CN214369272U

CN214369272U - 一种用于特殊气体超高流量输送的设备

Info

Publication number: CN214369272U
Application number: CN202120268808.3U
Authority: CN
Inventors: 甘万; 杨欣; 江福荣
Original assignee: SHANGHAI SUNTO SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO LTD
Current assignee: SHANGHAI SUNTO SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO LTD
Priority date: 2021-01-29
Filing date: 2021-01-29
Publication date: 2021-10-08
Anticipated expiration: 2031-01-29

Abstract

一种用于特殊气体超高流量输送的设备，包括：主柜体、工艺气体供应单元、吹扫单元、排放单元、深度吹扫箱、控制显示操作单元和报警单元，工艺气体供应单元、吹扫单元和排放单元设置于主柜体内部，深度吹扫箱和控制显示操作单元与主柜体外部连接，报警单元与主柜体连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、缓冲套管、支路隔离阀、支路气动隔离阀、加热模块、过流量开关、调压阀、过滤器、第一气动隔离阀、手动隔离阀、出口隔离阀和第一压力传感器。本实用新型与传统技术相比，通过设计增设工艺气体供应单元，实现切换供应和换瓶流程，通过程式控制气动阀自己完成工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

Description

一种用于特殊气体超高流量输送的设备

技术领域

本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种用于特殊气体超高流量输送的设备。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

超高流量气体供应设备BSGS主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体。因有些机台所需的流量超高，一般传统的大流量供应***BSGS难以满足流量需求。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体超高流量输送的设备，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种用于特殊气体超高流量输送的设备，包括：主柜体、工艺气体供应单元、吹扫单元、排放单元、深度吹扫箱、控制显示操作单元和报警单元，所述工艺气体供应单元、吹扫单元和排放单元设置于主柜体内部，所述深度吹扫箱和控制显示操作单元与主柜体外部连接，所述报警单元与主柜体连接；

其中，所述工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、缓冲套管、支路隔离阀、支路气动隔离阀、加热模块、过流量开关、调压阀、过滤器、第一气动隔离阀、手动隔离阀、出口隔离阀和第一压力传感器，所述入口隔离阀与工艺气体入口端连接，所述缓冲套管前端与入口隔离阀连接，所述缓冲套管后端与支路隔离阀连接，所述支路隔离阀后端与支路气动隔离阀连接，所述支路气动隔离阀后端与加热模块连接，所述加热模块后端与过流量开关连接，所述过流量开关后端与调压阀连接，所述调压阀后端与过滤器连接，所述过滤器后端与第一气动隔离阀连接，所述第一气动隔离阀后端与手动隔离阀连接，所述手动隔离阀后端与出口隔离阀连接，所述出口隔离阀后端与机台连接，所述第一压力传感器与调压阀和过滤器中间连接。

进一步，所述吹扫单元包括：微漏阀、第一单向阀、第二气动隔离阀、第二压力传感器、吹扫隔离阀、第二单向阀和吹扫过滤器，所述微漏阀前端与吹扫气连接，所述微漏阀后端与第一单向阀连接，所述第一单向阀后端与第二气动隔离阀连接，所述第二气动隔离阀后端通过管路分支与吹扫隔离阀连接，所述第二压力传感器与第二气动隔离阀和吹扫隔离阀中间连接，所述吹扫隔离阀后端与支路气动隔离阀后端连接，所述吹扫隔离阀后端与加热模块前端连接，所述第二单向阀与吹扫隔离阀前端连接，所述吹扫过滤器与微漏阀后端连接。

进一步，所述排放单元包括：排放气动隔离阀、第三气动隔离阀、第三压力传感器、真空发生器、第三单向阀、测试阀和流量孔板，所述排放气动隔离阀前端与第一气动隔离阀前端连接，所述排放气动隔离阀后端与第三气动隔离阀连接，所述第三压力传感器与排放气动隔离阀和第三气动隔离阀中间连接，所述第三气动隔离阀后端与真空发生器连接，所述真空发生器后端与外部排放点连接，所述第三单向阀与排放气动隔离阀后端连接，所述测试阀前端与排放气动隔离阀后端连接，所述测试阀后端与测试管路连接，所述流量孔板与第三气动隔离阀后端连接。

进一步，所述深度吹扫箱的数量为2～3个。

进一步，所述控制显示操作单元包括：微处理器和触摸屏，所述微处理器与触摸屏连接。

进一步，所述报警单元包括：气体泄漏传感器、火焰探测器和声光报警器，所述气体泄漏传感器和声光报警器与主柜体内部连接，所述火焰探测器与主柜体外部连接，所述气体泄漏传感器和声光报警器与微处理器连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型与传统技术相比，通过设计增设工艺气体供应单元，实现切换供应和换瓶流程，通过程式控制气动阀自己完成工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

