CN221086518U - 一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，包括：底座，所述底座的顶端左右两侧分别通过螺栓固定连接有框架和支撑板，所述底座的顶端中部贯穿开设有进水槽；推进机构，所述推进机构安装于框架的内部；翻转机构，所述翻转机构设置在支撑板的右侧，用于对夹持的半导体进行翻面；夹持机构，所述夹持机构设置有两组，一组所述夹持机构连接在推进机构上，另一组所述夹持机构安装在翻转机构上；冲洗机构，所述冲洗机构固定安装于底座的顶端后侧。本发明在对半导体的另一面进行冲洗时，不需要将半导体的固定解除，然后重新固定再进行冲洗，方便快捷，极大地降低了工人的劳动强度，满足了工作人员的需求。

Description

一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置

技术领域

本发明涉及半导体生产加工技术领域，具体是涉及一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置。

背景技术

晶圆是半导体集成电路制作所用的硅晶片，在硅晶片上可以加工成各种电路元件结构，而晶圆半导体生产加工过程中，为了使晶圆的表面洁净度达到工艺要求，几乎每道工序完成后都需要对晶圆进行冲洗，而且集成电路的集成度越高，加工工序就越多，清洗的次数就越多。

中国专利公开了一种半导体晶圆生产用清洗装置CN202023205836.5，包括水箱、滑套、顶架和滤板，所述水箱外部一侧的底端设置有排水阀，且水箱内部顶端的两侧皆固定连接有放置板，所述水箱的顶端设置有顶架，且顶架底端的中间位置固定连接有连接箱，所述顶架底端的两侧皆滑动连接有滑套，所述水箱外部一侧的中间位置安装有控制面板。本发明通过在连接齿轮的一侧活动连接的半齿轮，电机可以带动连接齿轮转动，则连接齿轮可以带动半齿轮转动，使半齿轮可以带动双向喷头进行转动，使其喷水位置得到调节，当连接齿轮与半齿轮的无齿部分接触时，则双向喷头停止转动，如此循环可以实现双向喷头间断性角度的调节，则可以实现喷水角度不断的调节，提高了清洗效率。

因此可看出，上述装置在对晶圆半导体进行加工清洗时，通常现将晶圆半导体进行夹紧固定，但是当需要对晶圆半导体的另一面进行冲洗时，还需要将晶圆半导体的固定解除，然后重新固定再进行冲洗，操作十分的麻烦，大大增加了工人的劳动强度。

实用新型内容

为解决上述技术问题，提供一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，本技术方案解决了上述背景技术中提出的当需要对晶圆半导体的另一面进行冲洗时，还需要将晶圆半导体的固定解除，然后重新固定再进行冲洗，操作十分麻烦的问题。

为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：

一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，包括：

底座，所述底座的顶端左右两侧分别通过螺栓固定连接有框架和支撑板，所述底座的顶端中部贯穿开设有进水槽；

推进机构，所述推进机构安装于框架的内部；

翻转机构，所述翻转机构设置在支撑板的右侧，用于对夹持的半导体进行翻面；

夹持机构，所述夹持机构设置有两组，一组所述夹持机构连接在推进机构上，另一组所述夹持机构安装在翻转机构上；

冲洗机构，所述冲洗机构固定安装于底座的顶端后侧，用于对半导体进行冲洗；

收集机构，所述收集机构固定连接在底座的顶端中部，用于收集清洗后的半导体。

优选的，所述推进机构包括第一螺纹杆、第一活动件、第二活动件、推进板、第一连接臂和第二连接臂，所述第一螺纹杆转动连接在框架内部靠近左侧的位置处，所述第一螺纹杆两端开设的螺纹旋向相反，且所述第一活动件和第二活动件分别螺纹连接于第一螺纹杆的两端，所述推进板的左侧焊接有滑轨，所述滑轨的前后两端分别滑动连接有第一滑动件和第二滑动件，所述第一连接臂的一端转动连接于第一活动件的内部，所述第一连接臂的另一端转动连接于第二滑动件的内部，且所述第二活动件的内部转动连接有第二连接臂，所述第二连接臂远离第二活动件的一端转动连接在第一滑动件的内部，所述推进板的右侧中部固定安装有连接杆，且所述连接杆远离推进板的一端与一组所述夹持机构固定连接。

