CN215895218U - 用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，包括基座，所述基座上方一侧设有垫板，所述垫板上方一侧设有若干垫块，所述垫块上方设有支撑板，所述支撑板上方设有若干垫片，所述垫片上方位于所述支撑板相邻一侧设有推板，所述推板一侧与第一气缸输出端固定连接，所述基座一端设有立板，所述立板上方一侧设有安装板，所述安装板上方固定连接有第二气缸。本实用新型通过推板与挡板，挡板上的滚筒方便移动板件的位置将板件位置固定，方便对板件进行定位，并且通过设置独立的垫片，并在支撑板上设置通风口，通风口与垫片可以配合时板件下方空间流通，从而有效降低板件的温度，方便生产工作，提高生产质量。

Description

用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置

技术领域

本实用新型涉及用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，属于芯片加工技术领域。

背景技术

蓝宝石衬底对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。

在加工蓝宝石衬底时需要使用曝光机，曝光机内的板件需要将多种部件承载堆叠并紧紧固定，目前使用的保持装置由于不同板件的尺寸不同，对板件的位置不易有效定位，并且设备内的温度较高时容易使板件发生变形或弯折，影响生产使用，因此，需要一种用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，通过推板与挡板，挡板上的滚筒方便移动板件的位置将板件位置固定，方便对板件进行定位，并且通过设置独立的垫片，并在支撑板上设置通风口，通风口与垫片可以配合时板件下方空间流通，从而有效降低板件的温度，方便生产工作，提高生产质量，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置,包括基座，所述基座上方一侧设有垫板，所述垫板上方一侧设有若干垫块，所述垫块上方设有支撑板，所述支撑板上方设有若干垫片，所述垫片上方位于所述支撑板相邻一侧设有推板，所述推板一侧与第一气缸输出端固定连接，所述基座一端设有立板，所述立板上方一侧设有安装板，所述安装板上方固定连接有第二气缸，所述第二气缸输出端与隔板固定连接，所述隔板下方设有若干吸盘。

进一步的，所述垫片在所述支撑板上呈阵列分布，所述支撑板上开设有若干通风口，所述通风口设于相邻的所述垫片之间，所述垫片顶端设有橡胶保护层。

进一步的，所述推板一端设有挡板，所述挡板一侧贯穿连接有螺杆，所述挡板内部设有与所述螺杆螺纹相匹配的螺纹槽，所述挡板与所述螺杆通过螺纹连接。

进一步的，所述螺杆一端设有夹座，所述夹座上位于所述螺杆上下两侧设有伸缩杆，所述螺杆在所述夹座内部呈T形并在所述夹座内部转动连接，所述夹座一侧设有滚筒，所述滚筒在所述夹座内部转动连接。

进一步的，所述推板底部设有若干档条，所述档条设于相邻的所述垫片的中心线上，所述推板底部高度高于所述垫片顶端高度。

进一步的，所述隔板上方两侧设有导向杆，所述吸盘设于所述隔板下方两侧并呈一字排列。

本实用新型的有益效果是：

1、通过在支撑板上设置垫片，各个垫片独立设置且垫片之间预留一定空隙，从而在将板件固定时，减少板件底部与垫片的接触面积，方便板件的热量疏散，并且支撑板上设有多个通风口，通风口设于垫片之间的空隙内，从而可以使板件下方空气可以循环流动，有效降低板件下方的温度，防止板件在承载堆叠时因温度过高而发生变形或弯折，垫片上的橡胶保护垫可以防止板件与垫片硬连接，防止第一气缸推动吸盘按压板件时板件发生断裂，有效保护板件，减少原料浪费，降低生产成本。

2、通过在推板上设置挡板，挡板可以将板件一端的位置固定，挡板的另一侧设有螺杆、夹座与滚筒，滚筒可以通过转动螺杆调整位置，从而可以将板件另一端的位置固定，方便对板件位置进行定位，夹座上的伸缩杆可以防止转动螺杆时夹座跟随螺杆进行转动，从而可以将夹座与滚筒的转动方向固定，防止滚筒发生转动而影响板件在滚筒上转动，滚筒可以在将板件位置固定时在板件上转动，从而可以在推板将板件移动至加工位置后滚筒可以转动解除对板件的压力，防止板件位置固定后发生偏移。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

图1是本实用新型用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置的主视图；

图2是本实用新型用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置的支撑板俯视图；

图3是本实用新型用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置的推板结构连接图；

图4是本实用新型用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置的A处区域放大图；

图中标号：1、基座；2、垫板；3、垫块；4、支撑板；5、垫片；6、推板；7、第一气缸；8、立板；9、安装板；10、第二气缸；11、隔板；12、吸盘；13、通风口；14、橡胶保护层；15、挡板；16、螺杆；17、夹座；18、伸缩杆；19、滚筒；20、档条；21、导向杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：请参阅图1、图2、图4，本实用新型提供一种技术方案：

用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，包括基座1，其特征在于：所述基座1上方一侧设有垫板2，所述垫板2上方一侧设有若干垫块3，所述垫块3上方设有支撑板4，所述支撑板4上方设有若干垫片5，所述垫片5上方位于所述支撑板4相邻一侧设有推板6，所述推板6一侧与第一气缸7输出端固定连接，所述基座1一端设有立板8，所述立板8上方一侧设有安装板9，所述安装板9上方固定连接有第二气缸10，所述第二气缸10输出端与隔板11固定连接，所述隔板11下方设有若干吸盘12。

具体而言，所述垫片5在所述支撑板4上呈阵列分布，所述支撑板4上开设有若干通风口13，所述通风口13设于相邻的所述垫片5之间，所述垫片5顶端设有橡胶保护层14，垫片5可以减少板件底部与垫片5的接触面积，从而可以与通风口13配合降低板件底部的温度。

具体而言，所述隔板11上方两侧设有导向杆21，所述吸盘12设于所述隔板11下方两侧并呈一字排列，导向杆21可以在隔板11移动时防止隔板11位置发生偏移，使吸盘12可以对板件精确定位。

实施例2：请参阅图1-图3，本实施例与实施例1的区别在于：所述推板6一端设有挡板15，所述挡板15一侧贯穿连接有螺杆16，所述挡板15内部设有与所述螺杆16螺纹相匹配的螺纹槽，所述挡板15与所述螺杆16通过螺纹连接，所述螺杆16一端设有夹座17，所述夹座17上位于所述螺杆16上下两侧设有伸缩杆18，所述螺杆16在所述夹座17内部呈T形并在所述夹座17内部转动连接，所述夹座17一侧设有滚筒19，所述滚筒19在所述夹座17内部转动连接，所述推板6底部设有若干档条20，所述档条20设于相邻的所述垫片5的中心线上，所述推板6底部高度高于所述垫片5顶端高度，推板6可以推动板件移动，螺杆16可以带动夹座17与滚筒19移动将板件位置固定，方便将板件的位置进行定位，滚筒19可以在推板6回收时在板件上滚动，防止板件发生偏移。

本实用新型工作原理：使用时，先将板件放置在垫片5上，然后将板件一端向推板6一侧移动，使板件底部分别与挡板15与推板6抵触，然后转动螺杆16，转动螺杆16时螺杆16可以在挡板15内部向前移动，从而可以推动夹座17与滚筒19移动，当滚筒19与板件接触时，启动第一气缸7，第一气缸7带动推板6向前移动，当推板6移动同时，推板6下方的档条20可以在垫片5之前的空隙处推动板件向前移动，当板件移动至合适的位置后，启动第二气缸10，第二气缸10运行带动隔板11与吸盘12向下移动，当吸盘12与板件接触时，板件被固定在垫片5上，完成使用。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置,包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）上方一侧设有垫板（2），所述垫板（2）上方一侧设有若干垫块（3），所述垫块（3）上方设有支撑板（4），所述支撑板（4）上方设有若干垫片（5），所述垫片（5）上方位于所述支撑板（4）相邻一侧设有推板（6），所述推板（6）一侧与第一气缸（7）输出端固定连接，所述基座（1）一端设有立板（8），所述立板（8）上方一侧设有安装板（9），所述安装板（9）上方固定连接有第二气缸（10），所述第二气缸（10）输出端与隔板（11）固定连接，所述隔板（11）下方设有若干吸盘（12）。

2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述垫片（5）在所述支撑板（4）上呈阵列分布，所述支撑板（4）上开设有若干通风口（13），所述通风口（13）设于相邻的所述垫片（5）之间，所述垫片（5）顶端设有橡胶保护层（14）。

3.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述推板（6）一端设有挡板（15），所述挡板（15）一侧贯穿连接有螺杆（16），所述挡板（15）内部设有与所述螺杆（16）螺纹相匹配的螺纹槽，所述挡板（15）与所述螺杆（16）通过螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述螺杆（16）一端设有夹座（17），所述夹座（17）上位于所述螺杆（16）上下两侧设有伸缩杆（18），所述螺杆（16）在所述夹座（17）内部呈T形并在所述夹座（17）内部转动连接，所述夹座（17）一侧设有滚筒（19），所述滚筒（19）在所述夹座（17）内部转动连接。

5.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述推板（6）底部设有若干档条（20），所述档条（20）设于相邻的所述垫片（5）的中心线上，所述推板（6）底部高度高于所述垫片（5）顶端高度。

6.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述隔板（11）上方两侧设有导向杆（21），所述吸盘（12）设于所述隔板（11）下方两侧并呈一字排列。

Images