CN221201133U - 用于转运基板的变换矩阵式吸爪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于转运基板的变换矩阵式吸爪，包括载板、若干个吸附组件、连接相邻吸附组件的推拉杆，以及带动至少一个吸附组件实施滑动的自动变换组件，载板上开设有便于吸附组件滑动的滑槽，吸附组件包括吸嘴、滑杆、滑盘和与吸气管连通的抽气接头，自动变换组件包括旋转电机和旋转臂，通过几个可自由变换调整位置的吸附组件，以直线形或方阵形排布的方式，可以针对长条形或圆形、或方形基板物料的吸附抓取，省去一只机械臂夹持组件，减少自动化占用空间，节省设备成本，降低编程难度，降低设备故障率，充分适用于多种平面形状自适应吸附需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及自动化设备技术领域，具体涉及一种用于转运基板的变换矩阵式吸爪。
背景技术
半导体元件制备工艺中，经常需要用到承托基板，基板较薄，有方形、圆形，也有长条型，在配合自动化产线进行转运时，需要将基板整平吸附抓取，以保证基板上半导体元件转移过程的稳定，由于自动化产线需要混搭上料，方形基板和长条型基板都会交替供料，以往自动化设备采用的方式就是两组机械臂夹爪，针对方形基板和长条型基板分布进行抓取转移动作，但是鉴于自动化设备的转移空间有限，设置机械臂的空间有限，有必要设计一种适用于多种形状规格的基板的吸附抓取转移机构，保持基板承托物料的稳定性，提升对多种平面形状自适应吸附调节能力。
实用新型内容
本实用新型目的：鉴于背景技术中针对不同形状基板的吸附抓取转移的技术需求，又要减少机械臂夹爪数量较多而占用自动化设备空间的问题，我们设计一种用于转运基板的变换矩阵式吸爪，仅需要一种吸嘴结构，通过矩阵式变换调整吸嘴位置，便可以使直线形布置的若干个吸嘴变换排布成方形阵列式吸嘴，可以吸附长条形基板物料，也可以吸附圆形、方形基板物料，充分适用于多种平面形状自适应吸附需求。
为解决上述问题采取的技术方案是：
一种用于转运基板的变换矩阵式吸爪，包括载板、若干个吸附组件、连接相邻吸附组件的推拉杆，以及带动至少一个吸附组件实施滑动的自动变换组件，
所述载板上开设有便于吸附组件滑动的滑槽，所述吸附组件包括吸嘴、滑杆、滑盘和与吸气管连通的抽气接头，所述滑盘套设在滑杆中部，滑杆中心贯通连接吸嘴和抽气接头，滑盘与滑槽配合滑移，使滑杆保持垂直于载板姿态滑移动作，带动吸嘴调整变换位置，
所述抽气接头与滑杆之间还配合有自动变换组件，
所述自动变换组件包括旋转电机和旋转臂，所述旋转电机通过支撑架固定在载板上，旋转电机的主轴与旋转臂连接，旋转臂设置有腰形孔，腰形孔与滑杆配合，带动滑杆在滑槽内滑移动作。
进一步地，所述滑槽为阶梯沉头槽，与滑盘配合后再由限位板压盖住滑槽，以此限定滑盘在载板法线方向的位移变动。
进一步地，所有吸附组件由自动变换组件滑移调整呈直线排布。
进一步地，所有吸附组件由自动变换组件滑移调整呈方形排布。
进一步地，相邻两组吸附组件之间设置有推拉杆，带动相邻吸附组件在滑槽内按照既定轨迹滑移动作。
本实用新型的有益效果是：
该用于转运基板的变换矩阵式吸爪通过几个可自由变换调整位置的吸附组件，以直线形或方阵形排布的方式，可以针对长条形或圆形、或方形基板物料的吸附抓取，省去一只机械臂夹持组件，减少自动化占用空间，节省设备成本，降低编程难度，降低设备故障率，充分适用于多种平面形状自适应吸附需求。
附图说明
图1为本实施例用于转运基板的变换矩阵式吸爪的侧仰视图；
图2为本实施例所有吸附组件以方阵形排布的侧仰视图；
图3为本实施例所有吸附组件以直线形排布的俯视图；
图4为本实施例所有吸附组件以方阵形排布的俯视图；
图5为本实施例所述吸附组件的结构剖视图；
其中，1-载板，2-第一吸嘴，3-第一直线滑槽，4-第二吸嘴，5-第三吸嘴，6-第二直线滑槽，7-第四吸嘴，8-旋转电机，9-抽气接头，10-第二斜滑槽，11-第一推拉杆，12-第一斜滑槽，13-支撑柱，14-支撑板，15-第二推拉杆，16-旋转臂，17-腰形孔，18-滑盘，19-主轴，20-限位板，21-吸气管。
具体实施方式
下面将结合附图说明，对本实用新型的技术方案以实施例的方式进行清楚、完整地描述。
请参阅图1-5，本实施例提出一种用于转运基板的变换矩阵式吸爪，包括载板1、四个吸附组件、连接左侧或右侧相邻吸附组件的推拉杆，以及设置在中间的自动变换组件。
参阅图1和图5，所述载板1上开设有便于吸附组件滑动的滑槽，包括第一直线滑槽3、第二直线滑槽6，以及第一斜滑槽12和第二斜滑槽10，所述吸附组件包括吸嘴、滑杆、滑盘18和与吸气管21连通的抽气接头9，四个吸附组件分别设置第一吸嘴2、第二吸嘴4、第三吸嘴5和第四吸嘴7，所述滑盘18套设在滑杆中部，滑杆中心贯通连接吸嘴和抽气接头9，滑盘18与滑槽配合滑移，使滑杆保持垂直于载板1姿态滑移动作，带动吸嘴调整变换位置，使滑杆在第一直线滑槽3和第一斜滑槽12内，或者第二直线滑槽6和第二斜滑槽10内滑移调整位置，并且左侧的两滑杆之间通过第二推拉杆15连接，右侧的两滑杆之间通过第一推拉杆11连接，均由内侧的两支滑杆带动外侧的两支滑杆在相应滑槽内滑动。
所述抽气接头9与滑杆之间还配合有自动变换组件。
参阅图4，所述自动变换组件包括旋转电机8和旋转臂16，所述旋转电机8通过支撑板14和支撑柱13固定在载板1上，旋转电机8的主轴19与旋转臂16连接，旋转臂16设置有腰形孔17，腰形孔17与滑杆配合，带动滑杆在滑槽内滑移动作。
参阅图5，所述滑槽为阶梯沉头槽，与滑盘18配合后再由限位板20压盖住滑槽，并由螺钉螺接固定，以此限定滑盘18在载板1法线方向的位移变动。
参阅图3，所有吸附组件可由自动变换组件滑移调整呈直线排布，方便对长条形基板物料实施吸附抓取动作。
参阅图4，所有吸附组件可由自动变换组件滑移调整呈方形排布，方便对方形或者圆形基板物料实施吸附抓取动作。
上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种用于转运基板的变换矩阵式吸爪，其特征在于：包括载板、若干个吸附组件、连接相邻吸附组件的推拉杆，以及带动至少一个吸附组件实施滑动的自动变换组件，所述自动变换组件包括旋转电机和旋转臂。
2.根据权利要求1所述的用于转运基板的变换矩阵式吸爪，其特征在于：所述载板上开设有便于吸附组件滑动的滑槽，所述吸附组件包括吸嘴、滑杆、滑盘和与吸气管连通的抽气接头，滑盘与滑槽配合滑移。
3.根据权利要求2所述的用于转运基板的变换矩阵式吸爪，其特征在于：所述滑盘套设在滑杆中部，滑杆中心贯通连接吸嘴和抽气接头，所述抽气接头与滑杆之间还配合有自动变换组件。
4.根据权利要求2所述的用于转运基板的变换矩阵式吸爪，其特征在于：所述旋转电机通过支撑架固定在载板上，旋转电机的主轴与旋转臂连接，旋转臂设置有腰形孔，腰形孔与滑杆配合，带动滑杆在滑槽内滑移动作。
5.根据权利要求2所述的用于转运基板的变换矩阵式吸爪，其特征在于：所述滑槽为阶梯沉头槽，与滑盘配合后再由限位板压盖住滑槽。
6.根据权利要求1所述的用于转运基板的变换矩阵式吸爪，其特征在于：所有吸附组件由自动变换组件滑移调整呈直线排布。
7.根据权利要求1所述的用于转运基板的变换矩阵式吸爪，其特征在于：所有吸附组件由自动变换组件滑移调整呈方形排布。
8.根据权利要求1所述的用于转运基板的变换矩阵式吸爪，其特征在于：相邻两组吸附组件之间设置有推拉杆。
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