CN210379008U - 吸附机构及旋转分选装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种吸附机构及旋转分选装置，安装在具有驱动机构和配气机构的作业台上，包括用于固定连接在作业台上的吸附导向支架和与吸附导向支架滑动连接的吸附导向杆，吸附导向支架具有供吸附导向杆穿透的穿透孔；吸附导向杆与吸附导向支架之间设置有用于引导二者移动的导向筒，导向筒的外侧壁上凹陷形成有限制槽，吸附导向支架上设置有与限制槽配合限位，以在导向筒轴向上限制导向筒于一设定移动区间内移动的限制部件。本实用新型提供的吸附机构及旋转分选装置，提高吸附导向杆上下移动的精准度，同时简化了吸附机构的结构，组装更为方便，降低了维修成本。

Description

吸附机构及旋转分选装置

技术领域

本实用新型涉及一种吸附机构及旋转分选装置。

背景技术

目前，各类半导体器件，在装入载带前都需要经过方向辨别、换向、电性参数测试、表面打标，视觉引脚检测，分料盒处理等步骤,半导体器件在各步骤之间的输送，主要是通过配送装置来实现的。

传统的配送装置，包括在中间旋转的主转盘，以使半导体器件进行工位与工位之间的运输，在主转盘的外周边上固定有若干吸附机构，吸附用于吸取与释放半导体器件。现有技术中多数的分选机主转盘机构圆周分布的吸附数较少，造成配气盘材料未能被充分利用其有效面积，同时导致转盘需旋转较大的角度才可以将材料送到下一个工作站位进行下一步骤的处理，所需时间也会相应增大，影响整机的运行速度；分选机转盘机构的吸附机构的结构较为复杂，不利于吸附机构的安装拆卸以及后期的维护。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种吸附机构，以解决现有技术中存在的吸附机构结构复杂，不利于安装拆卸及后期的维护的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种吸附机构，安装在具有驱动机构和配气机构的作业台上，包括用于固定连接在所述作业台上的吸附导向支架和与所述吸附导向支架滑动连接的吸附导向杆，所述吸附导向支架具有供所述吸附导向杆穿透的穿透孔；所述吸附导向杆与所述吸附导向支架之间设置有用于引导二者移动的导向筒，所述导向筒的外侧壁上凹陷形成有限制槽，所述吸附导向支架上设置有与所述限制槽配合限位，以在所述导向筒轴向上限制所述导向筒于一设定移动区间内移动的限制部件。

进一步地，所述穿透孔的孔壁设置有贯穿所述穿透孔内部和所述吸附导向支架外界的让位孔，所述限制部件穿透所述让位孔与所述限制槽滑动连接。

进一步地，所述吸附机构还包括吸附部件，所述吸附部件连接在所述吸附导向杆的底端，用以吸取工件。

进一步地，所述吸附机构还包括夹持固定座，用以连接固定所述吸附部件和所述吸附导向杆。

进一步地，所述夹持固定座包括两个相对而设的夹持臂部，两个所述夹持臂部通过夹持连接件以将所述吸附部件和所述吸附导向杆保持。

进一步地，所述吸附导向杆具有导向气槽，所述吸附导向杆的侧壁上形成有与所述导向气槽连通的第一导向气口，所述吸附导向杆的底端上形成有与所述导向气槽连通的第二导向气口；所述吸附机构还包括通气块和通气接头，所述通气接头通过管道与所述配气机构相连；所述通气块具有通气槽，所述通气槽的一端延伸至所述通气块的侧壁上形成供所述通气接头***的第一通气口，另一端延伸至所述通气块的底端上形成有供所述吸附导向杆的顶端置入的第二通气口；所述通气接头的内部、所述通气槽、导向气槽和所述吸附部件的内部顺序连通。

进一步地，所述吸附机构还包括压缩弹簧，所述吸附导向支架上设置有弹簧垫圈，所述压缩弹簧两端分别抵顶于所述通气块和弹簧垫圈。

本实用新型提供的旋转配送装置，包括具有一中心轴线的作业转盘、使所述作业转盘绕所述中心轴线转动的驱动机构、配气机构以及沿所述作业转盘的周向呈等间距布置在所述作业转盘上的上述所述吸附机构。

进一步地，所述配气机构包括沿着所述中心轴线延伸并与所述作业转盘同轴且自下而上顺序彼此间密封连接的底层配气盘、中间配气盘和顶层配气盘，所述作业转盘和底层配气盘均沿其周向布置有多个减重孔。

进一步地，所述顶层配气盘连接有升降驱动机构，用以驱动所述顶层配气盘沿着所述中心轴线的延伸方向相对中间配气盘移动。

本实用新型提供的吸附机构的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型的吸附机构，通过在吸附导向支架设置供吸附导向杆穿透且滑动连接于吸附导向支架的穿透孔，并在吸附导向杆与吸附导向支架之间设置有用于引导二者移动的导向筒，且在导向筒的外侧壁向内凹陷形成有限制槽，吸附导向支架上设置有与限制槽配合限制导向筒移动区间的限制部件，使得吸附机构能够限制夹持固定座转动，提高吸附导向杆上下移动的精准度，同时简化了吸附机构的结构，组装更为方便，降低了维修成本。

本实用新型提供的旋转配送装置的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型的旋转配送装置，通过对作业转盘上吸附机构进行结构简化，使其组装更为方便，同时在作业转盘和底层配气盘上沿其周向布置有多个减重孔，使其重量减轻，从而减小转动惯性和转动阻力，提高转动速度；增加作业转盘的吸附机构数量，减少转动幅度，进一步提升工作站位数量，整机速度得到提升，提高工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的吸附机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的吸附机构的剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的吸附机构的***结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的旋转分选装置的立体结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的配气组件的立体结构示意图。

其中，图中各附图标记：

1：吸附机构 11：吸附导向支架

111：穿透孔 112：让位孔

12吸附导向杆 121 导向气槽

122：第一导向气口 123：第二导向气口

13：导向筒 131：限制槽

14：限制部件 15：吸附部件

16：夹持固定座 161：夹持臂部

162：夹持连接件 17：通气块

171：通气槽 18：通气接头

19：压缩弹簧 2：旋转配送装置

21：作业转盘 22：驱动机构

23：配气机构 24：底层配气盘

25：中间配气盘 26：顶层配气盘

27：减重孔

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1至图2，本实施例提供的一种吸附机构1，安装在具有驱动机构22和配气机构23的作业台上，包括用于固定连接在作业台上的吸附导向支架11和与吸附导向支架11滑动连接的吸附导向杆12，吸附导向支架11具有供吸附导向杆12穿透的穿透孔111；吸附导向杆12与吸附导向支架11之间设置有用于引导二者移动的导向筒13，导向筒13的外侧壁上凹陷形成有限制槽131，吸附导向支架11上设置有与限制槽131配合限位，以在导向筒13轴向上限制导向筒13于一设定移动区间内移动的限制部件14。

上述的一种吸附机构1，通过在吸附导向支架11设置供吸附导向杆12穿透且滑动连接于吸附导向支架11的穿透孔111，并在吸附导向杆12与吸附导向支架11之间设置有用于引导二者移动的导向筒13，且在导向筒13的外侧壁向内凹陷形成有限制槽131，吸附导向支架11上设置有与限制槽131配合限制导向筒13移动区间的限制部件14，使得吸附机构1能够限制夹持固定座16转动，提高吸附导向杆12上下移动的精准度，同时简化了吸附机构1的结构，组装更为方便，降低了维修成本。

