CN220488902U - 一种气瓶接口用防泄漏装置 - Google Patents
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 9
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 2
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
本实用新型是一种气瓶接口用防泄漏装置，在气体钢瓶接口位置安装一个排气箱，通过电动蝶阀、排气管道连接至气体供应间主排气处理***，在钢瓶接口位置持续形成一个负压排气空间；同时在排气箱的排气管道上安装气体侦测器取样管，侦测器侦测泄漏可调节电动蝶阀开度，提高排气箱排气负压值，增大排气箱内排气量，即可将钢瓶接口部位的泄漏气体抽入主排气处理***净化达标后排入大气。本实用新型的优点：结构设计合理，可防止气体钢瓶接口发生的小微量气体泄漏时逸出扩散到气体房间环境内，避免由于整个气体间的环境点侦测器泄漏报警，导致其它相关设备报警和供应中断，提高整个气体供应***安全性和可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及的是一种气瓶接口用防泄漏装置，具体涉及一种半导体生产用有毒、腐蚀性气体供应***用的气瓶接口用防泄漏装置。
背景技术
在半导体生产过程中，需要使用多种有毒、腐蚀性特种气体，为保证大流量的特种气体供应，一般采用供应能力大的T瓶（940L）和Y（470L）瓶。由于T/Y瓶体积较大，无法放入气柜中使用，一般供应***设计中，将T/Y瓶直接放在供应气体间内，通过特气管道连接至气体供应柜中（图1）。
现有技术中，为了确保气体供应的安全性，气体供应间会设置环境点气体侦测器与房间主排气处理***联动，在钢瓶接口部位及其它气体***点设置气体泄漏侦测器，侦测器侦测到数值后，联动房间应急排风***，将气体房间环境内的泄漏气体抽入主排气处理***，净化达标后排入大气。在气体供应***实际使用中，气体泄漏风险较大的是在钢瓶更换时钢瓶接口拆除有残留、接口垫片密封不良时，最容易产生泄漏，从而会对气体供应间整个特种气体供应***的可靠性、安全性产生不良影响。
实用新型内容
本实用新型提出的是一种气瓶接口用防泄漏装置，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，避免小微量气体泄漏扩散而导致对气体供应间环境内作业人员和设备造成危害的风险。
本实用新型的技术解决方案：一种气瓶接口用防泄漏装置，在气体钢瓶接口位置安装一个排气箱，通过电动蝶阀、排气管道连接至气体供应间主排气处理***，在钢瓶接口位置持续形成一个负压排气空间；同时在排气箱的排气管道上安装气体侦测器取样管，侦测器侦测泄漏可调节电动蝶阀开度，提高排气箱排气负压值，增大排气箱内排气量，即可将钢瓶接口部位的泄漏气体抽入主排气处理***净化达标后排入大气。
具体的，包括密闭包裹在气体钢瓶的管道接口外侧的排气箱，排气箱通过带电动蝶阀和压差计的排气管道连通主排气处理***，持续形成负压排气空间，侦测器本体的取样管连接排气管道，侦测器本体和压差计分别信号连接控制模块。侦测器本体检测泄漏时，可调节电动蝶阀开度提高排气箱内排气负压，增大排气箱内排气量。
优选的，在所述的排气箱外侧上设与控制模块信号连接的气缸，气缸输出端连接位于排气箱内侧的调节挡板，调节挡板尺寸与排气箱其中一内侧面尺寸配合，排气箱内壁中部设有限位块。可用于调节排气压差，在气体泄漏时，气缸控制调节挡板推出，增加排气负压。
本实用新型的优点：结构设计合理，可防止气体钢瓶接口发生的小微量气体泄漏时逸出扩散到气体房间环境内，避免由于整个气体间的环境点侦测器泄漏报警，导致其它相关设备报警和供应中断，提高整个气体供应***安全性和可靠性。
附图说明
图1是现有技术气体供应***的结构示意图。
图2是本实用新型气瓶接口用防泄漏装置一种实施例结构示意图。
图3是本实用新型气瓶接口用防泄漏装置另一种实施例结构示意图。
图中的1是气体钢瓶、2是管道接口、3是气体管道、4是气体供应柜、5是主排气处理***、6是排气箱、7是电动蝶阀、8是排气管道、9是差压计、10是侦测器本体、11是控制模块、12是取样管、13是气缸、14是调节挡板、15是限位块。
具体实施方式
下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
实施例1
如图2所示，一种气瓶接口用防泄漏装置，其结构包括密闭包裹在气体钢瓶1的管道接口2外侧的排气箱6，排气箱6通过带电动蝶阀7和压差计9的排气管道8连通主排气处理***5。此处持续形成的负压排气空间负压优选为150-200Pa。侦测器本体10的取样管12连接排气管道8，侦测器本体10和压差计9分别信号连接控制模块11。控制模块11可预设泄漏值，当侦测器本体10检测到达预设泄漏值时，可调节电动蝶阀7开度，可将排气箱6内排气负压值优选提高到250-300Pa，增大排气箱6内排气量。气体钢瓶1的管道接口2部位的泄漏气体抽入主排气处理***5净化达标后即可排入大气。
实施例2
如图3所示，一种气瓶接口用防泄漏装置，在实施例1基础上，在排气箱6外侧上增设与控制模块11信号连接的气缸13，气缸13输出端连接位于排气箱6内侧的调节挡板14，调节挡板14尺寸与排气箱6其中一内侧面尺寸配合，排气箱6内壁中部设有限位块15。可用于调节排气压差，侦测器本体10在侦测到气体泄漏时，气缸13控制调节挡板14推出，增加排气负压。
以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (2)
1.一种气瓶接口用防泄漏装置，其结构包括带有管道接口（2）的气体钢瓶（1），管道接口（2）通过气体管道（3）连接气体供应柜（4），气体供应柜（4）连接主排气处理***（5），其特征在于，还包括密闭包裹在气体钢瓶（1）的管道接口（2）外侧的排气箱（6），排气箱（6）通过带电动蝶阀（7）和压差计（9）的排气管道（8）连通主排气处理***（5），侦测器本体（10）的取样管（12）连接排气管道（8），侦测器本体（10）和压差计（9）分别信号连接控制模块（11）。
2.如权利要求1所示的一种气瓶接口用防泄漏装置，其特征在于，在所述的排气箱（6）外侧上设与控制模块（11）信号连接的气缸（13），气缸（13）输出端连接位于排气箱（6）内侧的调节挡板（14），调节挡板（14）尺寸与排气箱（6）其中一内侧面尺寸配合，排气箱（6）内壁中部设有限位块（15）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321781902.4U CN220488902U (zh) | 2023-07-07 | 2023-07-07 | 一种气瓶接口用防泄漏装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321781902.4U CN220488902U (zh) | 2023-07-07 | 2023-07-07 | 一种气瓶接口用防泄漏装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220488902U true CN220488902U (zh) | 2024-02-13 |
Family
ID=89825815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321781902.4U Active CN220488902U (zh) | 2023-07-07 | 2023-07-07 | 一种气瓶接口用防泄漏装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220488902U (zh) |
-
2023
- 2023-07-07 CN CN202321781902.4U patent/CN220488902U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |