CN210230498U - 一种匀胶机加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种匀胶机加热装置，包括：壳体，所述壳体内设置有承重板；加热固定部，所述加热固定部设置在所述壳体内，所述加热固定部包括推力球轴承、加热台和固定部，所述推力球轴承设置在所述承重板上，所述加热台设置在所述推力球轴承上，所述固定部设置在所述加热台上；传动部，所述传动部设置在所述壳体内，所述传动部设置在所述加热固定部下侧，所述传动部包括传动管和直流电机，所述传动管设置在所述直流电机上。本实用新型对心准确、牢固，旋涂质量高和旋涂过程安全，能够对旋涂物体及时加热。

Description

一种匀胶机加热装置

技术领域

本实用新型涉及匀胶设备领域，具体涉及一种匀胶机加热装置。

背景技术

匀胶机是一种利用旋转产生的离心力原理，将胶液均匀甩开，平铺到材料表面的机械装置，其应用于各类对于材料表面涂覆的均匀性有严格要求的实验或者制造领域，例如半导体材料研发和制备工艺，生物材料物性分析，化工材料薄膜的制备工艺等等。

现有装置采用顶部加热，通过盖子上的电炉丝涡流发热来营造热环境，将被旋涂基片置于热环境中来满足加热旋涂要求，卡盘周围设有温感元件，实时感应被旋涂物件温度变化。但此类装置加热过程没有密闭进行，旋涂液加热过程容易受到氧气和水分影响。并且此类装置无法解决旋涂物件对心不准和旋涂物件夹持不牢固，高速旋涂时造成旋涂质量差和安全事故的问题。

中国专利(CN204247481U)公开了一种匀胶机，包括主体机、载片台及用于容置载片台的限位框，所述载片台设于主体机的中间位置处，并与主体机内的驱动电机连接，用于驱动载片台进行旋转；该匀胶机进一步包括加热机构，其主要由感应线圈组成，其中所述感应线圈固定在载片台上，并与主体机电性连接，用于对置于载片台上的载片进行加热。此专利能够为旋涂物件加热，但此专利没能采取旋涂物件与空气隔绝，给出旋涂物件固定装置，无法保证旋涂质量和旋涂过程安全。

因此本专利提供一种旋涂物件对心准确、牢固，旋涂质量高和旋涂过程安全，能够对旋涂物体及时加热的一种匀胶机加热装置。

实用新型内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供一种匀胶机加热装置，具体采用如下的技术方案：

一种匀胶机加热装置，包括：

壳体，所述壳体内设置有承重板。

加热固定部，所述加热固定部设置在所述壳体内，所述加热固定部包括推力球轴承、加热台和固定部，所述推力球轴承设置在所述承重板上，所述加热台设置在所述推力球轴承上，所述固定部设置在所述加热台上。

传动部，所述传动部设置在所述壳体内，所述传动部设置在所述加热固定部下侧，所述传动部包括传动管和直流电机，所述传动管设置在所述直流电机上。

优选地，所述壳体呈桶状，所述壳体下端面封闭，上端面设置有密封盖，所述密封盖由透明材质构成。

优选地，所述壳体下端设置有惰性气体注入口，所述密封盖上设置有惰性气体排出口，所述惰性气体注入口在所述壳体内通过气体管道***所述传动部内。

优选地，所述加热台包括加热台侧壁、加热台底板、加热丝、隔热陶瓷片、加热片、电路管和电源，所述加热台底板设置在所述推力球轴承上，所述加热台侧壁和所述隔热陶瓷片设置在所述加热台底板上，所述加热丝设置在所述隔热陶瓷片上，所述加热片设置在所述加热台侧壁上，所述电源设置在所述传动部下侧，所述电路管穿过所述传动部分别与所述电源和所述加热丝连接；所述加热台底板和所述隔热陶瓷片中心分别设置有第三贯穿孔和第四贯穿孔。

优选地，所述隔热陶瓷片上设置有沟槽，所述加热丝设置在所述沟槽内；所述加热丝两端穿过所述隔热陶瓷片和所述加热台底板，所述加热丝两端均设置有电刷，所述电路管内设置有电路线，所述电路线下端与电源的正负极连接，所述电路线上端设置有铜环；所述加热片水平设置在所述加热丝上方的所述加热台侧壁内，所述加热丝和所述加热片之间的所述加热台侧壁上设置有第五贯穿孔。

