CN209923427U - 一种梅花石墨舟片卡点更换用工装 - Google Patents
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 65
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 65
- 239000010439 graphite Substances 0.000 title claims abstract description 65
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 53
- 239000004795 extruded polystyrene foam Substances 0.000 claims description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型提供一种梅花石墨舟片卡点更换用工装，包括连接架和卡点对正条；所述连接架中部设有传动装置，且传动装置由传动齿轮、主动齿轮和防滑销杆组成；所述卡点对正条由横向调节条、卸点器和装点器组成。传动齿轮和主动齿轮的齿轮比为3∶1，使操作人员可以精确的控制动力杆的下压长度以及压力来完成卡点的装卸操作，解决现有石墨舟卡点更换时控制压机安装卡点的力度不易掌握的问题，该装置通过控制转盘控制动力杆的上下运动实现两组卡点同时装卸操作，该操作方式简单便捷，该装置的工作效率比现有更换方式的工作效率加快了六倍，解决现有石墨舟卡点更换工艺繁琐麻烦的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于石墨舟片卡点更换技术领域，更具体地说，特别涉及一种梅花石墨舟片卡点更换用工装。
背景技术
硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片***等离子体增强化学气相沉积法真空镀膜设备的载片器上，目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片***石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在等离子体增强化学气相沉积法真空镀膜设备中，采用等离子体增强化学气相沉积法工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点，由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损，需要定期对卡点进行更换，以便保证石墨舟的良好状态，进而保证硅片的镀膜质量。
如申请号为：CN201811068745.6的专利中，公开了一种自动化石墨舟卡点更换机模具，由于本发明自动化石墨舟卡点更换机模具包括上模组件、中模组件以及下模组件，使用时将待更换卡点的石墨舟放置在中模组件上的石墨舟载台中，上模组件利用其上设置的上模卸点柱将旧卡点卸载下来，然后中模组件进行位移至装点位，同时下模组件也进行上升位移至装点位，装点器对石墨舟安装新的卡点，下模组件在装点过程中起到支撑定位作用，本发明自动化程度高，操作简便，工作效率高，更换质量高，不会对卡点造成损坏，产品合格率提高，缓解了操作人员的劳动强度，改善了工作空间和工作环境，应用前景广阔。
现有统的石墨舟卡点更换操作方法是：石墨舟卡点需要使用到一台简易手动压机，操作人员坐在压机面前将石墨舟片平放置于手动压机平台上面，然后依次将石墨舟的24个卡点用手动压机卸下，石墨舟卡点卸下之后操作人员将要更换新的卡点放置于对应卡孔上面，小心翼翼的用左手扶好右手往下转动压机，手使的力度要把握好，如果使用的力度太大会把石墨舟和卡点压坏，如果使用的力度太小就压不到位，压完一张石墨舟片的卡点后，继续下一张石墨舟片卡点的更换，一个石墨舟有27片组成，通常一天需要更换好几个这样的石墨舟卡点，人员操作复杂繁琐，常常因为来不及更换石墨舟卡点，而导致生产进度缓慢，一般情况下因为赶进度而损坏石墨舟片或卡点压不到位的情况非常多，导致硅片制作过程中损坏或脱落情况，影响产品质量。
于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种梅花石墨舟片卡点更换用工装，以期达到更具有更加实用价值性的目的。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种梅花石墨舟片卡点更换用工装，以解决现有石墨舟卡点更换工艺繁琐麻烦、控制压机安装卡点时力度不易掌握的问题。
