CN209541649U - 一种圆筒靶材用检测工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于靶材检测设备技术领域，公开了一种圆筒靶材用检测工装，包括基座，所述基座为内空结构，其内部固定安装有第一动力***和第一传动***，所述第一动力***为电动机，所述第一传动***包括与电动机输出轴连接的减速机，所述减速机通过链轮连接有一个竖直设置的旋转柱，所述旋转柱延伸出基座，并作为旋转轴心，所述旋转柱上水平放置有旋转平台，所述旋转平台上还设置有夹紧装置；所述基座上还固定安装有检测装置。本实用新型结构简单，使用方便，填补了圆筒靶材检测工装方面的技术空白，既能够保证检测过程中很好地固定圆筒靶材，而且还能同时检测圆筒靶材的平行度和平面度。

Description

一种圆筒靶材用检测工装

技术领域

本实用新型涉及靶材检测设备技术领域，尤其涉及一种圆筒靶材用检测工装。

背景技术

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，按制作工艺划分，靶材有电弧靶材、溅射靶材、蒸镀靶材等。靶材需要进行机械加工，使其平面度、平行度及表面质量达到半导体产品生产的要求。相关技术中，在对尺寸较大且较薄的靶材进行加工时及容易出现变形和振动，造成靶材平面度、平行度及表面质量较差，影响后续半导体产品的生产。因此，靶材在生产的过程中一般都需要经过检测的工序，靶材检测前需要把靶材固定，以方便检测。

但是，现有技术中的靶材固定装置固定效果不好，且固定过程繁琐，因此在固定过程中，需要花费大量的时间。另一方面，靶材形状多种多样，而目前尚未见适用于圆筒靶材的检测工装的相关报道，尤其是用于同时检测圆筒靶材的平行度和平面度的装置。

发明内容

针对现有技术中圆筒靶材检测工装存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种圆筒靶材用检测工装。该检测工装填补了圆筒靶材检测工装方面的技术空白，既能够保证检测过程中很好地固定圆筒靶材，而且还能同时检测圆筒靶材的平行度和平面度。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现：

一种圆筒靶材用检测工装，包括基座，所述基座为内空结构，其内部固定安装有第一动力***和第一传动***，所述第一动力***为电动机，所述第一传动***包括与电动机输出轴连接的减速机，所述减速机通过链轮连接有一个竖直设置的旋转柱，所述旋转柱延伸出基座，并作为旋转轴心，所述旋转柱上水平放置有旋转平台，所述旋转平台上还设置有夹紧装置，用于固定圆筒靶材；所述基座上还固定安装有检测装置，用于同时检测圆筒靶材的平面度和平行度。

优选地，所述旋转平台上开设有腔体，所述腔体内部安装有第二动力***和第二传动***，所述第二动力***为伺服电机，所述第二传动***包括依次连接的第一皮带轮、第二皮带轮和螺杆，所述螺杆与所述腔体的两侧内壁转动连接；

所述旋转平台的顶部开设有滑槽，所述滑槽远离开口的一侧内壁上开设有条孔，所述夹紧装置一端通过轴套套设于螺杆上，另一端穿过条孔置于滑槽中，可在第二传动***带动下沿滑槽自由移动。

进一步优选地，所述夹紧装置包括两个连接块，两个所述连接块一端分别通过轴套螺纹套设于螺杆上，另一端贯穿条孔并固定安装有滑块，所述滑块与滑槽的内壁滑动连接，两个所述滑块的顶部延伸至滑槽外并固定安装有承载板，所述承载板的顶部固定安装有夹块，两个夹块与圆筒靶材形状相适应。

