CN219766125U - 一种晶圆片清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆片清洗装置，涉及晶圆片清洗装置技术领域。该晶圆片清洗装置，包括箱体，所述箱体内部固定连接有清洗箱，所述清洗箱内部设置有清洗支架，所述清洗支架内部设置有多个夹持组件，所述箱体内部固定连接有喷头，所述喷头内部固定连接有多个喷嘴，所述箱体顶部固定连接有顶板，所述顶板底部设置有传动组件。该晶圆片清洗装置，从而将晶圆片翻转，方便对晶圆片反面进行清洗，便于清洗，使往复丝杆带动清洗支架进行转动并且上下移动，有利于对晶圆片各个角度进行清洗，提高清洗效果，便于使用。

Description

一种晶圆片清洗装置

技术领域

本实用新型涉及一种清洗装置，具体为一种晶圆片清洗装置，属于晶圆片清洗装置技术领域。

背景技术

晶圆片作为LED的主要原材料，其表面洁净度要求很高，如果残留的脏物颗粒过多，会严重影响到下道芯片制作的合格率。所以在晶圆片进行抛光工艺之前，首先必须保证晶圆片表面保持一定的清洁度，不至于有过多的垃圾物；所以必须事前对晶圆片进行清洗。

现公开申请号CN207338322U一种晶圆片清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽内底部竖直设有一根转轴；所述转轴通过设于清洗槽内的电机驱动旋转；所述转轴的上部轴壁上阵列排布有若干夹持臂；所述夹持臂包括水平固定连接在转轴轴壁上的滑轨；所述滑轨远离转轴的一端上部固定连接有一个固定块；所述固定块的上表面具有一个圆弧槽一；所述滑轨上还滑动块连接有一个滑块；所述滑块的上表面具有一个与圆弧槽一相对的圆弧槽二；所述滑块靠近转轴一端的端面通过弹簧一连接在转轴上，且所述弹簧一套设于滑轨上；所述清洗槽的一侧内壁上设有一个水平设置的安装板；所述安装板下部设有一个刷毛朝下的毛刷；所述清洗槽另一侧内壁上设有一根竖直设置且位于固定块上方的喷水管，其中所述喷水管位于清洗槽内的一端封闭且下管壁上具有若干出水孔；所述喷水管的进水端通过连接管连接有水泵；所述水泵与水箱连接。

上述方案在使用时可以对多个晶圆片进行夹持，但是其清洗时无法对其反面进行清洗，需要将晶圆片取出重新安装固定，再进行清洗，操作不便，清洗效果不好，而且毛刷对晶圆片的损伤较大，需要对其进行改进。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆片清洗装置，以解决现有技术中在使用时可以对多个晶圆片进行夹持，但是其清洗时无法对其反面进行清洗，需要将晶圆片取出重新安装固定，再进行清洗，操作不便，清洗效果不好，而且毛刷对晶圆片的损伤较大，需要对其进行改进的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆片清洗装置，包括箱体，所述箱体内部固定连接有清洗箱，所述清洗箱内部设置有清洗支架，所述清洗支架内部设置有多个夹持组件，所述箱体内部固定连接有喷头，所述喷头内部固定连接有多个喷嘴，所述箱体顶部固定连接有顶板，所述顶板底部设置有传动组件。

优选地，所述夹持组件包括两个转杆、两个限位支架和四个夹盘，两个所述转杆分别固定连接于两个限位支架一侧，两个所述转杆分别贯穿清洗支架两侧壁并与清洗支架转动连接，有利于对转杆和限位支架进行支撑。

优选地，所述限位支架内部滑动连接有两个滑块，四个所述夹盘分别与四个滑块固定连接，两个所述限位支架内部均转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆顶端固定连接有旋钮，有利于带动螺纹杆进行转动。

优选地，所述螺纹杆两端螺纹方向设置为相反，所述螺纹杆贯穿两个滑块并与两个滑块螺纹连接，两个所述滑块之间固定连接有弹簧，所述弹簧套设于螺纹杆外侧，使螺纹杆带动两个滑块进行上下移动。

