DE102007056553A1 - Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul Download PDFInfo
- Publication number
- DE102007056553A1 DE102007056553A1 DE102007056553A DE102007056553A DE102007056553A1 DE 102007056553 A1 DE102007056553 A1 DE 102007056553A1 DE 102007056553 A DE102007056553 A DE 102007056553A DE 102007056553 A DE102007056553 A DE 102007056553A DE 102007056553 A1 DE102007056553 A1 DE 102007056553A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- coating process
- protective layer
- plastic
- piezoelectric actuator
- passivating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 239000004033 plastic Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 title claims abstract description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 title abstract 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 9
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 9
- 239000000446 fuel Substances 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 4
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 3
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 2
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 3
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 3
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- 244000188595 Brassica sinapistrum Species 0.000 description 1
- 235000004977 Brassica sinapistrum Nutrition 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002860 competitive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 150000004702 methyl esters Chemical class 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/02—Forming enclosures or casings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M2200/00—Details of fuel-injection apparatus, not otherwise provided for
- F02M2200/21—Fuel-injection apparatus with piezoelectric or magnetostrictive elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls (1) und einer das Piezoaktormodul (1) umgebenden Umhüllung zur elektrischen Passivierung vorgeschlagen, bei dem als passivierende Umhüllung eine Isolationsschutzschicht (6) aus Kunststoff aufgebracht wird, die mittels eines ersten oder zweiten Beschichtungsprozesses medienstabil gemacht wird, und dass mittels des zweiten Beschichtungsprozesses eine metallische Schutzschicht (7) auf die Isolationsschutzschicht (6) aus Kunststoff und die Anbindeteile (4, 5) galvanisch aufgebracht wird.
Description
- Stand der Technik
- Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein Piezoaktormodul sowie ein von flüssigen Medien umströmtes Piezoaktormodul mit einer Umhüllung an Anbindebauteile, vorzugsweise zur Verwendung in einem Piezoinjektor, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Verfahrensanspruchs 1 und des Anspruchs 7.
- Ein solcher Piezoinjektor besteht im wesentlichen aus einem Haltekörper und dem in dem Haltekörper angeordneten Piezoaktormodul, das den zwischen einem Kopf- und Fußteil als Anbindebauteile angeordneten Piezoaktor aus mehreren übereinandergestapelten Piezoelementen zur Bildung des Piezoaktormoduls aufweist.
- Es ist an sich bekannt, dass zum Aufbau des zuvor erwähnten Piezoaktors bzw. Piezoaktormoduls Piezoelemente so eingesetzt werden können, dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts eine Steuerung des Nadelhubes eines Ventils oder dergleichen vorgenommen werden kann. Piezolagen der Piezoelemente sind aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur so aufgebaut, dass bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung eine mechanische Reaktion des Piezoelements erfolgt, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt. Derartige Piezoaktoren eignen sich beispielsweise für Anwendungen, bei denen Hubbewegungen unter hohen Betätigungskräften und hohen Taktfrequenzen ablaufen.
- Beispielsweise ist ein solcher Piezoaktor als Bestandteil eines Piezoinjektors in sogenannten Common Rail Einspritzsystemen (CR-Injektor) aus der
DE 10026005 A1 bekannt. Bei diesem Piezoaktor sind ebenfalls Piezoelemente als Stapel angeordnet, der über einen Aktorfuß und einen Aktorkopf unter Vorspannung zwischen zwei Anschlägen gehalten ist. Jede Piezolage ist auch hier zwischen zwei Innenelektroden eingefasst, über die von außen eine elektrische Spannung angelegt werden kann. Aufgrund dieser elektrischen Spannung führen die Piezoelemente dann jeweils kleine Hubbewegungen in Richtung des Potenzialgefälles aus, die sich zum Gesamthub des Piezoaktors addieren. Dieser Gesamthub ist über die Höhe der angelegten Spannung veränderbar und kann auf ein mechanisches Stellglied übertragen werden. - Bei diesen bekannten CR-Injektoren ist eine indirekt vom Piezoaktormodul gesteuerte Düsennadel als Kraftstoffventil vorhanden, wobei der Piezoaktor eine Realisierung der Öffnungs- und Schließfunktion ermöglicht. Zur Erzielung einer optimalen Auslenkung bei minimalem Platzbedarf müssen die Innenelektroden des Piezoaktors den gesamten Querschnitt des Piezoaktors, bis auf die inaktive Kontaktierungszone, umfassen. Dies bedeutet, dass die Innenelektroden alternierender Polarität an den Seitenflachen der Keramikschichten freiliegen.
