 19) geführt ist und
wobei die Bauteile an Abholplätzen (10) bereitstellbar sind, über denen der Bestückkopf (8) mit dem Greifer (12) verfahr­ bar ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß zusätzlich zur Bestückstrecke (22, 23) eine Rückführ­ strecke für den umlaufend verfahrbaren, autonom antreibbaren Bestückkopf (8) vorgesehen ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine Teilmenge der Abholplätze (10) entlang der Rückführstrecke angeordnet ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung eine Vielzahl der Bestückköpfe (8) auf­ weist, die abwechselnd Bauteile abholen und auf das Substrat (1) aufsetzen können.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Rückführstrecke und der Führungsbahn (7) Um­ lenkeinrichtungen (11) für den Bestückkopf (8) vorgesehen sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Rückführstrecke polygonal aus mehreren Teilstrecken gebildet ist und
daß an den Eckbereichen der Rückführstrecke weitere der Um­ lenkeinrichtungen (11) vorgesehen sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Rückführstrecke parallel zur Führungsbahn (7) ver­ läuft und
mit dieser an einem gemeinsamen stationären Träger (6) ange­ ordnet ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückführstrecke eine zweite Führungsbahn (7) auf­ weist, die in der Transportrichtung (x) betrachtet zur ersten im wesentlichen deckungsgleich angeordnet ist.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zu beiden Seiten der Transporteinrichtung (4) Abholplätze (10) vorgesehen sind, über die sich die Führungsbahnen (7) erstrecken.

9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (1) oder mehrere der Substrate (1) an beiden Führungsbahnen (7) mit Bauteilen bestückbar ist.

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsbahnen (7) zu beiden Längsseiten des statio­ nären länglichen Trägers (6) ausgebildet sind.

11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsbahn (7) und der Bestückkopf (8) als Linear­ motor ausgebildet sind.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß Magnetteile des Linearmotors am Träger (6) und Spulentei­ le des Linearmotors am Bestückkopf (8) angeordnet sind.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11 dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetteile dem Bestückkopf (8) und die Spulenteile dem Träger (6) zugeordnet sind.

14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkeinrichtung (11) zumindest ein zwischen den beiden Führungsbahnen (7) schwenkbares Segment (18) aufweist, das in der jeweiligen Übergabestellung eine Verlängerung der Führungsbahn (7) mit den Magnetteilen bzw. den Spulenteilen bildet.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkeinrichtung (11) mit zwei der revolverartig ro­ tierbaren Segmente (18) gleichzeitig mit beiden Führungsbah­ nen (7) fluchtet.

16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Greifer (12) im Bestückkopf (8) quer zu seiner Ver­ fahrrichtung verschiebbar ist und daß das Substrat (1) in groben Verfahrschritten in seiner Transportrichtung (x) ver­ schiebbar ist.

17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Greifer (12) im Bestückkopf (8) mittels eines Huban­ triebs senkrecht zur Substratoberfläche verschiebbar ist.

18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Abholplätzen (10) der Bauteile und der Transporteinrichtung (4) in der Bewegungsbahn der Greifer (12) zumindest ein vorzugsweise optischer Sensor (13) zur Feststellung der Lage der Bauteile an dem Bestückkopf (8) vorgesehen ist

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Sensor 13 und der Transporteinrichtung (4) eine Dreheinrichtung (14) zum Verdrehen der Bauteile am Be­ stückkopf (8) vorgesehen ist.

20. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Transporteinrichtung (4) und den Abholplät­ zen (10) zumindest ein Stellplatz für weitere Hilfseinrich­ tungen (16, 16) vorgesehen ist.

21. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß zwei der Transporteinrichtungen (4) für zwei der Substra­ te (1) nebeneinander angeordnet sind,
daß eines der Substrate (1) an einer der Führungsbahnen (7) bestückbar ist und
daß das andere Substrat (1) an der anderen Führungsbahn (7) bestückbar ist.

22. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an der der Leiterplatte zugewandten Unterseite des Trä­ gers (6) ein optische Sensoreinrichtung (17) zur Lagebestimmung der Substrate (1) in einer Bestückrichtung (y) verfahr­ bar ist.

23. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zumindest eine mit den Bestückköpfen (8) umlaufende Sensoreinrichtung (26) zum Erkennen von Struktur­ merkmalen im Umlaufbereich aufweist.

24. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestückstrecke (23) und die Rückführstrecke in einer gemeinsamen Kreisbahn verlaufen, entlang der auch die Abhol­ plätze (10) der Bauteile angeordnet sind.

25. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkeinrichtung (24) als stationäre bogenförmige Führungsbahn ausgebildet ist.

26. Vorrichtung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuführeinrichtungen (9) auch entlang der Umlenkein­ richtungen (24) angeordnet sind.