CN211539445U - 一种铝合金靶材脱外模工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种铝合金靶材脱外模工装。其包括机架、顶升机和外模；所述顶升机和所述外模均设置在所述机架上，且所述外模位于所述顶升机的上方；所述外模具有一浇注空腔，所述浇注空腔的底部中心位置开设有顶升孔；所述顶升孔位于所述顶升机的顶升范围内；还包括一堵塞件，所述堵塞件对应设置在所述顶升孔内，所述堵塞件伸入所述顶升孔内的端面与所述浇注空腔的底面在同一平面上。本实用新型结构简单，外模可以重复使用，不用破坏外模即可实现脱模，不会造成材料的浪费，进而降低了生产加工的成本。

Description

一种铝合金靶材脱外模工装

技术领域

本实用新型属于铸件脱模技术领域，具体涉及一种铝合金靶材脱外模工装。

背景技术

物理气相沉积(PVD)是半导体芯片和TFT～LCD生产过程中最关键的技术，PVD用溅射靶材是半导体芯片生产及TFT～LCD制备加工过程中最重要的原材料之一，溅射靶材中用量最大的是高纯铝和超高纯净铝合金靶材。

现有的生产加工该铝合金靶材的工艺中，铝合金经真空熔炼后，浇铸于无缝管模具中，然后通过铣床铣去外模，取出铸锭。然而，这种生产加工方法中，外模一次性使用，造成极大的浪费，增加了生产加工的成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种铝合金靶材脱外模工装，以有效解决现有技术的不足之处。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种铝合金靶材脱外模工装，包括机架、顶升机和外模；所述顶升机和所述外模均设置在所述机架上，且所述外模位于所述顶升机的上方；所述外模具有一浇注空腔，所述浇注空腔的底部中心位置开设有顶升孔；所述顶升孔位于所述顶升机的顶升范围内；还包括一堵塞件，所述堵塞件对应设置在所述顶升孔内，所述堵塞件伸入所述顶升孔内的端面与所述浇注空腔的底面在同一平面上。

进一步地，所述浇注空腔为倒圆台形，其锥度为1:1000。

进一步地，所述顶升孔内表面设置有内螺纹，所述堵塞件上设置有外螺纹，所述堵塞件以螺纹连接的方式设置在所述顶升孔内。

进一步地，所述内螺纹设置在所述顶升孔上远离所述浇注空腔的一端，所述外螺纹设置在所述堵塞件上远离所述浇注空腔的一端。

进一步地，所述内螺纹的深度为所述顶升孔高度的一半，所述外螺纹设置在与所述内螺纹对应的位置上。

进一步地，所述顶升孔的高度为50mm，对应地，所述内螺纹的深度为25mm，所述的外螺纹的高度为25mm。

进一步地，所述顶升孔的直径为50mm。

更进一步地，所述顶升机为30T液压顶升机。

相对于现有技术，本实用新型一种铝合金靶材脱外模工装，具备如下的有益效果：

1)、外模可以重复使用，不用破坏外模即可实现脱模，不会造成材料的浪费，进而降低了生产加工的成本。

2)、浇注空腔设置有一定的锥度，在不影响浇注的情况下，使脱模更加方便。

3)、使用半牙的螺纹，堵塞件和顶升孔的下端部通过螺纹连接，上端部紧密匹配，堵塞效果较好，防止浇注时漏料，拆下堵塞件时也较为容易。

为了能更清楚地理解本实用新型，以下将阐述本实用新型的具体实施方式。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1中A处的放大示意图；

其中，附图标记为：

10、机架；20、顶升机；30、外模；40、浇注空腔；50、顶升孔；51、内螺纹；60、堵塞件；61、外螺纹。

具体实施方式

为解决现有技术存在的不足与缺陷，本实用新型提供了一种铝合金靶材脱外模工装，解决了现有技术中外模不能重复使用，进而造成材料浪费的问题。

如图1和图2所示，其中图1为本实用新型的结构示意图，图2为图1中A处的放大示意图。

本实用新型的一种铝合金靶材脱外模工装，包括机架10、顶升机20和外模30；所述顶升机20和所述外模30均设置在所述机架10上，且所述外模30位于所述顶升机20的上方；所述外模30具有一浇注空腔40，所述浇注空腔40的底部中心位置开设有顶升孔50；所述顶升孔50位于所述顶升机20的顶升范围内；还包括一堵塞件60，所述堵塞件60对应设置在所述顶升孔50内，所述堵塞件60伸入所述顶升孔50内的端面与所述浇注空腔40的底面在同一平面上。