- Aus diesem Grund ist eine elektrische Passivierung dieser Seitenflachen des Piezoaktors sowie die der Kontaktanbau- oder Anbindeteile zur elektrischen Passivierung des gesamten Piezoaktormoduls notwendig, um ein Unterwandern des Piezoaktors mit den umströmenden Medien und den damit eventuell verbundenen elektrischen Überschlägen oder Kurzschlüssen zwischen benachbarten Innenelektroden zu vermeiden. Diese kann zum Beispiel durch Feuchtigkeit oder die Betriebsstoffe selbst, beispielsweise Diesel, Raps-Metylester, Wasser oder dergleichen, im Betrieb des Piezoaktors hervorgerufen werden.
- Um eine elektrische und mechanische Isolierung des Piezoaktors zu erreichen, wird oft auch eine flexible Ummantelung des Piezoaktors vorgeschlagen. Aus der
DE 10230032 A1 ist zur Vermeidung der zuvor beschriebenen Nachteile eine Anordnung mit einem Piezoaktormodul in umströmenden Medien bekannt, bei der die Piezoelemente in einer formveränderlichen Isolationsmasse vergossen sind, die wiederum in einem seitlich und am oberen und unteren Ende gegenüber dem Medium verschlossenen Gehäusemantel eingebracht ist. - Die beiden Enden dieses Gehäusemantels können im Bereich ihrer Anlage an den Stahlanbindeteilen des Kopfteils und des Fußteils des Piezoaktormoduls jedoch vom Kraftstoff unterwandert werden und die bekannten Anordnungen bieten somit keinen zuverlässigen Dichtschutz, sodass die einwandfreie Funktion des Piezoaktors über seine Lebensdauer gefährdet ist.
- Aus der
DE 101 21 270 A1 oder derDE 198 18 036 B4 ist ein Passivierungsmaterial für piezoelektrische Bauteile bekannt, das aus Polyurethan oder einem Silikonkautschuk bzw. einem fluorierten Silikon-Elastomer oder Festsilikon besteht. - Offenbarung der Erfindung
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls und einer das Piezoaktormodul umgebenden Umhüllung zur elektrischen Passivierung, bei dem gemäß der Erfindung in vorteilhafter Weise als passivierende Umhüllung zunächst eine Isolationsschutzschicht aus Kunststoff gemäß des Kennzeichens des Hauptanspruchs aufgebracht wird, um die piezokeramischen Schichten des Piezoaktormoduls zu schützen bzw. zu isolieren. Als Brücke zwischen dem in der Regel metallischen Aktorkopf oder dem Aktorfuß als Anbindebauteile zur Kunsstoffisolierung des Piezoaktormoduls werden dazu je nach Anwendungsfall Ein- oder Mehrschichtsysteme galvanisch aufgebracht. Vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen angegeben.
- Ein Ätzprozess als Vorbereitung zur Bechichtung kann beispielsweise mit Chromschwefelsäure durchgeführt werden und die metallischen Elemente können vorzugsweise aus Palladium bestehen und der nachfolgende galvanischen Beschichtungsprozess kann bevorzugt mit duktilen abscheidbaren Materialien, vorzugsweise Kupfer oder Silber, durchgeführt werden.
- Somit kann gemäß der Erfindung auch die Verbindung der elektrischen Passivierung des Piezoaktors zu den Anbindebauteilen, wie Aktorkopf und Aktorfuß eines Piezoaktormoduls, auf galvanischer Basis mittels Einschicht- bzw. Mehrschichtsystemen auf einfache Weise im ersten bzw. im zweiten Beschichtungsprozess erfolgen. Es ist somit ein feuchtigkeitsdichter bzw. betriebsstoffdichter und druckdichter Verbund zwischen der elektrischen Passivierung aus Kunststoff und der Anbindeteile an den Stirnflächen des Piezoaktors zu erzeugt, wodurch das Unterwandern von Feuchtigkeit oder Betriebsstoffen zum keramischen Piezoaktor des Piezoaktormoduls vermieden ist.
- Mit dieser galvanischen Anbindung mittels Einschicht- bzw. Mehrschichtsystemen ist eine für einen Großserienprozess kostengünstige und prozesssichere Beschichtungsvariante gefunden worden. Zusätzlich ergeben sich daraus Wettbewerbsvorteile und damit erhöhte Marktanteile. Die Schichtstärken beginnen im einstelligen ⫿m-Bereich und beeinflussen so die Einbauverhältnisse nicht. Die verwendeten Materialen können dabei je nach Anforderung der Medienbeständigkeit angepasst werden.
- Bei einer bevorzugten Anwendung ist das so hergestellte Piezoaktormodul Bestandteil eines Piezoinjektors mit direkter Nadelansteuerung für ein Einspritzsystem für Kraftstoff bei einem Verbrennungsmotor, wobei der Kraftstoff unter Hochdruck die Umhüllung umströmt.
