CN210876531U - 全自动硅料清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种全自动硅料清洗机，包括底座，底座上依次设置有上料机构、强酸腐蚀槽、快排漂洗槽、超声漂洗槽及下料机构，底座上设置有支撑架，支撑架上沿长度对称设置有两个水平滑轨，水平滑轨通过滑块与若干个机械手滑动连接，机械手位于能通过水平气缸驱动其进行水平往复运动；机械手包括两端分别与两个水平滑轨通过滑块连接的连接板，连接板上对称设置有两个丝杆，两个丝杆分别与支撑板的两端连接，支撑板能通过气动夹爪与待清洗件接触，支撑板通过垂直电机驱动丝杠转动带动其进行竖直往复运动，当支撑板竖直移动到位时，待清洗件能位于强酸腐蚀槽/快排漂洗槽/超声漂洗槽内，装置结构简单，能够实现全自动硅料清洗并提高稳定性。

Description

全自动硅料清洗机

技术领域

本实用新型涉及硅料清洗领域，尤其涉及全自动硅料清洗机。

背景技术

硅在工厂的使用过程中开始越来越多，其大多都是用来制作半导体硅片等物品，在人们生产时会产生很多的废料，为了不浪费原料，故都会使用清洗机洗去杂质，再次利用。

现有的硅料清洗机大多在各环节之间设置机械手进行待清洗件的传送，而机械手多以单臂进行对待清洗件的抓取及放置，由于单臂抓取不稳定，容易导致待清洗件位置偏移甚至掉落，进而产生很多废品，增加成本；在使用清洗机的时候通常需要人工进行上下料，不仅浪费人力及时间，且效率低下。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种结构简单，能够实现全自动硅料清洗并提高稳定性的全自动硅料清洗机。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种全自动硅料清洗机，包括底座，所述底座上依次设置有上料机构、强酸腐蚀槽、快排漂洗槽、超声漂洗槽及下料机构，所述底座上设置有支撑架，所述支撑架上沿长度对称设置有两个水平滑轨，所述水平滑轨通过滑块与若干个机械手滑动连接，所述机械手位于上料机构、强酸腐蚀槽、快排漂洗槽、超声漂洗槽及下料机构上方且能通过水平气缸驱动其在水平滑轨上进行水平往复运动；

所述机械手包括两端分别与两个水平滑轨通过滑块连接的连接板，所述连接板上对称设置有左臂丝杆及右臂丝杆，所述左臂丝杆及右臂丝杆分别与支撑板的两端连接，所述支撑板能通过气动夹爪与待清洗件接触，所述支撑板通过垂直电机驱动丝杠转动带动其进行竖直往复运动，当所述支撑板竖直移动到位时，所述待清洗件能位于强酸腐蚀槽/快排漂洗槽/超声漂洗槽内。

本实用新型提供的全自动硅料清洗机，其有益效果是：将待清洗件放置至上料机构后，通过机械手在水平滑轨上的移动带动待清洗件依次进行强酸腐蚀、快排漂洗及超声漂洗，最后放置到下料机构上完成全自动的硅料清洗，同时在机械手上采用左臂丝杆及右臂丝杆，以提高对待清洗件抓取及移动过程中的稳定性，避免使用单臂时因不稳定而导致的位置偏移及掉落问题。

进一步地，所述上料机构和下料机构分别包括上料传送带和下料传送带，所述支撑架两端均设置有气动移门，两个所述气动移门均位于上料传送带和下料传送带上方，能够对进入清洗机内的数量进行限制，避免物料的堆积。

进一步地，所述下料传送带上设置有下料机架，所述下料机架上平行设置有多个烘干机，所述烘干机与下料传送带之间具有一定间距，所述间距大于待清洗件，实现对清洗后的硅料进行烘干。

进一步地，所述底座上设置有风切装置，所述风切装置位于超声漂洗槽与下料机构之间，实现对清洗后的硅料进行干燥。

进一步地，所述底座上设置有液体配制机构，所述液体配制机构包括酸配液槽、储液槽及预加热槽，进行清洗液的配置，并能够及时补充。

进一步地，所述底座上设置有潜送机构，所述潜送机构包括潜送槽，所述潜送槽内设置有潜送篮，所述潜送篮尺寸大于待清洗件，所述潜送槽底部设置有潜送丝杆，所述潜送丝杆与潜送篮连接，所述潜送丝杆能通过潜送电机驱动其转动带动潜送篮在潜送槽内进行水平往复运动，实现对待清洗件的潜送。

进一步地，所述待清洗件包括放置篮，所述放置篮两侧对称设置有多个夹持件，提高夹持的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为机械手的结构示意图；

图4为待清洗件的结构示意图；

图中：

1-底座；2-支撑架；3-机械手；31-连接板；32-左臂丝杆；33-右臂丝杆；4-支撑板；5-液体配制机构；51-酸配液槽；52-储液槽；53-预加热槽；6-上料传送带；7-气动移门；8-待清洗件；81-放置篮；82-夹持件；9-下料传送带；10-烘干机；11-潜送槽；12-潜送篮；13-潜送丝杆；14-潜送电机；15-强酸腐蚀槽；16-快排漂洗槽；17-超声漂洗槽。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