进一步优选地，所述螺杆上开设有两段螺纹，且两段螺纹的旋向相反，所述螺杆上固定套设有四个限位块。

进一步优选地，所述滑块的底部嵌有多个呈矩形分布的滚珠，多个滚珠均与滑槽的内壁滚动连接。

本实用新型通过基座、腔体、伺服电机、第一皮带轮、圆形槽、螺杆、第二皮带轮、轴套、滑槽、条孔、连接块、滑块、承载板和夹块的相配合，使用时，将需要检测的靶材放置到两个夹块之间，开启伺服电机，伺服电机的输出轴转动时带动第一皮带轮转动，第一皮带轮转动时通过皮带带动第二皮带轮转动第二皮带轮转动时带动螺杆转动，螺杆转动时带动两个轴套移动，通过螺杆上开设两段螺纹，且两段螺纹的旋向相反的作用使得螺杆在转动时，两个轴套是做相互靠近的运动的，轴套移动时带动连接块移动，连接块移动时带动滑块在滑槽内滑动，滑块滑动时带动承载板移动，承载板带动两个夹块相互靠近，直至夹紧固定住靶材。

优选地，所述检测装置通过支架设置于可以检测到圆筒靶材的位置上，所述检测装置包括第一检测装置和第二检测装置，所述检测装置为千分表或百分表。

进一步优选地，所述支架呈倒“L”型，包括立柱和横杆，所述立柱为倒“L”型的竖向部分，所述横杆为倒“L”型的横向部分，所述支架通过立柱的一端固定于基座上，立柱另一端与横杆固定连接，所述横杆置于圆筒靶材上方，所述第一检测装置设置于立柱上，可沿立柱在竖直方向自由移动，所述第二检测装置设置于横杆上。

优选地，所述旋转平台底部还安装有呈同心圆分布的内外两圈环形支撑，用于支撑旋转平台，维持旋转平台在基座上的转动。

进一步优选地，所述内圈环形支撑为沿圆周均匀分布的滚珠组，所述滚珠组与基座表面为滚动摩擦。

进一步优选地，所述外圈环形支撑为沿圆周均匀分布的若干滚轮，所述滚轮滚动方向为旋转平台圆周的切线方向。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型结构简单、使用方便，可以快速的对待检测的靶材进行固定，操作十分容易，节约时间。

本实用新型通过旋转平台、检测装置和夹紧装置的相互配合，保证了检测过程中圆筒靶材的固定效果，还能有效准确地同时检测器平行度和平面度，填补了圆筒靶材检测工装方面的技术空白。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为图1中A部分的放大结构示意图；

图3为本实用新型的侧视剖视结构示意图。

其中，1-基座，100-圆筒靶材，2-电动机，3-减速机，4-旋转柱，5-旋转平台，6-腔体，7-伺服电机，8-第一皮带轮，9-第二皮带轮，10-螺杆，11-圆形槽，12-轴套，13-滑槽，14-条孔，15-连接块，16-滑块，17-承载板，18-夹块，19-第一检测装置，20-第二检测装置，21-支架，211-立柱，212-横杆，22-内圈环形支撑，23-外圈环形支撑。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下文将结合实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。

除非另有定义，下文中所使用的所有专业术语与本领域技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的专业术语只是为了描述具体实施例的目的，并不旨在限制本发明的保护范围。

为方便说明，以下列举本发明中所述的主要原料如下，除非特别说明了其制备方法，均为市购。

实施例1

如图1~3所示，本实用新型提供一种圆筒靶材用检测工装，包括基座1，基座1为内空结构，其内部固定有第一动力***和第一传动***，本实施例中的第一动力***优选为电动机2，其中本实施例的电动机2由电控***控制，电控采用无线遥控模式；第一传动***包括与电动机2输出轴连接的减速机3，减速机3通过链轮传动，并连接有一个竖直设置的旋转柱4，旋转柱4另一端延伸出基座1，并作为旋转轴心，旋转柱4上水平放置有旋转平台5，旋转平台5上还设置有夹紧装置和检测装置，分别用于固定圆筒靶材100和检测圆筒靶材100的平面度、平行度。

如图2所示，本实施例中旋转平台5上开设有腔体6，腔体6内部安装有第二动力***和第二传动***，本实施例中第二动力***优选为伺服电机7，伺服电机7固定安装于腔体6的底部内壁上，第二传动***包括依次连接的第一皮带轮8、第二皮带轮9和螺杆10，其中，伺服电机7的输出轴上固定安装有第一皮带轮8，腔体6的两侧内部上均开设有圆形槽11，两个圆形槽11内转动安装有同一个螺杆10，螺杆10上固定套设有第二皮带轮9，螺杆10上螺纹套设有两个轴套12，旋转平台5的顶部还开设有滑槽13，滑槽13远离开口的一侧内壁上开设有条孔14；本实施例中的夹紧装置，一端通过轴套12套设于螺杆10上，另一端穿过条孔14置于滑槽13中，可以在第二传动***带动下沿滑槽13自由移动。