请一并参阅图1至图3，作为本实施例提供的吸附机构1的一种具体实施方式，吸附机构1包括吸附导向支架11、吸附导向杆12、中空的吸附部件15、夹持固定座16、导向筒13、通气接头18、通气块17和压缩弹簧19。在本实施例中，吸附导向支架11通过螺钉等紧固件固定安装在作业转盘21的外周上，吸附导向杆12以能够相对吸附导向支架11在平行于中心轴线延伸方向的方向上移动的方式安装在吸附导向支架11上，吸附导向杆12具有导向气槽121，吸附导向杆12的侧壁上形成有与导向气槽121连通的第一导向气口122，吸附导向杆12的底端上形成有与导向气槽121连通的第二导向气口123。中空的吸附部件15用以吸取工件，吸附部件15连接在吸附导向杆12的底端。夹持固定座16将吸附部件15与吸附导向杆12连接固定，夹持固定座16包括两个相对而设的夹持臂部161，两个夹持臂部161通过如螺钉等夹持连接件162以将吸附部件15和吸附导向杆12保持，夹持固定座16与吸附导向支架11之间设置有吸附垫块。吸附导向支架11具有供吸附导向杆12穿透且滑动连接于吸附导向支架11的穿透孔111，吸附导向杆12与吸附导向支架11之间设置有用于引导二者移动的导向筒13，能够对吸附导向杆12的移动进行引导，以保证吸附导向杆12上下移动的稳定性，并减少吸附导向杆12与吸附导向支架11之间的摩擦；同时在导向筒13的外侧壁上凹陷形成有限制槽131，优选地，在导向筒 13的外侧壁上凹陷形成腰型槽，腰型槽限制了导向筒13在一设定移动区间内移动。吸附导向支架11上设置有与限制槽131配合限位，以在导向筒13轴向上限制导向筒13于一设定移动区间内移动的如螺钉等限制部件14；优选地，穿透孔111的孔壁设置有贯穿穿透孔111内部和吸附导向支架11外界的让位孔 112，限制部件14穿透让位孔112与限制槽131滑动连接；使得吸附导向支架 11能够限制夹持固定座16转动，提高吸附导向杆12上下移动的精准度，同时简化了吸附机构1的结构，组装更为方便，降低了维修成本。

请参阅图2至图3，在本实施例中，通气接头18用以通过管道(图未示) 与底层管接头相连，通气块17具有通气槽171，通气槽171的一端延伸至通气块17的侧壁上形成供通气接头18***的第一通气口，另一端延伸至通气块17 的底端上形成有供吸附导向杆12的顶端置入的第二通气口，吸附导向杆12***后，通过如螺钉等气块连接件将吸附导向杆12与通气块17锁紧固定。通气接头18的内部、通气槽171、导向气槽121和吸附部件15的内部顺序连通。值得一提的是，在对应的上下料的工位上，于吸附机构1的上方设置有下压驱动机构22(图未示)，该下压驱动机构22向下推顶通气块17，通气块17带动吸附导向杆12、夹块部件及吸附部件15向下移动，并压缩该压缩弹簧19；在下压驱动机构22的下压力消除后，压缩弹簧19推顶通气块17向上复位；吸附导向支架11上设置有弹簧垫圈，压缩弹簧19两端分别抵顶于通气块17和弹簧垫圈，这样，能够方便对压缩弹簧19的定位和固定。

请参阅图4至图5，本实施例提供的一种旋转配送装置2，包括具有一中心轴线的作业转盘21、使作业转盘21绕中心轴线转动的驱动机构22、配气机构 23以及沿作业转盘21的周向呈等间距布置在作业转盘21上的上述吸附机构1。

上述的一种旋转配送装置2，通过对作业转盘21上吸附机构1进行结构简化，使其组装更为方便，同时在作业转盘21和底层配气盘24上沿其周向布置有多个减重孔27，使其重量减轻，从而减小转动惯性和转动阻力，提高转动速度；增加作业转盘21的吸附机构1数量，减少转动幅度，进一步提升工作站位数量，整机速度得到提升，提高工作效率。

旋转配送装置2包括作业转盘21、驱动机构22、配气机构23以及吸附机构1，该作业转盘21和驱动机构22支撑在平台(图未示)上，配气机构23通过气体管道(图未示)分别与气源装置(图未示)和吸附机构1连接，这样，通过气源装置的控制，使吸附机构1吸取工件，并在驱动机构22的驱动下，被吸取的工件随作业转盘21转动，以旋转至各工位处进行对应的加工和检测，在本实施例中，工件为但不局限于半导体芯片。作业转盘21具有一中心轴线，驱动机构22使作业转盘21绕中心轴线转动，在本实施例中，驱动机构22固定安装在平台(图未示)上，驱动机构22为但不局限于伺服电机，伺服电机的电机轴与作业转盘21连接固定。

