CN209381175U - 一种晶硅棒环形线锯切割机 - Google Patents

一种晶硅棒环形线锯切割机 Download PDF

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朱文志
李海威
黄田玉
林孝狮
梁兴华
陈绍森
林光展
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Abstract

本实用新型公开了一种晶硅棒环形线锯切割机,包括切割机驱动机构、两个线锯切割机构;所述线锯切割机构包括切割面板、导轮组件和环形金刚石线锯;两个切割面板的正面相对设置,且两个切割面板之间形成切割通道;所述切割机驱动机构与切割面板连接,用于驱动两个切割面板靠近或远离;所述切割面板开设有贯穿切割面板的正面至背面的边料窗口;切割面板的正面设置有边料收集挡板,所述边料收集挡板位于边料窗口的底部;所述导轮组件安装于切割面板的正面处,且导轮组件环绕设置于边料窗口周边;所述环形金刚石线锯布设于导轮组件的线槽中。本实用新型具有通用性高、可收集边料的优点。

Description

一种晶硅棒环形线锯切割机
技术领域
本实用新型涉及硬脆材料切割技术领域,尤其涉及一种晶硅棒环形线锯切割机。
背景技术
晶体硅为钢灰色,无定形硅为黑色,属于原子晶体,硬而有光泽,有半导体性质。硅的化学性质比较活泼,在高温下能与氧气等多种元素化合,不溶于水、硝酸和盐酸,溶于氢氟酸和碱液,用于造制合金如硅铁、硅钢等,单晶硅是一种重要的半导体材料,用于制造大功率晶体管、整流器、太阳能电池等。高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制成铸锭,再对铸锭开方、截断后形成各种形状规格的棒料,即晶硅棒。
公开号为CN107322823A的中国专利,公开了一种双驱动单晶硅棒双边切割机,该切割机用于晶硅块料棱边、棱条、棱线的切割加工,具有加工效率高、结构简单、能够单独运行一组或同时运行两组金刚石线锯进行切割的特点,但该切割机只能切割当前主流的截面尺寸为156mm×156mm规格的晶硅块料的棱边、棱条、棱线,其它尺寸规格的则无法切割,所以通用性较低。
实用新型内容
为此,需要提供一种晶硅棒环形线锯切割机,以解决现有技术中的切割机通用性低、切割下来的边料无法收集的问题。
为实现上述目的,发明人提供了一种晶硅棒环形线锯切割机,包括切割机驱动机构、两个线锯切割机构;
所述线锯切割机构包括切割面板、导轮组件和环形金刚石线锯;两个切割面板的正面相对设置,且两个切割面板之间形成切割通道;所述切割机驱动机构与切割面板连接,用于驱动两个切割面板靠近或远离;
所述切割面板开设有贯穿切割面板的正面至背面的边料窗口;切割面板的正面设置有边料收集挡板,所述边料收集挡板位于边料窗口的底部;
所述导轮组件安装于切割面板的正面处,且导轮组件环绕设置于边料窗口周边;所述环形金刚石线锯布设于导轮组件的线槽中。
进一步地,还包括切割架;所述切割架的顶面设置有滑条,所述切割面板的底部设置有贯穿切割面板的正面至背面的滑槽,所述滑槽与滑条相适配;两个切割面板通过滑槽和滑条与切割架滑动连接。
进一步地,所述导轮组件包括驱动轮机构、从动轮机构、张紧轮机构;
所述驱动轮机构包括驱动轮及导轮驱动机构;所述驱动轮与切割面板活动连接,所述导轮驱动机构与驱动轮传动连接,用于带动驱动轮旋转;
所述张紧轮机构包括张紧轮、连杆及张紧驱动机构;所述连杆的一端与张紧轮活动连接,连杆的另一端与张紧驱动机构传动连接;所述张紧驱动机构设置于切割面板处,用于驱动张紧轮拉紧环形金刚石线锯。
进一步地,所述驱动轮机构、从动轮机构、张紧轮机构均一一设置有喷淋机构。
进一步地,还包括机架,所述线锯切割机构设置于机架上。
进一步地,还包括机罩,所述线锯切割机构设置于机罩内,且所述机罩相对切割面板的背面处设置有罩门。
进一步地,还设置有控制***,所述控制***与切割机驱动机构连接,用于控制切割机驱动机构的开启或关闭。
区别于现有技术,上述技术方案所述的晶硅棒环形线锯切割机,包括切割机驱动机构、两个线锯切割机构;所述线锯切割机构包括切割面板、导轮组件和环形金刚石线锯;两个切割面板的正面相对设置,且两个切割面板之间形成切割通道;这样的设置使得晶硅棒被运输至切割通道内时,则可以同时被切割两个侧面,切割效率高。所述切割机驱动机构与切割面板连接,用于驱动两个切割面板靠近或远离,这样的设置使得切割通道的宽度可调节,在晶硅棒的宽度大于切割通道的宽度时,可以通过切割机驱动机构驱动两个切割面板远离,直至晶硅棒可以进入切割通道,又可以被切割;在晶硅棒的宽度过小,以至于金刚石线锯无法触碰到晶硅棒时,可以通过切割机驱动机构驱动两个切割面板靠近,直至所述切割面板的金刚石线锯可以切割到晶硅棒,这样的设置提高了通用性。开设有贯穿切割面板的正面至背面的边料窗口;所述导轮组件安装于切割面板的正面处,且导轮组件环绕设置于边料窗口周边;所述环形金刚石线锯布设于导轮组件的线槽中。切割面板的正面设置有边料收集挡板,所述边料收集挡板位于边料窗口的底部,这样的设置使得切割下来的边料可以掉落在收集挡板上,然后穿过边料窗口取出,便于收集和清理。
附图说明
图1为本实用新型一实施例涉及的晶硅棒环形线锯切割机的结构图;
图2为本实用新型另一实施例涉及的晶硅棒环形线锯切割机的结构图;
图3为本实用新型一实施例涉及的切割面板的结构图。
附图标记说明:
1、机架;
2、线锯切割装置;21、切割面板;22、驱动轮机构;23、从动轮机构;24、张紧轮机构;25、金刚石线锯;26、收集挡板;211、边料窗口;
3、机罩;
4、喷淋机构;
5、控制***;
6、电控箱;
7、切割架;71、切割面板安装板;72、切割减速机;73、切割面板驱动机构;
8、晶硅棒。
具体实施方式
为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果,以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
请参阅图1至图3,本新型提供了一种晶硅棒环形线锯切割机,用于切割晶硅棒,尤其可以用于切割不同尺寸的晶硅棒,另外,边料清理和收集更加便捷。
请参阅图1,在具体的实施例中,所述晶硅棒环形线锯切割机包括切割机驱动机构、两个线锯切割机构。所述线锯切割机构包括切割面板21、导轮组件和环形金刚石线锯25。两个切割面板21的正面相对设置,且两个切割面板21之间形成切割通道,这样的设置则实现了双边切割,可以同时切割晶硅棒的两个侧面,大大提高了切割的效率。所述切割机驱动机构与切割面板21连接,用于驱动两个切割面板21靠近或远离。在晶硅棒的宽度大于切割通道的宽度时,可以通过切割机驱动机构驱动两个切割面板21远离,直至晶硅棒可以进入切割通道,又可以被切割到;在晶硅棒的宽度过小,以至于金刚石线锯25无法触碰到晶硅棒时,可以通过切割机驱动机构驱动两个切割面板21靠近,直至所述切割面板21的金刚石线锯25可以切割到晶硅棒8。
所述切割面板驱动机构73设置有切割减速机72。
在进一步的实施例中,所述切割面板驱动机构73可以设置有一个,也可以设置有两个。当切割面板驱动机构73仅设置有一个时,所述切割面板驱动机构73可为转化为直线运动的机构,如直线电机、气缸或油缸,切割面板驱动机构73设置于两个切割面板之间,当切割面板驱动机构73伸长时,则可以驱动两个切割面板21相互远离,当切割面板驱动机构73缩短时,则可以驱动两个切割面板21相互靠近。当切割面板驱动机构73设置有两个时,一个切割面板驱动机构73与一个切割面板21连接,这样则可以一个切割面板驱动机构73控制一个切割面板21移动,两个切割面板21的独立性更强。
在具体的实施例中,所述切割面板21开设有贯穿切割面板21的正面至背面的边料窗口211;切割面板21的正面设置有边料收集挡板26,所述边料收集挡板26位于边料窗口211的底部;所述导轮组件安装于切割面板21的正面处,且导轮组件环绕设置于边料窗口211周边;所述环形金刚石线锯25布设于导轮组件的线槽中。当晶硅棒8在切割通道内移动时,晶硅棒8的侧面或棱边会被环形金刚石线锯25切割,被切割下来的边料会掉落至收集挡板26,用户可以穿过边料窗口211将收集挡板26上的边料取出。这样的设置使得边料不会掉落在切割通道内,在清理或者获取边料时,无需将两个切割面板21拆卸下来,大大降低了清理或收集的复杂程度。
在进一步的实施例中,所述线锯切割装置2还包括切割架7,两个切割面板21可活动地与切割架7连接。所述切割架7可设置于两个切割面板21的底部,即所述切割架7为支撑底座。
所述切割架7的顶面设置有滑条,所述切割面板21的底部设置有贯穿切割面板21的正面至背面的滑槽,或者所述切割面板21的底部设置有切割面板安装板71,所述切割面板安装板71设置滑槽,所述切割面板驱动机构73和减速机与切割面板安装板71连接。所述滑槽与滑条相适配;两个切割面板21通过滑槽和滑条与切割架7滑动连接。
在进一步的实施例中,所述线锯切割装置2的导轮组件包括驱动轮机构22、从动轮机构23、张紧轮机构24;所述驱动轮机构22包括驱动轮及导轮驱动机构;所述驱动轮与切割面板21活动连接,所述导轮驱动机构与驱动轮传动连接,用于带动驱动轮旋转;所述张紧轮机构24包括张紧轮、连杆及张紧驱动机构;所述连杆的一端与张紧轮活动连接,连杆的另一端与张紧驱动机构传动连接;所述张紧驱动机构设置于切割面板21处,用于驱动张紧轮拉紧环形金刚石线锯25。
在进一步的实施例中,所述张紧轮机构24可以为通过重锤提供切割张紧力,也可以通过伺服电机张紧。
请参阅图3,所述从动轮机构23为两个,驱动轮机构22、两个从动轮机构23及张紧轮机构24将环形金刚石线锯25支撑成四边形,其中,纵向的两边用于切割晶硅棒8。而线形线锯切割装置2的金刚石线锯25的一端与从动轮机构23固定连接,然后另一端依次绕过张紧轮机构24、驱动轮机构22,并固定于驱动轮处。
由于切割晶硅棒8会产生细屑,因此,在进一步的实施例中,所述驱动轮机构22、从动轮机构23、张紧轮机构24均一一设置有喷淋机构4。这样的设置则可以在切割完晶硅棒8后,对驱动轮机构22、从动轮机构23、张紧轮机构24进行清洗,保证驱动轮机构22、从动轮机构23、张紧轮机构24的干净,不影响下一次的切割。
在进一步的实施例中,还包括机架1,所述线锯切割机构设置于机架1上,所述机架1的顶部可以设置支撑件或支撑轮,这样的设置可以便于线锯切割机构的搬运或线锯切割机构底部杂质的清理。
请参阅图2,在进一步的实施例中,还包括机罩3,所述晶硅棒环形线锯切割机构设置于机罩3内,这样的设置可以保证设备运行过程中操作人员的安全,防止操作人员不慎触碰到金刚石线锯25而割伤,还能防止切割过程中晶硅棒8的边料溅出。所述机罩3相对切割面板21的背面处设置有罩门,这样的设置使得用户在需要拿取收集挡板26上的边料时,无需将整个机罩3拿开,只需要将罩门打开,即可穿过边料窗口211获取边料,更加便捷。
请参阅图,2,在进一步的实施例中,还设置有切割装置控制***5及电控箱6,所述控制***5与切割机驱动机构及电控箱6连接,用于控制切割机驱动机构的开启或关闭,实现对两个切割面板21间距的调节。
需要说明的是,尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述,但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此,基于本实用新型的创新理念,对本文所述实施例进行的变更和修改,或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域,均包括在本实用新型的专利保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶硅棒环形线锯切割机,其特征在于,包括切割机驱动机构、两个线锯切割机构;
所述线锯切割机构包括切割面板、导轮组件和环形金刚石线锯;两个切割面板的正面相对设置,且两个切割面板之间形成切割通道;所述切割机驱动机构与切割面板连接,用于驱动两个切割面板靠近或远离;
所述切割面板开设有贯穿切割面板的正面至背面的边料窗口;切割面板的正面设置有边料收集挡板,所述边料收集挡板位于边料窗口的底部;
所述导轮组件安装于切割面板的正面处,且导轮组件环绕设置于边料窗口周边;所述环形金刚石线锯布设于导轮组件的线槽中。
2.根据权利要求1所述的晶硅棒环形线锯切割机,其特征在于,还包括切割架;所述切割架的顶面设置有滑条,所述切割面板的底部设置有贯穿切割面板的正面至背面的滑槽,所述滑槽与滑条相适配;两个切割面板通过滑槽和滑条与切割架滑动连接。
3.根据权利要求1所述的晶硅棒环形线锯切割机,其特征在于,所述导轮组件包括驱动轮机构、从动轮机构、张紧轮机构;
所述驱动轮机构包括驱动轮及导轮驱动机构;所述驱动轮与切割面板活动连接,所述导轮驱动机构与驱动轮传动连接,用于带动驱动轮旋转;
所述张紧轮机构包括张紧轮、连杆及张紧驱动机构;所述连杆的一端与张紧轮活动连接,连杆的另一端与张紧驱动机构传动连接;所述张紧驱动机构设置于切割面板处,用于驱动张紧轮拉紧环形金刚石线锯。
4.根据权利要求3所述的晶硅棒环形线锯切割机,其特征在于,所述驱动轮机构、从动轮机构、张紧轮机构均一一设置有喷淋机构。
5.根据权利要求1所述的晶硅棒环形线锯切割机,其特征在于,还包括机架,所述线锯切割机构设置于机架上。
6.根据权利要求1所述的晶硅棒环形线锯切割机,其特征在于,还包括机罩,所述线锯切割机构设置于机罩内,且所述机罩相对切割面板的背面处设置有罩门。
7.根据权利要求1所述的晶硅棒环形线锯切割机,其特征在于,还设置有控制***,所述控制***与切割机驱动机构连接,用于控制切割机驱动机构的开启或关闭。
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