CN221174755U - 一种具有自锁机构的mems探针 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有自锁机构的MEMS探针，包括针体和电路板，所述针体的侧壁安装有梯形卡块，所述电路板上开设有针体插槽,所述针体插槽的侧壁开设有滑槽，所述滑槽的侧壁开设有卡槽，所述梯形卡块的外侧设有弧形突起，且卡槽与弧形突起相配合。通过设置支臂，使得整个MEMS探针更有弹性，更容易恢复到初始的状态，以便进行下一次的芯片触点测试。并通过设置若干处空槽，增加了整个装置的弹性，使得起在接触芯片触点后更加容易恢复原型。通过设置针体上空心的梯形装卡结构，以及其上的弧形突起，使得整个针体能够轻松的完成与电路板的装配。

Description

一种具有自锁机构的MEMS探针

技术领域

本实用新型涉及芯片测试装置技术领域，具体为一种具有自锁机构的MEMS探针。

背景技术

在芯片测试的过程中，由于一个测试头需要针对数百万个芯片进行测试，在保证其具有一定弹性的前提下，还需要确保在测试过程中探针的稳定性才能保证起结果精准。

现有的MEMS探针大多体积较小，不容易进行安装，且安装后存在位置较为难以固定的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种具有自锁机构的MEMS探针，以解决现有探针安装较为繁琐问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有自锁机构的MEMS探针，包括针体和电路板，所述针体的侧壁安装有梯形卡块，所述电路板上开设有针体插槽,所述针体插槽的侧壁开设有滑槽，所述滑槽的侧壁开设有卡槽，所述梯形卡块的外侧设有弧形突起，且卡槽与弧形突起相配合。

优选的，所述梯形卡块呈空心设置。

优选的，所述弧形突起上设有插孔，所述针体的侧壁开设有镊子夹持槽。

优选的，所述针体的一侧设有PCB触点；

所述针体的另一侧通过支臂连接有芯片测试点。

优选的，所述支臂和针体的内壁开设有若干空槽。

优选的，所述空槽数量为3个。

优选的，所述电路板包括相互连接的上板和下板，且卡槽开设于上板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过设置针体上空心的梯形装卡结构，以及其上的弧形突起，使得整个针体能够轻松的完成与电路板的装配。并通过设置弧形突起上设有插孔，以及与其位置相对应的镊子夹持槽，方便使用者通过镊子轻松的的夹起MEMS探针，并将其装入到针体插槽中。

通过设置支臂，使得整个MEMS探针更有弹性，更容易恢复到初始的状态，以便进行下一次的芯片触点测试。并通过设置若干处空槽，增加了整个装置的弹性，使得起在接触芯片触点后更加容易恢复原型。

附图说明

图1为本实用新型的具有自锁机构的MEMS探针截面图。

1、针体；2、空槽；3、梯形卡块；4、电路板；5、针体插槽；6、滑槽；7、卡槽；8、弧形突起；9、支臂；10、芯片测试点；11、插孔；12、镊子夹持槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种具有自锁机构的MEMS探针，包括针体1和电路板4，所述针体1的侧壁安装有梯形卡块3，所述梯形卡块3呈空心设置，保证其形变性能。同时梯形相较于其他形状，更容易发生形变，保证其能够正常装入电路板中。所述电路板4上开设有针体插槽5,针体插槽5用于装配针体1。所述针体插槽5的侧壁开设有滑槽6，滑槽6能够保证梯形卡块3顺利***。所述滑槽6的侧壁开设有卡槽7，所述梯形卡块3的外侧设有弧形突起8，且卡槽7与弧形突起8相配合。为了方便前期制作，电路板4分为上板和下板，且卡槽7开设在上板处，当卡槽7开设完成后再将上板和下板贴合固定即可。

所述针体1的一侧设有PCB触点，其作用为形成芯片与测试机的信号导通。所述针体1的另一侧通过支臂9连接有芯片测试点10，其作用是用来测量芯片的测试点。支臂9的作用是使得整个MEMS探针更有弹性，更容易恢复到初始的状态。

为了方便操作者夹起整个MEMS探针，所述弧形突起8上设有插孔11，所述针体1的侧壁开设有镊子夹持槽12。弧形突起8上的插孔11一方面能够增加其形变能力；另一方面，也方便配合镊子夹持槽12，保证使用者能够通过镊子更好的夹起MEMS探针。

为了减轻MEMS探针质量，并增加装置整体弹性，所述支臂9和针体1的内壁开设有若干空槽2。所述空槽2数量为3个。其中两个空槽2呈垂直排布在针体1内，一个空槽2设置在支臂9。空槽2的作用同样是增加整个装置的弹性，使得起在接触芯片触点后更加容易恢复原型。同时，镊子夹持槽12开设位置位于两处空槽2之间，以免镊子夹持导致MEMS探针整体发生形变。

工作原理：使用时，只需操作者利用镊子夹住镊子夹持槽12和插孔11，将整个MEMS探针装入到针体插槽5并向下推动，梯形卡块3发生细微变形直至装入到卡槽7，这样MEMS探针即可完成自锁，保证整个测试过程装置的稳定性。

此后，即可通过PCB触点形成芯片与测试机的信号导通，并通过芯片测试点10接触芯片的触点即可。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种具有自锁机构的MEMS探针，其特征在于：包括针体(1)和电路板(4)，所述针体(1)的侧壁安装有梯形卡块(3)，所述电路板(4)上开设有针体插槽(5),所述针体插槽(5)的侧壁开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的侧壁开设有卡槽(7)，所述梯形卡块(3)的外侧设有弧形突起(8)，且卡槽(7)与弧形突起(8)相配合。

2.根据权利要求1所述的具有自锁机构的MEMS探针，其特征在于：所述梯形卡块(3)呈空心设置。

3.根据权利要求1所述的具有自锁机构的MEMS探针，其特征在于：所述弧形突起(8)上设有插孔(11)，所述针体(1)的侧壁开设有镊子夹持槽(12)。

4.根据权利要求1所述的具有自锁机构的MEMS探针，其特征在于：所述针体(1)的一侧设有PCB触点；

所述针体(1)的另一侧通过支臂(9)连接有芯片测试点(10)。

5.根据权利要求4所述的具有自锁机构的MEMS探针，其特征在于：所述支臂(9)和针体(1)的内壁开设有若干空槽(2)。

6.根据权利要求5所述的具有自锁机构的MEMS探针，其特征在于：所述空槽(2)数量为3个。

7.根据权利要求1所述的具有自锁机构的MEMS探针，其特征在于：所述电路板(4)包括相互连接的上板和下板，且卡槽(7)开设于上板。