优选地，所述清洗支架底部固定连接有多个固定板，所述固定板内部转动连接有转轴，所述转杆和转轴一端均固定连接有同步轮，所述同步轮外侧套设有同步带，有利于带动转杆进行转动。

优选地，所述转轴一端固定连接有第一锥齿轮，所述清洗支架内部转动连接有竖杆，所述竖杆底端固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮分别与多个第一锥齿轮啮合连接，有利于带动多个转轴进行同步转动。

优选地，所述传动组件包括套筒和往复丝杆，所述套筒转动连接于顶板内部，所述往复丝杆滑动连接于套筒内部，所述套筒内部开设有多个滑槽，所述往复丝杆顶端固定连接有多个限位块，所述限位块与滑槽相适配，所述箱体内部固定连接有固定杆，所述固定杆内部固定连接有限位套，所述往复丝杆贯穿限位套并与限位套螺纹连接。

本实用新型提供了一种晶圆片清洗装置，其具备的有益效果如下：

1、该晶圆片清洗装置，通过将晶圆片放置于夹盘之间，转动旋钮带动螺纹杆进行转动，螺纹杆转动时带动两个滑块进行移动，两个滑块移动时带动两个夹盘进行移动，从而使夹盘相互靠近，从而对晶圆片进行固定，有利于对晶圆片进行限位，方便进行冲洗，竖杆顶端可以与电机输出端连接，使竖杆转动带动第二锥齿轮转动，第二锥齿轮带动多个第一锥齿轮进行转动，从而带动多个转轴进行转动，使转轴转动，并且通过同步轮和同步带传动带动转杆进行转动，使转杆带动限位支架进行翻转，从而将晶圆片翻转，方便对晶圆片反面进行清洗，便于清洗。

2、该晶圆片清洗装置，通过顶板顶部可以安装电机，通过电机输出端与套筒连接，使套筒转动带动限位块进行转动，限位块转动带动往复丝杆转动，往复丝杆与限位套螺纹连接，往复丝杆转动时进行上下往复运动，从而使往复丝杆带动清洗支架进行转动并且上下移动，有利于对晶圆片各个角度进行清洗，提高清洗效果，便于使用。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的侧视剖视图；

图3为本实用新型图2的A部结构放大图；

图4为本实用新型图2的B部结构放大图；

图5为本实用新型图2的C部结构放大图。

图中：1、箱体；2、清洗箱；3、清洗支架；4、转杆；5、限位支架；6、滑块；7、夹盘；8、螺纹杆；9、弹簧；10、旋钮；11、固定板；12、转轴；13、第一锥齿轮；14、竖杆；15、第二锥齿轮；16、同步轮；17、同步带；18、套筒；19、往复丝杆；20、限位块；21、限位套；22、固定杆；23、喷头；24、顶板。

具体实施方式

本实用新型实施例提供一种晶圆片清洗装置。

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，包括箱体1，箱体1内部固定连接有清洗箱2，清洗箱2内部设置有清洗支架3，清洗支架3内部设置有多个夹持组件，箱体1内部固定连接有喷头23，喷头23内部固定连接有多个喷嘴，箱体1顶部固定连接有顶板24，顶板24底部设置有传动组件，夹持组件包括两个转杆4、两个限位支架5和四个夹盘7，两个转杆4分别固定连接于两个限位支架5一侧，两个转杆4分别贯穿清洗支架3两侧壁并与清洗支架3转动连接，有利于对转杆4和限位支架5进行支撑，限位支架5内部滑动连接有两个滑块6，四个夹盘7分别与四个滑块6固定连接，两个限位支架5内部均转动连接有螺纹杆8，螺纹杆8顶端固定连接有旋钮10，有利于带动螺纹杆8进行转动，螺纹杆8两端螺纹方向设置为相反，螺纹杆8贯穿两个滑块6并与两个滑块6螺纹连接，两个滑块6之间固定连接有弹簧9，弹簧9套设于螺纹杆8外侧，使螺纹杆8带动两个滑块6进行上下移动，清洗支架3底部固定连接有多个固定板11，固定板11内部转动连接有转轴12，转杆4和转轴12一端均固定连接有同步轮16，同步轮16外侧套设有同步带17，有利于带动转杆4进行转动，转轴12一端固定连接有第一锥齿轮13，清洗支架3内部转动连接有竖杆14，竖杆14底端固定连接有第二锥齿轮15，第二锥齿轮15分别与多个第一锥齿轮13啮合连接，有利于带动多个转轴12进行同步转动。

传动组件包括套筒18和往复丝杆19，套筒18转动连接于顶板24内部，往复丝杆19滑动连接于套筒18内部，套筒18内部开设有多个滑槽，往复丝杆19顶端固定连接有多个限位块20，限位块20与滑槽相适配，箱体1内部固定连接有固定杆22，固定杆22内部固定连接有限位套21，往复丝杆19贯穿限位套21并与限位套21螺纹连接。

具体的，通过将晶圆片放置于夹盘7之间，转动旋钮10带动螺纹杆8进行转动，螺纹杆8转动时带动两个滑块6进行移动，两个滑块6移动时带动两个夹盘7进行移动，从而使夹盘7相互靠近，从而对晶圆片进行固定，有利于对晶圆片进行限位，方便进行冲洗，竖杆14顶端可以与电机输出端连接，使竖杆14转动带动第二锥齿轮15转动，第二锥齿轮15带动多个第一锥齿轮13进行转动，从而带动多个转轴12进行转动，使转轴12转动，并且通过同步轮16和同步带17传动带动转杆4进行转动，使转杆4带动限位支架5进行翻转，从而将晶圆片翻转，方便对晶圆片反面进行清洗，便于清洗。

通过顶板24顶部可以安装电机，通过电机输出端与套筒18连接，使套筒18转动带动限位块20进行转动，限位块20转动带动往复丝杆19转动，往复丝杆19与限位套21螺纹连接，往复丝杆19转动时进行上下往复运动，从而使往复丝杆19带动清洗支架3进行转动并且上下移动，有利于对晶圆片各个角度进行清洗，提高清洗效果，便于使用。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种晶圆片清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部固定连接有清洗箱(2)，所述清洗箱(2)内部设置有清洗支架(3)，所述清洗支架(3)内部设置有多个夹持组件，所述箱体(1)内部固定连接有喷头(23)，所述喷头(23)内部固定连接有多个喷嘴，所述箱体(1)顶部固定连接有顶板(24)，所述顶板(24)底部设置有传动组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述夹持组件包括两个转杆(4)、两个限位支架(5)和四个夹盘(7)，两个所述转杆(4)分别固定连接于两个限位支架(5)一侧，两个所述转杆(4)分别贯穿清洗支架(3)两侧壁并与清洗支架(3)转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述限位支架(5)内部滑动连接有两个滑块(6)，四个所述夹盘(7)分别与四个滑块(6)固定连接，两个所述限位支架(5)内部均转动连接有螺纹杆(8)，所述螺纹杆(8)顶端固定连接有旋钮(10)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述螺纹杆(8)两端螺纹方向设置为相反，所述螺纹杆(8)贯穿两个滑块(6)并与两个滑块(6)螺纹连接，两个所述滑块(6)之间固定连接有弹簧(9)，所述弹簧(9)套设于螺纹杆(8)外侧。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述清洗支架(3)底部固定连接有多个固定板(11)，所述固定板(11)内部转动连接有转轴(12)，所述转杆(4)和转轴(12)一端均固定连接有同步轮(16)，所述同步轮(16)外侧套设有同步带(17)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述转轴(12)一端固定连接有第一锥齿轮(13)，所述清洗支架(3)内部转动连接有竖杆(14)，所述竖杆(14)底端固定连接有第二锥齿轮(15)，所述第二锥齿轮(15)分别与多个第一锥齿轮(13)啮合连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述传动组件包括套筒(18)和往复丝杆(19)，所述套筒(18)转动连接于顶板(24)内部，所述往复丝杆(19)滑动连接于套筒(18)内部，所述套筒(18)内部开设有多个滑槽，所述往复丝杆(19)顶端固定连接有多个限位块(20)，所述限位块(20)与滑槽相适配，所述箱体(1)内部固定连接有固定杆(22)，所述固定杆(22)内部固定连接有限位套(21)，所述往复丝杆(19)贯穿限位套(21)并与限位套(21)螺纹连接。