附图说明：

图1为本实用新型的外部结构示意图。

附图标记：

主柜体100、工艺气体供应单元200、入口隔离阀210、缓冲套管220、支路隔离阀230、支路气动隔离阀240、加热模块250、过流量开关260、调压阀270、过滤器280、第一气动隔离阀290、手动隔离阀2100、出口隔离阀2200和第一压力传感器2300。

吹扫单元300、微漏阀310、第一单向阀320、第二气动隔离阀330、第二压力传感器340、吹扫隔离阀350、第二单向阀360和吹扫过滤器370。

排放单元400、排放气动隔离阀410、第三气动隔离阀420、第三压力传感器430、真空发生器440、第三单向阀450、测试阀460和流量孔板470。

深度吹扫箱500、控制显示操作单元600、微处理器610和触摸屏620。

报警单元700、气体泄漏传感器710、火焰探测器720和声光报警器730。

具体实施方式

以下结合具体实施例，对本实用新型作进步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。

实施例1

图1为本实用新型的外部结构示意图。

如图1所示，一种用于特殊气体超高流量输送的设备，包括：主柜体100、工艺气体供应单元200、吹扫单元300、排放单元400、深度吹扫箱500、控制显示操作单元600和报警单元700，工艺气体供应单元200、吹扫单元300和排放单元400设置于主柜体100内部，深度吹扫箱500和控制显示操作单元600与主柜体100外部连接，报警单元700与主柜体100连接；

其中，工艺气体供应单元200包括：入口隔离阀210、缓冲套管220、支路隔离阀230、支路气动隔离阀240、加热模块250、过流量开关260、调压阀270、过滤器280、第一气动隔离阀290、手动隔离阀2100、出口隔离阀2200和第一压力传感器2300，入口隔离阀210与工艺气体入口端连接，缓冲套管220前端与入口隔离阀210连接，缓冲套管220后端与支路隔离阀230连接，支路隔离阀230后端与支路气动隔离阀240连接，支路气动隔离阀240后端与加热模块250连接，加热模块250后端与过流量开关260连接，过流量开关260后端与调压阀270连接，调压阀270后端与过滤器280连接，过滤器280后端与第一气动隔离阀290连接，第一气动隔离阀290后端与手动隔离阀2100连接，手动隔离阀2100后端与出口隔离阀2200连接，出口隔离阀2200后端与机台连接，第一压力传感器2300与调压阀270和过滤器280中间连接。

吹扫单元300包括：微漏阀310、第一单向阀320、第二气动隔离阀330、第二压力传感器340、吹扫隔离阀350、第二单向阀360和吹扫过滤器370，微漏阀310前端与吹扫气连接，微漏阀310后端与第一单向阀320连接，第一单向阀320后端与第二气动隔离阀330连接，第二气动隔离阀330后端通过管路分支与吹扫隔离阀350连接，第二压力传感器340与第二气动隔离阀330和吹扫隔离阀350中间连接，吹扫隔离阀350后端与支路气动隔离阀240后端连接，吹扫隔离阀350后端与加热模块250前端连接，第二单向阀360与吹扫隔离阀350前端连接，吹扫过滤器370与微漏阀310后端连接。

排放单元400包括：排放气动隔离阀410、第三气动隔离阀420、第三压力传感器430、真空发生器440、第三单向阀450、测试阀460和流量孔板470，排放气动隔离阀410前端与第一气动隔离阀290前端连接，排放气动隔离阀410后端与第三气动隔离阀420连接，第三压力传感器430与排放气动隔离阀410和第三气动隔离阀420中间连接，第三气动隔离阀420后端与真空发生器440连接，真空发生器440后端与外部排放点连接，第三单向阀450与排放气动隔离阀410后端连接，测试阀460前端与排放气动隔离阀410后端连接，测试阀460后端与测试管路连接，流量孔板470与第三气动隔离阀420后端连接。

深度吹扫箱500的数量为2～3个。

控制显示操作单元600包括：微处理器610和触摸屏620，微处理器610与触摸屏620连接。

报警单元700包括：气体泄漏传感器710、火焰探测器720和声光报警器730，气体泄漏传感器710和声光报警器730与主柜体100内部连接，火焰探测器720与主柜体100外部连接，气体泄漏传感器710和声光报警器730与微处理器610连接。

本实用新型的工作原理是，设计工艺气体供应单元200，新增感应设备，提供了大量的参照数据，配合气动阀进行控制。通过控制气动阀自己完成工艺介质输送、吹扫气体供应、换瓶前吹扫、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫，实现切换供应和换瓶流程，设备采用触摸屏620作为人机界面操控，将工艺气体供应单元200、吹扫单元300和排放单元400设置于主柜体100内部，深度吹扫箱500、控制显示操作单元600和报警单元700与主柜体100连接，操作人员不需要直接操作阀门，通过触控屏620可控制阀门动作，通过双层防爆玻璃可以观察设备运转状态。从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

以上对本实用新型的具体实施方式进行了说明，但本实用新型并不以此为限，只要不脱离本实用新型的宗旨，本实用新型还可以有各种变化。

Claims

1.一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于，包括：主柜体(100)、工艺气体供应单元(200)、吹扫单元(300)、排放单元(400)、深度吹扫箱(500)、控制显示操作单元(600)和报警单元(700)，所述工艺气体供应单元(200)、吹扫单元(300)和排放单元(400)设置于主柜体(100)内部，所述深度吹扫箱(500)和控制显示操作单元(600)与主柜体(100)外部连接，所述报警单元(700)与主柜体(100)连接；

其中，所述工艺气体供应单元(200)包括：入口隔离阀(210)、缓冲套管(220)、支路隔离阀(230)、支路气动隔离阀(240)、加热模块(250)、过流量开关(260)、调压阀(270)、过滤器(280)、第一气动隔离阀(290)、手动隔离阀(2100)、出口隔离阀(2200)和第一压力传感器(2300)，所述入口隔离阀(210)与工艺气体入口端连接，所述缓冲套管(220)前端与入口隔离阀(210)连接，所述缓冲套管(220)后端与支路隔离阀(230)连接，所述支路隔离阀(230)后端与支路气动隔离阀(240)连接，所述支路气动隔离阀(240)后端与加热模块(250)连接，所述加热模块(250)后端与过流量开关(260)连接，所述过流量开关(260)后端与调压阀(270)连接，所述调压阀(270)后端与过滤器(280)连接，所述过滤器(280)后端与第一气动隔离阀(290)连接，所述第一气动隔离阀(290)后端与手动隔离阀(2100)连接，所述手动隔离阀(2100)后端与出口隔离阀(2200)连接，所述出口隔离阀(2200)后端与机台连接，所述第一压力传感器(2300)与调压阀(270)和过滤器(280)中间连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述吹扫单元(300)包括：微漏阀(310)、第一单向阀(320)、第二气动隔离阀(330)、第二压力传感器(340)、吹扫隔离阀(350)、第二单向阀(360)和吹扫过滤器(370)，所述微漏阀(310)前端与吹扫气连接，所述微漏阀(310)后端与第一单向阀(320)连接，所述第一单向阀(320)后端与第二气动隔离阀(330)连接，所述第二气动隔离阀(330)后端通过管路分支与吹扫隔离阀(350)连接，所述第二压力传感器(340)与第二气动隔离阀(330)和吹扫隔离阀(350)中间连接，所述吹扫隔离阀(350)后端与支路气动隔离阀(240)后端连接，所述吹扫隔离阀(350)后端与加热模块(250)前端连接，所述第二单向阀(360)与吹扫隔离阀(350)前端连接，所述吹扫过滤器(370)与微漏阀(310)后端连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述排放单元(400)包括：排放气动隔离阀(410)、第三气动隔离阀(420)、第三压力传感器(430)、真空发生器(440)、第三单向阀(450)、测试阀(460)和流量孔板(470)，所述排放气动隔离阀(410)前端与第一气动隔离阀(290)前端连接，所述排放气动隔离阀(410)后端与第三气动隔离阀(420)连接，所述第三压力传感器(430)与排放气动隔离阀(410)和第三气动隔离阀(420)中间连接，所述第三气动隔离阀(420)后端与真空发生器(440)连接，所述真空发生器(440)后端与外部排放点连接，所述第三单向阀(450)与排放气动隔离阀(410)后端连接，所述测试阀(460)前端与排放气动隔离阀(410)后端连接，所述测试阀(460)后端与测试管路连接，所述流量孔板(470)与第三气动隔离阀(420)后端连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述深度吹扫箱(500)的数量为2～3个。

5.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述控制显示操作单元(600)包括：微处理器(610)和触摸屏(620)，所述微处理器(610)与触摸屏(620)连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于特殊气体超高流量输送的设备，其特征在于：所述报警单元(700)包括：气体泄漏传感器(710)、火焰探测器(720)和声光报警器(730)，所述气体泄漏传感器(710)和声光报警器(730)与主柜体(100)内部连接，所述火焰探测器(720)与主柜体(100)外部连接，所述气体泄漏传感器(710)和声光报警器(730)与微处理器(610)连接。