优选地，所述加热台侧壁上端设置有固定部，所述固定部包括左侧轴、右侧转动轴、前侧转动轴和后侧轴，所述左侧轴和所述右侧转动轴相互平行设置在所述加热台侧壁的左侧和右侧，所述前侧转动轴和所述后侧轴相互平行设置在所述加热台侧壁的前侧和后侧；所述左侧轴和所述后侧轴均固定设置在所述加热台侧壁上，所述右侧转动轴和所述前侧转动轴均通过轴承固定在所述加热台侧壁上。

优选地，所述右侧转动轴和所述前侧转动轴两端分别设置有旋转方向相反的丝牙，所述右侧转动轴和所述前侧转动轴在不同转向的丝牙上均嵌套有花键，所述花键与丝牙啮合；所述左侧轴和所述后侧轴上各嵌套有两个圆管，所述圆管内径与所述左侧轴和所述后侧轴外径相同。

优选地，所述左侧轴和所述右侧转动轴上相同侧的所述圆管和所述花键通过第一夹持杆连接，所述前侧转动轴和所述后侧轴上相同侧的花键和圆管通过第二夹持杆连接；所述右侧转动轴和所述前侧转动轴的一端面均固定设置有六角螺头。

优选地，每个所述六角螺头旁均设置有锁定件，所述锁定件包括固定杆和锁定片，所述锁定片设置在所述固定杆上，两个所述固定杆各自平行于所述右侧转动轴和所述前侧转动轴固定设置在所述加热台侧壁上；两个所述固定杆上分别铰接有一个锁定片，所述锁定片上设置有与所述六角螺头啮合的六角口。

优选地，所述传动部还包括大齿轮和小齿轮，所述大齿轮上与所述传动管连接，所述小齿轮设置在所述直流电机上，所述小齿轮与所述大齿轮啮合；所述大齿轮中心设置有第六贯穿孔。

本实用新型所获得的有益技术效果：

1)本实用新型的匀胶机加热装置对心准确、牢固，旋涂质量高和旋涂过程安全，能够对旋涂物体及时加热；

2)本实用新型的匀胶机加热装置设置有固定部，该固定部包括右侧转动轴、前侧转动轴和锁定件，利用右侧转动轴和前侧转动轴上的花键同时向内靠拢或向外远离特性，实现旋涂物体对心准确，通过锁定件将旋涂物体固定稳固；又由于旋涂物体固定在加热台侧壁内进行，壳体为密封设计，有效增加了旋涂过程安全性；

3)本实用新型的匀胶机加热装置设置有惰性气体注入口和惰性气体排出口，经过惰性气体注入口注入的惰性气体首先经过加热台预加热后才能与旋涂物体接触，不仅避免了空气和水分对旋涂物体加热过程的影响，又避免了旋涂物体表面骤热骤冷，影响旋涂物体旋涂质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1为本实用新型匀胶机加热装置主体示意图；

图2为本实用新型匀胶机加热装置删除壳体后的示意图；

图3为本实用新型匀胶机加热装置删除壳体和加热片后的示意图；

图4为本实用新型匀胶机加热装置的加热丝通电示意图；

图5为本实用新型匀胶机加热装置删除壳体后的仰视图。

其中：1-壳体，2-控制盒，3-承重板，4-红外温感元件，5-温度调控器，6-转速调控器，7-温度显示屏，8-转速显示屏，9-加热显示灯，10-转速显示灯，11-加热台侧壁，12-右侧转动轴，13-惰性气体注入口，14-密封盖，15-惰性气体排出口，16-后侧轴，17-左侧轴，18-前侧转动轴，19-六角螺头，20-锁定片，21-花键，22-推力球轴承，23-传动管，24-大齿轮，25-小齿轮，26-直流电机，27-电源，28-电路管，29-加热台底板，30-加热丝，31-隔热陶瓷片，32-电刷，33-铜环，34-加热片。

具体实施方式

以下将参照附图，通过实施例方式详细地描述本实用新型的技术方案。在此需要说明的是，对于这些实施例方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。

本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，单独存在B，同时存在A和B三种情况，本文中术语“/和”是描述另一种关联对象关系，表示可以存在两种关系，例如，A/和B，可以表示：单独存在A，单独存在A和B两种情况，另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”关系。

根据图1所示，一种匀胶机加热装置，包括壳体1、加热固定部和传动部，该加热固定部和该传动部均设置在该壳体1内，该加热固定部设置在该传动部上。

该壳体1呈桶状，该壳体1下端面封闭，上端面上铰接有密封盖14，该密封盖14由透明材质构成，该密封盖14能够便于观察旋涂过程，并且该密封盖14能够将该匀胶机内部密闭，使加热过程与外部空气隔绝，确保匀胶涂料不受空气和水分影响。

该壳体1下端设置有惰性气体注入口13，该密封盖14上设置有惰性气体排出口15，该惰性气体注入口13和该惰性气体排出口15均为气体快速接头，该惰性气体注入口13在该壳体1内通过气体管道***该传动部内。

该壳体1内部水平设置有一层承重板3，该承重板3中心设置有第一贯穿孔，该承重板3边缘处设置有多个第二贯穿孔。该承重板3用于承载加热固定部和传动部。

该壳体1上端设置有红外温感元件4，该红外温感元件4能够对该加热固定部实时温度检测。当加热固定部温度超温时能够自动切断加热电源27，当加热固定部温度低于设定温度时能够自动连通加热电源27。

该壳体1下端连接有控制盒2，该控制盒2上设置有温度调控器5、转速调控器6、温度显示屏7、转速显示屏8、加热显示灯9和转速显示灯10。该温度调控器5分别与该温度显示屏7、该加热显示灯9和该加热固定部连接，该转速调控器6分别与该转速显示屏8、该转速显示灯10和该传动部连接。

根据图2所示，该加热固定部包括推力球轴承22、加热台和固定部，该推力球轴承22设置在该承重板3上，该加热台设置在该推力球轴承22上，该固定部设置在该加热台上。

根据图3所示，该加热台包括加热台侧壁11、加热台底板29、加热丝30、隔热陶瓷片31、加热片34、电路管28和电源27，该加热台底板29设置在该推力球轴承22上，该加热台侧壁11和该隔热陶瓷片31设置在该加热台底板29上，该加热丝30设置在该隔热陶瓷片31上，该加热片34设置在该加热台侧壁11上，该电源27设置在该传动部下侧，该电路管28穿过该传动部分别与电源27和该加热丝30连接。

该加热台底板29和该隔热陶瓷片31中心分别设置有第三贯穿孔和第四贯穿孔，该第三贯穿孔和第四贯穿孔便于惰性气体进入加热台进行预加热，避免温度低的惰性气体与加热中的旋涂物体直接接触，造成旋涂液骤热和骤凉，影响旋涂质量。

该隔热陶瓷片31上设置有沟槽，该加热丝30设置在该沟槽内，以提高加热丝30热量使用率，并且避免加热台温度过多传向传动部，影响传动部运行。

根据图4所示，该加热丝30两端穿过该隔热陶瓷片31和该加热台底板29，并且该加热丝30两端均设置有电刷32。该电路管28有两根，两根该电路管28内均设置有电路线，两根该电路线的下端分别与电源27的正负极连接，两根该电路线的上端均设置有一个铜环33。该铜环33通过电刷32为加热丝30供电。该电源27为蓄电池或直接通过电源插头连接电网位为加热丝30供电。

该加热台侧壁11和该加热片34均为导热性能强硬度高的黄铜，该加热片34水平设置在该加热丝30上方的该加热台侧壁11内。由于黄铜具有良好导热性，旋涂物件在加热时能够受到加热片34和加热台侧壁11的同时加热，使旋涂物件加热更加均匀和高效。

位于该加热丝30和该加热片34之间的该加热台侧壁11上设置有第五贯穿孔，该第五贯穿孔用于导出预热后的惰性气体。

该加热台侧壁11上端设置有固定部，该固定部包括左侧轴17、右侧转动轴12、前侧转动轴18和后侧轴16，该左侧轴17和该右侧转动轴12相互平行设置在该加热台侧壁11的左侧和右侧，该前侧转动轴18和该后侧轴16相互平行设置在该加热台侧壁11的前侧和后侧。

该左侧轴17和该后侧轴16均固定设置在该加热台侧壁11上，该右侧转动轴12和该前侧转动轴18均通过轴承固定在该加热台侧壁11上，该轴承采用了锁紧螺母定位法、隔套定位法或阶梯轴套定位法，能够有效防止该右侧转动轴12和该前侧转动轴18在轴承内轴向移动，进而便于将旋涂物件对准圆心固定。

该右侧转动轴12和该前侧转动轴18两端分别设置有旋转方向相反的丝牙，该右侧转动轴12和该前侧转动轴18在不同转向的丝牙上均嵌套有一个花键21，该花键21与丝牙啮合。该左侧轴17和该后侧轴16上各嵌套有两个圆管，该圆管内径与该左侧轴17和该后侧轴16外径相同，该圆管能够在该左侧轴17和该后侧轴16上滑动。

该左侧轴17和该右侧转动轴12上相同侧的圆管和花键21通过第一夹持杆连接，该前侧转动轴18和该后侧轴16上相同侧的花键21和圆管通过第二夹持杆连接。该夹持杆具有一定韧性能够牢固固定旋涂物体。

该右侧转动轴12和该前侧转动轴18的一端面均固定设置有六角螺头19，该六角螺头19能够通过扳手或内六角扳手转动，进而带动该右侧转动轴12和该前侧转动轴18转动，使花键21同时向内靠拢或远离，以实现夹紧旋涂物体或松解旋涂物体。

每个该六角螺头19旁均设置有锁定件，该锁定件包括固定杆和锁定片20，该锁定片20设置在该固定杆上，两个该固定杆各自平行于该右侧转动轴12和该前侧转动轴18固定设置在该加热台侧壁11上。两个该固定杆上分别铰接有锁定片20，该锁定片20上设置有与该六角螺头19啮合的六角口。当旋涂物体夹紧后，转动锁定片20使六角口卡在该六角螺头19上，以实现六角螺头19锁定，进而实现旋涂物体持续夹紧。

根据图5所示，该传动部包括传动管23、大齿轮24、小齿轮25和直流电机26，该传动管23设置在该大齿轮24上，该小齿轮25设置在该直流电机26上，该小齿轮25与该大齿轮24啮合。

该大齿轮24中心设置有第六贯穿孔，该第六贯穿孔用于***电路管28和气体管道。该传动管23上端穿过该第一贯穿孔与该加热台底板29连接，该传动管23下端固定设置在该大齿轮24上。该直流电机26能够通过小齿轮25带动大齿轮24旋转，大齿轮24借助传动管23带动加热台在推力球轴承22上旋转

如上所述，可较好地实现本实用新型，对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下对这些实施例进行变化、修改、替换、整合和变型仍落入本实用新型的保护范围内。本实用新型中未进行特殊说明或限定的部分，均采用现有技术。

Claims (10)

1.一种匀胶机加热装置，其特征在于，包括：

壳体(1)，所述壳体(1)内设置有承重板(3)；

加热固定部，所述加热固定部设置在所述壳体(1)内，所述加热固定部包括推力球轴承(22)、加热台和固定部，所述推力球轴承(22)设置在所述承重板(3)上，所述加热台设置在所述推力球轴承(22)上，所述固定部设置在所述加热台上；

传动部，所述传动部设置在所述壳体(1)内，所述传动部设置在所述加热固定部下侧，所述传动部包括传动管(23)和直流电机(26)，所述传动管(23)设置在所述直流电机(26)上。

2.根据权利要求1所述的匀胶机加热装置，其特征在于，所述壳体(1)呈桶状，所述壳体(1)下端面封闭，上端面设置有密封盖(14)，所述密封盖(14)由透明材质构成。

3.根据权利要求2所述的匀胶机加热装置，其特征在于，所述壳体(1)下端设置有惰性气体注入口(13)，所述密封盖(14)上设置有惰性气体排出口(15)，所述惰性气体注入口(13)在所述壳体(1)内通过气体管道***所述传动部内。

4.根据权利要求1或2所述的匀胶机加热装置，其特征在于，所述加热台包括加热台侧壁(11)、加热台底板(29)、加热丝(30)、隔热陶瓷片(31)、加热片(34)、电路管(28)和电源(27)，所述加热台底板(29)设置在所述推力球轴承(22)上，所述加热台侧壁(11)和所述隔热陶瓷片(31)设置在所述加热台底板(29)上，所述加热丝(30)设置在所述隔热陶瓷片(31)上，所述加热片(34)设置在所述加热台侧壁(11)上，所述电源(27)设置在所述传动部下侧，所述电路管(28)穿过所述传动部分别与所述电源(27)和所述加热丝(30)连接；所述加热台底板(29)和所述隔热陶瓷片(31)中心分别设置有第三贯穿孔和第四贯穿孔。

5.根据权利要求4所述的匀胶机加热装置，其特征在于，所述隔热陶瓷片(31)上设置有沟槽，所述加热丝(30)设置在所述沟槽内；所述加热丝(30)两端穿过所述隔热陶瓷片(31)和所述加热台底板(29)，所述加热丝(30)两端均设置有电刷(32)，所述电路管(28)内设置有电路线，所述电路线下端与电源(27)的正负极连接，所述电路线上端设置有铜环(33)；所述加热片(34)水平设置在所述加热丝(30)上方的所述加热台侧壁(11)内，所述加热丝(30)和所述加热片(34)之间的所述加热台侧壁(11)上设置有第五贯穿孔。

6.根据权利要求4所述的匀胶机加热装置，其特征在于，所述加热台侧壁(11)上端设置有固定部，所述固定部包括左侧轴(17)、右侧转动轴(12)、前侧转动轴(18)和后侧轴(16)，所述左侧轴(17)和所述右侧转动轴(12)相互平行设置在所述加热台侧壁(11)的左侧和右侧，所述前侧转动轴(18)和所述后侧轴(16)相互平行设置在所述加热台侧壁(11)的前侧和后侧；所述左侧轴(17)和所述后侧轴(16)均固定设置在所述加热台侧壁(11)上，所述右侧转动轴(12)和所述前侧转动轴(18)均通过轴承固定在所述加热台侧壁(11)上。

7.根据权利要求6所述的匀胶机加热装置，其特征在于，所述右侧转动轴(12)和所述前侧转动轴(18)两端分别设置有旋转方向相反的丝牙，所述右侧转动轴(12)和所述前侧转动轴(18)在不同转向的丝牙上均嵌套有花键(21)，所述花键(21)与丝牙啮合；所述左侧轴(17)和所述后侧轴(16)上各嵌套有两个圆管，所述圆管内径与所述左侧轴(17)和所述后侧轴(16)外径相同。

8.根据权利要求7所述的匀胶机加热装置，其特征在于，所述左侧轴(17)和所述右侧转动轴(12)上相同侧的所述圆管和所述花键(21)通过第一夹持杆连接，所述前侧转动轴(18)和所述后侧轴(16)上相同侧的所述花键(21)和所述圆管通过第二夹持杆连接；所述右侧转动轴(12)和所述前侧转动轴(18)的一端面均固定设置有六角螺头(19)。

9.根据权利要求8所述的匀胶机加热装置，其特征在于，每个所述六角螺头(19)旁均设置有锁定件，所述锁定件包括固定杆和锁定片(20)，所述锁定片(20)设置在所述固定杆上，两个所述固定杆各自平行于所述右侧转动轴(12)和所述前侧转动轴(18)固定设置在所述加热台侧壁(11)上；两个所述固定杆上分别铰接有一个锁定片(20)，所述锁定片(20)上设置有与所述六角螺头(19)啮合的六角口。

10.根据权利要求1或2所述的匀胶机加热装置，其特征在于，所述传动部还包括大齿轮(24)和小齿轮(25)，所述大齿轮(24)上与所述传动管(23)连接，所述小齿轮(25)设置在所述直流电机(26)上，所述小齿轮(25)与所述大齿轮(24)啮合；所述大齿轮(24)中心设置有第六贯穿孔。

Images