请参阅图4，在本实施例中，作业转盘21、底层配气盘24均上形成有减重孔组，减重孔组包括沿作业转盘21、底层配气盘24的周向呈等间距布置且位于底层配气盘24外周的多个减重孔27，每个减重孔27均环绕于与中心轴线布设。在本实施例中，减重孔27组在作业转盘21和底层配气盘24的径向上间隔布设，中间配气盘25和顶层配气盘26均沿其周向布置有多个通气孔。容易理解的是，在作业转盘21和底层配气盘24上形成多个减重孔27，能够在保证尺寸规格及强度的条件下，减少作业转盘21和底层配气盘24的重量，节省制作成本，并便于拆装，从而减小转动惯性和转动阻力，提高转动速度。

请参阅图5，在本实施例中，配气机构23包括沿着中心轴线延伸并与作业转盘21同轴且自下而上顺序彼此间密封连接的底层配气盘24、中间配气盘25 和顶层配气盘26，底层配气盘24、中间配气盘25、顶层配气盘26、作业转盘 21为同轴设置，底层配气盘24、中间配气盘25通过螺钉等紧固件固定安装在作业转盘21上，并能够随作业转盘21一同转动，其中，底层配气盘24位于中间配气盘25与作业转盘21之间，顶层配气盘26下压在中间配气盘25上，且能够相对中间配气盘25转动。

吸附机构1固定安装在作业转盘21的外周，在本实施例中，吸附机构1 的数量为但不局限于三十六个，三十六个吸附机构1沿作业转盘21的周向呈等间距布置，也就是说该作业转盘21具有三十六个转动工位，增加作业转盘21 的吸附机构1数量，减少转动幅度，进一步提升工作站位数量，整机速度得到提升，提高工作效率。底层配气盘24沿着作业转盘21的中心轴线延伸，底层配气盘24具有底层气体通道，底层气体通道的数量为但不局限于三十六个，三十六个底层气体通道沿底层配气盘24的周向间隔设置，底层配气盘24的侧壁上设置有与底层气体通道相连的底层管接头，底层管接头的数量为但不局限于三十六个，三十六个底层管接头与三十六个吸附机构1分别一一对应对齐设置，各底层管接头通过气体管道(图未示)与对应的各吸附机构1连接。中间配气盘25沿着作业转盘21的中心轴线延伸，中间配气盘25具有中间气体通道，中间气体通道的数量为但不局限于三十六个，三十六个中间气体通道沿中间配气盘25的周向间隔设置，三十六个中间气体通道与三十六个底层气体通道分别一一对应对齐设置，各中间气体通道与对应的各底层气体通道连通。顶层配气盘26沿着作业转盘21的中心轴线延伸，顶层配气盘26具有顶层气体通道，顶层气体通道的数量为但不局限于三十六个，三十六个顶层气体通道沿顶层配气盘 26的周向间隔设置，顶层配气盘26的侧壁上设置有用于连通顶层气体通道与气源装置的顶层管接头；顶层管接头的数量为但不局限于三十六个，三十六个顶层气体通道与三十六个中间气体通道分别一一对应，每个顶层管接头分别通过一气体管道(图未示)与气源装置连接。可以理解的是，在气源装置的抽真空作用下，各顶层气体通道、与该顶层气体通道连通的各中间气体通道、各底层气体通道及各吸附机构1内部的气体被气源装置抽出，从而将工件吸附在吸附机构1上，而在驱动机构22驱动作业转盘21，以带动吸附机构1、底层配气盘24、中间配气盘25相对顶层配气盘26转动时，吸附机构1转动至任意转动工位处，每个吸附机构1均通过底层配气盘24、中间配气盘25与顶层配气盘 26的各对应的顶层气体通道相连通，即吸附机构1能够吸取工件并随作业转盘 21在各转动工位之间任意转动。

特别的是，对于需要下料的转动工位，在该转动工位所对应的顶层管接头与气源装置之间设置电磁阀(图未示)，电磁阀可以是现有技术中能够实现破真空的一切破真空电磁阀，在工件转动至下料的转动工位处时，通过电磁阀来控制该顶层管接头所连通的顶层气体通道与外部大气导通，从而使吸附部件15 形成破真空，从而消除对工件的吸取。

