CN217981214U - 一种探针台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种探针台,包括基座,设置在基座上的探针调节组件、镜头调节组件和载台;探针调节组件包括:与基座连接的移载滑轨,与移载滑轨连接的若干龙门架,以及驱动探针座在龙门架上Y轴移动的驱动件;龙门架对称设置,且位于载台的两侧;镜头调节组件包括:镜架,设置在镜架上的X轴驱动单元,设置在X轴驱动单元上的Y轴驱动单元,以及与Y轴驱动单元连接的镜头;X轴驱动单元带动Y轴驱动单元和镜头沿X轴移动,Y轴驱动单元带动镜头沿Y轴移动;镜头位于载台的上方。该探针台将镜头设计为X轴方向和Y轴方向移动,且探针座Y轴可移动,提高了测试的精准度。
Description
技术领域
本实用新型涉及探针台技术领域,尤其涉及一种探针台。
背景技术
在毫米波设备中,芯片天线或者封装天线成为了未来行业发展的重要方向之一,而芯片天线的性能进行精准的测试成为一个需要解决的问题。
现有技术中对于芯片天线的测量使用标准探针台进行检测,但是存在以下问题:1、无法对镜头进行X轴和Y轴方向的移动,导致测量精度不够;2、探针座移动距离因为探针台的设计受限,导致探针座移动精度不够;3、载台更换方式困难。
因此,有必要对现有技术中的探针台进行改进,以解决上述问题。
发明内容
本实用新型克服了现有技术的不足,提供一种探针台。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为:一种探针台,包括:基座,设置在所述基座上的探针调节组件、镜头调节组件和载台,其特征在于,
所述探针调节组件包括:与所述基座连接的移载滑轨,与所述移载滑轨连接的若干龙门架,以及驱动探针座在所述龙门架上Y轴移动的驱动件;所述龙门架对称设置,且位于所述载台的两侧;
所述镜头调节组件包括:镜架,设置在所述镜架上的X轴驱动单元,设置在所述X轴驱动单元上的Y轴驱动单元,以及与所述Y轴驱动单元连接的镜头;
所述X轴驱动单元带动所述Y轴驱动单元和所述镜头沿X轴移动,所述Y轴驱动单元带动所述镜头沿Y轴移动;所述镜头位于所述载台的上方。
本实用新型一个较佳实施例中,所述驱动件包括:导轨,设置在所述导轨上的导块,与所述导块底部连接的抵接块,以及与所述抵接块螺纹连接的螺栓;所述导块与所述探针座固定连接,所述抵接板通过所述螺栓与所述龙门架的侧向抵接。
本实用新型一个较佳实施例中,所述X轴驱动单元包括:第一滑轨,设置在所述第一滑轨中的第一螺杆,与所述第一螺杆连接的第一连接块,以及与所述第一连接块连接的第一滑块;所述第一滑块沿所述第一滑轨的长度方向移动,所述第一螺杆设置在第一螺杆座上,且所述第一螺杆的一端连接有第一旋钮,所述第一滑块的表面设置有所述Y轴驱动单元。
本实用新型一个较佳实施例中,所述所述Y轴驱动单元包括:第二滑轨,设置在所述第二滑轨中的第二螺杆,与所述第二螺杆连接的第二连接块,以及与所述第二连接块连接的第二滑块;所述第二螺杆设置在第二螺杆座上,且所述第二螺杆的一端连接有第二旋钮,所述第二滑块沿所述第二滑轨的长度方向移动,所述第二滑块连接有镜头座。
本实用新型一个较佳实施例中,所述第一滑轨和所述第二滑轨的长度方向相垂直,所述第二滑轨和所述移载滑轨的长度方向平行。
本实用新型一个较佳实施例中,所述探针座表面设置有安装槽,所述安装槽用于安装探针,所述安装槽的中轴线与所述载台平面形成30°~60°夹角。
本实用新型一个较佳实施例中,所述载台为方形结构,所述载台与所述基座螺栓连接,且所述载台处于所述基座的正中间位置。
本实用新型一个较佳实施例中,所述镜头为电子显微镜或光学显微镜。
本实用新型一个较佳实施例中,所述第一滑块的X轴方向的移动行程为0~50mm,所述第二滑块的Y轴方向的移动行程为0~160mm。
本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷,本实用新型具备以下有益效果:
(1)本实用新型中提供了一种探针台,该探针台将镜头设计为X轴方向和Y轴方向移动,且探针座Y轴可移动,提高了测试的精准度。
(2)本实用新型中利用移载滑轨使得龙门架和探针座X轴方向移动,一方面,长距离的移动可以客制化不同载台,提高灵活性;另一方面,方便载台的拆卸更换,避免在载台更换时因探针台设计而卡手的问题。
(3)本实用新型中的方形载台相对于技术中的圆形载台,可方便多种客制化DUT尺寸且方便测试。
(4)本实用新型中探针座在龙门架上Y轴方向运动,解决了探针座移动距离因为探针台的设计受限,导致探针座移动精度不够的问题。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明;
图1是本实用新型的优选实施例的探针台的立体结构示意图;
图2是本实用新型的优选实施例的探针调节组件的立体结构示意图;
图3是本实用新型的优选实施例的镜头调节组件的立体结构示意图;
图中:1、探针台;2、基座;3、探针调节组件;31、移载滑轨;32、导轨;33、导块;34、抵接块;35、螺栓;36、探针座;4、镜头调节组件;41、镜架;42、X轴驱动单元;421、第一滑轨;422、第一螺杆;423、第一螺杆座;424、第一滑块;425、第一旋钮;43、Y轴驱动单元;44、镜头座;5、载台。
具体实施方式
现在结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明,这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示,示出了本实用新型中一种探针台1的立体结构示意图。该探针台1包括:基座2,设置在基座2上的探针调节组件3、镜头调节组件4和载台5。该基座2的尺寸大小为Amm×Amm,A为800~900,尺寸大小可依据实际需求大小而调整。
如图2所示,示出了本实用新型中探针调节组件3的立体结构示意图。探针调节组件3包括:与基座2连接的移载滑轨31,与移载滑轨31连接的若干龙门架,以及驱动探针座36在龙门架上Y轴移动的驱动件。龙门架对称设置,且位于载台5的两侧。龙门架在移载滑轨31上运动,实现对探针座36X轴方向的移动。
本实用新型中利用移载滑轨31使得龙门架和探针座36X轴方向移动,一方面,长距离的移动可以客制化不同载台5,提高灵活性;另一方面,方便载台5的拆卸更换,避免在载台5更换时因探针台1设计而卡手的问题。
本实用新型中驱动件包括:导轨32,设置在导轨32上的导块33,与导块33底部连接的抵接块34,以及与抵接块34螺纹连接的螺栓35。导块33与探针座36固定连接,抵接板通过螺栓35与龙门架的侧向抵接。其中,本实用新型中的抵接块34为L形,抵接块34的上端与导块33的底部固定连接,抵接块34的L形的表面与龙门架侧面和底面抵接。本实用新型中通过导块33在导轨32上的Y轴方向的移动,进而带动探针座36的Y轴方向的移动;当导块33移动至对应位置时,螺栓35与龙门架的侧面螺栓35连接,实现导块33和探针座36的固定。本实用新型中探针座36在龙门架上Y轴方向运动,解决了探针座36移动距离因为探针台1的设计受限,导致探针座36移动精度不够的问题。
本实用新型中探针座36表面设置有安装槽,安装槽用于安装探针,安装槽的中轴线与载台5平面形成30°~60°夹角。
本实用新型中载台5为方形结构,载台5与基座2螺栓35连接,且载台5处于基座2的正中间位置。相对于技术中的圆形载台5,方形载台5可方便多种客制化DUT尺寸且方便测试。
如图3所示,示出了本实用新型中镜头调节组件4的立体结构示意图。镜头调节组件4包括:镜架41,设置在镜架41上的X轴驱动单元42,设置在X轴驱动单元42上的Y轴驱动单元43,以及与Y轴驱动单元43连接的镜头。X轴驱动单元42带动Y轴驱动单元43和镜头沿X轴移动,Y轴驱动单元43带动镜头沿Y轴移动。镜头位于载台5的上方。本实用新型中镜架41优选为龙门架结构。
X轴驱动单元42包括:第一滑轨421,设置在第一滑轨421中的第一螺杆422,与第一螺杆422连接的第一连接块,以及与第一连接块连接的第一滑块424;第一滑块424沿第一滑轨421的长度方向移动,第一螺杆422设置在第一螺杆座423上,且第一螺杆422的一端连接有第一旋钮425,第一滑块424的表面设置有Y轴驱动单元43。本实用新型中通过转动第一螺杆422,使得第一螺杆422在第一螺杆座423上原位转动,第一连接块与第一螺杆422相对运动,第一连接块带动第一滑块424在第一滑轨421上X轴方向移动。
