CN220699369U - 一种承载装置和检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种承载装置和检测设备，该承载装置包括承载基体和吸盘件。承载基体具有承载侧，承载侧用于承载工件。承载侧具有分隔结构，分隔结构将承载侧分隔为多个吸附区域，每个吸附区域内均具有吸附槽和位于吸附槽内的吸附孔。每个吸附区域内均设置有至少一个吸盘件，吸盘件可选择性地靠近或远离承载侧，用以承接工件并将工件运送至承载侧。本申请由于在承载装置上设置了多个吸附区域，当承载装置对工件进行吸平时，部分吸附区域会先将工件上对应的部分吸平，并使完成吸平的吸附区域不易向外漏气，从而带动其他吸附区域更快和更容易地将工件上对应的部分吸平，进而有利于减少承载装置的吸平时间，和增大承载装置能兼容的工件的翘曲量。

Description

一种承载装置和检测设备

技术领域

本申请涉及自动化检测技术领域，具体涉及一种承载装置和检测设备。

背景技术

在产品的生产过程中，经常需要通过自动化检测的检测设备对工件进行检测。例如，当需要通过检测设备对显示屏的基板进行二维图形缺陷检测时，承载装置是检测设备的关键部件，通过承载装置承载有翘曲量的基板，并对基板进行吸平以便进行检测，而承载装置能够兼容基板多大的翘曲量是检验承载装置的关键。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种能够兼容更大翘曲量的基板的承载装置，以及带有该承载装置的检测设备。

第一方面，一种实施例中提供一种承载装置，承载基体，所述承载基体具有承载侧，所述承载侧用于承载工件；所述承载侧具有分隔结构，所述分隔结构将承载侧分隔为多个吸附区域，每个吸附区域内均具有吸附槽和位于所述吸附槽内的吸附孔，所述吸附孔用于可切换地为所述吸附槽提供负压环境或与外界平衡的气压环境；

和吸盘件，每个所述吸附区域内均设置有至少一个所述吸盘件，所述吸盘件可选择性地靠近或远离所述承载侧，用以承接所述工件并将所述工件运送至所述承载侧

一种实施例中，多个所述吸附区域包括中心吸附区域和边缘吸附区域，所述中心吸附区域位于所述承载侧的中部，所述边缘吸附区域围绕所述中心吸附区域设置。

一种实施例中，所述中心吸附区域配置为一个，所述边缘吸附区域配置为四个，四个所述边缘吸附区域分布于所述中心吸附区域的四周。

一种实施例中，还包括吸盘升降机构，所述吸盘升降机构包括吸盘升降驱动单元和升降件，所述吸盘升降驱动单元和升降件位于所述承载基体内；所述承载侧具有贯通的升降开口，所述吸盘件通过所述升降开口延伸至与所述升降件连接，所述吸盘升降驱动单元的输出端与所述升降件连接，用以驱动所述吸盘件靠近和远离所述承载侧运动。

一种实施例中，所述吸盘升降机构配置为四个，四个所述吸盘升降机构围绕所述承载基体的中心设置；每个所述吸盘升降机构的升降件上均设置有三个所述吸盘件，三个所述吸盘件在所述升降件上呈三角形排布。

一种实施例中，所述胶条设置于所述承载侧的边缘，所述胶条用于与承载侧上的工件接触。

一种实施例中，还包括翻转压边机构，所述承载基体的四周均设置有所述翻转压边机构；所述翻转压边机构包括翻转驱动单元和压紧件，所述翻转驱动单元的输出端与所述压紧件连接，所述翻转驱动单元配置为驱动所述压紧件翻转，用以压紧和释放所述承载侧上的工件。

一种实施例中，还包括定位装置和对中装置，所述定位装置和对中装置分别设置于所述承载基体的相对两侧，所述定位装置用于与承载基体上的工件接触，以定位所述工件；所述对中装置用于向所述工件施加推力，以推动所述工件与所述定位装置接触。

一种实施例中，所述定位装置和对中装置沿所述承载基体的周向配置有多个，且所述定位装置和所述对中装置一一对应地相对设置；

所述定位装置包括第一定位架、定位平移驱动单元、第二定位架、定位升降驱动单元和定位件；所述第一定位架连接于所述承载基体，所述定位平移驱动单元连接于所述第一定位架，所述第二定位架活动设置于所述第一定位架，所述定位平移驱动单元与所述第二定位架连接，所述定位平移驱动单元配置为驱动所述第二定位架在水平方向上作直线运动；所述定位升降驱动单元连接于所述第二定位架，所述定位件活动设置于所述第二定位架，所述定位升降驱动单元与所述定位件连接，所述定位升降驱动单元配置为驱动所述定位件在竖直方向上作直线运动；

