DE10057831A1 - Membranpumpe - Google Patents

Abstract

Eine Membran-Dosierpumpe mit einer einen Arbeitsraum (3) begrenzenden Arbeitsmembran (2) und einem Pumpantrieb für eine oszillierende Bewegung der Arbeitsmembrane (2), sowie mit einem Pumpenkopf, in dem ein Einlaßventil (7) und ein Auslaßventil (8) angeordnet sind, weist zumindest für eines dieser Ventile einen motorischen Ventilantrieb auf. DOLLAR A Das Einlaßventil (7) weist als motorischen Ventilantrieb einen elektromagnetischen Hubmagneten (9) auf, der einen mittels zueinander beabstandeter Blattfedern geführten Hubanker (17) hat. Dieser steht mit einem Ventilschließkörper in Antriebsverbindung. Der Ventilschließkörper des Einlaßentils (7) liegt in Schließstellung entgegen der Einströmrichtung an der Mündung eines Einströmkanals dichtend an. Diese Lagerung des Ankers des Hubmagneten ergibt eine Federparallelogrammführung, die praktisch verschleißfrei und verschmutzungsunempfindlich ist und die gleichzeitig in Hubrichtung eine exakte und radial spielfreie Führung für den Anker bildet. DOLLAR A Für das Einlaßventil sind nur geringe Betätigungskräfte erforderlich, da der Schließkörper während des Ausstoßtaktes von dem Druck im Arbeitsraum in Schließrichtung beaufschlagt und so eine gute Rücklaufdichtigkeit erzielt wird.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Membranpumpe, insbesondere eine Membran-Dosierpumpe mit einer, einen Arbeitsraum begrenzenden Arbeitsmembrane und einem Pumpantrieb für eine oszillierende Bewegung der Arbeitsmembrane, sowie mit einem Pumpenkopf, in dem ein Einlaßventil und ein Auslaßventil angeordnet sind, wobei zumindest eines dieser Ventile fremdgesteuert und mit einem motorischen Ventilantrieb verbunden ist.

Übliche Membranpumpen sind mit zwei selbsttätig arbeitenden Ventilen ausgerüstet. Diese werden durch den Fluiddruck geöffnet und entweder durch eine Vorspannkraft, zum Beispiel Federkraft oder Rückformkraft von Elastomerteilen, oder durch umgekehrte Druckverhältnisse bei rückströmendem Fluid geschlossen.

Bei zu geringer Vorspannkraft und kleinem Druckunterschied sind diese Ventile nicht rücklaufdicht. Bei Einsatz solcher Membranpumpen als Dosierpumpen beeinträchtigt dies die Dosiergenauigkeit der Pumpe. Eine große Vorspannkraft dagegen reduziert den erreichbaren Unterdruck beim Ansaugen (Saughöhe) erheblich. Es ist daher schon bekannt, mindestens auf der Saugseite der Pumpe ein fremdbetätigtes Ventil einzusetzen.

Als Ventile kommen Magnetventile in Frage, die die geforderte hohe Lebensdauer (Zyklenzahl) sowie die Leckagefreiheit können zum Beispiel handelsübliche Wippenventile mit Trennmembrane, bei denen über eine Wippe Ein- und Auslaßventil wechselweise geschlossen oder geöffnet werden, erfüllen. Diese müssen aber eine so große Schließkraft aufbringen, daß sie den Ventilquerschnitt gegen den Druck in der Pumpe, also dem Förderdruck einschließlich der dynamischen Druckspitzen in der Pumpe beim Ausschieben, geschlossen halten können. Dies erfordert relativ große Ventile und große Stellenergie. Andere, bekannte Magnetventile sind nicht leckagefrei oder weisen eine zu geringe Lebensdauer auf.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Membranpumpe der eingangs erwähnten Art zu schaffen, die saugseitig auch bei Einsatz also Dosierpumpe und bei geringen Druckdifferenzen rücklaufdicht ist, die eine geringe Betätigungskraft für das oder die fremdbe­ tätigten Ventile erfordert und wobei schließlich eine hohe Lebensdauer insbesondere auch des Ventilantriebs vorhanden ist.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird vorgeschlagen, daß zumindest das Einlaßventil als motorischen Ventilantrieb einen elektromagnetischen Hubmagneten aufweist, der einen mittels zueinander beabstandeter Blattfedern geführten Hubanker hat, der mit einem Ventilschließkörper in Antriebsverbindung steht und daß der Ventilschließkörper des Einlaßventiles in Schließstellung entgegen der Einströmrichtung an der Mündung eines Saugkanales dichtend anliegt.

