CN214542178U - 固定机构及具有该固定机构的检测机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种固定机构及具有该固定机构的检测机，该固定机构用于固定待测产品，所述待测产品包括相对的第一面和第二面；所述固定机构包括若干个固定组件，所述固定组件包括第一部件和第二部件，两者之间具有磁性吸合力；所述第一部件用于支撑所述待测产品并与所述第一面接触，所述第二部件用于放置在所述待测产品的所述第二面，且通过与所述第一部件的磁性吸合力固定所述待测产品。该固定机构通过磁性吸合的方式对待测产品进行固定，降低了对待测产品产生的挤压力或吸附力，可减少产品的变形，确保测量准确性。

Description

固定机构及具有该固定机构的检测机

技术领域

本实用新型涉及测量技术领域，特别是涉及一种固定机构及具有该固定机构的检测机。

背景技术

在半导体等相关零部件的制作过程中，需要对制作的产品进行测量，在测量时，将产品固定在相应的检测机上，才能对产品的尺寸进行测量。

现有的检测机多是通过吸盘或卡具等方式来固定产品，产品与固定结构之间的接触面积较大，产品在吸附或挤压作用下容易变形，导致测量不准确，严重时可能会损伤产品。

有鉴于此，如何改进现有检测机固定待测产品的结构，在确保产品固定的基础上，降低产品因固定产生的变形量，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种固定机构及具有该固定机构的检测机，该固定机构在固定待测产品时能够降低对待测产品产生的挤压力或吸附力，可减少产品的变形，确保测量准确性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种固定机构，用于固定待测产品，所述待测产品包括相对的第一面和第二面；所述固定机构包括若干个固定组件，所述固定组件包括第一部件和第二部件，两者之间具有磁性吸合力；所述第一部件用于支撑所述待测产品并与所述第一面接触，所述第二部件用于放置在所述待测产品的所述第二面，且通过与所述第一部件的磁性吸合力固定所述待测产品。

本实用新型提供的固定机构，其固定组件通过磁性吸合的方式来固定待测产品，具体的，一个固定组件包括两个部件，两个部件之间具有磁性吸合力，其中，第一部件用以支撑待测产品的第一面，第二部件放置在待测产品的与第一面相对的第二面上，且通过与第一部件的磁性吸合力来固定待测产品，这样，由两个部件在磁性吸合力的作用下对待测产品一个位置进行固定，实际应用时，根据待测产品的形状或尺寸等设置固定位置的数目和位置，以此确定固定组件的数目和排布方式，最终实现对待测产品的可靠固定；区别于背景技术，该固定机构通过磁性吸合的方式对待测产品进行固定，能够降低对待测产品施加的固定力，从而减少待测产品的变形，进而提高对待测产品测量的准确性。

如上所述的固定机构，所述第一部件和所述第二部件均与所述待测产品点接触。

如上所述的固定机构，所述第一部件具有第一接触部，所述第一部件通过所述第一接触部支撑所述待测产品，所述第二部件具有第二接触部，所述第二部件通过所述第二接触部放置在所述待测产品上。

如上所述的固定机构，所述第一部件和所述第二部件均由具有磁性的材质制成，且所述第一接触部的磁性与所述第二接触部的磁性相反；或者，所述第一部件和所述第二部件中的一者由具有磁性的材质制成，另一者由能够被磁性吸合的材质制成。

如上所述的固定机构，所述第一接触部为球面结构，所述第二接触部为球面结构。

如上所述的固定机构，所述固定组件还包括支撑部件和锁止部件，所述锁止部件与所述支撑部件可拆卸连接，所述锁止部件用于将所述第一部件固定在所述支撑部件上。

如上所述的固定机构，所述第一部件和所述第二部件均为球形结构，所述支撑部件具有孔部，所述孔部的直径小于所述第一部件的球径，所述锁止部件具有腔体和与所述腔体连通的开口，所述开口的直径小于所述第一部件的球径；所述锁止部件与所述支撑部件处于固接状态下，所述孔部与所述腔体连通，所述第一部件的一部分位于所述孔部和所述腔体内，其余部分伸出所述开口外，所述第一部件伸出所述开口外的部分用以支撑所述待测产品。

如上所述的固定机构，所述支撑部件具有第一螺纹段，所述锁止部件具有第二螺纹段，所述锁止部件和所述支撑部件通过所述第一螺纹段和所述第二螺纹段的配合固定。

如上所述的固定机构，所述固定组件还包括第一调节部件，所述第一调节部件外套于所述支撑部件，且与所述支撑部件螺纹连接，用以限制所述锁止部件与所述支撑部件的相对位置。

如上所述的固定机构，还包括底座，所述底座具有若干个安装部，所述固定组件的所述支撑部件与所述安装部可拆卸连接。

如上所述的固定机构，所述安装部具有第一螺纹部，所述支撑部件具有与所述第一螺纹部螺接的第二螺纹部。

如上所述的固定机构，还包括第二调节部件，所述第二外螺纹部为外螺纹结构，所述第二调节部件外套于所述第二螺纹部，且与所述第二螺纹部螺接，用以调节所述第二螺纹部与所述第一螺纹部的配合长度。

如上所述的固定机构，还包括限位部件，所述限位部件包括若干个限位部，所述限位部用于与所述待测产品的侧壁相抵，以调整所述待测产品与所述固定组件之间的相对位置。

本实用新型还提供一种检测机，包括上述任一项所述的固定机构。

上述固定机构具有上述技术效果，所以包括该固定机构的检测机也具有相同的技术效果，此处不再重复论述。

附图说明

图1为本实用新型所提供具体实施例中固定机构的一个固定组件的结构示意图；

图2为图1所示固定组件的***图；

图3为本实用新型所提供具体实施例中固定机构的底座的结构示意图；

图4为本实用新型所提供固定机构的一种具体实施例的结构示意图。

附图标记说明：

第一部件11，第二部件12，支撑部件13，支撑段131，第一连接段132，调节段133，第二连接段134，锁止部件14，锁止部141，容纳部142，开口143，第一调节部件15，第二调节部件16，底座17，安装部171；

限位部件20，第一限位部21，第二限位部22，第三限位部23，限位座24。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

为便于理解和描述简洁，下文结合固定机构及具有该固定机构的检测机一并说明，有益效果部分不再重复论述。

请参考图1至图4，图1为本实用新型所提供具体实施例中固定机构的一个固定组件的结构示意图；图2为图1所示固定组件的***图；图3为本实用新型所提供具体实施例中固定机构的底座的结构示意图；图4为本实用新型所提供固定机构的一种具体实施例的结构示意图。

本实施例中，检测机用于测量待测产品的相关尺寸参数，重点对检测机中固定待测产品的固定机构做了改进，检测机的其他结构可参考现有技术理解，此处不再详细说明，可以理解，检测机不限于一种固定型号或形式，可以为任何结构形式，但均采用了本实施例提供的固定机构。

本实施例中，固定机构用于固定待测产品，待测产品具有相对的第一面和第二面，固定机构包括若干个固定组件，固定组件包括第一部件11和第二部件12，两者之间具有磁性吸合力；第一部件11用于支撑待测产品并与待测产品的第一面接触，第二部件12用于放置在与待测产品的第二面，且通过与第一部件11的磁性吸合力固定待测产品。

该固定机构的固定组件通过磁性吸合的方式来固定待测产品，具体的，一个固定组件包括两个部件，其中，第一部件11用以支撑待测产品的一个面，第二部件12放置在待测产品的另一相对面上，且通过与第一部件11的磁性吸合力来固定待测产品，通常来讲，第二部件12与第一部件11的位置对应，以确保两者之间的磁性吸合对待测产品的固定作用，这样，由两个部件在磁性吸合力的作用下对待测产品一个位置进行固定，实际应用时，根据待测产品的形状或尺寸等设置吸合位置的数目和位置，以此确定固定组件的数目和排布方式，最终实现对待测产品的可靠固定；区别于背景技术，该固定机构通过磁性吸合的方式对待测产品进行固定，能够降低对待测产品施加的固定力，从而减少待测产品的变形，进而提高对待测产品测量的准确性。

