DE10056382A1 - Lichtquelle zur Beleuchtung in der Scanmikroskopie und Scanmikroskop - Google Patents
Lichtquelle zur Beleuchtung in der Scanmikroskopie und ScanmikroskopInfo
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Abstract
Die vorliegende Erfindung offenbart eine Lichtquelle zur Beleuchtung in der Scanmikroskopie und ein Scanmikroskop. Die Lichtquelle und das Scanmikroskop beinhalten eine elektromagnetische Energiequelle (3), die Licht (17) einer Wellenlänge emittiert und ein Mittel (5) zum räumlichen Aufteilen des Lichts in mindestens zwei Teillichtstrahlen (19, 21). In mindestens einem Teillichtstrahl (19, 21) ist ein Zwischenelement (9) zur Wellenlängenveränderung vorgesehen.
Description
Die Erfindung betrifft ein Lichtquelle zur Beleuchtung in der Scanmikroskopie.
Das Scanmikroskop kann auch als konfokales Mikroskop ausgestaltet sein.
Ferner betrifft die Erfindung ein Scanmikroskop. Im besonderen betrifft die
Erfindung ein Scanmikroskop, das einen von einem Beleuchtungssystem
erzeugten Lichtstrahl unter Zwischenschaltung mehrerer optischer Mittel über
ein Objekt führt und mindestens einen Detektor, der über die mehreren
optischen Mittel ein vom Objekt ausgehendes Licht empfängt.
In der Scanmikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um
das von der Probe emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten.
Der Fokus des Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren
Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in
einer Objektebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht
aufeinander stehen, so daß ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung
ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von
Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt
kommenden Lichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles
gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur
Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus
eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet.
Ein konfokales Rastermikroskop umfaßt im allgemeinen eine Lichtquelle, eine
Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende - die sog.
Anregungsblende - fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine
Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine
Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw.
Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird über einen Strahlteiler
eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht
gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert
diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden,
hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus
der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die
Detektionsblende nicht, so daß man eine Punktinformation erhält, die durch
sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt.
Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme
erzielt.
Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in festen
Zeitabständen während des Abtastvorganges gemessen und so Rasterpunkt
für Rasterpunkt abgetastet. Der Meßwert muss eindeutig der dazugehörigen
Scanposition zugeordnet werden, um aus den Meßdaten ein Bild erzeugen zu
können. Zweckmäßiger Weise werden hierfür die Zustandsdaten der
Verstellelemente der Strahlablenkeinrichtung laufend mitgemessen oder, was
allerdings weniger genau ist, direkt die Steuersolldaten der
Strahlablenkeinrichtung verwendet.
Es ist auch möglich in einer Durchlichtanordnung beispielsweise das
Fluoreszenzlicht oder die Transmission des Anregungslichtes kondensorseitig
zu detektieren. Der Detektionslichtstrahl gelangt dann nicht über die
Scanspiegel zum Detektor (Non-Descan-Anordnung). Für die Detektion des
Fluoreszenzlichtes wäre in der Durchlichtanordnung eine kondensorseitige
Detektionsblende nötig, um, wie in der beschriebenen Descan-Anordnung,
eine dreidimensionale Auflösung zu erzielen. Im Falle der
Zweiphotonenanregung kann jedoch auf eine kondensorseitige
Detektionsblende verzichtet werden, da die Anregungswahrscheinlichkeit vom
Quadrat der Photonendichte abhängt (Proportional Intensität^2), die
naturgemäß im Fokus viel höher ist als in den Nachbarregionen. Das zu
detektierende Fluoreszenzlicht stammt daher mit großer Wahrscheinlichkeit
zum aller größten Teil aus der Fokusregion, was eine weitere Differenzierung
von Fluoreszenzphotonen aus dem Fokusbereich von Fluoreszenzphotonen
aus den Nachbarbereichen mit einer Blendenanordnung überflüssig macht.
Das Auflösungsvermögen eines konfokalen Rastermikroskops ist unter
anderem durch die Intensitätsverteilung und die räumliche Ausdehnung des
Fokus des Beleuchtungslichtstrahles gegeben. Eine Anordnung zur
Steigerung des Auflösungsvermögens für Fluoreszenzanwendungen ist aus
der PCT/DE/95100124 bekannt. Hierbei werden die lateralen Randbereiche
des Beleuchtungsfokusvolumens mit Laserlicht einer anderen Wellenlänge,
das von einem zweiten Laser emittiert wird, beleuchtet, um dort die vom Licht
des ersten Lasers angeregten Probenbereiche stimuliert in den Grundzustand
zurück zu bringen. Detektiert wird dann nur das spontan emittierte Licht aus
den nicht vom zweiten Laser beleuchteten Bereichen, so daß insgesamt eine
Auflösungsverbesserung erreicht wird. Für dieses Verfahren hat sich die
Bezeichnung STED (Stimulated Emission Depletion) eingebürgert.