所述对中装置包括第一对中架、对中平移驱动单元、第二对中架、对中升降驱动单元、对中件和弹性件；所述第一对中架连接于所述承载基体，所述对中平移驱动单元连接于所述第一对中架，所述第二对中架活动设置于所述第一对中架，所述对中平移驱动单元与所述第二对中架连接，所述对中平移驱动单元配置为驱动所述第二对中架在水平方向上作直线运动；所述对中升降驱动单元连接于所述第二对中架，所述对中件活动设置于所述第二对中架，所述对中升降驱动单元与所述对中件连接，所述对中升降驱动单元配置为驱动所述对中件在竖直方向上作直线运动；所述弹性件设置于所述对中件和所述第二对中架之间，用以实现所述对中件与所述第二对中架之间的弹性缓冲。

一种实施例中，所述承载基体为矩形体。

一种实施例中，所述承载基体上与所述承载侧相对的一侧设有旋转基座，所述旋转基座用于带动所述承载基体旋转。

第二方面，一种实施例中提供一种检测设备，包括：

检测仪；和

如上述任一项所述的承载装置，所述检测仪用于对所述承载装置上的工件进行检测。

依据上述实施例的承载装置，该承载装置包括承载基体和吸盘件。承载基体具有承载侧，承载侧用于承载工件。承载侧具有分隔结构，分隔结构将承载侧分隔为多个吸附区域，每个吸附区域内均具有吸附槽和位于吸附槽内的吸附孔，吸附孔用于可切换地为吸附槽提供负压环境或与外界平衡的气压环境。每个吸附区域内均设置有至少一个吸盘件，吸盘件可选择性地靠近或远离承载侧，用以承接工件并将工件运送至承载侧。一方面，现有的承载装置对有翘曲量的工件进行吸平时，由于工件上的不同位置与承载装置的距离不同，导致当工件的部分被吸平时，气体仍会从未被吸平的部分泄露，从而导致承载装置的吸平时间延长，和导致承载装置能兼容的工件的翘曲量较小。而本申请由于在承载装置上设置了多个吸附区域，当承载装置对工件进行吸平时，部分吸附区域会先将工件上对应的部分吸平，并使完成吸平的吸附区域不易向外漏气，从而带动其他吸附区域更快和更容易地将工件上对应的部分吸平，进而有利于减少承载装置的吸平时间，和增大承载装置能兼容的工件的翘曲量。另一方面，通过吸盘件可选择性地靠近或远离承载侧来实现对工件的承接和转运，使得工件能够被更平稳地转运至承载装置上。

附图说明

图1为本申请一种实施例中承载装置俯视视角的结构示意图；

图2为图1中A处的放大图；

图3为本申请一种实施例中承载装置立体视角的结构示意图；

图4为本申请一种实施例中承载装置底部的结构示意图；

图5为本申请一种实施例中吸盘升降机构和吸盘件的结构示意图；

图6为本申请一种实施例中定位装置的结构示意图；

图7为本申请一种实施例中对中装置的结构示意图；

附图标记：100、承载基体；110、承载侧；120、分隔结构；130、吸附区域；131、中心吸附区域；132、边缘吸附区域；133、吸附槽；200、吸盘件；300、吸盘升降机构；310、吸盘升降驱动单元；320、升降件；400、翻转压边机构；410、翻转驱动单元；420、压紧件；500、定位装置；510、第一定位架；520、定位平移驱动单元；530、第二定位架；540、定位升降驱动单元；550、定位件；600、对中装置；610、第一对中架；620、对中平移驱动单元；630、第二对中架；640、对中升降驱动单元；650、对中件；660、弹性件；700、旋转基座；800、胶条。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

本实施例提供一种检测设备。

请参考图1-7，该检测设备包括检测仪和承载装置，检测仪用于对承载装置上的工件进行检测。具体地，工件可以是基板，特别是有翘曲量的基板。

另一方面，本实施例还提供一种承载装置，该承载装置可以应用于上述的检测设备。

请参考图1-3，该承载装置包括承载基体100和吸盘件200。承载基体100具有承载侧110，承载侧110用于承载工件。承载侧110具有分隔结构120，分隔结构120将承载侧110分隔为多个吸附区域130，每个吸附区域130内均具有吸附槽133和位于吸附槽133内的吸附孔(未图示)，吸附孔用于可切换地为吸附槽133提供负压环境或与外界平衡的气压环境。每个吸附区域130内均设置有至少一个吸盘件200，吸盘件200可选择性地靠近或远离承载侧110，用以承接工件并将工件运送至承载侧110。

