CN217942956U - 一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，涉及合金靶材技术领域。本实用新型包括工作台、夹持组件和抛光组件，工作台上滑动设置有对称的两夹持组件；工作台上滑动设置有抛光组件。本实用新型通过抽气管和连通在放置板顶部的若干真空吸盘对钼钠合金靶材进行吸附定位，以及夹臂一端固定的弧形橡胶垫缓慢的与钼钠合金靶材的周侧面进行夹持固定，实现了对不同大小的钼钠合金靶材的进一步地夹持定位，防止其在进行抛光的过程中发生偏移，影响抛光效果；通过抛光组件在升降滑槽内的上下滑动，等到抛光打磨盘与钼钠合金靶材的打磨面相互接触后，通过打磨组件进行抛光操作，实现了对不同厚度的钼钠合金靶材的抛光操作。

Description

一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备

技术领域

本实用新型属于合金靶材技术领域，特别是涉及一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备。

背景技术

钼钠合金薄膜由直流磁控溅射沉积而成，将制备钼背极层的纯钼靶材换成钼钠合金板状靶材即可实现，操作简单，适合工业生产。

经检索申请号为CN202122996461.7提供了一种合金靶材的自动化抛光设备，该合金靶材的自动化抛光设备包括加工台，加工台的顶部外壁上开设有矩形槽，且加工台顶部外壁一侧的中心处焊接有支撑架，矩形槽底部内壁的轴心处通过轴承活动连接有柱管，放置盘的顶部外壁上螺纹连接有等距离呈环形结构分布与柱管之间相连通的真空吸盘。

然而现有的钼钠合金靶材的抛光设备，在进行抛光的过程中，对不同大小的钼钠合金靶材进行夹持定位的效果不佳，需要根据不同大小的钼钠合金靶材去更换夹持定位夹具，影响最终的抛光效果；另外，现有的钼钠合金靶材的抛光设备，不能够满足不同厚度的钼钠合金靶材的抛光操作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，通过对工作台、夹持组件和抛光组件的设计，解决了现有的钼钠合金靶材的抛光设备，在进行抛光的过程中，对不同大小的钼钠合金靶材进行夹持定位的效果不佳，需要根据不同大小的钼钠合金靶材去更换夹持定位夹具，影响最终的抛光效果；另外，现有的钼钠合金靶材的抛光设备，不能够满足不同厚度的钼钠合金靶材的抛光操作的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，包括工作台、夹持组件和抛光组件，所述工作台上滑动设置有对称的两夹持组件；所述工作台上滑动设置有抛光组件。

所述工作台顶部中心位置开设有滑动槽；所述工作台顶部中心位置连通有抽气管；所述抽气管顶部固定有放置板；所述抽气管底部连接有真空发生器；所述放置板顶部连通有真空吸盘。

所述夹持组件包括有滑动轨；所述滑动轨顶部固定有矩形柱；所述矩形柱顶部固定有对称的两连接轴；两所述连接轴周侧面转动配合有夹臂；所述矩形柱顶部固定有侧挡板；所述侧挡板一侧固定有对称的两弯曲弹簧；两所述弯曲弹簧一端分别与两夹臂一侧固定连接；所述夹臂一端固定有弧形橡胶垫。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述工作台一侧固定有驱动电机；所述驱动电机输出轴固定有双向螺纹杆。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑动轨底部固定有L形滑杆；所述L形滑杆一侧面开设有螺纹孔；所述螺纹孔与双向螺纹杆螺纹转动配合。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述工作台顶部固定有立柱；所述立柱一侧面开设有升降滑槽。

所述工作台顶部位于立柱一侧面固定有伸缩杆；所述伸缩杆顶部固定有第一法兰盘。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抛光组件包括有支撑臂；所述支撑臂一侧固定有限位导座；所述支撑臂底部固定有第二法兰盘；所述限位导座与升降滑槽滑动配合；所述第二法兰盘与第一法兰盘通过固定螺栓固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支撑臂顶部固定有伺服电机；所述伺服电机输出轴贯穿支撑臂，且向下延伸；所述伺服电机输出轴固定有抛光打磨盘。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过启动真空发生器，依次通过抽气管和连通在放置板顶部的若干真空吸盘对钼钠合金靶材进行吸附定位，然后启动驱动电机，使得两夹持组件在工作台同向移动，直到两夹持组件中的夹臂，在弯曲弹簧的弹性作用力下，在连接轴周侧面转动，使夹臂一端固定的弧形橡胶垫缓慢的与钼钠合金靶材的周侧面进行夹持固定，实现了对不同大小的钼钠合金靶材的进一步地夹持定位，防止其在进行抛光打磨的过程中发生偏移，影响抛光效果。

