CN217476322U - 液路循环***及切片机 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供一种液路循环***及切片机，其中，液路循环***包括：供液缸、收集槽及喷淋装置；喷淋装置设置于切割设备的切割主辊上方，用于对切割主辊绕设的切割线网提供切割液；收集槽设置于切割主辊下方用于收集切割液；收集槽还通过管路与供液缸连通，收集的切割液回流至供液缸；喷淋装置包括：用于容纳切割液的喷淋管，设有喷淋孔；喷淋管的注入口与供液缸通过管路连通；泄流板，设置于喷淋管内，将喷淋管的内部空间分隔为第一空间和第二空间，第一空间与喷淋管的注入口连通，第二空间与喷淋孔连通；泄流板设有泄流孔，第一空间和第二空间通过泄流孔连通。本申请实施例提供的液路循环***及切片机能够提高对切割线网冷却的效果。

Description

液路循环***及切片机

技术领域

本申请涉及硅片生产技术，尤其涉及一种液路循环***及切片机。

背景技术

切片机是一种将硬脆材料棒切割成薄片的设备，切片机通常采用两根平行的主辊水平布置，单根金刚线绕设在两根主辊上形成至少2000根线锯。以硅棒作为硬脆材料棒为例，硅棒自上向下移动从两根主辊之间穿过，主辊转动，带动金刚线高速移动将硅棒切成薄片状。

在硅棒的两侧分别设有喷淋装置，用于在切割的过程中向线锯喷洒切割液，用于对线锯进行冷却，并冲掉线锯上的硅粉。切割液由切片机中的供液***提供，在实际应用中，供液***的供液压力存在较大的波动，导致切割液从喷淋装置喷出的压力时大时小，使得喷洒向线锯的切割液不均匀分布，极大地影响了冷却效果，而且当线锯上存在较多的硅粉还会影响切割形成硅片表面的粗糙度，进而降低成品率。

发明内容

为了解决上述技术缺陷之一，本申请实施例中提供了一种液路循环***及切片机。

根据本申请实施例的第一个方面，提供了一种液路循环***，包括：

用于容纳切割液的供液缸；

喷淋装置，与供液缸之间通过管路相连，设置于切割设备的切割主辊上方，用于对切割主辊绕设的切割线网提供切割液；

收集槽，设置于切割主辊下方，用于收集切割液；所述收集槽还通过管路与供液缸连通，收集的切割液回流至供液缸；

所述喷淋装置包括：

用于容纳切割液的喷淋管；所述喷淋管设有喷淋孔；所述喷淋管的注入口与供液缸通过管路连通；

泄流板，设置于所述喷淋管内，将喷淋管的内部空间分隔为第一空间和第二空间，第一空间与喷淋管的注入口连通，第二空间与喷淋孔连通；所述泄流板设有泄流孔，喷淋管的第一空间和第二空间通过泄流孔连通。

如上所述的液路循环***，所述喷淋装置还包括：

引流板，设置于所述喷淋孔的下方，以将喷淋孔内流出的切割液引导至切割线网。

如上所述的液路循环***，所述引流板倾斜设置，所述引流板的一端与喷淋管连接用于承接从喷淋孔流出的切割液，另一端朝向所述切割线网以将切割液引导至所述切割线网。

如上所述的液路循环***，所述喷淋管内的第一空间位于第二空间上方。

如上所述的液路循环***，所述引流板包括：沿引流板宽度方向布设的第一板段和第二板段，第一板段与第二板段之间的夹角大于或等于90°；第一板段的顶端延伸至喷淋孔远离切割线网的侧面，第一板段和第二板段围设于喷淋管的下方形成引流空间。

如上所述的液路循环***，还包括：

密封板，其一端延伸至喷淋管的外表面，位于喷淋孔靠近切割线网的侧面；密封板止挡于引流空间的上方，密封板与引流板的端部之间形成切割液的流出口。

如上所述的液路循环***，还包括：

连接板；所述连接板沿其长度方向的两端连接至引流板；所述密封板固定于所述连接板。

如上所述的液路循环***，还包括：

调整板；所述调整板设有沿竖向延伸的长孔，通过能穿过长孔的螺栓连接至连接板；所述调整板的底端与引流板之间的间隙形成引流空间的出口。

如上所述的液路循环***，还包括：

过滤桶组件，连接在供液缸与喷淋装置之间；所述过滤桶组件内设有切割液过滤网。

如上所述的液路循环***，还包括：

换热组件，连接在过滤桶组件与喷淋装置之间；切割液流经换热组件内进行降温。

如上所述的液路循环***，还包括：

流量计组件，连接于换热组件与喷淋装置之间。

如上所述的液路循环***，所述喷淋装置的数量为两个，分别布设于两个切割主辊的上方；两个喷淋装置分别通过管路与三通件的两个接口相连，三通件的另一个接口通过管路与供液缸相连。

根据本申请实施例的第二个方面，提供了一种切片机，包括：如上所述的液路循环***。

本申请实施例所提供的技术方案，采用喷淋装置设置于切割主辊上方，供液缸向喷淋装置提供切割液，以使喷淋装置向切割线网喷洒切割液，对切割线网进行降温冷却，并冲掉切割线网上附着的硅粉，保障切割得到硅片的表面质量，进而提高硅片成品率。另外，在喷淋管内设置泄流板，泄流板将喷淋管的内部空间划分为第一空间和第二空间，且泄流板上开设的泄流孔将第一空间和第二空间连通，以使进入喷淋管内的切割液先进入第一空间，经泄流孔进入第二空间，再经过喷淋孔流向切割线网。该方案中泄流板上设置有泄流孔，减缓了切割液在喷淋管内的流动。在供液压力波动的情况下，切割液也能在喷淋管内分布均匀，从而均匀地从喷淋孔流出，以确保切割液均匀地流向切割线网，保障冷却效果及冲刷切割线上的硅粉。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例提供的液路循环***的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的切片机中设有喷淋装置的立体视图；

图3为本申请实施例提供的切片机中设有喷淋装置的侧视图；

图4为本申请实施例提供的切片机中喷淋装置的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的切片机中喷淋装置的横断面视图；

图6为图4中A区域的放大视图；

图7为本申请实施例提供的切片机中清洗装置的结构示意图；

图8为图2中B区域的放大视图。

附图标记：

11-切割框架；12-切割主辊；13-收集槽；14-一级过滤网；15-二级过滤网；16-碎片盒；

2-喷淋装置；21-喷淋管；211-喷淋孔；212-切割液注入管；213-切割液管路接头；22-泄流板；221-泄流孔；23-引流板；24-连接板；25-调整板；251-长孔；26-密封板；27-喷淋支架；28-三通件；

31-硅棒；

4-清洗装置；41-清洗管；42-清洗液注入管；43-清洗液喷孔；44-清洗液管路接头；45-卡扣；

5-供液缸；

6-过滤桶组件；

7-换热组件；

8-流量计组件。

具体实施方式

为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

本实施例提供一种液路循环***，可应用于对硬脆材料棒进行切割的切割设备中，尤其适用于对横截面为矩形的硅棒进行切片的切片机。本实施例以切片机为例，对液路循环***进行详细说明，但本实施例所提供的技术方案同样也适用于除切片机之外的切割设备中。

图1为本申请实施例提供的液路循环***的结构示意图。如图1所示，本实施例所提供的液路循环***包括：供液缸5、喷淋装置2和收集槽13。其中，供液缸5用于容纳切割液，喷淋装置2与供液缸5之间通过管路相连，设置于切割设备的切割主辊12上方，用于对切割主辊12绕设的切割线网提供切割液，用于对切割液进行冷却，且冲掉切割线上附着的硅粉，以使切割形成硅片的表面粗糙度满足要求，提高成品率。收集槽13设置于切割主辊12下方，用于收集切割液。收集槽13还通过管路与供液缸5连通，收集的切割液回流至供液缸进行循环利用。

图2为本申请实施例提供的切片机中设有喷淋装置的立体视图，图3为本申请实施例提供的切片机中设有喷淋装置的侧视图。如图2和图3所示，本实施例提供的切片机包括：切割框架11和至少两个切割主辊12，切割主辊12并排设置。其中两个切割主辊12之间留有供硅棒31穿过的间隙。绕设于切割主辊12上的切割线形成切割线网，两个切割主辊12之间的切割线段作为切割线锯，硅棒31从切割线网的一侧朝向另一侧移动至两个切割主辊12之间，多根线锯对硅棒31进行切片，形成硅片。

切割主辊12的数量可以为两个、三个、四个或四个以上，切割线绕设于各切割主辊12上。两个切割主辊12水平并排布置。三个切割主辊12布置成三角形，其中两个切割主辊12处于同一高度，另一个切割主辊12位于上方或下方。四个切割主辊12布置成矩形或梯形。切割主辊12的两端通过轴承设置于切割框架11上，通过电机驱动切割主辊12转动。

本实施例中，以两个切割主辊12为例，两个切割主辊12平行且处于同一高度，硅棒31可从上向下移动进行切割，或从下向上移动进行切割。本实施例中，硅棒31从上向下移动进行切割。

喷淋装置2设置于切割主辊12的上方，且位于切割线网的一侧，用于在切片过程中向切割线网喷射切割液，以减少切割过程中产生的粉尘，并对切割液进行冷却。喷淋装置2可安装于切割框架11上。

图4为本申请实施例提供的切片机中喷淋装置的结构示意图，图5为本申请实施例提供的切片机中喷淋装置的横断面视图。如图4和图5所示，喷淋装置包括：喷淋管21和泄流板22。

其中，喷淋管21用于容纳切割液，喷淋管21与切割主辊12平行布置。喷淋管21具有注入口，注入口与切片机中的供液***通过管路相连，供液***向喷淋管21注入切割液。喷淋管21设有喷淋孔211，切割液可从喷淋孔211流出。喷淋孔211的数量为多个，各喷淋孔211间隔设置，也可以均匀设置。

泄流板22设置于喷淋管21内，将喷淋管21的内部空间分隔为第一空间和第二空间。第一空间与注入口连通，第二空间与喷淋孔211连通。泄流板22设有泄流孔221，上述第一空间和第二空间通过泄流孔221连通。

本实施例所提供的技术方案，采用喷淋装置设置于切割主辊上方，供液缸向喷淋装置提供切割液，以使喷淋装置向切割线网喷洒切割液，对切割线网进行降温冷却，并冲掉切割线网上附着的硅粉，保障切割得到硅片的表面质量，进而提高硅片成品率。另外，在喷淋管内设置泄流板，泄流板将喷淋管的内部空间划分为第一空间和第二空间，且泄流板上开设的泄流孔将第一空间和第二空间连通，以使进入喷淋管内的切割液先进入第一空间，经泄流孔进入第二空间，再经过喷淋孔流向切割线网。该方案中泄流板上设置有泄流孔，减缓了切割液在喷淋管内的流动。在供液压力波动的情况下，切割液也能在喷淋管内分布均匀，从而均匀地从喷淋孔流出，以确保切割液均匀地流向切割线网，保障冷却效果及冲刷切割线上的硅粉。

在上述技术方案的基础上，一种实施方式为：泄流板22设置于喷淋管21内，将喷淋管21的内部空间分隔为上部空间(即：第一空间)和下部空间(第二空间)。泄流板22设有沿厚度方向贯通泄流板22的泄流孔221，喷淋管21的上部空间和下部空间通过泄流孔221连通。喷淋管21的上部设有注入口，用于通过管路与供液***相连。上部空间内的切割液通过泄流孔221进入下部空间，下部空间内的切割液通过喷淋孔211流出。

泄流孔221的数量为多个，各泄流孔221间隔设置，也可以均匀设置。泄流孔221与喷淋孔211可上下对正，也可以上下错开。

进一步的，引流板23设置于喷淋孔211的下方，以将喷淋孔211内流出的切割液引导至切割线网。

一种实施方式为：引流板23设置于喷淋管21的下方，且倾斜设置。引流板23的一端与喷淋管21连接用于承接从喷淋孔211流出的切割液，另一端朝向切割线网以将切割液引导至切割线网。

一种具体方式：引流板23靠近喷淋管21的端部较高，靠近切割线网的高度较低。引流板23承接从喷淋孔211流出的切割液，切割液沿着引流板23流向切割线网。一种实现方式为：引流板23的长度与喷淋管21的长度相匹配，以使所有从喷淋孔211流出的切割液都被引流板23承接。

喷淋管21的端部或中部设有注入口，切割液注入管212的一端连接至注入口，另一端设有切割液管路接头213，切割液管路接头213通过管路与供液***中的清洗液供液管路相连。

上述供液缸5具有内部空腔，切割液容纳于内部空腔内。供液缸5具有与内部空腔连通的液体出口，液体出口通过管路与喷淋装置2连通。供液缸5设置有供液泵，供液泵将切割液从液体出口泵送至管路。

在上述方案基础上，液路循环***还包括：过滤桶组件6，连接在供液缸5与喷淋装置2之间。过滤桶组件内设有切割液过滤网，用于对切割液进行过滤，滤除大颗粒、小颗粒物体，以减少后续通过喷淋装置2送出的切割液中的固体颗粒，进而保障切割质量，提高成品率。

进一步的，液路循环***还包括：换热组件7，连接在过滤桶组件6与喷淋装置2之间，切割液流经换热组件7内进行降温。降低切割液的温度，能够提高对切割线网的冷却效果。

进一步的，液路循环***还包括：流量计组件8，连接于换热组件7与喷淋装置2之间。流量计组件8用于检测提供给喷淋装置2的切割液流量，流量计组件8检测到的流量也可以反馈给控制器，通过控制器向管路中的开关阀发送开度指令，调整开关阀的开度，进而调整管路中的切割液流量，以达到满足切割线网冷却要求的效果。

基于上述方案，喷淋装置2的数量为两个，分别布设于两个切割主辊12的上方。两个喷淋装置2分别通过管路与三通件28的两个接口相连，三通件28的另一个接口通过管路与供液缸5相连。通过供液缸5向两个喷淋装置2提供切割液，两个喷淋装置2中的切割液流量基本相同，可是切割线网上的切割液保持均匀，有利于保障硅片切割质量。

图1中的实线箭头展示了切割液的流向，从供液缸流出，依次经过滤桶组件、换热组件、流量计组件、喷淋装置流向切割线网。

在上述技术方案的基础上，本实施例提供一种引流板的具体实现方式：

图5为本申请实施例提供的切片机中喷淋装置的横断面视图。如图4和图5所示，将引流板23的长度方向定义为与切割主辊12轴向相同的方向，将引流板23的宽度方向定义为从喷淋管21朝向切割线网的方向。引流板23具体包括：沿引流板23宽度方向布设的第一板段和第二板段，第一板段与第二板段之间的夹角大于或等于90°，二者平滑过渡。第一板段可沿竖向方向延伸，或斜向延伸，其顶端延伸至与喷淋管21抵接且位于喷淋孔211远离切割线网侧面，如图5中第一板段向上抵接于喷淋管21的左侧，侧面，第一板段和第二板段围设于喷淋管21的下方形成引流空间。

一种具体方式：第一板段和第二板段呈L形，其中第一板段的顶端延伸至与喷淋管21的外壁焊接且位于喷淋孔211的左侧，第二板段向右下方向延伸。引流板23与喷淋管21围成一个引流空间，切割液从喷淋孔211流出，在引流空间内沿第二板段向下流动，从第二板段的右端流出。

第二板段与水平方向之间的夹角为(0°，20°]，即：大于0°且小于或等于20°。例如：第二板段与水平方向之间的夹角可在5°左右，以使切割液平缓流出，且具有一定的初速度以抛物线轨迹射向切割线网。以使切割线网的中部和两端均与切割液接触，以保障冷却及冲刷效果。

上述喷淋管21可固定至切割框架11上，例如：喷淋管21的两端分别通过喷淋支架27固定至切割框架11。

进一步的，采用密封板26，其一端延伸至喷淋管21的外表面，例如可焊接至喷淋管21的外表面，且位于喷淋孔211靠近切割线网的侧面，如图5中位于喷淋孔211的右侧。密封板26可沿水平方向延伸，或沿斜向下延伸，止挡于引流空间的上方，密封板26与引流板21的端部之间形成切割液的流出口。密封板26、引流板23与喷淋管21围成密闭的引流空间，仅在密封板26与引流板23的端部形成开口，供切割液流出。上述方案使切割液全部从开口流出，都能流到切割线网上，保障对切割线网的冷却及冲洗效果。

密封板26的两端也可以固定至喷淋支架27。或者也可以采用如下方式固定密封板26：

采用连接板24，沿切割主辊12的轴向延伸。连接板24沿其长度方向的两端可通过焊接的方式固定至引流板23。密封板26固定至连接板24，可通过焊接或螺栓连接的方式进行固定。连接板24一方面起到固定密封板26的作用，另一方面连接板24的底端与引流板23之间的间隙形成引流空间的出口，且与密封板26、引流板23一起围设形成引流空间，使切割液全部从开口流出，都能流到切割线网上，保障对切割线网的冷却及冲洗效果。

进一步的，密封板26包括密封板段和固定板段。其中，密封板段和固定板段之间的夹角小于或等于90°。密封板段的一端延伸至喷淋管21的外表面，具体为焊接至喷淋管21的外表面，且位于喷淋孔211的右侧。密封板段向右向下倾斜设置，密封板段靠近喷淋管21的一端与引流板23之间的距离大于远离喷淋管21端部与引流板23之间的距离。固定板段与连接板24平行且固定于连接板24。

图6为图4中A区域的放大视图。如图6所示，进一步的，还包括调整板25。调整板25与连接板24平行，且与密封板26分别位于连接板24的两侧。调整板25设有沿竖向延伸的长孔251，通过能穿过长孔251的螺栓连接至连接板24，具体的，采用螺栓依次穿过调整板25的长孔251、连接板24上的通孔及密封板26上的通孔后与螺母配合连接，以将密封板26、连接板24和调整板25固定在一起。调整板25的底端与引流板23之间的间隙形成引流空间的出口，通过调整螺栓在长孔251内的位置，进而改变调整板25的高度，以调节引流空间出口的大小，改变切割液出口流量及压力。

针对本实施例所提供的切片机，如图2和图3所示，在切割主辊12的下方设有用于收集切割液的收集槽13，切割液从两个切割主辊12之间的区域流入收集槽13内，通过收集管路并进行过滤后循环利用。切割液可以为洁净水，也可以为其他耐腐蚀且不易与硅棒表面发生化学反应的液体。

进一步的，收集槽13的顶部设有过滤网，用于滤除切割碎块。采用两级过滤网，即：上方设置一级过滤网14，用于滤除大颗粒物，下方设置二级过滤网15，用于滤除小颗粒物。

在两个切割主辊12之间还设有碎片盒16，用于收集切割过程中产生的硅碎片，减少掉落于第一过滤网14上的硅片，避免堵塞。

在上述技术方案的基础上，本实施例提供的切片机还设置有清洗装置4，能够在切片后退棒的过程中对硅片进行预清洗，洗掉硅片表面和切缝中的硅粉。利用退棒过程进行预清洗，省去了后续在脱胶机中进行预清洗的步骤，缩短了硅片的生产时间。而且不需要在脱胶机内设置预清洗装置，能够简化脱胶机的结构。

清洗装置4与喷淋装置2设置于切割线网的同一侧。清洗装置4中清洗液出口与切割主辊12之间的距离大于喷淋装置2中切割液出口与切割主辊12之间的距离。

本实施例以从上向下移动进行切割为例，硅棒下降，形成在切割主辊12上表面的切割线网对硅棒进行切片。在切割完成后，硅棒上升进行退棒。清洗装置4与喷淋装置2设置于切割线网的上方，清洗装置4中的清洗液出口高于喷淋装置2中的切割液出口，切割液出口高度较低，直接喷射到切割线网上；而清洗液出口高度较高，以在退棒过程中喷射清洗液。

在向上退棒的过程中，切割线夹在硅片之间并进行慢走线，相邻硅片之间具有一定间隙，没有完全贴合在一起，此时对硅片进行清洗，液体更容易进入硅片之间，能够提高清洗效果，极大地降低硅片之间的硅粉浓度，更便于向上退棒并可以减少硅片划伤。

图7为本申请实施例提供的切片机中清洗装置的结构示意图。如图7所示，清洗装置4包括：清洗管41和清洗液注入管42。其中，清洗管41沿水平方向延伸，从切割主辊12的一端延伸至另一端。清洗管41朝向硅片的一侧设置有清洗液喷孔43，作为清洗液出口，清洗液从清洗液喷孔43喷出，射向硅片。清洗液注入管42连接至清洗管41的一端，清洗管41的另一端封闭。清洗管41上设有多个清洗液喷孔43。

具体的，清洗液注入管42的一端通过清洗液管路接头44与切片机上的清洗液供液管路相连，通过清洗液供液管路向清洗管141源源不断地提供清洗液，清洗液从切割主辊12的下方收集并进行回收，循环利用。清洗液可以为洁净水，也可以为其他耐腐蚀且不易预硅片表面发生化学反应的液体。

清洗管41的长度可小于切割主辊12的长度，且大于硅棒的长度，具体可根据硅棒的长度进行设定。例如：清洗管41的长度为600mm-900mm，管径为20mm-40mm，清洗液注入管42的注液压力为0.2Mpa-1Mpa。清洗液喷孔43的直径为0.3mm-1.5mm，均匀布设于清洗管41上。

图8为图2中B区域的放大视图。如图8所示，基于上述喷淋装置2的技术方案，清洗管41可布设在密封板26的上方。采用卡扣45将清洗管41固定在切割液注入管212上，卡扣45位于清洗管41的中部，使得安装距离较短，减少安装部件尺寸。卡扣45具体包括上安装板及下扣环，下扣环位于切割液注入管212的下方并通过螺栓固定至上安装板，便于拆装。

本实施例提供一种切片机，包括上述任一内容所提供的液路循环***，且具有与上述液路循环***相同的技术效果。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或可以互相通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (13)

1.一种液路循环***，其特征在于，包括：

用于容纳切割液的供液缸；

喷淋装置，与供液缸之间通过管路相连，设置于切割设备的切割主辊上方，用于对切割主辊绕设的切割线网提供切割液；

收集槽，设置于切割主辊下方，用于收集切割液；所述收集槽还通过管路与供液缸连通，收集的切割液回流至供液缸；

所述喷淋装置包括：

用于容纳切割液的喷淋管；所述喷淋管设有喷淋孔；所述喷淋管的注入口与供液缸通过管路连通；

泄流板，设置于所述喷淋管内，将喷淋管的内部空间分隔为第一空间和第二空间，第一空间与喷淋管的注入口连通，第二空间与喷淋孔连通；所述泄流板设有泄流孔，喷淋管的第一空间和第二空间通过泄流孔连通。

2.根据权利要求1所述的液路循环***，其特征在于，所述喷淋装置还包括：

引流板，设置于所述喷淋孔的下方，以将喷淋孔内流出的切割液引导至切割线网。

3.根据权利要求2所述的液路循环***，其特征在于，所述引流板倾斜设置，所述引流板的一端与喷淋管连接用于承接从喷淋孔流出的切割液，另一端朝向所述切割线网以将切割液引导至所述切割线网。

4.根据权利要求1所述的液路循环***，其特征在于，所述喷淋管内的第一空间位于第二空间上方。

5.根据权利要求3所述的液路循环***，其特征在于，所述引流板包括：沿引流板宽度方向布设的第一板段和第二板段，第一板段与第二板段之间的夹角大于或等于90°；第一板段的顶端延伸至喷淋孔远离切割线网的侧面，第一板段和第二板段围设于喷淋管的下方形成引流空间。

6.根据权利要求5所述的液路循环***，其特征在于，还包括：

密封板，其一端延伸至喷淋管的外表面，位于喷淋孔靠近切割线网的侧面；密封板止挡于引流空间的上方，密封板与引流板的端部之间形成切割液的流出口。

7.根据权利要求6所述的液路循环***，其特征在于，还包括：

连接板；所述连接板沿其长度方向的两端连接至引流板；所述密封板固定于所述连接板。

8.根据权利要求7所述的液路循环***，其特征在于，还包括：

调整板；所述调整板设有沿竖向延伸的长孔，通过能穿过长孔的螺栓连接至连接板；所述调整板的底端与引流板之间的间隙形成引流空间的出口。

9.根据权利要求1所述的液路循环***，其特征在于，还包括：

过滤桶组件，连接在供液缸与喷淋装置之间；所述过滤桶组件内设有切割液过滤网。

10.根据权利要求9所述的液路循环***，其特征在于，还包括：

换热组件，连接在过滤桶组件与喷淋装置之间；切割液流经换热组件内进行降温。

11.根据权利要求10所述的液路循环***，其特征在于，还包括：

流量计组件，连接于换热组件与喷淋装置之间。

12.根据权利要求1所述的液路循环***，其特征在于，所述喷淋装置的数量为两个，分别布设于两个切割主辊的上方；两个喷淋装置分别通过管路与三通件的两个接口相连，三通件的另一个接口通过管路与供液缸相连。

13.一种切片机，其特征在于，包括：如权利要求1-12任一项所述的液路循环***。

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