本实用新型梅花石墨舟片卡点更换用工装的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
一种梅花石墨舟片卡点更换用工装，包括舟片放置托，舟片推板，传动筒，连接架，拉簧，固定外壳，动力杆，卡点对正条，控制转盘和垫板；所述舟片推板过盈插接在舟片放置托内的插槽内；所述传动筒活动连接在舟片放置托中部的圆形孔洞内；所述连接架底端横杆固定连接在舟片放置托底面的中部；所述连接架中部设有传动装置，且传动装置由传动齿轮、主动齿轮和防滑销杆组成；所述传动齿轮通过销杆活动连接在传动装置的一侧；所述主动齿轮通过防滑销杆活动连接在传动装置内传动齿轮的下方，且传动齿轮和主动齿轮的轮齿相互咬合；所述拉簧一端固定连接在连接架顶部横杆的端部底面，且拉簧另一端固定连接在动力杆的竖杆顶部；所述固定外壳螺丝拧接在连接架中部传动装置的外侧；所述动力杆由平板和竖杆组成，且竖杆固定连接在平板顶面的中部；所述卡点对正条由横向调节条、卸点器和装点器组成，且卸点器和装点器插接在横向调节条的滑槽内；所述控制转盘过盈插接在防滑销杆的一端；所述垫板放置于舟片放置托中部的凹槽内。
进一步的，所述动力杆的竖杆侧面设有轮齿，且轮齿与传动齿轮的轮齿相互咬合，所述传动齿轮和主动齿轮的齿轮比为3∶1。
进一步的，所述卸点器为上粗下细的圆锥形状，所述装点器为上细下粗的圆台形状。
进一步的，所述舟片推板底部设有轮齿条，且轮齿条的轮齿与传动筒中部齿轮的轮齿相互咬合。
进一步的，所述防滑销杆与主动齿轮和控制转盘的插接部位为方形杆设计。
进一步的，所述卡点对正条的横向调节条中部设有倒“凸”形滑槽，所述动力杆的平板的两侧设有条形滑槽。
进一步的，所述垫板选用挤塑聚苯乙烯泡沫塑料。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
首先，传动齿轮和主动齿轮的齿轮比为3∶1，使操作人员可以精确的控制动力杆的下压长度以及压力来完成卡点的装卸操作，垫板选用挤塑聚苯乙烯泡沫塑料，该材质较为柔软且具有一定的硬度，在卡点装卸的操作过程时保护了石墨舟片减少了石墨舟片意外损坏的情况发生，提高了该装置操控的精确性和对石墨舟片的保护性，解决现有石墨舟卡点更换时控制压机安装卡点的力度不易掌握的问题。
其次，该装置的卡点对正条可同时进行两组卡点的装卸操作，可根据卡点的位置通过横向调节条的倒“凸”形凹槽控制各个装点器和卸点器的间距，并通过平板的条形滑槽调节两组卡点之间的间距来对正底部的石墨舟片的卡点位置，通过控制转盘控制动力杆的上下运动实现两组卡点同时装卸操作，可通过传动筒控制舟片推板在两组卡点更换完成后将内部的石墨舟片继续往右推动至合适位置继续进行剩余卡点的更换，该操作方式简单便捷，且相较于原先单个卡点逐一更换的方式，该装置的工作效率比现有更换方式的工作效率加快了六倍，该设计解决了解决现有石墨舟卡点更换工艺繁琐麻烦的问题，提高了工作效率。
再者，防滑销杆与主动齿轮和控制转盘的插接部位为方形杆，该设计使得通过控制转盘控制防滑销杆带动主动齿轮转动时，主动齿轮不会因发生滑脱空转现象而造成的卡点装卸压力不够或者对石墨舟片造成损坏，提高了该装置的稳定性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型传动装置的结构示意图。
图3是本实用新型动力杆和卡点对正条的结构示意图。
图4是本实用新型舟片放置托的结构示意图。
图5是本实用新型传动筒和防滑销杆的结构示意图。
图6是本实用新型A部位的放大结构示意图。
图7是本实用新型B部位的放大结构示意图。
图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
1、舟片放置托；2、舟片推板；3、传动筒；4、连接架；5、拉簧；6、固定外壳；7、动力杆；8、卡点对正条；9、控制转盘；10、垫板；401、传动齿轮；402、主动齿轮；403、防滑销杆；701、平板；702、竖杆；801、横向调节条；802、卸点器；803、装点器；
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例：
如附图1至附图7所示：
