CN209740728U - 废硅泥再利用的处理设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种废硅泥再利用的处理设备，主要设有供盛装废硅泥的载料盘，该载料盘置入于清洗装置内，将废硅泥进行清洗，该清洗装置依序设有一超音波清洗槽、一磁选反应槽、一第一清洗槽、一酸洗槽及一第二清洗槽，该磁选反应槽上设有一分散剂注入器，该酸洗槽上设有一酸剂注入器，一混合装置接续于该清洗装置，该混合装置上设有另一分散剂注入器，该混合装置设有一气氛泵，该混合装置由一喷料管连接至一高温反应室，该高温反应室由一输送管连接至一旋风集尘器，该旋风集尘器下方设有集料盘，该集料盘由一输送装置连接至一粒径分级装置，如此，经由该处理设备将废硅泥制成高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材，可使废硅泥资源化再利用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种废硅泥再利用的处理设备，特别是指一种利用该处理设备可将废硅泥制成高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材。
背景技术
废硅泥来源为半导体或太阳能晶圆厂经切割或研磨制程产生，此类废硅泥一般不含切削油及碳化硅，其含液量大于80％，业界有许多回收处理废硅泥的方法，例如将硅泥干燥形成低纯度的硅粉、添加粘结剂，均匀混合后再压制成硅碇或是高温熔融后形成硅块；本实用新型的设备提供一种新的回收技术，所提纯的二氧化硅粉体可应用于工业填充材。
实用新型内容
本实用新型的目的，是在提供一种废硅泥再利用的处理设备，可将废硅泥再生为高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材使用。
本实用新型提供一种废硅泥再利用的处理设备，主要设有供盛装废硅泥的载料盘，该载料盘置入于清洗装置内，该清洗装置依序设有一超音波清洗槽、一磁选反应槽、一第一清洗槽、一酸洗槽及一第二清洗槽，该磁选反应槽上设有一分散剂注入器，该酸洗槽上设有一酸剂注入器，一混合装置接续于该清洗装置，该混合装置上设有另一分散剂注入器，该混合装置设有一气氛泵，该混合装置由一喷料管连接至一高温反应室，该高温反应室由一输送管连接至一旋风集尘器，该旋风集尘器下方设有集料盘，该集料盘由一输送装置连接至一粒径分级装置。
本实用新型废硅泥再利用的处理设备，其中，该高温反应室内的气体为氧气或空气。
本实用新型废硅泥再利用的处理设备，其优点在于：可简单且快速的将废硅泥再生为高纯度二氧化硅粉体，可广泛运用于工业填充材使用，使废硅泥达到最佳的资源化再利用。
附图说明
图1所示是本实用新型实施例清洗设备的示意图。
图2所示是本实用新型实施例混合装置、高温反应室、旋风集尘器及粒径分级装置的示意图。
图3所示是本实用新型实施例的制作流程图。
附图标记说明：A废硅泥；A1泥浆；A2二氧化硅颗粒；A3二氧化硅粉粒；A4高纯度二氧化硅粉体；10载料盘；2清洗装置；20超音波清洗槽；21磁选反应槽；210分散剂注入器；22第一清洗槽；23酸洗槽；230酸剂注入器；24第二清洗槽；3混合装置；30分散剂注入器；31气氛泵；32喷料管；4高温反应室；40输送管；5旋风集尘器；6集料盘；7输送装置；8粒径分级装置。
具体实施方式
有关本实用新型为达上述的使用目的与功效，所采用的技术手段，兹举出较佳可行的实施例，并配合图式所示，详述如下：
本实用新型的实施例，请参阅图1、图2所示，主要设有供盛装废硅泥A的载料盘10，该载料盘10置入于清洗装置2内，该清洗装置2依序设有一超音波清洗槽20、一磁选反应槽21、一第一清洗槽22、一酸洗槽23及一第二清洗槽24，该磁选反应槽21上设有一分散剂注入器210，该酸洗槽23上设有一酸剂注入器230，一混合装置3接续于该清洗装置2，该混合装置3上设有另一分散剂注入器30，该混合装置3设有一气氛泵31，该混合装置3由一喷料管32连接至一高温反应室4，该高温反应室4由一输送管40连接至一旋风集尘器5，该旋风集尘器5下方设有集料盘6，该集料盘6由一输送装置7连接至一粒径分级装置8，如此，即为一废硅泥再利用的处理设备。
废硅泥来源是半导体或太阳能晶圆厂经切割或研磨制程所产生，其中的硅含量为90％以上，本实用新型的废硅泥再利用设备的处理方法，请参阅图1～图3所示，其方法如下：