Im Bereich der STED-Mikroskopie werden üblicherweise zwei Laser
eingesetzt, nämlich einer zum Anregen eines Probenberechs und ein weiterer
zur Erzeugung der stimulierten Emission. Insbesondere zur Erzeugung der
stimulierten Emission sind hohe Lichtleistungen und gleichzeitig eine
möglichst flexible Wellenlängenauswahl erforderlich. Hierzu werden oft
Optisch parametrische Oszillatoren (OPO) eingesetzt. OPOs sind sehr teuer
und OPOs benötigen darüber hinaus leistungsstarke Pumplaser. Diese sind
meist modenverkoppelte Pulslaser die auch sehr teuer sind. Hinzu kommen
die Kosten für die Anregungslichtquelle. Alle Laser müssen ferner exakt
justiert werden, um die einzelnen Probenbereiche exakt zu treffen. Im Falle
der gepulsten Anregung muß darauf geachtet werden, daß die die stimulierte
Emission erzeugenden Lichtpulse innerhalb eines bestimmten Zeitraumes, der
von der Lebensdauer der angeregten Zustände des Probenmaterials abhängt,
nach den Anregungslichtpulsen eintreffen. Eine Synchronisation der Pulslaser
aufeinander ist aufwendig und funktioniert oft unbefriedigend und instabil.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Lichtquelle und ein
Scanmikroskop vorzuschlagen, die die aufgezeigten Probleme lösen.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Lichtquelle zur Beleuchtung in der
Scanmikroskopie gelöst, die dadurch gekennzeichnet ist, dass eine
elektromagnetische Energiequelle vorgesehen ist, die Licht einer Wellenlänge
emittiert und dass der elektromagnetischen Energiequelle ein Mittel zum
räumlichen Aufteilen des Lichts in mindestens zwei Teillichtstrahlen
nachgeschaltet ist und dass in mindestens einem Teillichtstrahl ein
Zwischenelement zur Wellenlängenveränderung vorgesehen ist.
Hinsichtlich eines Scanmikroskops wird die Aufgabe durch ein Scanmikroskop
mit einer Strahlablenkeinrichtung zur Führung eines Beleuchtungslichtstrahles
über eine Probe, einer Mikroskopoptik und einem Detektor, das dadurch
gekennzeichnet ist, dass eine elektromagnetische Energiequelle vorgesehen
ist, die Licht einer Wellenlänge emittiert und dass der elektromagnetischen
Energiequelle ein Mittel zum räumlichen Aufteilen des Lichts in mindestens
zwei Teillichtstrahlen nachgeschaltet ist und dass in mindestens einem
Teillichtstrahl ein Zwischenelement zur Wellenlängenveränderung vorgesehen
ist.
Durch den Einsatz der erfindungsgemäßen Lichtquelle wird die Beleuchtung in
der Mikroskopie und insbesondere in der STED-Mikroskopie sehr vereinfacht
und verbilligt, da nur eine elektromagnetische Energiequelle benötigt wird.
In einer besonderen Ausgestaltung dient ein Teillichtstrahl zur optischen
Anregung eines ersten Bereichs einer Probe. Ein weiterer Teillichtstrahl,
dessen Wellenlänge mit Hilfe eines Zwischenelementes verändert wird, wird
zur Erzeugung der stimulierten Emission in einem weiteren Bereich der Probe
verwendet. Hierbei überlappen der erste und der weitere Bereich zumindest
teilweise. Die Wellenlänge des zweiten Teillichtstrahles wird mit einem
Zwischenelement verändert. Dieses Zwischenelement ist vorzugsweise ein
Optisch-Parametrischer-Oszillator (OPO).
Die Erfindung hat den weiteren Vorteil, daß im Falle der gepulsten Anregung,
beispielsweise zum Zwecke der Mehrphotonenanregung, auf eine
Synchronisation von Pulslichtquellen zueinander verzichtet werden kann,
wenn die elektromagnetische Energiequelle, von der sowohl die Anregung, als
auch die stimulierte Emission verursacht wird, ein Pulslaser ist.
