CN210778543U - 旋转取放料机构及半导体自动冲切设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种旋转取放料机构及半导体自动冲切设备。旋转取放料机构，包括导向板、驱动件、驱动板、联动轴及取料板，导向板上设置有导向槽，导向槽包括弧形段；驱动板包括相对设置的驱动端和传动端，驱动端传动连接于驱动件，传动端设置有腰形槽，在驱动件的驱动下，驱动板绕一轴线转动，且腰形槽的圆周运动轨迹在导向板上的正投影与弧形段相交；联动轴至少部分收容于导向槽内，且至少部分收容于腰形槽内，驱动件通过驱动板驱动联动轴在导向槽内移动；取料板固定连接于联动轴，联动轴在导向槽内移动时，带动取料板移动，以实现取料和放料。半导体自动冲切设备包括旋转取放料机构。仅需一个驱动件，即可实现旋转取放料机构的取料和放料动作。

Description

旋转取放料机构及半导体自动冲切设备

技术领域

本申请涉及半导体制造领域，特别是涉及一种旋转取放料机构及半导体自动冲切设备。

背景技术

在半导体的自动冲切过程中，往往需要一种可以180度旋转取料的机构。传统的设计方案需要多个电机和气缸的组合才能实现，而且占用空间大，效率低。而且，维护麻烦，故障率高。

实用新型内容

基于此，有必要针对传统的设计方案在实现旋转取料时，需要多个电机和气缸的组合才能实现，而且占用空间大，效率低的问题，提供一种旋转取放料机构及半导体自动冲切设备。

一种旋转取放料机构，包括导向板、驱动件、驱动板、联动轴及取料板，其中，

所述导向板上设置有导向槽，所述导向槽包括弧形段；

所述驱动件用于提供驱动力；

所述驱动板包括相对设置的驱动端和传动端，所述驱动端传动连接于驱动件，所述传动端设置有腰形槽，在所述驱动件的驱动下，所述驱动板绕一轴线转动，且所述腰形槽的圆周运动轨迹在所述导向板上的正投影与所述弧形段相交；

所述联动轴至少部分收容于所述导向槽内，且至少部分收容于所述腰形槽内，所述驱动件通过所述驱动板驱动所述联动轴在所述导向槽内移动；

所述取料板固定连接于所述联动轴，所述联动轴在所述导向槽内移动时，带动所述取料板移动，以实现取料和放料。

在其中一个实施例中，所述导向槽还包括第一直线段和第二直线段，所述第一直线段位于所述弧形段的一端，并连通于所述弧形段，所述第二直线段位于所述弧形段的另一端，并连通于所述弧形段，所述联动轴在所述第一直线段和所述第二直线段内的移动分别对应所述取料板的取料动作和放料动作。

在其中一个实施例中，所述第一直线段和所述第二直线段处于同一直线上，以实现180°旋转的取料和放料。

在其中一个实施例中，所述驱动板与所述导向板之间的间隙小于预设值，以使得所述驱动板在所述导向板的表面转动。

在其中一个实施例中，还包括连接杆、夹块和基准轴，所述取料板通过所述连接杆固定连接于所述联动轴，所述夹块固定于所述连接杆上，所述基准轴的一端固定于所述夹块上，另一端固定于预设位置，所述联动轴在所述导向槽内移动时，所述联动轴、所述夹块、所述取料板组成的装配体以所述基准轴为轴进行转动。

在其中一个实施例中，还包括固定板，所述固定板与所述导向板相对设置，所述驱动板设置于所述固定板与所述导向板之间；

所述基准轴穿过所述导向板，固定连接于所述固定板，且所述基准轴能够相对所述固定板转动。

在其中一个实施例中，所述弧形段为一半圆形的弧形，所述基准轴与所述弧形段的圆心处于同一直线上。

在其中一个实施例中，沿着长度延伸方向，所述腰形槽包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端为靠近所述驱动板转动时的转轴的一端，所述第二端为相对远离所述驱动板转动时的转轴的一端，所述驱动板转动时的转轴到所述第一端的距离小于所述弧形段的半径，且所述驱动板转动时的转轴到所述第二端的距离大于所述弧形段的半径。

在其中一个实施例中，所述驱动板转动的转轴不在所述基准轴所在的直线上。

上述旋转取放料机构，通过在导向板上设置导向槽，在驱动板上设置腰形槽，联动轴至少部分收容于导向槽内，且至少部分收容于腰形槽内，从而使联动轴受到导向槽和腰形槽的双重约束，则在驱动板转动时，可以通过双重约束作用驱使联动轴在导向槽内转动，从而使固定在联动轴上的取料板在取料位和放料位之间移动，实现取料和放料。上述过程中，只需要通过一个驱动件即可实现取料和放料，结构简单，占用的空间小，成本较低，且易于维护。

本申请第二方面提供一种半导体自动冲切设备，包括取料盒、旋转取放料机构及放料台，所述旋转取放料机构为上述任一所述的旋转取放料机构，当所述旋转取放料机构的取料板位于弧形段的两端时，取料板分别对应所述取料盒和所述放料台。

由于半导体自动冲切设备包括旋转取放料机构，因而，旋转取放料机构具备的有益效果，半导体自动冲切设备也相应具备。

附图说明

图1为本申请一实施例的旋转取放料机构的结构示意图；

图2为本申请一实施例的旋转取放料机构的背面结构示意图；

图3为本申请一实施例的旋转取放料机构的导向板的结构示意图；

图4为本申请另一实施例的旋转取放料机构的背面结构示意图；

图5为本申请一实施例的旋转取放料机构的驱动板的结构示意图；

图6为本申请一实施例的旋转取放料机构的传动结构示意图；

图7为本申请一实施例的旋转取放料机构的局部结构示意图；

图8为本申请一实施例的半导体自动冲切设备的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本申请各实施例的旋转取放料机构及半导体自动冲切设备，通过一个驱动件即可驱动取料板在取料位置和放料位置之间移动，能够在狭小的环境中安装，结构简单，易于维护，且运行效率较高。

下面结合附图详细描述本申请各实施例的旋转取放料机构及半导体自动冲切设备。

请参阅图1和图2，示例性的示出了本申请一实施例的旋转取放料机构10的结构示意图，旋转取放料机构10包括导向板110、驱动件120、驱动板130、联动轴140及取料板150，导向板110上设置有导向槽112，联动轴140固定连接于取料板150，驱动件120通过驱动板130驱动联动轴140在导向槽112内移动，带动取料板150移动，以实现取料和放料。

导向板110固定于预设的位置，不可移动，以避免联动轴140在导向槽112内移动时，带动导向板110偏移，从而使取料和放料过程出现偏移。例如，导向板110可以固定于冲切设备上，或者直接是冲切设备的一部分。

导向槽112的形状定义了联动轴140的移动轨迹，联动轴140的移动轨迹决定了取料和放料的准确度，因而，导向槽112的形状与取料、放料的位置相适应。例如，请参阅图3，在一个或多个实施例中，导向槽112呈一镜像“C”形，包括弧形段112a，联动轴140从弧形段112a的一端移动到另一端，使取料板150在取料位置、放料位置之间切换。

请参阅图3，在一些实施例中，导向槽112还可以包括第一直线段112b和第二直线段112c，第一直线段112b位于弧形段112a的一端，并连通于弧形段112a，第二直线段112c位于弧形段112a的另一端，并连通于弧形段112a，联动轴140在第一直线段112b和第二直线段112c内的移动分别对应取料板150的取料动作和放料动作。通过设置第一直线段112b和第二直线段112c，可以通过联动轴140驱动取料板150在一直线方向进行移动，从而可以使取料和放料有一个对准过程，使取料和放料动作更加顺滑，同时可以提高取料和放料过程的可靠性。在图示的实施例中，旋转取放料机构10需要实现180°旋转的取料和放料，第一直线段112b和第二直线段112c处于同一竖直线上，以实现在上方取料、下方放料。

驱动件120用于提供驱动力，以通过驱动板130驱动联动轴140在导向槽112内的移动。驱动件120可以是正反转电机或者旋转气缸，当然，还可以是其他能够提供正反驱动力的驱动器。

驱动板130可以直接受驱动件120的驱动，也可以是间接受驱动件120的驱动。例如，驱动板130连接到驱动件120的输出轴上，从而驱动件120直接驱动驱动板130转动。