需要指出的是，本文中的若干个指的是数目不确定的个数，根据需要可以是一个或两个或三个或更多个。

具体设置时，第一部件11和第二部件12均与待测产品点接触，这样可大幅减小待测产品固定位置的面积，进一步降低对待测产品的施加力，进一步减少待测产品的变形。当然，实际设置时，根据需要第一部件11和第二部件12与待测产品的接触不限于前述点接触。

图示方案中，固定机构具体包括三个固定组件，也就是说通过三个固定点来实现对待测产品的固定，通常来说，三点固定能够满足待测产品的基本固定需求，实际设置时，可以根据待测产品的实际大小和形状等参数来确定具体固定点的个数以及排布，以此来设置固定机构的固定组件的数目和布局。

具体的方案中，第一部件11具有第一接触部，其通过第一接触部来支撑待测产品的第一面，第二部件12具有第二接触部，其通过第二接触部放置在待测产品的第二面，可以理解，固定组件的设置，相当于让两个部件位于待测产品的两侧，通过两个部件之间的磁性吸合来固定待测产品。

为了使第一部件11和第二部件12之间具有磁性吸合力，在实际应用中，第一部件11的第一接触部和第二部件12的第二接触部可以均选用磁性材质制成，显然，此时，第一部件11的第一接触部的磁性和第二部件12的第二接触部的磁性相反。或者，第一部件11和第二部件12中的一者由磁性材质制成，另一者由能够被磁性吸合的铁或者其他材质制成。

具体的，第一部件11和第二部件12均选用球形结构，相应地，第一接触部和第二接触部为球形面，便于统一管理，组装方便。

该实施例中，固定机构的固定组件还包括支撑部件13和锁止部件14，其中，锁止部件14与支撑部件13可拆卸连接，锁止部件14用于将第一部件11固定在支撑部件13上，以免第一部件11移位，确保固定的待测产品的方便性和可靠性。

具体的，支撑部件13具有孔部，该孔部的直径小于第一部件11的球径，这样，第一部件11可以由该孔部支撑，但又不会完全进入孔部；锁止部件14具有腔体和与腔体连通的开口143，该开口143的直径小于第一部件11的球径，锁止部件14与支持部件13固接状态下，锁止部件14的腔体还与孔部连通，这样，将三者组装后，第一部件11的一部分位于支撑部件13的孔部和锁止部件14的腔体，其余部分自锁止部件14的开口143伸出，锁止部件14与支撑部件13可相对固定，锁止部件14的开口143又小于第一部件11的球径，这样可以固定第一部件11，避免第一部件11从锁止部件14脱落，第一部件11伸出开口143外的部分用以支撑待测产品。

这样，方便通过支撑部件13和锁止部件14将第一部件11固定在合适的位置，以方便确定待测产品的固定点位置。

同时，这种方式第一部件11可拆装，实际应用时可以根据需要来调换第一部件11用以支撑待测产品的支撑部分的磁性。

具体的，支撑部件13与锁止部件14可以通过螺纹连接的方式可拆卸固定，设置方便，连接可靠。

为方便设置，支撑部件13具体可以呈圆柱状的螺杆结构，如图2所示，支撑部件13具体包括支撑段131、与支撑段131连接的第一连接段132，支撑段131可以设置为中空结构，具有前述提及的孔部，支撑段131的端部用以支撑第一部件11，第一连接段132具有第一螺纹段(图中未示出)。

相应地，为方便设置，锁止部件14包括锁止部141和容纳部142，锁止部141类似螺母的结构形式，具有与第一连接段132的第一螺纹段配合的第二螺纹段，为方便组装和设置，第一连接端132的第一螺纹段可以为外螺纹结构，锁止部141的第二螺纹段可以为内螺纹结构。

容纳部142与锁止部141连通，其腔体为前述容纳部分第一部件11的腔体，端部具有开口143，参考图1，组装时，可先将第一部件11放置在支撑部件13的支撑段131上，再外套锁止部件14，旋转锁止部件14，使锁止部件14与第一连接段132通过螺纹配合紧固，并第一部件11伸出锁止部件14的开口143外，完成第一部件11的组装，后续可以通过支撑部件13的安装定位来确定第一部件11对于待测产品的支撑位置。

