CN214369312U - 一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱 - Google Patents

Abstract

一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，包括：箱体、工艺气体供应单元、Pigtail单元、控制单元和报警单元，工艺气体供应单元、Pigtail单元和控制单元与箱体内部连接，Pigtail单元与钢瓶连接，报警单元与箱体连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、过滤器、出口隔离阀、气动隔离阀、吹扫隔离阀、排放隔离阀、微漏阀、真空发生器组、压力传感器、单向阀和测试阀。本实用新型与传统技术相比，通过设计增设深度吹扫箱工艺气体供应单元，实现满足特殊气体超高流量运输的需求。

Description

一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱

技术领域

本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

超高流量气体供应设备BSGS主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体。因有些机台所需的流量超高，一般传统的大流量供应***(BSGS)难以满足流量需求。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，包括：箱体、工艺气体供应单元、Pigtail单元、控制单元和报警单元，所述工艺气体供应单元、Pigtail单元和控制单元与箱体内部连接，所述Pigtail单元与钢瓶连接，所述报警单元与箱体连接；

其中，所述工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、过滤器、出口隔离阀、气动隔离阀、吹扫隔离阀、排放隔离阀、微漏阀、真空发生器组、压力传感器、单向阀和测试阀，所述入口隔离阀前端与Pigtail单元连接，所述入口隔离阀后端与过滤器连接，所述入口隔离阀和过滤器中间设有压力传感器，所述过滤器后端与出口隔离阀连接，所述出口隔离阀后端与特殊气体供应设备主体柜连接，所述气动隔离阀前端与Pigtail单元连接，所述气动隔离阀和Pigtail单元中间设置有压力传感器，所述气动隔离阀后端与吹扫隔离阀和排放隔离阀连接，所述吹扫隔离阀前端通过管路与吹扫气连接，所述排放隔离阀后端与微漏阀连接，所述微漏阀后端与真空发生器组连接，所述真空发生器组另一端通过管路与气体GN2连接，所述真空发生器组与设备外部排放点连接，所述单向阀与吹扫隔离阀前端连接，所述测试阀与气动隔离阀后端连接。

进一步，所述报警单元包括：气体泄漏传感器、火焰探测器和声光报警器，所述气体泄漏传感器和火焰探测器与箱体内部连接，所述声光报警器与箱体连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型与传统技术相比，通过设计增设深度吹扫箱工艺气体供应单元，实现满足特殊气体超高流量运输的需求。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

附图标记：

箱体100、工艺气体供应单元200、入口隔离阀210、过滤器220、出口隔离阀230、气动隔离阀240、吹扫隔离阀250、排放隔离阀260、微漏阀270、真空发生器组280、压力传感器290、单向阀2100和测试阀2200。

Pigtail单元300、控制单元400、报警单元500、气体泄漏传感器510、火焰探测器520、声光报警器530和钢瓶600。

具体实施方式

以下结合具体实施例，对本实用新型作进步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。

实施例1

图1为本实用新型的结构示意图。

如图1所示，一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，包括：箱体100、工艺气体供应单元200、Pigtail单元300、控制单元400和报警单元500，工艺气体供应单元200、Pigtail单元300和控制单元400与箱体100内部连接，Pigtail单元300与钢瓶600连接，报警单元500与箱体100连接；

其中，工艺气体供应单元200包括：入口隔离阀210、过滤器220、出口隔离阀230、气动隔离阀240、吹扫隔离阀250、排放隔离阀260、微漏阀270、真空发生器组280、压力传感器290、单向阀2100和测试阀2200，入口隔离阀210前端与Pigtail单元300连接，入口隔离阀210后端与过滤器220连接，入口隔离阀210和过滤器220中间设有压力传感器290，过滤器220后端与出口隔离阀230连接，出口隔离阀230后端与特殊气体供应设备主体柜连接，气动隔离阀240前端与Pigtail单元300连接，气动隔离阀240和Pigtail单元300中间设置有压力传感器290，气动隔离阀240后端与吹扫隔离阀250和排放隔离阀260连接，吹扫隔离阀250前端通过管路与吹扫气连接，排放隔离阀260后端与微漏阀270连接，微漏阀270后端与真空发生器组280连接，真空发生器组280另一端通过管路与气体GN2连接，真空发生器组280与设备外部排放点连接，单向阀2100与吹扫隔离阀250前端连接，测试阀2200与气动隔离阀240后端连接。

报警单元500包括：气体泄漏传感器510、火焰探测器520和声光报警器530，气体泄漏传感器510和火焰探测器520与箱体100内部连接，声光报警器530与箱体100连接。

本实用新型的工作原理是，设计深度吹扫箱的工艺气体供应单元，并将Pigtail-Box的操作集成到主柜体，用触控屏作为人机界面，将工艺气体供应单元200、Pigtail单元300和控制单元400设置在箱体100内部，Pigtail单元300与钢瓶600连接，报警单元500与箱体100连接，操作人员不需要直接操作阀门，通过触控屏可控制阀门动作，通过箱体门上的双层防爆玻璃可以观察设备运转状态。

以上对本实用新型的具体实施方式进行了说明，但本实用新型并不以此为限，只要不脱离本实用新型的宗旨，本实用新型还可以有各种变化。

Claims (2)

1.一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，其特征在于，包括：箱体(100)、工艺气体供应单元(200)、Pigtail单元(300)、控制单元(400)和报警单元(500)，所述工艺气体供应单元(200)、Pigtail单元(300)和控制单元(400)与箱体(100)内部连接，所述Pigtail单元(300)与钢瓶(600)连接，所述报警单元(500)与箱体(100)连接；

其中，所述工艺气体供应单元(200)包括：入口隔离阀(210)、过滤器(220)、出口隔离阀(230)、气动隔离阀(240)、吹扫隔离阀(250)、排放隔离阀(260)、微漏阀(270)、真空发生器组(280)、压力传感器(290)、单向阀(2100)和测试阀(2200)，所述入口隔离阀(210)前端与Pigtail单元(300)连接，所述入口隔离阀(210)后端与过滤器(220)连接，所述入口隔离阀(210)和过滤器(220)中间设有压力传感器(290)，所述过滤器(220)后端与出口隔离阀(230)连接，所述出口隔离阀(230)后端与特殊气体供应设备主体柜连接，所述气动隔离阀(240)前端与Pigtail单元(300)连接，所述气动隔离阀(240)和Pigtail单元(300)中间设置有压力传感器(290)，所述气动隔离阀(240)后端与吹扫隔离阀(250)和排放隔离阀(260)连接，所述吹扫隔离阀(250)前端通过管路与吹扫气连接，所述排放隔离阀(260)后端与微漏阀(270)连接，所述微漏阀(270)后端与真空发生器组(280)连接，所述真空发生器组(280)另一端通过管路与气体GN2连接，所述真空发生器组(280)与设备外部排放点连接，所述单向阀(2100)与吹扫隔离阀(250)前端连接，所述测试阀(2200)与气动隔离阀(240)后端连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，其特征在于，所述报警单元(500)包括：气体泄漏传感器(510)、火焰探测器(520)和声光报警器(530)，所述气体泄漏传感器(510)和火焰探测器(520)与箱体(100)内部连接，所述声光报警器(530)与箱体(100)连接。

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