(1)将废硅泥A置于载料盘10批次置入超音波清洗槽20内进行超音波清洗，其清洗条件为50～200KHz，清洗时间为5～15分钟；其后将其取出置于磁选反应槽21内进行磁选，磁选时间为5～15分钟，该磁选反应槽21内于磁选前由分散剂注入器210加入3～20％的分散剂，该分散剂为醇类，该醇类是甲醇、乙醇、乙二醇、二乙二醇、聚乙二醇、异丙醇其中之一或混合物；其后再将其取出置于第一清洗槽22内以去离子水进行清洗，清洗时间为5～15分钟，清洗后再将其取出置于酸洗槽23内进行酸洗，酸洗时间为5～15分钟，该酸剂为无机酸，是25％的纯盐酸、10％的纯硫酸、20％的纯硝酸、10％的纯磷酸、35％的去离子水的混合物；其后将其取出置于第二清洗槽24内再以去离子水进行清洗，清洗时间为15～30分钟；
(2)将得自(1)的废硅泥A置入于混合装置3中以固液比1：5～50的比例与去离子水混合调成泥浆A1，并由分散剂注入器30加入一醇类作为分散剂进行分散，例如：甲醇、乙醇、乙二醇、二乙二醇、聚乙二醇、异丙醇其中之一或混合物，分散时间是30分钟以上；
(3)将得自(2)的泥浆A1凭借气氛泵31以高压由喷料管32喷入一高温反应室4内，该高温反应室4是可控制气氛的气氛炉，该气氛炉内的气体可为氧气或空气，该气体的温度为1200℃～1800℃，在该高温反应室4内，该泥浆A1经氧化反应形成二氧化硅颗粒A2；
(4)将得自(3)的二氧化硅颗粒A2经输送管40进入旋风集尘器5内，可得高纯度微米级的二氧化硅粉粒A3，并由集料盘6收集；
(5)将得自(4)的二氧化硅粉粒A3经输送装置7进入粒径分级装置8内进行粒径分级，可得粒度均匀且大于99％的高纯度二氧化硅粉体A4；
如此，该高纯度二氧化硅粉体A4可广泛运用于工业填充材，可使废硅泥资源化再利用。
以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种废硅泥再利用的处理设备，其特征在于：主要设有供盛装废硅泥的载料盘，该载料盘置入于清洗装置内，该清洗装置依序设有一超音波清洗槽、一磁选反应槽、一第一清洗槽、一酸洗槽及一第二清洗槽，该磁选反应槽上设有一分散剂注入器，该酸洗槽上设有一酸剂注入器，一混合装置接续于该清洗装置，该混合装置上设有另一分散剂注入器，该混合装置设有一气氛泵，该混合装置由一喷料管连接至一高温反应室，该高温反应室由一输送管连接至一旋风集尘器，该旋风集尘器下方设有集料盘，该集料盘由一输送装置连接至一粒径分级装置。
2.根据权利要求1所述废硅泥再利用的处理设备，其特征在于，该高温反应室内的气体为氧气或空气。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920042227.0U CN209740728U (zh) | 2019-01-10 | 2019-01-10 | 废硅泥再利用的处理设备 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201920042227.0U CN209740728U (zh) | 2019-01-10 | 2019-01-10 | 废硅泥再利用的处理设备 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN209740728U true CN209740728U (zh) | 2019-12-06 |
Family
ID=68705457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201920042227.0U Active CN209740728U (zh) | 2019-01-10 | 2019-01-10 | 废硅泥再利用的处理设备 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN209740728U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110002450A (zh) * | 2019-01-11 | 2019-07-12 | 成亚资源科技股份有限公司 | 废硅泥再利用的处理方法 |
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2019
- 2019-01-10 CN CN201920042227.0U patent/CN209740728U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110002450A (zh) * | 2019-01-11 | 2019-07-12 | 成亚资源科技股份有限公司 | 废硅泥再利用的处理方法 |
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