作为进一步地改进，顶层配气盘26连接有升降驱动机构22(图未示)，用以驱动顶层配气盘26沿着中心轴线的延伸方向相对中间配气盘25移动。该升降驱动机构22通过机架(图未示)固定在顶层配气盘26上方，升降驱动机构 22为但不局限于电机机构，容易理解的是，通过升降驱动机构22，将顶层配气盘26下压在中间配气盘25上并与中间配气盘25密封连接，在两者之间因磨损而出现间隙时，升降驱动机构22能够使顶层配气盘26进行一步向下移动，以密封顶层配气盘26与中间配气盘25之间的间隙，从而保证工作的可靠性，结构稳定性更高。

以上所述仅为本实施例的较佳实施例而已，并不用以限制本实施例，凡在本实施例的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实施例的保护范围之内。

Claims (10)

1.吸附机构，安装在具有驱动机构和配气机构的作业台上，其特征在于，包括用于固定连接在所述作业台上的吸附导向支架和与所述吸附导向支架滑动连接的吸附导向杆，所述吸附导向支架具有供所述吸附导向杆穿透的穿透孔；所述吸附导向杆与所述吸附导向支架之间设置有用于引导二者移动的导向筒，所述导向筒的外侧壁上凹陷形成有限制槽，所述吸附导向支架上设置有与所述限制槽配合限位，以在所述导向筒轴向上限制所述导向筒于一设定移动区间内移动的限制部件。

2.如权利要求1所述的吸附机构，其特征在于：所述穿透孔的孔壁设置有贯穿所述穿透孔内部和所述吸附导向支架外界的让位孔，所述限制部件穿透所述让位孔与所述限制槽滑动连接。

3.如权利要求1所述的吸附机构，其特征在于：所述吸附机构还包括吸附部件，所述吸附部件连接在所述吸附导向杆的底端，用以吸取工件。

4.如权利要求3所述的吸附机构，其特征在于：所述吸附机构还包括夹持固定座，用以连接固定所述吸附部件和所述吸附导向杆。

5.如权利要求4所述的吸附机构，其特征在于：所述夹持固定座包括两个相对而设的夹持臂部，两个所述夹持臂部通过夹持连接件以将所述吸附部件和所述吸附导向杆保持。

6.如权利要求5所述的吸附机构，其特征在于：所述吸附导向杆具有导向气槽，所述吸附导向杆的侧壁上形成有与所述导向气槽连通的第一导向气口，所述吸附导向杆的底端上形成有与所述导向气槽连通的第二导向气口；所述吸附机构还包括通气块和通气接头，所述通气接头通过管道与所述配气机构相连；所述通气块具有通气槽，所述通气槽的一端延伸至所述通气块的侧壁上形成供所述通气接头***的第一通气口，另一端延伸至所述通气块的底端上形成有供所述吸附导向杆的顶端置入的第二通气口；所述通气接头的内部、所述通气槽、导向气槽和所述吸附部件的内部顺序连通。

7.如权利要求6所述的吸附机构，其特征在于：所述吸附机构还包括压缩弹簧，所述吸附导向支架上设置有弹簧垫圈，所述压缩弹簧两端分别抵顶于所述通气块和弹簧垫圈。

8.旋转分选装置，其特征在于，包括具有一中心轴线的作业转盘、使所述作业转盘绕所述中心轴线转动的驱动机构、配气机构以及沿所述作业转盘的周向呈等间距布置在所述作业转盘上的如权利要求1至7任一项所述吸附机构。

9.如权利要求8所述的旋转分选装置，其特征在于：所述配气机构包括沿着所述中心轴线延伸并与所述作业转盘同轴且自下而上顺序彼此间密封连接的底层配气盘、中间配气盘和顶层配气盘，所述作业转盘和底层配气盘均沿其周向布置有多个减重孔。

10.如权利要求9所述的旋转分选装置，其特征在于：所述顶层配气盘连接有升降驱动机构，用以驱动所述顶层配气盘沿着所述中心轴线的延伸方向相对中间配气盘移动。

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