进一步的，为调节锁止部件14和支撑部件13的相对位置，适当调节第一部件11伸出锁止部件14外的部分，固定组件还包括第一调节部件15，该第一调节部件15外套于支撑部件13，与支撑部件13可通过螺纹连接配合，用以限制锁止部件14和支撑部件13的相对位置。

如图1和图2所示，第一调节部件15位于锁止部件14的下方，这里以靠近支撑部件13的支撑段131方向为上，即靠近锁止部件14的开口143所在侧为上，相对地，远离支撑段131或开口143所在侧为下，通过旋转第一调节部件15，在其与支撑部件13的螺纹配合下，第一调节部件15可相对靠近或远离锁止部件14，如此，在旋转锁止部件14时，第一调节部件15可以形成对锁止部件14的限位，以限定锁止部件14和支撑部件13之间在支撑部件13轴向上的相对位置。

图示方案中，支撑部件13包括与第一连接端段132连接的调节段133，该调节段133与第一调节部件15之间具有相互配合的螺纹结构，实际应用中，第一调节部件15可以选用匹配的螺母结构。

为方便将固定机构的各固定组件之间的相对位置固定，以形成相对固定的若干固定点，用以对待测产品进行固定。

该实施例中，固定机构还包括底座17，底座17上设有若干个安装部171，安装部171的数目不少于固定组件的数目，各安装部171之间的排布和具体设置以待测产品的固定需求为准。

图示方案中，底座17具有三个安装部171，分别安装三个固定组件，前述固定组件的支撑部件13可与安装部171可拆卸连接，如此，可以将若干个第一部件11相对固定在底座17上，应用时，根据需要再通过底座17将固定机构安装在检测机上，以方便对待测产品的测量。

具体的，安装部171具有第一螺纹部，该第一螺纹部可以为螺纹孔形式，支撑部件13具有与螺纹孔螺接的外螺纹部，图示方案中，支撑部件13具体包括与调节段133连接的第二连接段134，第二连接段134具有与安装部171的螺纹孔配合的外螺纹结构。

进一步的，为了调整支撑部件13与安装部171之间的相对位置，从而调节第一部件11相对底座17的位置，以消除设计或组装误差，确保对待测产品固定的可靠性，还设有第二调节部件16，该第二调节部件16具体可螺纹连接于支撑部件13的第二连接段134，通过旋转第二调节部件16，可以调整其在第二连接段134轴向上的相对位置，从而调节第二连接段134与安装部171的螺纹孔的配合长度。

同样的，为方便设置，第二调节部件16也可选用类似螺母的结构设计。

当然，实际设置时，安装部171也可以设为具有外螺纹的结构，第二连接段134为具有内螺纹的结构。

图示方案中，底座17的两个安装部171的螺纹孔的中心线是倾斜设置的，按图示组装好三个固定组件后，三个第一部件11可以支撑的是外凸曲面的待测产品，可以理解，固定组件安装后的布局与待测产品的形状相关，若待测产品为平面结构，那么几个第一部件11的支撑点应处于同一平面上，实际设置时，可以根据待测产品的固定需求来进行调整。

需要指出的是，应用时，第二部件12是在待测产品支撑于第一部件11后，再放置在对应位置的，在不使用时，由于吸合作用，第二部件12和第一部件11可以吸合住，避免第二部件12丢失。

该实施例中，固定机构还包括限位部件20，该限位部件20包括若干个限位部，限位部用于与待测产品的侧壁相抵，以调整待测产品与各固定组件之间的相对位置。

应用时，将待测产品放置于各固定组件的第一部件11，由第一部件11支撑待测产品的第一面后，通过限位部件20的限位部与待测产品的侧壁抵接，来调整待测产品的位置，之后再放置第二部件12至待测产品的第二面，以固定待测产品，这样设置后，可以确保同一类型的待测产品每次的测量位置一致，便于检测。