参见附图1-4所示，一种全自动硅料清洗机，包括底座1，底座1上依次设置有上料机构、强酸腐蚀槽15、快排漂洗槽16、超声漂洗槽17及下料机构，上料机构和下料机构分别包括上料传送带6和下料传送带9，支撑架2两端均设置有气动移门7，两个气动移门7均位于上料传送带6和下料传送带9上方，下料传送带9上设置有下料机架，下料机架上平行设置有多个烘干机10，烘干机10与下料传送带9之间具有一定间距，间距大于待清洗件8，底座1上设置有风切装置和液体配制机构5，风切装置位于超声漂洗槽17与下料机构之间，液体配制机构5包括酸配液槽51、储液槽52及预加热槽53，底座1上设置有潜送机构，潜送机构包括潜送槽11，潜送槽11内设置有潜送篮12，潜送篮12尺寸大于待清洗件8，潜送槽11底部设置有潜送丝杆13，潜送丝杆13与潜送篮12连接，潜送丝杆13能通过潜送电机14驱动其转动带动潜送篮12在潜送槽11内进行水平往复运动，底座1上设置有支撑架2，支撑架2上沿长度对称设置有两个水平滑轨，水平滑轨通过滑块与若干个机械手3滑动连接，机械手3位于上料机构、强酸腐蚀槽、快排漂洗槽、超声漂洗槽及下料机构上方且能通过水平气缸驱动其在水平滑轨上进行水平往复运动；

机械手3包括两端分别与两个水平滑轨通过滑块连接的连接板31，连接板31上对称设置有左臂丝杆32及右臂丝杆33，左臂丝杆32及右臂丝杆33分别与支撑板4的两端连接，支撑板4能通过气动夹爪与待清洗件8接触，待清洗件8包括放置篮81，放置篮81两侧对称设置有多个夹持件82，支撑板4通过垂直电机驱动丝杠转动带动其进行竖直往复运动，当支撑板4竖直移动到位时，待清洗件8能位于强酸腐蚀槽15/快排漂洗槽16/超声漂洗槽17内。

具体工作过程：将待清洗件8放置至上料传送带6上，同时气动移门7对待清洗件8数量进行控制，当待清洗件8传送到位时，支撑板4通过水平气缸驱动其利用两端的滑块在水平滑轨上移动至待清洗件8上方后，支撑板4在垂直电机驱动下在其连接的左臂丝杆32及右臂丝杆33上做移动并通过气动夹爪对待清洗件8进行夹取，后依次经过强酸腐蚀槽15、快排漂洗槽16和超声漂洗槽17，风切进行干燥后将其放置在下料传送带9上完成下料并对其烘干。

将待清洗件8放置至上料机构后，通过机械手3在水平滑轨上的移动带动待清洗件8依次进行强酸腐蚀、快排漂洗及超声漂洗，最后放置到下料机构上完成全自动的硅料清洗，同时在机械手3上采用左臂丝杆32及右臂丝杆33，以提高对待清洗件抓取及移动过程中的稳定性，避免使用单臂时因不稳定而导致的位置偏移及掉落问题。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种全自动硅料清洗机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上依次设置有上料机构、强酸腐蚀槽(15)、快排漂洗槽(16)、超声漂洗槽(17)及下料机构，所述底座(1)上设置有支撑架(2)，所述支撑架(2)上沿长度对称设置有两个水平滑轨，所述水平滑轨通过滑块与若干个机械手(3)滑动连接，所述机械手(3)位于上料机构、强酸腐蚀槽、快排漂洗槽、超声漂洗槽及下料机构上方且能通过水平气缸驱动其在水平滑轨上进行水平往复运动；

所述机械手(3)包括两端分别与两个水平滑轨通过滑块连接的连接板(31)，所述连接板(31)上对称设置有左臂丝杆(32)及右臂丝杆(33)，所述左臂丝杆(32)及右臂丝杆(33)分别与支撑板(4)的两端连接，所述支撑板(4)能通过气动夹爪与待清洗件(8)接触，所述支撑板(4)通过垂直电机驱动丝杠转动带动其进行竖直往复运动，当所述支撑板(4)竖直移动到位时，所述待清洗件(8)能位于强酸腐蚀槽(15)/快排漂洗槽(16)/超声漂洗槽(17)内。

2.根据权利要求1所述的全自动硅料清洗机，其特征在于：所述上料机构和下料机构分别包括上料传送带(6)和下料传送带(9)，所述支撑架(2)两端均设置有气动移门(7)，两个所述气动移门(7)均位于上料传送带(6)和下料传送带(9)上方。

3.根据权利要求2所述的全自动硅料清洗机，其特征在于：所述下料传送带(9)上设置有下料机架，所述下料机架上平行设置有多个烘干机(10)，所述烘干机(10)与下料传送带(9)之间具有一定间距，所述间距大于待清洗件(8)。

4.根据权利要求1所述的全自动硅料清洗机，其特征在于：所述底座(1)上设置有风切装置，所述风切装置位于超声漂洗槽(17)与下料机构之间。

5.根据权利要求1所述的全自动硅料清洗机，其特征在于：所述底座(1)上设置有液体配制机构(5)，所述液体配制机构(5)包括酸配液槽(51)、储液槽(52)及预加热槽(53)。

6.根据权利要求1所述的全自动硅料清洗机，其特征在于：所述底座(1)上设置有潜送机构，所述潜送机构包括潜送槽(11)，所述潜送槽(11)内设置有潜送篮(12)，所述潜送篮(12)尺寸大于待清洗件(8)，所述潜送槽(11)底部设置有潜送丝杆(13)，所述潜送丝杆(13)与潜送篮(12)连接，所述潜送丝杆(13)能通过潜送电机(14)驱动其转动带动潜送篮(12)在潜送槽(11)内进行水平往复运动。

7.根据权利要求1所述的全自动硅料清洗机，其特征在于：所述待清洗件(8)包括放置篮(81)，所述放置篮(81)两侧对称设置有多个夹持件(82)。

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