Die Lagerung des Ankers des Hubmagneten mit Hilfe von wenigstens zwei Blattfedern ergibt eine Federparallelogrammführung, die praktisch verschleißfrei und verschmutzungsunempfindlich ist, da keine gleitführungsgelagerten Teile vorhanden sind. Gleichzeitig ist der Anker in Hubrichtung exakt und radial spielfrei geführt. Der Hubantrieb für das Einlaßventil und/oder gegebenenfalls auch für das Auslaßventil ist durch diese Maßnahmen besonders langlebig.

Durch die Anlage des Schließkörpers des Einlaßventiles an der Öffnung einer in den Ventilraum mündenden Zuleitung, sind nur geringe Betätigungskräfte erforderlich. Während des Ausstoßtaktes wird der Schließkörper von dem Druck im Arbeitsraum in Schließrichtung beaufschlagt, so daß ohne Stellkraft und praktisch selbstver­ stärkend eine gute Abdichtung auch bei hohen Drücken und damit eine hohe Rücklaufdichtigkeit erzielt wird.

Zweckmäßigerweise ist zumindest eine der Blattfedern der Hubanker- Führung in Schließrichtung des fremdbetätigten Ventiles vorgespannt. Das Ventil ist dadurch bei nichtaktiviertem Hubmagneten geschlossen und damit rücklaufdicht. Außerdem kann ein kostengün­ stiger, einfachwirkender Elektro-Hubmagnet verwendet werden, da die Blattfeder(n) die Schließbewegung des Ventiles übernimmt.

Vorteilhafterweise ist der elektromagnetische Hubmagnet seitlich neben dem Pumpengehäuse angeordnet und über eine, vorzugsweise in einer seitlichen Verlängerung des Pumpenkopfes untergebrachten Hebelkinematik mit dem vorzugsweise als Zungenventil ausgebildeten Einlaßventil verbunden. Durch diese Anordnung von Membranpumpe und Ventilantrieb nebeneinander wird insgesamt eine kompakte Bauweise und auch eine günstige Übertragung der Ventil-Antriebsbewegung von dem Hubmagneten erreicht.

Eine Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß das einen magnetischen Rückschluß bildende Gehäuse des Hubmagneten an einem Ende einen Durchlaß für den Anker oder die damit verbundene Achse aufweist, und daß die dort angeordnete, metallische Blattfeder den Luftspalt zwischen Gehäuse und Anker überbrückt.

Dadurch wird mit der Blattfeder der Luftspalt überbrückt und der Magnetkreis dort metallisch geschlossen. Der magnetische Fluß wird somit größer und ebenso die vom Magnet erzeugte Kraft. Bei gegebenem Kraftbedarf kann dadurch der Hubmagnet vergleichsweise klein dimensioniert sein.

Zweckmäßigerweise ist das Einlaßventil unmittelbar benachbart zum Arbeitsraum angeordnet. Der Schadraum kann dadurch kleingehalten werden und es wird entsprechend eine verbesserte Saugleistung erreicht.

Zusätzliche Ausgestaltungen der Erfindung sind in den weiteren Unteransprüchen aufgeführt. Nachstehend ist die Erfindung mit ihren wesentlichen Einzelheiten anhand der Zeichnung näher erläutert.

Die einzige Figur zeigt:
eine etwas schematisierte Querschnittdarstellung einer Membran- Dosierpumpe mit elektromagnetisch betätigtem Einlaßventil.

Eine in der Figur gezeigte Membran-Dosierpumpe 1 weist eine Arbeitsmembrane 2 auf, die einen Arbeitsraum 3 begrenzt und über einen Exzenter 4 mit einem Pumpantrieb verbunden ist.

Das Pumpengehäuse 5 hat einen Pumpenkopf 6, in dem ein Einlaßventil 7 sowie ein Auslaßventil 8 angeordnet sind.

Das Einlaßventil 7 ist fremdgesteuert und weist als Ventilantrieb einen elektromagnetischen Hubmagneten 9 auf. Dieser ist seitlich neben dem Pumpengehäuse 5 angeordnet und weist eine Antriebs­ verbindung auf, die in einer seitlichen Verlängerung 10 des Pumpenkopfes 6 untergebracht ist. Unterseitig dieser Verlängerung 10 ist der Hubmagnet 9 befestigt.

Die Dosierpumpe wird in einer Arbeitslage betrieben, in der sich der Saugkanal 11 unten und der Druckkanal 12 oben befinden, so daß eventuell vorhandene Luftblasen nach oben ausströmen können.

Der Hubmagnet 9 weist ein käfigförmiges Gehäuse 13 auf, in dem sich eine Spule 14 mit einer zentralen Durchtrittsöffnung 15 befindet. In diese Durchtrittsöffnung 15 ist ein hülsenförmiger Eisenpol 16 eingesetzt, der mit dem Gehäuse 13 verbunden ist und im Ausführungs­ beispiel etwas über dieses vorsteht. Dieser vorstehende Ansatz bildet hier einen Befestigungsvorsprung, über den der Hubmagnet 9 mit dem Pumpengehäuse und insbesondere dessen seitlicher Verlängerung 10 des Pumpenkopfes 6 verbunden ist.

Der bewegliche Anker 17 des Hubmagneten 9 ist koaxial zu dem hülsenförmigen Eisenpol 16 innerhalb der Durchtrittsöffnung 15 angeordnet und weist in Ausgangslage einen mindestens dem Arbeitshub entsprechenden Abstand von dem Eisenpol 16 auf. Außerdem ist der Anker 17 mit radialem Abstand zu der Durchtrittsöffnung 15 in der Spule 14 geführt.

Die mit dem Anker 17 verbundene Achse 18 steht am unteren Ende über den Anker 17 vor und durchgreift mit ihrem dem Anker 17 abgewandten Abschnitt den Eisenpol 16 und ragt ins Innere der Pumpenkopf- Verlängerung 10. An beiden Endbereichen der Achse 18 greifen jeweils eine Blattfeder 21, 22 an, die mit ihren anderen Enden mit dem Gehäuse der Pumpenkopf-Verlängerung 10 (Blattfeder 21) beziehungs­ weise mit dem Hubmagnet-Gehäuse 13 (Blattfeder 22) verbunden sind. Dadurch ist eine Parallelogrammführung gebildet, die ohne gleitführungsgelagerte Teile auskommt.

Die Blattfedern 21, 22 haben eine bestimmte Breite, so daß die Achse 18 und der damit verbundene Anker 17 in radialer Richtung praktisch starr und durch die federnde Nachgiebigkeit der Blattfedern 21, 22 in axialer Richtung bewegbar gelagert ist. In radialer Richtung ist die Lagerung dabei spielfrei. Vorteilhaft sind dabei außer der Verschleißfreiheit gleichbleibende Betätigungskräfte, da auch bei Verschmutzung keine unterschiedlichen Reibungen wegen der fehlenden, gleitführungsgelagerten Teile vorhanden sind.

Die Blattfeder 22 am unteren Ende des Hubmagneten 9 ist etwa C-förmig ausgebildet und mit ihren freien Enden am Hubmagnet-Gehäuse 13 befestigt. Etwa mittig ihrer Längserstreckung ist sie mit der Achse 18 und dem Anker 17 verbunden. Die C-förmige Blattfeder 22 bildet somit ein symmetrisches Führungsteil, durch welches der Anker 17 besonders stabil geführt ist. Zum Verbinden der Blattfeder 22 mit dem Anker 17 kann die Blattfeder 22 mittig eine Bohrung aufweisen, durch die das untere Ende der Achse 18 ragt, wobei diese Verbindung durch einen Sicherungsring 23 gehalten sein kann. Es können hier aber auch Schrauben oder Nieten zur Verbindung eingesetzt werden.

Das Hubmagnet-Gehäuse 13 weist an seinem unteren Ende, wo der Durchtritt des Ankers 17 vorgesehen ist, einen entsprechenden Durchlaß 31 auf. Damit ist für den Magnetkreis ein Luftspalt gebildet, der aber durch die C-förmige Blattfeder 22 überbrückt ist. Dadurch wird der magnetische Widerstand in dem Magnetkreis reduziert, da eine metallisch geschlossene Verbindung zwischen dem Gehäuse 13 und dem Anker 17 vorhanden ist. Der magnetische Fluß und damit die vom Magnet erzeugte Kraft können damit vergrößert werden.

Der weitere, zwischen dem Anker 17 und dem Eisenpol 16 vorhandene Luftspalt wird bei der Hubbewegung des Ankers 17 verkleinert.

Am oberen Ende ist die Achse 18 durch eine einfache Blattfeder 21 geführt, die mit ihrem anderen Ende zwischen Gehäuseteilen der Pumpenkopf-Verlängerung 10 eingespannt ist.

In der in der Figur gezeigten Ausgangslage hat der Anker 17 an seinem inneren Ende einen Abstand zu dem Eisenpol 16, der etwas größer ist als der maximale Arbeitshub zum Öffnen des Einlaßventiles 7. Dies kann durch Anschläge, vorzugsweise aber durch eine entsprechende Vorspannung der beiden Blattfedern 21 und 22 erreicht werden. Die Vorspannung ist auch so bemessen, daß in der gezeigten Ausgangslage, wo das Einlaßventil 7 geschlossen ist, auf den Ventilschließkörper 24 eine Kraft in Schließrichtung gemäß dem Pfeil Pf1 ausgeübt wird.

Die Verbindung zwischen der eine Hubbewegung gemäß dem Doppelpfeil Pf2 ausführenden Achse 18 und dem Ventilschließkörper 24 erfolgt mit Hilfe einer Hebelkinematik 25, die einen Wipphebel 26 aufweist, der mit seinem Antriebsende mit der stabförmigen Achse 18 und mit seinem anderen Ende mit dem Ventilschließkörper 24 verbunden ist. Im Verlauf der Längserstreckung des Wipphebels 26 ist eine Wipplagerung 27 vorgesehen, die den Wipphebel 26 dichtend umschließt und die auch einen Ventilraum 28 nach außen abdichtet. Sie ist als Elastomer-Durchführung ausgebildet, die mit dem Wipphebel vorzugsweise stoffschlüssig, also absolut dicht verbunden ist und die mit ihren Außenseiten zwischen Gehäuseunter- und -oberteil der Pumpenkopfverlängerung 10 dicht eingespannt ist.

Beim Bewegen des Wipphebels 26 gemäß dem Doppelpfeil Pf3 wird die auch eine Dichtung bildende Wipplagerung 27 elastisch verformt, wobei aber kein Gleiten des Hebels auftritt und somit eine statische, also vollständig leckfreie Abdichtung vorhanden ist.

Das ventilseitige Ende des Wipphebels 26 bildet eine Ventilzunge, innerhalb des Ventilraumes 28, die dem zuführenden Saugkanal 11 zugewandt mit dem aus einem elastischen Material bestehenden Ventilschließkörper 24 verbunden ist. Die innere Mündung des Saugkanales 11 ist mit einer Dichtkante 30 versehen, die durch eine äußere Ringnut begrenzt ist. Dadurch ist eine kleinflächige, ringförmige Dichtstelle gebildet, die nur einen sehr geringen Andruck für eine gute Abdichtung erfordert.

Der Ventilraum 28 ist über einen Verbindungskanal 29 mit dem Arbeitsraum 3 verbunden ist. Gut zu erkennen ist hierbei, daß das Einlaßventil praktisch unmittelbar benachbart zum Arbeitsraum 3 angeordnet ist, so daß nur ein kleiner Totraum vorhanden ist, der eine große Saughöhe beziehungsweise einen großen Unterdruck beim Betrieb der Pumpe ermöglicht.

Das antriebsseitige Ende des Wipphebels 26 ist mit der Ankerachse 18 verbunden. Der Wipphebel 26 weist dazu eine Öffnung für die Achse 18 auf, durch welche die Achse 28 ragt und beidseitig des Wipphebels 26 durch in Ringnuten eingesetzte Sicherungsringe 32 festgelegt ist. Jeweils zwischen Sicherungsring 32 und Wipphebel 26 sind O-Ringe aus Elastomer eingesetzt, so daß der Wipphebel 26 beidseitig elastisch eingeklemmt ist. Dadurch ist einerseits eine spielfreie Antriebsübertragung vorhanden und die Elastomer-Ringe dienen auch zur Geräuschdämpfung. Außerdem ist dadurch der für die Hubbewegung des Wipphebels notwendige Kippwinkel zwischen Wipphebel 26 und Anker- Achse 18 möglich. Es ist somit auch eine Gelenkfunktion in diesem Verbindungsbereich vorhanden. Der Kippwinkel ist bei den gegebenen Hebel- und Arbeitshub-Dimensionen sehr klein, so daß die elastische Verformbarkeit der O-Ringe für eine solche Bewegung ausreicht.

Durch die Lagerung des Wipphebels 26 nahe am ventilseitigen Ende ist auch noch eine Hebelübersetzung vorhanden, durch die eine geringe Antriebskraft des Hubmagneten 9 ausreicht, um die vergleichsweise geringe Öffnungsbewegung beim Einlaßventil 7 zu bewirken.

Das saugseitige Einlaßventil 7 öffnet zu Beginn des Ansaugtaktes und schließt bei dessen Ende. Zu beiden Zeitpunkten ist der Druckunterschied zwischen Saugkanal 11 und Arbeitsraum 3 gering und folglich reicht eine geringe Kraft zum Öffnen und Schließen des Ventiles. Während des Ausstoßtaktes ist der Druck im Arbeitsraum 3 groß. Dadurch wird das Einlaßventil 7 mit seinem Ventil­ schließkörper 24 an die Dichtkante 30 angepresst, was ohne zusätzliche Stellkraft erfolgt und auch bei großen Drücken eine gute Rücklaufdichtigkeit ergibt.

Der in Verbindung mit dem saugseitigen Einlaßventil vorbeschriebene Ventilantrieb kann auch für das druckseitige Auslaßventil 8 vorgesehen sein.

Bei fremdgesteuertem Einlaßventil 7 und fremdgesteuertem Auslaßventil 8 eröffnet sich auch die Möglichkeit der Umsteuerung der Förder­ richtung. Gerade bei einer Dosierpumpe ist diese Möglichkeit von Vorteil, weil nach einem Dosiervorgang mit Ausschub des Fördermediums aus dem Druckkanal 12, ein unerwünschtes Nachlaufen oder Nachtropfen von Fördermedium vermieden werden kann, indem die Förderrichtung umgeschaltet wird. Um das vorerwähnte Nachlaufen oder Nachtropfen von Fördermedium zu vermeiden, genügt in der Regel ein Teilhub der Arbeitsmembrane 2 bei umgesteuerter Ventilschließfolge.

Dies bedeutet, daß bei dem Saughub der Membrane 2 mit Vergrößerung des Arbeitsraumes 3 das Auslaßventil 8 geöffnet ist, während das Einlaßventil 7 geschlossen ist.

Die Dosiergenauigkeit der Dosierpumpe 1 kann durch diese Maßnahme wesentlich verbessert werden und es ist auch eine einfachere Handhabung beim Einstellen der Dosiermenge möglich.

Diese Membran-Dosierpumpe 1 mit fremdgesteuertem Ein- und Auslaßventil 7, 8 kann nicht nur für eine Rückförderung zur Vermeidung eines Nachlaufs, sondern wahlweise zur kontinuierlichen Förderung in beide Förderrichtungen eingesetzt werden.

Der Andruck der Ventilschließkörper in Schließstellung ist für diese Betriebsart den in Öffnungsrichtung einwirkenden Saugkräften entsprechend dimensioniert. Bei einer Rückförderung müßte demnach im Ausführungsbeispiel das Einlaßventil 7 bei einem Saughub geschlossen gehalten werden, während das Auslaßventil 8 geöffnet ist.

Zusammengefasst ergeben sich betreffend das saugseitige, als Zungenventil ausgebildete Einlaßventil 7 im wesentlichen folgende Vorteile:
Keine dynamische Dichtung nach außen, hermetisch dicht;
verschleißfrei;
Rücklaufdicht (geschlossen) und minimaler Druckverlust (offen), da fremdbetätigt;
Selbstschließend gegen Rückströmung;
Geringe Stellkraft.

Die Anordnung des saugseitigen Einlaßventiles nahe am Membranraum hat im wesentlichen folgende Vorteile:
Geringer Schadraum;
Maximaler Saugunterdruck (Saughöhe);
Kurzer Strömungsweg, geringer Druckverlust;
Kaum Toträume und nach oben ausströmend, damit allfällige Luftblasen aus der Pumpe gefördert werden.

Betreffend die Blattfeder-Parallelogrammführung der bewegten Teile des Magneten ergeben sich im wesentlichen nachfolgende Vorteile:
Verschleißfrei;
Beliebig hohe Zyklenzahl beziehungsweise Lebensdauer;
Blattfedern dienen gleichzeitig als Rückstellfedern;
Eliminieren eines Luftspaltes im Magnetkreis und dadurch höhere Magnetkraft.