优选的，所述翻转机构包括转动杆、从动齿轮和驱动齿轮，所述支撑板的内部通过轴承转动连接有转动杆，所述转动杆的一端与另一组所述夹持机构固定连接，且所述转动杆的另一端固定安装有从动齿轮，所述支撑板的右侧靠近底端的位置处转动连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮通过齿轮传送带与驱动齿轮传动连接，所述驱动齿轮的右侧中部固定连接在驱动电机的输出端，所述驱动电机通过电机安装板固定安装在底座的顶端右侧。

优选的，所述夹持机构包括固定框，所述连接杆和转动杆相互靠近的一端均固定连接有固定框，所述固定框内部的中间位置处转动连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的两端开设的螺纹旋向相反，且所述第二螺纹杆的两端分别螺纹连接有第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板和第二夹持板相互靠近的一侧均安装有橡胶垫，所述固定框的内部还固定安装有两组固定杆，两组所述固定杆分别位于第二螺纹杆的两侧，且所述第一夹持板和第二夹持板均滑动连接于固定杆的表面，所述固定框的顶端固定安装有防护框，所述防护框的内部固定连接有步进电机，所述第二螺纹杆的一端固定连接在步进电机的输出端。

优选的，所述冲洗机构包括L型板，所述L型板焊接在底座的顶端后侧，所述L型板的横板底端固定安装有喷头，所述框架的顶端中部固定安装有循环泵，所述底座的底端与进水槽相对应的位置处设置有水箱，所述水箱、循环泵和喷头均通过水管依次连通。

优选的，所述收集机构包括固定块，所述底座的顶端前后两侧均通过螺栓固定连接有两组固定块，左右两侧所述固定块之间转动连接有丝杆，所述丝杆的一端贯穿左侧所述固定块的内侧，并固定连接有第一锥齿轮，所述丝杆的外表面上螺纹连接有活动块，两组所述活动块之间固定安装有收集箱。

优选的，所述收集机构还包括双轴电机，所述双轴电机固定安装在底座的顶端，所述双轴电机的两输出端均固定连接有转轴，所述转轴远离双轴电机输出端的一端固定安装有与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，所述转轴转动连接在固定板的内部，且所述固定板的底端固定连接于底座的顶端。

优选的，所述框架内部靠近左侧的位置处还固定连接有导向轨，所述第一活动件和第二活动件均滑动连接在导向轨的表面，所述框架的前侧固定安装有伺服电机，所述第一螺纹杆的一端固定连接在伺服电机的输出端。

优选的，所述框架内部的前后两侧均开设有滑槽，所述推进板的前后两侧均固定安装有与滑槽相适配的滑块，且所述滑块滑动连接于滑槽的内部，所述滑轨的两侧均固定连接有限位板。

与现有技术相比，本发明提供了一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，具备以下有益效果：

1、本发明设置有夹持机构，通过步进电机的输出端带动第二螺纹杆转动，使得第一夹持板和第二夹持板相互靠近或者远离，从而便于对半导体进行夹持固定或者解除夹持。

2、本发明其次设置有翻转机构，通过驱动电机的输出端带动驱动齿轮转动，驱动齿轮通过齿轮传送带带动驱动齿轮转动，使得转动杆转动，从而实现对夹持固定的半导体进行翻转。

3、本发明还设置有收集机构，通过双轴电机的两输出端均可带动两组转轴同步转动，使得两组第二锥齿轮均同步转动，带动两组第一锥齿轮均同步转动，使得两组丝杆均同步转动，带动收集箱水平向右侧运动，解除对半导体的夹持，半导体落入下方的收集箱中对半导体收集。

综上所述，本发明在对半导体的另一面进行冲洗时，不需要将半导体的固定解除，然后重新固定再进行冲洗，方便快捷，极大地降低了工人的劳动强度，满足了工作人员的需求。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明另一视角下结构示意图；

图3为本发明中推进机构的结构示意图；

图4为本发明中翻转机构的结构示意图；

图5为本发明中收集机构的结构示意图；

图6为本发明中图4提出的A处的放大结构示意图。

图中标号为：

1、底座；101、框架；102、支撑板；103、进水槽；

2、推进机构；201、第一螺纹杆；202、导向轨；203、第一活动件；204、第二活动件；205、推进板；206、滑轨；207、限位板；208、第一滑动件；209、第二滑动件；210、第一连接臂；211、第二连接臂；212、伺服电机；213、滑槽；214、滑块；215、连接杆；

3、翻转机构；301、转动杆；302、从动齿轮；303、驱动齿轮；304、齿轮传送带；305、驱动电机；

4、夹持机构；401、固定框；402、第二螺纹杆；403、固定杆；404、第一夹持板；405、第二夹持板；406、步进电机；407、防护框；

5、冲洗机构；501、L型板；502、喷头；503、循环泵；504、水管；505、水箱；

6、收集机构；601、固定块；602、丝杆；603、第一锥齿轮；604、活动块；605、收集箱；606、双轴电机；607、转轴；608、第二锥齿轮；609、固定板。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。