2、本实用新型通过启动伸缩杆，带动抛光组件在升降滑槽内上下滑动，等到抛光打磨盘与钼钠合金靶材的打磨面相互接触后，关闭伸缩杆，启动伺服电机，带动伺服电机输出轴固定的抛光打磨盘转动，进行抛光打磨操作，以便实现对不同厚度大小的钼钠合金靶材的抛光打磨操作。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备的结构示意图。

图2为工作台的结构示意图。

图3为工作台的正视图。

图4为夹持组件的结构示意图。

图5为抛光组件的结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-工作台，2-夹持组件，3-抛光组件，101-滑动槽，102-抽气管，103-放置板，104-真空发生器，105-真空吸盘，106-驱动电机，107-双向螺纹杆，108-立柱，109-升降滑槽，110-伸缩杆，111-第一法兰盘，201-滑动轨，202-矩形柱，203-连接轴，204-夹臂，205-侧挡板，206-弯曲弹簧，207-弧形橡胶垫，208-L形滑杆，209-螺纹孔，301-支撑臂，302-限位导座，303-第二法兰盘，304-伺服电机，305-抛光打磨盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

具体实施例：

请参阅图1-5所示，本实用新型为一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，包括工作台1、夹持组件2和抛光组件3，工作台1上滑动设置有对称的两夹持组件2；工作台1上滑动设置有抛光组件3；工作台1顶部中心位置开设有滑动槽101；工作台1顶部中心位置连通有抽气管102；抽气管102顶部固定有放置板103；抽气管102底部连接有真空发生器104；放置板103顶部连通有真空吸盘105；夹持组件2包括有滑动轨201；滑动轨201顶部固定有矩形柱202；矩形柱202顶部固定有对称的两连接轴203；两连接轴203周侧面转动配合有夹臂204；矩形柱202顶部固定有侧挡板205；侧挡板205一侧固定有对称的两弯曲弹簧206；两弯曲弹簧206一端分别与两夹臂204一侧固定连接；夹臂204一端固定有弧形橡胶垫207；将钼钠合金靶材放置在放置板103顶部连通的真空吸盘105的顶部，然后启动真空发生器104，依次通过抽气管102和连通在放置板103顶部的若干真空吸盘105对钼钠合金靶材进行吸附定位，然后启动驱动电机106，使得两L形滑杆208上的两螺纹孔209在双向螺纹杆107的周侧面螺纹转动移动，并通过滑动轨201与滑动槽101之间的滑动配合，使得两夹持组件2在工作台1同向移动，直到两夹持组件2中的夹臂204，在弯曲弹簧206的弹性作用力下，使夹臂204一端固定的弧形橡胶垫207缓慢的与钼钠合金靶材的周侧面进行夹持固定，实现了对不同大小的钼钠合金靶材的进一步地夹持定位，防止其在进行抛光打磨的过程中发生偏移，影响抛光效果。

请参阅图1-4所示，工作台1一侧固定有驱动电机106；驱动电机106输出轴固定有双向螺纹杆107；滑动轨201底部固定有L形滑杆208；L形滑杆208一侧面开设有螺纹孔209；螺纹孔209与双向螺纹杆107螺纹转动配合；启动驱动电机106，使得两L形滑杆208上的两螺纹孔209在双向螺纹杆107的周侧面螺纹转动配合，以实现两对称的夹持组件2在工作台1上的相对移动，对放置在工作台上的钼钠合金靶材进行夹持固定。

请参阅图1-5所示，工作台1顶部固定有立柱108；立柱108一侧面开设有升降滑槽109；工作台1顶部位于立柱108一侧面固定有伸缩杆110；伸缩杆110顶部固定有第一法兰盘111抛光组件3包括有支撑臂301；支撑臂301一侧固定有限位导座302；支撑臂301底部固定有第二法兰盘303；限位导座302与升降滑槽109滑动配合；第二法兰盘303与第一法兰盘111通过固定螺栓固定连接；通过固定螺栓将第二法兰盘303与第一法兰盘111固定连接，使得抛光组件3连接在工作台1的顶部，然后启动伸缩杆110，带动支撑臂301一侧的限位导座302在立柱108一侧面开设的升降滑槽109内上下滑动，以便实现对不同厚度大小的钼钠合金靶材的抛光打磨操作。

请参阅图5所示，支撑臂301顶部固定有伺服电机304；伺服电机304输出轴贯穿支撑臂301，且向下延伸；伺服电机304输出轴固定有抛光打磨盘305；启动伺服电机304，带动伺服电机304输出轴固定的抛光打磨盘305转动，并对钼钠合金靶材进行抛光操作。

本实施例的一个具体应用为：

将钼钠合金靶材放置在放置板103顶部连通的真空吸盘105的顶部，然后启动真空发生器104，依次通过抽气管102和连通在放置板103顶部的若干真空吸盘105对钼钠合金靶材进行吸附定位，然后启动驱动电机106，使得两L形滑杆208上的两螺纹孔209在双向螺纹杆107的周侧面螺纹转动移动，并通过滑动轨201与滑动槽101之间的滑动配合，使得两夹持组件2在工作台1同向移动，直到两夹持组件2中的夹臂204，在弯曲弹簧206的弹性作用力下，使夹臂204一端固定的弧形橡胶垫207缓慢的与钼钠合金靶材的周侧面进行夹持固定，实现了对不同大小的钼钠合金靶材的进一步地夹持定位，防止其在进行抛光打磨的过程中发生偏移，影响抛光效果；然后启动伸缩杆110，带动支撑臂301一侧的限位导座302在立柱108一侧面开设的升降滑槽109内上下滑动，等到抛光打磨盘305与钼钠合金靶材的打磨面相互接触后，关闭伸缩杆110，启动伺服电机304，带动伺服电机304输出轴固定的抛光打磨盘305转动，并对钼钠合金靶材进行抛光打磨操作，以便实现对不同厚度大小的钼钠合金靶材的抛光打磨操作。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (6)

1.一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，包括工作台(1)、夹持组件(2)和抛光组件(3)，所述工作台(1)上滑动设置有对称的两夹持组件(2)；所述工作台(1)上滑动设置有抛光组件(3)；

其特征在于：

所述工作台(1)顶部中心位置开设有滑动槽(101)；所述工作台(1)顶部中心位置连通有抽气管(102)；所述抽气管(102)顶部固定有放置板(103)；所述抽气管(102)底部连接有真空发生器(104)；所述放置板(103)顶部连通有真空吸盘(105)；

所述夹持组件(2)包括有滑动轨(201)；所述滑动轨(201)顶部固定有矩形柱(202)；所述矩形柱(202)顶部固定有对称的两连接轴(203)；两所述连接轴(203)周侧面转动配合有夹臂(204)；所述矩形柱(202)顶部固定有侧挡板(205)；所述侧挡板(205)一侧固定有对称的两弯曲弹簧(206)；两所述弯曲弹簧(206)一端分别与两夹臂(204)一侧固定连接；所述夹臂(204)一端固定有弧形橡胶垫(207)。

2.根据权利要求1所述的一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，其特征在于，所述工作台(1)一侧固定有驱动电机(106)；所述驱动电机(106)输出轴固定有双向螺纹杆(107)。

3.根据权利要求2所述的一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，其特征在于，所述滑动轨(201)底部固定有L形滑杆(208)；所述L形滑杆(208)一侧面开设有螺纹孔(209)；所述螺纹孔(209)与双向螺纹杆(107)螺纹转动配合。

4.根据权利要求1所述的一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，其特征在于，所述工作台(1)顶部固定有立柱(108)；所述立柱(108)一侧面开设有升降滑槽(109)；

所述工作台(1)顶部位于立柱(108)一侧面固定有伸缩杆(110)；所述伸缩杆(110)顶部固定有第一法兰盘(111)。

5.根据权利要求4所述的一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，其特征在于，所述抛光组件(3)包括有支撑臂(301)；所述支撑臂(301)一侧固定有限位导座(302)；所述支撑臂(301)底部固定有第二法兰盘(303)；所述限位导座(302)与升降滑槽(109)滑动配合；所述第二法兰盘(303)与第一法兰盘(111)通过固定螺栓固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，其特征在于，所述支撑臂(301)顶部固定有伺服电机(304)；所述伺服电机(304)输出轴贯穿支撑臂(301)，且向下延伸；所述伺服电机(304)输出轴固定有抛光打磨盘(305)。

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