一方面，现有的承载装置对有翘曲量的工件进行吸平时，由于工件上的不同位置与承载装置的距离不同，导致当工件的部分被吸平时，气体仍会从未被吸平的部分泄露，从而导致承载装置的吸平时间延长，和导致承载装置能兼容的工件的翘曲量较小。而本申请由于在承载装置上设置了多个吸附区域130，当承载装置对工件进行吸平时，部分吸附区域130会先将工件上对应的部分吸平，并使完成吸平的吸附区域130不易向外漏气，从而带动其他吸附区域130更快和更容易地将工件上对应的部分吸平，进而有利于减少承载装置的吸平时间，和增大承载装置能兼容的工件的翘曲量。另一方面，通过吸盘件200可选择性地靠近或远离承载侧110来实现对工件的承接和转运，使得工件能够被更平稳地转运至承载装置上。

请参考图1-3，在一种实施例中，多个吸附区域130包括中心吸附区域131和边缘吸附区域132，中心吸附区域131位于承载侧110的中部，边缘吸附区域132围绕中心吸附区域131设置。

通过中心吸附区域131对工件的中心部分进行吸附，通过边缘吸附区域132对工件的边缘部分进行吸附，从而实现对工件快速和可靠地吸平。具体地，中心区域和边缘区域的形状可以是矩形、圆形或其他合适的形状。

请参考图1-3，在一种实施例中，中心吸附区域131配置为一个，边缘吸附区域132配置为四个，四个边缘吸附区域132分布于中心吸附区域131的四周。

通过一个中心吸附区域131吸附工件的中心部分，通过四个边缘吸附区域132吸附工件的边缘部分，从而实现对工件快速和可靠地吸平。特别是当工件为矩形时，通过四个边缘吸附区域132分别对应地吸附矩形工件的四个边，使得边缘吸附区域132的排布方式与工件的形状相匹配，进一步有利于实现对矩形工件的稳定吸附。

请参考图1-5，在一种实施例中，承载装置还包括吸盘升降机构300，吸盘升降机构300包括吸盘升降驱动单元310和升降件320，吸盘升降驱动单元310和升降件320位于承载基体100内。承载侧110具有贯通的升降开口(未图示)，吸盘件200通过升降开口延伸至与升降件320连接，吸盘升降驱动单元310的输出端与升降件320连接，用以驱动吸盘件200靠近和远离承载侧110运动。

当需要通过吸盘承接工件时，先通过吸盘升降驱动单元310驱动升降件320远离承载侧110运动，从而带动吸盘件200远离承载侧110运动，以便承接工件。当工件被放置到吸盘件200上后，通过吸盘升降驱动单元310驱动升降件320靠近承载侧110运动，从而带动吸盘件200靠近承载侧110运动，进而将吸盘件200所承载的工件运送至承载侧110。具体地，吸盘升降驱动单元310可以选用气缸、电动推杆或其他合适的直线驱动单元。

请参考图5，在一种实施例中，吸盘升降机构300配置为四个，四个吸盘升降机构300围绕承载基体100的中心设置。每个吸盘升降机构300的升降件320上均设置有三个吸盘件200，三个吸盘件200在升降件320上呈三角形排布。

使得每个升降件320能够带动三个吸盘件200运动，通过多个吸盘件200能够更稳定地承接和运送工件。且每个升降件320上的三个吸盘呈三角形排布，这与三个吸盘呈直线排布的方式相比，进一步有利于稳定地承接和运送工件。当然，在其他实施例中，升降件320上的吸盘数量也可以设置为四个、五个或其他合适的数量，多个吸盘在升降件320上也可以是呈四边形或五边形排布。

请参考图1和2，在一种实施例中，承载装置还包括胶条800，胶条800设置于承载侧110的边缘，胶条800用于与承载侧110上的工件接触。

通过胶条800与承载侧110上的工件接触，有利于提高工件与承载侧110贴合的密封性，从而有利于减少从工件与承载侧110之间缝隙处泄露的气体，进而有利于提高承载装置吸平工件的效率和提高承载装置吸附工件的稳定性。具体地，承载侧110的边缘设有胶条槽(未图示)，胶条800安装于胶条槽内。当承载侧110为矩形时，可以在承载侧110的四条边上均设置胶条800，并使四条边上的胶条800依次首尾相连地围合，以进一步提高密封效果。

请参考图1-3，在一种实施例中，承载装置还包括翻转压边机构400，承载基体100的四周均设置有翻转压边机构400。翻转压边机构400包括翻转驱动单元410和压紧件420，翻转驱动单元410的输出端与压紧件420连接，翻转驱动单元410配置为驱动压紧件420翻转，用以压紧和释放承载侧110上的工件。

当承载装置吸附工件后，通过翻转驱动单元410驱动压紧件420向靠近承载侧110的方向翻转，以使压紧件420将承载装置上的工件压紧，从而进一步地将工件固定于承载装置。当需要将工件从承载装置上转移时，通过翻转驱动单元410驱动压紧件420向远离承载侧110的方向翻转，以使压紧件420释放承载侧110上的工件，以便进一步将工件从承载装置上取走。具体地，翻转驱动单元410可以选用电机。

请参考图1-3、6和7，在一种实施例中，承载装置还包括定位装置500和对中装置600，定位装置500和对中装置600分别设置于承载基体100的相对两侧，定位装置500用于与承载基体100上的工件接触，以定位工件。对中装置600用于向工件施加推力，以推动工件与定位装置500接触。

当工件放置到承载装置上后，通过对中装置600向工件施加推力，推动工件与定位装置500接触，从而实现工件在承载装置上的定位，使得工件在承载装置上的放置位置更精准。

请参考图1-3、6和7，在一种实施例中，定位装置500和对中装置600沿承载基体100的周向配置有多个，且定位装置500和对中装置600一一对应地相对设置。

请参考图6，定位装置500包括第一定位架510、定位平移驱动单元520、第二定位架530、定位升降驱动单元540和定位件550。第一定位架510连接于承载基体100，定位平移驱动单元520连接于第一定位架510，第二定位架530活动设置于第一定位架510，定位平移驱动单元520与第二定位架530连接，定位平移驱动单元520配置为驱动第二定位架530在水平方向上作直线运动。定位升降驱动单元540连接于第二定位架530，定位件550活动设置于第二定位架530，定位升降驱动单元540与定位件550连接，定位升降驱动单元540配置为驱动定位件550在竖直方向上作直线运动。

请参考图7，对中装置600包括第一对中架610、对中平移驱动单元620、第二对中架630、对中升降驱动单元640、对中件650和弹性件660。第一对中架610连接于承载基体100，对中平移驱动单元620连接于第一对中架610，第二对中架630活动设置于第一对中架610，对中平移驱动单元620与第二对中架630连接，对中平移驱动单元620配置为驱动第二对中架630在水平方向上作直线运动。对中升降驱动单元640连接于第二对中架630，对中件650活动设置于第二对中架630，对中升降驱动单元640与对中件650连接，对中升降驱动单元640配置为驱动对中件650在竖直方向上作直线运动。弹性件660设置于对中件650和第二对中架630之间，用以实现对中件650与第二对中架630之间的弹性缓冲。

请参考图1-3、6和7，通过多组定位装置500和对中装置600的配合，可以从多个方向实现对工件的定位，从而进一步有利于提高工件在承载装置上放置位置的准确性。具体地，在进行定位工作时，通过定位平移驱动单元520驱动第二定位架530在水平方向上作直线运动，通过定位升降驱动单元540驱动定位件550在竖直方向上作直线运动，使得定位件550运动至预设的定位位置。通过对中平移驱动单元620驱动第二对中架630在水平方向上作直线运动，通过对中升降驱动单元640驱动对中件650在竖直方向上作直线运动，从而通过对中件650推动工件与定位件550接触，以实现对工件的定位。且由于对中件650和第二对中架630之间设有弹性件660，弹性件660起到缓冲作用，有利于防止工件在对中件650的挤压作用下损坏。定位平移驱动单元520、定位升降驱动单元540、对中平移驱动单元620和对中升降驱动单元640可以选用气缸、电动推杆或其他合适的直线驱动单元作为动力源，选用导轨、导向杆或其他合适的结构作为导向结构。

请参考图1-3，在一种实施例中，承载基体100为矩形体。

矩形体的承载基体100与矩形的工件形状相匹配，更有利于稳定和高效地吸平矩形的工件。当然，在其他实施例中，承载基体100也可以设置为圆柱体或其他合适的形状。

请参考图1和4，在一种实施例中，承载基体100上与承载侧110相对的一侧设有旋转基座700，旋转基座700用于带动承载基体100旋转。

通过旋转基座700增加了承载基体100的转动自由度，当需要转动工件时，通过旋转基座700带动承载基体100旋转，进而带动承载基体100上的工件旋转。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (12)