具体设置时，限位部件20的限位部的结构、个数以及排布可以根据待测产品的结构来设置。

以待测产品为AR眼镜玻璃为例，图示方案中，该限位部件20设有第一限位部21、第二限位部22和第三限位部23，其中第一限位部21和第二限位部22的结构一致，均为柱状结构，分别用以限制两个镜片的同侧侧壁，第三限位部23为与眼镜的鼻托适配的结构，可以抵靠在鼻托的侧壁，用以限制鼻托的位置，这样，依靠三个限位部的抵靠，可以确定AR眼镜玻璃与固定组件之间的相对位置，以此确定测量位置。

具体的方案中，限位部件20还包括限位座24，前述各限位部设置在限位座24上，限位座24可以与前述底座17相配合，有利于各部件之间的规整和布置，其中，限位部与限位座24之间可以采用可调节或者可拆卸的连接方式，以根据需要来调节各限位部之间的相对位置，适应不同尺寸的同类产品。

以上对本实用新型所提供的一种固定机构及具有该固定机构的检测机均进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (14)

1.固定机构，用于固定待测产品，所述待测产品包括相对的第一面和第二面；其特征在于，所述固定机构包括若干个固定组件，所述固定组件包括第一部件和第二部件，两者之间具有磁性吸合力；所述第一部件用于支撑所述待测产品并与所述第一面接触，所述第二部件用于放置在所述待测产品的所述第二面，且通过与所述第一部件的磁性吸合力固定所述待测产品。

2.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述第一部件和所述第二部件均与所述待测产品点接触。

3.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述第一部件具有第一接触部，所述第一部件通过所述第一接触部支撑所述待测产品，所述第二部件具有第二接触部，所述第二部件通过所述第二接触部放置在所述待测产品上。

4.根据权利要求3所述的固定机构，其特征在于，所述第一部件和所述第二部件均由具有磁性的材质制成，且所述第一接触部的磁性与所述第二接触部的磁性相反；或者，所述第一部件和所述第二部件中的一者由具有磁性的材质制成，另一者由能够被磁性吸合的材质制成。

5.根据权利要求4所述的固定机构，其特征在于，所述第一接触部为球面结构，所述第二接触部为球面结构。

6.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述固定组件还包括支撑部件和锁止部件，所述锁止部件与所述支撑部件可拆卸连接，所述锁止部件用于将所述第一部件固定在所述支撑部件上。

7.根据权利要求6所述的固定机构，其特征在于，所述第一部件和所述第二部件均为球形结构，所述支撑部件具有孔部，所述孔部的直径小于所述第一部件的球径，所述锁止部件具有腔体和与所述腔体连通的开口，所述开口的直径小于所述第一部件的球径；所述锁止部件与所述支撑部件处于固接状态下，所述孔部与所述腔体连通，所述第一部件的一部分位于所述孔部和所述腔体内，其余部分伸出所述开口外，所述第一部件伸出所述开口外的部分用以支撑所述待测产品。

8.根据权利要求7所述的固定机构，其特征在于，所述支撑部件具有第一螺纹段，所述锁止部件具有第二螺纹段，所述锁止部件和所述支撑部件通过所述第一螺纹段和所述第二螺纹段的配合固定。

9.根据权利要求8所述的固定机构，其特征在于，所述固定组件还包括第一调节部件，所述第一调节部件外套于所述支撑部件，且与所述支撑部件螺纹连接，用以限制所述锁止部件与所述支撑部件的相对位置。

10.根据权利要求6-9任一项所述的固定机构，其特征在于，还包括底座，所述底座具有若干个安装部，所述固定组件的所述支撑部件与所述安装部可拆卸连接。

11.根据权利要求10所述的固定机构，其特征在于，所述安装部具有第一螺纹部，所述支撑部件具有与所述第一螺纹部螺接的第二螺纹部。

12.根据权利要求11所述的固定机构，其特征在于，还包括第二调节部件，所述第二螺纹部为外螺纹结构，所述第二调节部件外套于所述第二螺纹部，且与所述第二螺纹部螺接，用以调节所述第二螺纹部与所述第一螺纹部的配合长度。

13.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，还包括限位部件，所述限位部件包括若干个限位部，所述限位部用于与所述待测产品的侧壁相抵，以调整所述待测产品与所述固定组件之间的相对位置。

14.检测机，其特征在于，包括权利要求1-13任一项所述的固定机构。

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