CN216902810U - 硅片脱胶架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种硅片脱胶架，涉及硅片脱胶技术领域。所述硅片脱胶架，包括框架、承载件、第一可调挡杆和第二可调挡杆，框架用于装载沿其长度方向依次排列的多个硅片；承载件设置在框架内底部，承载件用于承托硅片的底部边缘；第一可调挡杆设置在框架的一侧，第一可调挡杆的端部分别与框架的两个端板活动连接；第二可调挡杆设置在框架的与第一可调挡杆相对的另一侧，第二可调挡杆的端部分别与框架的两个端板活动连接；第二可调挡杆与第一可调挡杆之间的间距可调，并且分别从框架的两侧对硅片的轮廓边缘夹持固定。本实用新型使硅片在框架内不会窜动，减少硅片加工过程工装夹具的使用量，适用于不同尺寸的硅片，同时降低员工的重复性工作。

Description

硅片脱胶架

技术领域

本实用新型涉及硅片脱胶技术领域，尤其涉及一种硅片脱胶架。

背景技术

硅是非常重要和常用的半导体原料，硅片的制造是由硅棒在线切割机上切割成硅片，硅棒是通过胶水粘结在树脂板上，树脂板通过胶水粘结在晶托上，硅棒切成片后，需要经过脱胶和清洗后才能使用，硅片脱胶作为硅片生产流程中关键的一道工序，其操作直接影响硅片的成品率，进而影响其生产效率。

现有的硅片脱胶是指硅棒切割结束后要使用脱胶机按照工艺要求对硅片与树脂板进行分离，具体是将切割后的硅棒放入脱胶机的脱胶架中进行支撑，并进行脱胶处理，通常一台脱胶机床基本配备一种脱胶架，一种脱胶架只能适用一类晶托，企业中一般购置不只一种切片机床进行生产活动，每一种切片机床的晶托都不相同，需要与之匹配不同的脱胶架，这就导致脱胶架的用量成倍增加，其制作和维护费用又导致生产成本成倍增加，且其存放和搬运增加了工作人员的劳动强度，间接增加企业人力成本，降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片脱胶架，以提高通用性，降低成本。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅片脱胶架，包括：

框架，用于装载沿其长度方向依次排列的多个硅片；

承载件，设置在框架内底部，承载件用于承托硅片的底部边缘；

第一可调挡杆，设置在框架的一侧；

第二可调挡杆，设置在框架的与第一可调挡杆相对的另一侧，第一可调挡杆和/或第二可调挡杆的端部分别与框架的两个端板活动连接；第二可调挡杆与第一可调挡杆之间的间距可调，并且分别从框架的两侧对硅片的轮廓边缘夹持固定。

与现有技术相比，本实用新型通过在框架两侧设置第一可调挡杆与第二可调挡杆，使硅片在框架内不会窜动，通过将第一可调挡杆和/或第二可调挡杆的端部与框架的两个端板活动连接，可根据实际硅片的尺寸，移动第一可调挡杆和/或第二可调挡杆，以改变第一可调挡杆与第二可调挡杆之间的间距，将硅片牢固的夹持在框架内，可适用于不同尺寸的硅片，提高了通用性；并且在硅片脱胶后，承载件配合两侧第一可调挡杆和第二可调挡杆的夹持力，共同防止硅片在运输过程中发生倾斜；在符合切片工艺需求下，最终实现脱胶架取消挡片，减少硅片加工过程工装夹具的使用量，提高硅片的捞料效率，同时降低员工的重复性工作。

在一些实施方式中，每个端板上均设置有至少一个移动连接件，第一可调挡杆和/或第二可调挡杆的两端分别固定在与其对应的移动连接件上，第一可调挡杆和/或第二可调挡杆的端部均通过移动连接件与端板活动连接。

在一些实施方式中，移动连接件包括：

固定齿条，固定连接在端板；

调整齿条，第一可调挡杆和/或第二可调挡杆的端部均设置有调整齿条，调整齿条可沿平行于固定齿条的方向移动，并与固定齿条啮合定位。

紧固件，用于紧固定位固定齿条和调整齿条的相对位置。

如此设置，在使用时，一方面，对第一可调挡杆及第二可调挡杆移动，使其相互靠近或远离，改变彼此之间的间距，通过调整齿条与固定齿条的啮合，可对移动后的第一可调挡杆或第二可调挡杆定位；另一方面通过紧固件进一步对二者固定，提高第一可调挡杆与第二可调挡杆的连接可靠性。

在一些实施方式中，调整齿条沿其长度方向开设有条形孔，固定齿条开设有紧固孔，通过紧固件依次穿过条形孔及紧固孔，将调整齿条固定连接于固定齿条。采用上述技术方案，当需要改变第一可调挡杆与第二可调挡杆的间距时，通过将紧固件松弛，将调整齿条移动到合适的位置，再将紧固件预紧，从而实现间距的调整；采用条形孔不仅可起到限位定向的作用，还可在不拆卸紧固件的情况下，实现对调整齿条的移动，提高了可操作性，便于紧对第一可调挡杆与第二可调挡杆位置的调整。

在一些实施方式中，调整齿条上设置有凹孔，第一可调挡杆和/或第二可调挡杆的两端均设有卡槽，第一可调挡杆和/或第二可调挡杆通过卡槽卡接在凹孔内与调整齿条连接。采用上述技术方案，通过卡槽与凹孔的配合，将第一可调挡杆及第二可调挡杆安装在框架两端的调整齿条上，不仅拆装方便，且定位可靠不会窜动。

在一些实施方式中，第一可调挡杆与第二可调挡杆的外部均沿径向由内到外依次包裹设置有保护套。采用上述技术方案，能避免第一可调挡杆、第二可调挡杆与硅片的刚性应力接触，避免接触时对硅片造成损伤，且提高第一可调挡杆与第二可调挡杆对硅片的夹持力，防止脱胶及运输过程中硅片发生倾斜。

在一些实施方式中，每个端板的内侧均设置有多个支撑块，支撑块用于与硅片的一侧面抵接，用于从框架的两端支撑硅片。采用上述技术方案能防止框架中硅片向两端倾斜，配合承载件及两侧第一可调挡杆与第二可调挡杆的夹持力，使硅片在脱胶架内处于固定状态。

在一些实施方式中，承载件包括两个间距可调的托杆。如此设置，可通过调整两个托杆之间的间距，适用于不同尺寸的硅片，便于从硅片底部对其承载。

在一些实施方式中，每个端板上均开设有间距调节孔，托杆的端部穿过间距调节孔通过螺栓固定连接在端板上。如此设置可通过松紧螺栓移动托杆改变与间距调节孔的固定位置，实现两个托杆之间的间距调节。

在一些实施方式中，托杆的外侧套设有保护套。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

图1为本实用新型提供的一种硅片脱胶架的结构示意图；

图2为本实用新型提供的一种硅片脱胶架装有硅片的结构示意图；

图3为本实用新型提供的一种硅片脱胶架的第一可调挡杆及第二可调挡杆的局部剖视图；

图4为本实用新型提供的一种硅片脱胶架的移动连接件的结构示意图。

图中：

1-框架；11-端板；12-支撑块；2-承载件；3-第一可调挡杆；31-硅胶套； 32-珍珠棉管；4-第二可调挡杆；41-卡槽；5-移动连接件；100-硅片；51-固定齿条；52-调整齿条；53-紧固件；521-条形孔。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本实用新型实施例公开了一种硅片脱胶架，如图1-2所示，包括框架1、承载件2、第一可调挡杆3和第二可调挡杆4，框架1在长度方向的两端具有两个端板11，框架1用于装载沿其长度方向依次排列的多个硅片100，硅片 100沿框架1的长度方向叠层排列；承载件2设置在框架1内的底部，承载件 2用于承托硅片100的底部边缘；第一可调挡杆3设置在框架1的一侧；第二可调挡杆4设置在框架1的与第一可调挡杆3相对的另一侧，第一可调挡杆3和/或第二可调挡杆4的端部分别与框架1的两个端板活动连接；第二可调挡杆4与第一可调挡杆3之间的间距可调，并且分别从框架1的两侧对硅片100 的轮廓边缘夹持固定。

使用时，将多个硅片100层叠放置在框架1中的承载件2上，通过第一可调挡杆3与第二可调挡杆4从框架1的两侧对硅片100夹持，使硅片100 在框架1内处于固定状态，防止硅片100在脱胶过程中发生倾斜，并且可通过调整第一可调挡杆3与第二可调挡杆4之间的间距，适用于不同尺寸大小的硅片。

通过上述方案和实施过程，本实用新型通过在框架1的两侧设置第一可调挡杆3与第二可调挡杆4，使硅片100在框架1内不会窜动，通过将第一可调挡杆3和/或第二可调挡杆4的端部与框架1的两个端板活动连接，可根据实际硅片的尺寸，移动第一可调挡杆3和/或第二可调挡杆4，以改变第一可调挡杆3与第二可调挡杆4之间的间距，将硅片100牢固的夹持在框架1内，可适用于不同尺寸的硅片，提高了通用性；并且在硅片脱胶后，承载件2配合两侧第一可调挡杆3和第二可调挡杆4的夹持力，共同防止硅片100在运输过程中发生倾斜；在符合切片工艺需求下，最终实现脱胶架取消挡片，减少硅片100加工过程工装夹具的使用量，提高硅片100的捞料效率，同时降低员工的重复性工作。