In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und
wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Lichtquelle,
Fig. 2 eine erfindungsgemäßes Scanmikroskop mit erhöhter
Auflösung durch STED in Descananordnung,
Fig. 3 eine erfindungsgemäßes Scanmikroskop mit erhöhter
Auflösung durch STED in Non- Descananordnung und
Mehrphotonenanregung,
Fig. 4a eine schematische Darstellung der sich einer Probe
überlappenden Teillichtstrahlen, und
Fig. 4b eine weitere schematische Darstellung der sich einer
Probe überlappenden Teillichtstrahlen.
Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Lichtquelle 1. Als elektromagnetische
Energiequelle 3 ist ein Pulslaser vorgesehen, der als Titan:Saphir-Laser
ausgeführt ist. Das Licht 17 des Pulslasers wird mit dem Mittel zum
räumlichen Aufteilen des Lichts, das als Strahlteiler 5 ausgeführt ist, in einen
ersten und zweiten Teillichtstrahl 19 und 21 aufgespalten. Der Teillichstrahl 21
gelangt über den Spiegel 7 zum Zwischenelement 9, das als optisch
parametrischen Oszillator ausgeführt ist. Der vom optisch parametrischen
Oszillator 9 ausgehende Teillichtstrahl 23 wird über den Spiegel 11 zum
dichroitischen Strahlvereiniger 13 geführt, um dort mit dem ersten
Teillichtstrahl 19 zum Beleuchtungslicht 15 vereinigt zu werden, das aus der
Lichtquelle 1 austritt. Die Spiegel 7 und 11 sind verkippbar gelagert, so daß
die relative Lage der Komponenten des Beleuchtungslichtes zueinander
eingestellt werden.
Fig. 2 zeigt ein erfindungsgemäßes Scanmikroskop, das als konfokales
Scanmikroskop ausgeführt ist. In der hier gezeigten Ausführung beinhaltet die
Lichtquelle 1 im Strahlengang des Teillichtstrahles 23 neben einem optisch
parametrischen Oszillator 9 ein Mittel zur Beeinflussung der Fokusform, das
als λ/2-Platte ausgeführt ist und nur vom mittleren Teil des Querschnitts des
Teillichtstrahles 23 durchstrahlt wird. Auch der Teillichtstrahl 19 gelangt zu
einem optisch parametrischen Oszillator 25. Der von dort ausgehende
Teillichtstrahl weist eine andere Wellenlänge auf und ist mit 27 bezeichnet.
Der Teillichtstrahl 23, der die λ/2-Platte passiert hat, wird zum dichroitischen
Strahlvereiniger 13 geführt, um dort mit dem Teillichtstrahl 27 zum
Beleuchtungslicht 29 vereinigt zu werden, das aus der Lichtquelle 1 austritt.
Der Beleuchtungslicht 29 wird von einem Strahlvereiniger 31 zur
Strahlablenkeinrichtung 33 reflektiert, das einen kardanisch aufgehängten
Scanspiegel 32 beinhaltet, der das Beleuchtungslicht 29 durch die Scanoptik
35, die Optik 37 und durch die Mikroskopoptik 39 hindurch über bzw. durch
die Probe 41 führt. Das Beleuchtungslicht 29 wird bei nicht transparenten
Proben 41 über die Probenoberfläche geführt. Bei biologischen Proben 41
(Präparaten) oder transparenten Proben kann das Beleuchtungslicht 29 auch
durch die Probe 41 geführt werden. Dies bedeutet, dass aus verschiedenen
Fokusebenen der Probe 41 nacheinander durch Beleuchtungslicht 29
abgetastet werden. Das Beleuchtungslicht 29 ist als durchgezogene Linie
dargestellt. Das von der Probe ausgehende Detektionslicht 43 gelangt durch
die Mikroskopoptik 39 und über das Scanmodul 33 zum Strahlteiler 31,
passiert diesen und trifft auf Detektor 47, der als Photomultiplier ausgeführt ist.
Das von der Probe 41 ausgehende Detektionslicht 43 ist als gestrichelte Linie
dargestellt. Im Detektor 47 werden elektrische, zur Leistung des vom Objekt
ausgehenden Detektionslichtes 43 proportionale Detektionssignale erzeugt
und an eine nicht gezeigte Verarbeitungseinheit weitergegeben. Vor dem
Detektor ist ein Bandpassfilter 48 angeordnet, der Licht der Wellenlänge der
Teillichtstrahlen 23 und 27 ausblendet. Das bei einem konfokalen
Scanmikroskop üblicherweise vorgesehene Beleuchtungspinhole 46 und das
Detektionspinhole 45 sind der Vollständigkeit halber schematisch
eingezeichnet. Weggelassen sind wegen der besseren Anschaulichkeit
hingegen einige optische Elemente zur Führung und Formung der
Lichtstrahlen. Diese sind einem auf diesem Gebiet tätigen Fachmann
hinlänglich bekannt.