- Kurze Beschreibung der Zeichnungen
- Ein Ausführungsbeispiel eines mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Piezoaktormoduls wird anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigt:
-
1 einen Schnitt durch ein Piezoaktormodul mit einem galvanisch umhüllten Piezoaktor mit Anbindebauteilen. - Ausführungsform der Erfindung
- In
1 ist ein prinzipieller Aufbau eines Piezoaktormoduls1 , beispielsweise für einen Piezoinjektor gezeigt, der beispielsweise zur Nadelhubsteuerung in einem Einspritzsystem für Kraftstoff bei einem Verbrennungsmotor eingesetzt werden kann. - Im Inneren des Piezoaktormoduls
1 ist ein Piezoaktor2 mit den in der Beschreibungseinleitung beschriebenen Piezoelementen3 vorhanden, der stirnflächig mit einem Aktorfkopf4 und einem Aktorfuß5 als metallische Anbindebauteile verbunden ist. Im wesentlichen über die elektrische aktive Außenfläche des Piezoaktors2 und die Grenzbereiche zum Aktorkopf4 und zum Aktorfuß5 ist eine umhüllende Isolationsschutzschicht6 , vorzugsweise aus Kunststoff, zur elektrischen Passivierung der Bauteile2 bis5 in einem ersten Beschichtungsprozess gelegt. - Gemäß der Erfindung wird die Isolationsschutzschicht
6 im ersten und/oder zweiten Beschichtungsprozess medienstabil gemacht und mit den angrenzenden Anbindeteile4 und5 galvanisch verbunden. - Es ist somit ein feuchtigkeitsdichter bzw. betriebsstoffdichter und druckdichter Verbund zwischen der elektrischen Passivierung mit der Isolationsschutzschicht
6 aus Kunststoff am Piezoaktor2 und den Anbindebauteilen4 und5 an den Stirnflächenbereichen des Piezoaktors2 vorhanden. Damit wird das Unterwandern von Feuchtigkeit oder der das Piezoaktormodul1 umströmenden Betriebsstoffen zum keramischen Piezoaktor2 hin vermieden. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- - DE 10026005 A1 [0004]
- - DE 10230032 A1 [0007]
- - DE 10121270 A1 [0009]
- - DE 19818036 B4 [0009]
Claims (8)
- Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls (
1 ) mit Anbindeteilen, bestehend aus Aktorkopf (4 ) und Aktorfuß (5 ), und einer das Piezoaktormodul (1 ) umgebenden Umhüllung zur elektrischen Passivierung, dadurch gekennzeichnet, dass als passivierende Umhüllung eine Isolationsschutzschicht (6 ) aus Kunststoff aufgebracht wird, die mittels eines ersten Beschichtungsprozesses elektrisch leitfähig gemacht wird und dass mittels eines zweiten Beschichtungsprozesses eine metallische Schutzschicht (7 ) auf die Isolationsschutzschicht (6 ) aus Kunststoff galvanisch aufgebracht wird. - Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im zweiten galvanischen Beschichtungsprozess die passivierende Umhüllung mit der Isolationsschutzschicht (
6 ) aus Kunststoff sowie der Aktorkopf (4 ) und der Aktorfuß (5 ) zusammenhängend galvanisch beschichtetet werden. - Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Beschichtungsprozess metallische Elemente in den Kunststoff eingearbeitet werden, die als Grundlage für die den nachfolgenden zweiten galvanischen Beschichtungsprozess dienen.
- Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Beschichtungsprozess durch einen Ätzprozess Bereiche für eine Besiedelung mit den metallische Elemente geschaffen werden.
- Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Ätzprozess mit Chromschwefelsäure durchgeführt wird und die metallischen Elemente aus Palladium bestehen.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Beschichtungsprozess mit duktilen abscheidbaren Materialien, vorzugsweise Kupfer oder Silber, durchgeführt wird.