如图1、图2和图4所示，在一些实施例中，每个端板11上均设置有至少一个移动连接件5，第一可调挡杆3和/或第二可调挡杆4的两端分别固定在与其对应的移动连接件5上，第一可调挡杆3和/或第二可调挡杆4的端部通过移动连接件5与端板11活动连接。如此设置，通过端板上设置移动连接件5，不仅起到对第一可调挡杆3或第二可调挡杆4固定作用，还可以最大程度的实现对第一可调挡杆3与第二可调挡杆4之间的间距调节。

具体的，在一些实施例中，移动连接件5包括：固定齿条51、调整齿条 52和紧固件53，固定齿条51固定连接在端板11，第一可调挡杆3和/或第二可调挡杆4的端部均设置有调整齿条52，调整齿条52可沿平行于固定齿条 51的方向移动，并与固定齿条51啮合定位；紧固件53用于紧固定位固定齿条51和调整齿条52的相对位置。

使用时，由于固定齿条51固定在端板11上，调整齿条52设置在第一可调挡杆3或第二可调挡杆4的端部，或第一可调挡杆3与第二可调挡杆4的端部，一方面，对第一可调挡杆3及第二可调挡杆4移动，使其相互靠近或远离，改变彼此之间的间距，通过调整齿条52与固定齿条51的相互啮合，可对移动后的第一可调挡杆3或第二可调挡杆4定位；另一方面，通过紧固件53进一步对二者固定，提高第一可调挡杆3与第二可调挡杆4的连接可靠性。

如图4所示，在本实施例中，调整齿条52沿其长度方向开设有条形孔521，固定齿条51开设有紧固孔，通过紧固件53依次穿过条形孔521及紧固孔，将调整齿条52固定连接于固定齿条51。使用时，当需要改变第一可调挡杆3 与第二可调挡杆4的间距时，通过将紧固件53松弛，将调整齿条52移动到合适的位置，再将紧固件53预紧，从而实现间距的调整；采用条形孔521不仅可起到限位定向的作用，还可在不拆卸紧固件53的情况下，实现对调整齿条52的移动，提高了可操作性，便于紧对第一可调挡杆3与第二可调挡杆4 位置的调整。

作为优选的，本实施例中，在调整齿条52上设置有凹孔，第一可调挡杆 3和/或第二可调挡杆4的两端均设有卡槽41，第一可调挡杆3和/或第二可调挡杆4均通过卡槽41卡接在凹孔内与调整齿条52连接。使用时，通过卡槽41与凹孔的配合，将第一可调挡杆3或第二可调挡杆4安装在框架1两端的调整齿条52上，不仅拆装方便，且定位可靠不会窜动。

作为一种可能的实现方式，移动连接件5包括齿轮和调整齿条52，第一可调挡杆3或第二可调挡杆4或第一可调挡杆3与第二可调挡杆4的端部均设置有调整齿条52，多个齿轮位于同一高度并且可转动的设置在端板11上，调整齿条52的底部与齿轮啮合，通过齿轮转动带动调整齿条52移动，从而带动第一可调挡杆3和/或第二可调挡杆4移动。

进一步地，在本实施例中，每个端板11的内侧均设置有多个支撑块12，支撑块12用于与硅片100的一侧面抵接，用于从框架1的两端支撑硅片100。如此设置，能防止框架1中硅片100向两端倾斜，配合承载件2及两侧第一可调挡杆3与第二可调挡杆4的夹持力，使硅片100在脱胶架内处于固定状态。

应该注意的是，支撑块12为非金属材质，应具有一定弹性，防止对硅片 100的侧面造成损伤。

如图3所示，在本实施例中，第一可调挡杆3与第二可调挡杆4的外部均沿径向由内到外依次包裹设置有保护套，保护套可以是一层或者多层，保护套的材质具有一定的柔软性，避免接触时对硅片100造成损伤，保护套的表面具有一定的粗糙度，可以防止硅片100在搬运过程中发生倾斜。例如可以是发泡材料、硅胶或棉管等。在一个具体的实施中，保护套可以是两层，例如可以是硅胶套31和珍珠棉管32。通过采用两层具有一定弹性的材质，能避免第一可调挡杆3、第二可调挡杆4与硅片100的刚性应力接触，避免接触时对硅片100造成损伤，且提高第一可调挡杆3与第二可调挡杆4对硅片100 的夹持力，防止脱胶及运输过程中硅片100发生倾斜。

进一步的，在本实施例中，承载件2包括两个间距可调的托杆。可通过调整两个托杆之间的间距，适用于不同尺寸的硅片100，便于从硅片底部对其承载。

可选的，上述承载件2还可以是两个托板，同样是采用间距可调的方式，在硅片100的底部对其承载；承载件2还可以是采用中间镂空或具有网孔的整块托板，在硅片100的底部对其承载。

具体的，当承载件2为两个托杆时，在每个端板11上均开设有间距调节孔，托杆的端部穿过间距调节孔并通过螺栓固定连接在端板11上。通过松紧螺栓移动托杆改变与间距调节孔的固定位置，实现两个托杆之间的间距调节。

作为优选的，在本实施例中，托杆的外侧套设有保护套，保护套可以是发泡材料、硅胶或棉管等，与硅片100采用柔性接触的方式，不对硅片造成损伤。

应当注意的是，本实施例中承载件2、第一可调挡杆3及第二可调挡杆4 均应当与硅片100柔性接触，确保不会损伤硅片100，本实用新型并不局限于本实施例中所给出的保护套，例如发泡材料、硅胶或棉管这一种结构，凡是能够实现与硅片柔性接触的结构均在本实用新型的保护范围内。

在使用本脱胶架后，可减少脱胶机、插片机操作人员的工作量；使其重复性工作大幅降低，同时生产效率提升30％。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种硅片脱胶架，其特征在于，包括：

框架，用于装载沿其长度方向依次排列的多个硅片；

承载件，设置在所述框架内底部，所述承载件用于承托所述硅片的底部边缘；

第一可调挡杆，设置在所述框架的一侧；

第二可调挡杆，设置在所述框架的与所述第一可调挡杆相对的另一侧，所述第一可调挡杆和/或所述第二可调挡杆的端部分别与所述框架的两个端板活动连接；所述第二可调挡杆与所述第一可调挡杆之间的间距可调，并且分别从所述框架的两侧对所述硅片的轮廓边缘夹持固定。

2.根据权利要求1所述的硅片脱胶架，其特征在于，每个所述端板上均设置有至少一个移动连接件，所述第一可调挡杆和/或所述第二可调挡杆的两端分别固定在与其对应的所述移动连接件上，所述第一可调挡杆和/或所述第二可调挡杆的端部通过所述移动连接件与所述端板活动连接。

3.根据权利要求2所述的硅片脱胶架，其特征在于，所述移动连接件包括：

固定齿条，固定连接在所述端板；

调整齿条，所述第一可调挡杆和/或所述第二可调挡杆的端部均设置有所述调整齿条，所述调整齿条可沿平行于所述固定齿条的方向移动，并与所述固定齿条啮合定位；

紧固件，用于紧固定位所述固定齿条和所述调整齿条的相对位置。

4.根据权利要求3所述的硅片脱胶架，其特征在于，所述调整齿条沿其长度方向开设有条形孔，所述固定齿条开设有紧固孔，通过紧固件依次穿过所述条形孔及所述紧固孔，将所述调整齿条固定连接于所述固定齿条。

5.根据权利要求3所述的硅片脱胶架，其特征在于，所述调整齿条上设置有凹孔，所述第一可调挡杆和/或所述第二可调挡杆的两端均设有卡槽，所述第一可调挡杆和/或所述第二可调挡杆通过所述卡槽卡接在所述凹孔内与所述调整齿条连接。

6.根据权利要求1所述的硅片脱胶架，其特征在于，所述第一可调挡杆与所述第二可调挡杆的外部均沿径向由内到外依次包裹设置有保护套。

7.根据权利要求1所述的硅片脱胶架，其特征在于，每个所述端板的内侧均设置有多个支撑块，所述支撑块用于与所述硅片的一侧面抵接，用于从所述框架的两端支撑所述硅片。

8.根据权利要求1所述的硅片脱胶架，其特征在于，所述承载件包括两个间距可调的托杆。

9.根据权利要求8所述的硅片脱胶架，其特征在于，每个所述端板上均开设有间距调节孔，所述托杆的端部穿过间距调节孔通过螺栓固定连接在所述端板上。

10.根据权利要求8所述的硅片脱胶架，其特征在于，所述托杆的外侧套设有保护套。

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