DE10017823A1

DE10017823A1 - Mikroskopische Beleuchtungsvorrichtung

Info

Publication number: DE10017823A1
Application number: DE10017823A
Authority: DE
Inventors: Rainer Uhl
Original assignee: Till I D GmbH
Current assignee: Till Id De GmbH
Priority date: 2000-04-10
Filing date: 2000-04-10
Publication date: 2001-10-18
Anticipated expiration: 2020-04-11
Also published as: US6924930B2; DE10017823B4; US20010028497A1

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft gemäß einem Aspekt eine Mikroskopvorrichtung, mit einer Einrichtung zum Beleuchten einer zu untersuchenden Probe (12), wobei die Beleuchtungseinrichtung eine Lichtquelle (20) und eine Abbildungsoptik (16, 24) umfaßt, welche das von der Lichtquelle emittierte Licht auf die Probe leitet. Die Lichtquelle (20) wird von einer Leuchtdiodenanordnung (22) gebildet. Ein anderer Aspekt der Erfindung betrifft eine Mikroskopvorrichtung für die Transmissionsbetrachtung einer Probe (110), mit einer Lichtquelle, einer Optik zum Ausleuchten eines Objektivs (116) mit dem Licht der Lichtquelle, welches dieses Beleuchtungslicht auf einen Bereich der Probe fokussiert, sowie einer jenseits der probe angeordneten Reflektoreinrichtung (122), die so ausgebildet ist, daß sie durch die Probe transmittiertes Beleuchtungslicht auf den beleuchteten Bereich der Probe zurück reflektiert.

Description

Üblicherweise werden als Lichtquelle für die Durchlichtbeleuchtung von Proben im Mikro skop Halogenlampen, bei besonders hohem Lichtbedarf auch Xenon- oder Quecksilber-Kurz bogenlampen, verwandt. Sie sorgen, im Zusammenspiel mit einer Kondensor genannten opti schen Anordnung, für eine gleichmäßige Ausleuchtung der Probe. Bei der sogenannten Auf lichtbeleuchtung dagegen, wie sie für die Fluoreszenz- oder Reflexionsmikroskopie benötigt wird, erfolgt die Beleuchtung durch das Objektiv, d. h. durch dieselbe Optik, durch die das Präparat betrachtet wird. Als Lichtquellen finden dabei bevorzugt Xenon- oder Quecksilber- Kurzbogenlampen Verwendung. Will man in einer Vorrichtung schnell zwischen Auf- und Durchlicht hin- und herschalten, macht sich besonders nachteilig bemerkbar, daß sich die ge nannten Lichtquellen nicht schnell an- oder abzuschalten bzw. in ihrer Intensität regeln lassen. Für ein Mikroskop, dessen sämtlichen Funktionen automatisch, z. B. durch einen Rechner, gesteuert werden sollen, mußte man sich deshalb bisher mit mechanischen Verschlüssen be helfen, und eine schnelle Intensitätsregelung war in gewissen Grenzen lediglich mit Hg- Lampen möglich.

Ein weiterer Nachteil bisheriger Durchlichtbeleuchtungen hat damit zu tun, daß biologische Präparate häufig einen sehr schlechten Kontrast aufweisen. Die meisten hochwertigen Durch lichtkondensoren sind deshalb für die Möglichkeit kontrastverstärkender Verfahren wie den Phasenkontrast nach Zernicke oder den differentiellen Interferenzkontrast nach Normarski ausgerüstet. Beide Verfahren erfordern jedoch nicht nur eine Manipulation des Beleuchtungs lichtes, d. h. des Strahlengangs vor der Probe, sondern auch eine des Lichtes, nachdem es die Probe passiert hat. Dazu sind entweder spezielle Objektive erforderlich (Phasenkontrast) oder es müssen optische Elemente wie DIC-Prismen und Analysatoren in den Strahlengang einge bracht werden. Ersteres limitiert die Auswahl der Objektive und reduziert den Lichtdurchsatz ein wenig, letzteres reduziert ihn beträchtlich. Ein schnelles Umschalten zwischen einer opti malen, kontrastverstärkten Durchlicht- und einer lichtschwachen Fluoreszenzbeobachtung ist daher nicht möglich.

Die vorliegende Patentanmeldung nimmt sich der aufgezeigten Probleme an und skizziert zwei Lösungsansätze für eine Mikroskopvorrichtung mit einer Durchlichtbeleuchtung, die schnell an- und abgeschaltet und in ihrer Intensität schnell und flexibel verändert werden kann. Gleichzeitig ermöglicht sie ein schnelles Umschalten zwischen Auflicht- und Durch licht und liefert kontrastreiche Durchlichtbilder, für deren Erzeugung die Lichtstrahlen hinter der Probe nicht beeinflusst werden müssen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Kondensor-basierte Mikroskopvorrichtung gelöst, wie sie in Anspruch 1 definiert ist. Bei dieser erfindungsgemäßen Lösung ist vorteil haft, daß die Lichtquelle innerhalb von Mikrosekunden ein- oder ausgeschaltet werden kann und daß sich ihre Helligkeit über einen extrem weiten Bereich von außen auf einfache Weise variieren läßt, ohne daß sich die Farbtemperatur, d. h. die spektrale Zusammensetzung des Beleuchtungslichtes ändert. Gleichzeitig kann eine den Kontrast erhöhende schiefe Beleuch tung realisiert werden, welche sich sogar variabel gestalten lässt.

Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Mikroskop- Beleuchtungsvorrichtung zu schaffen, welche die Transmissionsbetrachtung einer Probe er laubt und dennoch möglichst gut und einfach in Funktionseinheit mit einer Auflichtbeleuch tung betreibbar ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Mikroskopvorrichtung, wie sie in Anspruch 10 definiert ist. Bei dieser erfindungsgemäßen Lösung ist vorteilhaft, daß trotz einer "Auflichtgeometrie" des Beleuchtungslichts, d. h. das Beleuchtungslicht wird mittels des Mik roskopobjektivs auf die dem Objektiv zugewandte Probenseite fokussiert, eine Transmissi onsbrtrachtung der Probe möglich ist, da vom Objektiv auf die Probe fokussiertes Beleuch tungslicht, welches von der Probe transmittiert wird, mittels einer Reflektoreinrichtung wieder auf die Probe zurückreflektiert wird, die Probe neuerlich passiert und vom Objektiv zur Beo bachtung aufgesammelt werden kann. Auf diese Weise ist die erfindungsgemäße Beleuch tungsvorrichtung sehr einfach in Funktionseinheit mit beispielsweise einer Epifluoreszenza nalyse zu betreiben, wobei für Trans- und Epi-Illumination die gleiche Lichtquelle verwendet werden kann, insbesondere wenn diese zwischen mehreren Wellenlängen oder Wellenlängen bereichen schnell umschaltbar ist. Grundsätzlich bietet die erfindungsgemäße Lösung eine völlig freie Wahl der Beleuchtungswellenlänge. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß durch entsprechende Ausgestaltung der Reflektoreinheit, d. h. durch eine unterschiedliche Reflekti vität in unterschiedlichen Bereichen auf einfache Weise eine "schiefe Beleuchtung" der Pro be erzielt werden kann, was den Kontrast der Transmissionsbildes in vorteilhafter Weise er höht.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Im folgenden sind mehrere Ausführungsformen der Erfindung anhand der beigefügten Zeich nungen beispielhaft erläutert, wobei:

Fig. 1 schematisch die optischen Komponenten der Beleuchtungseinrichtung einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Mikroskop-Beleuchtungsvorrichtung zeigt;

Fig. 2 eine Aufsicht auf eine bei der Beleuchtungseinrichtung von Fig. 1 zu verwendende Lichtquelle zeigt;

Fig. 3 einen Schnitt durch eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Mikro skopvorrichtung in einem ersten Betriebsmodus zeigt;

Fig. 4 eine schematische Aufsicht der Reflektoraußenfläche von Fig. 3 von unten ist; und

Fig. 5 eine Ansicht wie in Fig. 3 ist, wobei jedoch ein anderer Betriebsmodus gezeigt ist.

Fig. 1 zeigt schematisch die Beleuchtungseinrichtung einer Mikroskopvorrichtung, wobei ein Mikroskopobjektiv (10) vorgesehen ist, um von einer Probe (12) in einer Objektebene (14) ausgehendes Licht zu sammeln, welches über eine nachfolgende (nicht dargestellte) Optik zur Betrachtung bzw. Detektion abgebildet wird. Auf der dem Mikroskop-Objektiv (10) gegenü berliegenden Seite der Probe (12) ist eine mit (16) bezeichnete Kondensoroptik vorgesehen, deren Aperturblende (18) in einer zur Position der Lichtquelle (20) konjugierten Ebene zu liegen kommt. Die Aufgabe der dazwischen liegenden Optik (24) ist es, diese Abbildung von Ebene (20) nach Ebene (18) zu bewerkstelligen und gleichzeitig die Leuchtfeldblenden-Ebene (26) des Kondensors homogen auszuleuchten. Zentrales Element der Beleuchtung ist die Lichtquelle (20), welche als Leuchtdiodenfeld (22) ausgebildet ist.

Ein Beispiel für solches Leuchtdiodenfeld ist in Fig. 2 gezeigt. Bei der Ausführungsform ge mäß Fig. 2 ist eine Mehrzahl von vorzugsweise identischen Leuchtdioden (28) in dichter Pa ckung in konzentrischen Ringen angeordnet, die eine Kreisfläche überdecken. Auf diese Wei se bilden die Dioden eine rotationssymmetrische Anordnung. Die Dioden müssen jedoch nicht unbedingt in Ringen angeordnet sein, sondern es kann auch eine andere dichte Anord nung gewählt werden. Über eine Ansteuerung der Leucht-Dioden (entweder über die Dioden spannung oder den Diodenstrom) kann nunmehr die gewünschte Helligkeit erzeugt und sehr schnell variiert werden. Da bei der gezeigten optischen Anordnung jede Position in der LED- Ebene (20) genau einem Winkel in der Objektebene (14) entspricht, läßt sich über eine indi viduelle Ansteuerung der einzelnen Dioden ein individuelles Beleuchtungswinkel- und Inten sitätsprofil mit optimaler Kontrastwirkung durch "schiefe Beleuchtung" herstellen. Diese Kontrast-Optimierung kann programmgesteuert erfolgen und es kann in Mikrosekunden zwi schen verschiedenen Profilen und damit Kontrastschattierungen hin und hergeschaltet werden. Bei Verwendung einer schnellen Kamera im Zusammenspiel mit einem schnellen, zur Echt zeit-Bildverarbeitung tauglichen Rechner, können so sogar kontrastreiche Bilder erzeugt wer den, die aus mit mehreren Beleuchtungsprofilen aufgezeichneten Einzelbildern berechnet sind.

Die Art der Leuchtdioden (28) bestimmt sich nach dem hauptsächlichen Verwendungszweck, wobei insbesondere auch "Weißlichtdioden'" oder Infrarot-Leuchtdioden verwendet werden können. Letztere liefern Licht, welches wegen der starken Wellenlängenabhängigkeit der Lichtstreuung biologischer Proben besonders gut in tiefer liegende Gewebeschichten eindrin gen kann. Es ist jedoch auch denkbar, verschiedenfarbige LEDs im Diodenfeld unterzubrin gen um damit spektrale Information über gefärbte Untersuchungsobjekte zu gewinnen oder die Wellenlängenabhängigkeit nacheinander mit unterschiedlicher Wellenlänge aufgenomme ner Bilder zur Kontraststeigerung bei kontrastarmen Objekten einzusetzen.

Zur optimalen, hellen Ausleuchtung der Leuchtfeldblendenebene (26) werden vorzugsweise Leuchtdioden mit kleinem Abstrahlwinkel eingesetzt, welche nach innen geneigt sind und unmittelbar auf die Leuchtfeldblende weisen. Damit reduzieren sich die Anforderungen an die gesamte Optik.

Fig. 3 zeigt einen Teil einer Mikroskopvorrichtung (die Lichtquelle ist nicht dargestellt), die eine alternative Betrachtung einer Probe 110 in Transmission. d. h. im Durchlicht oder in Epifluoreszenz erlaubt. Dabei ist vorzugsweise eine gemeinsame Lichtquelle für die Trans missions- und Epifluoreszenz-Beleuchtung vorgesehen, welche vorzugsweise einen schnellen Wechsel zwischen verschiedenen Wellenlängen erlaubt und ein Anregungs- bzw. Beleuch tungsbündel 112 liefert, welches auf einen Strahlteiler 114 trifft und von diesem auf die Ein trittspupille eines Mikroskopobjektivs 116 abgelenkt wird. Zur Anregung der (Epi-)Fluores zenz ist der Strahlteiler dichroitisch ausgelegt, d. h. er reflektiert das Anregungs- und trans mittiert das Emissionslicht. Das für die Transmissionsbeleuchtung vorgesehene, meist län gerwellige Licht fällt zwar mit dem Transmissionsbereich des Strahlteilers zusammen, jedoch wird gewöhnlich noch genügend Licht vom Strahlteiler reflektiert, daß eine ausreichend helle Transmissionsbeleuchtung realisiert werden kann.

Um eine möglichst gute Einkopplung des Beleuchtungs- bzw. Anregungslichts in die Probe zu ermöglichen, ist das Objektiv 116 als Tauchobjektiv ausgebildet, welches direkt in ein Präparationsmedium 118 eintaucht, in welchem sich die Probe 110 befindet. Die Probe 110 wird von einem Objektträger bzw. Deckglas 120 getragen. Durch diese Konstellation kann eine Reflexion des Beleuchtungs- bzw. Anregungslichts vor dem Eintritt in die Probe 110 möglichst weitgehend vermieden werden. Die Probe 110 ist im wesentlichen transparent, und es handelt sich dabei vorzugsweise um ein biologisches Präparat. Auf der dem Mikroskopob jektiv 116 gegenüberliegenden Seite der Probe 110, d. h. unterhalb des Objektträgers 120, ist eine Reflektoreinrichtung 122 vorgesehen, die von einem hemisphärischen transparenten Körper, vorzugsweise Glas, gebildet wird, wobei sich vorzugsweise zwischen der ebenen Be grenzungsfläche und dem Objektträger 120 ein Medium 124 befindet, welches dazu dient, Abbildungsfehler weitgehend zu vermeiden und bei welchem es sich vorzugsweise um Was ser oder ein Immersionsöl handelt, wobei jedoch auch ein Luftspalt denkbar ist.

Der wesentliche Teil der Reflektoreinrichtung 122 wird von einer hemisphärischen äußeren Begrenzungsfläche 126 gebildet, welche bei einer ersten Ausführungsform vollständig ver spiegelt ist, um möglichst das gesamte durch die Probe 110 hindurch gelangende Beleuch tungslicht auf den mittels des Mikroskopobjektivs 116 von oben beleuchteten Bereich der Probe zurück zu reflektieren. Die Verspiegelung ist dabei auf der Außenseite der reflektieren den Fläche 126 vorgesehen und wirkt zumindest im Wellenlängenbereich des Beleuchtungs lichts stark reflektierend. Die Reflektoreinrichtung 122 wirkt auf diese Weise als Ersatz für eine separate Durchlichtquelle und den entsprechenden Kondensor.

Das in den beleuchteten Bereich der Probe 110 von der Fläche 126 zurück reflektierte Be leuchtungslicht wird mittels des Mikroskopobjektivs 116 aufgesammelt und mittels einer ge eigneten Optik auf das Auge oder einen Detektor abgebildet. Die Wellenlänge des für die Beleuchtung verwendeten Lichts liegt dabei vorzugsweise im Durchlaßbereich des Strahltei lers 114, so daß der größte Teil des von dem Objektiv 116 aufgesammelten, durch die Probe 110 transmittierten Lichts vom Strahlteiler 114 durchgelassen wird. Gleichzeitig sollte der Strahlteiler auch für das von dem Objektiv 116 aufgesammelte Fluoreszenzlicht der Probe 110, transmittierend wirken. Selbst im Durchlaßbereich wird normalerweise von einem dich roitischen Strahlteiler noch genügend Licht reflektiert um das Präparat ausreichend hell zu beleuchten.

Um bei der Beleuchtung und Transmissionsbetrachtung der Probe 110 ein möglichst kontrast reiches Bild zu erhalten, kann die Reflektoreinrichtung 122 so ausgebildet sein, daß sie nicht über die gesamte Halbkugel das Beleuchtungslicht gleichmäßig stark reflektiert, sondern vielmehr nur in einem bestimmten Bereich für die Wellenlänge(n) des Beleuchtungslichts als Spiegel wirkt, um so eine "schiefe Beleuchtung" der Probe 110 zu erzielen. Eine solche Aus gestaltung ist beispielhaft in Fig. 4 gezeigt, wobei z. B. lediglich weniger als ein Viertel 128 der hemisphärischen Fläche 126 verspiegelt ist, während der übrige Bereich 130 für die Wel lenlängen des Beleuchtungslichts nicht als Spiegel wirkt.

Die in Fig. 3 gezeigte Anordnung bildet ein höchst vielseitiges und flexibles Gesamtsystem für die kombinierte Transmissions- und Epi-Fluoreszenzmikroskopie. Es erfordert keine zu sätzliche Durchlaßbeleuchtung und kann mit einer einzigen Lichtquelle wahlweise und schnell umstellbar durch die Änderung der Wellenlänge der Lichtquelle zwischen Beleuch tungslicht und Anregungslicht als Transmissionsmikroskop oder als Epi- Fluoreszenzmikroskop betrieben werden kann. Als schnell zwischen den Wellenlängen um schaltbare Lichtquelle kann beispielsweise eine Monochromator-basierende Lichtquelle ver wendet werden, wie sie in DE 42 28 366 A1 beschrieben ist.

Statt, wie gezeigt, mit einem Tauchobjektiv ausgestattet zu sein, kann das Mikroskop auch als inverses Mikroskop ausgebildet sein, wobei es dann vorteilhaft sein kann, die Reflektorein richtung in das Präparationsmedium der Probe einzutauchen.

Besonders vorteilhaft läßt sich eine Anordnung gemäß Fig. 3 für die Zwei-Photonen- Mikroskopie (TPM) verwenden, weil dabei die Reflektorfläche 126 zur Steigerung der Sam meleffizienz für Fluoreszenzphotonen verwendet werden kann. Dazu muß die Fläche 126 so verspiegelt sein, daß das sichtbare Emissionslicht vollständig, während das Licht für die schiefe Beleuchtung nur teilweise reflektiert wird, z. B. von einem Quadranten 128 wie er in Fig. 4 gezeigt ist (der nicht verspiegelte Teil ist dabei mit dem Bezugszeichen 130 bezeich net). Auf diese Weise läßt sich mit einer einzigen Optikkomponente die Sammeleffizienz ma ximal um einen Faktor 2 steigern und gleichzeitig eine schiefe Beleuchtung realisieren.

Fig. 5 zeigt eine Ausführungsform der Erfindung, bei welcher im wesentlichen die gleiche Optik wie in Fig. 3, jedoch in einer für eine andere Betriebsart optimierten Form verwendet wird. Hierbei handelt es sich um die sogenannte "Total Internal Reflection Fluorescence" (TIRF)-Mikroskopie, bei der ein Laserstrahl 150 von außen durch einen nicht reflektierenden Bereich 130 der Reflexionsfläche 126 in das Innere der Reflexionseinrichtung 122 eingekop pelt und an der Grenzfläche zwischen dem Objektträger 120 und der Probe 110 bzw. dem Präparationsmedium 118 total reflektiert wird. Auf diese Weise beleuchtet der Laserstrahl 150 die Probe 110 nur durch die Nahfeldwirkung an der Stelle der Totalreflexion. Da sich der Ein fallswinkel α des anregenden Laserstrahls 150 und damit die Eindringtiefe des Laserlichts in die Probe 110 variieren läßt, kann die Anordnung optimal an die speziellen Umstände ange paßt werden. Das in dem von dem Laserstrahl 150 beleuchteten Teil der Probe 110 emittierte Emissionslicht wird von dem Objektiv 116 aufgesammelt und einer Detektion zugeführt.

Claims

1. Mikroskopvorrichtung, mit einer Einrichtung zum Beleuchten einer zu untersuchenden Probe (12), wobei die Beleuchtungseinrichtung eine Lichtquelle (20) und eine Abbil dungsoptik (16, 24) umfaßt, welche das von der Lichtquelle emittierte Licht auf die Probe leitet, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (20) von einer Leuchtdioden anordnung (22) gebildet wird.

2. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuch tungseinrichtung für eine Durchlichtbeleuchtung ausgebildet ist.

3. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtdio denanordnung (22) von einem zweidimensionalen Diodenfeld gebildet wird.

4. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungs optik einen Kondensor (16) mit Aperturblende (18) umfaßt und so ausgebildet ist, daß das Diodenfeld (22) in die Aperturblende des Kondensors abgebildet wird.

5. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungs optik (16, 24) so ausgebildet ist, daß eine homogene Ausleuchtung der Leuchtfeldblen de (26) und damit des Objektfelds (14) erreicht wird.

6. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtdio den (22) nach innen geneigt sind, so daß die gewünschte homogene Ausleuchtung der Leuchtfeldblende (26) mit minimalem optischen Aufwand erreicht wird.

7. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei den Leuchtdioden (22) um Weißlichtdioden oder Infrarotdioden handelt.

8. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Dioden in dem Diodenfeld (22) unterschiedliche Abstrahlwellenlängen haben können individu ell ansteuerbar sind.

9. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Dioden in dem Diodenfeld (22) hinsichtlich ihrer Helligkeit individuell steuerbar sind, um eine Kontrasterhöhung durch schiefe Beleuchtung zu ermöglichen.

10. Mikroskopvorrichtung für die Transmissionsbetrachtung einer Probe (110), mit einer Lichtquelle, einer Optik zum Ausleuchten eines Objektivs (116) mit dem Licht der Lichtquelle, welches dieses Beleuchtungslicht auf einen Bereich der Probe fokussiert, sowie einer jenseits der Probe angeordneten Reflektoreinrichtung (122), die so ausge bildet ist, daß sie durch die Probe transmittiertes Beleuchtungslicht auf den beleuchteten Bereich der Probe zurückreflektiert.

11. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikroskop vorrichtung für eine Epifluoreszenz-Analyse der Probe (110) ausgebildet ist, wobei die Anregungslichtquelle für die Epifluoreszenzbetrachtung zugleich die Beleuchtungs lichtquelle für die Transmissionsbetrachtung der Probe bildet.

12. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellenlän ge der Lichtquelle veränderbar bzw. selektierbar ist.

13. Mikroskopvorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflektoreinrichtung (122) eine konkave, im Wellenlängenbereich des Be leuchtungslicht reflektierende Fläche (126) umfaßt.

14. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektie rende Fläche (126) hemisphärisch ausgebildet ist.

15. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflektor einrichtung (122) von einem transparenten Körper gebildet wird, dessen probenabge wandte Begrenzung von der reflektierenden Fläche (126) gebildet wird.

16. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 13 bis 15 dadurch gekennzeichnet, daß für den Wellenlängenbereich des Beleuchtungslichts die reflektierende Fläche (126) im we sentlichen vollständig verspiegelt ist.

17. Mikroskopvorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß für den Wellenlängenbereich des Beleuchtungslichts nur ein Teil (128) der Fläche (126) im wesentlichen verspiegelt ist, um eine Kontrasterhöhung mittels schiefer Be leuchtung zu realisieren.

18. Mikroskopvorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv (116) als Tauchobjektiv ausgebildet ist und mittels eines Immersions mediums (118) an die Probe (110) optisch angekoppelt ist.

19. Mikroskopvorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Probe (110) auf der von dem Objektiv (116) abgewandten Seite von einem transparenten Obj ektträger (120) getragen wird.

20. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflektor körper (122) mittels eines Immersionsmediums (124) an den Objektträger (120) optisch angekoppelt ist.

21. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 13 oder einem darauf rückbezogenen Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Fläche (126) auch im Wellenlängenbe reich des von der mit Anregungslicht beleuchtete Probe (110) emittierten Fluoreszenz lichts reflektierend ist.

22. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß für den Wel lenlängenbereich des Beleuchtungslichts nur ein Teil (128) der reflektierenden Fläche (126) verspiegelt ist, um eine Kontrasterhöhung mittels schiefer Beleuchtung zu reali sieren, während für den Wellenlängenbereich des Fluoreszenzlichts die Fläche über ih ren gesamten Bereich reflektierend ist.

23. Mikroskopvorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht der Lichtquelle mittels Reflexion an einem dichroitischen Strahlteilers (114) in das Mikroskopobjektiv (116) eingekoppelt wird, wobei der Strahlteiler für das Beleuchtungslicht eine Transmission von mehr als 50% aufweist.

24. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 23, sofern auf Anspruch 11 rückbezogen, da durch gekennzeichnet, daß der Strahlteiler (114) für das Anregungslicht im wesentli chen undurchlässig ist, während er für das Fluoreszenzlicht im wesentlichen durchlässig ist.

25. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflektor einrichtung (122) so ausgebildet ist, daß sie eine Einkopplung eines Laserstrahls (150) von außen durch die Reflektoreinrichtung hindurch unter einem solchen Winkel erlaubt, daß eine Totalreflektion des Laserstrahls an der Grenzfläche zu der Probe (110) stattfin det, die der Reflektoreinrichtung zugewandt ist, wodurch im Nahfeldbereich an der Grenzfläche eine Fluoreszenzanregung des Probe erfolgt.

26. Mikroskopvorrichtung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Einkoppe lung des Laserstrahls (150) in einem nicht reflektierenden Bereich (130) der Reflektor einrichtung (122) erfolgt.