Y轴驱动单元43包括:第二滑轨,设置在第二滑轨中的第二螺杆,与第二螺杆连接的第二连接块,以及与第二连接块连接的第二滑块;第二螺杆设置在第二螺杆座上,且第二螺杆的一端连接有第二旋钮,第二滑块沿第二滑轨的长度方向移动,第二滑块连接有镜头座44。本实用新型中通过转动第二螺杆,使得第二螺杆在第二螺杆座上原位转动,第二连接块与第二螺杆相对运动,第二连接块带动第二滑块在第二滑轨上Y轴方向移动。
第一滑轨421和第二滑轨的长度方向相垂直,第二滑轨和移载滑轨31的长度方向平行。第一滑块424的X轴方向的移动行程为0~50mm,第二滑块的Y轴方向的移动行程为0~160mm。
本实用新型中镜头为电子显微镜或光学显微镜。
本实用新型使用时,利用移载滑轨31使得若干龙门架和探针座36X轴方向移动,使得两侧龙门架设置在载台5的两侧;通过导块33在导轨32上的Y轴方向的移动,进而带动探针座36的Y轴方向的移动;当导块33移动至对应位置时,螺栓35与龙门架的侧面螺栓35连接,实现导块33和探针座36的固定。
通过转动第一螺杆422,使得第一螺杆422在第一螺杆座423上原位转动,第一连接块与第一螺杆422相对运动,第一连接块带动第一滑块424在第一滑轨421上X轴方向移动,进而带动第一滑块424上的Y轴驱动单元43和镜头整体X轴方向移动;通过转动第二螺杆,使得第二螺杆在第二螺杆座上原位转动,第二连接块与第二螺杆相对运动,第二连接块带动第二滑块在第二滑轨上Y轴方向移动,进而带动与第二滑块连接的镜头Y轴方向移动。通过上述X轴驱动单元42和Y轴驱动单元43的作用,使得镜头具备X轴方向移动和Y轴方向移动的能力。
以上依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
Claims (9)
1.一种探针台,包括:基座,设置在所述基座上的探针调节组件、镜头调节组件和载台,其特征在于,
所述探针调节组件包括:与所述基座连接的移载滑轨,与所述移载滑轨连接的若干龙门架,以及驱动探针座在所述龙门架上Y轴移动的驱动件;所述龙门架对称设置,且位于所述载台的两侧;
所述镜头调节组件包括:镜架,设置在所述镜架上的X轴驱动单元,设置在所述X轴驱动单元上的Y轴驱动单元,以及与所述Y轴驱动单元连接的镜头;
所述X轴驱动单元带动所述Y轴驱动单元和所述镜头沿X轴移动,所述Y轴驱动单元带动所述镜头沿Y轴移动;所述镜头位于所述载台的上方。
2.根据权利要求1所述的一种探针台,其特征在于:所述驱动件包括:导轨,设置在所述导轨上的导块,与所述导块底部连接的抵接块,以及与所述抵接块螺纹连接的螺栓;所述导块与所述探针座固定连接,所述抵接块通过所述螺栓与所述龙门架的侧向抵接。
3.根据权利要求1所述的一种探针台,其特征在于:所述X轴驱动单元包括:第一滑轨,设置在所述第一滑轨中的第一螺杆,与所述第一螺杆连接的第一连接块,以及与所述第一连接块连接的第一滑块;所述第一滑块沿所述第一滑轨的长度方向移动,所述第一螺杆设置在第一螺杆座上,且所述第一螺杆的一端连接有第一旋钮,所述第一滑块的表面设置有所述Y轴驱动单元。
4.根据权利要求3所述的一种探针台,其特征在于:所述Y轴驱动单元包括:第二滑轨,设置在所述第二滑轨中的第二螺杆,与所述第二螺杆连接的第二连接块,以及与所述第二连接块连接的第二滑块;所述第二螺杆设置在第二螺杆座上,且所述第二螺杆的一端连接有第二旋钮,所述第二滑块沿所述第二滑轨的长度方向移动,所述第二滑块连接有镜头座。
5.根据权利要求4所述的一种探针台,其特征在于:所述第一滑轨和所述第二滑轨的长度方向相垂直,所述第二滑轨和所述移载滑轨的长度方向平行。
6.根据权利要求1所述的一种探针台,其特征在于:所述探针座表面设置有安装槽,所述安装槽用于安装探针,所述安装槽的中轴线与所述载台平面形成30°~60°夹角。
7.根据权利要求1所述的一种探针台,其特征在于:所述载台为方形结构,所述载台与所述基座螺栓连接,且所述载台处于所述基座的正中间位置。
8.根据权利要求1所述的一种探针台,其特征在于:所述镜头为电子显微镜或光学显微镜。
9.根据权利要求4所述的一种探针台,其特征在于:所述第一滑块的X轴方向的移动行程为0~50mm,所述第二滑块的Y轴方向的移动行程为0~160mm。
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