请参照图1所示，一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，包括：

底座1，底座1的顶端左右两侧分别通过螺栓固定连接有框架101和支撑板102，底座1的顶端中部贯穿开设有进水槽103；

推进机构2，推进机构2安装于框架101的内部；

翻转机构3，翻转机构3设置在支撑板102的右侧，用于对夹持的半导体进行翻面；

夹持机构4，夹持机构4设置有两组，一组夹持机构4连接在推进机构2上，另一组夹持机构4安装在翻转机构3上；

冲洗机构5，冲洗机构5固定安装于底座1的顶端后侧，用于对半导体进行冲洗；

收集机构6，收集机构6固定连接在底座1的顶端中部，用于收集清洗后的半导体。

请参照图3所示，推进机构2包括第一螺纹杆201、第一活动件203、第二活动件204、推进板205、第一连接臂210和第二连接臂211，第一螺纹杆201转动连接在框架101内部靠近左侧的位置处，第一螺纹杆201两端开设的螺纹旋向相反，且第一活动件203和第二活动件204分别螺纹连接于第一螺纹杆201的两端，推进板205的左侧焊接有滑轨206，滑轨206的前后两端分别滑动连接有第一滑动件208和第二滑动件209。

第一连接臂210的一端转动连接于第一活动件203的内部，第一连接臂210的另一端转动连接于第二滑动件209的内部，且第二活动件204的内部转动连接有第二连接臂211，第二连接臂211远离第二活动件204的一端转动连接在第一滑动件208的内部，推进板205的右侧中部固定安装有连接杆215，且连接杆215远离推进板205的一端与一组夹持机构4固定连接。

框架101内部靠近左侧的位置处还固定连接有导向轨202，第一活动件203和第二活动件204均滑动连接在导向轨202的表面，框架101的前侧固定安装有伺服电机212，第一螺纹杆201的一端固定连接在伺服电机212的输出端。

在本方案中，通过伺服电机212的输出端带动第一螺纹杆201转动，使得第一活动件203和第二活动件204相互靠近或者远离，进而第一滑动件208和第二滑动件209相互靠近或者远离，使得推进板205向左侧运动或者向右侧运动。

框架101内部的前后两侧均开设有滑槽213，推进板205的前后两侧均固定安装有与滑槽213相适配的滑块214，且滑块214滑动连接于滑槽213的内部，滑轨206的两侧均固定连接有限位板207。

通过滑槽213和滑块214的配合使用，从而提高了推进板205运动的稳定性，又通过设置有两组限位板207，对第一滑动件208和第二滑动件209的运动进行限位，防止第一滑动件208和第二滑动件209从滑轨206上脱离。

请参照图4所示，翻转机构3包括转动杆301、从动齿轮302和驱动齿轮303，支撑板102的内部通过轴承转动连接有转动杆301，转动杆301的一端与另一组夹持机构4固定连接，且转动杆301的另一端固定安装有从动齿轮302，支撑板102的右侧靠近底端的位置处转动连接有驱动齿轮303，驱动齿轮303通过齿轮传送带304与驱动齿轮303传动连接，驱动齿轮303的右侧中部固定连接在驱动电机305的输出端，驱动电机305通过电机安装板固定安装在底座1的顶端右侧。

在本方案中，通过驱动电机305的输出端带动驱动齿轮303转动，驱动齿轮303通过齿轮传送带304带动驱动齿轮303转动，使得转动杆301转动，从而实现对夹持固定的半导体进行翻转。

请参照图4所示，夹持机构4包括固定框401，连接杆215和转动杆301相互靠近的一端均固定连接有固定框401，固定框401内部的中间位置处转动连接有第二螺纹杆402，第二螺纹杆402的两端开设的螺纹旋向相反，且第二螺纹杆402的两端分别螺纹连接有第一夹持板404和第二夹持板405，第一夹持板404和第二夹持板405相互靠近的一侧均安装有橡胶垫，固定框401的内部还固定安装有两组固定杆403，两组固定杆403分别位于第二螺纹杆402的两侧，且第一夹持板404和第二夹持板405均滑动连接于固定杆403的表面，固定框401的顶端固定安装有防护框407，防护框407的内部固定连接有步进电机406，第二螺纹杆402的一端固定连接在步进电机406的输出端。

在本方案中，通过步进电机406的输出端带动第二螺纹杆402转动，使得第一夹持板404和第二夹持板405相互靠近或者远离，从而便于对半导体进行夹持固定或者解除夹持。

请参照图2所示，冲洗机构5包括L型板501，L型板501焊接在底座1的顶端后侧，L型板501的横板底端固定安装有喷头502，框架101的顶端中部固定安装有循环泵503，底座1的底端与进水槽103相对应的位置处设置有水箱505，水箱505、循环泵503和喷头502均通过水管504依次连通。

在本方案中，水箱505中储存有水，通过循环泵503将水提送至喷头502中，由喷头502向下进行喷水，对半导体进行清洗，且水流下后通过进水槽103流入下方的水箱505中，且水箱505的内部顶端安装有滤网，可对清洗后的水进行过滤，便于水箱2中的水可进行循环使用，实现了水资源的循环利用。

进一步的在本实施例中，请参照图5所示，收集机构6包括固定块601，底座1的顶端前后两侧均通过螺栓固定连接有两组固定块601，左右两侧固定块601之间转动连接有丝杆602，丝杆602的一端贯穿左侧固定块601的内侧，并固定连接有第一锥齿轮603，丝杆602的外表面上螺纹连接有活动块604，两组活动块604之间固定安装有收集箱605。

收集机构6还包括双轴电机606，双轴电机606固定安装在底座1的顶端，双轴电机606的两输出端均固定连接有转轴607，转轴607远离双轴电机606输出端的一端固定安装有与第一锥齿轮603啮合的第二锥齿轮608，转轴607转动连接在固定板609的内部，且固定板609的底端固定连接于底座1的顶端。

在本方案中，待半导体正反面均清洗完成后，通过双轴电机606的两输出端均可带动两组转轴607同步转动，使得两组第二锥齿轮608均同步转动，带动两组第一锥齿轮603均同步转动，使得两组丝杆602均同步转动，带动收集箱605水平向右侧运动，解除对半导体的夹持，半导体落入下方的收集箱605中对半导体收集。

本发明的工作原理及使用流程：本发明使用时，将半导体的右侧固定在右侧的夹持机构4内，其次通过伺服电机212的输出端带动第一螺纹杆201转动，使得第一活动件203和第二活动件204相互远离，进而第一滑动件208和第二滑动件209相互远离，使得推进板205向右侧运动，带动左侧的夹持机构4向右侧运动，接着左侧的夹持机构4对半导体的左侧进行夹持固定，使用清洗机构5对半导体的正面进行清洗，接着通过驱动电机305的输出端带动驱动齿轮303转动，驱动齿轮303通过齿轮传送带304带动驱动齿轮303转动，使得转动杆301转动，从而实现对半导体进行翻转，再通过清洗机构5对半导体的反面进行清洗，最后通过通双轴电机606的两输出端均可带动两组转轴607同步转动，使得两组第二锥齿轮608均同步转动，带动两组第一锥齿轮603均同步转动，使得两组丝杆602均同步转动，带动收集箱605水平向右侧运动，解除对半导体的夹持，半导体落入下方的收集箱605中对半导体收集。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (9)