1.一种承载装置,其特征在于，包括：

承载基体，所述承载基体具有承载侧，所述承载侧用于承载工件；所述承载侧具有分隔结构，所述分隔结构将承载侧分隔为多个吸附区域，每个吸附区域内均具有吸附槽和位于所述吸附槽内的吸附孔，所述吸附孔用于可切换地为所述吸附槽提供负压环境或与外界平衡的气压环境；

和吸盘件，每个所述吸附区域内均设置有至少一个所述吸盘件，所述吸盘件可选择性地靠近或远离所述承载侧，用以承接所述工件并将所述工件运送至所述承载侧。

2.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，多个所述吸附区域包括中心吸附区域和边缘吸附区域，所述中心吸附区域位于所述承载侧的中部，所述边缘吸附区域围绕所述中心吸附区域设置。

3.如权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述中心吸附区域配置为一个，所述边缘吸附区域配置为四个，四个所述边缘吸附区域分布于所述中心吸附区域的四周。

4.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，还包括吸盘升降机构，所述吸盘升降机构包括吸盘升降驱动单元和升降件，所述吸盘升降驱动单元和升降件位于所述承载基体内；所述承载侧具有贯通的升降开口，所述吸盘件通过所述升降开口延伸至与所述升降件连接，所述吸盘升降驱动单元的输出端与所述升降件连接，用以驱动所述吸盘件靠近和远离所述承载侧运动。

5.如权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述吸盘升降机构配置为四个，四个所述吸盘升降机构围绕所述承载基体的中心设置；每个所述吸盘升降机构的升降件上均设置有三个所述吸盘件，三个所述吸盘件在所述升降件上呈三角形排布。

6.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，还包括胶条，所述胶条设置于所述承载侧的边缘，所述胶条用于与承载侧上的工件接触。

7.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，还包括翻转压边机构，所述承载基体的四周均设置有所述翻转压边机构；所述翻转压边机构包括翻转驱动单元和压紧件，所述翻转驱动单元的输出端与所述压紧件连接，所述翻转驱动单元配置为驱动所述压紧件翻转，用以压紧和释放所述承载侧上的工件。

8.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，还包括定位装置和对中装置，所述定位装置和对中装置分别设置于所述承载基体的相对两侧，所述定位装置用于与承载基体上的工件接触，以定位所述工件；所述对中装置用于向所述工件施加推力，以推动所述工件与所述定位装置接触。

9.如权利要求8所述的承载装置，其特征在于，所述定位装置和对中装置沿所述承载基体的周向配置有多个，且所述定位装置和所述对中装置一一对应地相对设置；

所述定位装置包括第一定位架、定位平移驱动单元、第二定位架、定位升降驱动单元和定位件；所述第一定位架连接于所述承载基体，所述定位平移驱动单元连接于所述第一定位架，所述第二定位架活动设置于所述第一定位架，所述定位平移驱动单元与所述第二定位架连接，所述定位平移驱动单元配置为驱动所述第二定位架在水平方向上作直线运动；所述定位升降驱动单元连接于所述第二定位架，所述定位件活动设置于所述第二定位架，所述定位升降驱动单元与所述定位件连接，所述定位升降驱动单元配置为驱动所述定位件在竖直方向上作直线运动；

所述对中装置包括第一对中架、对中平移驱动单元、第二对中架、对中升降驱动单元、对中件和弹性件；所述第一对中架连接于所述承载基体，所述对中平移驱动单元连接于所述第一对中架，所述第二对中架活动设置于所述第一对中架，所述对中平移驱动单元与所述第二对中架连接，所述对中平移驱动单元配置为驱动所述第二对中架在水平方向上作直线运动；所述对中升降驱动单元连接于所述第二对中架，所述对中件活动设置于所述第二对中架，所述对中升降驱动单元与所述对中件连接，所述对中升降驱动单元配置为驱动所述对中件在竖直方向上作直线运动；所述弹性件设置于所述对中件和所述第二对中架之间，用以实现所述对中件与所述第二对中架之间的弹性缓冲。

10.如权利要求1-9任一项所述的承载装置，其特征在于，所述承载基体为矩形体。

11.如权利要求1-9任一项所述的承载装置，其特征在于，所述承载基体上与所述承载侧相对的一侧设有旋转基座，所述旋转基座用于带动所述承载基体旋转。

12.一种检测设备，其特征在于，包括：

检测仪；和

如权利要求1-11任一项所述的承载装置，所述检测仪用于对所述承载装置上的工件进行检测。