请参阅图2，在一个或多个实施例中，还可以包括传动组件160，传动组件160的一端传动连接于驱动件120，另一端传动连接于驱动板130，由此，驱动件120通过传动组件160驱动驱动板130转动。例如，传动组件160可以是传动轮组件，包括主动轮162、从动轮164和传送带166，主动轮162传动连接于驱动件120，驱动件120驱动主动轮162转动，主动轮162通过传送带166连接于从动轮164，驱动板130固定连接于从动轮164的转轴上，由此，主动轮162通过传送带166带动从动轮164转动，从动轮164转动时，带动驱动板130转动。当然，传动组件160还可以是连杆组件等其他传动机构，不限于传动轮。

请参阅图4，在一个或多个实施例中，还可以包括固定板170，固定板170与导向板110相对设置，驱动板130设置于固定板170与导向板110之间。例如，固定板170可以通过安装座固定连接于导向板110，在固定板170和导向板110之间预留有间隙，以为驱动板130的活动提供空间。

传动组件160可以固定于固定板170上，例如，在图4所示的实施例中，传动组件160设置于固定板170的背离导向板110的一侧。例如，固定板170上可以对应主动轮162和从动轮164的转轴设置过孔，主动轮162和从动轮164的转轴穿过过孔，从而被固定。可以理解，为了实现主动轮162和从动轮164的顺滑转动，过孔处可以配置有轴承，主动轮162和从动轮164的转轴通过轴承与固定板170固定。

请参阅图2和图4，驱动件120的输出轴固定连接于主动轮162的转轴，或者驱动件120的输出轴通过轴承固定于固定板170上，主动轮162固定于输出轴上。从而使驱动件120也装配固定于固定板170上，导向板110对应驱动件120可以设置有通孔114，由此，驱动件120可以装配于正面，导向板110背面的结构可以对外隐藏，同时利于驱动件120的维护。

请参阅图5，驱动板130包括驱动端132，驱动端132传动连接于驱动件120，在驱动件120的驱动下，驱动板130绕一轴线转动。例如，驱动端132固定于从动轮164的转轴上，则在从动轮164转动时，带动驱动板130以从动轮164的转轴为轴转动。

驱动板130还包括传动端134，传动端134与驱动端132相对设置，传动端134设置有腰形槽136，驱动板130转动时，腰形槽136的圆周运动轨迹在导向板110上的正投影与弧形段112a相交。联动轴140至少部分收容于腰形槽136内，驱动件120驱动板130转动，具有带动联动轴140转动的趋势，从而驱动联动轴140在导向槽112内移动。

请参阅图2，在一个或多个实施例中，驱动板130与导向板110之间的间隙小于预设值。例如，将从动轮164的转轴延长一定长度，以使得驱动板130靠近导向板110设置。例如，驱动板130与导向板110之间的间隙很小以至驱动板130几乎贴合于导向板110设置，由此，驱动板130在导向板110的表面转动，导向板110可以对驱动板130的转动提供导向作用，从而避免摇摆，可以提升取放料过程的稳定性。

在一个或多个实施例中，驱动板130转动连接于导向板110。例如，从动轮164的转轴通过轴承固定于导向板110上，驱动板130固定于导向板110上，从而，驱动板130通过从动轮164的转轴固定在导向板110上，并能够相对导向板110转动。通过使驱动板130转动连接于导向板110，使得从动轮164的转轴两端均固定，能够提升驱动板130转动的平稳性，

请参阅图2和图6，联动轴140至少部分收容于导向板110的导向槽112内，且至少部分收容于驱动板130的腰形槽136内，驱动件120通过驱动板130驱动联动轴140在导向槽112内移动，联动轴140在移动过程中受导向槽112和腰形槽136的双重约束。在驱动件120的驱动下，驱动板130转动，由于联动轴140至少部分收容于腰形槽136内，因而，驱动板130转动时具有带动联动轴140跟随驱动板130做圆周运动的趋势，由于联动轴140又受导向槽112约束，因而，驱动板130驱动联动轴140沿着导向槽112移动。联动轴140在导向槽112内移动过程中，导向槽112的轨迹与腰形槽136进行圆周运动时的轨迹不不重叠，因而，在导向板110对联动轴140的反作用力下，联动轴140在腰形槽136内移动，由此，通过导向槽112、腰形槽136对联动轴140的双重约束限位，提高了联动轴140在运动过程中的灵活性，可以推动联动轴140在导向槽112内的灵活变向。

例如，请参阅图7，联动轴140的一端可以设置有圆柱凸台142，圆柱凸台142的外径与导向槽112的宽度相适应，圆柱凸台142穿过导向槽112，进入到腰形槽136内，由此，圆柱凸台142同时受到导向槽112和腰形槽136的约束力。

取料板150固定连接于联动轴140，从而，联动轴140在导向槽112内移动时，带动取料板150旋转移动，以实现取料和放料。例如，还可以包括连接杆180，取料板150通过连接杆180固定连接于联动轴140。通过设置连接杆180，可以便于取料板150与取放料的位置相适应，使取料盒和放料台具有足够的布设空间。

请参阅图1、图2、图6和图7，在一个或多个实施例中，还可以包括夹块191和基准轴193，夹块191固定于连接杆180上，基准轴193的一端固定于夹块191上，另一端固定于预设位置，联动轴140在导向槽136内移动时，联动轴140、夹块191、取料板150组成的装配体以基准轴193为轴进行转动。例如，基准轴193穿过导向板110，固定连接于固定板170，且基准轴193能够相对固定板170转动，示例性的，基准轴193通过轴承固定于固定板170上，以使得基准轴193转动连接于固定板170。通过提供夹块191和基准轴193，使得联动轴140、夹块191、取料板150组成的装配体以基准轴193为轴进行转动，且装配体的转动路径确定，从而可以确保取料板150的平稳移动，以提升取料板150移动过程中的平稳性。

例如，导向槽112的弧形段112a为一半圆形的弧形，基准轴193与弧形段112a的圆心处于同一直线上，从而，联动轴140在导向槽112的弧形段112a内进行规则的圆周运动。当然，弧形段112a也可以不是标准的圆形，而呈弧形曲线状。

请参阅图5，沿着长度延伸方向，腰形槽136包括相对设置的第一端136a和第二端136b，其中，第一端136a为靠近驱动板130转动时的转轴的一端，第二端136b为相对远离驱动板130转动时的转轴的一端，驱动板130转动时的转轴到第一端136a的距离小于弧形段112a的半径，且驱动板130转动时的转轴到第二端136b的距离大于弧形段112a的半径，驱动板130转动时的圆形轨迹和弧形段112a的圆形轨迹共同约束联动轴140，使联动轴140在腰形槽136内移动。

驱动板130转动的转轴不在基准轴193所在的直线上，以使得驱动板130能够驱动联动轴140在导向槽112内移动。例如，在图示的实施例中，驱动板130转动的转轴与基准轴193所在的直线平行，且处于同一水平面内，从而驱动板130转动的转轴与弧形段112a两端的距离相等。

请参阅图1、图2和图6，图1所示的实施例中，联动轴140停放于弧形段112a与第一直线段112b的交界点上，且联动轴140位于腰形槽136的靠近传动端134的一端，此时取料板150与下方的放料台相对应，并与放料台之间具有一定的距离。若驱动件120工作，驱动板130逆时针转动，则联动轴140在腰形槽136的侧壁的作用力下，沿着第一直线段112b移动，取料板150与放料台的距离缩小，直至将料片放置到放料台上，在此过程中，联动轴140由传动端134移动至驱动端132。反之，若驱动板130顺时针转动，则驱动板130趋使联动轴140沿着弧形段112a移动，直至移动至弧形段112a与第一直线段112b的交界点处，然后联动轴140在腰形槽136的侧壁的作用力下，沿着第二直线段112c移动，在第二直线段112c移动的过程中，取料板150也进行直线运动，从上方的取料盒中取料。取料完成后，驱动件120反向转动，联动轴140反向移动，即完成放料。