Fig. 3 zeigt ein erfindungsgemäßes Scanmikroskop in Non-Descan-
Anordnung und Mehrphotonenanregung. Zur Beleuchtung dient im
Wesentlichen die in Fig. 1 gezeigte Lichtquelle 1, die zusätzlich noch ein Mittel
zur Beeinflussung der Fokusform, das als λ/2-Platte 61 ausgeführt ist und nur
vom mittleren Teil des Querschnitts des Teillichtstrahles 53 durchstrahlt wird,
beinhaltet. Der Teillichtstrahl 53, der die λ/2-Platte 61 passiert hat, wird über
den Spiegel 55 zum dichroitischen Strahlvereiniger 31 reflektiert, um dort mit
dem Teillichtstrahl 19 zum Beleuchtungslicht 51 vereinigt zu werden, das aus
der Lichtquelle 1 austritt. Die Beleuchtung der Probe 41 findet analog zu der in
Fig. 2 beschriebenen Anordnung statt. Eine Anregung eines Bereichs der
Probe 41 wird mit der Komponente des Beleuchtungslichtes 51 bewirkt, die
die Wellenlänge des Teillichtstrahles 19 ausweist. Die stimulierte Emission
wird mit der Komponente des Beleuchtungslichtes 51 erzeugt, die die
Wellenlänge des Teillichtstrahles 23 hat. Durch die λ/2-Platte 61 weist diese
Komponente des Beleuchtungslichtes 51 einen innen hohlen Fokus auf, was
eine Beschneidung des Emissionsvolumens in allen Raumrichtungen und
somit eine Auflösungssteigerung in axialer und lateraler Richtung zur Folge
hat.
Die Detektion findet bei dieser Ausführung kondensorseitig statt. Das von der
Probe 41 ausgehende Detektionslicht 57 wird vom Kondensor 59 fokussiert
und zum Detektor 49 geleitet, der als Photomultiplier ausgeführt ist. Vor dem
Detektor ist ein Bandpassfilter 48 angeordnet, der Licht der Wellenlängen des
Teillichtstrahles 23 ausblendet.
Fig. 4a verdeutlicht die räumliche Lage des ersten und des zweiten
Teillichtstrahls 19 und 23 innerhalb oder an der Oberfläche der zu
untersuchenden Probe 41. Der zweite Teillichtstrahl 23 besitzt einen größeren
Strahldurchmesser als der erste Teillichtstrahl 19, so dass der erste
Teillichtstrahl 19 von zweiten Teillichtstrahl 23 im Fokusbereich vollständig
umschlossen ist. Der zweite Teillichtstrahl 23 weist einen innen hohlen Fokus
auf. Durch die Überlappung des ersten und des zweiten Teillichtstrahls 19 und
23 wird im Fokusbereich ein 3-dimensionaler Überlappungsbereich 63
definiert, der in Fig. 4a als schraffierte Fläche dargestellt ist. Der Bereich der
im Fokusbereich des ersten Teillichtstrahls 19 und innerhalb des hohlen
Anteils des zweiten Teillichtstrahles 23 liegt, definiert das Emissionsvolumen
65.
Fig. 4b verdeutlicht ebenfalls die räumliche Lage des ersten und des zweiten
Teillichtstrahls 19 und 23 innerhalb oder an der Oberfläche der zu
untersuchenden Probe 41. Der zweite Teillichtstrahl 23 und der erste
Teillichtstrahl 19 überschneiden sich jeweils im Randbereich. Durch die
Überlappung im Randbereich des ersten und des zweiten Teillichtstrahls 19
und 23 wird im Fokusbereich ein 3-dimensionaler Überlappungsbereich 63
definiert, der in Fig. 4b als schraffierte Fläche dargestellt ist.
Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform
beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und
Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich
der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
1
Lichtquelle
3
Elektromagnetische Energiequelle
5
Strahlteiler
7
Spiegel
9
Zwischenelement
11
Spiegel
13
Strahlvereiniger
15
Beleuchtungslicht
17
Licht
19
erster Teillichtstrahl
21
zweiter Teillichtstrahl
23
Teillichtstrahl
25
optisch parametrischer Oszillator (OPO)
27
Teillichtstrahl
29
Beleuchtungslicht
31
Strahlvereiniger
32
Scanspiegel
33
Strahlablenkeinrichtung
35
Scanoptik
37
Optik
39
Mikroskopoptik
41
Probe
43
Detektionslicht
45
Detektionspinhole
46
Beleuchtungspinhole
47
Detektor
48
Bandpassfilter
49
Detektor
51
Beleuchtungslicht
53
Teillichtstrahl
55
Spiegel
57
Detektionslicht
59
Kondensor
61
λ/2-Platte
62
erster Bereich
63
Überlappungsbereich
65
Emissionsvolumen
Claims (20)
1. Lichtquelle (1) zur Beleuchtung in der Scanmikroskopie, dadurch
gekennzeichnet, dass eine elektromagnetische Energiequelle (3) vorgesehen
ist, die Licht (17) einer Wellenlänge emittiert, dass der elektromagnetischen
Energiequelle ein Mittel (5) zum räumlichen Aufteilen des Lichts in mindestens
zwei Teillichtstrahlen (19, 21) nachgeschaltet ist und dass in mindestens
einem Teillichtstrahl (21) ein Zwischenelement (9) zur
Wellenlängenveränderung vorgesehen ist.
2. Lichtquelle (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens ein Teillichtstrahl (19) direkt auf eine Probe (41) gerichtet ist und
dort einen ersten Bereich (62) optisch anregt.
3. Lichtquelle (1) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens ein weiterer Teillichtstrahl (21) über mindestens ein
Zwischenelement (9) auf einen zweiten Bereich der Probe (41) derart gerichtet
ist, daß dort ein Überlappungsbereich (63) ausgebildet ist.
4. Lichtquelle (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im
Überlappungsbereich (63) stimulierte Emission erzeugbar ist.
5. Lichtquelle (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das
Zwischenelement (9) ein optisch parametrischer Oszillator ist.
6. Lichtquelle (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das
Zwischenelement (9) ein Element zur Frequenzvervielfachung ist.
7. Lichtquelle (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem
Zwischenelement (9) ein Element zur Strahlformung nachgeschaltet ist.
8. Lichtquelle (1) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die
Anregung eine Mehrphotonenanregung ist.
9. Lichtquelle (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass die elektromagnetische Energiequelle (3) ein Laser ist.
10. Lichtquelle (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass die elektromagnetische Energiequelle (3) ein Pulslaser
ist.
11. Scanmikroskop mit einer Strahlablenkeinrichtung (33) zur Führung
eines Beleuchtungslichtstrahles (29, 51) über eine Probe, einer
Mikroskopoptik (39) und einem Detektor (47, 49), dadurch gekennzeichnet,
dass eine elektromagnetische Energiequelle (3) vorgesehen ist, die Licht (17)
einer Wellenlänge emittiert und dass der elektromagnetischen Energiequelle
(3) ein Mittel zum räumlichen Aufteilen des Lichts in mindestens zwei
Teillichtstrahlen (19, 21) nachgeschaltet ist und dass in mindestens einem
Teillichtstrahl ein Zwischenelement (9, 25) zur Wellenlängenveränderung
vorgesehen ist.
12. Scanmikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens ein Teillichtstrahl (19, 21, 23, 27, 53) direkt auf eine Probe (41)
gerichtet ist und dort einen ersten Bereich (62) optisch anregt.
13. Scanmikroskop nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens ein weiterer Teilstrahl (19, 21, 23, 27, 53) über mindestens ein
Zwischenelement (9, 25) auf einen zweiten Bereich der Probe derart gerichtet
ist, daß dort ein Überlappungsbereich 63 ausgebildet ist.
14. Scanmikroskop nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass im
m Überlappungsbereich (63) stimulierte Emission erzeugbar ist.
15. Scanmikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
das Zwischenelement (9, 25) ein optisch parametrischer Oszillator ist.
16. Scanmikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
das Zwischenelement (9, 25) ein Element zur Frequenzvervielfachung ist.
17. Scanmikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass
dem Zwischenelement (9, 25) ein Element zur Strahlformung nachgeschaltet
ist.
18. Scanmikroskop nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die
Anregung eine Mehrphotonenanregung ist.
19. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch
gekennzeichnet, dass die elektromagnetische Energiequelle (3) ein Laser ist.
20. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch
gekennzeichnet, dass die elektromagnetische Energiequelle (3) ein Pulslaser
ist.
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