1.一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，其特征在于，包括：

底座（1），所述底座（1）的顶端左右两侧分别通过螺栓固定连接有框架（101）和支撑板（102），所述底座（1）的顶端中部贯穿开设有进水槽（103）；

推进机构（2），所述推进机构（2）安装于框架（101）的内部；

翻转机构（3），所述翻转机构（3）设置在支撑板（102）的右侧，用于对夹持的半导体进行翻面；

夹持机构（4），所述夹持机构（4）设置有两组，一组所述夹持机构（4）连接在推进机构（2）上，另一组所述夹持机构（4）安装在翻转机构（3）上；

冲洗机构（5），所述冲洗机构（5）固定安装于底座（1）的顶端后侧，用于对半导体进行冲洗；

收集机构（6），所述收集机构（6）固定连接在底座（1）的顶端中部，用于收集清洗后的半导体。

2.根据权利要求1所述的一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，其特征在于：所述推进机构（2）包括第一螺纹杆（201）、第一活动件（203）、第二活动件（204）、推进板（205）、第一连接臂（210）和第二连接臂（211），所述第一螺纹杆（201）转动连接在框架（101）内部靠近左侧的位置处，所述第一螺纹杆（201）两端开设的螺纹旋向相反，且所述第一活动件（203）和第二活动件（204）分别螺纹连接于第一螺纹杆（201）的两端，所述推进板（205）的左侧焊接有滑轨（206），所述滑轨（206）的前后两端分别滑动连接有第一滑动件（208）和第二滑动件（209），所述第一连接臂（210）的一端转动连接于第一活动件（203）的内部，所述第一连接臂（210）的另一端转动连接于第二滑动件（209）的内部，且所述第二活动件（204）的内部转动连接有第二连接臂（211），所述第二连接臂（211）远离第二活动件（204）的一端转动连接在第一滑动件（208）的内部，所述推进板（205）的右侧中部固定安装有连接杆（215），且所述连接杆（215）远离推进板（205）的一端与一组所述夹持机构（4）固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，其特征在于：所述翻转机构（3）包括转动杆（301）、从动齿轮（302）和驱动齿轮（303），所述支撑板（102）的内部通过轴承转动连接有转动杆（301），所述转动杆（301）的一端与另一组所述夹持机构（4）固定连接，且所述转动杆（301）的另一端固定安装有从动齿轮（302），所述支撑板（102）的右侧靠近底端的位置处转动连接有驱动齿轮（303），所述驱动齿轮（303）通过齿轮传送带（304）与驱动齿轮（303）传动连接，所述驱动齿轮（303）的右侧中部固定连接在驱动电机（305）的输出端，所述驱动电机（305）通过电机安装板固定安装在底座（1）的顶端右侧。

4.根据权利要求3所述的一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，其特征在于：所述夹持机构（4）包括固定框（401），所述连接杆（215）和转动杆（301）相互靠近的一端均固定连接有固定框（401），所述固定框（401）内部的中间位置处转动连接有第二螺纹杆（402），所述第二螺纹杆（402）的两端开设的螺纹旋向相反，且所述第二螺纹杆（402）的两端分别螺纹连接有第一夹持板（404）和第二夹持板（405），所述第一夹持板（404）和第二夹持板（405）相互靠近的一侧均安装有橡胶垫，所述固定框（401）的内部还固定安装有两组固定杆（403），两组所述固定杆（403）分别位于第二螺纹杆（402）的两侧，且所述第一夹持板（404）和第二夹持板（405）均滑动连接于固定杆（403）的表面，所述固定框（401）的顶端固定安装有防护框（407），所述防护框（407）的内部固定连接有步进电机（406），所述第二螺纹杆（402）的一端固定连接在步进电机（406）的输出端。

5.根据权利要求1所述的一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，其特征在于：所述冲洗机构（5）包括L型板（501），所述L型板（501）焊接在底座（1）的顶端后侧，所述L型板（501）的横板底端固定安装有喷头（502），所述框架（101）的顶端中部固定安装有循环泵（503），所述底座（1）的底端与进水槽（103）相对应的位置处设置有水箱（505），所述水箱（505）、循环泵（503）和喷头（502）均通过水管（504）依次连通。

6.根据权利要求1所述的一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，其特征在于：所述收集机构（6）包括固定块（601），所述底座（1）的顶端前后两侧均通过螺栓固定连接有两组固定块（601），左右两侧所述固定块（601）之间转动连接有丝杆（602），所述丝杆（602）的一端贯穿左侧所述固定块（601）的内侧，并固定连接有第一锥齿轮（603），所述丝杆（602）的外表面上螺纹连接有活动块（604），两组所述活动块（604）之间固定安装有收集箱（605）。

7.根据权利要求6所述的一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，其特征在于：所述收集机构（6）还包括双轴电机（606），所述双轴电机（606）固定安装在底座（1）的顶端，所述双轴电机（606）的两输出端均固定连接有转轴（607），所述转轴（607）远离双轴电机（606）输出端的一端固定安装有与第一锥齿轮（603）啮合的第二锥齿轮（608），所述转轴（607）转动连接在固定板（609）的内部，且所述固定板（609）的底端固定连接于底座（1）的顶端。

8.根据权利要求2所述的一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，其特征在于：所述框架（101）内部靠近左侧的位置处还固定连接有导向轨（202），所述第一活动件（203）和第二活动件（204）均滑动连接在导向轨（202）的表面，所述框架（101）的前侧固定安装有伺服电机（212），所述第一螺纹杆（201）的一端固定连接在伺服电机（212）的输出端。

9.根据权利要求2所述的一种可循环利用水资源的半导体生产用清洗装置，其特征在于：所述框架（101）内部的前后两侧均开设有滑槽（213），所述推进板（205）的前后两侧均固定安装有与滑槽（213）相适配的滑块（214），且所述滑块（214）滑动连接于滑槽（213）的内部，所述滑轨（206）的两侧均固定连接有限位板（207）。