Claims (12)

1. Membranpumpe, insbesondere Membran-Dosierpumpe (1) mit einer, einen Arbeitsraum (3) begrenzenden Arbeitsmembrane (2) und einem Pumpantrieb für eine oszillierende Bewegung der Arbeitsmembrane (2), sowie mit einem Pumpenkopf (6), in dem ein Einlaßventil (7) und ein Auslaßventil (8) angeordnet sind, wobei zumindest eines dieser Ventile fremdgesteuert und mit einem motorischen Ventilantrieb verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest das Einlaßventil (7) als motorischen Ventilantrieb einen elektromagnetischen Hubmagneten (9) aufweist, der einen mittels zueinander beabstandeter Blattfedern (21, 22) geführten Hubanker (17) hat, der mit einem Ventilschließkörper (24) in Antriebsverbindung steht und daß der Ventilschließkörper (24) des Einlaßventiles (7) in Schließstellung entgegen der Einströmrichtung an der Mündung eines Saugkanales (11) dichtend anliegt.

2. Membranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Anker (17) des Hubmagneten (9) mit einer stabförmigen Achse (18) verbunden ist, die mit ihren Enden über das Gehäuse des Hubmagneten (9) ragt und dort jeweils mit wenigstens einer Blattfeder verbunden ist, die mit ihren anderen Enden am Hubmagnet-Gehäuse (13) beziehungsweise dem Pumpenkopf (6) befestigt sind.

3. Membranpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der elektromagnetische Hubmagnet (9) seitlich neben dem Pumpengehäuse (5) angeordnet ist und über eine, vorzugsweise in einer seitlichen Verlängerung (10) des Pumpenkopfes (6) untergebrachten Hebelkinematik (25) mit dem vorzugsweise als Zungenventil ausgebildeten Einlaßventil (7) verbunden ist.

4. Membranpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebelkinematik einen Wipphebel (26) aufweist, der mit seinem Antriebsende insbesondere mit der stabförmigen Achse (18) des Hubmagneten (9) und mit seinem anderen Ende mit dem Ventil­ schließkörper (24) verbunden ist und daß im Verlauf der Längserstreckung des Wipphebels (26) eine Wipplagerung vorgesehen ist, die den Wipphebel (26) dichtend umschließt und die den Ventilraum nach außen abdichtet.

5. Membranpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Wipplagerung als Elastomerdurchführung und Dichtung ausgebildet ist und mit dem Wipphebel (26) dicht, vorzugsweise stoff­ schlüssig verbunden ist und daß die Wipplagerung (27) insbesondere nahe dem Ventil angeordnet ist.

6. Membranpumpe nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Wipphebel (26) an seinem Antriebsende eine Öffnung für die stabförmige Achse (18) aufweist und daß er dort elastisch zwischen zwei mit der Achse (18) verbundenen Anschlägen spielfrei gehalten ist.

7. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine der Blattfedern (21, 22) der Hubanker-Führung in Schließrichtung des fremdbetätigten Ventiles vorgespannt ist.

8. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das einen magnetischen Rückschluß bildende Gehäuse (13) des Hubmagneten (9) an einem Ende einen Durchlaß (31) für den Anker (17) oder die damit verbundene Achse (18) aufweist, und daß die dort angeordnete, metallische Blattfeder (22) den Luftspalt zwischen Gehäuse und Anker (17) überbrückt.

9. Membranpumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die den Luftspalt überbrückende Blattfeder (22) etwa C-förmig ausgebildet ist, mit ihren freien Enden benachbart zu dem Luftspalt am Gehäuse (13) des Hubmagneten (9) befestigt und etwa mittig ihrer Längserstreckung mit dem Anker (17) oder dessen Achse (18) verbunden ist.

10. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß in axialer Verlängerung des beweglichen Ankers (17) ein fest mit dem Hubmagneten-Gehäuse (13) verbundener Gegenpol (16) angeordnet ist, der einen zentralen Durchtrittskanal für die Hubmagnetachse (18) aufweist.

11. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Einlaßventil (7) unmittelbar benachbart zum Arbeitsraum (3) angeordnet ist.

12. Membranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Auslaßventil (8) mit einem elektro­ magnetischen Hubantrieb und/oder einer Hebelkinematik gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11 verbunden ist.