在优选的本实施例中，所述浇注空腔40为倒圆台形，其锥度为1:1000。具体地，所述浇注空腔40的远离顶升孔50的上部直径较大，下部直径较小，这样有利于浇注后的顶出。

在优选的本实施例中，所述顶升孔50内表面设置有内螺纹51，所述堵塞件60上设置有外螺纹61，所述堵塞件60以螺纹连接的方式设置在所述顶升孔50内。具体地，所述内螺纹51设置在所述顶升孔50上远离所述浇注空腔40的一端，所述外螺纹61设置在所述堵塞件60上远离所述浇注空腔40的一端。

在优选的本实施例中，所述内螺纹51的深度为所述顶升孔50高度的一半，所述外螺纹61设置在与所述内螺纹51对应的位置上。具体地，所述顶升孔50的高度为50mm，对应地，所述内螺纹51的深度为25mm，所述的外螺纹61的高度为25mm。

所述顶升孔50的直径为50mm，具体地，所述顶升孔50上部不具有螺纹处的直径为50mm，所述顶升孔50下部具有螺纹处的内螺纹51的小径为50mm，相应地，所述堵塞件60上端不具有螺纹处的直径为50mm，所述堵塞件60下部具有螺纹处的外螺纹61的小径为50mm，进行上述设定，可使得堵塞件60上端和顶升孔50上端能够紧密贴合匹配，防止漏料，也使得浇注完成后，方便取出堵塞件60。

所述顶升机20为30T液压顶升机。

所述外模30的尺寸为：底部的内径160mm，壁厚10mm，高度在800mm～3000mm范围内。

本实用新型的一种铝合金靶材脱外模工装的工作原理及过程如下：

首先，将堵塞件60旋入顶升孔50内，旋紧，使得堵塞件60上端部与浇注空腔40内底面持平。然后，在浇注空腔40内部均匀喷涂上脱模剂。接着，往浇注空腔40内浇注铝合金熔融料。铝合金熔融料浇注完成，待其冷却后，将堵塞件60拧出，后启动位于顶升孔50下方的30T液压顶升机，将其顶头顶入顶升孔50内，持续升压，将位于浇注空腔40内部的铝合金靶材半成品顶出，与外模30分离，后取下铝合金靶材半成品，进行后续加工。

相对于现有技术，本实用新型铝合金靶材脱外模工装，结构简单，设计精巧，能够有效地将浇注完成的铝合金靶材半成品与外模分离，而无需破坏外模，外模可以重复使用，减少了不必要的浪费，大大降低了成本，具有较高的经济效益和实用性。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种铝合金靶材脱外模工装，其特征在于，包括机架(10)、顶升机(20)和外模(30)；所述顶升机(20)和所述外模(30)均设置在所述机架(10)上，且所述外模(30)位于所述顶升机(20)的上方；所述外模(30)具有一浇注空腔(40)，所述浇注空腔(40)的底部中心位置开设有顶升孔(50)；所述顶升孔(50)位于所述顶升机(20)的顶升范围内；还包括一堵塞件(60)，所述堵塞件(60)对应设置在所述顶升孔(50)内，所述堵塞件(60)伸入所述顶升孔(50)内的端面与所述浇注空腔(40)的底面在同一平面上。

2.根据权利要求1所述的铝合金靶材脱外模工装，其特征在于，所述浇注空腔(40)为倒圆台形，其锥度为1:1000。

3.根据权利要求2所述的铝合金靶材脱外模工装，其特征在于，所述顶升孔(50)内表面设置有内螺纹(51)，所述堵塞件(60)上设置有外螺纹(61)，所述堵塞件(60)以螺纹连接的方式设置在所述顶升孔(50)内。

4.根据权利要求3所述的铝合金靶材脱外模工装，其特征在于，所述内螺纹(51)设置在所述顶升孔(50)上远离所述浇注空腔(40)的一端，所述外螺纹(61)设置在所述堵塞件(60)上远离所述浇注空腔(40)的一端。

5.根据权利要求4所述的铝合金靶材脱外模工装，其特征在于，所述内螺纹(51)的深度为所述顶升孔(50)高度的一半，所述外螺纹(61)设置在与所述内螺纹(51)对应的位置上。

6.根据权利要求5所述的铝合金靶材脱外模工装，其特征在于，所述顶升孔(50)的高度为50mm，对应地，所述内螺纹(51)的深度为25mm，所述的外螺纹(61)的高度为25mm。

7.根据权利要求6所述的铝合金靶材脱外模工装，其特征在于，所述顶升孔(50)的直径为50mm。

8.根据权利要求7所述的铝合金靶材脱外模工装，其特征在于，所述顶升机(20)为30T液压顶升机。

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