- Piezoaktormodul, das nach einem Verfahren der vorhergehenden Ansprüche hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Schichtverbund mit der Isolationsschutzschicht (
6 ) und der metallischen Schutzschicht (7 ) eine Schichtstärke aufweist, die im einstelligen ⫿m-Bereich beginnt und eine galvanische Beschichtung darstellt, die mittels Einschicht- oder Mehrschichtsystemen aufbringbar ist. - Piezoaktormodul nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Piezoaktormodul (
1 ) Bestandteil eines Piezoinjektors mit direkter Nadelansteuerung für ein Einspritzsystem für Kraftstoff bei einem Verbrennungsmotor ist, wobei der Kraftstoff unter Hochdruck die Umhüllung umströmt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007056553A DE102007056553A1 (de) | 2007-11-23 | 2007-11-23 | Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007056553A DE102007056553A1 (de) | 2007-11-23 | 2007-11-23 | Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102007056553A1 true DE102007056553A1 (de) | 2009-05-28 |
Family
ID=40576996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102007056553A Ceased DE102007056553A1 (de) | 2007-11-23 | 2007-11-23 | Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102007056553A1 (de) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10026005A1 (de) | 2000-05-25 | 2001-12-06 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
DE10121270A1 (de) | 2001-04-30 | 2003-02-06 | Epcos Ag | Passivierungsmaterial für ein elektrisches Bauteil sowie piezoelektrisches Bauteil in Vielschichtbauweise |
DE10230032A1 (de) | 2002-07-04 | 2004-01-22 | Daimlerchrysler Ag | Piezoelektrischer Aktor für umströmende Medien sowie Verwendung eines entsprechenden piezoelektrischen Aktors |
DE19818036B4 (de) | 1998-04-22 | 2005-05-19 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung eines elektrotechnischen Bauteils mit einer kunststoffpassivierten Oberfläche, derartiges Bauteil und Anwendung dieses Bauteils |
-
2007
- 2007-11-23 DE DE102007056553A patent/DE102007056553A1/de not_active Ceased
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19818036B4 (de) | 1998-04-22 | 2005-05-19 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung eines elektrotechnischen Bauteils mit einer kunststoffpassivierten Oberfläche, derartiges Bauteil und Anwendung dieses Bauteils |
DE10026005A1 (de) | 2000-05-25 | 2001-12-06 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
DE10121270A1 (de) | 2001-04-30 | 2003-02-06 | Epcos Ag | Passivierungsmaterial für ein elektrisches Bauteil sowie piezoelektrisches Bauteil in Vielschichtbauweise |
DE10230032A1 (de) | 2002-07-04 | 2004-01-22 | Daimlerchrysler Ag | Piezoelektrischer Aktor für umströmende Medien sowie Verwendung eines entsprechenden piezoelektrischen Aktors |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2240681B1 (de) | Piezoaktormodul und piezoinjektor sowie ein verfahren zur herstellung eines piezoaktormoduls | |
DE102006026152A1 (de) | Anordnung mit einem beschichteten Piezoaktor | |
WO2006089818A1 (de) | Aktormodul mit einem piezoaktor | |
WO2007131965A1 (de) | Piezoaktor | |
EP2011168B1 (de) | PIEZOAKTOR MIT AUßEN KONTAKTIERTEN INNENELEKTRODEN EINES PIEZOELEMENTS | |
EP2058873B1 (de) | Piezoaktor und Piezoaktormodul mit einem Schutzschichtsystem | |
DE102006014606B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines gekapselten Hochdruckaktors | |
EP2031669B1 (de) | Piezoaktormodul mit einer Umhüllung des Piezoaktors und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102007056553A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul | |
WO2009095128A1 (de) | Piezoaktormodul mit mehr als zwei anschlusspins für piezoinjektoren mit integriertem piezo-sensor | |
DE102006043709A1 (de) | Anordnung eines Piezoaktors in einem Gehäuse | |
WO2012069235A1 (de) | Piezoelektrisches aktormodul und brennstoffeinspritzventil | |
EP2013923B1 (de) | Piezoaktor mit einer ummantelung | |
EP1909338B1 (de) | Anordnung eines Piezoaktors mit einer Isolationsschicht | |
DE102007046314A1 (de) | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
EP1973176A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einem umhüllten Piezoaktor und ein Piezoaktormodul | |
DE102006054701A1 (de) | Piezoaktor mit übereinandergestapelten Piezoelementen | |
EP1919004B1 (de) | Piezoaktormodul oder Piezoaktor mit einem ummantelnden Schutzschichtsystem | |
DE102007042402A1 (de) | Piezoaktormodul mit einem Schutzschichtsystem und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
EP2149921B1 (de) | Piezoaktor mit passiven Bereichen am Kopf und/oder am Fuss | |
EP2079117A2 (de) | Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102008042110A1 (de) | Piezoaktor mit einem Mehrlagenaufbau und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
WO2010108710A1 (de) | Piezoaktor mit einem mehrlagenaufbau und ein verfahren zu dessen herstellung | |
DE102006046832A1 (de) | Verfahren und Anordnung zur Herstellung eines Piezoaktors, insbesondere zur Isolierung seines aktiven Bereichs | |
DE102007060167A1 (de) | Piezoaktor mit einem Multilagenaufbau von Piezoelementen und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed |
Effective date: 20140327 |
|
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |