CN215909811U - 一种探针卡固定治具及检测台 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种探针卡固定治具及检测台，探针卡固定治具包括：底座；两个支撑座，两个所述支撑座设于所述底座上；定位基板，所述定位基板固定在所述支撑座顶端，且所述定位基板底部具有朝向所述底座的水平表面；驱动器，所述驱动器可移动设置于所述支撑座上，且所述驱动器顶端用于放置探针卡；所述驱动器用于驱动所述探针卡向所述水平表面方向移动。本申请解决了现有的探针卡固定治具将探针卡固定之后测量的探针长度有误差，会使探针卡的校准精度下降的问题。

Description

一种探针卡固定治具及检测台

技术领域

本申请涉及探针卡固定装置领域，特别涉及一种探针卡固定治具及检测台。

背景技术

探针卡是一种用于实现测试机与晶圆的电器连接的部件，探针卡上的探针直接与晶圆上的锡垫或凸块接触，引出电信号，再配合测试机进行测量。探针卡上探针的数量从几根到几百根不等，数量越大探针卡价格越昂贵。探针卡的使用寿命一般都在1000万次以上，因此一个新的探针卡从投入使用到报废的这个过程中需要多次维护，探针卡在使用前需要对其进行测试，来保证其精度，在测试过程中需要使用到固定治具将探针卡固定住。

现有的探针卡固定治具，是将探针卡摆放在一水平表面上，使探针卡的底面贴触在该水平表面上，致使探针卡与水平表面对位而呈水平装摆放，再利用盖板压在探针卡的顶面上以使探针卡固定，由于探针卡在多次使用之后其自身的PCB板的平整度会发生变化，因此将探针卡的底面进行水平对位，而具有探针的探针卡顶面却有弯曲的现象，这样容易导致探针卡固定之后对探针测量的长度产生误差，使得探针卡的校准精度下降。

实用新型内容

本申请实施例提供一种探针卡固定治具及检测台，解决了现有的探针卡固定治具将探针卡固定之后测量的探针长度有误差，会使探针卡的校准精度下降的问题。

本实用新型是这样实现的，一种探针卡固定治具，包括：

底座；

两个支撑座，两个所述支撑座设于所述底座上；

定位基板，所述定位基板固定在所述支撑座顶端，且所述定位基板底部具有朝向所述底座的水平表面；

驱动器，所述驱动器可移动设置于所述支撑座上，且所述驱动器顶端用于放置探针卡；

所述驱动器用于驱动所述探针卡向所述水平表面方向移动。

根据本申请实施例提供的探针卡固定治具，通过调节驱动器来驱动探针卡向定位基板的水平表面方向移动，可以将探针卡固定在驱动器和水平表面之间，此时探针卡具有探针的顶面就与定位基板的水平表面贴抵，探针卡呈水平状固定，这样在测量探针长度时就可以消除探针卡自身PCB板弯曲带来的误差，提高探针长度测量的准确度，进而使探针卡的校准精度得到提升。

在其中一个实施例中，所述驱动器包括滑块和调节旋钮；

所述滑块可移动设置于所述支撑座上，所述调节旋钮转动设置于所述滑块底部，用于驱动所述滑块相对于所述支撑座移动。

在其中一个实施例中，所述调节旋钮外表面设置有辅助槽。

在其中一个实施例中，所述驱动器顶端设置有卡槽，所述卡槽用于放置探针卡。

在其中一个实施例中，所述卡槽表面设有防滑垫片。

在其中一个实施例中，所述底座上开设有镂空槽。

在其中一个实施例中，所述底座的底面均匀分布设置有至少三个防滑垫块。

本申请实施例还提供了一种检测台，包括：

检测台本体，所述检测台本体上设置有投影仪；

如上述任一实施例所述的探针卡固定治具，所述探针卡固定治具设置于所述检测台本体上，且位于所述投影仪上方；

检测镜头，所述检测镜头设置于所述检测本体上，且位于所述探针卡固定治具上方。

从以上技术方案可以看出，本实用新型的实施例实现的有益效果为：将探针卡放置在驱动器顶端，驱动器可以驱动探针卡向水平表面移动，探针卡就会被固定在驱动器和定位基板之间，探针卡的顶面就会与水平表面相贴抵，这样可以确保探针卡呈水平状，此时测量探针长度就是以探针卡顶面为基准面进行测量，很好的消除了探针卡自身PCB板弯曲带来的误差，提高探针长度测量的准确度，进而使探针卡的校准精度得到提升。

附图说明

图1是本申请实施例提供的探针卡固定治具的结构示意图。

图2是本申请实施例提供的探针卡固定治具的正视图。

图3是本申请实施例提供的探针卡固定治具的侧视图。

图4是本申请实施例提供的探针卡固定治具的俯视图。

附图标记：10、底座；20、支撑座；30、定位基板；31、水平表面；40、驱动器；41、滑块；42、调节旋钮；420、辅助槽；410、卡槽；50、镂空槽。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本申请实施例提供一种探针卡固定治具及检测台，解决了现有的探针卡固定治具将探针卡固定之后测量的探针长度有误差，会使探针卡的校准精度下降的问题。

图1示出了本实用新型较佳实施例提供的探针卡固定治具的结构示意图，为了便于说明，仅示出了与本实施例相关的部分，详述如下：

参考图1，本申请实施例提供的探针卡固定治具包括底座10、两个支撑座20、定位基板30、驱动器40；两个支撑座20设于底座10上；定位基板30固定在支撑座20顶端，且定位基板30底部具有朝向底座10的水平表面31；驱动器40可移动设置于支撑座20上，且驱动器40顶端用于放置探针卡；驱动器40用于驱动探针卡向水平表面31方向移动。

根据本申请实施例提供的探针卡固定治具，通过调节驱动器40来驱动探针卡向定位基板30的水平表面31方向移动，可以将探针卡固定在驱动器40和水平表面31之间，此时探针卡具有探针的顶面就会与定位基板30的水平表面31贴抵，探针卡呈水平状固定，这样在测量探针长度时就可以消除探针卡自身PCB板弯曲带来的误差，提高探针长度测量的准确度，进而使探针卡的校准精度得到提升。

可选的，由于探针卡自身的PCB板通常为方形，所以两个支撑座20可以互相平行的设于底座10上，这样两个驱动器40就是互相平行的，可以确保探针卡放置在驱动器40顶端时驱动器40顶端表面全部与探针卡的底面相贴，探针卡放置的更加稳定，为了使整个探针卡固定治具外形更加整洁美观，可以将两个支撑座20对称的设于底座10上，这样底座10的尺寸在设计时只要满足两个支撑座20的设置位置要求即可，不仅探针卡固定治具外观整洁美观，而且也可以节省底座10的制造材料，节省成本。

在其中一个实施例中，参考图1，驱动器40包括滑块41和调节旋钮42；滑块41可移动设置于支撑座20上，调节旋钮42转动设置于滑块41底部，用于驱动滑块41相对于支撑座20移动。

以上设置中，调节旋钮42驱动滑块41移动的具体实现方式为：在滑块41内部设置有调节螺母，调节旋钮42包括调节丝杆和连接在丝杆一端的旋钮，丝杆从滑块41底部***滑块41内部与调节螺母螺纹连接，通过拧动旋钮就可以带动丝杆旋转，进而可以带动调节螺母相对于旋钮进行移动，也就是滑块41相对于旋钮发生移动，实现滑块41在支撑座20上的升降。

作为一种可选的实施方式，驱动器40可以包括气缸和驱动板，气缸的驱动轴顶端与驱动板连接，驱动板位于定位基板30下方，且驱动板上用于放置探针卡，将探针卡放置在驱动板上，使探针卡的顶面朝向定位基板30，控制气缸运动以驱动驱动板向上移动，也就是驱动板与定位基板30越来越接近，直到将探针卡固定在驱动板和定位基板30之间，此时探针卡的顶面与定位基板30的水平表面31贴抵，探针卡的顶面就呈一水平状，此时测量探针的长度就是以探针卡的顶面为水平基准面，这样测量的探针长度不受探针卡自身PCB板弯曲带来的影响，探针长度测量的准确度更高，进而探针卡的校准精度得到提升。

在其中一个实施例中，参考图1，调节旋钮42外表面设置有辅助槽420。通过以上设置，在调节旋钮42外表面设置辅助槽420可以使用户在手动旋转调节旋钮42时不容易打滑，而且辅助槽420增大了手和调节旋钮42之间的摩擦力也更有利于用户精确的调节滑块41移动的距离。

在其中一个实施例中，参考图1，驱动器40顶端设置有卡槽410，卡槽410用于放置探针卡。以上设置中，卡槽410为台阶，两个支撑座20上均设置有驱动器40，两个台阶互相正对，且两个台阶的侧面之间的距离与探针卡的宽度一致，这样可以从探针卡的上下两个方向以及左右两个方向上一起向探针卡施加压力将探针卡固定住，这样的固定效果更好。需要说明的是，这里的卡槽410深度需要小于或者等于探针卡自身的PCB板的厚度，这样探针卡的顶面才能与定位基板30的水平表面31相贴抵。

可选的，卡槽410表面设有防滑垫片。为了防止探针卡放置在卡槽410上之后，在驱动器40驱动探针卡移动的过程中探针卡发生移位影响探针卡呈水平状固定，在卡槽410表面设置防滑垫片，这样不仅探针卡不会轻易发生移位，而且探针卡被固定在卡槽410和水平表面31之间时不会因压力过大而对探针卡造成损坏，也不会因压力不足而使探针卡固定不牢靠。

在其中一个实施例中，参考图1，底座10上开设有镂空槽50。本申请实施例在实际应用时，将探针卡固定之后，会从探针卡的下方打开投影仪以使探针卡上的探针更容易分辨测量，因此镂空槽50的设置可以便于投影仪的光从探针卡上透过，对探针的精准测量起到良好的作用。

可选的，底座10的底面均匀分布设置有至少三个防滑垫块。通过以上设置，底座10可以是方形的，也可以是圆形的，当底座10是方形时，底座10的底面上可以在四个角处分别设置一个防滑垫块；当底座10是圆形时，底座10的底面上可以均匀的设置三个呈三角形连线的防滑垫块或者四个呈正方形连线的防滑垫块，这样才能有利于本申请实施例的探针卡固定治具放置的更加稳定，确保探针测量过程中探针卡固定治具不会发生晃动，不会影响探针卡顶面的水平状态。

本申请实施例还提供了一种检测台，包括检测台本体，检测台本体上设置有投影仪；如上述任一实施例中的探针卡固定治具，探针卡固定治具设置于检测台本体上，且位于投影仪上方；检测镜头，检测镜头设置于检测本体上，且位于探针卡固定治具上方。

根据本申请实施例提供的检测台，投影仪位于探针卡下方可以为探针卡打光以使探针卡透光，探针能够更加清晰的被看到，检测镜头位于探针卡上方可以精确的测量探针长度，采用探针卡固定治具将探针卡进行固定，可以使探针卡保持水平状，这样测量探针长度时全部都会以探针卡的顶面为基准，而探针卡的顶面保持水平状态，这样可以使测量的探针长度精准度更高，进而有利于探针卡的校准精度的提升。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种探针卡固定治具，其特征在于，包括：

底座(10)；

两个支撑座(20)，两个所述支撑座(20)设于所述底座(10)上；

定位基板(30)，所述定位基板(30)固定在所述支撑座(20)顶端，且所述定位基板(30)底部具有朝向所述底座(10)的水平表面(31)；

驱动器(40)，所述驱动器(40)可移动设置于所述支撑座(20)上，且所述驱动器(40)顶端用于放置探针卡；

所述驱动器(40)用于驱动所述探针卡向所述水平表面(31)方向移动。

2.根据权利要求1所述的探针卡固定治具，其特征在于，所述驱动器(40)包括滑块(41)和调节旋钮(42)；

所述滑块(41)可移动设置于所述支撑座(20)上，所述调节旋钮(42)转动设置于所述滑块(41)底部，用于驱动所述滑块(41)相对于所述支撑座(20)移动。

3.根据权利要求2所述的探针卡固定治具，其特征在于，所述调节旋钮(42)外表面设置有辅助槽(420)。

4.根据权利要求1-3任一项所述的探针卡固定治具，其特征在于，所述驱动器(40)顶端设置有卡槽(410)，所述卡槽(410)用于放置探针卡。

5.根据权利要求4所述的探针卡固定治具，其特征在于，所述卡槽(410)表面设有防滑垫片。

6.根据权利要求4所述的探针卡固定治具，其特征在于，所述底座(10)上开设有镂空槽(50)。

7.根据权利要求6所述的探针卡固定治具，其特征在于，所述底座(10)的底面均匀分布设置有至少三个防滑垫块。

8.一种检测台，其特征在于，包括：

检测台本体，所述检测台本体上设置有投影仪；

如权利要求1-7任一项所述的探针卡固定治具，所述探针卡固定治具设置于所述检测台本体上，且位于所述投影仪上方；

检测镜头，所述检测镜头设置于所述检测本体上，且位于所述探针卡固定治具上方。

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