可见，上述旋转取放料机构10，通过在导向板110上设置导向槽112，在驱动板130上设置腰形槽136，联动轴140至少部分收容于导向槽112内，且至少部分收容于腰形槽136内，从而使联动轴140受到导向槽112和腰形槽136的双重约束，则在驱动板130转动时，可以通过双重约束作用驱使联动轴140在导向槽112内转动，从而使固定在联动轴140上的取料板150在取料位和放料位之间移动，实现取料和放料。上述过程中，只需要通过一个驱动件120即可实现取料和放料，结构简单，占用的空间小，成本较低，且易于维护。

请参阅图8，本申请一实施例还提供一种半导体自动冲切设备20，包括取料盒210、旋转取放料机构220及放料台230，旋转取放料机构220为上述任一实施例所述的旋转取放料机构10，当旋转取放料机构220的取料板位于弧形段的两端时，取料板分别对应取料盒210和放料台230。

由于半导体自动冲切设备20包括旋转取放料机构10，因而，旋转取放料机构10具备的有益效果，半导体自动冲切设备20也相应具备。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种旋转取放料机构，其特征在于，包括导向板、驱动件、驱动板、联动轴及取料板，其中，

所述导向板上设置有导向槽，所述导向槽包括弧形段；

所述驱动件用于提供驱动力；

所述驱动板包括相对设置的驱动端和传动端，所述驱动端传动连接于驱动件，所述传动端设置有腰形槽，在所述驱动件的驱动下，所述驱动板绕一轴线转动，且所述腰形槽的圆周运动轨迹在所述导向板上的正投影与所述弧形段相交；

所述联动轴至少部分收容于所述导向槽内，且至少部分收容于所述腰形槽内，所述驱动件通过所述驱动板驱动所述联动轴在所述导向槽内移动；

所述取料板固定连接于所述联动轴，所述联动轴在所述导向槽内移动时，带动所述取料板移动，以实现取料和放料。

2.根据权利要求1所述的旋转取放料机构，其特征在于，所述导向槽还包括第一直线段和第二直线段，所述第一直线段位于所述弧形段的一端，并连通于所述弧形段，所述第二直线段位于所述弧形段的另一端，并连通于所述弧形段，所述联动轴在所述第一直线段和所述第二直线段内的移动分别对应所述取料板的取料动作和放料动作。

3.根据权利要求2所述的旋转取放料机构，其特征在于，所述第一直线段和所述第二直线段处于同一直线上，以实现180°旋转的取料和放料。

4.根据权利要求1所述的旋转取放料机构，其特征在于，所述驱动板与所述导向板之间的间隙小于预设值，以使得所述驱动板在所述导向板的表面转动。

5.根据权利要求1所述的旋转取放料机构，其特征在于，还包括连接杆、夹块和基准轴，所述取料板通过所述连接杆固定连接于所述联动轴，所述夹块固定于所述连接杆上，所述基准轴的一端固定于所述夹块上，另一端固定于预设位置，所述联动轴在所述导向槽内移动时，所述联动轴、所述夹块、所述取料板组成的装配体以所述基准轴为轴进行转动。

6.根据权利要求5所述的旋转取放料机构，其特征在于，还包括固定板，所述固定板与所述导向板相对设置，所述驱动板设置于所述固定板与所述导向板之间；

所述基准轴穿过所述导向板，固定连接于所述固定板，且所述基准轴能够相对所述固定板转动。

7.根据权利要求5所述的旋转取放料机构，其特征在于，所述弧形段为一半圆形的弧形，所述基准轴与所述弧形段的圆心处于同一直线上。

8.根据权利要求7所述的旋转取放料机构，其特征在于，沿着长度延伸方向，所述腰形槽包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端为靠近所述驱动板转动时的转轴的一端，所述第二端为相对远离所述驱动板转动时的转轴的一端，所述驱动板转动时的转轴到所述第一端的距离小于所述弧形段的半径，且所述驱动板转动时的转轴到所述第二端的距离大于所述弧形段的半径。

9.根据权利要求5所述的旋转取放料机构，其特征在于，所述驱动板转动的转轴不在所述基准轴所在的直线上。

10.一种半导体自动冲切设备，其特征在于，包括取料盒、旋转取放料机构及放料台，所述旋转取放料机构为权利要求1-9任一项所述的旋转取放料机构，当所述旋转取放料机构的取料板位于弧形段的两端时，取料板分别对应所述取料盒和所述放料台。

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