本实施例的夹紧装置包括两个连接块15，两个连接块15一端分别通过轴套12螺纹套设与螺杆10上，另一端贯穿条孔14并固定安装有滑块16，滑块16与滑槽13的内壁滑动连接，两个滑块16的顶部延伸至滑槽13外并固定安装有承载板17，承载板17的顶部固定安装有夹块18。

如图3所示，第一皮带轮8和第二皮带轮9缠绕有同一根皮带，螺杆10上开设有两段螺纹，且两段螺纹的旋向相反，螺杆10上固定套设有四个限位块，两个夹块18相互靠近的一侧还可以固定安装有橡胶防滑垫，滑块16的底部嵌有多个呈矩形分布的滚珠，多个滚珠均与滑槽13的内壁滚动连接，圆形槽11内还可以设有轴承，轴承的内圈固定套设在螺杆10上，轴承的外圈与圆形槽11的内壁固定连接。

本实用新型的检测工装固定圆筒靶材的工作原理如下：

使用时，将需要检测的靶材放置到两个夹块之间，开启伺服电机，伺服电机的输出轴转动时带动第一皮带轮转动，第一皮带轮转动时通过皮带带动第二皮带轮转动第二皮带轮转动时带动螺杆转动，螺杆转动时带动两个轴套移动，通过螺杆上开设两段螺纹，且两段螺纹的旋向相反的作用使得螺杆在转动时，两个轴套是做相互靠近的运动的，轴套移动时带动连接块移动，连接块移动时带动滑块在滑槽内滑动，滑块滑动时带动承载板移动，承载板带动两个夹块相互靠近，直至夹紧固定住靶材。

本实施例的检测装置通过支架21设置于可以检测到圆筒靶材100的位置上，包括第一检测装置19和第二检测装置20，本实施例中的第一检测装置19和第二检测装置20为千分表或百分表，优选为精度更高的千分表；其中，支架21呈倒“L”型，包括立柱211和横杆212，立柱211为倒“L”型的竖向部分，横杆212为倒“L”型的横向部分，支架21通过立柱211的一端固定于基座1上，立柱211另一端与横杆212固定连接，横杆212置于圆筒靶材100上方，第一检测装置19设置于立柱211上，可沿立柱211在竖直方向自由移动，其探头与圆筒靶材100的侧壁接触，用于检测圆筒靶材100侧壁的平行度，第二检测装置20设置于横杆212上，第二检测装置20的探头与圆筒靶材100顶部接触，用于检测圆筒靶材100的平面度。

本实施例通过固定在基座1上的检测装置，对固定在旋转平台上的圆筒靶材进行检测，本实用新型结构简单，使用方便，可以快速的对待检测的靶材进行固定，操作十分容易，节约时间。

为了使旋转平台5更好地在基座1上转动，本实施例的检测工装在旋转平台5底部还安装有呈同心圆分布的内外两圈环形支撑，用于支撑旋转平台5并维持旋转平台5在基座1上转动；在本实施例中，内圈环形支撑22优选为沿圆周均匀分布的滚珠组，滚珠组与基座1表面为滚动摩擦，减少摩擦阻力，外圈环形支撑23优选为沿圆周均匀分布的若干滚轮，滚轮滚动方向为旋转平台5圆周切线方向，其中，本实施例中滚轮可以优选为万向轮结构，可以自由调整滚动方向。

本实施例中，基座1的顶部固定安装倒顺开关，倒顺开关的型号为KCD1-101，倒顺开关、伺服电机7与外部电源通过导线依次电性连接并构成闭合回路。

本实用新型提供的检测工装的工作过程如下：

S1.采用上述夹紧装置将圆筒靶材固定好；

S2.分别将第一检测装置和第二检测装置安装好，保证第一检测装置的探头与圆筒靶材侧壁接触，第二检测装置的探头与圆筒靶材顶部接触；

S3.按下遥控器启动电动机，电动机带动旋转平台旋转，旋转至某一点（随机选取），关闭电动机，停止旋转，分别记录此时第一检测装置和第二检测装置的读数；

S4.重复步骤S3的过程，分别记录第一检测装置和第二检测装置在圆筒靶材不同位置测得的读数；

S5.比较上述所有记录的读数，若在许可误差范围内，则说明圆筒靶材的平面度和平行度均满足要求；反之，则不满足。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种圆筒靶材用检测工装，包括基座，其特征在于，所述基座为内空结构，其内部固定安装有第一动力***和第一传动***，所述第一动力***为电动机，所述第一传动***包括与电动机输出轴连接的减速机，所述减速机通过链轮连接有一个竖直设置的旋转柱，所述旋转柱延伸出基座，并作为旋转轴心，所述旋转柱上水平放置有旋转平台，所述旋转平台上还设置有夹紧装置，用于固定圆筒靶材；所述基座上还固定安装有检测装置，用于同时检测圆筒靶材的平面度和平行度。

2.根据权利要求1所述圆筒靶材用检测工装，其特征在于，所述旋转平台上开设有腔体，所述腔体内部安装有第二动力***和第二传动***，所述第二动力***为伺服电机，所述第二传动***包括依次连接的第一皮带轮、第二皮带轮和螺杆，所述螺杆与所述腔体的两侧内壁转动连接；

所述旋转平台的顶部开设有滑槽，所述滑槽远离开口的一侧内壁上开设有条孔，所述夹紧装置一端通过轴套套设于螺杆上，另一端穿过条孔置于滑槽中，可在第二传动***带动下沿滑槽自由移动。

3.根据权利要求2所述圆筒靶材用检测工装，其特征在于，所述夹紧装置包括两个连接块，两个所述连接块一端分别通过轴套螺纹套设于螺杆上，另一端贯穿条孔并固定安装有滑块，所述滑块与滑槽的内壁滑动连接，两个所述滑块的顶部延伸至滑槽外并固定安装有承载板，所述承载板的顶部固定安装有夹块，两个夹块与圆筒靶向形状相适应。

4.根据权利要求3所述圆筒靶材用检测工装，其特征在于，所述螺杆上开设有两段螺纹，且两段螺纹的旋向相反，所述螺杆上固定套设有四个限位块。

5.根据权利要求4所述圆筒靶材用检测工装，其特征在于，所述滑块的底部嵌有多个呈矩形分布的滚珠，多个滚珠均与滑槽的内壁滚动连接。

6.根据权利要求1所述圆筒靶材用检测工装，其特征在于，所述检测装置通过支架设置于可以检测到圆筒靶材的位置上，所述检测装置包括第一检测装置和第二检测装置，所述检测装置为千分表或百分表。

7.根据权利要求6所述圆筒靶材用检测工装，其特征在于，所述支架呈倒“L”型，包括立柱和横杆，所述立柱为倒“L”型的竖向部分，所述横杆为倒“L”型的横向部分，所述支架通过立柱的一端固定于基座上，立柱另一端与横杆固定连接，所述横杆置于圆筒靶材上方，所述第一检测装置设置于立柱上，可沿立柱在竖直方向自由移动，所述第二检测装置设置于横杆上。

8.根据权利要求1所述圆筒靶材用检测工装，其特征在于，所述旋转平台底部还安装有呈同心圆分布的内外两圈环形支撑，用于支撑旋转平台，维持旋转平台在基座上的转动。

9.根据权利要求8所述圆筒靶材用检测工装，其特征在于，所述内圈环形支撑为沿圆周均匀分布的滚珠组，所述滚珠组与基座表面为滚动摩擦。

10.根据权利要求8所述圆筒靶材用检测工装，其特征在于，所述外圈环形支撑为沿圆周均匀分布的若干滚轮，所述滚轮滚动方向为旋转平台圆周的切线方向。