本实用新型提供一种梅花石墨舟片卡点更换用工装，包括舟片放置托1，舟片推板2，传动筒3，连接架4，拉簧5，固定外壳6，动力杆7，卡点对正条8，控制转盘9和垫板10；所述舟片推板2过盈插接在舟片放置托1内的插槽内；所述传动筒3活动连接在舟片放置托1中部的圆形孔洞内；所述连接架4底端横杆固定连接在舟片放置托1底面的中部；所述连接架4中部设有传动装置，且传动装置由传动齿轮401、主动齿轮402和防滑销杆403组成；所述传动齿轮401通过销杆活动连接在传动装置的一侧；所述主动齿轮402通过防滑销杆403活动连接在传动装置内传动齿轮401的下方，且传动齿轮401和主动齿轮402的轮齿相互咬合；所述拉簧5一端固定连接在连接架4顶部横杆的端部底面，且拉簧5另一端固定连接在动力杆7的竖杆702顶部；所述固定外壳6螺丝拧接在连接架4中部传动装置的外侧；所述动力杆7由平板701和竖杆702组成，且竖杆702固定连接在平板701顶面的中部；所述卡点对正条8由横向调节条801、卸点器802和装点器803组成，且卸点器802和装点器803插接在横向调节条801的滑槽内；所述控制转盘9过盈插接在防滑销杆403的一端；所述垫板10放置于舟片放置托1中部的凹槽内。
其中，所述动力杆7的竖杆702侧面设有轮齿，且轮齿与传动齿轮401的轮齿相互咬合，所述传动齿轮401和主动齿轮402的齿轮比为3∶1，如附图6所示，操作人员可以精确的控制动力杆7的下压长度以及压力来完成卡点的装卸操作，提高了该装置的操控性。
其中，所述卸点器802为上粗下细的圆锥形状，所述装点器803为上细下粗的圆台形状，如附图3所示，该设计使得卸点器802可以对不同孔径内的卡点进行拆除，装点器803可以对不同口径的卡点挤压固定安装且不会损坏石墨舟片，提高了该装置的适应性。
其中，所述舟片推板2底部设有轮齿条，且轮齿条的轮齿与传动筒3中部齿轮的轮齿相互咬合，如附图7所示，在一组卡点装卸完成后，只需转动传动筒3即可操控舟片推板2将石墨舟片继续内推达到指定装卸位置，免除了人为的搬运，提高了使用该装置移动石墨舟片的便捷性。
其中，所述防滑销杆403与主动齿轮402和控制转盘9的插接部位为方形杆设计，如附图5所示，该设计使得主动齿轮402不会因发生滑脱空转现象，提高了该装置的稳定性。
其中，所述卡点对正条8的横向调节条801中部设有倒“凸”形滑槽，所述动力杆7的平板701的两侧设有条形滑槽，如附图3所示，横向调节条801、卸点器802和装点器803可通过选择合适的固定位置来满足对不同间距的卡点的拆卸安装，提高了该装置的实用性。
其中，所述垫板10选用挤塑聚苯乙烯泡沫塑料，该材质具有一定硬度，拆卸的卡点会嵌入垫板10内部不会崩脱，且垫板10对舟片推板2内部的石墨舟片也起到了支撑作用，保护了石墨舟片不会损坏。
本实施例的具体使用方式与作用：
本实用新型中，将石墨舟片放在舟片推板2的一侧并位于舟片放置托1的上部，根据该页石墨舟片卡点的位置调节卸点器802和装点器803与横向调节条801内倒“凸”形凹槽的固定位置，在根据两卡点组之间的间距调节横向调节条801与平板701条形滑槽的固定位置，对正完成后，转动传动筒3使舟片推板2推动石墨舟片移动至动力杆7的下方并将卡点对正，转动控制转盘9，在防滑销杆403、主动齿轮402和传动齿轮401的共同作用下，竖杆702带动平板701下移，则下方的卸点器802对下方的卡点进行拆除，拆除完成后，竖杆702在拉簧5的作用下复位，再次转动传动筒3使石墨舟片再次向内移动至卸点器802的下方，则此时装点器803下方对应已拆除完成的卡点孔，将新卡点放在卡点孔上，转动控制转盘9，则左侧的卸点器802对下方卡点拆除，右侧的装点器803对下方新卡点进行安装，操作完成后竖杆702在拉簧5的作用下复位，重复上述步骤可对整页石墨舟片进行卡点拆卸和更换。
本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
Claims (7)
1.一种梅花石墨舟片卡点更换用工装，其特征在于：该梅花石墨舟片卡点更换用工装包括舟片放置托(1)，舟片推板(2)，传动筒(3)，连接架(4)，拉簧(5)，固定外壳(6)，动力杆(7)，卡点对正条(8)，控制转盘(9)和垫板(10)；所述舟片推板(2)过盈插接在舟片放置托(1)内的插槽内；所述传动筒(3)活动连接在舟片放置托(1)中部的圆形孔洞内；所述连接架(4)底端横杆固定连接在舟片放置托(1)底面的中部；所述连接架(4)中部设有传动装置，且传动装置由传动齿轮(401)、主动齿轮(402)和防滑销杆(403)组成；所述传动齿轮(401)通过销杆活动连接在传动装置的一侧；所述主动齿轮(402)通过防滑销杆(403)活动连接在传动装置内传动齿轮(401)的下方，且传动齿轮(401)和主动齿轮(402)的轮齿相互咬合；所述拉簧(5)一端固定连接在连接架(4)顶部横杆的端部底面，且拉簧(5)另一端固定连接在动力杆(7)的竖杆(702)顶部；所述固定外壳(6)螺丝拧接在连接架(4)中部传动装置的外侧；所述动力杆(7)由平板(701)和竖杆(702)组成，且竖杆(702)固定连接在平板(701)顶面的中部；所述卡点对正条(8)由横向调节条(801)、卸点器(802)和装点器(803)组成，且卸点器(802)和装点器(803)插接在横向调节条(801)的滑槽内；所述控制转盘(9)过盈插接在防滑销杆(403)的一端；所述垫板(10)放置于舟片放置托(1)中部的凹槽内。
2.如权利要求1所述梅花石墨舟片卡点更换用工装，其特征在于：所述动力杆(7)的竖杆(702)侧面设有轮齿，且轮齿与传动齿轮(401)的轮齿相互咬合，所述传动齿轮(401)和主动齿轮(402)的齿轮比为3∶1。
3.如权利要求1所述梅花石墨舟片卡点更换用工装，其特征在于：所述卸点器(802)为上粗下细的圆锥形状，所述装点器(803)为上细下粗的圆台形状。
4.如权利要求1所述梅花石墨舟片卡点更换用工装，其特征在于：所述舟片推板(2)底部设有轮齿条，且轮齿条的轮齿与传动筒(3)中部齿轮的轮齿相互咬合。
5.如权利要求1所述梅花石墨舟片卡点更换用工装，其特征在于：所述防滑销杆(403)与主动齿轮(402)和控制转盘(9)的插接部位为方形杆设计。
6.如权利要求1所述梅花石墨舟片卡点更换用工装，其特征在于：所述卡点对正条(8)的横向调节条(801)中部设有倒“凸”形滑槽，所述动力杆(7)的平板(701)的两侧设有条形滑槽。
7.如权利要求1所述梅花石墨舟片卡点更换用工装，其特征在于：所述垫板(10)选用挤塑聚苯乙烯泡沫塑料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920720671.3U CN209923427U (zh) | 2019-05-20 | 2019-05-20 | 一种梅花石墨舟片卡点更换用工装 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920720671.3U CN209923427U (zh) | 2019-05-20 | 2019-05-20 | 一种梅花石墨舟片卡点更换用工装 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209923427U true CN209923427U (zh) | 2020-01-10 |
Family
ID=69091451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920720671.3U Expired - Fee Related CN209923427U (zh) | 2019-05-20 | 2019-05-20 | 一种梅花石墨舟片卡点更换用工装 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209923427U (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113061874A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-07-02 | 湖南华鑫晶造电气科技有限公司 | 一种石墨舟卡点自动装卸装置 |
-
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113061874A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-07-02 | 湖南华鑫晶造电气科技有限公司 | 一种石墨舟卡点自动装卸装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200110 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |